JP6842267B2 - クリーニング装置 - Google Patents

Description

本明細書に開示する技術は、クリーニング装置に関する。詳細には、スクリーン印刷機が備えるスクリーンマスクをクリーニングする技術に関する。

スクリーン印刷機は、スクリーンマスクを用いて回路基板にはんだを転写する。スクリーン印刷機を繰り返し使用すると、スクリーンマスクの裏面には、滲んだはんだが付着する。このため、スクリーン印刷機は、このスクリーンマスクの裏面に付着した余分なはんだを除去するためのクリーニング装置を備えている。例えば、特許文献１のクリーニング装置は、スクリーンマスクの裏面を移動するクリーニングユニットを備えている。クリーニングユニットは、クリーニングシートを供給するシート供給ローラと、シート供給ローラから供給されるクリーニングシートをスクリーンマスクに当接させるクリーニングヘッドと、清掃後のクリーニングシートを巻き取るシート巻き取りローラを備えている。クリーニングユニットにクリーニングヘッドとシート供給ローラとシート巻き取りローラが備えられているため、これらは一体となってスクリーンマスクの裏面を移動して、スクリーンマスクの裏面をクリーニングする。

特開２０１５−１６５７１号公報

スクリーンマスクの裏面をクリーニングする際には、スクリーンマスクと回路基板を支持する装置との間に空間が設けられる。そして、スクリーンマスクと回路基板を支持する装置との間に設けられた空間内をクリーニングユニットが移動することで、スクリーンマスクの裏面がクリーニングされる。このため、スクリーンマスクの裏面を移動するクリーニングユニット全体の大きさを小さくすることが好ましい。しかしながら、特許文献１のクリーニング装置では、クリーニングユニットにクリーニングヘッドとシート供給ローラとシート巻き取りローラが装備されているため、クリーニングユニットが大型化するという問題がある。

一方、特許文献１のクリーニング装置でも、上記の２つのローラの径を小さくすれば、クリーニングユニットを小型化できる。しかしながら、ローラの径を小さくするためには、ローラに保持されるクリーニングシートの量を少なくする必要があるため、クリーニングシートを補充する頻度が高くなるという問題が生じる。

本明細書は、スクリーンマスクの裏面を移動する部分を小さくすると共に、クリーニングシートの補充の頻度を減らすことができるクリーニング装置を開示する。

本明細書に開示するクリーニング装置は、スクリーンマスクをクリーニングする。クリーニング装置は、スクリーンマスクの裏面を移動可能に設置されるクリーニングヘッドと、スクリーンマスクをクリーニングするクリーニングシートと、クリーニングシートをクリーニングヘッドに供給するシート供給部と、を備えている。シート供給部は、クリーニングヘッドとは別の場所に設置されている。クリーニングヘッドは、シート供給部から供給されるクリーニングシートの一端を把持する把持機構を備えている。

上記のクリーニング装置では、スクリーンマスクの裏面を移動するクリーニングヘッドとは別の場所にシート供給部が設置されている。すなわち、シート供給部は、クリーニングヘッドと一体化されておらず、スクリーンマスクの裏面を移動しない。また、クリーニングヘッドは、シート供給部から供給されるクリーニングシートの一端を把持する。このため、シート供給部を伴うことなくクリーニングヘッドがスクリーンマスクの裏面を移動しても、スクリーンマスクの裏面をクリーニングすることができる。したがって、スクリーンマスクの裏面を移動する部分を小さくすることができる。

また、シート供給部はクリーニングヘッドとは別の場所に設置されており、スクリーンマスクの裏面を移動することがない。このため、シート供給部を大きくすることができ、シート供給部が一度に保持するクリーニングシートの量を多くすることができる。したがって、クリーニングシートを補充する頻度を少なくすることができる。

実施例に係るクリーニング装置を備えたスクリーン印刷機の概略構成を示す図であり、クリーニングヘッドが退避位置にある状態を示す。 実施例に係るクリーニング装置を備えたスクリーン印刷機の概略構成を示す図であり、クリーニングヘッドがクリーニング開始位置にある状態を示す。 実施例に係るクリーニング装置を備えたスクリーン印刷機の概略構成を示す図であり、クリーニングヘッドがクリーニング完了位置にある状態を示す。 実施例に係るクリーニング装置のクリーニング処理を示すフローチャート。

