CN113752688A - 一种真空环境下的网底清洁装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种真空环境下的网底清洁装置，包括设置于大气侧的储液机构以及设置于真空腔体内的喷液机构和擦拭机构，所述喷液机构位于所述擦拭机构上方，所述储液机构包括存储低饱和蒸气压溶剂的储液罐和频率可调的喷液泵，所述喷液机构包括若干喷液组件，所述喷液组件包括与喷液连接板相连的喷嘴和喷液开关，所述喷液泵连接所述储液罐和喷嘴，所述喷嘴与所述喷液泵之间设置有喷液电磁阀，所述喷液开关封堵所述喷嘴，所述擦拭机构往返于网底。本发明能够在不破除真空的情况下对网底进行自动清洁，工作效率高，清洁效果好。

Description

一种真空环境下的网底清洁装置

技术领域

本发明涉及印刷机设备技术领域，尤其是指一种真空环境下的网底清洁装置。

背景技术

目前，电子及半导体真空印刷行业中，均需要用到丝网，在印刷过程中，不可避免地会出现碎屑、浆料粉末等杂质，如果不及时清理，会导致网版破损，影响印刷质量。

由于网版上的浆料等杂质粘附牢固，因此采用干擦的方式无法擦净网底，因此现有技术中对丝网的清理多采用喷液擦拭的人工湿擦方式。一方面，真空印刷中真空腔体是密闭的状态无法进去清理。另一方面，传统的喷液多采用酒精或者丙酮这类易挥发能溶解油墨的溶液，由于这类溶剂在大气中就极易挥发，而在真空印刷机中真空度达到2000pa以下时，挥发速度极快，液体在沸腾之后瞬间气化，当这种溶液刚喷到清洁纸上面的时候，就挥发掉了，在真空度10-80pa的时候无法湿擦达到清洁网底的效果。如果破除真空人工再去清理的话，由于破除真空和抽真空花费时间较长，这样整个的生产效率会降低很多。

为实现网底的自动清洁，市场上设计了采用喷管在清洁纸下方喷洒酒精的方式，简单描述是在一根管子上钻多个喷嘴孔，选择湿擦时，喷管口会喷出酒精，浸湿纸卷，达到湿擦的目的，例如已公开的专利:CN206796783U,但这种方式仅适用于大气状态下，在真空环境中多个喷液点暴露在真空环境下，显然不适用。除此之外，已公开的专利：CN204109550U及CN108773183A同样是采用以上所述的清洁方式，CN204109550U中还特别提到采用鼓风机辅助清洁，该种方式在真空环境下显然不适用。

发明内容

为此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中真空环境下无法进行网底自动清洁的缺陷，提供一种真空环境下的网底清洁装置，能够在不破除真空的情况下对网底进行自动清洁，工作效率高，清洁效果好。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种真空环境下的网底清洁装置，包括设置于大气侧的储液机构以及设置于真空腔体内的喷液机构和擦拭机构，所述喷液机构位于所述擦拭机构上方，所述储液机构包括存储低饱和蒸气压溶剂的储液罐和频率可调的喷液泵，所述喷液机构包括若干喷液组件，所述喷液组件包括与喷液连接板相连的喷嘴和喷液开关，所述喷液泵连接所述储液罐和喷嘴，所述喷嘴与所述喷液泵之间设置有喷液电磁阀，所述喷液开关封堵所述喷嘴，所述擦拭机构往返于网底。

在本发明的一个实施例中，所述喷液连接板上安装有喷液固定块，所述喷嘴安装于所述喷液固定块下方，所述喷液开关包括喷液堵片和喷液堵板，所述喷液堵板与所述喷液固定块之间通过第一销轴连接，所述喷液堵板通过翻转部驱动绕所述销轴翻转，所述喷液堵片安装于所述喷液堵板上对应所述喷嘴的位置。

在本发明的一个实施例中，所述翻转部包括安装于所述喷液连接板上的气缸尾板，所述气缸尾板与所述喷液堵板之间连接有堵头气缸，所述喷液堵板远离所述喷液堵片的一侧设置有第二销轴，所述堵头气缸的尾部与所述气缸尾板铰接，所述堵头气缸的推杆通过鱼眼轴承连接所述第二销轴。

