JP6577714B2 - 透明板検査装置及び透明板清掃検査システム - Google Patents

Description

本発明は、透明板検査装置及び透明板清掃検査システムに関する。

携帯電話やスマートフォン等には、ガラス基板が用いられている。ガラス基板は、ガラス基板の製造装置によって製造される。ガラス基板を製造する際には、ガラス基板の表面に切削により生ずるガラス粉等が付着する場合がある。また、ガラス基板の搬送中にも埃等が付着するおそれがある。これらのガラス粉や埃等を取り除くためにはガラス基板の表面を清掃する必要がある。このようなガラス基板の表面を清掃する装置としては、ベルトコンベア上に敷いた清浄な布の上に透明板を載置して、アルコールを含んだ布で透明板の上面全体の汚れを払拭する清掃装置が提案されている（中国特許出願公開第１０２６９８９８８号）。このように清掃されたガラス基板は、表面に傷や欠けが無く異物が付着していないかを検査装置によって検査される場合がある。

中国特許出願公開第１０２６９８９８８号公報

しかしながら、ガラス基板を清掃した後に検査装置に搬送する際に、ガラス基板に異物が付着する可能性がある。また、検査装置内部では、ガラス基板の搬送機構や検査機構などが作動している為、それらの機構に用いられる部材が擦れ合うため、非常に微少な異物が検査装置内部でガラス基板に異物が付着してしまう可能性がある。このような場合に、ガラス基板に付着したこのような異物のみが原因でガラス基板が不良品と判定されてしまい、不良品率が上昇するおそれがある。

そこで、本発明は、透明板に異物が付着しにくい状態で透明板を検査でき、正確な検査を行うことができる透明板検査装置及び透明板清掃検査システムを提供することを課題とする。

上記課題を解決するためになされた発明は、
透明板を検査する透明板検査装置であって、
上記透明板の搬入口及び搬出口を有する筐体、
上記搬入口から上記搬出口まで上記透明板を搬送する搬送機構、
上記搬送機構によって搬送される上記透明板を検査する検査部、及び
上記筐体の内部で異物が上記透明板に付着するのを阻止する異物付着阻止機構
を備えることを特徴とする。

当該透明板検査装置にあっては、上記搬送機構によって筐体の内部で搬送される透明板が検査部によって検査される。この検査に際して、筐体の内部は、異物付着阻止機構によって透明板に異物が付着することが的確に阻止されるため、正確な検査を行うことが可能となる。

上記異物付着阻止機構は、上記筐体の内圧を高める加圧機構を有するとよい。これにより、加圧機構が筐体の内圧を高めるので、筐体の外部から内部に空気が流入しにくく、筐体の外部から内部への異物の侵入を的確に阻止でき、筐体内で異物が透明板に付着することを的確に防止できる。

上記加圧機構は、上記筐体の外部の空気を上記筐体の内部に送り込む送入機構と、上記送入機構によって送られる空気に含まれる異物の上記筐体の内部への侵入を遮断するフィルタとを有するとよい。これにより、送入機構によって送り込まれる空気によって筐体の内圧を高めることができ、またこの送り込まれる空気の異物はフィルタによって筐体の内部への侵入が阻止できるので、送入機構による筐体の内部への異物の侵入を阻止できる。

上記加圧機構の上記送入機構は、上記搬送機構によって搬送される上記透明板上に付着した異物を流すように空気を上記透明板上に供給するとよい。送入機構によって透明板上に空気を供給することで、透明板への異物の付着を阻止できる。

上記加圧機構は、上記筐体の上部に設置されているとよい。これにより、筐体の上部に設置された加圧機構によって、筐体の内部つまりは下方に向けて加圧することで、筐体の内圧を高めることができる。

上記異物付着阻止機構が、上記筐体の内部に設けられ、上記搬入口及び／又は上記搬出口から上記筐体の外部に空気を排出する送出機構を有するとよい。これにより、送出機構が搬入口付近において筐体の内部から外部に向かう風をおこすことで、搬入口から異物が侵入することを的確に阻止できる。

上記搬送機構は、上記透明板の表面及び裏面に接することなく透明板を搬送するとよい。このように搬送機構が透明板の表面に接触しない状態で透明板を搬送することで、搬送機構によって透明板の表面及び裏面へ汚れ又は異物が付着することを的確に阻止でき、正確な検査を行うことが可能となる。この搬送機構は、上記透明板の端縁に接触することで透明板を保持するとよい。これにより、搬送機構が透明板の表面及び裏面に接触しない状態で透明板を搬送し、搬送機構による透明板の表面及び裏面へ汚れ又は異物が付着することを的確に阻止できる。

上記搬送機構は、上記透明板の端縁に接触しつつ搬送する第１搬送部材と、上記第１搬送部材によって搬送された上記透明板を上記透明板の端縁に接触しつつ受け取ると共に上昇させる上昇部材と、上記上昇部材によって上昇された上記透明板を上記透明板の端縁に接触しつつ受け取ると共に上記検査部の検査領域に搬送する第２搬送部材とを備えることが好ましい。

これにより、透明板を第１搬送部材によって搬送し、この第１搬送部材によって搬送された透明板を上昇部材に受渡し、上昇部材によって保持された透明板を上昇させ、この上昇された透明板を上昇部材から第２搬送部材によって受渡し、この第２搬送部材によって搬送される透明板を検査部によって検査できる。第１搬送部材、上昇部材及び第２搬送部材は、上述のように透明板の端縁に接触するものであり、透明板の表面及び裏面に接触しない状態で透明板を保持できるので、第１搬送部材、上昇部材及び第２搬送部材によって透明板の表面及び裏面へ汚れ又は異物が付着することを的確に阻止できる。また、検査部の検査領域では、第２搬送部材によって端縁と接触されることで保持される透明板が搬送されるので、透明板の上面側及び下面側の他の部材が検査部の検査の邪魔とならず、種々の検査を行うことが可能となり、検査精度の向上を図ることができる。

上記上昇部材は、上記第１搬送部材から搬送された上記透明板の上面を吸引する吸引部と、上記吸引部に吸引される上記透明板の上端縁に接触することで上記透明板の高さ位置を位置決めする複数の位置決め部とを備え、上記複数の位置決め部が、上記吸引部と上記透明板の上面との接触を阻止するよう上記透明板の端縁に接触するテーパ面を有するとよい。これにより、第１搬送部材から搬送された透明板は、吸引部によって上面が吸引されることで、端縁が複数の保持部のテーパ面と接触し、この複数の保持部のテーパ面と端縁との接触によって的確に保持される。

上記搬送機構は、上記透明板の端縁に接触する一対のベルトコンベアを有し、この一対の上記ベルトコンベアの上記透明板との接触面が互いに対向する側に傾斜しているとよい。これにより、互いに対向する側に傾斜する一対のベルトコンベアの接触面に、透明板の端縁を接触させた状態で透明板を載置でき、透明板の表面及び裏面に接することなく、透明板を搬送することができる。

上記搬送機構は、上記透明板の端縁に接触して上記透明板を両側から挟み込む少なくとも一対の把持部を備えるとよい。これにより、一対の把持部と透明板の端縁とを接触させて、一対の把持部によって透明板を両側から挟み込むことで、透明板の表面及び裏面に接することなく透明板を搬送することができる。

