JP2016140851A - 透明板検査装置及び透明板清掃検査システム - Google Patents

透明板検査装置及び透明板清掃検査システム Download PDF

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Abstract

【課題】本発明は、透明板に異物が付着しにくい状態で透明板を検査でき、正確な検査を行うことができる透明板検査装置を提供することを課題とする。【解決手段】本発明は、透明板を検査する透明板検査装置であって、上記透明板の搬入口及び搬出口を有する筐体、上記搬入口から上記搬出口まで上記透明板を搬送する搬送機構、上記搬送機構によって搬送される上記透明板を検査する検査部、及び上記筐体の内部で異物が上記透明板に付着するのを阻止する異物付着阻止機構を備えることを特徴とする。上記異物付着阻止機構は、外気圧よりも上記筐体の内圧を高める加圧機構を有するとよい。上記加圧機構は、上記筐体の外部の空気を上記筐体の内部に送り込む送入機構と、上記送入機構によって送られる空気に含まれる異物の上記筐体の内部への侵入を遮断するフィルタとを有するとよい。上記加圧機構が、上記筐体の上部に設置されているとよい。【選択図】図6

Description

本発明は、透明板検査装置及び透明板清掃検査システムに関する。
携帯電話やスマートフォン等には、ガラス基板が用いられている。ガラス基板は、ガラス基板の製造装置によって製造される。ガラス基板を製造する際には、ガラス基板の表面に切削により生ずるガラス粉等が付着する場合がある。また、ガラス基板の搬送中にも埃等が付着するおそれがある。これらのガラス粉や埃等を取り除くためにはガラス基板の表面を清掃する必要がある。このようなガラス基板の表面を清掃する装置としては、ベルトコンベア上に敷いた清浄な布の上に透明板を載置して、アルコールを含んだ布で透明板の上面全体の汚れを払拭する清掃装置が提案されている(中国特許出願公開第102698988号)。このように清掃されたガラス基板は、表面に傷や欠けが無く異物が付着していないかを検査装置によって検査される場合がある。
中国特許出願公開第102698988号公報
しかしながら、ガラス基板を清掃した後に検査装置に搬送する際に、ガラス基板に異物が付着する可能性がある。また、検査装置内部では、ガラス基板の搬送機構や検査機構などが作動している為、それらの機構に用いられる部材が擦れ合うため、非常に微少な異物が検査装置内部でガラス基板に異物が付着してしまう可能性がある。このような場合に、ガラス基板に付着したこのような異物のみが原因でガラス基板が不良品と判定されてしまい、不良品率が上昇するおそれがある。
そこで、本発明は、透明板に異物が付着しにくい状態で透明板を検査でき、正確な検査を行うことができる透明板検査装置及び透明板清掃検査システムを提供することを課題とする。
上記課題を解決するためになされた発明は、
透明板を検査する透明板検査装置であって、
上記透明板の搬入口及び搬出口を有する筐体、
上記搬入口から上記搬出口まで上記透明板を搬送する搬送機構、
上記搬送機構によって搬送される上記透明板を検査する検査部、及び
上記筐体の内部で異物が上記透明板に付着するのを阻止する異物付着阻止機構
を備えることを特徴とする。
当該透明板検査装置にあっては、上記搬送機構によって筐体の内部で搬送される透明板が検査部によって検査される。この検査に際して、筐体の内部は、異物付着阻止機構によって透明板に異物が付着することが的確に阻止されるため、正確な検査を行うことが可能となる。
上記異物付着阻止機構は、上記筐体の内圧を高める加圧機構を有するとよい。これにより、加圧機構が筐体の内圧を高めるので、筐体の外部から内部に空気が流入しにくく、筐体の外部から内部への異物の侵入を的確に阻止でき、筐体内で異物が透明板に付着することを的確に防止できる。
上記加圧機構は、上記筐体の外部の空気を上記筐体の内部に送り込む送入機構と、上記送入機構によって送られる空気に含まれる異物の上記筐体の内部への侵入を遮断するフィルタとを有するとよい。これにより、送入機構によって送り込まれる空気によって筐体の内圧を高めることができ、またこの送り込まれる空気の異物はフィルタによって筐体の内部への侵入が阻止できるので、送入機構による筐体の内部への異物の侵入を阻止できる。
上記加圧機構の上記送入機構は、上記搬送機構によって搬送される上記透明板上に付着した異物を流すように空気を上記透明板上に供給するとよい。送入機構によって透明板上に空気を供給することで、透明板への異物の付着を阻止できる。
上記加圧機構は、上記筐体の上部に設置されているとよい。これにより、筐体の上部に設置された加圧機構によって、筐体の内部つまりは下方に向けて加圧することで、筐体の内圧を高めることができる。
上記異物付着阻止機構が、上記筐体の内部に設けられ、上記搬入口及び/又は上記排出口から上記筐体の外部に空気を排出する送出機構を有するとよい。これにより、送出機構が搬入口付近において筐体の内部から外部に向かう風をおこすことで、搬入口から異物が侵入することを的確に阻止できる。
上記搬送機構は、上記透明板の表面及び裏面に接することなく透明板を搬送するとよい。このように搬送機構が透明板の表面に接触しない状態で透明板を搬送することで、搬送機構によって透明板の表面及び裏面へ汚れ又は異物が付着することを的確に阻止でき、正確な検査を行うことが可能となる。この搬送機構は、上記透明板の端縁に接触することで透明板を保持するとよい。これにより、搬送機構が透明板の表面及び裏面に接触しない状態で透明板を搬送し、搬送機構による透明板の表面及び裏面へ汚れ又は異物が付着することを的確に阻止できる。
上記搬送機構は、上記透明板の端縁に接触しつつ搬送する第1搬送部材と、上記第1搬送部材によって搬送された上記透明板を上記透明板の端縁に接触しつつ受け取ると共に上昇させる上昇部材と、上記上昇部材によって上昇された上記透明板を上記透明板の端縁に接触しつつ受け取ると共に上記検査部の検査領域に搬送する第2搬送部材とを備えることが好ましい。
これにより、透明板を第1搬送部材によって搬送し、この第1搬送部材によって搬送された透明板を上昇部材に受渡し、上昇部材によって保持された透明板を上昇させ、この上昇された透明板を上昇部材から第2搬送部材によって受渡し、この第2搬送部材によって搬送される透明板を検査部によって検査できる。第1搬送部材、上昇部材及び第2搬送部材は、上述のように透明板の端縁に接触するものであり、透明板の表面及び裏面に接触しない状態で透明板を保持できるので、第1搬送部材、上昇部材及び第2搬送部材によって透明板の表面及び裏面へ汚れ又は異物が付着することを的確に阻止できる。また、検査部の検査領域では、第2搬送部材によって端縁と接触されることで保持される透明板が搬送されるので、透明板の上面側及び下面側の他の部材が検査部の検査の邪魔とならず、種々の検査を行うことが可能となり、検査精度の向上を図ることができる。
上記上昇部材は、上記第1搬送部材から搬送された上記透明板の上面を吸引する吸引部と、上記吸引部に吸引される上記透明板の上端縁に接触することで上記透明板の高さ位置を位置決めする複数の位置決め部とを備え、上記複数の位置決め部が、上記吸引部と上記透明板の上面との接触を阻止するよう上記透明板の端縁に接触するテーパ面を有するとよい。これにより、第1搬送部材から搬送された透明板は、吸引部によって上面が吸引されることで、端縁が複数の保持部のテーパ面と接触し、この複数の保持部のテーパ面と端縁との接触によって的確に保持される。
