JP6194200B2 - スクリーン印刷装置及び清掃処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、スクリーン印刷装置及び清掃処理装置に関する。

従来、スクリーン印刷装置としては、スキージに受容されるペースト状物質の量が、充填室の開口が開放されているときにおいてもスキージから落下することなくスキージに保持される量とするものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この装置では、充填ヘッドが保持しうるペースト状物質の量が比較的少量に制限されるので、ペースト状物質が落下することがなく、充填品質及び生産性を高めることができるとしている。

特開２０１０−１８４４３０号公報

しかしながら、この特許文献１に記載されたスクリーン印刷装置では、ペースト状物質の量を制限するものとしているが、それでも十分でなく、スキージの端部に余剰したペースト状物質がスキージの上下動などにおいて落下することがあり得た。

本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、不具合の発生をより低減することができるスクリーン印刷装置及び清掃処理装置を提供することを主目的とする。

本発明のスクリーン印刷機は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

即ち、本発明のスクリーン印刷装置は、
スクリーンマスクを用いてはんだを基板上に印刷処理するスクリーン印刷装置であって、
前記はんだを移動させるスキージと、
前記スキージに付着したはんだを拭取処理によって清掃する清掃手段と、
を備えたものである。

このスクリーン印刷装置では、スキージに付着したはんだを拭取処理によって清掃する。はんだがスクリーンマスクの開口部に落下すると、はんだ過多などによる製品不良を起こしてしまうことがあるが、このスクリーン印刷装置では、スキージを拭取処理により清掃するため、スキージに付着した余剰のはんだを取り除くことができる。したがって、余剰のはんだが落下して生じる不具合の発生をより低減することができる。このとき、前記清掃手段は、前記スキージの端面を拭取処理によって清掃するものとしてもよい。こうすれば、スキージの端面に至るまで拭取処理を行うため、スキージに付着した余剰のはんだをより一層取り除くことができる。

あるいは、本発明のスクリーン印刷装置は、
スクリーンマスクを用いてはんだを基板上に印刷処理するスクリーン印刷装置であって、
前記はんだを移動させ前記印刷処理を実行するスキージと、
前記スクリーンマスクの裏面を拭取により清掃するスクリーン清掃処理と、前記スキージの端面を拭取により清掃する端面清掃処理とを実行する清掃手段と、
を備えたものである。

このスクリーン印刷装置では、スキージの端面を拭取処理によって清掃する。このように、スキージの端面に至るまで拭取処理を行うため、スキージに付着した余剰のはんだをより一層取り除くことができる。したがって、余剰のはんだが落下して生じる不具合の発生をより低減することができる。また、スクリーン清掃処理と端面清掃処理とを共通する清掃手段により１つの構成で行うから、より構成を省略しつつ、不具合の発生をより低減することができる。また、清掃処理を１つの構成により行うため、装置を小型化することができる。このとき、本発明のスクリーン印刷装置は、前記スクリーンマスクと前記スキージとを所定の印刷方向に相対的に移動させ前記印刷処理を実行するスキージ移動手段、を備えるものとしてもよい。なお、以下の構成においては、前記スクリーンマスクの裏面を拭取により清掃するスクリーン清掃処理と、前記スキージの端面を拭取により清掃する端面清掃処理とを実行する清掃手段とをそれぞれ別の清掃手段で行うものとしてもかまわない。

本発明のスクリーン印刷装置において、前記清掃手段は、前記スキージの端面に沿う清掃面が形成された当接部材を備えており、該当接部材の清掃面に前記スキージの端面を直接又は間接的に接触させて前記端面清掃処理を実行するものとしてもよい。こうすれば、端面の清掃をより適切に行うことができ、不具合の発生をより低減しやすい。ここで、「当接部材の清掃面にスキージの端面を間接的に接触させる」とは、例えば、余剰のはんだを拭き取る拭取部材を介して、当接部材の清掃面にスキージの端面を接触させることを含む。このとき、前記清掃手段は、前記スクリーンマスクの裏面に当接する接触部と前記清掃面とが形成された前記当接部材を備えているものとしてもよい。こうすれば、１つの当接部材により、スクリーン清掃処理と端面清掃処理とを実行することができるため、より構成を省略しつつ、不具合の発生をより低減することができる。

本発明のスクリーン印刷装置は、前記スクリーンマスク上の領域外である清掃領域に前記スキージが位置するよう、前記スクリーンマスクと前記スキージとを相対的に移動させる移動手段、を備え、前記清掃手段は、前記清掃領域で前記端面清掃処理を実行するものとしてもよい。こうすれば、スクリーンマスク上の領域外である清掃領域で端面清掃処理を行うことによって、不具合の発生をより低減することができる。このとき、前記移動手段は、前記清掃領域に前記スキージを移動させるものとしてもよい。あるいは、前記移動手段は、前記清掃領域に前記スクリーンマスクを移動させるものとしてもよい。移動手段を備える本発明のスクリーン印刷装置において、前記清掃手段は、前記印刷処理を行う所定の印刷方向側の前記スクリーンマスク上の領域外にある前記清掃領域で前記端面清掃処理を実行するものとしてもよい。こうすれば、印刷処理を行ったあと、その清掃を行うべくスキージがスクリーンマスクの開口部上を移動することなく、端面清掃処理を行えるので、不具合の発生を一層、低減することができる。

