CN203831935U - 丝网印刷机及丝网掩模的清洗装置 - Google Patents

Abstract

一种丝网印刷机及丝网掩模的清洗装置，其能够可靠地除去附着于丝网掩模下面的膏。将具有以上面的中央部为顶部（50c、51c）的凸形状的主体部的缓冲部件（50、51）安装于形成于嘴（21）的上面的槽部。在清洗动作中，通过使对位于丝网掩模12的下方的嘴（21）上升，将清洗纸（23）向丝网掩模（12）的下面推压的同时将丝网掩模（12）提升到规定的高度。这时，首先，缓冲部件（50、51）的顶部（50c、51c）与丝网掩模（12）的下面中央抵接，之后，模仿缓冲部件（50、51）的突出面的形状，丝网掩模（12）从下面中央朝向两侧依次挠曲并同时被提升。在该状态下使嘴（21）沿清洗方向水平移动。

Description

丝网印刷机及丝网掩模的清洗装置

技术领域

本实用新型涉及经由丝网掩模在基板上印刷膏状焊锡等膏的丝网印刷机及除去附着于丝网掩模下面的膏的丝网掩模的清洗装置。

背景技术

在电子零件安装工序中，作为在基板上印刷膏状焊锡及导电性膏等膏的方法使用丝网印刷。该方法中，使与印刷对象部位相对应地设有图案孔的挠性的丝网掩模与基板的下面抵接，向丝网掩模上供给膏并使刮板滑动，由此将膏经由图案孔印刷在基板上。

在印刷作业时，在丝网掩模的下面侧附着有从印刷部位溢出的膏，或在基板上未完全转印的膏残留于图案孔等产生污损。这种膏的污损妨碍后续的向基板的正常印刷，需要在印刷作业时的规定的时间进行用于除去这些膏的清洗。因此，提供一种清洗装置，其通过上面为水平的细长形状的吸入嘴将丝网掩模从下方提升一定量，在该状态下一边按压擦拭材料一边使之滑动，由此，经由片状的擦拭材料清洗丝网掩模的下面（例如参照专利文献1）。

专利文献1：日本国特开平10－193577号公报

为了实现良好的清洗作业，在使吸入嘴上升而提升丝网掩模时，两部件间要求高的密合性。但是，在通过吸入嘴从下方提升该丝网掩模时，可能发生在仅吸入嘴的长度方向上的两端的角部接触的状态下提升丝网掩模之类的情况。在这种情况下，产生在丝网掩模的下面和吸入嘴的上面之间产生间隙，而不能充分地除去附着于掩模板的下面的膏的问题。

实用新型内容

于是，本实用新型的目的在于，提供一种能够可靠地除去附着于丝网掩模的下面的膏的丝网印刷机及丝网掩模的清洗装置。

本实用新型第一方面的丝网印刷机，使基板与形成有图案孔的挠性的丝网掩模的下面抵接，通过使刮板在丝网掩模上滑动，将膏经由所述图案孔印刷在基板上，其中，该丝网印刷机具备利用清洗纸除去附着于所述丝网掩模的下面的膏的丝网掩模的清洗装置，所述丝网掩模的所述清洗装置具备：清洗头，其具有将所述清洗纸向所述丝网掩模推压的推压面、头升降机构，其使所述清洗头相对于所述丝网掩模升降，所述推压面具有随着从两侧朝向中央而隆起的凸部。

另外，本实用新型第四方面的丝网掩模的清洗装置，其配备在丝网印刷机上，所述丝网印刷机使基板与形成有图案孔的挠性的丝网掩模的下面抵接，通过使刮板在所述丝网掩模上滑动，将膏经由所述图案孔印刷在基板上，该丝网掩模的清洗装置利用清洗纸除去附着于所述丝网掩模下面的膏，其中，具备：清洗头，其具有将所述清洗纸向所述丝网掩模推压的推压面；头升降机构，其使所述清洗头相对于所述丝网掩模升降，所述推压面具有随着从两侧朝向中央而隆起的凸部。