上記搬送機構は、上記透明板の端縁に接触する一対のベルトコンベアを有し、この一対の上記ベルトコンベアの上記透明板との接触面が互いに対向する側に傾斜しているとよい。これにより、互いに対向する側に傾斜する一対のベルトコンベアの接触面に、透明板の端縁を接触させた状態で透明板を載置でき、透明板の表面及び裏面に接することなく、透明板を搬送することができる。
上記搬送機構は、上記透明板の端縁に接触して上記透明板を両側から挟み込む少なくとも一対の把持部を備えるとよい。これにより、一対の把持部と透明板の端縁とを接触させて、一対の把持部によって透明板を両側から挟み込むことで、透明板の表面及び裏面に接することなく透明板を搬送することができる。
上記課題を解決するためになされた別の発明は、
上記透明板に付着した異物を除去する異物除去機構と、
上記異物除去機構によって異物が除去された上記透明板を検査する上記構成からなる当該透明板検査装置とを備える
透明板清掃検査システムである。
当該透明板清掃検査システムは、異物除去機構によって異物が除去された透明板を当該透明板検査装置によって検査することができるので、正確な検査を行うことができる。
このような当該透明板清掃検査システムにあっては、上記透明板の表面及び/又は裏面を清掃する清掃装置をさらに備えるとよい。これにより、清掃装置によって表面及び/又は裏面が清掃された透明板を当該透明板検査装置によって検査することができるので、正確な検査を行うことができる。
上記課題を解決するためになされた別の発明は、
上記透明板の表面及び/又は裏面を清掃する清掃装置と、
上記清掃装置によって清掃された上記透明板を検査する上記構成からなる当該透明板検査装置とを備える
透明板清掃検査システムである。
このような当該透明板清掃検査システムは、上記清掃装置によって表面及び/又は裏面が清掃された透明板を当該透明板検査装置によって検査することができるので、正確な検査を行うことができる。
上記課題を解決するためになされた別の発明は、
上記透明板の第1面を清掃する第1清掃装置と、
この第1清掃装置から搬出された上記透明板を反転させる反転装置と、
上記反転装置によって反転された上記透明板を搬送しつつ上記透明板の第2面を清掃する第2清掃装置と、
上記第1清掃装置及び上記第2清掃装置によって両面が清掃された上記透明板を検査する上記構成からなる当該透明板検査装置とを備える
透明板清掃検査システムである。
当該透明板清掃検査システムは、第1清掃装置により第1面が清掃された透明板を反転しつつ第2清掃装置に移送することで、透明板の両面を効率的に清掃でき、このように両面が清掃された透明板を当該透明板検査装置によって検査することができる。
なお、透明板の「表面」及び「裏面」とは、透明板の平面部であって互いに対向する面を意味する。透明板の「端縁」とは、透明板の周縁を意味し、「端縁」には、透明板の平面部と周縁との境界部分を含む。透明板の「上面」とは、表面及び裏面のうち、搬送状態において上方を向く面を意味する。「第1面」とは、表面及び裏面のうち一方の面を意味し、「第2面」とは、表面及び裏面のうち他方の面を意味し、第1面の反対側の面を意味する。
本発明の透明板検査装置及び透明板清掃検査システムは、透明板に異物が付着しにくい状態で透明板を検査でき、正確な検査を行うことができる。
本発明の一実施形態の透明板清掃検査システムを示す模式的側面図である。 図1の透明板清掃検査システムの第1清掃装置の模式的側面図である。 図2の第1清掃装置の押圧ヘッドの模式的側面図である。 図1の透明板清掃検査システムの反転装置を示す模式的平面図である。 図4の反転装置の模式的側面図である。 図1の透明板清掃検査システムの透明板検査装置の模式的側面図である。 図6の透明板検査装置の搬送機構の第1搬送部材の説明図であり、(A)は模式的正面図であり、(B)は模式的平面図である。 図6の透明板検査装置の搬送機構の上昇部材の説明図であり、(A)は模式的背面図であり、(B)は模式的底面図であり、(C)は模式的側面図である。 図6の透明板検査装置の搬送機構の第2搬送部材の説明図であり、(A)は模式的底面図であり、(B)は模式的正面図である。
以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。先ず、図1から図9を参照しながら、本発明の第1実施形態の透明板検査装置を具備する透明板清掃検査システム1について説明する。
[第1実施形態]
図1の透明板清掃検査システム1は、例えばスマートフォンに用いられるカバーガラスやタッチパネル等の透明板Pを清掃し、検査するためのシステムである。より具体的には、本実施形態の透明板清掃検査システム1は、自動的に、透明板Pの両面(第1面p1及び第2面p2(清掃面))を清掃すると共に透明板Pに付着した異物を除去し、さらに傷や欠け等の透明板Pの欠陥を検査するシステムである。本実施形態においては、上記透明板のような薄板状物であり、清掃面はこの薄板状物の両面である。
当該透明板清掃検査システム1は、透明板Pを搬送しつつこの透明板Pの第1面p1を清掃する第1清掃装置10A、この第1清掃装置10Aから搬出された透明板Pを反転させる反転装置30、この反転装置30によって反転された透明板Pを搬送しつつこの透明板Pの第2面p2(第1面p1の反対面)を清掃する第2清掃装置10B、この第2清掃装置10Bから搬出された透明板Pの第1面p1及び第2面p2に付着する異物を除去可能な異物除去装置50、及び上記異物除去装置50から排出される透明板Pを検査する透明板検査装置70を備えている。なお、図1等に示すように、第1清掃装置10Aの透明板Pの搬送方向Xと、第2清掃装置10Bの透明板Pの搬送方向Xとは、同一方向である。ここで搬送方向Xは、第1清掃装置10Aから第2清掃装置10Bに向かう方向である。また、本実施形態の透明板清掃検査システム1は、第1清掃装置10Aに透明板Pを供給するローダ装置90を有している。
本実施形態の透明板清掃検査システム1は、各種装置の動作を制御等する制御装置(図示省略)をさらに備えている。
<清掃装置>
上記第1清掃装置10A及び上記第2清掃装置10Bは、一方向(搬送方向X)に透明板Pを搬送する搬送機構11、及びこの搬送機構11によって搬送される透明板Pの清掃面に長尺状の清掃布Cの一部を接触させて清掃面を清掃すべく清掃布を送給する送給機構25を備えている。具体的には、第1清掃装置10A及び第2清掃装置10B(図1参照)は、図2及び図3に示すように、透明板Pを搬送する搬送機構11、透明板Pに接する長尺状の清掃布C、清掃布Cを透明板Pに向けて押圧するための二つの押圧ヘッド13、清掃布Cを送る送給機構25(図1参照)、及び清掃布Cに洗浄液を供給する洗浄液供給機構28を有している。この搬送機構11、押圧ヘッド13、送給機構25及び洗浄液供給機構28は、上記制御装置によって動作が制御されている。なお、第1清掃装置10A及び第2清掃装置10Bは、後述するように一部の構成(例えば載置用長尺シート)において相違し、他の部分は同一構成を有している。また、第1清掃装置10A及び第2清掃装置10Bは、搬送機構11、清掃布C、押圧ヘッド13、送給機構25及び洗浄液供給機構28を内蔵する筐体10hを有している。この筐体10h(図1参照)は、透明板Pの搬入口及び搬出口(図示省略)を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられ、このため第1清掃装置10A及び第2清掃装置10Bにおける透明板Pの清掃が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Pに付着することが防止されている。なお、この筐体10hは、メンテナンス等のための開閉扉(図示省略)が設けられている。