以下に説明する実施例の主要な特徴を列記しておく。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。

（特徴１）本明細書に開示するクリーニング装置は、クリーニングヘッドとシート供給部との間に配置され、クリーニングシートに張力を与える張力付与機構をさらに備えていてもよい。このような構成によると、把持機構に把持されたクリーニングシートに張力を付与することができる。このため、クリーニングヘッドがスクリーンマスクの裏面を移動するときに、クリーニングヘッドとシート供給部との間に架け渡されるクリーニングシートが弛むことを回避することができる。

（特徴２）本明細書に開示するクリーニング装置では、張力付与機構は、クリーニングヘッドがシート供給部から離れる方向に移動するときに上昇し、クリーニングヘッドがシート供給部に近づく方向に移動するときに下降する昇降部材を有していてもよい。昇降部材はクリーニングシートに支持されており、昇降部材の自重によってクリーニングシートに張力が付与されていてもよい。このような構成によると、昇降部材の自重を利用するため、簡易な構成でクリーニングシートに張力を付与することができる。

（特徴３）本明細書に開示するクリーニング装置では、クリーニングヘッドは、スクリーンマスクの裏面から退避した退避位置と、スクリーンマスクの裏面に設定されたクリーニング完了位置との間を移動可能となっていてもよい。クリーニングヘッドが退避位置からクリーニング完了位置までを移動することで、スクリーンマスクの裏面がクリーニングされるようになっていてもよい。シート供給部は、退避位置の近傍に配置されると共に、スクリーンマスクを平面視したときに当該スクリーンマスクと重ならない位置に配置されていてもよい。このような構成によると、シート供給部が平面視したときにスクリーンマスクと重ならない位置に配置されるため、スクリーンマスクをクリーニングするために設けられるスクリーンマスクと回路基板との間の距離を好適に小さくすることができる。また、シート供給部が退避位置の近傍に配置されるため、シート供給部からクリーニングヘッドにクリーニングシートを好適に供給することができる。

（特徴４）本明細書に開示するクリーニング装置では、クリーニングヘッドが退避位置にあるときに、クリーニングヘッドから送り出されたクリーニングシートの一部であって、スクリーンマスクのクリーニングに使用した部分をそれ以外の部分から切断する切断部を備えていてもよい。このような構成によると、クリーニングシートの使用済みの部分を切断して廃棄することができる。このため、使用済みのクリーニングシートを巻き取るためのローラを不要とすることができる。

以下、実施例に係るクリーニング装置１０について説明する。クリーニング装置１０は、スクリーン印刷機１００に設置されている。図１に示すように、スクリーン印刷機１００は、制御装置２０と、インターフェース装置２２と、回路基板位置決め装置２４と、スクリーンマスク２８と、スキージ装置３０と、クリーニング装置１０を備えている。スクリーン印刷機１００は、実装ラインの上流側から回路基板Ｃを受け入れ、回路基板Ｃに所望のはんだをスクリーン印刷した後、回路基板Ｃを実装ラインの下流側に送り出す。なお、以下の説明では、スクリーン印刷機１００において、回路基板Ｃの搬送方向をＸ方向とし、水平面内でＸ方向に直行する方向をＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向に直行する方向をＺ方向とする。

制御装置２０は、プログラム等を記憶する記憶装置と、記憶装置に記憶されたプログラムを実行するプロセッサと、実装ラインの全体の動作を管理する生産管理コンピュータ（図示せず）と通信する通信装置を備えている。制御装置２０は、生産管理コンピュータからの指示に従って、スクリーン印刷機１００の各構成要素の動作を制御する。また、制御装置２０は、スクリーン印刷機１００におけるはんだ印刷作業の状態を示すデータを生産管理コンピュータへ送信する。

インターフェース装置２２は、モニタ等を介して作業者に対してスクリーン印刷機１００の設定状態や作業状態を表示すると共に、スイッチ等を介して作業者からの各種の入力を受け付ける。

回路基板位置決め装置２４は、Ｙ方向移動機構４０と、Ｘ方向移動機構４２と、回転機構４４と、昇降機構４６と、Ｘ方向搬送機構４８と、クランプ機構５０と、サポート機構５２を備えている。