上記課題を解決するためになされた別の発明は、
上記透明板に付着した異物を除去する異物除去機構と、
上記異物除去機構によって異物が除去された上記透明板を検査する上記構成からなる当該透明板検査装置とを備える
透明板清掃検査システムである。

当該透明板清掃検査システムは、異物除去機構によって異物が除去された透明板を当該透明板検査装置によって検査することができるので、正確な検査を行うことができる。

このような当該透明板清掃検査システムにあっては、上記透明板の表面及び／又は裏面を清掃する清掃装置をさらに備えるとよい。これにより、清掃装置によって表面及び／又は裏面が清掃された透明板を当該透明板検査装置によって検査することができるので、正確な検査を行うことができる。

上記課題を解決するためになされた別の発明は、
上記透明板の表面及び／又は裏面を清掃する清掃装置と、
上記清掃装置によって清掃された上記透明板を検査する上記構成からなる当該透明板検査装置とを備える
透明板清掃検査システムである。

このような当該透明板清掃検査システムは、上記清掃装置によって表面及び／又は裏面が清掃された透明板を当該透明板検査装置によって検査することができるので、正確な検査を行うことができる。

上記課題を解決するためになされた別の発明は、
上記透明板の第１面を清掃する第１清掃装置と、
この第１清掃装置から搬出された上記透明板を反転させる反転装置と、
上記反転装置によって反転された上記透明板を搬送しつつ上記透明板の第２面を清掃する第２清掃装置と、
上記第１清掃装置及び上記第２清掃装置によって両面が清掃された上記透明板を検査する上記構成からなる当該透明板検査装置とを備える
透明板清掃検査システムである。

当該透明板清掃検査システムは、第１清掃装置により第１面が清掃された透明板を反転しつつ第２清掃装置に移送することで、透明板の両面を効率的に清掃でき、このように両面が清掃された透明板を当該透明板検査装置によって検査することができる。

なお、透明板の「表面」及び「裏面」とは、透明板の平面部であって互いに対向する面を意味する。透明板の「端縁」とは、透明板の周縁を意味し、「端縁」には、透明板の平面部と周縁との境界部分を含む。透明板の「上面」とは、表面及び裏面のうち、搬送状態において上方を向く面を意味する。「第１面」とは、表面及び裏面のうち一方の面を意味し、「第２面」とは、表面及び裏面のうち他方の面を意味し、第１面の反対側の面を意味する。

本発明の透明板検査装置及び透明板清掃検査システムは、透明板に異物が付着しにくい状態で透明板を検査でき、正確な検査を行うことができる。

本発明の一実施形態の透明板清掃検査システムを示す模式的側面図である。 図１の透明板清掃検査システムの第１清掃装置の模式的側面図である。 図２の第１清掃装置の押圧ヘッドの模式的側面図である。 図１の透明板清掃検査システムの反転装置を示す模式的平面図である。 図４の反転装置の模式的側面図である。 図１の透明板清掃検査システムの透明板検査装置の模式的側面図である。 図６の透明板検査装置の搬送機構の第１搬送部材の説明図であり、（Ａ）は模式的正面図であり、（Ｂ）は模式的平面図である。 図６の透明板検査装置の搬送機構の上昇部材の説明図であり、（Ａ）は模式的背面図であり、（Ｂ）は模式的底面図であり、（Ｃ）は模式的側面図である。 図６の透明板検査装置の搬送機構の第２搬送部材の説明図であり、（Ａ）は模式的底面図であり、（Ｂ）は模式的正面図である。

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。先ず、図１から図９を参照しながら、本発明の第１実施形態の透明板検査装置を具備する透明板清掃検査システム１について説明する。

［第１実施形態］
図１の透明板清掃検査システム１は、例えばスマートフォンに用いられるカバーガラスやタッチパネル等の透明板Ｐを清掃し、検査するためのシステムである。より具体的には、本実施形態の透明板清掃検査システム１は、自動的に、透明板Ｐの両面（第１面ｐ１及び第２面ｐ２（清掃面））を清掃すると共に透明板Ｐに付着した異物を除去し、さらに傷や欠け等の透明板Ｐの欠陥を検査するシステムである。本実施形態においては、上記透明板のような薄板状物であり、清掃面はこの薄板状物の両面である。

当該透明板清掃検査システム１は、透明板Ｐを搬送しつつこの透明板Ｐの第１面ｐ１を清掃する第１清掃装置１０Ａ、この第１清掃装置１０Ａから搬出された透明板Ｐを反転させる反転装置３０、この反転装置３０によって反転された透明板Ｐを搬送しつつこの透明板Ｐの第２面ｐ２（第１面ｐ１の反対面）を清掃する第２清掃装置１０Ｂ、この第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に付着する異物を除去可能な異物除去装置５０、及び上記異物除去装置５０から排出される透明板Ｐを検査する透明板検査装置７０を備えている。なお、図１等に示すように、第１清掃装置１０Ａの透明板Ｐの搬送方向Ｘと、第２清掃装置１０Ｂの透明板Ｐの搬送方向Ｘとは、同一方向である。ここで搬送方向Ｘは、第１清掃装置１０Ａから第２清掃装置１０Ｂに向かう方向である。また、本実施形態の透明板清掃検査システム１は、第１清掃装置１０Ａに透明板Ｐを供給するローダ装置９０を有している。

本実施形態の透明板清掃検査システム１は、各種装置の動作を制御等する制御装置（図示省略）をさらに備えている。

＜清掃装置＞
上記第１清掃装置１０Ａ及び上記第２清掃装置１０Ｂは、一方向（搬送方向Ｘ）に透明板Ｐを搬送する搬送機構１１、及びこの搬送機構１１によって搬送される透明板Ｐの清掃面に長尺状の清掃布Ｃの一部を接触させて清掃面を清掃すべく清掃布を送給する送給機構２５を備えている。具体的には、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂ（図１参照）は、図２及び図３に示すように、透明板Ｐを搬送する搬送機構１１、透明板Ｐに接する長尺状の清掃布Ｃ、清掃布Ｃを透明板Ｐに向けて押圧するための二つの押圧ヘッド１３、清掃布Ｃを送る送給機構２５（図１参照）、及び清掃布Ｃに洗浄液を供給する洗浄液供給機構２８を有している。この搬送機構１１、押圧ヘッド１３、送給機構２５及び洗浄液供給機構２８は、上記制御装置によって動作が制御されている。なお、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、後述するように一部の構成（例えば載置用長尺シート）において相違し、他の部分は同一構成を有している。また、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、搬送機構１１、清掃布Ｃ、押圧ヘッド１３、送給機構２５及び洗浄液供給機構２８を内蔵する筐体１０ｈを有している。この筐体１０ｈ（図１参照）は、透明板Ｐの搬入口及び搬出口（図示省略）を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられ、このため第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂにおける透明板Ｐの清掃が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Ｐに付着することが防止されている。なお、この筐体１０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

（搬送機構）
搬送機構１１は、清掃対象物である透明板Ｐを搬送方向Ｘに搬送する機構である。搬送機構１１は薄板状物である透明板Ｐを透明板Ｐの平面方向に搬送し、具体的には、本実施形態においては、搬送機構１１は、透明板Ｐを清掃面（第１面ｐ１及び第２面ｐ２）が上方を向いた状態で載置され、水平面に沿った方向のうちの１つの方向に搬送する機構である。なお、「平面方向に搬送する」とは、透明板Ｐの清掃面（上記第１面ｐ１及び第２面ｐ２）に沿った方向のうちの１つの方向に搬送することを意味する。