在本发明的一个实施例中，所述喷液组件设置有一个，所述喷液机构还包括喷液直线模组，所述喷液直线模组沿所述擦拭机构的长度方向设置，所述喷液组件与所述喷液直线模组相连。

在本发明的一个实施例中，所述喷液直线模组包括滑轨安装板，所述滑轨安装板上沿其长度方向设置有喷液直线滑轨，所述滑轨安装板两端分别连接有喷液主动轮和喷液惰轮，所述喷液主动轮与喷液惰轮通过喷液同步带连接，所述喷液主动轮由喷液驱动电机驱动，所述喷液组件与所述喷液同步带和喷液直线滑轨相连。

在本发明的一个实施例中，所述擦拭机构包括依次设置于清洁固定板上的放卷组件、擦拭组件和收卷组件，所述清洁固定板由升降组件驱动升降。

在本发明的一个实施例中，所述放卷组件包括固定于所述清洁固定板两端的放卷固定板，两所述放卷固定板上分别设置有纸卷固定轴，所述纸卷固定轴一侧的放卷固定板上还转动连接有纸卷感应轴，所述纸卷感应轴一端穿过所述放卷固定板连接无纸感应器。

在本发明的一个实施例中，所述放卷固定板上设置有U型槽，所述纸卷固定轴通过压卷组件压紧于所述U型槽内，所述压卷组件包括压卷固定座，所述压卷固定座一端与所述放卷固定板相连，另一端通过直线轴承穿设有调节轴，所述调节轴一端安装有固定螺栓，所述压卷固定座与所述固定螺栓之间的调节轴上设置有压卷弹簧，所述调节轴另一端通过螺母固定连接压卷板一端，所述压卷板另一端面向所述压卷弹簧的一侧固定有压卷块。

在本发明的一个实施例中，所述擦拭组件包括擦条固定板和擦拭条，所述擦拭条安装于所述擦条固定板两侧，两所述擦拭条之间的擦条固定板上设置有若干漏液孔，所述漏液孔下方的清洁固定板上固定有接液盘。

在本发明的一个实施例中，所述收卷组件包括收卷轴，所述收卷轴一端通过浮动件与第一收卷固定板相连，另一端通过穿过第二收卷固定板的收卷主轴连接收卷电机，所述收卷主轴端部设置有与所述收卷轴端部形状配合的凹槽。

在本发明的一个实施例中，所述浮动件包括分别安装于所述第一收卷固定板两侧的轴承盖和弹簧后盖，所述轴承盖内设置有水平移动的浮动轴承，所述浮动轴承固定连接有浮动销轴，所述浮动销轴与所述弹簧后盖之间设置有浮动弹簧，所述浮动轴承另一端与所述收卷轴配合。

在本发明的一个实施例中，所述收卷主轴通过单向轴承与所述第二收卷固定板相连。

在本发明的一个实施例中，所述收卷轴上设置有收卷压条，所述收卷压条两端通过卡板卡装于所述收卷轴两端。

在本发明的一个实施例中，所述升降组件包括升降气缸，所述升降气缸固定于气缸安装座上，所述升降气缸两侧的气缸安装座上固定有导向轴，所述升降气缸连接有升降固定板，所述升降固定板与所述清洁固定板相连，所述升降固定板两端设置有供所述导向轴穿过的直线轴承，两所述导向轴另一端通过导向连接板相连。

在本发明的一个实施例中，所述电磁阀与喷液机构之间通过大气真空转接板过渡，所述电磁阀的输出端连接所述大气真空转接板的大气侧，所述喷液机构连接所述大气真空转接板的真空侧。

本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本发明所述的清洁装置能够在不破除真空的情况下对网底进行自动清洁，工作效率高，清洁效果好。

附图说明

为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面根据本发明的具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中