本発明のスクリーン印刷装置において、前記スキージは、前記スクリーンマスクに対して所定の印刷方向に相対移動して前記印刷処理を行い、前記清掃手段は、前記スキージの端面に接触する拭取部材を前記スキージに対して前記印刷方向に相対移動させて前記端面清掃処理を実行するものとしてもよい。こうすれば、印刷用のはんだが存在する印刷方向側に、スキージの端部に残余したはんだが移動するから、余剰したはんだの落下による不具合の発生を防止しやすい。なお、前記スキージは、前記スクリーンマスクに対して所定の印刷方向に相対移動して前記印刷処理を行い、前記清掃手段は、長尺の前記拭取部材を繰り出す操出部と前記繰り出された拭取部材を繰り込む繰込部とを備えており、前記拭取部材を前記スキージの端面に接触した状態で前記印刷方向に繰り出して前記端面清掃処理を実行するものとしてもよい。

本発明のスクリーン印刷装置において、前記スキージは、前記スクリーンマスクに対して所定の第１印刷方向に相対移動して前記印刷処理を実行する第１スキージと、前記第１印刷方向とは逆の第２印刷方向に前記スクリーンマスクに対して相対移動して前記印刷処理を実行する第２スキージとを備えており、前記清掃手段は、長尺の前記拭取部材を繰り出す操出部と前記繰り出された拭取部材を繰り込む繰込部とを備えており、前記第１スキージの端面清掃処理では、前記拭取部材を前記第１スキージの端面に接触した状態で前記第１印刷方向に繰り出して前記第１スキージの前記端面清掃処理を実行する一方、前記第２スキージの端面清掃処理では、前記拭取部材を前記第１印刷方向に所定長さ繰り出したのち前記拭取部材を前記第２スキージの端面に接触した状態で前記第２印刷方向に戻しながら前記第２スキージの前記端面清掃処理を実行するものとしてもよい。こうすれば、第１及び第２スキージのいずれについても印刷方向に向かって拭取部材を移動させるから、いずれのスキージにおいても、印刷用のはんだが存在する印刷方向側に、スキージの端部に残余したはんだが移動するから、余剰したはんだの落下による不具合の発生を防止しやすい。また、第１及び第２スキージに対して清掃手段をそれぞれ設ける必要がなく、より構成を省略しつつ、不具合の発生をより低減することができる。

本発明の清掃処理装置は、スクリーンマスクを用いてスキージによりはんだを基板上に印刷処理するスクリーン印刷装置を清掃する清掃処理装置であって、前記スキージに付着したはんだを拭取処理によって清掃する清掃手段、を備えたものとしてもよい。この清掃処理装置では、スキージに付着したはんだを拭取処理を行うため、スキージに付着した余剰のはんだを取り除くことができる。したがって、余剰のはんだが落下して生じる不具合の発生をより低減することができる。このとき、前記清掃手段は、前記スキージの端面を拭取処理によって清掃するものとしてもよい。こうすれば、スキージの端面に至るまで拭取処理を行うため、スキージに付着した余剰のはんだをより一層取り除くことができる。なお、この清掃処理装置において、上述したスクリーン印刷装置の種々の態様を採用してもよいし、また、上述したスクリーン印刷装置の各機能を実現するような構成を追加してもよい。

あるいは、本発明の清掃処理装置は、スクリーンマスクを用いてスキージによりはんだを基板上に印刷処理するスクリーン印刷装置を清掃する清掃処理装置であって、前記スクリーンマスクの裏面を拭取により清掃するスクリーン清掃処理と、前記スキージの端面を拭取により清掃する端面清掃処理とを実行する清掃手段、を備えたものとしてもよい。この清掃処理装置では、スキージの端面に至るまで拭取処理を行うため、スキージに付着した余剰のはんだをより一層取り除くことができる。また、スクリーン清掃処理と端面清掃処理とを共通する清掃手段により１つの構成で行うから、より構成を省略しつつ、不具合の発生をより低減することができる。また、清掃処理を１つの構成により行うため、装置を小型化することができる。

スクリーン印刷装置２０の構成の概略の一例を示す構成図。 スキージユニット３０及び清掃ユニット４０の構成図。 清掃ユニット４０の構成の概略の一例を示す説明図。 清掃処理ルーチンの一例を示すフローチャート。 スクリーンマスク清掃処理の説明図。 第１スキージ３３の端面清掃処理の説明図。 第２スキージ３４の端面清掃処理の説明図。 別のスクリーン印刷装置１２０の構成の概略の一例を示す構成図。

次に、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態であるスクリーン印刷装置２０の構成の概略の一例を示す構成図である。図２は、スキージユニット３０及び清掃ユニット４０の構成の概略の一例を示す構成図である。図３は、清掃ユニット４０の構成の概略の一例を示す説明図であり、図３（ａ）は拭取部材４３を順方向に繰り出す説明図であり、図３（ｂ）は拭取部材４３を逆方向に繰り戻す説明図である。スクリーン印刷装置２０は、図１、２に示すように、実装装置により部品を実装する工程の前工程として、第１スキージ３３及び第２スキージ３４（以下スキージとも称する）を用いてスクリーンマスクＳ上のはんだをローリングさせながらスクリーンマスクＳに形成されたパターン孔に押し込むことによりそのパターン孔を介して下方の基板Ｐにはんだを塗布（印刷）する装置である。このスクリーン印刷装置２０は、はんだが印刷された基板Ｐ上に部品を実装する１以上の実装装置と、スクリーン印刷装置２０及び実装装置と通信し部品の管理などを行う管理サーバとを備える実装処理システムに用いられる。

