JP2011126050A - スクリーン印刷システム及びスクリーン印刷システムのマスクのクリーニング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ペーパー部材42のマスク接触領域Rを第1のマスク13aの凸状部13tの下面に接触させてその部分に付着したペーストPstの除去を行っている間に、ペーパー部材42が第1のマスク13aに対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材42の巻き取りを行う。
【選択図】図9
Description
た形状の複数の凸状部のそれぞれに第1電極に対応する第1のパターン孔が形成された第1のマスクを基板の上面に接触させて第1電極にスクリーン印刷を行う第1のスクリーン印刷機及び第1のスクリーン印刷機によりスクリーン印刷が行われた基板の位置決めを行い、第2電極に対応する第2のパターン孔が形成された平板状の第2のマスクを基板の上面に接触させて第2電極にスクリーン印刷を行う第2のスクリーン印刷機を連結させたスクリーン印刷システムであって、第1のマスクに対して相対移動し、ペーパー部材支持部の上端にペーパー部材を掛け渡して形成したマスク接触領域を第1のマスクの各凸状部の下面に順次接触させて第1のマスクの各凸状部の下面に付着したペーストを除去する第1のクリーニング装置と、第2のマスクに対して相対移動し、ペーパー部材支持部の上端にペーパー部材を掛け渡して形成したマスク接触領域を第2のマスクの下面に接触させて第2のマスクの下面に付着したペーストを除去する第2のクリーニング装置とを備え、第1のクリーニング装置は、第1のマスクの凸状部の下面に付着したペーストの除去を行っている間に、ペーパー部材が第1のマスクに対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材の巻き取りを行うペーパー部材巻き取り手段を有した。
ビティ部CVの底面(下層側基板部材21aの上面)には複数のキャビティ部電極cdが設けられている。すなわちこの基板3は、基板本体21の上面の一部に形成された複数のキャビティ部CVそれぞれの底面に設けられた複数のキャビティ部電極cd(第1電極)及び基板本体21の上面に設けられた複数のフラット部電極fd(第2電極)を有したキャビティ基板となっている。
2のマスク13bに対して相対移動することにより、第2のマスク13bの下面に付着したペーストPstを除去する(拭き取る)。各クリーニング装置16のノズル部41をY軸方向に挟む位置には一対のローラ部材43が設けられており、ペーパー部材42はこれら一対のローラ部材43の回転動作によって巻き取られてマスク接触領域Rの更新がなされる。
工程)。そして、基板保持部12に基板3を保持させたら、基板位置決め機構52を作動させて、基板保持部12ごと基板3を移動させ、第1のマスク13aが備える第1のパターン孔H1と基板3に設けられたキャビティ部電極cdとが上下に対向するように第1のマスク13に対する基板3の位置合わせを行う(図7(a)。第1の位置合わせ工程)。
3bの下方でカメラユニット15を水平移動させ、第1カメラ15aによって第2のマスク13bに設けられたマスク側位置決めマーク(図示せず)を撮像(画像認識)するとともに、第2カメラ15bによって基板3に設けられた基板側位置決めマーク(図示せず)を撮像(画像認識)し、これら両位置決めマークが上下方向に一致するように基板3を移動させる。
ひとつの下面に第1のクリーニング装置16aのペーパー部材42のマスク接触領域Rを接触させる(図9(a))。そうすると、第1のマスク13aの凸状部13tの下面に付着していたペーストPst(ペーストPstの残り滓DS)はペーパー部材42のマスク接触領域Rにくっついて除去され、第1のマスク13aの凸状部13tの下面がクリーニングされる。
の際及び第2のスクリーン印刷機2bにおける第2のマスク13bのクリーニングの際には、両スクリーン印刷機2a,2bの制御装置50は吸引機構58の作動制御を行い、空気吸引管路41aからペーパー部材42のマスク接触領域Rを介して空気を真空吸引するようにする。これにより各マスク13(第2のマスク13a又は第2のマスク13b)の下面に付着したペーストPstはペーパー部材42側に吸い出され、ペーストPstの除去が効果的に行われる。
取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材の巻き取りを行うようになっているので、ひとつの凸状部13tのペーストPstの除去を終えた後、次にペーストPstの除去を行う凸状部13tにペーパー部材42が接触したときに、前の凸状部13tから除去したペーストPstが後の凸状部13tに擦り付けられてしまうことがない。このため、キャビティ基板のスクリーン印刷に用いられるマスク13のクリーニングを十分に行うことができ、印刷精度を向上させることができる。