根据本实用新型，由于推压面具有随着从两侧朝向中央隆起的凸部，因此，能够防止在丝网掩模的下面与推压面间产生间隙的情况，能够提高丝网掩模与嘴的密合性，其结果，能够使附着于丝网掩模下面的膏可靠地附着于清洗纸而能够将其除去。

附图说明

图1是是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的侧面图；

图2是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的正面图；

图3是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的俯视图；

图4（a）、（b）是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的动作说明图；

图5（a）是本实用新型一实施方式的清洗单元的俯视图，图5（b）是本实用新型一实施方式的清洗单元的侧面图；

图6（a）是构成本实用新型一实施方式的清洗单元的嘴的俯视图，图6（b）是构成本实用新型一实施方式的清洗单元的嘴的剖面图，图6（c）是构成本实用新型一实施方式的清洗单元的嘴的俯视图，图6（d）是构成本实用新型一实施方式的清洗单元的嘴的剖面图；

图7（a）、（b）是构成本实用新型一实施方式的清洗单元的嘴的立体图；

图8（a）～（c）是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的动作说明图；

图9（a）是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的嘴的俯视图，图9（b）是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的嘴的剖面图；

图10（a）、（b）是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的嘴的立体图，图10（c）是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的嘴的剖面图；

图11是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的嘴的剖面图；

图12（a）、（b）是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的清洗头的立体图；

图13（a）是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的嘴的俯视图，图13（b）、（c）是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的嘴的剖面图；

图14（a）是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的嘴的俯视图，图14（b）是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的嘴的正面视图，图14（c）是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的嘴的立体图，图14（d）是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的嘴的正面视图；

图15（a）是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的嘴的俯视图，图15（b）是构成本实用新型其它实施方式的清洗单元的嘴的剖面图。

符号说明

10  基板

12  丝网掩模

12b  图案孔

16  刮板

18  清洗单元（丝网掩模的清洗装置）

21、21B、21C、21D  嘴

21A  清洗头

21b  吸入口

21e  上面（推压面）

23  清洗纸

36  头升降机构

50、60、70、80、110  缓冲部件（推压部件）

50d  突出面（推压面）

90  抵接部件（推压部件）

100  突出部

P  膏

具体实施方式

参照附图对本实用新型的实施方式进行说明。首先，参照图1、图2及图3说明丝网印刷机的构造。在图1中，丝网印刷机在基板定位部1的上方配设丝网印刷部11而构成。基板定位部1层叠Y轴工作台2、X轴工作台3及θ轴工作台4，再在其上组合第一Z轴工作台5、第二Z轴工作台6而构成。

说明第一Z轴工作台5的结构。在设于θ轴工作台4上面的水平的基底板4a的上面侧，通过升降导向机构（图示省略）升降自如地保持同样水平的基底板5a。基底板5a通过由电动机5b经由带5d旋转驱动多个进给丝杠5c而构成的Z轴升降机构进行升降。

在基底板5a上立设有垂直架5e，在垂直架5e的上端部保持有基板输送机构8。基板输送机构8具备与基板输送方向（在图1中为纸面垂直方向即X方向）平行配设的2条输送轨道，通过这些输送轨道来支承印刷对象的基板10的两端部并进行输送。通过驱动第一Z轴工作台5，可以使由基板输送机构8保持的状态的基板10与基板输送机构8一起相对于后述的丝网印刷部11进行升降。如图2、图3所示，基板输送机构8向上游侧（在图2、图3中左侧）及下游侧延伸，从上游侧搬入的基板10通过基板输送机构8输送，再通过基板定位部1定位。而且，通过后述的丝网印刷部11进行印刷后的基板10通过基板输送机构8向下游侧搬出。

说明第二Z轴工作台6的结构。在基板输送机构8和基底板5a的中间，沿升降导向机构（图示省略）升降自如地配设有水平的基底板6a。基底板6a通过由电动机6b经由带6d旋转驱动多个进给丝杠6c而构成的Z轴升降机构进行升降。在基底板6a的上面配设有在上面设有保持基板10的下支承面的基板下支承部7。