第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１は、透明板Ｐを載置、つまりは透明板Ｐの下側に位置する面（第２面ｐ２（清掃対象である第１面ｐ１の反対側の面））の全面が接した状態で透明板Ｐを搬送する。このように透明板Ｐは第２面全面が接した状態で搬送されることで、搬送機構１１と清掃布Ｃとの間で全面的に挟持され、上方に位置する面（第１面ｐ１）が清掃される。この第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１としては、例えばベルトコンベアから構成できる。

第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１は、透明板Ｐを載置、つまりは透明板Ｐの下側に位置する面（第１面ｐ１（清掃対象である第２面ｐ２の反対側の面））の全面が接した状態で透明板Ｐを搬送する。このように透明板Ｐは第１面ｐ１が接した状態で搬送されることで、搬送機構１１と清掃布Ｃとの間で全面的に挟み込まれ、第２面ｐ２が清掃される。この第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１としては、例えば図１に示すようにベルトコンベアと、このベルトコンベア上に供給され、ベルトコンベアと同じ速度で移動する清浄な載置用長尺シート１２とを有するものが採用できる。このように第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１が、載置用長尺シート１２を有することで、第１面ｐ１が第２清掃装置１０Ｂ内で汚れることを防止できる。

上記ベルトコンベアについてさらに詳述する。ベルトコンベアは、搬送ベルト１１ａ、搬送従動ローラ１１ｂ及び搬送駆動ローラ１１ｃを備えている。搬送ベルト１１ａは無端状のベルト部材からなり、この搬送ベルト１１ａが搬送従動ローラ１１ｂ及び搬送駆動ローラ１１ｃに架け渡されており、搬送駆動ローラ１１ｃの回転に伴って搬送ベルト１１ａが循環すると共に搬送従動ローラ１１ｂも回転する。なお、搬送駆動ローラ１１ｃと搬送従動ローラ１１ｂとの配設箇所を逆とすることも可能である。

また、第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１は、上記ローダ装置９０から透明板Ｐを受け取り、清掃後に反転装置３０に受け渡す第１受渡領域Ａ１（図５参照）まで透明板Ｐを搬送する。また、第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１は、反転装置３０から第２受渡領域Ａ２（図５参照）において透明板Ｐを受け取り、透明板Ｐの排出領域まで透明板Ｐを搬送して排出する。

（清掃布）
清掃布Ｃは、清掃箇所において透明板Ｐに接触されながら動かされることで透明板Ｐの清掃面（上側に位置する面）を清掃する。清掃布Ｃは、清掃箇所において一方の面が透明板Ｐの清掃面に対面するよう供給され、上記押圧ヘッド１３によって透明板Ｐの清掃面に押し付けられながら清掃面を拭き取ることで清掃面を清掃する。

この清掃布Ｃとしては、繊維製のものが用いられ、例えば織物が用いられる。この繊維としては、天然繊維、合成繊維等、種々のものが採用可能である。ここで、清掃布Ｃとして不織布を用いることもできる。不織布を用いる場合、不織布としては、乾式法、湿式法、メルトブロー法によってフリースが形成されるものを用いることができる。

（押圧ヘッド）
二つの上記押圧ヘッド１３は、搬送方向Ｘに並べて配置されている。各押圧ヘッド１３は、図２に示すように清掃布Ｃの一部を透明板Ｐに向けて押圧する第１清掃部材１４、及び清掃布Ｃの第１清掃部材１４よりも搬送方向Ｘの下流側の部分を透明板Ｐに向けて押圧する第２清掃部材１５をそれぞれ備えている。つまり、本実施形態においては、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、それぞれ清掃布Ｃと透明板Ｐとが接する清掃箇所が、透明板Ｐの搬送方向Ｘに並べて４箇所設けられている。なお、本実施形態においては、二つの押圧ヘッド１３は同一構成を有している。この第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５は、例えばシリコン等の弾性部材で形成されたパッドから構成される。

各押圧ヘッド１３は、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５それぞれを清掃面の平面上であって、且つ搬送方向Ｘの直交方向に往復動させる清掃部材駆動機構（図示省略）を有している。なお、「清掃面の平面上であって、且つ搬送方向Ｘの直交方向」とは、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５が清掃布Ｃを透明板Ｐの清掃面に接触させることのできる平面内における搬送方向Ｘの直交方向であることを意味し、具体的には清掃面と平行な面上であり且つ搬送方向Ｘの直交方向を意味する。

（送給機構）
図１を参照して清掃布Ｃの送給機構２５について説明する。上記清掃布Ｃは、上述のように送給機構２５によって送られる。ここで、送給機構２５は、主動ローラ２５ａ及び従動ローラ２５ｂを有している。清掃布Ｃは、この主動ローラ２５ａ及び従動ローラ２５ｂに架け渡され、主動ローラ２５ａの回転によって透明板Ｐの清掃後の清掃布Ｃの部分は主動ローラ２５ａに巻き取られる。このとき、従動ローラ２５ｂから未使用の清掃布Ｃが繰り出される。

送給機構２５は、透明板Ｐの搬送方向Ｘと逆方向に清掃布Ｃを送るよう設けられている（図２参照）。つまり、清掃布Ｃは、送給機構２５によって、清掃箇所（透明板Ｐと接する箇所）において清掃布Ｃが搬送方向Ｘの逆方向（図２のＹ方向）に送られる。

また、送給機構２５は、二つの上記押圧ヘッド１３の間に位置する清掃布Ｃの一部を、透明板Ｐから離間させるようにガイドしている。具体的には、送給機構２５は、二つの押圧ヘッド１３間においてベルトコンベアの上方に配されたテンションローラ２６を有している。この送給機構２５では、このテンションローラ２６に二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃが架け渡されていることで二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃが透明板Ｐから離間されている。

（洗浄液供給機構）
上記清掃布Ｃには、上述のように洗浄液供給機構２８によって洗浄液が供給される。このため、洗浄液が含浸された清掃布Ｃによって透明板Ｐが清掃される。本実施形態において洗浄液供給機構２８は、搬送方向Ｘにおいて第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５間に位置する清掃布Ｃの一部にそれぞれ洗浄液を供給すると共に、後述するように押圧ヘッド１３よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する清掃布Ｃの一部にも洗浄液を供給している。

洗浄液供給機構２８は、図３に示すように第１清掃部材１４と第２清掃部材１５との間に設けられた供給ノズル２８ｂを有している。供給ノズル２８ｂは図示しない洗浄液貯蔵タンクに接続されている。供給ノズル２８ｂは、上方に向かって洗浄液を供給する。供給ノズル２８ｂから供給された洗浄液は、清掃布Ｃに含浸して透明板Ｐの清掃面に到達する。供給ノズル２８ｂから供給される洗浄液の量は、透明板Ｐに付着した汚れを分解可能であり、且つ押圧パッド１５により清掃布Ｃの一部が押圧されて拭き取り動作が行われたとしても筋が残らないように調整されている。供給ノズル２８ｂは、先細形状となっている。本実施形態では、上述のような構成となっているが、清掃布Ｃの上方から下方に向かって洗浄液を供給する構成を採用することもできる。