(搬送機構)
搬送機構11は、清掃対象物である透明板Pを搬送方向Xに搬送する機構である。搬送機構11は薄板状物である透明板Pを透明板Pの平面方向に搬送し、具体的には、本実施形態においては、搬送機構11は、透明板Pを清掃面(第1面p1及び第2面p2)が上方を向いた状態で載置され、水平面に沿った方向のうちの1つの方向に搬送する機構である。なお、「平面方向に搬送する」とは、透明板Pの清掃面(上記第1面p1及び第2面p2)に沿った方向のうちの1つの方向に搬送することを意味する。
第1清掃装置10Aの搬送機構11は、透明板Pを載置、つまりは透明板Pの下側に位置する面(第2面p2(清掃対象である第1面p1の反対側の面))の全面が接した状態で透明板Pを搬送する。このように透明板Pは第2面全面が接した状態で搬送されることで、搬送機構11と清掃布Cとの間で全面的に挟持され、上方に位置する面(第1面p1)が清掃される。この第1清掃装置10Aの搬送機構11としては、例えばベルトコンベアから構成できる。
第2清掃装置10Bの搬送機構11は、透明板Pを載置、つまりは透明板Pの下側に位置する面(第1面p1(清掃対象である第2面p2の反対側の面))の全面が接した状態で透明板Pを搬送する。このように透明板Pは第1面p1が接した状態で搬送されることで、搬送機構11と清掃布Cとの間で全面的に挟み込まれ、第2面p2が清掃される。この第2清掃装置10Bの搬送機構11としては、例えば図1に示すようにベルトコンベアと、このベルトコンベア上に供給され、ベルトコンベアと同じ速度で移動する清浄な載置用長尺シート12とを有するものが採用できる。このように第2清掃装置10Bの搬送機構11が、載置用長尺シート12を有することで、第1面p1が第2清掃装置10B内で汚れることを防止できる。
上記ベルトコンベアについてさらに詳述する。ベルトコンベアは、搬送ベルト11a、搬送従動ローラ11b及び搬送駆動ローラ11cを備えている。搬送ベルト11aは無端状のベルト部材からなり、この搬送ベルト11aが搬送従動ローラ11b及び搬送駆動ローラ11cに架け渡されており、搬送駆動ローラ11cの回転に伴って搬送ベルト11aが循環すると共に搬送従動ローラ11bも回転する。なお、搬送駆動ローラ11bと搬送従動ローラ11cとの配設箇所を逆とすることも可能である。
また、第1清掃装置10Aの搬送機構11は、上記ローダ装置90から透明板Pを受け取り、清掃後に反転装置30に受け渡す第1受渡領域A1(図5参照)まで透明板Pを搬送する。また、第2清掃装置10Bの搬送機構11は、反転装置30から第2受渡領域A2(図5参照)において透明板Pを受け取り、透明板Pの排出領域まで透明板Pを搬送して排出する。
(清掃布)
清掃布Cは、清掃箇所において透明板Pに接触されながら動かされることで透明板Pの清掃面(上側に位置する面)を清掃する。清掃布Cは、清掃箇所において一方の面が透明板Pの清掃面に対面するよう供給され、上記押圧ヘッド13によって透明板Pの清掃面に押し付けられながら清掃面を拭き取ることで清掃面を清掃する。
この清掃布Cとしては、繊維製のものが用いられ、例えば織物が用いられる。この繊維としては、天然繊維、合成繊維等、種々のものが採用可能である。ここで、清掃布Cとして不織布を用いることもできる。不織布を用いる場合、不織布としては、乾式法、湿式法、メルトブロー法によってフリースが形成されるものを用いることができる。
(押圧ヘッド)
二つの上記押圧ヘッド13は、搬送方向Xに並べて配置されている。各押圧ヘッド13は、図2に示すように清掃布Cの一部を透明板Pに向けて押圧する第1清掃部材14、及び清掃布Cの第1清掃部材14よりも搬送方向Xの下流側の部分を透明板Pに向けて押圧する第2清掃部材15をそれぞれ備えている。つまり、本実施形態においては、第1清掃装置10A及び第2清掃装置10Bは、それぞれ清掃布Cと透明板Pとが接する清掃箇所が、透明板Pの搬送方向Xに並べて4箇所設けられている。なお、本実施形態においては、二つの押圧ヘッド13は同一構成を有している。この第1清掃部材14及び第2清掃部材15は、例えばシリコン等の弾性部材で形成されたパッドから構成される。
各押圧ヘッド13は、第1清掃部材14及び第2清掃部材15それぞれを清掃面の平面上であって、且つ搬送方向Xの直交方向に往復動させる清掃部材駆動機構(図示省略)を有している。なお、「清掃面の平面上であって、且つ搬送方向Xの直交方向」とは、第1清掃部材14及び第2清掃部材15が清掃布Cを透明板Pの清掃面に接触させることのできる平面内における搬送方向Xの直交方向であることを意味し、具体的には清掃面と平行な面上であり且つ搬送方向Xの直交方向を意味する。
(送給機構)
図1を参照して清掃布Cの送給機構25について説明する。上記清掃布Cは、上述のように送給機構25によって送られる。ここで、送給機構25は、主動ローラ25a及び従動ローラ25bを有している。清掃布Cは、この主動ローラ25a及び従動ローラ25bに架け渡され、主動ローラ25aの回転によって透明板Pの清掃後の清掃布Cの部分は主動ローラ25aに巻き取られる。このとき、従動ローラ25bから未使用の清掃布Cが繰り出される。
送給機構25は、透明板Pの搬送方向Xと逆方向に清掃布Cを送るよう設けられている(図2参照)。つまり、清掃布Cは、送給機構25によって、清掃箇所(透明板Pと接する箇所)において清掃布Cが搬送方向Xの逆方向(図2のY方向)に送られる。
また、送給機構25は、二つの上記押圧ヘッド13の間に位置する清掃布Cの一部を、透明板Pから離間させるようにガイドしている。具体的には、送給機構25は、二つの押圧ヘッド13間においてベルトコンベアの上方に配されたローラ26を有している。この送給機構25では、このテンションローラ26に二つの押圧ヘッド13間の清掃布Cが架け渡されていることで二つの押圧ヘッド13間の清掃布Cが透明板Pから離間されている。
(洗浄液供給機構)
上記清掃布Cには、上述のように洗浄液供給機構28によって洗浄液が供給される。このため、洗浄液が含浸された清掃布Cによって透明板Pが清掃される。本実施形態において洗浄液供給機構28は、搬送方向Xにおいて第1清掃部材14及び第2清掃部材15間に位置する清掃布Cの一部にそれぞれ洗浄液を供給すると共に、後述するように押圧ヘッド13よりも搬送方向Xの下流側に位置する清掃布Cの一部にも洗浄液を供給している。