Ｙ方向移動機構４０は、スクリーン印刷機１００の基台に支持されている。Ｙ方向移動機構４０は、アクチュエータ（図示省略）の駆動によって、スクリーン印刷機１００の基台に対してＹ方向に相対移動が可能となっている。

Ｘ方向移動機構４２は、Ｙ方向移動機構４０に支持されている。Ｘ方向移動機構４２は、アクチュエータ（図示省略）の駆動によって、Ｙ方向移動機構４０に対してＸ方向に相対移動が可能となっている。

回転機構４４は、Ｘ方向移動機構４２に支持されている。回転機構４４は、モータ（図示省略）の駆動によって、Ｘ方向移動機構４２に対してＺ軸周りに相対回転が可能となっている。

昇降機構４６は、回転機構４４に支持されている。昇降機構４６は、アクチュエータ（図示省略）の駆動によって、回転機構４４に対してＺ方向に相対移動が可能となっている。

Ｘ方向搬送機構４８と、クランプ機構５０と、サポート機構５２は、昇降機構４６に支持されている。Ｘ方向搬送機構４８は、Ｘ方向に沿って配置されている一対のコンベアベルト５４と、それぞれのコンベアベルト５４を駆動するサーボモータ（図示省略）を備えている。回路基板ＣのＹ方向の両端を一対のコンベアベルト５４の上に載置し、サーボモータを駆動することで、回路基板ＣはＸ方向に搬送される。回路基板Ｃのサイズに応じて、一対のコンベアベルト５４の間隔は調整可能となっている。

クランプ機構５０は、回路基板ＣをＹ方向の両端から挟持して、所望の幅で回路基板Ｃを保持することができる。サポート機構５２は、クランプ機構５０によって保持された回路基板Ｃの下面に複数のサポートピン５６を当接させて、回路基板Ｃを下面側から支持することができる。

スクリーンマスク２８は、矩形状に形成された金属製の板状部材であって、スクリーン印刷機１００の基台に対して位置を固定されたマスク支持枠６６によって４辺を支持されている。スクリーンマスク２８の中央部には、回路基板Ｃに印刷するはんだのパターンに対応して開口部が形成されている。以下では、スクリーンマスク２８に形成された開口を印刷パターンともいう。

スキージ装置３０は、Ｙ方向移動機構７０と、スキージヘッド７４ａ、７４ｂと、スキージ７６ａ、７６ｂを備えている。

Ｙ方向移動機構７０は、スクリーン印刷機１００の基台に支持されている。Ｙ方向移動機構７０は、アクチュエータ（図示省略）の駆動によって、基台に対してＹ方向に相対移動が可能となっている。

スキージヘッド７４ａ、７４ｂは、Ｙ方向移動機構７０に支持されている。スキージヘッド７４ａ、７４ｂは、それぞれアクチュエータ（図示省略）の駆動によって、Ｙ方向移動機構７０に対してＺ方向に相対移動が可能となっている。

スキージ７６ａは、スキージヘッド７４ａによって支持されている。スキージ７６ａは、サーボモータ（図示省略）の駆動によって、スキージヘッド７４ａに対して傾動可能となっている。スキージ７６ｂは、スキージヘッド７４ｂによって支持されている。スキージ７６ｂは、サーボモータ（図示省略）の駆動によって、スキージヘッド７４ｂに対して傾動可能となっている。スキージ７６ａ、７６ｂは、はんだ供給装置（図示省略）からスクリーンマスク２８の上面に供給されるはんだを印刷パターン上でスキージングする。

クリーニング装置１０は、クリーニングヘッド１２と、シート供給部１４と、張力付与機構１６と、クリーニングシート１８を備えている。

クリーニングヘッド１２は、Ｙ方向移動機構８０と、昇降機構８２と、把持機構８４と、切断部８６を備えている。

Ｙ方向移動機構８０は、スクリーン印刷機１００の基台に支持されている。Ｙ方向移動機構８０は、アクチュエータ（図示省略）の駆動によって基台に対してＹ方向に相対移動が可能となっている。Ｙ方向移動機構８０の移動可能な範囲は、図１に示す退避位置から図３に示すクリーニング完了位置までとなっている。図１に示すように、退避位置は、スクリーンマスク２８の近傍であって、スクリーンマスク２８を平面視したとき（すなわち、Ｚ方向に沿って見たとき）、スクリーンマスク２８と重ならない位置のうち、シート供給部１４に近い側（Ｙ方向（−）側）である。図３に示すように、クリーニング完了位置は、スクリーンマスク２８の裏面であって、シート供給部１４から遠い側の端部（Ｙ方向（＋）側の端部）の近傍の位置である。