スクリーン印刷装置２０は、装置全体の制御を司る印刷機コントローラ２２と、基板Ｐの移動及び固定を行う基板処理ユニット２３と、スクリーンマスクＳを固定するマスク処理ユニット２６と、スキージをスクリーンマスクＳ上で移動することによりはんだを印刷するスキージユニット３０と、スクリーンマスクＳ及びスキージの清掃を行う清掃ユニット４０とを備えている。また、スクリーン印刷装置２０は、スクリーンマスクＳ上へはんだを補給する図示しないはんだ補給装置と、表示画面が表示され作業者による各種入力操作が可能な操作パネルと、ＬＡＮに接続された機器と通信を行う図示しない通信部と、を備えている。

印刷機コントローラ２２は、ＣＰＵを中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、各種処理プログラムなどを記憶したフラッシュメモリと、一時的にデータを記憶するＲＡＭと、ＨＤＤなど大容量を有し各種のデータを書き換え可能に記憶する記憶部と、を備えている。この印刷機コントローラ２２は、基板処理ユニット２３、マスク処理ユニット２６、スキージユニット３０、操作パネル、はんだ補給装置などがバス３９によって電気的に接続されている。この印刷機コントローラ２２は、基板処理ユニット２３やマスク処理ユニット２６、スキージユニット３０、はんだ補給装置を制御する信号を出力したり、操作パネルに表示データを出力したり、通信部を介して管理サーバなどの外部機器へ情報を送信したりする。また、この印刷機コントローラ２２は、操作パネルに入力されたデータなどを入力したり、通信部を介して管理サーバなどの外部機器から情報を受信したりする。記憶部には、印刷処理する基板の情報や、基板へ印刷処理を行う印刷処理プログラム、清掃ユニット４０の制御プログラムなどが記憶されている。

基板処理ユニット２３は、スクリーン印刷装置２０の下段に配設されており、基板を搬入し、搬入した基板を位置決めして支持し、所定の配線パターンが形成されたスクリーンマスクＳに接触，離間させる装置である。この基板処理ユニット２３は、はんだを印刷する所定の印刷位置まで基板Ｐを搬送する基板搬送部２４と、搬送された基板を印刷位置で固定する基板保持部２５と、を備えている。この基板搬送部２４は、例えば、ベルトコンベアにより基板を搬送する装置として構成されており、１対のサイドフレームの各々に設けられたガイド部材と、１対のサイドフレームの各々に設けられたコンベヤベルトと、コンベヤベルトを周回駆動させるベルト周回装置とを備えている。基板保持部２５は、印刷位置に配設されており、例えば、基板を下方から支持する支持装置と、基板の縁部をクランプするクランプ装置とを備えている。この基板処理ユニット２３は、図示しない撮像部や、昇降部を備えており、撮像部で撮像した画像データに基づいて基板Ｐの位置ずれを検出し、昇降部によりこの位置ずれを修正しつつ基板を基板保持部２５ごと昇降させ、基板Ｐ上にスクリーンマスクＳを位置決めする。

マスク処理ユニット２６は、基板処理ユニット２３の上部に配設されており、装置の前後方向（図１のＹ方向）にスクリーンマスクＳを移動させるマスク移動部２７と、枠体２８にはめ込まれた状態のスクリーンマスクＳを位置決めして水平な姿勢で支持固定するマスク固定部２９（図２参照）とを備えている。なお、Ｘ方向は水平面内で直交する２軸のうち装置の左右方向をいい、Ｙ方向は水平面内で直交する２軸のうち装置の前後方向をいい、Ｚ方向は垂直方向をいう（図１参照）。マスク移動部２７は、枠体２８を把持して装置の前後方向にスクリーンマスクＳを移動させる移動機構である。このマスク移動部２７は、例えば、装置の前後方向に形成されたガイド部とガイド部に沿って移動し枠体２８を把持する把持部とを備えている。マスク移動部２７は、スクリーンマスクＳを固定するマスク固定部２９の固定状態を解除したあと、スクリーンマスクＳ上の領域であるマスク領域１１を外れた清掃領域１２（後述図６，７参照）に第１スキージ３３又は第２スキージ３４が位置するよう、スクリーンマスクＳを移動させる。なお、マスク移動部２７は、印刷ヘッド３１に上下動可能な把持部を設け、印刷ヘッド３１の前後動に伴い、把持部により枠体２８を把持してスクリーンマスクＳを移動させるものとしてもよい。スクリーンマスクＳは、所望の配線パターンが形成された、例えば金属の薄板であり、枠体２８（図２参照）に所定のテンションで固定されている。

スキージユニット３０は、基板処理ユニット２３の上方に移動可能に配設されており、印刷ヘッド３１と、印刷ヘッド３１をＹ方向に移動可能なヘッド移動部３２と、はんだを移動させ印刷処理を実行する第１スキージ３３及び第２スキージ３４とを備えている。印刷ヘッド３１は、図２に示すように、Ｚ方向に伸縮するピストンロッド３５、３６を備えており、このピストンロッド３５、３６に固定された第１スキージ３３及び第２スキージ３４をＺ方向（垂直方向）に移動させる。ヘッド移動部３２は、駆動源としての図示しない移動用モータを備えており、案内部材であるガイドレールにスライダが案内されて、移動用モータの駆動によりＹ方向に印刷ヘッド３１を移動させる。第１スキージ３３及び第２スキージ３４は、上下動可能に印刷ヘッド３１に配設されており、所定方向（図１のＸ方向）に長い板状の部材であり、基板Ｐよりも長い長さに形成されている。この第１スキージ３３及び第２スキージ３４は、はんだロールとの接触面が向かい合うように配置され、長手方向（Ｘ方向）に直交する方向（Ｙ方向）に往復動することにより、往復印刷が可能なダブルスキージとして構成されている。ここでは、第１スキージ３３は、スクリーンマスクＳと接触した状態で第１印刷方向（装置後方）に移動して印刷処理を行い、第２スキージ３４は、スクリーンマスクＳと接触した状態で第２印刷方向（装置前方）に移動して印刷処理を行う。