通过驱动第二Z轴工作台6，基板下支承部7相对于保持于基板输送机构8的状态的基板10进行升降。而且，基板下支承部7的下支承面与基板10的下面抵接，由此，基板下支承部7从下面侧支承基板10。在基板输送机构8的上面配设有夹紧机构9。夹紧机构9具备左右对向配置的两个夹紧部件9a，通过驱动机构9b使一侧的夹紧部件9a进退，由此从两侧夹紧基板10进行固定。

下面，对丝网印刷部11进行说明。在图1及图2中，在掩模框12a上展开具有挠性的丝网掩模12，在丝网掩模12上，与在基板10上成为印刷对象的电极10a的形状、位置（图3参照）相对应地形成有多个图案孔12b。在该丝网掩模12上，通过膏供给机构（图示省略）供给膏状焊锡及导电性膏等膏P。

在丝网掩模12上配设有刮板单元13。刮板单元13为在水平的板14上配设有使刮板16升降的刮板升降机构15的结构。通过驱动刮板升降机构15，刮板16进行升降，与丝网掩模12的上面抵接。

在图2中，在配置于纵架25上的托架26上沿Y方向配设有导向轨道27，与导向轨道27滑动自如地嵌合的滑块28与板14的两端结合。由此，刮板单元13沿与X方向正交的Y方向滑动自如。板14通过由螺母30、进给丝杠29及旋转驱动进给丝杠29的刮板移动用电动机（图示省略）构成的刮板移动装置沿Y方向水平移动。

在图1中，在丝网掩模12的下方配设有作为摄像头单元17及丝网掩模12的清洗装置的清洗单元18。在本实施方式中，摄像头单元17和清洗单元18被安装于X轴工作台19（图2参照），成为沿Y方向一体移动的结构。此外，后面对于清洗单元18进行详细说明。

摄像头单元17具备用于从上方拍摄基板10的基板识别摄像机17a和用于从下面侧拍摄丝网掩模12的掩模识别摄像机17b。通过使摄像头单元17在Y方向水平移动，可以同时进行基板10和丝网掩模12的识别。

在图2中，在纵架25上沿Y方向配设有导向轨道31，与导向轨道31滑动自如地嵌合的滑块32经由托架19a与X轴工作台19结合。由此，X轴工作台19在Y方向滑动自如。X轴工作台19通过由螺母34、进给丝杠33及旋转驱动进给丝杠33的移动用电动机（图示省略）构成的Y轴移动机构20在Y方向水平移动。这样，X轴工作台19及Y轴移动机构20构成使摄像头单元17及清洗单元18一体地水平移动的单元移动机构。

在摄像头单元17未进行基板10及丝网掩模12的识别，另外清洗单元18未进行清洗时，如图4（a）所示，摄像头单元17、清洗单元18一起从基板定位部1的上方向侧方避让。而且，在各单元执行规定的动作时，如图4（b）所示，使摄像头单元17及清洗单元18在丝网掩模12的下方进出（箭头a）。

下面，对丝网印刷部11的印刷动作进行说明。此外，构成丝网印刷机的各机构通过该丝网印刷机具备的具有处理运算功能的控制部（图示省略）进行动作控制。首先，在利用基板输送机构8将基板10搬入印刷位置时，控制部驱动第二Z轴工作台6使基板下支承部7上升，下支承基板10的下面。而且，在该状态下驱动基板定位部1将基板10相对于丝网掩模12定位。之后，控制部驱动第一Z轴工作台5使基板10与基板输送机构8一起上升并与丝网掩模12的下面抵接，接着，利用夹紧机构9夹紧基板10。由此，在刮板单元13进行的刮涂中，固定基板10的水平位置。而且，在该状态下，控制部使刮板16在供给膏P的丝网掩模12上滑动，由此，经由图案孔12b在基板10上印刷膏P。