昇降機構８２は、Ｙ方向移動機構８０に支持されている。昇降機構８２は、アクチュエータ（図示省略）によってＹ方向移動機構８０に対してＺ方向に相対移動が可能となっている。昇降機構８２の上面には、クリーニングシート１８が配置される。

把持機構８４は、２つのローラ状の部材（以下、単にローラという）によって構成されており、各ローラは昇降機構８２に回転可能に支持されている。把持機構８４の２つのローラには図示しないモータが備えられており、モータを駆動することでローラが回転するようになっている。把持機構８４は、昇降機構８２のＹ方向側の両端面のそれぞれに配置されている。クリーニングシート１８は、把持機構８４の２つのローラの間に挟み込まれている。把持機構８４の２つのローラをアクチュエータ（図示省略）によって回転不能にロックすることで、把持機構８４はクリーニングシート１８を把持する。また、把持機構８４の２つのローラのロック状態を解除すると共に、モータによってロータを回転させると、２つのローラの間からクリーニングシート１８が送り出される。

切断部８６は、昇降機構８２に支持されている。切断部８６は、昇降機構８２のシート供給部１４から遠い側の端面（Ｙ方向（＋）側の端面）であって、把持機構８４の下方に配置されている。切断部８６は、把持機構８４から送り出されたクリーニングシート１８を切断する。すなわち、切断部８６は、把持機構８４により送り出されたクリーニングシート１８の端部を切断する。切断部８６によって切断されたクリーニングシート１８は、シート回収部９８に収容される。シート回収部９８は、クリーニングヘッド１２が退避位置にあるときに、切断部８６の下方となる位置に配置されている。

シート供給部１４は、ローラ状の部材であり、スクリーン印刷機１００の基台に回転可能に支持されている。シート供給部１４には、長尺のクリーニングシート１８が巻き付けられている。シート供給部１４は、クリーニングヘッド１２とは別の場所、詳細にはクリーニングヘッド１２の退避位置よりスクリーンマスク２８から離れた位置（Ｙ方向（−）側）に配置される。すなわち、シート供給部１４は、スクリーンマスク２８を平面視したとき（すなわち、Ｚ方向から見たとき）、スクリーンマスク２８及びクリーニングヘッド１２（退避位置）と重ならない位置に配置される。上述したように、シート供給部１４は、スクリーンマスク２８の下方に配置する必要がないため、スクリーン印刷機１００内に設けられている他の空間に設置することができる。すなわち、スクリーン印刷機１００内の空間的に余裕のある部分に設置することができる。このため、シート供給部１４に巻き付けるクリーニングシート１８の量を多くすることができる。シート供給部１４は、図示しないモータによって回動し、巻き付けられているクリーニングシート１８をクリーニングヘッド１２に送り出す。

クリーニングシート１８は、吸湿性を備える多孔性の紙であり、シート供給部１４に巻き付けられている。なお、本実施例では、クリーニングシート１８に紙を用いているが、はんだを拭取ることができる材質であれば、これに限定されない。クリーニングシート１８は、シート供給部１４から供給され、供給部側ガイドローラ９４、張力付与機構１６及びヘッド側ガイドローラ９６を介してクリーニングヘッド１２まで配置される。供給部側ガイドローラ９４は、シート供給部１４と張力付与機構１６の間に配置され、シート供給部１４から送り出されたクリーニングシート１８を張力付与機構１６に送る。ヘッド側ガイドローラ９６は、張力付与機構１６とクリーニングヘッド１２の間に配置され、張力付与機構１６から送り出されたクリーニングシート１８をクリーニングヘッド１２に送る。クリーニングヘッド１２に送られたクリーニングシート１８の端部は、クリーニングヘッド１２の把持機構８４によって把持される。

張力付与機構１６は、クリーニングヘッド１２とシート供給部１４の間に配置されている。詳細には、張力付与機構１６は、供給部側ガイドローラ９４とヘッド側ガイドローラ９６の間に配置される。張力付与機構１６は、第１ローラ９０と第２ローラ９２を備えている。