清掃ユニット４０は、基板処理ユニット２３の下方に移動可能に配設されており、スクリーンマスクＳの裏面を拭取により清掃するスクリーン清掃処理と、スキージの端面を拭取により清掃する端面清掃処理との２つの清掃処理を実行可能なユニットとして構成されている。清掃ユニット４０は、図３に示すように、例えば、拭取シートなどの拭取部材４３が巻き付けられた第１ローラ４１と、第１ローラ４１から繰り出された拭取部材４３を巻き取る第２ローラ４２と、第１ローラ４１と第２ローラ４２との間に配設され拭取部材４３の下面を支持する当接部材５０とを備えている。また、清掃ユニット４０は、拭取部材４３を巻き戻すよう第１ローラ４１を逆回転する第１モータ４４と、拭取部材４３を繰り出すよう第２ローラ４２を正回転する第２モータ４５と、当接部材５０を上下動させる昇降装置４６とを備えている。清掃ユニット４０は、第１ローラ４１、第２ローラ４２、第１モータ４４、第２モータ４５、昇降装置４６及び当接部材５０を各々配設した清掃ヘッド４８と、この清掃ヘッド４８をＹ方向に移動させる清掃移動部４７とを備えている。

第１ローラ４１は、清掃ヘッド４８において装置の前側に軸支されており、第２ローラ４２は、装置の後側に軸支されている。当接部材５０には、スクリーンマスクＳの裏面に面で当接する接触部５１と、第１スキージ３３の先端面である端面３３ａが拭取部材４３を介して接触する第１清掃面５２と、第２スキージ３４の先端面である端面３４ａが拭取部材４３を介して接触する第２清掃面５３と、が形成されている。この当接部材５０は、側面視したときにその上部にテーパ面を有する屋根形状に形成され、且つ基板Ｐよりも長い長さに形成されている。接触部５１は、当接部材５０の上面であり、ＸＹ平面に沿って形成されている（図１参照）。清掃ユニット４０では、拭取部材４３を介してこの接触部５１をスクリーンマスクＳの裏面に当接させ、清掃移動部４７により清掃ヘッド４８を移動させることによりスクリーン清掃処理を行う。第１清掃面５２は、端面３３ａに沿うように形成された面であり、ここでは、端面３３ａと略平行となる角度で形成されている。第２清掃面５３は、端面３４ａに沿うように形成された面であり、ここでは、端面３４ａと略平行となる角度で形成されている。なお、第１スキージ３３及び第２スキージ３４の支持角度が変更されたときには、その角度に応じてスキージの端面に沿う清掃面が形成された当接部材に取り替えるものとしてもよいし、当接部材５０の清掃面の角度を変更可能な機構を設けるものとしてもよい。昇降装置４６は、当接部材５０を任意の高さ（例えば、スクリーンマスクＳの下面）まで昇降する機構として構成されている。清掃移動部４７は、駆動源としての図示しない移動用モータを備えており、案内部材であるガイドレールにスライダが案内されて、移動用モータの駆動によりＹ方向に清掃ヘッド４８を移動させる。この清掃ユニット４０は、第１ローラ４１から繰り出された拭取部材４３の表面に洗浄液を塗布する図示しない洗浄液供給ヘッドを清掃ヘッド４８の上部に備えており、洗浄液が塗布された拭取部材４３により各清掃処理を行う。

次に、スクリーン印刷装置２０で基板Ｐに印刷処理を実行したときにスクリーンマスクＳ及びスキージの清掃を実行する処理について説明する。図４は、印刷機コントローラー２２のＣＰＵが実行する清掃処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。このルーチンは、記憶部に記憶され、スクリーン印刷装置２０が起動されたのちに繰り返し実行される。このルーチンを実行すると、印刷機コントローラー２２のＣＰＵは、まず、スクリーンマスクＳの清掃処理の実行タイミングであるか否かを判定する（ステップＳ１００）。スクリーン清掃タイミングは、例えば、印刷した基板数をカウントし、前回清掃してからカウントした基板数が所定数（例えば１０枚や５０枚など）に至ったときなどに設定することができる。あるいは、スクリーン清掃タイミングは、前回清掃してからの経過時間（例えば１０分など）に設定してもよい。スクリーンマスクＳの清掃タイミングであると判定したときには、ＣＰＵは、清掃ユニット４０を制御してスクリーン清掃処理を実行する（ステップＳ１１０）。

図５は、清掃ユニット４０が実行するスクリーンマスク清掃処理の説明図であり図５（ａ）が清掃開始時、図５（ｂ）が清掃終了時の図である。スクリーンマスク清掃処理では、まず、清掃ヘッド４８をスクリーンマスクＳの下面の開始端部（例えばスクリーンマスクＳの装置前方側）に移動させ、当接部材５０を昇降装置４６により上昇させ、接触部５１をスクリーンマスクＳの下面に当接させる（図５（ａ））。次に、スクリーンマスクＳの下面の終了端部側（例えばスクリーンマスクＳの装置後方側）に向かって清掃ヘッド４８を移動させる。このとき、拭取部材４３は、スクリーンマスクＳの下面に付着したはんだ６０を下面全体に亘って拭き取り、はんだ６０をスクリーンマスクＳの下面から取り除く。清掃ヘッド４８がスクリーンマスクＳの下面の終了端部に至ると（図５（ｂ））、ＣＰＵは、当接部材５０を下降させると共に清掃ヘッド４８を初期位置に移動させ、スクリーン清掃処理を終了させる。なお、清掃ヘッド４８が終了端部に至ったあと、ＣＰＵは、第２モータ４５を駆動し、第１ローラ４１から拭取部材４３を繰り出させると共に、繰り出された拭取部材４３を第２ローラ４２で巻き取る処理を行う（図５（ｂ）の吹出図参照）。このようにして、スクリーンマスクＳを清掃する。