图1是本发明工作原理示意图；

图2是本发明应用于真空印刷机示意图；

图3是本发明与印刷机连接结构示意图；

图4是本发明喷液组件爆炸图；

图5是本发明喷液直线模组示意图；

图6是本发明擦拭机构示意图；

图7是本发明放卷组件和擦拭组件示意图；

图8是本发明压卷组件示意图；

图9是本发明收卷组件示意图；

图10是本发明收卷组件剖视图；

图11是本发明升降组件示意图。

说明书附图标记说明：100、储液机构；110、储液罐；120、喷液泵；121、喷液电磁阀；130、大气真空转接板；

200、喷液机构；210、喷液组件；211、喷嘴；212、喷液开关；2121、喷液堵片；2122、喷液堵板；2123、第一销轴；2124、翻转部；2125、气缸尾板；2126、堵头气缸；2127、第二销轴；2128、鱼眼轴承；2129、堵板垫柱；220、喷液连接板；221、喷液固定块；230、喷液直线模组；231、滑轨安装板；232、喷液直线滑轨；233、喷液主动轮；234、喷液惰轮；235、喷液同步带；236、喷液驱动电机；2361、联轴器；2362、主动轮传动轴；2363、轴承座；2364、平面轴承；237、固定架；238、压紧块；240、喷液总固定块；

300、擦拭机构；310、清洁固定板；320、放卷组件；321、放卷固定板；3211、U型槽；322、纸卷固定轴；323、纸卷感应轴；324、无纸感应器；3241、无纸感应片；3242、无纸感应座；330、擦拭组件；331、擦条固定板；332、擦拭条；333、漏液孔；334、接液盘；340、收卷组件；341、收卷轴；3411、收卷压条；3412、卡板；342、浮动件；3421、轴承盖；3422、弹簧后盖；3423、浮动轴承；3424、浮动销轴；3425、浮动弹簧；343、第一收卷固定板；344、第二收卷固定板；345、收卷主轴；3451、单向轴承；3451、凹槽；346、收卷电机；350、升降组件；351、升降气缸；352、气缸安装座；353、导向轴；354、导向连接板；355、升降固定板；360、擦拭纸；370、压卷组件；371、压卷固定座；372、调节轴；373、固定螺栓；374、压卷弹簧；375、螺母；376、压卷板；377、压卷块；378、压卷把手；

400、真空腔体；410、框座；420、台板；

500、机架。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。

参照图1、图2和图3所示，为本发明的一种真空环境下的网底清洁装置工作原理示意图。本发明的清洁装置包括设置于大气侧的储液机构100以及设置于真空腔体400内的喷液机构200和擦拭机构300，所述喷液机构200位于所述擦拭机构300上方，所述储液机构100包括存储低饱和蒸气压溶剂的储液罐110和频率可调的喷液泵120，所述喷液机构200包括若干喷液组件210，所述喷液组件210包括与喷液连接板220相连的喷嘴211和喷液开关212，所述喷液泵120连接所述储液罐110和喷嘴211，所述喷嘴211与所述喷液泵120之间设置有喷液电磁阀121，所述喷液开关212封堵所述喷嘴211，所述擦拭机构300往返于网底。

真空腔体400内的空间较小，而液体在从储液机构100向喷液机构200传输的过程中处于管路内，因此将储液机构100设置于真空腔体400外，将喷液机构200和擦拭机构300设置于真空腔体400内，能够保证真空状态不被破坏。储液罐110中存储适量低饱和蒸气压溶剂，因为在10-80pa的真空环境下，低饱和蒸气压溶剂不易挥发，稳定性好，从而能够达到对网底进行湿擦的目的。由于喷液泵120连通真空腔体400内外，当喷液泵120以大气模式液体流量向真空腔体400内进行喷射时，容易造成喷速过大，导致液体浪费，同时液体大量积累也会影响真空腔体400内部的真空度，并对真空腔体400内元器件造成一定损害，而喷液泵120的流量与频率相关，故本发明中采用频率可调的喷液泵120。在真空腔体400未抽真空前，采用大气模式下的高频率启动喷液泵120，使液体充满喷液管路，而后关闭喷液泵120、喷液电磁阀121和喷嘴211，管路内液体压力平衡。而后对真空腔体400进行抽真空，在采用真空模式下的低频率启动喷液泵120，液体仅由于喷液泵120启动造成的压力喷出，由于喷液泵120的频率小，故液体流量小，喷嘴211在真空中喷射时不会造成液体飞溅，保证喷出的液体均被擦拭机构300吸收，从而能够控制喷液的流量，减少在真空腔体400内的残留。为保证管路在真空腔体400与大气环境过渡的位置的稳定，所述电磁阀与喷液机构200之间通过大气真空转接板130过渡，所述电磁阀的输出端连接所述大气真空转接板130的大气侧，所述喷液机构200连接所述大气真空转接板130的真空侧。即储液罐110通过管道连接喷液泵120的输入端，喷液泵120的输出端通过管道连接喷液电磁阀121的输入端，喷液电磁阀121的输出端连接大气真空转接板130的大气侧，大气真空转接板130的真空侧再通过管道连接着喷液机构200。由于擦拭机构300对网底进行清洁，因此将喷液机构200设置于擦拭机构300上方，同时真空环境中，液体受重力作用，将擦拭机构300设置于喷液机构200下方更能够确保喷射出的液体均被擦拭机构300吸收。为保证擦拭机构300沾满液体，本实施例中喷嘴211可以沿擦拭机构300长度方向设置若干个，若干个喷嘴211配合使擦拭机构300沾满液体。

