WO2006106803A1

WO2006106803A1 - 基板端子クリーニング装置及び基板端子のクリーニング方法

Info

Publication number: WO2006106803A1
Application number: PCT/JP2006/306620
Authority: WO
Inventors: Masaya Watanabe; Shinjiro Tsuji; Keiji Fujiwara; Ryouichirou Katano
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Priority date: 2005-04-01
Filing date: 2006-03-30
Publication date: 2006-10-12
Also published as: KR20070114750A; CN101151104A; US7799142B2; JPWO2006106803A1; JP4644202B2; TW200734076A; KR101140117B1; CN101151104B; US20090065029A1

Abstract

　基板の端子部にクリーニング部材を当接させて当該端子部のクリーニングを行う基板端子クリーニング装置において、第１の位置にてクリーニング部材を支持する第１の支持部と、第２の位置にて、当該クリーニング部材を支持する第２の支持部と、上記第１の位置と上記第２の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部を、上記基板の上記端子部に当接させて加圧するクリーニングヘッド部と、上記端子部沿いの方向に、上記第１の支持部及び上記第２の支持部を一体的に移動させる支持部移動装置と、上記支持部移動装置による上記第１の支持部及び上記第２の支持部の第１の移動速度とは異なる第２の移動速度にて、上記端子部沿いの方向に上記クリーニングヘッド部を移動させるクリーニングヘッド移動装置とを備えさせる。

Description

明細書

基板端子クリーニング装置及び基板端子のクリーニング方法

技術分野

[0001] 本発明は、基板における端子部をクリーニングする基板端子クリーニング装置に関するものであって、特に、上記基板として液晶パネルの実装端子面への IC等の実装品質を向上させるための液晶パネル実装端子面をクリーニングする液晶パネル端子クリーニング装置及び基板端子のクリーニング方法に関する。背景技術

[0002] 近年、液晶パネルの需要は急成長しており、液晶パネルの品質、歩留まりの向上が強く望まれている。その中で液晶パネルの実装工程での品質、歩留まり向上のためには、実装工程の直前に再度実装面のクリーニング (洗浄あるいは清掃)を行うことが効果的であり、液晶パネル端子クリーニング装置に対する関心が高まっている。

[0003] ここで、従来の液晶パネル端子クリーニング装置の構成 (例えば、特許文献 1参照）について、以下に説明する。従来のクリーニング装置においては、液晶パネルの端子部をその両面より挟み込むような形状に構成された一対のクランプ爪部と、このクランプ爪部の内側に沿って供給配置される帯状のクリーニング布とが備えられている。このようなクランプ爪部により、液晶パネルの端子部の表裏面を、クリーニング布を介して把持し、当該把持状態を保ちながら、帯状の端子部に沿ってクランプ爪部を移動させることにより、端子部の表裏面に付着しているパーティクルや油分等をタリー- ング布にて拭き取ることで、端子部をクリーニングすることができる。

[0004] 特許文献 1：特許第 3445709号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] 近年、このような液晶パネルの大型化が進んできており、それに伴って、タリーニング布による拭き取りクリーニングを行う端子部のクリーニング領域も長大化している。し力しながら、上述のような従来のクリーニング装置の構成では、端子部に対する拭き取りクリーニングの開始力も終了まで、クリーニング布の同じ部分が端子部と接触されていることとなり、上記端子部のクリーニング領域の長大化により、一度拭き取った汚れが引き延ばされてタリ一ユング布より端子部へ再度付着させてしまう場合がある。また、このようなクリーニング領域の長大化により、一度のクリーニング動作によってもクリー-ング布が汚れる度合いも大きくことからも、上記汚れの再付着の問題が顕著となっている。このような場合にあっては、液晶パネルの実装工程における品質向上が阻害されてしまうと、う問題がある。

[0006] 従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、基板の表面に帯状に形成された端子部に、帯状のクリーニング部材を当接させて、当該端子部のタリー- ングを行う基板端子クリーニング装置において、当該クリーニング部材より上記端子部へ汚れの再付着を確実に防止して、効率的かつ良好なクリーニング処理を行うことができる基板端子クリーニング装置及び基板端子のクリーニング方法を提供することにある。

課題を解決するための手段

[0007] 上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。

[0008] 本発明の第 1態様によれば、基板の表面に帯状に形成された端子部に、帯状のクリーニング部材を当接させながら上記端子部に沿って移動させることにより、当該端子部のクリーニングを行う基板端子クリーニング装置において、

上記基板を配置させてその支持を行う基板支持部と、

上記基板支持部に支持された上記基板における上記端子部の表面より離間された第 1の位置において、当該クリーニング部材を支持する第 1の支持部と、

上記端子部表面力離間されかつ上記第 1の位置より上記端子部沿いの方向に配置された第 2の位置において、当該クリーニング部材を支持する第 2の支持部と、上記第 1の位置と上記第 2の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部を、上記基板の上記端子部に当接させて加圧するクリーニングヘッド部と、上記端子部沿いの方向に、上記第 1の支持部及び上記第 2の支持部を一体的にかつ上記基板に対して相対的に移動させる支持部移動装置と、

上記支持部移動装置による上記第 1の支持部及び上記第 2の支持部の第 1の移動速度とは異なる第 2の移動速度にて、上記端子部沿いの方向に上記クリーニングへッド部を上記基板に対して相対的に移動させるクリーニングヘッド移動装置とを備えることを特徴とする基板端子クリーニング装置を提供する。

[0009] 本発明の第 2態様によれば、上記支持部移動装置による上記第 1の移動速度での移動により、上記端子部に当接された状態の上記クリーニング部材を、上記端子部沿いに移動させ、

上記クリーニングヘッド移動装置による上記第 2の移動速度と上記第 1の移動速度との移動速度差でもって、上記クリーニング部材に対する上記クリーニングヘッド部の当接位置を、上記第 1の位置と上記第 2の位置との間で可変させる第 1態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。

[0010] 本発明の第 3態様によれば、上記支持部移動装置は、上記第 1の支持部及び上記第 2の支持部と一体的に上記クリーニングヘッド移動装置を上記第 1の移動速度で移動可能であって、

上記クリーニングヘッド移動装置は、上記支持部移動装置による上記移動の際に、上記第 1の支持部及び上記第 2の支持部に対して上記クリーニングヘッド部を、上記第 2の移動速度と上記第 1の移動速度との差の移動速度でもって相対的に移動させる第 1態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。

[0011] 本発明の第 4態様によれば、上記端子部表面力離間されかつ上記第 1の支持部及び上記第 2の支持部とともに上記端子部沿いの方向に配置された第 3の位置にお V、て、上記クリーニング部材を支持する第 3の支持部と、

第 1の上記クリーニングヘッドとは別に備えられ、上記第 2の支持位置と上記第 3の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部を、その当接位置にぉ、て上記基板の上記端子部に当接させて加圧する第 2のタリ一ユングヘッド部とをさらに備え、

上記支持部移動装置は、上記第 1の支持部、上記第 2の支持部、及び上記第 3の支持部を一体的に移動させ、

上記クリーニングヘッド移動装置は、上記第 1の移動速度とは異なる第 3の移動速度にて、上記端子部沿いの方向に上記第 2のクリーニングヘッド部を移動させる第 1 態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。 [0012] 本発明の第 5態様によれば、上記第 2の移動速度と上記第 3の移動速度とは同じ移動速度であって、