如以上说明的那样，本实施方式的丝网印刷机具有使基板10与形成有图案孔12b的挠性的丝网掩模12的下面抵接，使刮板16在丝网掩模12上滑动，由此，经由图案孔12b向基板10印刷膏P的功能。

下面，参照图5、图6及图7说明清洗单元18（丝网掩模12的清洗装置）的构造。图5（b）表示图5（a）所示的清洗单元18的A－A剖面。另外，图6（b）、（d）分别表示图6（a）、（c）所示的嘴21的B－B剖面、C－C剖面。清洗单元18具有清洗丝网掩模12的下面的功能，为在水平的单元基板18a上卷绕了未使用的清洗纸23的纸卷筒22A、和卷绕了使用过的清洗纸的纸卷筒22B之间配设有向X方向延伸的作为清洗头的细长形状的嘴21的结构。以下，将X方向称为“长度方向”，将与长度方向正交的Y方向称为“宽度方向”。

在立设于单元基板18a的支承托架18b、18c上轴支承分别贯通纸卷筒22A、22B的卷筒支承轴40A、40B。在支承托架18c上，在与卷筒支承轴40B同轴位置配置有电动机41，在卷筒支承轴40B上经由耦合部件42结合电动机41的旋转轴。通过驱动电动机41，卷筒支承轴40B向卷取方向旋转，清洗纸23被卷取于纸卷筒22B上。由此，从纸卷筒22A拉出清洗纸23，拉出的清洗纸23通过导向辊35被导向且围绕嘴21的上面，被纸卷筒22B回收。

在图5（b）及图7（a）、（b）中，在嘴21的下面固定有向长度方向延伸的板状的板53，在从嘴21的下面向长度方向延伸出的两侧的规定部位形成有孔部53a。另外，在嘴21的长度方向上的两侧下方位置配设有头（嘴）升降机构36（也一并参照图8）。头升降机构36具有在上下方向出没自如的杆36a，经由孔部53a使螺钉（图示省略）与杆36a的上端部螺合，由此，能够使嘴21和头升降机构36结合。

通过驱动头升降机构36，嘴21（清洗头）相对于丝网掩模12升降（箭头b）。在如图5（b）所示的通常状态下，嘴21处于下降状态。而且，在进行清扫丝网掩模12下面的清洗时，驱动头升降机构36使嘴21上升，将清洗纸23向丝网掩模12的下面推压。

在图6（a）、（b）中，在嘴21的上面形成有将长度方向的长度设为L1，将宽度方向的长度设为W1，将上下方向的高度（深度）设为H1的槽部21a。在该槽部21a的底面，遍及规定的范围形成有多个与真空吸入机构37（图5（b）参照）连通的吸入口21b。另外，在槽部21a的底面的长度方向上的两侧位置，沿长度方向遍及长度L2形成有未形成有吸入口21b的水平部21c。在该水平部21c的中央部，沿长度方向以规定的间距形成有多个（2个）螺钉孔21d。

在图6（c）、（d）及图7（a）、（b）中，在槽部21a，在分别沿着槽部21a的缘部的状态下拆装自如地安装有沿长度方向延伸的由弹性材料（例如海绵及低回弹橡胶）构成的两个缓冲部件50、50。缓冲部件50的宽度方向的长度W2设定为W1＞W2＋W2。因此，在将两个缓冲部件50、50安装于槽部21a的情况下，在两部件间，俯视在宽度方向产生长度W3（＝W1－W2×2）的间隙。由此，从间隙W3露出吸入口21b的至少一部分，以不阻害清洗纸23的吸入。另外，螺钉孔21d以位于间隙W3的方式形成。此外，代替吸入口21b也可以在槽部21a的底面形成沿长度方向延伸的一个吸入口。

在图6（d）及图7（a）中，缓冲部件50由薄壁部50a和主体部（厚壁部）50b构成。薄壁部50a在主体部50b的长度方向上的两侧遍及与水平部21c对应的长度L2分别形成。另外，其高度（厚度）设定为比槽部21a的高度H1低。