ステップＳ１１０のあと、又は、ステップＳ１００でスクリーンマスクＳの清掃タイミングでないと判定したときには、ＣＰＵは、スキージの清掃タイミングであるか否かを判定する（ステップＳ１２０）。スキージの清掃タイミングは、例えば、第１スキージ３３又は第２スキージ３４で基板Ｐ上に印刷した回数をカウントし、前回清掃してから所定数（例えば１０回や２０回など）に至ったときなどに設定することができる。あるいは、スキージ清掃タイミングは、前回清掃してからの経過時間（例えば５分など）に設定してもよい。スキージ清掃タイミングであると判定したときには、ＣＰＵは、スキージ清掃処理（ステップＳ１３０〜Ｓ２１０）を実行する。

スキージ清掃処理を実行すると、ＣＰＵは、現在終了した印刷処理が第１印刷方向への第１スキージ３３による印刷処理であるか否かを判定する（ステップＳ１３０）。この判定は、例えば、印刷ヘッド３１の停止位置などにより判定することができる。第１印刷方向への印刷処理であると判定されたときには、ＣＰＵは、第１スキージ３３を清掃するべく、スクリーンマスクＳを第１印刷方向とは逆の第２印刷方向へ退避するようマスク移動部２７を制御する（ステップＳ１４０）。図６は、第１スキージ３３の端面清掃処理の説明図であり、図６（ａ）がスクリーンマスクＳの移動図、図６（ｂ）が清掃準備時の説明図、図６（ｃ）が清掃時の説明図である。図６（ａ）に示すように、印刷終了時には、第１スキージ３３は装置後方に位置する。ここでは、スクリーンマスクＳを第２印刷方向に移動させることにより、スクリーンマスクＳ上のマスク領域１１を外れた清掃領域１２に第１スキージ３３が位置するようになる。このため、清掃ヘッド４８は、第１スキージ３３を前後方向に移動することなく、第１印刷方向側の清掃領域１２で第１スキージ３３に対向し、清掃処理を行うことができる。また、第１スキージ３３は、余剰のはんだが付着した状態でスクリーンマスクＳの開口部上で移動することがない。

次に、ＣＰＵは、清掃ユニット４０の第１清掃面５２が第１スキージ３３の端面３３ａの下方に位置するように清掃ヘッド４８を移動させ、端面３３ａと第１清掃面５２とを拭取部材４３を介して当接させる（ステップＳ１５０）。このとき、ＣＰＵは、第１スキージ３３を下降させるのみでもよいし、当接部材５０を上昇させるのみでもよいし、第１スキージ３３を下降すると共に、当接部材５０を上昇させてもよい。なお、図６、７では、当接部材５０を移動しない態様で描いている。次に、ＣＰＵは、第１印刷方向に拭取部材４３を繰り出しながら第１スキージ３３の清掃処理を行い（ステップＳ１６０）、このルーチンを終了する。この処理では、第２モータ４５を駆動し、第１ローラ４１から拭取部材４３を繰り出させると共に、繰り出された拭取部材４３を第２ローラ４２で巻き取る処理を所定長さに亘り行う（図６（ｃ））。繰り出す所定長さは、例えば、第１スキージ３３の端部を清掃可能な長さを経験的に求め、この求めた長さに設定してもよい。このとき、拭取部材４３は、第１清掃面５２に下面から支えられ、端面３３ａの全面に接触し、付着したはんだ６０を拭き取る。はんだ６０を付着した拭取部材４３は、第２ローラ４２に巻き付けられる。

一方、ステップＳ１３０で、現在終了した印刷処理が第１印刷方向への第１スキージ３３による印刷処理でないとき、即ち、第２印刷方向への第２スキージ３４による印刷処理であるときには、ＣＰＵは、第２スキージ３４を清掃するべく、スクリーンマスクＳを第２印刷方向とは逆の第１印刷方向へ退避するようマスク移動部２７を制御する（ステップＳ１７０）。図７は、第２スキージ３４の端面清掃処理の説明図であり、図７（ａ）がスクリーンマスクＳの移動図、図７（ｂ）が拭取部材４３の先送り処理の説明図、図７（ｃ）が清掃時の説明図、図７（ｄ）が拭取後の拭取部材４３を繰り込む説明図である。図７（ａ）に示すように、印刷終了時には、第２スキージ３４は装置前方に位置する。ここでは、スクリーンマスクＳを第１印刷方向に移動させることにより、スクリーンマスクＳ上のマスク領域１１を外れた清掃領域１２に第２スキージ３４が位置するようになる。このため、清掃ヘッド４８は、第２スキージ３４を前後方向に移動することなく、第２印刷方向側の清掃領域１２で第２スキージ３４に対向し、清掃処理を行うことができる。また、第２スキージ３４は、余剰のはんだが付着した状態でスクリーンマスクＳの開口部上で移動することがない。