参照图2和图3所示，本发明的清洁装置应用在真空印刷设备上，具体的储液罐110、喷液泵120和喷液电磁阀121均安装在大气侧的机架500上。喷液机构200固定挂在真空腔体400内的框座410上，喷液组件210通过喷液连接板220与框座410相连，擦拭机构300固定在真空腔体400内的台板420上，随台板420一同移动。

参照图4所示，为本发明的喷液组件210示意图。为固定喷嘴211，所述喷液连接板220上安装有喷液固定块221，所述喷嘴211安装于所述喷液固定块221下方，方便喷嘴211向下喷射液体。本发明在工作时，先在大气压状态下使液体充满喷液管路，封闭后再在真空状态下打开进行喷液，为使得在真空状态下打开时，液体立刻从喷嘴211溢出，本实施例中的喷液开关212采用直接封堵喷嘴211出口的形式。所述喷液开关212包括喷液堵片2121和喷液堵板2122，所述喷液堵板2122与所述喷液固定块221之间通过第一销轴2123连接，所述喷液堵板2122通过翻转部2124驱动绕所述销轴翻转，所述喷液堵片2121安装于所述喷液堵板2122上对应所述喷嘴211的位置。当需要关闭喷嘴211时，翻转部2124驱动喷液堵板2122向上翻转，喷液堵片2121贴合喷嘴211的出口，将其封闭，实现喷嘴211的封堵。当需要打开喷嘴211时，翻转部2124驱动喷液堵板2122向下翻转，喷液堵板2122转动至喷嘴211下方侧边，打开喷嘴211，同时喷液堵板2122避开喷嘴211下方的位置，为喷嘴211中液体的喷出留出空间。进一步的，所述翻转部2124包括安装于所述喷液连接板220上的气缸尾板2125，所述气缸尾板2125与所述喷液堵板2122之间连接有堵头气缸2126，所述喷液堵板2122远离所述喷液堵片2121的一侧设置有第二销轴2127，所述堵头气缸2126的尾部与所述气缸尾板2125铰接，所述堵头气缸2126的推杆通过鱼眼轴承2128连接所述第二销轴2127。堵头气缸2126伸缩时，与推杆相连的鱼眼轴承2128被推出或收回，鱼眼轴承2128通过第二销轴2127连接喷液堵板2122，鱼眼轴承2128的推出或收回对第二销轴2127形成推拉力，喷液堵板2122由于第一销轴2123的限制，在受推拉力时绕第一销轴2123旋转，实现一端升高一端降低。当对应喷嘴211的一端升高，喷液堵片2121抵接喷嘴211开口，封堵了喷嘴211；当对应喷嘴211的一端降低，喷液堵片2121离开喷嘴211开口，喷嘴211被打开。由于喷液堵板2122旋转时，鱼眼轴承2128与第二销轴2127之间也存在相对转动，为防止第二销轴2127与鱼眼轴承2128之间产生其轴向上的移动，第二销轴2127两端设置有堵板垫柱2129，鱼眼轴承2128连接于两堵板垫柱2129之间。本实施例中，当堵头气缸2126伸出时，喷液堵片2121向下旋转，打开喷嘴211，当堵头气缸2126收回，喷液堵片2121反向旋转，堵住喷嘴211。