为了将缓冲部件50固定在嘴21上，准备多个（在此两个）作为板状部件的板51，通过水平部21c和板51将薄壁部50a从上下夹持。在板51上，以与两个螺钉孔21d等间距地形成有多个（两个）孔部51a（参照图7（a）），在夹持薄壁部50a的状态下将螺钉52经由孔部51a与螺钉孔21d螺合。这样，在将缓冲部件50固定于嘴21的状态下，将板51和螺钉52收纳于槽部21a内（参照图6（d））。在上述结构中，板51及螺钉52成为将缓冲部件50固定于嘴21的固定装置。

如图6（d）所示，主体部50b的上面在将缓冲部件50安装于嘴21的状态下，从与长度方向正交的方向观察，随着从两侧朝向中央而平缓地隆起（图6（d）所示的箭头c），进而从规定的位置向比嘴21的上面更靠上方突出。即，主体部50b的上面成为以其中央位置为顶部50c的凸形状（平缓的曲面形状）。而且，从主体部50b的上面中的嘴21的上面向上方突出的突出面50d和避开突出面50d的嘴21的两侧上面21e为将清洗纸23向丝网掩模12推压的推压面。另外，推压面的一部分形成于拆装自如地安装在嘴21（清洗头）上的作为推压部件的缓冲部件50的上面。

本实施方式的清洗单元18由以上的结构构成，下面，参照图8对清洗动作进行说明。此外，各机构的动作控制通过配备于前述的丝网印刷机的控制部进行。另外，为便于说明，图8中省略清洗纸23的图示（仅图示图8（c）所示的局部放大图）。图8表示结束丝网印刷后的丝网印刷机的正面图（局部）。以下说明的清洗动作以除去丝网印刷后的丝网掩模12下面附着的膏P及未向基板10上完全转印而残留于图案孔12b的膏P为目的。

首先，如图8（a）所示，控制部使清洗单元18从避让位置向丝网掩模12的下方移动（箭头d），进行定位（ST1：定位工序）。具体而言，以嘴21的中央位置即缓冲部件50的上面的顶部50c位于垂直通过丝网掩模12的中心的线段T上的方式定位清洗单元18。

其次，如图8（b）所示，控制部使嘴21上升（箭头e1），经由清洗纸23使缓冲部件50的上面与丝网掩模12的下面抵接。而且，如图8（c）所示，控制部使嘴21进一步上升（箭头e2），由此，经由推压面一边将清洗纸23向丝网掩模12的下面推压一边将丝网掩模12提升到规定的高度（ST2：推压工序）。

在此，对丝网掩模12和缓冲部件50的抵接进行详细说明。在使嘴21上升时，首先，距离与丝网掩模12最近的缓冲部件50的顶部50c经由清洗纸23与丝网掩模12的下面中央抵接。而且，在使嘴21进一步上升时，模仿缓冲部件50的突出面50d的形状（缓曲面）而丝网掩模12挠曲，从下面中央朝向两侧一边依次抵接一边提升。

即，通过使用上面具有平缓的曲面的缓冲部件50提升丝网掩模12，在丝网掩模12的下面和缓冲部件50的上面之间不产生间隙，可经由清洗纸23使缓冲部件50及嘴21的推压面的整体与丝网掩模12的下面密合（参照图8（c））。另外，可以利用缓冲部件50的表面吸收由于时效劣化等而在丝网掩模12的下面产生的凹凸，能够提高丝网掩模12和嘴21的密合性。

将丝网掩模12提升到规定的高度后，控制部使真空吸入机构37动作，由此经由吸入口21b吸入丝网掩模12的下面。而且，在维持吸入并同时向丝网掩模12的下面推压清洗纸23的状态下，使嘴21在清洗方向（Y方向）水平移动。由此，附着于丝网掩模12的下面及图案孔12b的膏P被清洗纸23擦拭除去（即清洗）（ST3：膏除去工序）。这样，由X轴工作台19及Y轴移动机构20构成的单元移动机构成为通过使清洗单元18水平移动而使嘴21在丝网掩模12的下面向清洗方向移动的嘴移动装置。