上記洗浄液としては、特に限定されるものではないが、アルコールが好適に用いられ、中でもエタノールが特に好適に用いられる。

また、当該透明板清掃検査システム１は、洗浄液供給機構２８として、搬送方向Ｘの下流側の押圧ヘッド１３の清掃布Ｃの供給方向の上流側の清掃布Ｃの一部に洗浄液を供給する洗浄液供給部２８ａをさらに有している（図１参照）。

＜反転装置＞
図１、図４及び図５を参照して反転装置３０について説明する。反転装置３０は、上述のように第１清掃装置１０Ａから搬出された透明板Ｐを反転させて、第２清掃装置１０Ｂに供給する装置である。具体的には、第１清掃装置１０Ａ（図１参照）から順次第１受渡領域Ａ１に供給される透明板Ｐを、第２受渡領域Ａ２において第２清掃装置１０Ｂ（図１参照）に受け渡している。

この反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１において透明板Ｐの第２面ｐ２を吸着し、第２受渡領域Ａ２において上記透明板Ｐを解放する保持部（吸着部３２）と、この保持部（吸着部３２）が一端側に付設されているアーム３３と、このアーム３３の他端側を支持する回転部３５とを備えている。なお、反転装置３０は、上記吸着部３２、アーム３３及び回転部３５等を内蔵する筐体３０ｈ（図１参照）を有している。

さらに、反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１に配設された仮受部材３１と、回転部３５に対して上記アーム３３を上記吸着部３２の吸引方向に突出又は後退する突出機構３４とを備える。反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１において一つの透明板Ｐを下側から支持する仮受部材３１を備えている。具体的には、仮受部材３１は、第１受渡領域Ａ１において第１清掃装置１０Ａ（図１参照）から排出された透明板Ｐの第２面ｐ２を一時的に支持する。吸着部３２は、仮受部材３１に支持されている透明板Ｐの第２面ｐ２を吸着する。アーム３３は伸縮可能である。具体的には、アーム３３は、吸着部３２が一端側に付設されており、回転部３５に支持される上記他端から吸着部３２が付設される上記一端に向かう方向に伸縮可能である。突出機構３４は、回転部３５とアーム３３との間に設けられ、上述のように回転部３５に対してアーム３３を吸着部３２の吸引方向に突出又は後退する機構である。具体的には、突出機構３４は、アーム３３の上記他端側を支持するエアシリンダからなる。回転部３５は、突出機構３４が固定され、これにより上述のようにアーム３３を支持している。回転部３５は、吸着部３２に吸着される透明板Ｐと平行な平面上に位置する回転軸を中心に回転可能である。具体的には、この回転軸は、水平方向（透明板Ｐを搬送する方向に垂直な方向）であり、また吸着部３２の吸引する方向に垂直な方向に設けられている。反転装置３０は、複数の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４を備えており、これら複数の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４はそれぞれ対をなし、一対の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４は、それぞれ回転部３５の回転軸を中心に略回転対称に配設されている。なお、「略回転対称」とは、完全に回転対称である場合のみならず、第１受渡領域Ａ１における一の透明板Ｐの吸着と第２受渡領域Ａ２における他の透明板Ｐの解放とを同時に行うことができる程度に配置されている場合を含むものである。

＜異物除去装置＞
図１を参照して異物除去装置５０について説明する。異物除去装置５０は、上述のように第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に付着する異物を除去するための装置である。当該透明板清掃検査システム１では、繊維製の清掃布Ｃ等に起因する異物が透明板Ｐに付着していた場合及び装置内で生じた異物が付着した場合であっても上記異物除去装置５０によって除去することができる。

この異物除去装置５０は、透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に接触する粘着面５１ａを有する粘着ローラ５１（粘着部材）と、この粘着ローラ５１の粘着面５１ａに付着する異物を除去可能な粘着力回復機構５２を備えている。本実施形態において、異物除去装置５０は、透明板Ｐを挟んで互いに対向する二つの粘着ローラ５１を備えている。具体的には、異物除去装置５０は、透明板Ｐを挟んで上下に対向する一対の粘着ローラ５１を備え、この粘着ローラ５１は、外周面が透明板Ｐに付着した異物を除去可能な粘着力を有する。

また、異物除去装置５０は、図１に示すように第２清掃装置１０Ｂが排出した透明板Ｐが載置されるフリーローラ５０ａを有しており、上下一対の上記粘着ローラ５１は互いに駆動モータ（図示省略）によって回転され、粘着ローラ５１の回転によって透明板Ｐが下流側に搬送される。

上記粘着力回復機構５２は、粘着ローラ５１の粘着面５１ａに接触可能な長尺状の粘着テープ５３を有している。この粘着テープ５３は、上下一対の粘着ローラ５１それぞれに対して設けられる。

上記粘着テープ５３は、上記粘着ローラ５１の粘着面５１ａ（外周面）よりも強い粘着力を有する粘着面５３ａを有しており、この粘着テープ５３の粘着面５３ａが粘着ローラ５１の粘着面５１ａに貼着され剥離されることで粘着ローラ５１に付着した異物を除去することができる。

異物除去装置５０は、未使用の粘着テープ５３を供給する供給部５５及び使用済の粘着テープ５３を排出する排出部５６を有している。供給部５５には、未使用の粘着テープ５３がロール状に巻きつけられている。供給部５５は、粘着ローラ５１よりも搬送方向の下流側に配置されている。排出部５６には、使用済の粘着テープ５３がロール状に巻きつけられている。すなわち、排出部５６には、粘着ローラ５１の異物除去に使用された粘着テープ５３が巻きつけられている。排出部５６は、粘着ローラ５１よりも搬送方向Ｘの上流側に配置されている。

異物除去装置５０は、上記粘着テープ５３を送る粘着テープ送給機構５４を有している。ここで、粘着テープ送給機構５４は、間欠的に粘着テープ５３を粘着ローラ５１に接触させるよう設けられている。例えば、粘着テープ送給機構５４は、５枚の透明板Ｐの異物を粘着ローラ５１が除去する毎に、粘着テープ５３を粘着ローラ５１に接触させる。粘着テープ送給機構５４は、具体的には粘着テープ５３が架け渡されると共に粘着ローラ５１に対面する粘着テープ用ローラ５４（粘着テープ送給機構）が粘着ローラ５１に接近・離間可能に設けられている。粘着テープ送給機構５４は、粘着ローラ５１と粘着テープ５３を接触させることで、粘着ローラ５１の回転に伴って粘着テープを送給する。本実施形態では、このように粘着ローラ５１の回転によって粘着テープを送給する構成を採用したが、これに限らず、排出部５６で巻き取ることで粘着テープ５３を送給する構成を採用することもできる。

なお、異物除去装置５０は、上記粘着ローラ５１及び粘着力回復機構５２等を内蔵する筐体５０ｈを有している。この筐体５０ｈは、透明板Ｐの搬入口及び搬出口を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられている。このため異物除去装置５０では、上述のような異物除去が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Ｐに付着することが防止されている。また、異物除去装置５０の筐体５０ｈの搬入口は第２清掃装置１０Ｂの筐体１０ｈの搬出口と気密に連結されている。なお、この異物除去装置５０の筐体５０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