次に、ＣＰＵは、第２モータ４５を駆動し、第１ローラ４１から先に拭取部材４３を所定長さ繰り出す（ステップＳ１８０）。この先に繰り出す所定長さは、例えば、第２スキージ３４の端部を清掃可能な長さを経験的に求め、この求めた長さに設定してもよい。ここで、先に拭取部材４３を繰り出しておくのは、第２スキージ３４の印刷方向と同じ方向に拭取部材４３を戻しながら端面３４ａを拭き取るためである。第２スキージ３４の印刷方向とは反対方向に拭取部材４３を移動しながら端面３４ａを拭き取ると、残余しているはんだが第２スキージ３４の後側に回り込んでしまい、のちに落下するなど不具合が生じ得るからである。次に、ＣＰＵは、清掃ユニット４０の第２清掃面５３が第２スキージ３４の端面３４ａの下方に位置するように清掃ヘッド４８を移動させ、端面３４ａと第２清掃面５３とを拭取部材４３を介して当接させる（ステップＳ１９０）。このとき、ＣＰＵは、第２スキージ３４を下降させるのみでもよいし、当接部材５０を上昇させるのみでもよいし、第２スキージ３４を下降すると共に、当接部材５０を上昇させてもよい。

続いて、ＣＰＵは、第２印刷方向に拭取部材４３を戻しながら第２スキージ３４の清掃処理を行う（ステップＳ２００）。この処理では、第１モータ４４を駆動し、先に繰り出された拭取部材４３を第１ローラ４１で巻き戻す処理を所定長さ行う（図７（ｃ））。この処理では、先に繰り出した長さの拭取部材４３を巻き戻すものとしてもよいし、拭き取られたはんだ６０が第１ローラ４１に接触しない範囲で拭取部材４３を巻き戻すものとしてもよい。このとき、拭取部材４３は、第２清掃面５３に下面から支えられ、端面３４ａの全面に接触し、付着したはんだ６０を拭き取る。そして、ＣＰＵは、第２モータ４５を駆動し、はんだ６０を拭き取った拭取部材４３を第２ローラ４２に巻き取らせ（ステップＳ２１０）、このルーチンを終了する。このように、スキージの端面に至るまで清掃するのである。

ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の第１スキージ３３が本発明の第１スキージ及びスキージに相当し、第２スキージ３４が第２スキージ及びスキージに相当し、清掃ユニット４０が清掃手段に相当し、当接部材５０が当接部材に相当し、マスク移動部２７が移動手段に相当する。また、接触部５１が接触部に相当し、第１清掃面５２及び第２清掃面５３が清掃面に相当し、拭取部材４３が長尺の拭取部材に相当し、第１ローラ４１が操出部に相当し、第２ローラ４２が繰込部に相当する。なお、本実施形態では、清掃ユニット４０の動作を説明することにより本発明の清掃処理装置の一例も明らかにしている。

以上説明した実施形態のスクリーン印刷装置２０によれば、スキージの端面に付着したはんだを拭取処理によって清掃するため、スキージに付着した余剰のはんだを一層取り除くことができる。したがって、余剰のはんだが落下して生じる不具合の発生をより低減することができる。また、スクリーン清掃処理と端面清掃処理とを共通する清掃ユニット４０により１つの構成で行うから、より構成を省略しつつ、不具合の発生をより低減することができる。また、スクリーン清掃処理と端面清掃処理とを１つの構成により行うため、装置を小型化することができる。

また、スキージの端面に沿う第１清掃面５２及び第２清掃面５３が形成された当接部材５０を備えているため、スキージの端面の清掃をより適切に行うことができ、不具合の発生をより低減しやすい。また、当接部材５０は、スクリーンマスクＳの裏面に当接する接触部５１と第１清掃面５２及び第２清掃面５３が形成されているため、１つの部材により、スクリーン清掃処理と端面清掃処理とを実行することができ、より構成を省略しつつ、不具合の発生をより低減することができる。更に、スクリーンマスクＳを移動し、スクリーンマスクＳ上の領域外である清掃領域１２で端面清掃処理を行うため、不具合の発生をより低減することができる。更にまた、印刷処理を行う所定の印刷方向側のスクリーンマスクＳの領域外にある清掃領域１２で端面清掃処理を実行するため、印刷処理を行ったあと、その清掃を行うべくスキージがスクリーンマスクＳの開口部上を移動することがなく、不具合の発生を一層、低減することができる。

そしてまた、スキージの端面に接触する拭取部材４３をスキージに対して印刷方向に相対移動させて端面清掃処理を実行するため、印刷用のはんだが存在する印刷方向側に、スキージの端部に残余したはんだが移動するから、余剰したはんだの落下による不具合の発生を防止しやすい。そして更にまた、拭取部材４３を第１印刷方向に所定長さ繰り出したのち拭取部材４３を第２スキージ３４の端面３４ａに接触した状態で第２印刷方向に戻しながら第２スキージ３４の端面清掃処理を実行する。このため第１スキージ３３及び第２スキージ３４のいずれについても印刷方向に向かって拭取部材４３を移動させるから、いずれのスキージにおいても、印刷用のはんだが存在する印刷方向側に、スキージの端部に残余したはんだが移動する。したがって、余剰したはんだの落下による不具合の発生を防止しやすい。また、第１スキージ３３及び第２スキージ３４に対して清掃ユニット４０をそれぞれ設ける必要がなく、より構成を省略しつつ、不具合の発生をより低減することができる。

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態では、清掃ユニット４０がスクリーン清掃処理と端面清掃処理とを実行するものとしたが、特に限定されず、スクリーン印刷装置２０は、はんだを移動させるスキージと、スキージに付着したはんだを拭取処理によって清掃する清掃ユニット（清掃手段）と、を備えたものとしてもよい。このスクリーン印刷装置では、スキージに付着したはんだを拭取処理によって清掃するため、スキージに付着した余剰のはんだを取り除くことができ、余剰のはんだが落下して生じる不具合の発生をより低減することができる。このとき、清掃ユニットは、スキージの端面を拭取処理によって清掃するものとしてもよい。こうすれば、スキージに付着した余剰のはんだをより一層取り除くことができ、余剰のはんだが落下して生じる不具合の発生をより低減することができる。

