JP2019018127A - 清掃システム、透明基板の清掃方法及び電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
薄板表面に付着した異物を除去する清掃システムであって、
前記薄板を搬送する搬送装置、及び
前記搬送装置によって搬送される前記薄板表面と対向して配置される清掃部を有する清掃装置を具備し、
前記清掃装置が、清掃のために前記清掃部を前記薄板表面に直接的又は間接的に接触させた状態で前記清掃部を前記薄板表面に対する相対的な静止動作と移動動作とを繰り返し行わせる相対移動機構を備える清掃システムである。
以下、本発明の一実施形態に係る清掃システムについて、適宜図面を参照しつつ詳説する。
図1に示す清掃システム100は、製造ラインにおいて、スマートフォン、携帯電話等の電子機器に用いられるカバーガラス等のガラス板(薄板W)の表面に付着する異物を清掃するためのシステムである。なお、清掃対象である薄板Wは、カバーガラスに限定されるものではなく、その他、種々の基板を対象とすることができ、当該清掃システム100は平面視方形状の透明な薄板Wの清掃に好適に用いられる。
図2を参照して、第1の清掃装置3Aは、清掃のために清掃面13aを薄板Wの表面に直接的又は間接的に接触させた状態で清掃面13aを薄板Wの表面に対する相対的な静止動作と移動動作とを繰り返し行わせる相対移動機構19を備える。清掃面13aは、薄板Wの表面に長尺状のクロス部材Cを介して間接的に接触している。クロス部材Cは、薄板Wの種類、薄板Wとの摩擦力、洗浄液の吸収程度等に応じて選択される。
第1の搬送装置1Aは、図1に示すように、薄板Wを吸着することで保持する保持部25と、搬送方向(X方向)に沿って設けられ保持部25が走行するレール27と、保持部25を走行させる駆動部(図示省略)とを有している。そして、保持部25がレール27に沿って搬送方向(X方向)に走行しながら、薄板Wは、搬送されつつ第1の清掃装置3Aによって表面(下面)が清掃される。
第2の清掃装置3Bは、第1の清掃装置3Aと略同様の構成を具備し、薄板Wの清掃済みの面の反対面(上面)を清掃する。なお、第2の清掃装置3Bは、図3に示すように、第1の清掃装置3Aと上下逆に配置等された構成を具備するものであり、第1の清掃装置3Aと同一構成又は機能を有する部材について図3において同一符号を用い、詳細な説明は省略する。
第2の搬送装置1Bは、第1の搬送装置1Aと略同様の構成を具備し、第2の清掃装置3Bによって清掃される薄板Wを搬送する装置である。なお、第2の搬送装置1Bにおいて、第1の搬送装置1Aと同一構成又は機能を有する部材について同一符号を用い、詳細な説明は省略する。
次に、清掃システム100による動作について説明する。
次に、上述した清掃システム100を用いた電子機器の製造方法について説明する。この電子機器の製造方法は、清掃システム100を用いて薄板Wとして透明基板を清掃する工程を有している。この清掃工程において、清掃システム100を用い、透明基板の両面が清掃される。
清掃システム100による清掃にあっては、上述のように薄板Wの表面に対して清掃面13aが相対的な移動動作のみならず静止動作を行うので、動摩擦による異物の除去のみならず静止摩擦による異物の除去を行うことができ、確実に薄板W表面の異物を除去できる。つまり、静止摩擦の方が動摩擦よりも強い力が異物に作用するので、より効果的に異物を除去できる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成や数値に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更(構成の置換、付加及び削除)が含まれることが意図される。
C クロス部材
1A 第1の搬送装置
1B 第2の搬送装置
3A 第1の清掃装置
3B 第2の清掃装置
5 供給機構
13 柱状部材
13a 清掃面(清掃部)
15 押圧部材
17 切替機構
19 相対移動機構
25 保持部
27 レール
100 清掃システム
Claims (14)
- 薄板表面に付着した異物を除去する清掃システムであって、
前記薄板を搬送する搬送装置、及び
前記搬送装置によって搬送される前記薄板表面と対向して配置される清掃部を有する清掃装置を具備し、
前記清掃装置が、清掃のために前記清掃部を前記薄板表面に直接的又は間接的に接触させた状態で前記清掃部を前記薄板表面に対する相対的な静止動作と移動動作とを繰り返し行わせる相対移動機構を備える清掃システム。 - 前記搬送装置が、前記清掃装置による清掃状態の前記薄板表面を一方向に搬送する請求項1に記載の清掃システム。
- 前記相対移動機構が、前記移動動作の際に前記薄板表面に対して前記一方向、或いは前記一方向及び前記一方向の逆方向に、前記清掃部を移動させる請求項2に記載の清掃システム。
- 前記相対移動機構が、前記一方向の移動動作及び前記逆方向の移動動作を交互に繰り返し、
前記移動動作において、前記相対移動機構による前記清掃部の最大移動速度が、前記搬送装置による前記薄板表面の移動速度よりも早い請求項3に記載の清掃システム。 - 前記清掃装置が、前記清掃部を、前記薄板表面に直接的又は間接的に接触させた状態と離間させた状態とを切り替える切替機構をさらに備える請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の清掃システム。
- 前記清掃部が前記薄板表面にクロス部材を介して間接的に接触する請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の清掃システム。
- 前記清掃装置がクロス部材を前記清掃部に供給する供給機構をさらに備える請求項6に記載の清掃システム。
- 前記清掃装置が、
先端面に前記清掃部を有する柱状部材、及び
クロス部材を前記柱状部材に押圧して、前記供給機構から前記清掃部に供給される長尺状のクロス部材が前記清掃部に対してずれるのを防止する押圧部材
をさらに備える請求項7に記載の清掃システム。 - 前記柱状部材が前記先端面と前記側壁面との間にエッジを有する請求項8に記載の清掃システム。
- 前記搬送装置が、前記清掃部に向けて洗浄液を供給する供給ノズルをさらに有する請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の清掃システム。
- 前記搬送装置が、前記薄板を保持する保持部と、この保持部を前記一方向に走行させるレールとをさらに有する請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の清掃システム。
- 前記薄板を薄板表面のうち一方の面から保持する第1の前記搬送装置、
第1の前記搬送装置によって搬送される前記薄板の他方の面を清掃する第1の前記清掃装置、
第1の前記清掃装置によって一方の面が清掃された前記薄板を他方の面から保持する第2の前記搬送装置、
第2の前記搬送装置によって搬送される前記薄板の一方の面を清掃する第2の前記清掃装置
を具備する請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の清掃システム。 - 透明基板の表面を清掃する透明基板の清掃方法であって、
前記透明基板の表面を請求項1から請求項12に記載の清掃システムによって清掃する透明基板の清掃方法。 - 透明基板を含む電子機器を製造する電子機器の製造方法であって、
請求項13に記載の透明基板の清掃方法による清掃工程を有する電子機器の製造方法。
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