＜透明板検査装置＞
上記透明板検査装置７０は、上述のように清掃された透明板Ｐの清掃面（第１面ｐ１及び第２面ｐ２）の傷、欠け及び異物の有無を検査する装置である。図１、図６〜図９に示すように、透明板検査装置７０は、図６に示すように、透明板Ｐの搬入口７６及び搬出口７７を有する筐体７０ｈ、搬入口７６から搬出口７７まで透明板Ｐを搬送する搬送機構８０、この搬送機構８０によって搬送される筐体７０ｈ内の透明板Ｐの画像を撮像する検査部７２、及び筐体７０ｈの内部への異物の侵入阻止し、透明板Ｐに異物が付着するのを阻止する異物付着阻止機構７５を備えている。

また、この透明板検査装置７０は、検査部７２によって撮像される透明板Ｐに光線を照射する照明部７１を有している。この透明板検査装置７０は、複数対の上記照明部７１及び上記検査部７２を有しており、この複数対の照明部７１及び検査部７２によって、搬送される透明板Ｐの第１面ｐ１における反射、第２面ｐ２における反射、第１面ｐ１から第２面ｐ２への透過、及び第２面ｐ２から第１面ｐ１への透過する各光線に基づく種々の画像が撮像される。当該透明板清掃検査システム１は、上記画像が上記制御装置に送信され、制御装置によって透明板Ｐの良否判定が行われる。なお、上記検査部７２は、例えばＣＣＤカメラ等のカメラによって構成することができる。

上記筐体７０ｈは、上記照明部７１、上記検査部７２、及び上記搬送機構８０等が内蔵されている。この筐体７０ｈは、搬入口７６及び搬出口７７以外は密閉状態に設けられている。なお、この透明板検査装置７０の筐体７０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

上記筐体７０ｈの上部には、上記異物付着阻止機構７５が設けられている。より詳細には、図６に示すように、筐体７０ｈの上部には搬送方向Ｘに並べて２つの異物付着阻止機構７５が設けられている。この異物付着阻止機構７５は、上記筐体７０ｈの内圧を高める機構である。この異物付着阻止機構７５は、上記筐体７０ｈの外部の空気を筐体７０ｈの内部に送り込む送入機構（図示省略）と、この送入機構によって送られる空気に含まれる異物の上記筐体の内部への侵入を遮断するフィルタ（図示省略）とを有している。異物付着阻止機構７５は、搬送機構８０によって搬送される透明板Ｐ上に空気を送り、透明板Ｐの表面に異物が付着していた場合にその異物を下方に落とす。異物付着阻止機構７５は、上方から下方に向けて空気を送っている。上記送入機構としては、種々のものを用いることができるが、例えばシロッコファン等の送風器が用いられる。上記フィルタとしては、種々のものを用いることができるが、粗塵用フィルタ、中高性能フィルタ、ＨＥＰＡフィルタ等のエアフィルタを用いることができる。

この透明板検査装置７０の搬送機構８０は、搬入口７６から搬入される透明板Ｐをその端縁に接触しつつ搬送する第１搬送部材８１と、この第１搬送部材８１によって搬送された透明板Ｐをその端縁に接触しつつ受け取ると共に上昇させる上昇部材８３と、この上昇部材８３によって上昇された透明板Ｐをその端縁に接触しつつ受け取ると共に上記検査部７２の撮像領域に搬送する第２搬送部材８８とを備えている。詳述すると、当該透明板検査装置７０は、搬入口７６から透明板Ｐを搬送方向Ｘに第１搬送部材８１によって搬送し（図６の矢印Ｓ１参照）、この第１搬送部材８１によって搬送された透明板Ｐを上昇部材８３によって受け取る。上昇部材８３が受け取った透明板Ｐを上昇部材８３が上昇させ（図６の矢印Ｓ２参照）、この上昇された透明板Ｐを第２搬送部材８８が受け取る。第２搬送部材８８が受け取った透明板Ｐを第２搬送部材８８が水平方向に搬送し（図６のＳ３の矢印参照）、この第２搬送部材８８が搬送する透明板Ｐを上記検査部７２が撮像する。その後、透明板Ｐは搬出口７７から搬出される。なお、本実施形態においては、第１搬送部材８１及び第２搬送部材８８による透明板Ｐの搬送方向は、第１清掃装置の搬送方向と同一方向とされているため、第１搬送部材８１及び第２搬送部材８８の搬送方向として図６〜図９において第１清掃装置１０Ａ（図１参照）の搬送方向と同一符号であるＸを用いて図示している。しかし透明板検査装置７０の搬送機構８０による搬送方向はこれに限定されるものではなく、例えば第１清掃装置１０Ａの搬送方向と逆方向又は直交する方向等であっても良い。また、撮像後の透明板Ｐの搬出口７７までの搬送は、種々の搬送手段を採用でき、例えば第１搬送部材８１と同様の搬送手段によって搬送することができる。

上記搬送機構８０は、上記第１搬送部材８１として透明板Ｐの端縁に接触する一対のベルトコンベア８１ｃ（図７（Ａ）及び（Ｂ）参照）を有している。なお、この透明板検査装置７０におけるベルトコンベア８１ｃを、上述した第１清掃装置１０Ａのベルトコンベアと区別するために、以下、検査用ベルトコンベア８１ｃと記載することがある。また、この搬送機構８０の各種動作は、上記制御装置によって制御されている。

上記一対の検査用ベルトコンベア８１ｃは、透明板Ｐとの接触面（上面）が互いに対向する側に傾斜している。各検査用ベルトコンベア８１ｃは、搬送ベルト８１ａ、搬送従動ローラ８１ｂ及び搬送駆動ローラ（図示省略）を備えている。搬送ベルト８１ａは、無端状のベルト部材からなり、搬送従動ローラ８１ｂ及び搬送駆動ローラに架け渡されている。検査用ベルトコンベア８１ｃでは、搬送駆動ローラの回転に伴って搬送ベルト８１ａが循環すると共に搬送従動ローラ８１ｂも回転する。一対の検査用ベルトコンベア８１ｃは、搬送従動ローラ８１ｂの軸が水平に対してそれぞれ傾斜して配設され、具体的には、図７（Ａ）に示すように一対の検査用ベルトコンベアの搬送従動ローラ８１ｂ同士が、近接する側が下方に位置し離間する側が上方に位置するよう傾斜して配設されている。また、搬送駆動ローラも搬送従動ローラ８１ｂと同様に、近接する側が下方に位置し離間する側が上方に位置するよう傾斜して配設されている。これにより、透明板Ｐは、図７（Ａ）に示すように両側の端縁の下部が搬送ベルト８１ａの上面に接触し、下方に位置する面が搬送ベルト８１ａに接触しない状態で検査用ベルトコンベア８１ｃによって搬送される。

上記上昇部材８３は、図８（Ａ）に示すように、第１搬送部材８１から搬送された透明板Ｐの上面を吸引する吸引部８４と、吸引部８４に吸引される透明板Ｐの上端縁に接触することで透明板Ｐの高さ位置を決める位置決め部８５とを備えている。複数の位置決め部８５が、吸引部８４と透明板Ｐの上面との接触を阻止するよう透明板Ｐに接触するテーパ面８５ａを有している。さらに、上昇部材８３は、透明板Ｐの搬送方向Ｘの先端縁に接触する接触部８６をさらに備えている。詳述すると、上記上昇部材８３は、接触部８６が上記検査用ベルトコンベア８１ｃによって搬送された透明板Ｐの先端縁と接触すると（図８（Ｂ）及び（Ｃ）参照）、吸引部８４が透明板Ｐの上面を吸引することで位置決め部８５のテーパ面８５ａに透明板Ｐの端縁（上記先端縁に直交する端縁）の上端が接触するまで透明板Ｐを吸い上げる。これにより、透明板Ｐは、複数の位置決め部８５のテーパ面８５ａに接触することで高さ方向の位置決めがなされるとともに、上昇部材８３に保持される（図８（Ａ）参照）。つまり、透明板Ｐは、下端縁が第１搬送部材８１と接触した状態で搬送された後、吸引部８４の吸引によって複数の位置決め部８５のテーパ面８５ａと上端縁が接触し、これにより第１搬送部材８１から上昇部材８３に受け渡される。