2a 第1のスクリーン印刷機
2b 第2のスクリーン印刷機
3 基板
13a 第1のマスク
13t 凸状部
13b 第2のマスク
16a 第1のクリーニング装置
16b 第2のクリーニング装置
21 基板本体
41 ノズル部(ペーパー部材支持部)
42 ペーパー部材
57 ペーパー部材巻き取り機構(ペーパー部材巻き取り手段)
H1 第1のパターン孔
H2 第2のパターン孔
CV キャビティ部(開口部)
fd キャビティ部電極(第1電極)
cd フラット部電極(第2電極)
R マスク接触領域
Pst ペースト
Claims (2)
- 基板本体の上面の一部に形成された複数の開口部それぞれの底面に設けられた複数の第1電極及び基板本体の上面に設けられた複数の第2電極を有する基板の位置決めを行い、基板本体の開口部に嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部のそれぞれに第1電極に対応する第1のパターン孔が形成された第1のマスクを基板の上面に接触させて第1電極にスクリーン印刷を行う第1のスクリーン印刷機及び第1のスクリーン印刷機によりスクリーン印刷が行われた基板の位置決めを行い、第2電極に対応する第2のパターン孔が形成された平板状の第2のマスクを基板の上面に接触させて第2電極にスクリーン印刷を行う第2のスクリーン印刷機を連結させたスクリーン印刷システムであって、
第1のマスクに対して相対移動し、ペーパー部材支持部の上端にペーパー部材を掛け渡して形成したマスク接触領域を第1のマスクの各凸状部の下面に順次接触させて第1のマスクの各凸状部の下面に付着したペーストを除去する第1のクリーニング装置と、
第2のマスクに対して相対移動し、ペーパー部材支持部の上端にペーパー部材を掛け渡して形成したマスク接触領域を第2のマスクの下面に接触させて第2のマスクの下面に付着したペーストを除去する第2のクリーニング装置とを備え、
第1のクリーニング装置は、第1のマスクの凸状部の下面に付着したペーストの除去を行っている間に、ペーパー部材が第1のマスクに対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材の巻き取りを行うペーパー部材巻き取り手段を有したことを特徴とするスクリーン印刷システム。 - 基板本体の上面の一部に形成された複数の開口部それぞれの底面に設けられた複数の第1電極及び基板本体の上面に設けられた複数の第2電極を有する基板の位置決めを行い、基板本体の開口部に嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部のそれぞれに第1電極に対応する第1のパターン孔が形成された第1のマスクを基板の上面に接触させて第1電極にスクリーン印刷を行う第1のスクリーン印刷機及び第1のスクリーン印刷機によりスクリーン印刷が行われた基板の位置決めを行い、第2電極に対応する第2のパターン孔が形成された平板状の第2のマスクを基板の上面に接触させて第2電極にスクリーン印刷を行う第2のスクリーン印刷機を連結させたスクリーン印刷システムのマスクのクリーニング方法であって、
ペーパー部材支持部の上端にペーパー部材を掛け渡してマスク接触領域を形成した第1のクリーニング装置を第1のマスクに対して相対移動させ、ペーパー部材の一部から成るマスク接触領域を第1のマスクの各凸状部の下面に順次接触させて第1のマスクの各凸状部の下面に付着したペーストを除去する工程と、
ペーパー部材支持部上端にペーパー部材を掛け渡してマスク接触領域を形成した第2のクリーニング装置を第2のマスクに対して相対移動させ、ペーパー部材の一部から成るマスク接触領域を第2のマスクの下面に接触させて第2のマスクの下面に付着したペーストを除去する工程とを含み、
第1のクリーニング装置による第1のマスクの各凸状部の下面に付着したペーストを除去する工程において、第1のマスクの凸状部の下面に付着したペーストの除去を行っている間に、ペーパー部材が第1のマスクに対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材の巻き取りを行うことを特徴とするスクリーン印刷システムのマスクのクリーニング方法。
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JP2009284688A JP2011126050A (ja) | 2009-12-16 | 2009-12-16 | スクリーン印刷システム及びスクリーン印刷システムのマスクのクリーニング方法 |
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2009
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