第１ローラ９０は、スクリーン印刷機１００の基台に回転可能に案内されている。第１ローラ９０は、スクリーン印刷機１００の基台に対してＺ方向に移動可能に案内される一方、Ｙ方向の移動は規制されている。第１ローラ９０は、シート供給部１４とクリーニングヘッド１２に架け渡されたクリーニングシート１８上に載置されている。このため、クリーニングシート１８には、第１ローラ９０の自重によって張力が付与されている。すなわち、第１ローラ９０は、クリーニングシート１８によって下方から支持されており、第１ローラ９０の落下がクリーニングシート１８によって規制されている。第１ローラ９０にはアクチュエータ等の駆動装置が接続されておらず、クリーニングヘッド１２の移動に伴ってクリーニングシート１８上を転動する。第２ローラ９２は、第１ローラ９０に回転可能に支持されている。第１ローラ９０と第２ローラ９２の間にはクリーニングシート１８が配置されている。第１ローラ９０の回転に連動して第２ローラ９２が回転することで、第１ローラ９０と第２ローラ９２の間からクリーニングシート１８が両方向に送り出される。なお、第１ローラ９０は、「昇降部材」の一例である。

クリーニングヘッド１２が退避位置（図１に示す位置）にあるとき、張力付与機構１６は、張力付与機構１６の自重によって下方に配置される。クリーニングヘッド１２が退避位置からクリーニング完了位置（図３に示す位置）に移動すると、張力付与機構１６は、クリーニングヘッド１２の移動と共に上方に移動する。また、クリーニングヘッド１２がクリーニング完了位置から退避位置に移動すると、張力付与機構１６は、クリーニングヘッド１２の移動と共に下方に移動する。すなわち、クリーニングヘッド１２が退避位置からクリーニング完了位置までのどの位置に配置されている状態であっても、張力付与機構１６によってクリーニングシート１８には張力が付与された状態となる。このため、クリーニングシート１８は弛むことがなく、クリーニングシート１８がスクリーン印刷機１００の他の部材（例えば、回路基板位置決め装置２４等）に引っ掛かることなくクリーニングヘッド１２を移動させることができる。

スクリーン印刷機１００はさらに、図示しない受け入れ搬送装置と送り出し搬送装置を備えている。受け入れ搬送装置は、スクリーン印刷機１００の上流側の基板搬送装置から送られてくる回路基板Ｃを受け取り、受け取った回路基板Ｃを回路基板位置決め装置２４のＸ方向搬送機構４８に送り出す。送り出し搬送装置は、回路基板位置決め装置２４のＸ方向搬送機構４８から送り出される回路基板Ｃを受け取り、スクリーン印刷機１００の下流側の基板搬送装置に送り出す。

スクリーン印刷機１００の印刷処理について説明する。上流側の基板搬送装置から回路基板Ｃが送られてくると、制御装置２０は、受け入れ搬送装置を駆動して回路基板Ｃを受け取る。そして、Ｘ方向搬送機構４８が受け入れ搬送装置から回路基板Ｃを受け取ることが可能な位置となるように、制御装置２０は、Ｙ方向移動機構４０、Ｘ方向移動機構４２、回転機構４４、昇降機構４６を駆動する。そして、制御装置２０は、受け入れ搬送装置とＸ方向搬送機構４８を駆動して、受け入れ搬送装置からＸ方向搬送機構４８へ回路基板Ｃを受け渡す。

回路基板ＣがＸ方向搬送機構４８に受け渡されると、制御装置２０は、Ｘ方向搬送機構４８を駆動して、スクリーンマスク２８の印刷パターンに対応するＸ方向位置まで回路基板Ｃを搬送する。次いで、制御装置２０は、クランプ機構５０とサポート機構５２を駆動して、回路基板Ｃを保持する。次いで、制御装置２０は、撮像装置（図示省略）を用いて、回路基板Ｃの上面の撮像と、スクリーンマスク２８の下面の撮像を行う。制御装置２０は、撮像装置によって撮像した画像データを処理して、回路基板Ｃとスクリーンマスク２８の間の位置ずれを検出する。位置ずれが検出されると、制御装置２０は、Ｙ方向移動機構４０、Ｘ方向移動機構４２、回転機構４４を駆動して、回路基板Ｃの位置の微調整を行う。そして、制御装置２０は、昇降機構４６を駆動して回路基板Ｃを上昇させて、回路基板Ｃをスクリーンマスク２８の下面に当接させる。