また、上述した実施形態では、清掃ユニット４０がスクリーン清掃部と端面清掃部とを兼ねるものとしたが、特にこれに限定されず、図８に示すように、スクリーン清掃処理を行う清掃ユニット１４０と端面清掃処理を実行する清掃ユニット４０とを備えるスクリーン印刷装置１２０としてもよい。即ち、清掃ユニットを複数備えるものとしてもよい。図８は、別のスクリーン印刷装置１２０の構成の概略の一例を示す構成図である。清掃ユニット１４０は、清掃ユニット４０と同様に第１ローラ１４１や第２ローラ１４２を備える。こうしても、スキージに付着した余剰のはんだをより一層取り除くことができ、余剰のはんだが落下して生じる不具合の発生をより低減することができる。また、ユニットが複数あるから、スキージ端面の清掃とスクリーンマスクの清掃とを同時並行的に実施することができ、より効率を高めることができる。なお、このとき、清掃ユニット４０では、スクリーンマスクＳの裏面を清掃する接触部５１を省略することができ、清掃ユニット１４０では、第１清掃面５２や第２清掃面５３を省略することができる。

上述した実施形態では、清掃ユニット４０は、第１スキージ３３及び第２スキージ３４の清掃を行うものとしたが、例えば、図８に示したスクリーン印刷装置１２０において、第１スキージ３３を清掃する清掃ユニット４０と、第２スキージ３４を清掃する清掃ユニット１４０とを備えるものとしてもよい。このように、清掃ユニットを複数備えるものとしても、スキージに付着した余剰のはんだをより一層取り除くことができ、余剰のはんだが落下して生じる不具合の発生をより低減することができる。また、第２スキージ３４の清掃処理を、第１ローラ４１を逆転させ拭取部材４３を戻しながら行う必要がない。更に、第１スキージ３３を清掃する清掃ユニットには、第２清掃面５３を省略して第１清掃面５２のみを形成してもよいし、第２スキージ３４を清掃する清掃ユニットには、第１清掃面５２を省略して第２清掃面５３のみを形成してもよい。

上述した実施形態では、清掃ユニット４０は、接触部５１、第１清掃面５２及び第２清掃面５３が形成された当接部材５０を備えるものとしたが、特にこれに限定されず、例えば、接触部５１、第１清掃面５２、第２清掃面５３がそれぞれ別部材に形成されている当接部材を備えるものとしてもよい。こうすれば、部材数は多くなるものの、上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。また、当接部材５０を省略してもよい。こうしても、拭取部材４３によりスキージの清掃を行うことはできる。更に、接触部５１、第１清掃面５２及び第２清掃面５３のうちいずれか１以上を省略するものとしてもよい。

上述した実施形態では、スクリーンマスクＳを移動することにより、スキージと清掃ユニット４０とを対向させて清掃処理を行うものとしたが、特にこれに限定されず、スクリーンマスクＳを固定したまま、スクリーンマスクＳ上の領域を外れた清掃領域にスキージ及び清掃ヘッド４８を移動し、この清掃領域でスキージの清掃処理を行うものとしてもよい。こうしても、スキージに付着した余剰のはんだをより一層取り除くことができ、余剰のはんだが落下して生じる不具合の発生をより低減することができる。

上述した実施形態では、用いたスキージの印刷終了側でスキージの清掃処理を行うものとし、清掃前のスキージがスクリーンマスクＳの開口部上を移動しないものとしたが、特にこれに限定されず、清掃前のスキージがスクリーンマスクＳ上を移動してもよい。なお、清掃前のスキージがスクリーンマスクＳの開口部上を移動しない方が好ましい。

上述した実施形態では、拭取部材４３を巻き戻しながら第２スキージ３４を清掃するものとしたが、例えば、特にこれに限定されず、第１スキージ３３の清掃と同じ方向に拭取部材４３を操り出しながら第２スキージ３４の清掃を行ってもよい。こうしても、第２スキージ３４の端面３４ａが清掃できるから、スキージに付着した余剰のはんだを取り除くことができる。

上述した実施形態では、端面３３ａ，３４ａに略平行に形成された第１清掃面５２や第２清掃面５３を備える当接部材５０として説明したが、例えば、端面３３ａ，３４ａに沿うものとすれば、平行でなくてもよい。また、端面３３ａ，３４ａに沿わない第１清掃面５２や第２清掃面５３とすることもできる。例えば、ゴムなどの弾性部材を使用し、スキージ端面に対して弾性変形することにより、当接部材５０の第１清掃面や第２清掃面が端面３３ａ，３４ａに沿うものとしてもよい。

上述した実施形態では、清掃ユニット４０は、第１ローラ４１と長尺の拭取部材４３と第２ローラ４２を備えるものとしたが、スキージの清掃を行うものとすれば、特にこれに限定されない。例えば、第１ローラ４１や第２ローラ４２を省略し、長尺ではない固定された拭取部材を用いて、拭取処理によりスキージの清掃処理を行ってもよい。また、当接部材５０の第１清掃面５２や第２清掃面５３の表面を拭取部とし、第１スキージ３３や第２スキージ３４を直接この拭取部に接触させて拭取処理を行うものとしてもよい。