上記クリーニングヘッド移動装置は、上記第 1のクリーニングヘッド部及び上記第 2 のクリーニングヘッド部を一体的に上記第 2の移動速度でもって移動させる第 4態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。

[0013] 本発明の第 6態様によれば、上記クリーニングヘッド部は、

上記端子部に加圧可能に、上記タリ一ユング部材の一部と当接するタリ一ニング部材当接部と、

上記端子部への上記クリーニング部材の加圧高さ位置と、上記端子部より離間された加圧解除高さ位置との間で、当該クリーニング部材当接部を昇降させる昇降装置とを備える第 1態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。

[0014] 本発明の第 7態様によれば、上記支持部は、上記クリーニング部材を走行可能に支持する支持用ローラ部であって、

上記クリーニングヘッド部における上記クリーニング部材当接部は、移動可能に上記クリーニング部材と当接される当接用ローラ部である第 6態様に記載の基板端子クリーユング装置を提供する。

[0015] 本発明の第 8態様によれば、上記クリーニングヘッド移動装置における上記第 2の移動速度は、上記支持部移動装置における上記第 1の移動速度よりも大きく設定されている第 1態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。

[0016] 本発明の第 9態様によれば、上記支持部移動装置による上記第 1の支持部の上記端子部のクリーニング領域の移動に要する時間は、上記クリーニングヘッド移動装置による上記第 1の位置の近傍における上記当接位置力上記第 2の位置の近傍における上記当接位置への上記クリーニングヘッド部の移動に要する時間以下となるよう〖こ、上記第 1の移動速度及び上記第 2の移動速度が設定される第 1態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。

[0017] 本発明の第 10態様によれば、上記端子部の表面及び裏面を共にクリーニング可能に、上記基板を介して、上記それぞれの支持部及び上記クリーニングヘッド部が一対に備えられ、当該一対のクリーニングヘッド部は、上記端子部における同じ位置における表面及び裏面のそれぞれに上記各々のクリーニング部材を当接させる第 1態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。

[0018] 本発明の第 11態様によれば、上記一対のそれぞれの支持部は、上記第 1の移動速度でもって互いに同期して移動されるとともに、上記一対のクリーニングヘッド部は、上記第 2の移動速度でもって互いに同期して移動される第 10態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。

[0019] 本発明の第 12態様によれば、上記第 1の支持部と上記第 3の支持部との間に配置される上記第 2の支持部は、上記第 1の支持位置と上記第 2の支持位置との間に配置された上記クリーニング部材の支持姿勢に対して、上記第 2の支持位置と上記第 3 の支持位置との間に配置された当該クリーニング部材の支持姿勢を表裏反転させる捩り機構を備える第 4態様又は第 5態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。

[0020] 本発明の第 13態様によれば、基板の表面に帯状に形成された端子部に、帯状のクリーニング部材を当接させながら上記端子部に沿って移動させることにより、当該端子部のクリーニングを行う基板端子のクリーニング方法において、

上記基板における上記端子部の表面より離間された第 1の位置と、上記第 1の位置より上記端子部に沿った方向に離間して配置された第 2の位置とにおいて、上記タリ一ユング部材を支持しながら、上記端子部沿いの方向に上記第 1及び第 2の位置並びに上記タリ一ユング部材を上記基板に対して第 1の移動速度で移動させるとともに、上記第 1の位置と上記第 2の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部が上記基板の上記端子部に当接される当接位置を、上記端子部沿いの方向に上記第 1の移動速度とは異なる第 2の移動速度にて、上記基板に対して移動させる基板端子のクリーニング方法を提供する。

[0021] 本発明の第 14態様によれば、上記端子部表面から離間されかつ上記第 1及び上記第 2の位置とともに上記端子部沿いの方向に配置された第 3の位置において、上記クリーニング部材をさらに支持しながら、上記端子部沿いの方向に上記第 1、第 2、及び第 3の位置、並びに上記クリーニング部材を上記基板に対して上記第 1の移動速度で移動させるとともに、上記第 2の位置と上記第 3の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部がさらに上記基板の上記端子部に当接される第 2の当接位置を、上記端子部沿いの方向に上記第 1の移動速度とは異なる第 3の移動速度にて、上記基板に対して移動させる第 13態様に記載の基板端子のタリーニング方法を提供する。

発明の効果

[0022] 本発明によれば、第 1の支持部と第 2の支持部とにより支持された状態のタリーニング部材の一部を端子部表面に当接させた状態で、支持部移動装置により当該端子部沿いに第 1の移動速度でもって移動させることで、上記クリーニング部材の一部により上記支持部表面に付着された汚れを拭き取りながら、上記クリーニング部材のー部を当接させるクリーニングヘッド部を、クリーニングヘッド移動装置により上記第 1の移動速度とは異なる第 2の移動速度でもって上記端子部沿いに移動させることで、上記クリーニング部材に対する上記クリーニングヘッド部の当接の位置を可変させることができる。すなわち、上記端子部の拭き取りを行うクリーニング部材の上記一部の位置を、その移動過程において変化させ、常に拭き取り未使用の部分を上記端子部に接触させながら上記拭き取り動作を行うことができる。従って、一度拭き取りによりタリ一ユング部材に付着された汚れが、当該クリーニング部材より上記端子部に再付着されることを防止することができ、高精度なクリーニング動作を実現することができる。図面の簡単な説明

[0023] 本発明のこれらと他の目的と特徴は、添付された図面についての好ましい実施形態に関連した次の記述から明らかになる。この図面においては、

[図 1]図 1は、本発明の第 1の実施形態に力かる端子クリーニング装置の主要な構成を示す模式構成図であり、

[図 2]図 2は、上記第 1実施形態の端子クリーニング装置において、基板の保持の向きが 90度回転された状態を示す模式構成図であり、

[図 3]図 3は、図 1の端子クリーニング装置が備えるクリーニングユニットの構成を示す模式図であり、

[図 4]図 4は、図 3のクリーニングユニットにおける A— A線矢視模式図であり、 [図 5]図 5は、上記第 1実施形態の端子クリーニング装置におけるクリーニング処理の動作を示す模式説明図であって、クリーニング処理の開始時の状態を示す図であり

[図 6]図 6は、上記第 1実施形態の端子クリーニング装置におけるクリーニング処理の動作を示す模式説明図であって、クリーニング処理の実施中の状態を示す図であり

[図 7]図 7は、上記第 1実施形態の端子クリーニング装置におけるクリーニング処理の動作を示す模式説明図であって、クリーニング処理の完了時の状態を示す図であり

[図 8A]図 8Aは、上記クリーニング処理の際におけるクリーニング布の当接領域の配置状態を示す模式説明図であって、図 5のクリーニング処理開始時の状態を示す図であり、

[図 8B]図 8Bは、上記クリーニング処理の際におけるクリーニング布の当接領域の配置状態を図 8Aに続いて示す模式説明図であって、図 6のクリーニング処理実施中の状態を示す図であり、

[図 8C]図 8Cは、上記クリーニング処理の際におけるクリーニング布の当接領域の配置状態を図 8Bに続いて示す模式説明図であって、図 7のクリーニング処理完了時の状態を示す図であり、