上記のような、回路基板Ｃの位置決めと並行して、制御装置２０は、はんだ供給装置によりはんだをスクリーンマスク２８の上面に供給する。回路基板Ｃがスクリーンマスク２８の下面に当接し、スクリーンマスク２８の上面へはんだが供給されると、制御装置２０は、一方のスキージヘッド（例えばスキージヘッド７４ａ）を駆動して、一方のスキージ（例えばスキージ７６ａ）をスクリーンマスク２８の上面に当接させた後、Ｙ方向移動機構７０を駆動して、スクリーンマスク２８の印刷パターンに対するスキージングを行う。これによって、スクリーンマスク２８の下面に当接して保持されている回路基板Ｃに、印刷パターンに対応するパターンで、はんだが印刷される。

回路基板Ｃへのはんだ印刷が完了すると、制御装置２０は、スキージヘッド７４ａ、７４ｂ、Ｙ方向移動機構７０を駆動して、スキージ装置３０をスキージ装置待機位置へ復帰させる。また、制御装置２０は、昇降機構４６、クランプ機構５０、サポート機構５２を駆動して、回路基板Ｃを再びＸ方向搬送機構４８に受け渡す。さらに、制御装置２０は、Ｘ方向搬送機構４８が送り出し搬送装置へ回路基板Ｃを受け渡すことが可能な位置となるように、Ｙ方向移動機構４０、Ｘ方向移動機構４２、回転機構４４を駆動する。

次いで、制御装置２０は、Ｘ方向搬送機構４８と送り出し搬送装置を駆動して、Ｘ方向搬送機構４８から送り出し搬送装置へ回路基板Ｃを受け渡す。その後、制御装置２０は、送り出し搬送装置を駆動して、下流側の基板搬送装置へ回路基板Ｃを送り出す。

図４を参照して、クリーニング装置１０がスクリーンマスク２８の裏面をクリーニングする処理について説明する。クリーニング処理は、１枚の回路基板Ｃに対する印刷処理が完了する毎に実行される処理である。印刷処理により、スクリーンマスク２８の裏面及び開口部には、はんだが付着している場合がある。図４は、クリーニング処理の各工程を示すフローチャートである。図１〜図３は、クリーニングヘッド１２がそれぞれ、退避位置、クリーニング開始位置、クリーニング完了位置に移動した状態を示している。なお、クリーニング処理の開始前は、前回のクリーニング処理が終了したときの状態となっている。すなわち、クリーニングヘッド１２は退避位置に配置されており、把持機構８４はクリーニングシート１８の一端を把持した状態になっている。

図４に示すように、まず、制御装置２０は、Ｙ方向移動機構８０を駆動して、クリーニングヘッド１２をクリーニング開始位置（図２参照）に移動させる（Ｓ１０）。図２に示すクリーニング開始位置は、スクリーンマスク２８の裏面であって、シート供給部１４から近い側の端部（Ｙ方向（−）側の端部）の近傍の位置である。このとき、第１ローラ９０は、クリーニングヘッド１２の移動と共にクリーニングシート１８の上面を転動すると共に、上方へ引き上げられる。このため、張力付与機構１６は、クリーニングヘッド１２が退避位置にあるときより上方に配置される。

次に、制御装置２０は、昇降機構８２を駆動して、クリーニングシート１８をスクリーンマスク２８の裏面に当接させる（Ｓ１２）。すなわち、制御装置２０は、クリーニングヘッド１２の上面に配置されるクリーニングシート１８がスクリーンマスク２８の裏面に当接するまで、昇降機構８２を上昇させる。