洗浄液供給機構28は、図3に示すように第1清掃部材14と第2清掃部材15との間に設けられた供給ノズル28bを有している。供給ノズル28bは図示しない洗浄液貯蔵タンクに接続されている。供給ノズル28bは、上方に向かって洗浄液を供給する。供給ノズル28bから供給された洗浄液は、清掃布Cに含浸して透明板Pの清掃面に到達する。供給ノズル28bから供給される洗浄液の量は、透明板Pに付着した汚れを分解可能であり、且つ押圧パッド15により清掃布Cの一部が押圧されて拭き取り動作が行われたとしても筋が残らないように調整されている。供給ノズル28bは、先細形状となっている。本実施形態では、上述のような構成となっているが、清掃布Cの上方から下方に向かって洗浄液を供給する構成を採用することもできる。
上記洗浄液としては、特に限定されるものではないが、アルコールが好適に用いられ、中でもエタノールが特に好適に用いられる。
また、当該透明板清掃検査システム1は、洗浄液供給機構28として、搬送方向Xの下流側の押圧ヘッド13の清掃布Cの供給方向の上流側の清掃布Cの一部に洗浄液を供給する洗浄液供給部28aをさらに有している(図1参照)。
<反転装置>
図1、図4及び図5を参照して反転装置30について説明する。反転装置30は、上述のように第1清掃装置10Aから搬出された透明板Pを反転させて、第2清掃装置10Bに供給する装置である。具体的には、第1清掃装置10A(図1参照)から順次第1受渡領域A1に供給される透明板Pを、第2受渡領域A2において第2清掃装置10B(図1参照)に受け渡している。
この反転装置30は、第1受渡領域A1において透明板Pの第2面p2を吸着し、第2受渡領域A2において上記透明板Pを解放する保持部(吸着部32)と、この保持部(吸着部32)が一端側に付設されているアーム33と、このアーム33の他端側を支持する回転部35とを備えている。なお、反転装置30は、上記吸着部32、アーム33及び回転部35等を内蔵する筐体30h(図1参照)を有している。
さらに、反転装置30は、第1受渡領域A1に配設された仮受部材31と、回転部35に対して上記アーム33を上記吸着部32の吸引方向に突出又は後退する突出機構34とを備える。反転装置30は、第1受渡領域A1において一つの透明板Pを下側から支持する仮受部材31を備えている。具体的には、仮受部材31は、第1受渡領域A1において第1清掃装置10A(図1参照)から排出された透明板Pの第2面p2を一時的に支持する。吸着部32は、仮受部材31に支持されている透明板Pの第2面p2を吸着する。アーム33は伸縮可能である。具体的には、アーム33は、吸着部32が一端側に付設されており、回転部35に支持される上記他端から吸着部32が付設される上記一端に向かう方向に伸縮可能である。突出機構34は、回転部35とアーム33との間に設けられ、上述のように回転部35に対してアーム33を吸着部32の吸引方向に突出又は後退する機構である。具体的には、突出機構34は、アーム33の上記他端側を支持するエアシリンダからなる。回転部35は、突出機構34が固定され、これにより上述のようにアーム33を支持している。回転部35は、吸着部32に吸着される透明板Pと平行な平面上に位置する回転軸を中心に回転可能である。具体的には、この回転軸は、水平方向(透明板Pを搬送する方向に垂直な方向)であり、また吸着部32の吸引する方向に垂直な方向に設けられている。反転装置30は、複数の上記吸着部32、上記アーム33及び上記突出機構34を備えており、これら複数の上記吸着部32、上記アーム33及び上記突出機構34はそれぞれ対をなし、一対の上記吸着部32、上記アーム33及び上記突出機構34は、それぞれ回転部35の回転軸を中心に略回転対称に配設されている。なお、「略回転対称」とは、完全に回転対称である場合のみならず、第1受渡領域A1における一の透明板Pの吸着と第2受渡領域A2における他の透明板Pの解放とを同時に行うことができる程度に配置されている場合を含むものである。
<異物除去装置>
図1を参照して異物除去装置50について説明する。異物除去装置50は、上述のように第2清掃装置10Bから搬出された透明板Pの第1面p1及び第2面p2に付着する異物を除去するための装置である。当該透明板清掃検査システム1では、繊維製の清掃布C等に起因する異物が透明板Pに付着していた場合及び装置内で生じた異物が付着した場合であっても上記異物除去装置50によって除去することができる。
この異物除去装置50は、透明板Pの第1面p1及び第2面p2に接触する粘着面51aを有する粘着ローラ51(粘着部材)と、この粘着ローラ51の粘着面51aに付着する異物を除去可能な粘着力回復機構52を備えている。本実施形態において、異物除去装置50は、透明板Pを挟んで互いに対向する二つの粘着ローラ51を備えている。具体的には、異物除去装置50は、透明板Pを挟んで上下に対向する一対の粘着ローラ51を備え、この粘着ローラ51は、外周面が透明板Pに付着した異物を除去可能な粘着力を有する。
また、異物除去装置50は、図1に示すように第2清掃装置10Bが排出した透明板Pが載置されるフリーローラ50aを有しており、上下一対の上記粘着ローラ51は互いに駆動モータ(図示省略)によって回転され、粘着ローラ51の回転によって透明板Pが下流側に搬送される。
上記粘着力回復機構52は、粘着ローラ51の粘着面51aに接触可能な長尺状の粘着テープ53を有している。この粘着テープ53は、上下一対の粘着ローラ51それぞれに対して設けられる。
上記粘着テープ53は、上記粘着ローラ51の粘着面51a(外周面)よりも強い粘着力を有する粘着面53aを有しており、この粘着テープ53の粘着面53aが粘着ローラ51の粘着面51aに貼着され剥離されることで粘着ローラ51に付着した異物を除去することができる。
異物除去装置50は、未使用の粘着テープ53を供給する供給部55及び使用済の粘着テープ53を排出する排出部56を有している。供給部55には、未使用の粘着テープ53がロール状に巻きつけられている。供給部55は、粘着ローラ51よりも搬送方向の下流側に配置されている。排出部56には、使用済の粘着テープ53がロール状に巻きつけられている。すなわち、排出部56には、粘着ローラ51の異物除去に使用された粘着テープ53が巻きつけられている。排出部56は、粘着ローラ51よりも搬送方向Xの上流側に配置されている。
異物除去装置50は、上記粘着テープ53を送る粘着テープ送給機構54を有している。ここで、粘着テープ送給機構54は、間欠的に粘着テープ53を粘着ローラ51に接触させるよう設けられている。例えば、粘着テープ送給機構54は、5枚の透明板Pの異物を粘着ローラ51が除去する毎に、粘着テープ53を粘着ローラ51に接触させる。粘着テープ送給機構54は、具体的には粘着テープ53が架け渡されると共に粘着ローラ51に対面する粘着テープ用ローラ54(粘着テープ送給機構)が粘着ローラ51に接近・離間可能に設けられている。粘着テープ送給機構54は、粘着ローラ51と粘着テープ53を接触させることで、粘着ローラ51の回転に伴って粘着テープを送給する。本実施形態では、このように粘着ローラ51の回転によって粘着テープを送給する構成を採用したが、これに限らず、排出部56で巻き取ることで粘着テープ53を送給する構成を採用することもできる。
