JP2006043882A - マウントヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】
バキュームプレートがワーク面にならうことにより、ワークとバキュームプレートの平行度を確保し、大量の半田ボールを正確にワークにマウントすることのできるボールマウント装置のマウントヘッドを提供すること。
【解決手段】
本発明は、マウントヘッドに次の手段を採用する。
第1に、ワークとバキュームプレートの平行度を確保する手段として、マウントヘッド下面に設けたバキュームプレートの多数の吸着孔に、真空圧を発生させ、ボールを吸着し、該マウントヘッドがボールマウント位置に移動し、ワークにボールをマウントするボールマウント装置のマウントヘッドとする。
第2に、ボールを吸着するための多数の吸着孔が開けられると共にマウント時にワーク面にならう薄肉のバキュームプレートと、該バキュームプレートを外力から支持する支持プレートとを具備する。
【選択図】 図5
Description
2........フラックス転写部
3........ボールマウント部
4........ワーク駆動機構
5、6、7....ウエハカセット
8........ウエハ位置決め位置
9........ロボット
10.......フラックス供給装置
11.......フラックス転写位置
12.......クリーニング部
13.......転写ヘッド
15.......スキージ
16.......フラックス供給部
19.......ボール供給装置
20.......ボールマウント位置
21.......余剰ボール除去装置
22、22′、23、23′、31...CCDカメラ
24.......ボール排出装置
25、26、26′....マウントヘッド
27.......ボールトレイ
28.......供給口
29.......センサ
30.......ウエハステージ
32.......照明器
33、34、34′、35、35′...モータ
40.......バキュームプレート
41.......サポートプレート
42.......スペーサ
43.......パンチングメタル
44.......プレートホルダ
46.......吸着孔
47.......半田ボール
49.......ウエハ
50.......排気口
51.......気体導通路
Claims (2)
- マウントヘッド下面に設けたバキュームプレートの多数の吸着孔に、真空圧を発生させ、ボールを吸着し、該マウントヘッドがボールマウント位置に移動し、ワークにボールをマウントするボールマウント装置のマウントヘッドであって、
ボールを吸着するための多数の吸着孔が開けられると共にマウント時にワーク面にならう薄肉のバキュームプレートと、該バキュームプレートを外力から支持する支持プレートとを具備したことを特徴とするマウントヘッド。
- 支持プレートが、バキュームプレートの吸着孔に対応しない気体導通路を有するものである請求項1記載のマウントヘッド。
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Cited By (2)
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