上記位置決め部８５は、下方に向けて突出した複数のピンから構成されている。この位置決め部８５は、透明板Ｐの両側において対向するよう複数対（図示例では二対）配設されている（図８（Ｂ）参照）。位置決め部８５は、先端（下端）が先細りの円錐形状をなしている。位置決め部８５の円錐形状の周面が透明板Ｐの端縁に接触する上記テーパ面８５ａを構成している。また、上記接触部８６は、下方に向けて突出した円柱形状のピンから構成されている。接触部８６は、上記位置決め部８５を構成するピンよりも搬送方向Ｘの下流側に配設されている。本実施形態において、接触部８６を構成する複数本（図示例では二本）のピンが設けられている。上記吸引部８４は、吸引口８４ａが透明板Ｐの上面と対向するよう下方に向けて開口している。この吸引口８４ａは、上記位置決め部８５及び接触部８６（のテーパ面８５ａ）より上方に設けられている。本実施形態において、複数（図示例では４つ）の吸引部８４が設けられている。

上記上昇部材８３は、透明板検査装置７０の筐体７０ｈに対して上下動可能に設けられ、具体的には位置決め部８５、吸引部８４及び接触部８６が取付けられると共に上記筐体７０ｈに対して上下動可能に設けられた上昇部材８３本体（図示省略）を有している。このため、上昇部材８３は、上述のように第１搬送部材８１から透明板Ｐを受け取った後、筐体７０ｈに対して上昇部材８３の本体が上昇することで透明板Ｐを上昇させ、その透明板Ｐを第２搬送部材８８に受け渡し、その後、下降して次の透明板Ｐを第１搬送部材８１から受け取るよう動作を行う。

上記第２搬送部材８８は、上述のように上昇部材８３が上昇させた透明板Ｐを受け取り、検査部７２の撮像領域まで透明板Ｐを搬送する。この第２搬送部材８８は、図９（Ｂ）に示すように上昇部材８３が上昇させた透明板Ｐの端縁の上部に接触して透明板Ｐを支持することで透明板Ｐを受け取る支持部８９を有している。なお、第２搬送部材８８が透明板Ｐを上昇部材８３から受け渡される際には、吸引部８４によって透明板Ｐが吸引されている。この支持部８９は、搬送方向Ｘと直交する方向の外側から内側に向けて突出、つまりは側方から透明板Ｐ側に向けて突出した複数のピンから構成されている。この支持部８９は、透明板Ｐの両側において対向するよう複数対（図示例では二対）配設され、対向するピン同士は互いに接近及び離反可能に設けられている。この支持部８９は、先端が先細りの円錐形状をなし、この円錐形状の周面８９ａが透明板Ｐの端縁の下部に接触する。

この第２搬送部材８８は、図９（Ａ）及び（Ｂ）に示すように透明板Ｐの端縁に接触して上記透明板Ｐを両側から挟み込む複数対（図示例では二対）の把持部９０を備えている。この把持部９０は、上昇した透明板Ｐの端縁に離間及び接触可能に動作すると共に搬送方向Ｘに移動可能に設けられている。この把持部９０は、上昇部材８３によって上昇された透明板Ｐを把持し、その後搬送方向Ｘに搬送する。具体的には、把持部９０は、上述のように上昇部材８３が上昇する際には透明板Ｐから離間しており、上昇部材８３によって上昇させられた後、第２搬送部材８８の支持部８９と吸引部８４で透明板Ｐが保持された後、透明板Ｐの端縁に接近して挟み込むことで透明板Ｐを把持する。そして、その後把持部９０は、この把持した透明板Ｐを搬送方向に搬送すべく搬送方向に移動する。なお、把持部９０は、少なくとも表面が弾性部材から構成することが好ましく、例えばゴムやシリコンによって構成することができる。

なお、上記支持部８９も、把持部９０と同様に搬送方向Ｘに移動可能に設けられ、換言すれば支持部８９は上昇部材８３との透明板Ｐの受渡し位置から搬送方向Ｘに逃げることができるよう設けられている。そして、上記支持部８９は、把持部９０による透明板Ｐの把持の後、上昇部材８３との透明板Ｐの受渡し位置から逃げるよう把持部９０と共に搬送方向Ｘに沿って移動し、その後、上昇部材８３は下降して、第１搬送部材８１によって搬送される次の透明板Ｐを受け取る。

なお、図示例では、第２搬送部材８８が、一組の支持部８９及び把持部９０を有するものについて説明したが、複数組（例えば二組）の支持部８９及び把持部９０を設けることが可能である。つまり、一組の支持部８９及び把持部９０によって上述のように上昇部材８３からの透明板Ｐの受け取り動作を行っている際に他の組の把持部９０が他の動作（例えば検査部７２の撮像領域への搬送動作）を行うよう設けることが可能である。このように複数組の支持部８９及び把持部９０を設ける場合、上記把持部９０による透明板Ｐの把持する上下高さが一定であることが好ましく、これにより上昇部材８３からの受渡し動作及び検査部７２による撮像が一定の上下高さで行うことができる。なお、複数組の把持部９０の上下高さを一定とするには、例えば把持部９０を搬送方向に移動させるためのレールを各組で異なる高さで配設し、このレールを走行する走行体における各把持部９０の配設高さを異ならしめることで、各組の把持部９０の上下高さを一定とすることができる。また、この走行体の形状を搬送方向で重ならないよう設けることで、各把持部９０の搬送方向の走行に際して互いに邪魔とならない。

＜利点＞
当該透明板清掃検査システム１によれば、第１清掃装置１０Ａ、第２清掃装置１０Ｂ及び異物除去装置５０によって清掃された透明板Ｐを当該透明板検査装置７０によって検査することができる。また、当該透明板清掃検査システム１は、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂの繊維製の清掃布に基づいて透明板Ｐに繊維等の異物が付着しても異物除去装置５０によって上記異物を的確に除去することかできるため、上記透明板検査装置７０において上記異物によって透明板Ｐの欠陥と判断されるおそれが少ない。

さらに、当該透明板検査装置７０による検査では、透明板検査装置７０の筐体７０ｈの内部は、加圧機構によって内圧が高められているので、筐体７０ｈの外部から内部に空気が流入しにくい。このため、筐体７０ｈの外部から内部への異物の侵入を的確に阻止でき、これにより筐体７０ｈの内部において透明板Ｐに異物が付着することが的確に阻止され、正確な検査を行うことが可能となる。

また、この加圧機構は、上記筐体７０ｈの外部の空気を筐体７０ｈの内部に送り込む送入機構と、この送入機構によって送られる空気に含まれる異物の上記筐体７０ｈの内部への侵入を遮断するフィルタとを有しているので、送入機構によって送り込まれる空気によって筐体７０ｈの内圧を高めることができ、またこの送り込まれる空気の異物はフィルタによって筐体７０ｈの内部への侵入が阻止できるので、送入機構による筐体７０ｈの内部への異物の侵入を阻止でき、このため正確な検査を行うことが可能となる。