なお、異物除去装置50は、上記粘着ローラ51及び粘着力回復機構52等を内蔵する筐体50hを有している。この筐体50hは、透明板Pの搬入口及び搬出口を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられている。このため異物除去装置50では、上述のような異物除去が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Pに付着することが防止されている。また、異物除去装置50の筐体50hの搬入口は第2清掃装置10Bの筐体10hの搬出口と気密に連結されている。なお、この異物除去装置50の筐体50hは、メンテナンス等のための開閉扉(図示省略)が設けられている。
<透明板検査装置>
上記透明板検査装置70は、上述のように清掃された透明板Pの清掃面(第1面p1及び第2面p2)の傷、欠け及び異物の有無を検査する装置である。図1、図6〜図9に示すように、透明板検査装置70は、図6に示すように、透明板Pの搬入口76及び搬出口77を有する筐体70h、搬入口76から搬出口77まで透明板Pを搬送する搬送機構80、この搬送機構80によって搬送される筐体70h内の透明板Pの画像を撮像する検査部72、及び筐体70hの内部への異物の侵入阻止し、透明板Pに異物が付着するのを阻止する異物付着阻止機構75を備えている。
また、この透明板検査装置70は、検査部72によって撮像される透明板Pに光線を照射する照明部71を有している。この透明板検査装置70は、複数対の上記照明部71及び上記検査部72を有しており、この複数対の照明部71及び検査部72によって、搬送される透明板Pの第1面p1における反射、第2面p2における反射、第1面p1から第2面p2への透過、及び第2面p2から第1面p1への透過する各光線に基づく種々の画像が撮像される。当該透明板清掃検査システム1は、上記画像が上記制御装置に送信され、制御装置によって透明板Pの良否判定が行われる。なお、上記検査部72は、例えばCCDカメラ等のカメラによって構成することができる。
上記筐体70hは、上記照明部71、上記検査部72、及び上記搬送機構80等が内蔵されている。この筐体70hは、搬入口76及び搬出口77以外は密閉状態に設けられている。なお、この透明板検査装置70の筐体70hは、メンテナンス等のための開閉扉(図示省略)が設けられている。
上記筐体70hの上部には、上記異物付着阻止機構75が設けられている。より詳細には、図6に示すように、筐体70hの上部には搬送方向Xに並べて2つの異物付着阻止機構75が設けられている。この異物付着阻止機構75は、上記筐体70hの内圧を高める機構である。この異物付着阻止機構75は、上記筐体70hの外部の空気を筐体70hの内部に送り込む送入機構(図示省略)と、この送入機構によって送られる空気に含まれる異物の上記筐体の内部への侵入を遮断するフィルタ(図示省略)とを有している。異物付着阻止機構75は、搬送機構80によって搬送される透明板P上に空気を送り、透明板Pの表面に異物が付着していた場合にその異物を下方に落とす。異物付着阻止機構75は、上方から下方に向けて空気を送っている。上記送入機構としては、種々のものを用いることができるが、例えばシロッコファン等の送風器が用いられる。上記フィルタとしては、種々のものを用いることができるが、粗塵用フィルタ、中高性能フィルタ、HEPAフィルタ等のエアフィルタを用いることができる。
この透明板検査装置70の搬送機構80は、搬入口76から搬入される透明板Pをその端縁に接触しつつ搬送する第1搬送部材81と、この第1搬送部材81によって搬送された透明板Pをその端縁に接触しつつ受け取ると共に上昇させる上昇部材83と、この上昇部材83によって上昇された透明板Pをその端縁に接触しつつ受け取ると共に上記検査部72の撮像領域に搬送する第2搬送部材88とを備えている。詳述すると、当該透明板検査装置70は、搬入口76から透明板Pを搬送方向Xに第1搬送部材81によって搬送し(図6の矢印S1参照)、この第1搬送部材81によって搬送された透明板Pを上昇部材83によって受け取る。上昇部材83が受け取った透明板Pを上昇部材83が上昇させ(図6の矢印S2参照)、この上昇された透明板Pを第2搬送部材88が受け取る。第2搬送部材88が受け取った透明板Pを第2搬送部材88が水平方向に搬送し(図6のS3の矢印参照)、この第2搬送部材88が搬送する透明板Pを上記検査部72が撮像する。その後、透明板Pは搬出口77から搬出される。なお、本実施形態においては、第1搬送部材81及び第2搬送部材88による透明板Pの搬送方向は、第1清掃装置の搬送方向と同一方向とされているため、第1搬送部材81及び第2搬送部材88の搬送方向として図6〜図9において第1清掃装置10A(図1参照)の搬送方向と同一符号であるXを用いて図示している。しかし透明板検査装置70の搬送機構80による搬送方向はこれに限定されるものではなく、例えば第1清掃装置10Aの搬送方向と逆方向又は直交する方向等であっても良い。また、撮像後の透明板Pの搬出口77までの搬送は、種々の搬送手段を採用でき、例えば第1搬送部材81と同様の搬送手段によって搬送することができる。
上記搬送機構80は、上記第1搬送部材81として透明板Pの端縁に接触する一対のベルトコンベア81c(図7(A)及び(B)参照)を有している。なお、この透明板検査装置70におけるベルトコンベア81cを、上述した第1清掃装置10Aのベルトコンベアと区別するために、以下、検査用ベルトコンベア81cと記載することがある。また、この搬送機構80の各種動作は、上記制御装置によって制御されている。
上記一対の検査用ベルトコンベア81cは、透明板Pとの接触面(上面)が互いに対向する側に傾斜している。各検査用ベルトコンベア81cは、搬送ベルト81a、搬送従動ローラ81b及び搬送駆動ローラ(図示省略)を備えている。搬送ベルト81aは、無端状のベルト部材からなり、搬送従動ローラ81b及び搬送駆動ローラに架け渡されている。検査用ベルトコンベア81cでは、搬送駆動ローラの回転に伴って搬送ベルト81aが循環すると共に搬送従動ローラ81bも回転する。一対の検査用ベルトコンベア81cは、搬送従動ローラ81bの軸が水平に対してそれぞれ傾斜して配設され、具体的には、図7(A)に示すように一対の検査用ベルトコンベアの搬送従動ローラ81b同士が、近接する側が下方に位置し離間する側が上方に位置するよう傾斜して配設されている。また、搬送駆動ローラも搬送従動ローラ81bと同様に、近接する側が下方に位置し離間する側が上方に位置するよう傾斜して配設されている。これにより、透明板Pは、図7(A)に示すように両側の端縁の下部が搬送ベルト81aの上面に接触し、下方に位置する面が搬送ベルト81aに接触しない状態で検査用ベルトコンベア81cによって搬送される。
上記上昇部材83は、図8(A)に示すように、第1搬送部材81から搬送された透明板Pの上面を吸引する吸引部84と、吸引部84に吸引される透明板Pの上端縁に接触することで透明板Pの高さ位置を決める位置決め部85とを備えている。複数の位置決め部85が、吸引部84と透明板Pの上面との接触を阻止するよう透明板Pに接触するテーパ面85aを有している。さらに、上昇部材83は、透明板Pの搬送方向Xの先端縁に接触する接触部86をさらに備えている。詳述すると、上記上昇部材83は、接触部86が上記検査用ベルトコンベア81cによって搬送された透明板Pの先端縁と接触すると(図8(B)及び(C)参照)、吸引部84が透明板Pの上面を吸引することで位置決め部85のテーパ面85aに透明板Pの端縁(上記先端縁に直交する端縁)の上端が接触するまで透明板Pを吸い上げる。これにより、透明板Pは、複数の位置決め部85のテーパ面85aに接触することで高さ方向の位置決めがなされるとともに、上昇部材83に保持される(図8(A)参照)。つまり、透明板Pは、下端縁が第1搬送部材81と接触した状態で搬送された後、吸引部84の吸引によって複数の位置決め部85のテーパ面85aと上端縁が接触し、これにより第1搬送部材81から上昇部材83に受け渡される。