次に、制御装置２０は、Ｙ方向移動機構８０を駆動して、クリーニングヘッド１２をクリーニング完了位置（図３参照）に移動させる（Ｓ１４）。クリーニングヘッド１２の上面に配置されるクリーニングシート１８は、スクリーンマスク２８の裏面に当接している。このため、クリーニングヘッド１２をクリーンニング開始位置からクリーニング完了位置まで移動させることによって、スクリーンマスク２８の裏面がクリーニングシート１８でクリーニングされる。このとき、第１ローラ９０は、クリーニングヘッド１２の移動と共にクリーニングシート１８の上面を転動し、さらに上方へ引き上げられる。このため、張力付与機構１６は、クリーニングヘッド１２がクリーニング開始位置にあるときより上方に配置される。

次に、制御装置２０は、昇降機構８２を駆動して、クリーニングシート１８をスクリーンマスク２８の裏面から離間させる（Ｓ１６）。すなわち、制御装置２０は、クリーニングヘッド１２の上面に配置されるクリーニングシート１８がスクリーンマスク２８の裏面から離間するまで、昇降機構８２を下降させる。

次に、制御装置２０は、Ｙ方向移動機構８０を駆動して、クリーニングヘッド１２を退避位置（図１参照）に移動させる（Ｓ１８）。このとき、第１ローラ９０は、クリーニングヘッド１２の移動と共にクリーニングシート１８の上面に沿って逆方向に転動しながら、その自重によって下降する。このため、張力付与機構１６は、クリーニングヘッド１２がクリーニング開始位置及びクリーニング完了位置にあるときより下方に配置される。このように、張力付与機構１６によって、シート供給部１４とクリーニングヘッド１２の間に架け渡されるクリーニングシート１８には常に張力が付与された状態が維持される。したがって、シート供給部１４とクリーニングヘッド１２の間に配置されるクリーニングシート１８は、クリーニングヘッド１２が移動しても弛むことがない。

次に、制御装置２０は、シート供給部１４が備えるモータと把持機構８４が備えるモータを駆動して、クリーニングシート１８を送り出す（Ｓ２０）。このとき、制御装置２０は、把持機構８４が備えるアクチュエータを駆動して把持機構８４のロック状態を解除し、クリーニングシート１８を移動可能な状態にしておく。すなわち、Ｓ１０が実行される前に、制御装置２０は把持機構８４が備えるアクチュエータを駆動して、把持機構８４がクリーニングシート１８を把持した状態（すなわち、把持機構８４をロック状態）にしている。このため、Ｓ１０〜Ｓ１８では、把持機構８４は、クリーニングシート１８を把持した状態を維持している。Ｓ２０では、制御装置２０によって把持機構８４のロック状態を解除し、クリーニングシート１８が移動可能な状態にする。

シート供給部１４から送り出されたクリーニングシート１８は、供給部側ガイドローラ９４、張力付与機構１６及びヘッド側ガイドローラ９６を介して、クリーニングヘッド１２まで送られる。クリーニングヘッド１２まで送られたクリーニングシート１８は、把持機構８４が備えるモータの駆動によって、把持機構８４及び切断部８６より先にさらに送り出される。クリーニングシート１８は、クリーニング処理に使用された部分全体が切断部８６より先に配置されるまで送り出される。その後、制御装置２０は、シート供給部１４が備えるモータと把持機構８４が備えるモータの駆動を停止させる。また、制御装置２０は、把持機構８４が備えるアクチュエータを駆動して、把持機構８４がクリーニングシート１８を把持した状態にする。

最後に、制御装置２０は、切断部８６が備えるアクチュエータを駆動して、クリーニングシート１８の使用済み部分を切断する（Ｓ２２）。すると、クリーニングヘッド１２の上面には未使用のクリーニングシート１８が配置され、再びＳ１０の状態に戻る。

本実施例のクリーニング装置１０は、クリーニングヘッド１２とシート供給部１４が別の位置に配置されている。すなわち、クリーニングヘッド１２はスクリーンマスク２８の裏面を移動するが、シート供給部１４はスクリーン印刷機１００の基台に固定されており、スクリーンマスク２８の裏面を移動しない。このため、スクリーンマスク２８の裏面を移動する部分を小さくすることができ、回路基板位置決め装置２４の昇降機構４６の移動距離を小さくすることができる。また、クリーニングヘッド１２は把持機構８４を備えている。このため、クリーニングヘッド１２がシート供給部１４と一体となっていなくても、クリーニングヘッド１２にクリーニングシート１８を固定させることが可能となり、スクリーンマスク２８の裏面をクリーニングすることができる。