[図 9A]図 9Aは、上記第 1実施形態のクリーニングユニットの変形例を示す模式説明図であって、クリーニングユニット全体を示す図であり、

圆 9B]図 9Bは、上記第 1実施形態のクリーニングユニットの変形例を示す模式説明図であって、第 2のクリーニングヘッド部を示す図であり、

圆 9C]図 9Cは、上記第 1実施形態のクリーニングユニットの変形例を示す模式説明図であって、第 1のクリーニングヘッド部を示す図であり、

[図 10]図 10は、本発明の第 2の実施形態にカゝかるクリーニングユニットの構成を示す模式構成図であり、

[図 11]図 11は、基板における端子部近傍の構成を示す模式説明図である。

発明を実施するための最良の形態 [0024] 本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。

[0025] 以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

[0026] (第 1実施形態）

本発明の第 1の実施形態に力かる基板端子クリーニング装置の一例である端子タリ一ユング装置 101の主要な構成を示す模式斜視図を図 1に示す。本第 1実施形態の端子クリーニング装置 101は、液晶表示装置 (液晶パネル)やプラズマディスプレイパネル (PDP)等のフラットディスプレイパネル用の基板表面における縁部等に形成された端子部 (ある!/、は端子部表面又は端子部配置領域)を、クリーニング部材の一例であるクリーニング布に接触させて拭き取ることによりクリーニングを行う装置である。なお、本明細書において、「クリーニング」とは、洗浄又は清掃により、対象物に付着して、る汚れの除去を行うことであり、例えば有機溶剤等を染みこませたクリーニング布を用、て行うような湿式タリ一ユングや溶剤等を用 Vヽな、乾式タリ一ユングの両者を含むものである。

[0027] ここで、装置の具体的構成を説明するに先立って、このような基板における端子部近傍の構造について、図 11に示す模式図を用いて以下に説明する。なお、図 11においては、基板 5が液晶パネルであるような場合を一例として、その構造を示している

[0028] 図 11に示すように、基板 5は、例えばガラス基板パネル 51をベース層とした多層構造を有している。具体的には、ガラス基板パネル 51の図示上面には液晶 52、カラーフィルタ 53、別のガラス基板パネル 54、さらに偏光板 55が積層されており、ガラス基板パネル 51の図示下面には偏光板 56が積層された構造を有している。このように、それぞれの層が積層された構造を有する部分が、基板 5における表示部 4となっており、この表示部 4に対して、図示上面側からバックライト等の光源を用いて光を照射させることで、表示部 4の図示下面側にぉ、て所望の画像等を視認可能に表示させることが可能となっている。

[0029] また、図 11に示すように、ガラス基板パネル 51は、その他の層よりも大きく形成されて、表示部 4の端部よりも突き出るように形成されている。このように表示部 4の周囲において表示部 4の表面よりも一段下がるように形成されたガラス基板パネル 51の表面が電極面となっており、このような電極面が形成された部分 (領域)が端子部 6となつている。このような端子部 6には、基板 5を外部の電子回路等と接続するための多数の電極端子 6aが配置される。

[0030] 例えば、表示部 4と端子部 6との境界に形成された段部 3 (図示上面側の段部）の高さは、例えば 0. 7mm程度であり、表示部 4の周囲に沿って形成された端子部 6の幅 (すなわち長手方向とは直交する方向の長さ寸法）は例えば 5mm程度となるように形成されている。なお、このような端子部 6は、略方形状を有する表示部 4の周囲における少なくとも一辺に形成されており、一般的には、上記略方形状の 2辺若しくは 3辺において、周縁部として形成されている。

[0031] 本第 1実施形態の端子クリーニング装置 101は、このような構造を有する基板 5において、端子部 6の表面の洗浄を行う装置である。

[0032] 次に、具体的な装置構成について以下に説明する。図 1に示すように、端子タリーユング装置 101は、搬送供給される基板 5を解除可能に保持するとともに、基板 5〖こおける端子部 6のクリーニングのための位置決め動作を実施可能に、当該保持された基板 5を、その表面沿いの方向である X軸方向又は Y軸方向、さらに当該表面内における回転方向である Θ方向に移動させる基板支持ステージ 7と、この基板支持ステージ 7により保持された基板 5の端子部 6に対して、クリーング処理を行うタリーニングユニット 10を備えている。

[0033] 基板支持ステージ 7は、四角形板状の基板 5の中央付近において、基板 5の下面が載置されるとともに、当該載置された基板 5を解除可能に吸着保持する基板保持部 8と、この基板保持部を図示 X軸方向及び Y軸方向に進退移動させるとともに、基板保持部 8を Θ方向に回転移動させる保持部移動装置 9とを備えている。なお、このような保持部移動装置 9は、ボールねじ軸機構ゃシリンダ機構等を用いた駆動機構により構成することができる。また、保持部移動装置 9は、上述のように X軸方向、 Y軸方向、及び Θ方向における移動動作に加えて、基板 5の表面に直交する方向である Z軸方向にも基板保持部 8を移動させる機構を有しており、これにより、基板支持ステージ 7により支持された基板 5は、全ての方向への移動を行うことができ、上記タリーユング処理のための確実な位置決めを行うことが可能となっている。

[0034] クリーニングユニット 10は、基板保持ステージ 7にて保持された基板 5の上面側において端子部 6に対するクリーニング処理を行う第 1のクリーニングヘッド部 11と、この第 1のクリーニングヘッド部 11に隣接して配置された第 2のクリーニングヘッド部 12 と、第 1のクリーニングヘッド部 11と基板 5に対して対称に配置され、その裏面側において端子部 6に対するクリーニング処理を行う第 3のクリーニングヘッド部 13と、この第 3のクリーニングヘッド部 13に隣接して配置されるとともに、第 2のクリーニングへッド部 12と基板 5に対して対称に配置された第 4のタリ一ユングヘッド部 14との合計 4 個のクリーニングヘッド部 11〜14を備えている。

[0035] また、図 1に示すように、クリーニングユニット 10における図示上面側においては、帯状 (テープ状)のクリーニング布 2がリールに巻き回された状態にて保持するとともに、上記クリーニング処理のためにクリーニング布 2を、第 1のクリーニングヘッド部 11 及び第 2のクリーニングヘッド部 12に供給する第 1のクリーニング布供給部 15と、当該クリーニング処理に用いられたクリーニング布 2をリールに巻き回させて回収する第 1のクリーニング布回収部 16とが備えられている。同様に、クリーニングユニット 10における図示下面側においても、第 2のクリーニング布供給部 17及び第 2のタリーニング布回収部 18が備えられている。なお、第 1のクリーニング布供給部 15と第 1のタリ一-ング布回収部 16との間においては、一続きの帯状のクリーニング布 2が取り扱われ、同様に第 2のクリーニング布供給部 17と第 2のクリーニング布回収部 18との間においても、一続きのクリーニング布 2が取り扱われる。なお、本実施形態においては、クリーニング布 2として、例えば、合成繊維を編み込んだ布材料を用いて、幅 10〜13 mm、厚さ 0. 3mm程度の大きさでテープ状に形成されたものが用いられる。