さらに、加圧機構は、筐体７０ｈの上部に設置され、下方に向けて空気が送入されることで、筐体７０ｈの内圧を高めることができると共に、仮に筐体７０ｈの内部に異物が侵入していたとしてもその異物は下方に流され、搬入口７６又は搬出口７７から排出されやすく、正確な検査を行いやすい。

また、当該透明板検査装置７０の搬送機構８０は、透明板Ｐの端縁に接触し、透明板Ｐの清掃面（第１面及び第２面）に接触しない状態で透明板Ｐを搬送できるので、搬送機構８０によって透明板Ｐの清掃面へ汚れ又は異物が付着することを的確に阻止でき、正確な検査を行うことが可能となる。

特に、上記搬送機構８０は、透明板Ｐを検査部７２の撮像領域に搬送する第２搬送部材８８が透明板Ｐの端縁を両側から把持する把持部９０を有するので、検査部７２の撮像領域で透明板Ｐの上面側及び下面側の他の部材が検査部７２の撮像の邪魔とならず、種々の撮像を行うことが可能となり、検査精度の向上を図ることができる。

また、上記搬送機構８０は、第２搬送部材８８の上流側で透明板Ｐを搬送する第１搬送部材８１を有し、つまり撮像領域の搬送と搬入側の搬送とを独立して行うことができるので、第１搬送部材８１及び第２搬送部材８８の設計の自由度が高く、当該透明板検査装置７０のコスト増大を抑制しつつ処理速度を高めることができる。

さらに、第１搬送機構８０として、透明板Ｐとの接触面が互いに対向する側に傾斜する一対の検査用ベルトコンベア８１ｃを用いているので、各ベルトコンベア８１ｃの接触面が透明板Ｐの端縁の下部と接触し、透明板Ｐの清掃面に接触しない状態で透明板Ｐを円滑に搬送することができる。

また、上記搬送機構８０は、第１搬送部材８１から第２搬送部材８８に透明板Ｐを移送するための上昇部材８３を有しているので、第１搬送部材８１から第２搬送部材８８への透明板Ｐの移送が好適かつ迅速に行うことができる。

特に、この上昇部材８３は、第１搬送部材８１と端縁の下部が接触した状態で搬送された透明板Ｐの上面を吸引する吸引部８４、及びこの吸引部８４に吸引される透明板Ｐの端縁の上部にテーパ面８５ａが接触することで透明板Ｐを保持する複数の位置決め部８５を備えているので、吸引部８４による上面の吸引によって第１搬送部材８１から透明板Ｐを容易かつ確実に受け取ることができる。

さらに、当該透明板清掃検査システム１は、第１清掃装置１０Ａによって透明板Ｐの第１面が清掃され、第１面が清掃された後の透明板Ｐが反転装置３０によって反転され、この反転された透明板Ｐの第２面が第２清掃装置１０Ｂによって清掃されるため、人が介在することなく透明板Ｐの両面を清掃できる。

また、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、それぞれ搬送機構１１によって透明板Ｐを搬送しつつ、この透明板Ｐの清掃面を一枚の長尺状の清掃布Ｃの一方の面によって複数回清掃でき、このため、複数の清掃箇所において所望の清掃を行うことができ、透明板Ｐの両面を確実に清掃することができる。また、複数の清掃箇所において清掃布Ｃを反転させることなく清掃布Ｃの一方の面によって清掃面を清掃するので、従来の端子部の清掃装置のように反転手段を設ける必要がないので、コスト高及びメンテンナンスの複雑性を抑制することができる。

また、清掃布Ｃは、上述のように一枚の清掃布Ｃの一方の面で複数回清掃面を清掃し、かつ清掃布Ｃは搬送方向Ｘと逆方向に送られるので、搬送方向Ｘの下流側（清掃布送給方向上流側）において未使用（未接触）の清掃布Ｃによって透明板Ｐを清掃し、搬送方向Ｘの上流側（清掃布送給方向下流側）において使用後（接触済）の清掃布Ｃによって透明板Ｐを清掃できる。このため、清掃布Ｃの各部分を複数回の清掃に用いることができると共に、搬送方向Ｘにつれて汚れの少ない状態の清掃布Ｃで透明板Ｐを清掃することができる。

また、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、清掃布Ｃに洗浄液を供給する洗浄液供給機構を備えているので、洗浄液を含有する清掃布Ｃによって透明板Ｐの清掃面を好適に清掃することができる。

さらに、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃのテンションを調整するテンションローラを具備するので、各押圧ヘッド１３において清掃布Ｃに十分なテンションを与えることができ、より確実な清掃を行うことができる。

上記洗浄液供給機構２８は、押圧ヘッド１３の清掃布供給方向上流側の清掃布Ｃにも筋が残らない程度に微量な洗浄液を供給しているので、完全に乾燥した清掃布Ｃによるよりも若干洗浄液が含浸されている清掃布Ｃによって清掃することで、より綺麗に清掃面を清掃することができ、より確実な清掃が可能となる。

また、第１押圧パッド１４及び第２押圧パッド１５が、清掃時において上記透明板Ｐの搬送方向Ｘの直交方向かつ上記清掃面の平面方向に往復動するので、清掃布Ｃが第１押圧パッド１４及び第２押圧パッド１５によって透明板Ｐの清掃面に押圧され、透明板Ｐの清掃面に接触された清掃布Ｃが搬送方向Ｘの直交方向に移動するため、清掃布Ｃによって清掃面をより確実に清掃することができる。

また、当該透明板清掃検査システム１は、上述のように第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に付着する異物を除去可能な異物除去装置５０を備えているので、仮に上記清掃段階で透明板Ｐに繊維製の清掃布Ｃ等が起因する異物が付着した場合や装置内で生じる微少な異物が付着したとしても、異物除去装置５０によって異物を的確に除去することかできる。

上記異物除去装置５０は、粘着ローラ５１の粘着面に付着する異物を除去可能な粘着テープ５３を備えているので、粘着ローラ５１の粘着面から付着した異物を粘着テープ５３によって除去することができ、これにより粘着ローラ５１の粘着面の粘着力が回復し、当該異物除去装置５０を長期間好適な状態で運転することができる。

また、異物除去装置５０は、粘着テープ５３を送る粘着テープ送給機構５４を有し、この粘着テープ送給機構５４は、間欠的に粘着テープ５３を粘着ローラ５１に接触させるよう設けられているので、粘着テープの使用量を低減することができる。

［その他の実施形態］
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更（構成の置換、付加及び削除）が含まれることが意図される。

つまり、上記実施形態においては、当該透明板検査装置が第１清掃装置、反転装置、第２清掃装置及び異物除去装置を具備する透明板清掃検査システムに用いられるものについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、当該透明板検査装置が単独で用いられるものも本発明の意図する範囲内である。また、本発明は、透明板検査装置と異物除去装置のみのシステムや、清掃装置と透明板検査装置を備えたシステムであってもよい。