此外，缓冲部件50及嘴21的推压面如上述经由清洗纸23与丝网掩模12的下面良好地密合，因此，可以在维持向丝网掩模12的下面推压清洗纸23的状态下进行清洗。其结果，能够将附着于丝网掩模12的下面及图案孔12b的膏P可靠地附着在清洗纸上而将其除去。

如以上说明，本实施方式的清洗单元18具有通过清洗纸23擦拭除去附着于丝网掩模12下面的膏P的功能。另外，缓冲部件50作为构成嘴21的一个元件而使用。而且，嘴21（清洗头）成为具有将清洗纸23向丝网掩模12推压的推压面的第一推压部件，缓冲部件50同样成为具有向丝网掩模12推压的推压面的第二推压部件。

另外，嘴21的推压面具有随着从两侧朝向中央（从嘴21的上面的规定的位置向中央侧）隆起的形状的凸部（平缓的曲面）。换言之，嘴21的推压面具有在通过嘴21的上升而经由清洗纸23从下方推压丝网掩模12时，从该丝网掩模12的下面的大致中央朝向侧方依次抵接的形状。

另外，在本实施方式中，通过变更板51的尺寸而能够变更缓冲部件50的推压面的长度方向上的长度。图9（a）、（b）表示使用比板51的长度方向的长度L2长L3的板51A将缓冲部件50固定于嘴21的例子。由弹性的材料构成的缓冲部件50由于承受来自外部的按压而变形。因此，在通过板51A从上方推压缓冲部件50时，作用有推压的部分被压坏。而且，通过在该状态下经由螺钉52固定，完成变更了推压面（突出面50d）的长度方向上的长度的嘴21。这样，通过使用各种各样尺寸的板状部件使缓冲部件50的按压量变化，能够变更缓冲部件50的推压面的尺寸。由此，可以根据丝网掩模12的下面的清洗范围变更缓冲部件50的推压面的尺寸。

另外，如图10（a）、（b）、（c）所示，缓冲部件50也可以使用形状不同的缓冲部件60。即，缓冲部件60的长度方向上的整体厚度（高度）成为一定，且在安装于嘴21的状态下其整体向比嘴21的上面更靠上方突出。即，在缓冲部件60上未形成与缓冲部件50的薄壁部50a相当的部位。另外，在缓冲部件60的上面的中央部形成有沿长度方向延伸的开口部60a。吸入口21b的一部分从该开口部60a露出，由此，从下方吸入丝网掩模12。

为了将缓冲部件60的上面制成平缓的曲面形状，使用两个前述的板51。即，通过水平部21c和板51从上下夹持缓冲部件60的两侧，通过板51将缓冲部件60向水平部21c推压。通过板51推压的缓冲部件60的部位被压坏，在该状态下经由开口部60a使螺钉52与螺钉孔21d螺合。由此，可以成形为使缓冲部件60的上面随着从两侧朝向中央而平缓地隆起，进而从规定的位置向比嘴21的上面更向上方突出的平缓的曲面。此外，也可以一边通过带（图示省略）压坏缓冲部件60的两侧一边将该带卷缠固定于嘴21。

另外，代替缓冲部件50也可以使用图11所示的一个缓冲部件70。该缓冲部件70由薄壁部70a和主体部70b构成。主体部70b的上面由在将缓冲部件70安装于嘴21的状态下，从与长度方向正交的方向看随着从两侧朝向中央而平缓地隆起（隆起）、且从规定的位置向比嘴21的上面更向上方突出的隆起部70c、从隆起部70c的中央侧的终端70c1向水平方向延伸的水平部70d构成。换言之，缓冲部件70为对主体部70b的上面的两端的角部进行了弯曲加工而成的部件，将推压面的一部分水平成形而成。通过将缓冲部件70这样成形，在仅缓冲部件70的两端的角部接触的状态下提升丝网掩模12，能够抑制在丝网掩模12和缓冲部件70间产生间隙之类的情况。