[0036] ここで、クリーニングユニット 10において、第 1のクリーニングヘッド部 11及び第 2のクリーニングヘッド部 12に関係する構成について、図 3及び図 4の模式構成図に示す。なお、図 3は、図示 X軸方向からクリーニングユニット 10を見た場合の部分模式側面図であり、図 4は、図 3のクリーニングユニット 10における A— A線矢視図である。また、クリーニングユニット 10において、第 1のクリーニングヘッド部 11及び第 2のタリ一-ングヘッド部 12と、第 3のクリーニングヘッド部 13及び第 4のクリーニングヘッド部 14とは、基板 5に対して対称関係の構造を有しているため、それぞれのタリーニングヘッド部の構成を代表して、図 3及び図 4においては、第 1のクリーニングヘッド部 1 1及び第 2のクリーニングヘッド部 12の構成についてのみを示し、その説明を行うものとする。

[0037] 図 3及び図 4に示すように、クリーニングユニット 10の図示上面側においては、第 1 のクリーニング布供給部 15より図示 X軸方向に沿って供給されたクリーニング布 2を、当該 X軸方向に沿っての走行を案内可能に支持する 3つの支持部（支持用ローラ）である第 1のローラ部 21、第 2のローラ部 22、及び第 3のローラ部 23が備えられている。また、第 1のローラ部 21によるクリーニング布 2の支持位置である第 1の位置 P1と、第 2のローラ部 22による支持位置である第 2の位置 P2と、第 3のローラ部 23による支持位置である第 3の位置 P3は、 X軸方向に沿って略直線状に配置されている。

[0038] また、図 3及び図 4に示すように、それぞれのローラ部 21〜23により支持された状態のクリーニング布 2における第 1の位置 P1と第 2の位置 P2との間の当接位置 (第 1 の当接位置) P11において、クリーニング布 2の図示上面に当接されるように第 1のクリー-ングヘッド部 11が配置され、また、第 2の位置 P2と第 3の位置 P3との間の当接位置 (第 2の当接位置) P12において、クリーニング布 2の図示上面に当接されるように第 2のクリーニングヘッド部 12が配置されている。また、第 1のクリーニングヘッド部 11は、当接位置 P11にて、クリーニング布 2の一部と当接されるクリーニング部材当接部の一例であって当接用ローラ部の一例でもあるヘッドローラ部 11aと、このヘッドローラ部 11aを昇降させる昇降部 l ibとを備えている。同様に、第 2のクリーニングへッド部 12も、当接位置 P12にて、クリーニング布 2の一部と当接されるヘッドローラ部 12aと、このヘッドローラ部 12aを昇降させる昇降部 12bとを備えて、る。

[0039] 第 1のクリーニングヘッド部 11において、昇降部 l ibは、ヘッドローラ部 11aに当接された状態のクリーニング布 2を、基板 5の表面における端子部 6に接触させて所定の加圧力でもって加圧した状態とする加圧高さ位置と、クリーニング布 2と端子部 6との接触を確実に解除して、基板支持ステージ 7による基板 5の移動が行われた場合であっても、基板 5との干渉が確実に防止された高さ位置である加圧解除高さ位置との間で、ヘッドローラ部 11aを昇降させることが可能となっている。同様に、第 2のタリ一二ングヘッド部 12においても、昇降部 12bは、加圧高さ位置と加圧解除高さ位置との間で、ヘッドローラ部 12aを昇降させることが可能となっている。なお、このような昇降部 l ib及び 12bは、例えばシリンダ機構を用いて構成することができる。

[0040] また、図 3及び図 4に示すように、クリーニングユニット 10においては、昇降部 l ib及び 12bは、共通フレーム 24に支持されてその支持位置が固定されおり、さらにこの共通フレーム 24を、図示 X軸方向に沿って進退移動させるクリーニングヘッド移動装置 30が備えられている。また、このクリーニングヘッド移動装置 30及びそれぞれのローラ部 21〜23は、共通フレーム 24とは、分離されたメインフレーム 25に支持されてその支持位置が固定されている。クリーニングユニット 10においてこのような構成が採用されていることにより、それぞれのローラ部 21〜23に対して相対的に、ヘッドローラ部 11a及び l ibを X軸方向に進退移動させることが可能となっている。すなわち、第 1 の位置 P1と第 2の位置 P2との間におけるクリーニング布 2に対して、ヘッドローラ部 1 laによる当接位置 P11を自由に可変させることが可能となっており、また、第 2の位置 P2と第 3の位置 P3との間におけるクリーニング布 2に対して、ヘッドローラ部 12aによる当接位置 P12を自由に可変させることが可能となっている。なお、このようなタリーユングヘッド移動装置 30は、例えばシリンダ機構を用いて構成することができる。また、クリーニング布 2に当接しながらのこのような移動を考慮して、ヘッドローラ部 11a 及び 12aの形状は、滑らかな形状とすることが好ましい。なお、このようなヘッドローラ部や支持用ローラ部は、例えば榭脂材料にて形成される。

[0041] また、このようなクリーニングユニット 10における上面側の構成は、その下面側にお Vヽても同様に備えられており、第 3のタリ一ユングヘッド部 13及び第 4のタリ一ユングヘッド部 14のそれぞれのローラ部に対する相対的な移動が可能となっている。

[0042] また、図 1に示すように、端子クリーニング装置 101においては、クリーニングュニット 10の上記上面側の構成及び下面側の構成を一体的な状態で、図示 X軸方向に進退移動させる支持部移動装置の一例であるユニット移動装置 31が備えられて、る。具体的には、ユニット移動装置 31は、上記上面側の構成におけるメインフレーム 25 と、このメインフレーム 25に相当する下面側のメインフレーム（図示しない）とを、互いに一体的な状態にて、図示 X軸方向に沿って進退移動させることが可能となっている。なお、このようなユニット移動装置 31は、例えばボールねじ軸機構を用いて構成することができ、さらに、上記進退方向に沿ってその移動を高精度に案内する移動案内用レール等が用いられることが好まし、。

[0043] このようにユニット移動装置 31により、クリーニングユニット 10が、図示 X軸方向手前側向きをそのクリーニング方向 Dとして移動可能とされていることにより、それぞれのヘッドローラ部 11a及び 12aが加圧高さ位置に位置されてクリーニング布 2を端子部 6 の表面に加圧した状態で、当該クリーニング布 2をクリーニング方向 Dに沿って移動させて、端子部 6の表面を拭き取るようにクリーニングを行うことが可能となっている。なお、クリーニングユニット 10におけるそれぞれのクリーニング布供給部 15、 17、及びクリーニング布回収部 16、 18には、クリーニング布 2に対して所定の張力を付与する図示しない張力付与部が備えられており、上記拭き取り状態においてクリーニング布 2に対して弛みが生じな、ように構成されて、る。

[0044] さらにクリーニングユニット 10には、このようなクリーニング処理の開始前の端子部 6 の表面状態の画像を撮像することで、当該表面の汚れ度合、を認識するタリーニング前確認用カメラ 32と、クリーニング処理の実施後の端子部 6の表面状態の画像を撮像することで、当該表面の汚れの除去度合ヽを認識するクリーニング後確認用カメラ 33とが備えられている。