上記位置決め部85は、下方に向けて突出した複数のピンから構成されている。この位置決め部85は、透明板Pの両側において対向するよう複数対(図示例では二対)配設されている(図8(B)参照)。位置決め部85は、先端(下端)が先細りの円錐形状をなしている。位置決め部85の円錐形状の周面が透明板Pの端縁に接触する上記テーパ面85aを構成している。また、上記接触部86は、下方に向けて突出した円柱形状のピンから構成されている。接触部86は、上記位置決め部85を構成するピンよりも搬送方向Xの下流側に配設されている。本実施形態において、接触部86を構成する複数本(図示例では二本)のピンが設けられている。上記吸引部84は、吸引口84aが透明板Pの上面と対向するよう下方に向けて開口している。この吸引口84aは、上記位置決め部85及び接触部86(のテーパ面85a)より上方に設けられている。本実施形態において、複数(図示例では4つ)の吸引部84が設けられている。
上記上昇部材83は、透明板検査装置70の筐体70hに対して上下動可能に設けられ、具体的には位置決め部85、吸引部84及び接触部86が取付けられると共に上記筐体70hに対して上下動可能に設けられた上昇部材83本体(図示省略)を有している。このため、上昇部材83は、上述のように第1搬送部材81から透明板Pを受け取った後、筐体70hに対して上昇部材83の本体が上昇することで透明板Pを上昇させ、その透明板Pを第2搬送部材88に受け渡し、その後、下降して次の透明板Pを第1搬送部材81から受け取るよう動作を行う。
上記第2搬送部材88は、上述のように上昇部材83が上昇させた透明板Pを受け取り、検査部72の撮像領域まで透明板Pを搬送する。この第2搬送部材88は、図9(B)に示すように上昇部材83が上昇させた透明板Pの端縁の上部に接触して透明板Pを支持することで透明板Pを受け取る支持部89を有している。なお、第2搬送部材88が透明板Pを上昇部材83から受け渡される際には、吸引部84によって透明板Pが吸引されている。この支持部89は、搬送方向Xと直交する方向の外側から内側に向けて突出、つまりは側方から透明板P側に向けて突出した複数のピンから構成されている。この支持部89は、透明板Pの両側において対向するよう複数対(図示例では二対)配設され、対向するピン同士は互いに接近及び離反可能に設けられている。この支持部89は、先端が先細りの円錐形状をなし、この円錐形状の周面89aが透明板Pの端縁の下部に接触する。
この第2搬送部材88は、図9(A)及び(B)に示すように透明板Pの端縁に接触して上記透明板Pを両側から挟み込む複数対(図示例では二対)の把持部90を備えている。この把持部90は、上昇した透明板Pの端縁に離間及び接触可能に動作すると共に搬送方向Xに移動可能に設けられている。この把持部90は、上昇部材83によって上昇された透明板Pを把持し、その後搬送方向Xに搬送する。具体的には、把持部90は、上述のように上昇部材83が上昇する際には透明板Pから離間しており、上昇部材83によって上昇させられた後、第2搬送部材88の支持部89と吸引部84で透明板Pが保持された後、透明板Pの端縁に接近して挟み込むことで透明板Pを把持する。そして、その後把持部90は、この把持した透明板Pを搬送方向に搬送すべく搬送方向に移動する。なお、把持部90は、少なくとも表面が弾性部材から構成することが好ましく、例えばゴムやシリコンによって構成することができる。
なお、上記支持部89も、把持部90と同様に搬送方向Xに移動可能に設けられ、換言すれば支持部89は上昇部材83との透明板Pの受渡し位置から搬送方向Xに逃げることができるよう設けられている。そして、上記支持部89は、把持部90による透明板Pの把持の後、上昇部材83との透明板Pの受渡し位置から逃げるよう把持部90と共に搬送方向Xに沿って移動し、その後、上昇部材83は下降して、第1搬送部材81によって搬送される次の透明板Pを受け取る。
なお、図示例では、第2搬送部材88が、一組の支持部89及び把持部90を有するものについて説明したが、複数組(例えば二組)の支持部89及び把持部90を設けることが可能である。つまり、一組の支持部89及び把持部90によって上述のように上昇部材83からの透明板Pの受け取り動作を行っている際に他の組の把持部90が他の動作(例えば検査部72の撮像領域への搬送動作)を行うよう設けることが可能である。このように複数組の支持部89及び把持部90を設ける場合、上記把持部90による透明板Pの把持する上下高さが一定であることが好ましく、これにより上昇部材83からの受渡し動作及び検査部72による撮像が一定の上下高さで行うことができる。なお、複数組の把持部90の上下高さを一定とするには、例えば把持部90を搬送方向に移動させるためのレールを各組で異なる高さで配設し、このレールを走行する走行体における各把持部90の配設高さを異ならしめることで、各組の把持部90の上下高さを一定とすることができる。また、この走行体の形状を搬送方向で重ならないよう設けることで、各把持部90の搬送方向の走行に際して互いに邪魔とならない。
<利点>
当該透明板清掃検査システム1によれば、第1清掃装置10A、第2清掃装置10B及び異物除去装置50によって清掃された透明板Pを当該透明板検査装置70によって検査することができる。また、当該透明板清掃検査システム1は、第1清掃装置10A及び第2清掃装置10Bの繊維製の清掃布に基づいて透明板Pに繊維等の異物が付着しても異物除去装置50によって上記異物を的確に除去することかできるため、上記透明板検査装置70において上記異物によって透明板Pの欠陥と判断されるおそれが少ない。
さらに、当該透明板検査装置70による検査では、透明板検査装置70の筐体70hの内部は、加圧機構によって内圧が高められているので、筐体70hの外部から内部に空気が流入しにくい。このため、筐体70hの外部から内部への異物の侵入を的確に阻止でき、これにより筐体70hの内部において透明板Pに異物が付着することが的確に阻止され、正確な検査を行うことが可能となる。
また、この加圧機構は、上記筐体70hの外部の空気を筐体70hの内部に送り込む送入機構と、この送入機構によって送られる空気に含まれる異物の上記筐体70hの内部への侵入を遮断するフィルタとを有しているので、送入機構によって送り込まれる空気によって筐体70hの内圧を高めることができ、またこの送り込まれる空気の異物はフィルタによって筐体70hの内部への侵入が阻止できるので、送入機構による筐体70hの内部への異物の侵入を阻止でき、このため正確な検査を行うことが可能となる。
さらに、加圧機構は、筐体70hの上部に設置され、下方に向けて空気が送入されることで、筐体70hの内圧を高めることができると共に、仮に筐体70hの内部に異物が侵入していたとしてもその異物は下方に流され、搬入口76又は搬出口77から排出されやすく、正確な検査を行いやすい。
