JP4415326B2 - ボールマウント装置 - Google Patents
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Description
2........フラックス転写部
3........ボールマウント部
4........ワーク駆動機構
5、6、7....ウエハカセット
8........ウエハ位置決め位置
9........ロボット
10.......フラックス供給装置
11.......フラックス転写位置
12.......クリーニング部
13.......転写ヘッド
15.......スキージ
16.......フラックス供給部
19.......ボール供給装置
20.......ボールマウント位置
21.......余剰ボール除去装置
22、22′、23、23′、31...CCDカメラ
24.......ボール排出装置
25、26、26′....マウントヘッド
27.......ボールトレイ
28.......供給口
29.......センサ
30.......ウエハステージ
32.......照明器
33、34、34′、35、35′...モータ
40.......バキュームプレート
41.......サポートプレート
42.......スペーサ
43.......パンチングメタル
44.......プレートホルダ
46.......吸着孔
47.......半田ボール
49.......ウエハ
50.......排気口
51.......気体導通路
Claims (2)
- マウントヘッド下面に設けた薄肉のバキュームプレートの多数の吸着孔に、真空圧を発生させ、ボールを吸着し、該マウントヘッドがボールマウント位置に移動し、ワークにボールをマウントするボールマウント装置において、
前記マウントヘッドに前記バキュームプレートを外力から支持するとともに気体を導通可能な支持プレートを設け、前記バキュームプレートは支持プレートとの間に間隔を有し、マウントヘッドによりボールを吸着する際には支持プレートによりバキュームプレートのたわみを防止し、マウント時にマウントヘッドからボールを離す際にはマウントヘッド内の圧力を大気圧に解放した時に支持プレートから離れる方向の力を受けて、バキュームプレートをワーク面にならわせるようにしたことを特徴とするボールマウント装置。 - 支持プレートが、バキュームプレートの吸着孔に対応しない気体導通路を有するものである請求項1記載のボールマウント装置。
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JP2005273177A JP4415326B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | ボールマウント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005273177A JP4415326B2 (ja) | 2005-09-21 | 2005-09-21 | ボールマウント装置 |
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Family Applications (1)
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