[0045] また、端子クリーニング装置 101においては、基板支持ステージ 7による基板 5の保持動作及び位置合わせ動作、クリーニングユニット 10におけるそれぞれの動作、ュニット移動装置 31によるクリーニングユニット 10の移動動作、及びそれぞれの確認用カメラ 32、 33による認識動作を、互いに関連付けながら、統括的に制御を行う制御装置 20が備えられている。

[0046] なお、図 2に示す端子クリーニング装置 101においては、長方形状を有する基板 5 力長手方向を図示 Y軸方向に沿って基板支持ステージ 7に保持された状態を示している。このように基板支持ステージ 7は、基板 5をその表面沿いのあらゆる向きにおいて保持することが可能となっていることにより、基板 5の外周全体の縁部に設けられた端子部 6に対して、クリーニング処理を施すことが可能となっている。

[0047] 次に、このような構成を有する端子クリーニング装置 101において、基板 5の端子部 6に対してクリーニング処理を行う動作について、図 5、図 6、及び図 7の模式説明図を用いて以下に説明する。なお、以下において説明するクリーニング処理は、端子クリー-ング装置 101が備える制御装置 20によりそれぞれの構成部が互いに関連付けられて統括的に制御されることにより行われる。

[0048] まず、図 1に示すように、端子クリーニング装置 101において、クリーニング処理が行われる基板 5が図示しない搬送装置により搬送されて、基板支持ステージ 7の基板保持部 8に載置されて保持される。その後、基板保持部 8が保持部移動装置 9により、図示 X軸方向、 Y軸方向、 Z軸方向、又は Θ軸方向に移動されることにより、上記クリー-ング処理の対象となる端子部 6と、クリーニングユニット 10との位置合わせが行われる。

[0049] また、この位置合わせとともに、あるいは位置合わせの前に、クリーニングユニット 1 0においては、それぞれのクリーニング布供給部 15及び 17とクリーニング布回収部 1 6及び 18とにより、クリーニング布 2の供給送り動作及び回収動作が行われ、新たなクリー-ング布 2がそれぞれのローラ部 21、 22、及び 23により支持された状態とされる

[0050] 上記位置合わせ及びクリーニング布 2の送り動作が完了した後、クリーニングュニット 10の上面側の構成である第 1のクリーニングヘッド部 11及び第 2のクリーニングへッド部 12においては、ヘッドローラ部 11a及び 12aがクリーニング方向 Dの上流側に位置、すなわち、ヘッドローラ部 11aの当接位置 P11が第 2の位置 P2に近接するように、また、ヘッドローラ部 12aの当接位置 P12が第 3の位置 P3に近接するように、タリーユングヘッド移動装置 30により移動されて位置された状態とされる。また、タリーニングユニット 10の下面側の構成である第 3のクリーニングヘッド部 13及び第 4のタリー- ングヘッド部 14においても同様に、それぞれのヘッドローラ部がクリーニング方向 D の上流側の位置へと位置された状態とされる。

[0051] また、それとともに、クリーニングユニット 10の上面側の構成におけるそれぞれのタリ一-ングヘッド部 11及び 12において、ヘッドローラ部 11a及び 12aが、昇降部 l ib 及び 12bにより下降されて、加圧解除高さ位置から加圧高さ位置へと位置される。また、クリーニングユニット 10の下面側の構成におけるそれぞれのクリーニングヘッド部 13及び 14においても、同様の動作が行われて、図示しない昇降部によりヘッドローラ部が上昇されて加圧解除高さ位置から加圧高さ位置へと位置される。このような状態におけるクリーニングユニット 10と基板 5の端子部 6との位置関係力図 5の模式説明図に示す状態である。

[0052] 図 5に示すように、第 1のクリーニングヘッド部 11におけるヘッドローラ部 11aは、高さ方向にぉ、て加圧高さ位置に位置されて、るとともに、基板 5の表面沿、の方向において第 2の位置 P2に近接した位置に位置されており、また、第 2のクリーニングへッド 12におけるヘッドローラ部 12aは、高さ方向において加圧高さ位置に位置されているとともに、基板 5の表面沿いの方向において第 3の位置 P3に近接した位置に位置されている。さらに、第 3クリーニングヘッド部 13におけるヘッドローラ部 13aも、高さ方向にお、て加圧高さ位置に位置されるとともに、基板 5の表面沿、の方向にぉ、て第 2の位置 P2に近接した位置に位置されている。そして、第 4クリーニングヘッド部 14におけるヘッドローラ部 14aも、高さ方向において加圧高さ位置に位置されるとともに、基板 5の表面沿、の方向にぉ、て第 3の位置 P3に近接した位置に位置されている。

[0053] また、基板 5の上面側と下面側において、それぞれのクリーニングヘッド部 11〜14 は、基板 5を対称面として、上下対称に配置されている。すなわち、第 1のクリーニングヘッド部 11のヘッドローラ部 11aと、第 3のクリーニングヘッド部 13のヘッドローラ部 13aとは、基板 5の表面沿いの方向において同じ位置、すなわち当接位置 P11に位置されており、また、第 2のクリーニングヘッド部 12のヘッドローラ部 12aと、第 4のタリ一-ングヘッド部 14のヘッドローラ部 14aとは、基板 5の表面沿いの方向において同じ位置、すなわち当接位置 P 12に位置されている。このようにそれぞれのヘッドローラ部 l la〜14aが基板 5を挟んで対称の位置関係を有していることにより、ヘッドローラ部 11a及び 13aによりクリーニング布 2を介在させながら基板 5の端子部 6を表裏面から挟み込んだ状態とされ、また、ヘッドローラ部 12a及び 14aによりクリーニング布 2を介在させながら基板 5の端子部 6を表裏面から挟み込んだ状態とされている。

[0054] 次に、図 5に示す状態において、ユニット移動装置 31によりクリーニングユニット 10 のクリーニング方向 Dに向けての移動を開始する。この移動においては、クリーニングユニット 10は、クリーニング方向 Dに向けて例えば移動速度 VI (第 1の移動速度、すなわち基板 5に対する移動速度）にてその移動が行われる。すなわち、当該移動により、第 1の位置 P1と第 3の位置 P3との間において支持されているクリーニング布 2は、第 1の移動速度 VIでもってクリーニング方向 Dへ移動されることとなる。これにより、基板 5の端子部 6の表面及び裏面に当接位置 P11及び P12でもって当接されているクリーニング布 2の当接部分が、端子部 6との接触状態が保たれながら、クリーニング方向 Dに向けて移動され、端子部 6の表面及び裏面がクリーニング布 2により拭き取られてクリーニングされることとなる。なお、当該移動に際して、基板 5の上面側及び下面ィ則【こおヽて、それぞれのローラ咅 21、 22、 23、 26、 27、及び 28ίま、互ヽ【こ一体的な配置関係が保たれた状態とされる。