以下，对应用了本实用新型的其它实施方式进行说明。此外，对与已经说明的部件相同的部件标注同一符号，说明其说明。图12（a）、（b）表示代替嘴21而使用了未形成吸入口的清洗头21A的例子。即，在清洗头21A的上面形成有槽部21Aa，在该槽部21Aa安装一个缓冲部件80。此外，在槽部21Aa的下面未形成吸入口，因此，不必在缓冲部件80上设置用于使吸入口的一部分露出的开口部。

缓冲部件80的宽度方向上的长度与槽部21Aa的宽度方向的长度大致相同，与缓冲部件50同样由薄壁部80a和主体部80b构成（各部位的具体的形状由于缓冲部件50的薄壁部50a和主体部50b相同，所以省略说明）。在薄壁部80a上形成有上下方向上贯通的多个（两个）孔部80c。为了将缓冲部件80固定于清洗头21A，准备多个（两个）板51A，通过槽部21Aa的上面和板51A从上下夹持薄壁部80a。在板51A上形成有以与孔部80c等间距形成的多个（两个）孔部51Aa，在与槽部21Aa相同以与孔部80c等间距形成的螺钉孔21Ab上经由孔部80c、51Aa螺合螺钉52A。

在使用清洗头21A进行清洗时，通过使清洗头21A上升，将清洗纸23向丝网掩模12的下面推压，在该状态下将丝网掩模12提升规定的高度。而且，通过使清洗头21A向清洗方向移动来擦拭除去附着于丝网掩模12下面的膏P。即，此处的清洗未进行丝网掩模12的下面的吸入，但是，清洗头21A和丝网掩模12间的密合性与本实施方式同样良好。

下面，图13（a）、（b）表示代替缓冲部件50，在嘴21B上安装有由铝等金属性材料构成的抵接部件90（推压部件）的例子。在嘴21B的上面形成有将长度方向的长度设为L4、将宽度方向的长度设为W4、将上下方向的高度（深度）设为H2的槽部21Ba。在该槽部21Ba的底面沿长度方向延伸形成有与真空吸入机构（图示省略）连通的吸入口21Bb。

在槽部21Ba，在分别沿着槽部21Ba的缘部的状态下拆装自如地安装有沿长度方向延伸的两个抵接部件90、90。抵接部件90由薄壁部90a和主体部90b构成（形状与缓冲部件50的薄壁部50a和主体部50b相同）。为了将抵接部件90固定于嘴21B，经由在薄壁部90a形成的孔部（图示省略）将螺钉52B与形成于槽部21Ba的螺钉孔（图示省略）螺合。这样，在将抵接部件90固定于嘴21B的状态下，螺钉52B被收纳于槽部21Ba内。

另外，图13（c）表示将由厚度薄的弹性原材料构成的缓冲部件91模仿主体部90b的上面的形状而粘贴在主体部90b上面的例子。据此，如前述能够用缓冲部件91的表面吸收丝网掩模12下面的凹凸，提高丝网掩模12和嘴21B的密合性。

下面，图14（a）、（b）、（c）表示在嘴的上面形成突出部100的例子。即，在嘴21C的上面形成有沿长度方向的缘部延伸的两个突出部100、100。该突出部100的宽度方向的长度W5在将嘴21C的宽度方向的长度设为W6的情况下，以W6＞W5×2的方式设定。另外，在嘴21B的上面即突出部100、100间形成有与真空吸入机构（图示省略）连通，且沿长度方向延伸的吸入口21Ca。

突出部100的上面从与长度方向正交的方向看随着从规定的位置朝向中央而平缓地隆起（箭头f），成为以上面的中央位置为顶部100a的凸形状（平缓的曲面）。即，在该例中，含有突出部100的嘴21C的上面成为将清洗纸23向丝网掩模12推压的推压面，并且，嘴21C成为推压部件。此外，也可以以随着从嘴21C的长度方向的两端部朝向中央而平缓地隆起的方式形成突出部100A（参照图14（d））。另外，也可以在突出部100的上面贴合与图13（c）所示同样的厚度薄的缓冲部件（图示省略）。