また、クリーニング装置１０は、クリーニングヘッド１２とシート供給部１４が別の位置に配置されているため、シート供給部１４をスクリーン印刷機１００内の空間的に余裕がある位置に配置することができる。このため、シート供給部１４に巻き付けるクリーニングシート１８の量を多くすることができる。このため、クリーニングシート１８を補充する頻度を減少させることができる。なお、本実施例ではシート供給部１４をスクリーン印刷機１００内に配置しているが、このような構成に限定されない。シート供給部からクリーニングヘッド１２にクリーニングシート１８を供給できる位置に配置されていればよく、例えば、シート供給部１４をスクリーン印刷機１００の外部に設置してもよい。

本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

１０：クリーニング装置
１２：クリーニングヘッド
１４：シート供給部
１６：張力付与機構
１８：クリーニングシート
２０：制御装置
２２：インターフェース装置
２４：回路基板位置決め装置
２８：スクリーンマスク
３０：スキージ装置
８０：Ｙ方向移動機構
８２：昇降機構
８４：把持機構
８６：切断部
９０：第１ローラ
９２：第２ローラ
９４：供給部側ガイドローラ
９６：ヘッド側ガイドローラ
１００：スクリーン印刷機

Claims (3)

1. スクリーンマスクをクリーニングするクリーニング装置であって、
   前記スクリーンマスクの裏面を移動可能に設置されるクリーニングヘッドと、
   前記スクリーンマスクをクリーニングするクリーニングシートと、
   前記クリーニングシートを前記クリーニングヘッドに供給するシート供給部と、を備えており、
   前記シート供給部は、前記スクリーンマスクを平面視したときに前記クリーニングヘッドと重ならない位置に設置されており、
   前記クリーニングヘッドは、前記シート供給部から供給される前記クリーニングシートの一端を把持する把持機構を備えており、
   前記クリーニング装置は、前記クリーニングヘッドと前記シート供給部との間に配置され、前記クリーニングシートに張力を与える張力付与機構をさらに備えており、
   前記張力付与機構は、前記クリーニングヘッドが前記シート供給部から離れる方向に移動するときに上昇し、前記クリーニングヘッドが前記シート供給部に近づく方向に移動するときに下降する昇降部材を有しており、
   前記昇降部材は前記クリーニングシートに支持されており、前記昇降部材の自重によって前記クリーニングシートに張力が付与される、クリーニング装置。
2. 前記クリーニングヘッドは、前記スクリーンマスクの裏面から退避した退避位置と、前記スクリーンマスクの裏面に設定されたクリーニング完了位置との間を移動可能となっており、
   前記クリーニングヘッドが前記退避位置から前記クリーニング完了位置までを移動することで、前記スクリーンマスクの裏面がクリーニングされるようになっており、
   前記シート供給部は、前記退避位置の近傍に配置されると共に、前記スクリーンマスクを平面視したときに当該スクリーンマスクと重ならない位置に配置されている、請求項１に記載のクリーニング装置。
3. スクリーンマスクをクリーニングするクリーニング装置であって、
   前記スクリーンマスクの裏面を移動可能に設置されるクリーニングヘッドと、
   前記スクリーンマスクをクリーニングするクリーニングシートと、
   前記クリーニングシートを前記クリーニングヘッドに供給するシート供給部と、を備えており、
   前記クリーニングヘッドは、前記シート供給部から供給される前記クリーニングシートの一端を把持する把持機構を備えており、
   前記クリーニングヘッドは、前記スクリーンマスクの裏面から退避した退避位置と、前記スクリーンマスクの裏面に設定されたクリーニング完了位置との間を移動可能となっており、
   前記クリーニングヘッドが前記退避位置から前記クリーニング完了位置までを移動することで、前記スクリーンマスクの裏面がクリーニングされるようになっており、
   前記シート供給部は、前記退避位置の近傍に配置されると共に、前記スクリーンマスクを平面視したときに当該スクリーンマスクと重ならない位置に配置されており、
   前記クリーニング装置は、前記クリーニングヘッドが前記退避位置にあるときに、前記クリーニングヘッドから送り出された前記クリーニングシートの一部であって、前記スクリーンマスクのクリーニングに使用した部分をそれ以外の部分から切断する切断部をさらに備えている、クリーニング装置。
   

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