[0055] このユニット移動装置 31によるクリーニングユニット 10の移動の開始とともに、タリーユングヘッド移動装置 30による共通フレーム 24のクリーニング方向 Dに向けての移動が開始される。具体的には、図 6に示すように、クリーニングユニット 10の上面側の構成において、第 2の位置 Ρ2に近接した位置に位置されていたヘッドローラ部 11a を第 1の位置 P 1へ向けて移動されるとともに、第 3の位置 P3に近接した位置に位置されて、たヘッドローラ部 12aを第 2の位置 P2へ向けて移動させるように、上記タリ一ユングヘッド移動装置 30による移動を移動速度 V2でもって行う。また、このタリー- ングユニット 10の上面側の構成における移動と同期させて、下面側の構成においても、第 2の位置 P2に近接した位置に位置されて、たヘッドローラ部 13aを第 1の位置 P1へ向けて移動されるとともに、第 3の位置 P3に近接した位置に位置されていたへッドローラ部 14aを第 2の位置 P2へ向けて移動させるように、上記クリーニングヘッド移動装置 30による移動を行う。

[0056] このようなクリーニングヘッド移動装置 30による移動が行われることにより、それぞれのヘッドローラ部 l la〜14aによるクリーニング布 2に対する当接位置 Pl l、 P12が可変されることとなる。すなわち、例えば、第 1の位置 P1と第 2の位置 P2との間にて支持された状態のクリーニング布 2を例にとって説明すると、当該クリーニング布 2の一部が当接位置 P11にて端子部 6の表面に接触された状態にて、移動速度 VIでもつてクリーニング方向 Dに向けて移動されながら、さらにその移動状態において、その当接位置 P 11が移動速度 V2でもって第 1の位置 P 1へ向けて移動されることとなる。従って、端子部 6の表面に接触するクリーニング布 2の当接部分を常に新しい清浄な状態の部分とすることができる。

[0057] なお、この移動状態をそれぞれのローラ部 21〜23及び 26〜28の基板 5に対する移動速度 Vaと、それぞれのヘッドローラ部 1 la〜 14aの基板 5に対する移動速度 Vb (第 2の移動速度）との関係で説明すると、 Va= VIにてクリーニング方向 Dへのローラ部の移動が行われ、 Vb= VI +V2にてクリーニング方向 Dへのヘッドローラ部の移動が行われることとなる。

[0058] その後、図 7に示すように、第 1のクリーニングヘッド部 11のヘッドローラ部 11a及び第 3のクリーニングヘッド部 13のヘッドローラ部 13aが、クリーニング方向 Dにおける端子部 6の端部へと到達すると、ユニット移動装置 31によるクリーニングユニット 10の移動が停止される。また、当該状態においては、第 1のクリーニングヘッド部 11のへッドローラ部 11a及び第 3のクリーニングヘッド部 13のヘッドローラ部 13aが、第 1の位置 P1に近接する位置にまで移動された状態とされるとともに、第 2のクリーニングへッド部 12のヘッドローラ部 12a及び第 4のタリ一ユングヘッド部 14のヘッドローラ部 14a 力第 2の位置 P2に近接する位置にまで移動された状態とされ、当該状態においてクリーニングヘッド移動装置 30による移動も停止される。

[0059] その後、それぞれのクリーニングヘッド部 11〜14において、ヘッドローラ部 l la〜l 4_aが昇降部により加圧高さ位置力加圧解除高さ位置へと移動されて、端子部 6の表裏面に対するクリーニング布 2の接触が解除される。このようにクリーニング布 2の接触が解除されると、第 1のクリーニング布供給部 15及び第 1のクリーニング布回収部 16によりクリーニング布 2の送り動作及び回収動作が行われて、第 1の位置 P1と第 3の位置 P3との間において端子部 6に接触した部分のクリーニング布 2を新たなタリ一-ング布 2に入れ替える。第 2のクリーニング布供給部 17及び第 2のクリーニング布回収部 18においても同様な動作を行い、クリーニング布 2における使用済みの部分を未使用の部分に入れ替える動作を行う。

[0060] その後、端子クリーニング装置 101において、例えば、保持部移動装置 9により基板保持部 8を Θ方向に 90度回転させるとともに、 X、 Y、又は Ζ軸方向に移動させることで、基板 5の別の縁部における端子部 6とクリーニングユニット 10との位置合わせを行う。当該位置合わせの後、上述の同様な手順でもって当該別の端子部 6に対してクリーニング処理を行う。

[0061] 基板 5に対する全ての端子部 6に対するクリーニング処理が完了すると、基板支持ステージ 7による基板 5の保持が解除されて、図示しない搬送装置に基板 5が受け渡され、基板 5が排出される。これで、基板 5の端子部 6に対する一連のクリーニング処理が完了する。

[0062] ここで、クリーニングユニット 10によるクリーニング処理において用いられたタリー- ング布 2における当接位置 P11及び P12の位置の変化を、図 5〜図 7に示す状態と対応させて示す模式説明図を図 8A〜図 8Cに示す。なお、図 8Aに示す状態は、図 5の状態と対応しており、図 8Bに示す状態は、図 6の状態と対応しており、図 8Cに示す状態は、図 7の状態と対応している。

[0063] まず、図 8Aに示すように、クリーニング処理開始の際のクリーニング布 2においては、当接位置 P11における端子部 6との当接領域 R11は、第 2の位置 P2に近接した位置に配置されており、当接位置 P12における端子部 6との当接領域 R12は、第 3の位置 P3に近接した位置に配置されている。

[0064] その後、それぞれのヘッドローラ部 l la〜14aが、それぞれのローラ部 21〜23及び 26〜28に対して相対的に移動速度 V2でもってクリーニング方向 Dに移動されることにより、図 8Bに示すように、それぞれの当接領域 Rl l、 R12が、クリーニング方向 D に向けて移動された状態とされる。

[0065] さらにその後、クリーニング処理完了の際のクリーニング布 2においては、当接領域 R 11は第 1の位置 P 1に近接した位置に配置されており、当接領域 R 12は第 2の位置 P2に近接した位置に配置されている。

[0066] このようにクリーニング処理の過程において、それぞれの当接領域 Rl l、 R12の移動が行われることにより、当接領域 R 11の軌跡領域 R1が第 1の位置 P 1と第 2の位置 P2との間に渡って配置され、また、当接領域 R12の軌跡領域 R2が第 2の位置 P2と第 3の位置 P3との間に渡って配置されることとなる。従って、従来のクリーニング方法のように、ヘッド等の移動によるクリーニング動作を実施している間において、タリー- ング布の一部の限られた領域のみを使用するのではなぐ端子部 6への当接位置 PI 1、 P12を可変させながら、常に未使用の部分でもって拭き取りクリーニングを行うことができるとともに、クリーニング布 2全体を無駄なく効率的に使用することができる。よつて、高い清浄性でもってのクリーニングを可能としながら、効率的にクリーニング布を使用することができる端子クリーニング装置 101を提供することができる。

[0067] また、このような端子クリーニング装置 101においては、端子部 6に対するヘッド口ーラ部 l la〜14aの移動の際に、端子部 6に接触されるクリーニング布 2の部分を常に異なる面とすることができるため、一度拭きとつた汚れを端子部 6に再付着させることを確実に防止することができ、特に近年長大化される液晶パネル等に対する端子部のクリーニング処理に適して、る。

[0068] なお、図 8Cに示すように、クリーニング処理が完了した時点において、当接領域 R 11の移動軌跡 R1が第 1の位置 P1と第 2の位置 P2との間に収まり、かつ、当接領域 R12の移動軌跡 R2が第 2の位置 P2と第 3の位置 P3との間に収まるように、それぞれの位置 P1〜P3が設定されるとともに、移動速度 VI及び V2が設定されるようにすることが好ましい。