また、当該透明板検査装置70の搬送機構80は、透明板Pの端縁に接触し、透明板Pの清掃面(第1面及び第2面)に接触しない状態で透明板Pを搬送できるので、搬送機構80によって透明板Pの清掃面へ汚れ又は異物が付着することを的確に阻止でき、正確な検査を行うことが可能となる。
特に、上記搬送機構80は、透明板Pを検査部72の撮像領域に搬送する第2搬送部材88が透明板Pの端縁を両側から把持する把持部90を有するので、検査部72の撮像領域で透明板Pの上面側及び下面側の他の部材が検査部72の撮像の邪魔とならず、種々の撮像を行うことが可能となり、検査精度の向上を図ることができる。
また、上記搬送機構80は、第2搬送部材88の上流側で透明板Pを搬送する第1搬送部材81を有し、つまり撮像領域の搬送と搬入側の搬送とを独立して行うことができるので、第1搬送部材81及び第2搬送部材88の設計の自由度が高く、当該透明板検査装置70のコスト増大を抑制しつつ処理速度を高めることができる。
さらに、第1搬送機構80として、透明板Pとの接触面が互いに対向する側に傾斜する一対の検査用ベルトコンベア81cを用いているので、各ベルトコンベア81cの接触面が透明板Pの端縁の下部と接触し、透明板Pの清掃面に接触しない状態で透明板Pを円滑に搬送することができる。
また、上記搬送機構80は、第1搬送部材81から第2搬送部材88に透明板Pを移送するための上昇部材83を有しているので、第1搬送部材81から第2搬送部材88への透明板Pの移送が好適かつ迅速に行うことができる。
特に、この上昇部材83は、第1搬送部材81と端縁の下部が接触した状態で搬送された透明板Pの上面を吸引する吸引部84、及びこの吸引部84に吸引される透明板Pの端縁の上部にテーパ面85aが接触することで透明板Pを保持する複数の位置決め部85を備えているので、吸引部84による上面の吸引によって第1搬送部材81から透明板Pを容易かつ確実に受け取ることができる。
さらに、当該透明板清掃検査システム1は、第1清掃装置10Aによって透明板Pの第1面が清掃され、第1面が清掃された後の透明板Pが反転装置30によって反転され、この反転された透明板Pの第2面が第2清掃装置10Bによって清掃されるため、人が介在することなく透明板Pの両面を清掃できる。
また、第1清掃装置10A及び第2清掃装置10Bは、それぞれ搬送機構11によって透明板Pを搬送しつつ、この透明板Pの清掃面を一枚の長尺状の清掃布Cの一方の面によって複数回清掃でき、このため、複数の清掃箇所において所望の清掃を行うことができ、透明板Pの両面を確実に清掃することができる。また、複数の清掃箇所において清掃布Cを反転させることなく清掃布Cの一方の面によって清掃面を清掃するので、従来の端子部の清掃装置のように反転手段を設ける必要がないので、コスト高及びメンテンナンスの複雑性を抑制することができる。
また、清掃布Cは、上述のように一枚の清掃布Cの一方の面で複数回清掃面を清掃し、かつ清掃布Cは搬送方向Xと逆方向に送られるので、搬送方向Xの下流側(清掃布送給方向上流側)において未使用(未接触)の清掃布Cによって透明板Pを清掃し、搬送方向Xの上流側(清掃布送給方向下流側)において使用後(接触済)の清掃布Cによって透明板Pを清掃できる。このため、清掃布Cの各部分を複数回の清掃に用いることができると共に、搬送方向Xにつれて汚れの少ない状態の清掃布Cで透明板Pを清掃することができる。
また、第1清掃装置10A及び第2清掃装置10Bは、清掃布Cに洗浄液を供給する洗浄液供給機構を備えているので、洗浄液を含有する清掃布Cによって透明板Pの清掃面を好適に清掃することができる。
さらに、第1清掃装置10A及び第2清掃装置10Bは、二つの押圧ヘッド13間の清掃布Cのテンションを調整するテンションローラを具備するので、各押圧ヘッド13において清掃布Cに十分なテンションを与えることができ、より確実な清掃を行うことができる。
上記洗浄液供給機構28は、押圧ヘッド13の清掃布供給方向上流側の清掃布Cにも筋が残らない程度に微量な洗浄液を供給しているので、完全に乾燥した清掃布Cによるよりも若干洗浄液が含浸されている清掃布Cによって清掃することで、より綺麗に清掃面を清掃することができ、より確実な清掃が可能となる。
また、第1押圧パッド14及び第2押圧パッド15が、清掃時において上記透明板Pの搬送方向Xの直交方向かつ上記清掃面の平面方向に往復動するので、清掃布Cが第1押圧パッド14及び第2押圧パッド15によって透明板Pの清掃面に押圧され、透明板Pの清掃面に接触された清掃布Cが搬送方向Xの直交方向に移動するため、清掃布Cによって清掃面をより確実に清掃することができる。
また、当該透明板清掃検査システム1は、上述のように第2清掃装置10Bから搬出された透明板Pの第1面p1及び第2面p2に付着する異物を除去可能な異物除去装置50を備えているので、仮に上記清掃段階で透明板Pに繊維製の清掃布C等が起因する異物が付着した場合や装置内で生じる微少な異物が付着したとしても、異物除去装置50によって異物を的確に除去することかできる。
上記異物除去装置50は、粘着ローラ51の粘着面に付着する異物を除去可能な粘着テープ53を備えているので、粘着ローラ51の粘着面から付着した異物を粘着テープ53によって除去することができ、これにより粘着ローラ51の粘着面の粘着力が回復し、当該異物除去装置50を長期間好適な状態で運転することができる。
また、異物除去装置50は、粘着テープ53を送る粘着テープ送給機構54を有し、この粘着テープ送給機構54は、間欠的に粘着テープ53を粘着ローラ51に接触させるよう設けられているので、粘着テープの使用量を低減することができる。
[その他の実施形態]
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更(構成の置換、付加及び削除)が含まれることが意図される。
つまり、上記実施形態においては、当該透明板検査装置が第1清掃装置、反転装置、第2清掃装置及び異物除去装置を具備する透明板清掃検査システムに用いられるものについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、当該透明板検査装置が単独で用いられるものも本発明の意図する範囲内である。また、本発明は、透明板検査装置と異物除去装置のみのシステムや、清掃装置と透明板検査装置を備えたシステムであってもよい。
また、上記実施形態においては、第2清掃装置の筐体の搬出口と異物除去装置の筐体の搬入口とを気密に接続しているものについて説明したが、第2清掃装置と異物除去装置との間に別途ローダを配置することも可能であり、さらには当該透明板検査装置の上流にローダを配置することも可能である。さらに、透明板検査装置の下流側にラミネート装置を配置し、検査終了後の透明板の両面に保護フィルムを貼着することも可能である。
上記実施形態では、筐体の上部に2つの異物付着阻止機構が設けられた透明板検査装置について説明したが、これに限らず、筐体の上部に1つ又は3つ以上の異物付着阻止機構が設けられた透明板検査装置であってもよい。
