JP4646000B2 - 導電性ボール搭載装置 - Google Patents
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Description
第1に、保持面に導電性ボールを吸着する吸引孔を形成した保持ヘッドと、保持ヘッドに導電性ボールを供給するボール供給部と、導電性ボールを搭載するワークを支持するワーク支持部と、保持ヘッドを所定位置に位置させる動作手段を備え、保持ヘッドに保持した導電性ボールをフラックスを介在させた状態でワーク上に搭載する導電性ボール搭載装置とする。
第2に、保持ヘッドの導電性ボールの残存を検査する検査手段と、保持面に付着したフラックスを除去するフラックス除去手段を備える。
第3に、該フラックス除去手段は、保持ヘッドの保持面が当接する当接面を有し、該検査手段によって保持ヘッドに残存する導電性ボールがないことを確認したうえで保持面と当接面を接触させた状態で両面を相対的に移動させてフラックスを除去するように構成する。
2......保持ヘッド
3......ボール供給部
4......ワーク支持部
5......転写ヘッド
6......フラックス供給部
7......ボール検査部
8......半田ボール回収部
9......フラックス除去部
10.....クリーニング部材
13.....供給コンベア
14.....ステージコンベア
15.....排出コンベア
21.....保持面
22.....X軸移動装置
23.....Z軸移動装置
24.....Y軸移動装置
25.....基板
31.....ボール容器
41.....Θ回転ステージ
61.....スキージ
71.....発光部
72.....投受光センサ
80.....当接面
81.....拭き取り吸収性シート
82.....多孔質材
83.....吸引通路
Claims (5)
- 保持面に導電性ボールを吸着する吸引孔を形成した保持ヘッドと、保持ヘッドに導電性ボールを供給するボール供給部と、導電性ボールを搭載するワークを支持するワーク支持部と、保持ヘッドを所定位置に位置させる動作手段を備え、保持ヘッドに保持した導電性ボールをフラックスを介在させた状態でワーク上に搭載する導電性ボール搭載装置において、保持ヘッドの導電性ボールの残存を検査する検査手段と、保持面に付着したフラックスを除去するフラックス除去手段を備え、該フラックス除去手段は、保持ヘッドの保持面が当接する当接面を有し、該検査手段によって保持ヘッドに残存する導電性ボールがないことを確認したうえで保持面と当接面を接触させた状態で両面を相対的に移動させてフラックスを除去するように構成したことを特徴とする導電性ボール搭載装置。
- 当接面と保持面の相対的な移動が、往復横移動であることを特徴とする請求項1記載の導電性ボール搭載装置。
- 当接面にフラックスを吸収する吸収性シートを設け、フラックスを拭き取るようにしたことを特徴とする請求項1または2記載の導電性ボール搭載装置。
- 当接面にフラックスを吸収する吸収性シートのずれを防止するずれ防止手段を設けたことを特徴とする請求項3記載の導電性ボール搭載装置。
- 保持面を鏡面または撥水面とした請求項1から4のいずれか記載の導電性ボール搭載装置。
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JP2001007136A (ja) * | 1999-06-23 | 2001-01-12 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 転写ヘッドのクリーニング装置及び方法 |
JP2001168127A (ja) * | 1999-12-08 | 2001-06-22 | Japan Em Kk | 微小球体移載装置 |
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- 2005-08-31 JP JP2005251092A patent/JP4646000B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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