[0069] なお、本第 1の実施形態のクリーニングユニット 10は、上述の説明のような構成のみに限られるものではなぐその他様々な構成を採用することができる。例えば、図 9A 、図 9B、及び図 9Cの模式説明図に示すクリーニングユニット 40のように、第 1のタリ一-ングヘッド部 41におけるヘッドローラ部 41aと、第 2のクリーニングヘッド部 42におけるヘッドローラ部 42aとを互いに異なる構造のものとするような場合であってもよい。

[0070] 具体的には、図 9Cに示すように、第 1のクリーニングヘッド部 41のヘッドローラ部 4 laとして、端子部 6における隅部を重点的にクリーニングする小型のローラを用い、図 9Bに示すように、第 2のクリーニングヘッド部 42のヘッドローラ部 42aとして、端子部 6の全面を全体的にクリーニングする大型のローラを用いるような構成が採用されている。

[0071] このような構成が採用されることにより、基板 5の端子部 6において、汚れが拭き取り難い隅部を確実かつ高精度にクリーニングすることができる。なお、図 9Cに示すように、小型のヘッドローラ部 41を端子部 6の隅部に付勢するようなパネ部 41cが用いられることで、当該隅部のクリーニング効果をより向上させることができる。

[0072] また、第 1のクリーニングヘッド部 11のヘッドローラ部 11aと、第 2のクリーニングへッド部 12のヘッドローラ部 12aとの Y軸方向における位置を異ならせるように配置させるような構成を採用することもできる。特に、端子部 6の Y軸方向における領域幅が大きいような場合にあって力このように 2つのヘッドローラ部 11aと 12aとの位置を異ならせることで、全領域に対する確実なクリーニング処理を実現することができる。

[0073] また、第 1のクリーニングヘッド部 11のヘッドローラ部 11aと、第 2のクリーニングへッド部 12のヘッドローラ部 12aとの大きさだけでなぐ種類自体を互いに異なるものとするような構成を採用することもできる。例えば、一方のヘッドローラ部をローラ形状としながら、他方のヘッドローラ部をブレード状のもの、あるいはブラシ状のものとすることもできる。このような場合にあっては、より多様ィ匕されたクリーニング態様に対応することができ、様々な種類の基板のクリーニング処理に対応することが可能となる。

[0074] また、図 5〜図 7を用いたクリーニング処理の説明においては、第 2のクリーニングヘッド部 12のヘッドローラ部 12aの当接位置 P12が、基板 5の端子部 6の端部に位置された状態にて、クリーニング処理が開始されるような場合について説明したが、本第 1実施形態のクリーニング処理はこのような場合についてのみ限られるものではない。このような場合に代えて、例えば、図 5において、第 1のクリーニングヘッド部 11 のヘッドローラ部 11aの当接位置 P11が基板 5の端子部 6の端部に位置された状態にて、クリーニング処理が開始されるような場合であってもよい。

[0075] また、同様に、図 7に示すように、第 1のクリーニングヘッド部 11のヘッドローラ部 11 aの当接位置 PI 1が基板 5の端子部 6の端部に位置された状態にて、クリーニング処理が完了するような場合に代えて、さらにクリーニングユニット 10の移動を行い、第 2 のクリーニングヘッド部 12のヘッドローラ部 12aの当接位置 P 12が基板 5の端子部 6 の端部にまで位置させた状態にて、クリーニング処理が完了されるような場合であつてもよい。このような場合あっては、クリーニング方向 Dにおいて端子部 6の全ての領域を、 2度拭き取ることができ、クリーニング性を向上させることができる。

[0076] また、上述の説明にお、ては、クリーニング処理にぉ、て、クリーニングヘッド移動装置 30によるそれぞれのクリーニングヘッド部 11、 12の移動方向力クリーニング方向 Dと同じ向きであるような場合について説明した力このような場合のみに限られず、クリーニング方向 Dと逆向きに移動させるような場合であってもよい。ただし、図 5から図 7に示すように、クリーニング方向 Dと同じ向きに移動させる方が、ユニット移動装置 31によるクリーニングユニット 10の移動範囲を小さくすることができ、クリーニング処理に要する時間を短縮することができるという観点、及び、端子クリーニング装置 1 01全体の小型化という観点からは好ましい。なお、第 1のクリーニングヘッド部 11と第 2のクリーニングヘッド部 12とは、同じ向きに移動されるような場合のみに限られず、異なる向きに移動されるような場合であってもよい。

[0077] また、クリーニングヘッド移動装置 30がメインフレーム 25に固定され、メインフレーム 25がユニット移動装置 31により移動されるような場合について説明した力このような場合に代えて、それぞれの移動装置 30、 31が互いに独立して備えられているような場合であってもよい。それぞれのローラ部 21〜23及び 26〜28の移動速度 Vaと、それぞれのヘッドローラ部 1 la〜14aの移動速度 Vbが互いに異なると!、う関係を有すれば、移動装置の主従関係に拘わらず、本第 1実施形態による効果を得ることができる。

[0078] また、本第 1実施形態の端子クリーニング装置 101においては、基板支持ステージ 7により保持された基板 5を固定して、当該基板 5に対してクリーニングユニット 10を移動させることで、上記クリーニング処理を行うような場合について説明した力このような場合についてのみ限られるものではない。このような場合に代えて、タリーニングユニット 10を固定して、基板支持ステージ 7により基板 5を移動させるような場合であっても良い。このような場合であっても、上記クリーニング処理のための両者の相対的な移動を行うことができるからである。

[0079] (第 2実施形態）

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなぐその他種々の態様で実施できる。例えば、本発明の第 2の実施形態に力かる端子クリーニング装置が備えるクリーニングユニット 110の部分的な構成を示す模式説明図を図 10に示す。

[0080] 図 10に示すように、クリーニングユニット 110においては、第 1のクリーニングヘッド部 111により基板 5の端子部 6に当接されるクリーニング布 2の当接面と、第 2のタリーユングヘッド部 112により端子部 6に当接されるクリーニング布 2の当接面と力互いに表裏反転するように、クリーニング布 2の表面と裏面とを反転させる捩り機構 120が備えられている点において、上記第 1実施形態のクリーニングユニット 10とは異なる構成を有している。

[0081] 具体的には、図 10に示すように、クリーニングユニット 110は、上面側の構成部分において、供給されるクリーニング布 2を走行案内可能に支持する 4個のローラ部 12 1、 122、 123、 124と、それぞれのローラ部 121〜124とは 90度異なる方向に配置され、中央付近に配置されるローラ部 122及び 123の間に支持されたクリーニング布 2 を支持しながら表面と裏面とを反転させる捩り用ローラ部 125とを備えている。すなわち、上記中央付近の 2個のローラ部 122及び 123と、捩り用ローラ部 125とにより、タリ一-ング布 2を反転させる捩り機構 120が構成されてヽる。

[0082] また、図 10に示すように、クリーニングユニット 110の下面側の構成部分においても、基板 5を挟んで対称の構成が備えられており、 4個のローラ部 126〜129と、捩り用ローラ部 131とが備えられ、中央付近の 2個のローラ部 127及び 128と、捩り用ローラ部 131とにより捩り機構 130が構成されている。