さらに、上記実施形態では、異物付着阻止機構として筐体の内圧を高める加圧機構を設けるものについて説明したが、本発明は必ずしもこれに限定されるものではない。例えば異物付着阻止機構として、筐体の内部に設けられ、搬入口から上記筐体の外部に空気を排出する送出機構を採用することも可能である。具体的には、送出機構は、搬入口付近の内部に設置された送風機を有し、この送風機によって筐体の内部の空気を搬入口を介して外部に排出するよう設けることができる。さらに、上述のような送出機構を排出口側にも設けることも可能である。また、上記送出機構を設けた場合、筐体に空気取入口を設け、この空気取入口にエアフィルタを付設し、エアフィルタを介して筐体の内部に空気が取り込まれるよう設けることもできる。さらには、異物付着阻止機構として、上記加圧機構と共に上記送出機構を設けることも可能である。
さらに、当該透明板検査装置の搬送機構は、上記実施形態のものに限定されるものではない。但し、この搬送機構は、透明板の清掃面に接触せずに端縁に接触することで透明板を保持することが好ましく、これにより搬送機構によって透明板の清掃面に異物が付着することを抑制できる。
上記の実施形態では、透明板検査装置では、異物除去機構から受け取って検査部に搬送する場合のみベルトコンベアを用いたが、検査を終了した後に透明板検査装置外に排出する際にも同様の構成を用いて排出するようにしてもよい。
上記の実施形態では、透明板検査装置では、カメラなどを用いて透明板Pの表面を検査したが、本発明はこれに限らず、他の検査方法であってもよい。
上記の実施形態では、透明板検査装置は、4つのカメラなどを用いて透明板Pの表面を検査したが、本発明はこれに限らず、3つ以下又は5つ以上のカメラを用いて検査してもよい。
上記実施形態の異物除去装置では、間欠的に粘着ローラの表面の異物を粘着テープで除去したが、これに限らず、常に粘着ローラの表面の異物を除去する構成であってもよい。
上記の実施形態では、清掃装置では清掃布を用いて清掃する構成を採用したが、これに限らず、ブラシなど他の清掃方法を採用した構成であってもよい。
上記の実施形態では、2つの清掃装置と反転装置とを備えた構成を採用したが、これに限らず、両面を同時に清掃できる構成を採用してもよい。
本発明の清掃装置及び透明板清掃検査システムは、携帯機器の表示装置に用いられるガラス基板等の透明板の清掃に好適に利用できる。
10A 第1清掃装置
10B 第2清掃装置
30 反転装置
50 異物除去装置
70 透明板検査装置
70h 筐体
72 検査部
75 異物付着阻止機構
80 搬送機構
81 第1搬送部材
83 上昇部材
84 吸引部
85 保持部
85a テーパ面
88 第2搬送部材
89 支持部
90 把持部
P 透明板
X 透明板の搬送方向

Claims (16)

  1. 透明板を検査する透明板検査装置であって、
    上記透明板の搬入口及び搬出口を有する筐体、
    上記搬入口から上記搬出口まで上記透明板を搬送する搬送機構、
    上記搬送機構によって搬送される上記透明板を検査する検査部、及び
    上記筐体の内部で異物が上記透明板に付着するのを阻止する異物付着阻止機構
    を備えることを特徴とする透明板検査装置。
  2. 上記異物付着阻止機構が外気圧よりも上記筐体の内圧を高める加圧機構を有する請求項1に記載の透明板検査装置。
  3. 上記加圧機構が、上記筐体の外部の空気を上記筐体の内部に送り込む送入機構と、上記送入機構によって送られる空気に含まれる異物の上記筐体の内部への侵入を遮断するフィルタとを有する請求項2に記載の透明板検査装置。
  4. 上記加圧機構の上記送入機構は、上記搬送機構によって搬送される上記透明板上に付着した異物を流すように空気を上記透明板上に供給する請求項3に記載の透明板検査装置。
  5. 上記加圧機構が、上記筐体の上部に設置されている請求項2、請求項3又は請求項4に記載の透明板検査装置。
  6. 上記異物付着阻止機構が、上記筐体の内部に設けられ、上記搬入口及び/又は上記排出口から上記筐体の外部に空気を排出する送出機構を有する請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の透明板検査装置。
  7. 上記搬送機構が、上記透明板の表面及び裏面に接することなく透明板を搬送する請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の透明板検査装置。
  8. 上記搬送機構が、上記透明板の端縁に接触することで上記透明板を保持する請求項7に記載の透明板検査装置。
  9. 上記搬送機構が、
    上記透明板の端縁に接触しつつ搬送する第1搬送部材と、
    上記第1搬送部材によって搬送された上記透明板を上記透明板の端縁に接触しつつ受け取ると共に上昇させる上昇部材と、
    上記上昇部材によって上昇された上記透明板を上記透明板の端縁に接触しつつ受け取ると共に上記検査部の検査領域に搬送する第2搬送部材と
    を備える請求項8に記載の透明板検査装置。
  10. 上記上昇部材が、上記第1搬送部材から搬送された上記透明板の上面を吸引する吸引部と、上記吸引部に吸引される上記透明板の上端縁に接触することで上記透明板の高さ位置を位置決めする複数の位置決め部とを備え、
    上記複数の位置決め部が、上記吸引部と上記透明板の上面との接触を阻止するよう上記透明板の端縁に接触するテーパ面を有する請求項9に記載の透明板検査装置。
  11. 上記搬送機構が、上記透明板の端縁に接触する一対のベルトコンベアを有し、この一対の上記ベルトコンベアの上記透明板との接触面が互いに対向する側に傾斜している請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の透明板検査装置。
  12. 上記搬送機構が、上記透明板の端縁に接触して上記透明板を両側から挟み込む少なくとも一対の把持部を備える請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の透明板検査装置。
  13. 上記透明板に付着した異物を除去する異物除去機構と、
    上記異物除去機構によって異物が除去された上記透明板を検査する請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の透明板検査装置とを備える
    透明板清掃検査システム。
  14. 上記透明板の表面及び/又は裏面を清掃する清掃装置をさらに備えた請求項13に記載の透明板清掃検査システム。
  15. 上記透明板の表面及び/又は裏面を清掃する清掃装置と、
    上記清掃装置によって清掃された上記透明板を検査する請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の透明板検査装置とを備える
    透明板清掃検査システム。
  16. 上記透明板の第1面を清掃する第1清掃装置と、
    この第1清掃装置から搬出された上記透明板を反転させる反転装置と、
    上記反転装置によって反転された上記透明板を搬送しつつ上記透明板の第2面を清掃する第2清掃装置と、
    上記第1清掃装置及び上記第2清掃装置によって両面が清掃された上記透明板を検査する請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の透明板検査装置とを備える
    透明板清掃検査システム。
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