下面，图15（a）、（b）表示与使用一个丝网掩模12同时在两张基板10上丝网印刷膏P的形态的丝网印刷机对应的嘴21D。即，在嘴21D上面形成有槽部21Da。在该槽部21Da的底面中央和两侧的各位置形成有水平部（图示省略），并且，在各水平部间的槽部21Da的底面形成有向长度方向延伸的吸入口21Db。

在槽部21Da，在分别沿着槽部21Da的缘部的状态下拆装自如地安装有沿长度方向延伸的由弹性材料构成的缓冲部件110，110。该缓冲部件110由薄壁部110a和主体部110b构成，薄壁部110a在与水平部对应的位置形成有多个（这些详细的说明省略）。

为了将缓冲部件110固定于嘴21D，准备多个（3个）板51D，通过水平部和板51D夹持薄壁部110a。在该状态下，经由形成于板51D的孔部（图示省略）将螺钉52D与形成于水平部的螺钉孔（图示省略）螺合。此外，通过变更板51D的尺寸，能够将主体部110b的推压面变更为适于清洗范围的尺寸。

如上所述，本实用新型存在各种各样的实施方式，但是，并不限于以上说明的例。只要是清洗头的推压面具有随着从两侧朝向中央而隆起的凸部（平缓的曲面形状）即可。

另外，嘴所具备的推压部件的数量也可以是一个或两个以上。另外，也可以在嘴的槽部不设置水平部而使螺钉与吸入口螺合将缓冲部件固定在嘴上，用于将推压部件固定于清洗头的手段为任意的手段。另外，也可以使用一个嘴升降机构进行嘴的升降。另外，也可以将清洗单元与摄像头单元分离使其独立地移动。

产业上的可利用性

根据本实用新型，能够使附着于丝网掩模下面的膏可靠地附着于清洗纸并将其除去，适用于在基板上印刷膏状焊锡或导电性膏等膏的丝网印刷领域。

Claims (6)

1.一种丝网印刷机，使基板与形成有图案孔的挠性的丝网掩模的下面抵接，通过使刮板在所述丝网掩模上滑动，将膏经由所述图案孔印刷在基板上，其特征在于，

该丝网印刷机具备利用清洗纸除去附着于所述丝网掩模的下面的膏的丝网掩模的清洗装置，

所述丝网掩模的所述清洗装置具备：

清洗头，其具有将所述清洗纸向所述丝网掩模推压的推压面；

头升降机构，其使所述清洗头相对于所述丝网掩模升降，

所述推压面具有随着从两侧朝向中央而隆起的凸部。

2.如权利要求1所述的丝网印刷机，其特征在于，

所述推压面形成于拆装自如地安装于所述清洗头的推压部件的上面。

3.如权利要求1或2所述的丝网印刷机，其特征在于，

所述清洗头为形成有吸入口的嘴。

4.一种丝网掩模的清洗装置，其配备在丝网印刷机上，所述丝网印刷机使基板与形成有图案孔的挠性的丝网掩模的下面抵接，通过使刮板在所述丝网掩模上滑动，将膏经由所述图案孔印刷在基板上，该丝网掩模的清洗装置利用清洗纸除去附着于所述丝网掩模下面的膏，其特征在于，具备：

清洗头，其具有将所述清洗纸向所述丝网掩模推压的推压面；

头升降机构，其使所述清洗头相对于所述丝网掩模升降，

所述推压面具有随着从两侧朝向中央而隆起的凸部。

5.如权利要求4所述的丝网掩模的清洗装置，其特征在于，

所述推压面形成于拆装自如地安装于所述清洗头的推压部件的上面。

6.如权利要求4所述的丝网掩模的清洗装置，其特征在于，

所述清洗头为形成有吸入口的嘴。