[0083] このようにそれぞれの捩り機構 120、 130が備えられていることにより、第 1のタリーユングヘッド部 111による端子部 6へのクリーニング布 2の当接面と、第 2のクリーニングヘッド部 112による端子部 6へのクリーニング布 2の当接面とを表裏反転させることができるとともに、第 3のクリーニングヘッド部 113による端子部 6へのクリーニング布 2 の当接面と、第 4のクリーニングヘッド部 114による端子部 6へのクリーニング布 2の当接面とを表裏反転させることができる。従って、例えば、第 1のクリーニングヘッド部 11 1にて使用したクリーニング布 2の裏面を第 2のクリーニングヘッド 112にて使用することが可能となり、良好なクリーニング精度を保ちながら、クリーニング布 2をより効率的に使用することが可能となる。

[0084] なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

[0085] 本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとつては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

2005年 4月 1日に出願された日本国特許出願 No. 2005— 105943号の明細書、図面、及び特許請求の範囲の開示内容は、全体として参照されて本明細書の中に取り入れられるものである。

Claims

請求の範囲

[1] 基板の表面に帯状に形成された端子部に、帯状のクリーニング部材を当接させな力上記端子部に沿って移動させることにより、当該端子部のクリーニングを行う基板端子クリーニング装置において、

上記基板を配置させてその支持を行う基板支持部と、

上記支持部移動装置による上記第 1の支持部及び上記第 2の支持部の第 1の移動速度とは異なる第 2の移動速度にて、上記端子部沿いの方向に上記クリーニングへッド部を上記基板に対して相対的に移動させるクリーニングヘッド移動装置とを備える基板端子クリーニング装置。

[2] 上記支持部移動装置による上記第 1の移動速度での移動により、上記端子部に当接された状態の上記クリーニング部材を、上記端子部沿いに移動させ、

上記クリーニングヘッド移動装置による上記第 2の移動速度と上記第 1の移動速度との移動速度差でもって、上記クリーニング部材に対する上記クリーニングヘッド部の当接位置を、上記第 1の位置と上記第 2の位置との間で可変させる請求項 1に記載の基板端子クリーニング装置。

[3] 上記支持部移動装置は、上記第 1の支持部及び上記第 2の支持部と一体的に上記クリーニングヘッド移動装置を上記第 1の移動速度で移動可能であって、

上記クリーニングヘッド移動装置は、上記支持部移動装置による上記移動の際に、上記第 1の支持部及び上記第 2の支持部に対して上記クリーニングヘッド部を、上記第 2の移動速度と上記第 1の移動速度との差の移動速度でもって相対的に移動させる請求項 1に記載の基板端子クリーニング装置。

[4] 上記端子部表面力離間されかつ上記第 1の支持部及び上記第 2の支持部とともに上記端子部沿、の方向に配置された第 3の位置にぉ、て、上記クリーニング部材を支持する第 3の支持部と、

上記クリーニングヘッド移動装置は、上記第 1の移動速度とは異なる第 3の移動速度にて、上記端子部沿いの方向に上記第 2のクリーニングヘッド部を移動させる請求項 1に記載の基板端子クリーニング装置。

[5] 上記第 2の移動速度と上記第 3の移動速度とは同じ移動速度であって、

上記クリーニングヘッド移動装置は、上記第 1のクリーニングヘッド部及び上記第 2 のクリーニングヘッド部を一体的に上記第 2の移動速度でもって移動させる請求項 4 に記載の基板端子クリーニング装置。

[6] 上記クリーニングヘッド部は、

上記端子部への上記クリーニング部材の加圧高さ位置と、上記端子部より離間された加圧解除高さ位置との間で、当該クリーニング部材当接部を昇降させる昇降装置とを備える請求項 1に記載の基板端子クリーニング装置。

[7] 上記支持部は、上記クリーニング部材を走行可能に支持する支持用ローラ部であつて、

上記クリーニングヘッド部における上記クリーニング部材当接部は、移動可能に上記クリーニング部材と当接される当接用ローラ部である請求項 6に記載の基板端子クリーニング装置。

[8] 上記クリーニングヘッド移動装置における上記第 2の移動速度は、上記支持部移動装置における上記第 1の移動速度よりも大きく設定されている請求項 1に記載の基板端子クリーニング装置。

[9] 上記支持部移動装置による上記第 1の支持部の上記端子部のクリーニング領域の移動に要する時間は、上記クリーニングヘッド移動装置による上記第 1の位置の近傍における上記当接位置から上記第 2の位置の近傍における上記当接位置への上記クリーニングヘッド部の移動に要する時間以下となるように、上記第 1の移動速度及び上記第 2の移動速度が設定される請求項 1に記載の基板端子クリーニング装置。

[10] 上記端子部の表面及び裏面を共にクリーニング実施可能に、上記基板を介して、上記それぞれの支持部及び上記クリーニングヘッド部が一対に備えられ、

当該一対のクリーニングヘッド部は、上記端子部における同じ位置における表面及び裏面のそれぞれに上記各々のクリーニング部材を当接させる請求項 1に記載の基板端子クリーニング装置。

[11] 上記一対のそれぞれの支持部は、上記第 1の移動速度でもって互いに同期して移動されるとともに、上記一対のクリーニングヘッド部は、上記第 2の移動速度でもって互いに同期して移動される請求項 10に記載の基板端子クリーニング装置。

[12] 上記第 1の支持部と上記第 3の支持部との間に配置される上記第 2の支持部は、上記第 1の支持位置と上記第 2の支持位置との間に配置された上記クリーニング部材の支持姿勢に対して、上記第 2の支持位置と上記第 3の支持位置との間に配置された当該クリーニング部材の支持姿勢を表裏反転させる捩り機構を備える請求項 4又は 5に記載の基板端子クリーニング装置。

[13] 基板の表面に帯状に形成された端子部に、帯状のクリーニング部材を当接させな力上記端子部に沿って移動させることにより、当該端子部のクリーニングを行う基板端子のクリーニング方法において、

上記基板における上記端子部の表面より離間された第 1の位置と、上記第 1の位置より上記端子部に沿った方向に離間して配置された第 2の位置とにおいて、上記タリ一ユング部材を支持しながら、上記端子部沿いの方向に上記第 1及び第 2の位置並びに上記タリ一ユング部材を上記基板に対して第 1の移動速度で移動させるとともに、上記第 1の位置と上記第 2の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部が上記基板の上記端子部に当接される当接位置を、上記端子部沿いの方向に上記第 1の移動速度とは異なる第 2の移動速度にて、上記基板に対して移動させる基板端子のクリーニング方法。

上記端子部表面から離間されかつ上記第 1及び上記第 2の位置とともに上記端子部沿いの方向に配置された第 3の位置において、上記クリーニング部材をさらに支持しながら、上記端子部沿いの方向に上記第 1、第 2、及び第 3の位置、並びに上記クリ一-ング部材を上記基板に対して上記第 1の移動速度で移動させるとともに、上記第 2の位置と上記第 3の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材のー部がさらに上記基板の上記端子部に当接される第 2の当接位置を、上記端子部沿いの方向に上記第 1の移動速度とは異なる第 3の移動速度にて、上記基板に対して移動させる請求項 13に記載の基板端子のクリーニング方法。