また、上記実施形態においては、第２清掃装置の筐体の搬出口と異物除去装置の筐体の搬入口とを気密に接続しているものについて説明したが、第２清掃装置と異物除去装置との間に別途ローダを配置することも可能であり、さらには当該透明板検査装置の上流にローダを配置することも可能である。さらに、透明板検査装置の下流側にラミネート装置を配置し、検査終了後の透明板の両面に保護フィルムを貼着することも可能である。

上記実施形態では、筐体の上部に２つの異物付着阻止機構が設けられた透明板検査装置について説明したが、これに限らず、筐体の上部に１つ又は３つ以上の異物付着阻止機構が設けられた透明板検査装置であってもよい。

さらに、上記実施形態では、異物付着阻止機構として筐体の内圧を高める加圧機構を設けるものについて説明したが、本発明は必ずしもこれに限定されるものではない。例えば異物付着阻止機構として、筐体の内部に設けられ、搬入口から上記筐体の外部に空気を排出する送出機構を採用することも可能である。具体的には、送出機構は、搬入口付近の内部に設置された送風機を有し、この送風機によって筐体の内部の空気を搬入口を介して外部に排出するよう設けることができる。さらに、上述のような送出機構を排出口側にも設けることも可能である。また、上記送出機構を設けた場合、筐体に空気取入口を設け、この空気取入口にエアフィルタを付設し、エアフィルタを介して筐体の内部に空気が取り込まれるよう設けることもできる。さらには、異物付着阻止機構として、上記加圧機構と共に上記送出機構を設けることも可能である。

さらに、当該透明板検査装置の搬送機構は、上記実施形態のものに限定されるものではない。但し、この搬送機構は、透明板の清掃面に接触せずに端縁に接触することで透明板を保持することが好ましく、これにより搬送機構によって透明板の清掃面に異物が付着することを抑制できる。

上記の実施形態では、透明板検査装置では、異物除去機構から受け取って検査部に搬送する場合のみベルトコンベアを用いたが、検査を終了した後に透明板検査装置外に排出する際にも同様の構成を用いて排出するようにしてもよい。

上記の実施形態では、透明板検査装置では、カメラなどを用いて透明板Ｐの表面を検査したが、本発明はこれに限らず、他の検査方法であってもよい。

上記の実施形態では、透明板検査装置は、４つのカメラなどを用いて透明板Ｐの表面を検査したが、本発明はこれに限らず、３つ以下又は５つ以上のカメラを用いて検査してもよい。

上記実施形態の異物除去装置では、間欠的に粘着ローラの表面の異物を粘着テープで除去したが、これに限らず、常に粘着ローラの表面の異物を除去する構成であってもよい。

上記の実施形態では、清掃装置では清掃布を用いて清掃する構成を採用したが、これに限らず、ブラシなど他の清掃方法を採用した構成であってもよい。

上記の実施形態では、２つの清掃装置と反転装置とを備えた構成を採用したが、これに限らず、両面を同時に清掃できる構成を採用してもよい。

本発明の清掃装置及び透明板清掃検査システムは、携帯機器の表示装置に用いられるガラス基板等の透明板の清掃に好適に利用できる。

１０Ａ 第１清掃装置
１０Ｂ 第２清掃装置
３０ 反転装置
５０ 異物除去装置
７０ 透明板検査装置
７０ｈ 筐体
７２ 検査部
７５ 異物付着阻止機構
８０ 搬送機構
８１ 第１搬送部材
８３ 上昇部材
８４ 吸引部
８５ 保持部
８５ａ テーパ面
８８ 第２搬送部材
８９ 支持部
９０ 把持部
Ｐ 透明板
Ｘ 透明板の搬送方向

Claims (13)

1. 透明板を検査する透明板検査装置であって、
   上記透明板の搬入口及び搬出口を有する筐体、
   上記搬入口から上記搬出口まで上記透明板を搬送する搬送機構、
   上記搬送機構によって搬送される上記透明板を検査する検査部、及び
   上記筐体の内部で異物が上記透明板に付着するのを阻止する異物付着阻止機構
   を備え、
   上記搬送機構が、
   上記透明板の端縁に接触しつつ搬送する第１搬送部材と、
   上記第１搬送部材によって搬送された上記透明板を上記透明板の端縁に接触しつつ受け取ると共に上昇させる上昇部材と、
   上記上昇部材によって上昇された上記透明板を上記透明板の端縁に接触しつつ受け取ると共に上記検査部の検査領域に搬送する第２搬送部材と
   を備え、
   上記第２搬送部材が、
   先端が先細りの円錐形状をなし、上記上昇部材が上昇させた上記透明板の端縁の上部に接触して上記透明板を支持する支持部と、
   上記透明板の端縁に接触して上記透明板を両側から挟み込み、搬送方向に移動可能に設けられた少なくとも一対の把持部と
   を有することを特徴とする透明板検査装置。
2. 上記異物付着阻止機構が外気圧よりも上記筐体の内圧を高める加圧機構を有する請求項１に記載の透明板検査装置。
3. 上記加圧機構が、上記筐体の外部の空気を上記筐体の内部に送り込む送入機構と、上記送入機構によって送られる空気に含まれる異物の上記筐体の内部への侵入を遮断するフィルタとを有する請求項２に記載の透明板検査装置。
4. 上記加圧機構の上記送入機構は、上記搬送機構によって搬送される上記透明板上に付着した異物を流すように空気を上記透明板上に供給する請求項３に記載の透明板検査装置。
5. 上記加圧機構が、上記筐体の上部に設置されている請求項２、請求項３又は請求項４に記載の透明板検査装置。
6. 上記異物付着阻止機構が、上記筐体の内部に設けられ、上記搬入口及び／又は上記搬出口から上記筐体の外部に空気を排出する送出機構を有する請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の透明板検査装置。
7. 上記搬送機構が、上記透明板の表面及び裏面に接することなく透明板を搬送する請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の透明板検査装置。
8. 上記上昇部材が、上記第１搬送部材から搬送された上記透明板の上面を吸引する吸引部と、上記吸引部に吸引される上記透明板の上端縁に接触することで上記透明板の高さ位置を位置決めする複数の位置決め部とを備え、
   上記複数の位置決め部が、上記吸引部と上記透明板の上面との接触を阻止するよう上記透明板の端縁に接触するテーパ面を有する請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の透明板検査装置。
9. 上記搬送機構が、上記透明板の端縁に上面が接触する一対のベルトコンベアを有し、この一対の上記ベルトコンベアの上記透明板と接触する上面が互いに対向する側に傾斜している請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の透明板検査装置。
10. 上記透明板に付着した異物を除去する異物除去機構と、
    上記異物除去機構によって異物が除去された上記透明板を検査する請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の透明板検査装置とを備える
    透明板清掃検査システム。
11. 上記透明板の表面及び／又は裏面を清掃する清掃装置をさらに備えた請求項１０に記載の透明板清掃検査システム。
12. 上記透明板の表面及び／又は裏面を清掃する清掃装置と、
    上記清掃装置によって清掃された上記透明板を検査する請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の透明板検査装置とを備える
    透明板清掃検査システム。
13. 上記透明板の第１面を清掃する第１清掃装置と、
    この第１清掃装置から搬出された上記透明板を反転させる反転装置と、
    上記反転装置によって反転された上記透明板を搬送しつつ上記透明板の第２面を清掃する第２清掃装置と、
    上記第１清掃装置及び上記第２清掃装置によって両面が清掃された上記透明板を検査する請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の透明板検査装置とを備える
    透明板清掃検査システム。
    

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