上述した実施形態では、印刷ヘッド３１は、第１スキージ３３及び第２スキージ３４を備えるダブルスキージとして説明したが、特にこれに限定されず、第１スキージ３３のみを備えるシングルスキージとしてもよい。こうしても、清掃ユニット４０により、スキージに付着した余剰のはんだをより取り除くことができる。このとき、例えば、第２スキージ３４の清掃に必要な構成（第２清掃面５３や第１モータ４４など）を省略することができる。

上述した実施形態では、清掃ユニット４０を備えたスクリーン印刷装置２０として説明したが、特にこれに限定されず、例えば、清掃ユニット４０（清掃処理装置）としてもよい。この清掃処理装置とした場合に、上記説明した様々な態様を採用することができる。

１１ マスク領域、１２ 清掃領域、２０，１２０ スクリーン印刷装置、２２ 印刷機コントローラー、２３ 基板処理ユニット、２４ 基板搬送部、２５ 基板保持部、２６ マスク処理ユニット、２７ マスク移動部、２８ 枠体、２９ マスク固定部、３０ スキージユニット、３１ 印刷ヘッド、３２ ヘッド移動部、３３ 第１スキージ、３３ａ，３４ａ 端面、３４ 第２スキージ、３５，３６ ピストンロッド、３９ バス、４０、１４０ 清掃ユニット、４１，１４１ 第１ローラ、４２，１４２ 第２ローラ、４３ 拭取部材、４４ 第１モータ、４５ 第２モータ、４６ 昇降装置、４７ 清掃移動部、４８ 清掃ヘッド、５０ 当接部材、５１ 接触部、５２ 第１清掃面、５３ 第２清掃面、６０ はんだ、Ｐ 基板、Ｓ スクリーンマスク。

Claims (8)

1. スクリーンマスクを用いてはんだを基板上に印刷処理するスクリーン印刷装置であって、
   前記はんだを移動させ前記印刷処理を実行するスキージと、
   前記スクリーンマスクの裏面を拭取により清掃するスクリーン清掃処理と、前記スキージの端面を拭取により清掃する端面清掃処理とを実行する清掃手段と、を備え、
   前記清掃手段は、前記スキージの端面に沿う清掃面と、前記スクリーンマスクの裏面に当接する接触部とが形成された当接部材を備えており、該当接部材の清掃面に前記スキージの端面を直接又は間接的に接触させて前記端面清掃処理を実行する、
   スクリーン印刷装置。
2. 前記スキージは、前記スクリーンマスクに対して所定の印刷方向に相対移動して前記印刷処理を行い、
   前記清掃手段は、前記スキージの端面に接触する拭取部材を前記スキージに対して前記印刷方向に相対移動させて前記端面清掃処理を実行する、請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
3. スクリーンマスクを用いてはんだを基板上に印刷処理するスクリーン印刷装置であって、
   前記はんだを移動させ前記印刷処理を実行するスキージと、
   前記スクリーンマスクの裏面を拭取により清掃するスクリーン清掃処理と、前記スキージの端面を拭取により清掃する端面清掃処理とを実行する清掃手段と、を備え、
   前記スキージは、前記スクリーンマスクに対して所定の第１印刷方向に相対移動して前記印刷処理を実行する第１スキージと、前記第１印刷方向とは逆の第２印刷方向に前記スクリーンマスクに対して相対移動して前記印刷処理を実行する第２スキージとを備えており、
   前記清掃手段は、前記第１及び第２スキージの端面に接触する長尺の拭取部材を繰り出す操出部と前記繰り出された拭取部材を繰り込む繰込部とを備えており、前記第１スキージの端面清掃処理では、前記拭取部材を前記第１スキージの端面に接触した状態で前記第１印刷方向に繰り出して前記第１スキージの前記端面清掃処理を実行する一方、前記第２スキージの端面清掃処理では、前記拭取部材を前記第１印刷方向に所定長さ繰り出したのち前記拭取部材を前記第２スキージの端面に接触した状態で前記第２印刷方向に戻しながら前記第２スキージの前記端面清掃処理を実行する、
   スクリーン印刷装置。
4. 前記清掃手段は、前記スキージの端面に沿う清掃面が形成された当接部材を備えており、該当接部材の清掃面に前記スキージの端面を前記拭取部材を介して間接的に接触させて前記端面清掃処理を実行する、請求項３に記載のスクリーン印刷装置。
5. 前記清掃手段は、前記スクリーンマスクの裏面に当接する接触部と前記清掃面とが形成された前記当接部材を備えている、請求項４に記載のスクリーン印刷装置。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載のスクリーン印刷装置であって、
   前記スクリーンマスク上の領域外である清掃領域に前記スキージが位置するよう、前記スクリーンマスクと前記スキージとを相対的に移動させる移動手段、を備え、
   前記清掃手段は、前記清掃領域で前記端面清掃処理を実行する、スクリーン印刷装置。
7. 前記清掃手段は、前記印刷処理を行う所定の印刷方向側の前記スクリーンマスク上の領域外にある前記清掃領域で前記端面清掃処理を実行する、請求項６に記載のスクリーン印刷装置。
8. スクリーンマスクを用いてスキージによりはんだを基板上に印刷処理するスクリーン印刷装置を清掃する清掃処理装置であって、
   前記スクリーンマスクの裏面を拭取により清掃するスクリーン清掃処理と、前記スキージの端面を拭取により清掃する端面清掃処理とを実行する清掃手段、を備え、
   前記清掃手段は、前記スキージの端面に沿う清掃面と、前記スクリーンマスクの裏面に当接する接触部とが形成された当接部材を備えており、該当接部材の清掃面に前記スキージの端面を直接又は間接的に接触させて前記端面清掃処理を実行する、
   清掃処理装置。

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