参照图5所示，当喷液组件210设置有多个时，不能保证擦拭机构300每部分吸收到的液体量均匀，同时每个喷液组件210在真空中的喷液量不便控制，因此本实施例中所述喷液组件210设置有一个。此时一个喷嘴211的喷液量方便控制，同时喷嘴211沿擦拭机构300长度方向匀速移动，还能够保证擦拭机构300各处吸收的液体量均匀。因此所述喷液机构200还包括喷液直线模组230，所述喷液直线模组230沿所述擦拭机构300的长度方向设置，所述喷液组件210与所述喷液直线模组230相连。具体的，所述喷液直线模组230包括滑轨安装板231，滑轨安装板231固定在真空印刷设备的框座410上，所述滑轨安装板231上沿其长度方向设置有喷液直线滑轨232，所述滑轨安装板231两端分别连接有喷液主动轮233和喷液惰轮234，所述喷液主动轮233与喷液惰轮234通过喷液同步带235连接，所述喷液主动轮233由喷液驱动电机236驱动，所述喷液组件210与所述喷液同步带235和喷液直线滑轨232相连。喷液同步带235提供喷液组件210移动的动力，喷液直线滑轨232对喷液组件210进行导向。喷液驱动电机236通过固定架237支撑于滑轨安装板231上，喷液驱动电机236通过联轴器2361和主动轮传动轴2362连接喷液主动轮233，主动轮传动轴2362另一端穿过安装于滑轨安装板231上的轴承座2363和平面轴承2364。喷液惰轮234通过惰轮轴和惰轮固定块安装于滑轨安装板231另一端。喷液组件210安装在喷液直线滑轨232上，且通过与其相连的压紧块238夹紧喷液主动轮233和喷液惰轮234一侧的喷液同步带235。当喷液驱动电机236带动喷液同步带235移动，压紧块238也带动喷液组件210做来回的直线运动，从而喷嘴211在移动过程中将液体均匀的喷洒在下方的擦拭机构300上。本实施例中为方便与框座410固定，滑轨安装板231两端连接有喷液总固定块240。

参照图6所示，为本发明的擦拭机构300示意图。所述擦拭机构300包括依次设置于清洁固定板310上的放卷组件320、擦拭组件330和收卷组件340，所述清洁固定板310由升降组件350驱动升降。放卷组件320用于对纸卷进行放卷，收卷组件340用于对从纸卷上拉出的擦拭纸360进行收卷，同时保证擦拭纸360绷紧在擦拭组件330上，喷嘴211对擦拭组件330上的擦拭纸360喷液，擦拭纸360吸收液体后，擦拭机构300移动到网底，升降组件350将清洁固定板310顶起，保证擦拭组件330上方的擦拭纸360接触网底，随着擦拭机构300的移动，擦拭纸360完成对网底的全面擦拭，而后放卷组件320放卷，收卷组件340收卷，使擦拭组件330上方为一段新的擦拭纸360，以便进行下一次擦拭。

参照图7所示，所述放卷组件320包括设置于所述清洁固定板310两端的放卷固定板321，两所述放卷固定板321上分别设置有纸卷固定轴322，所述纸卷固定轴322一侧的放卷固定板321上还转动连接有纸卷感应轴323，所述纸卷感应轴323一端穿过所述放卷固定板321连接无纸感应器324。两纸卷固定轴322插入到纸卷两端，将擦拭纸360从纸卷上抽出，绕过纸卷感应轴323，再搭在擦拭组件330上，最后固定在收卷组件340上，当收卷组件340进行收卷，擦拭纸360的移动带动纸卷感应轴323转动，与纸卷感应轴323相连的无纸感应器324能够感应到有无擦拭纸360通过。具体的无纸感应器324包括与纸卷感应轴323相连的无纸感应片3241以及对应无纸感应片3241设置的无纸感应座3242，纸卷感应轴323带动无纸感应片3241旋转，无纸感应座3242反馈无纸感应片3241的旋转信号。

进一步的，为方便将纸卷安装在两纸卷固定轴322之间，所述放卷固定板321上设置有U型槽3211，纸卷固定轴322设置于U型槽3211内，当需要装卸纸卷时，将纸卷固定轴322从U型槽3211中取出，插入纸卷两端，或从纸卷两端抽出，实现纸卷的装卸。但为了防止纸卷固定轴322从U型槽3211中跑出，参照图8所示，所述纸卷固定轴322通过压卷组件370压紧于所述U型槽3211内，所述压卷组件370包括压卷固定座371，所述压卷固定座371一端与所述放卷固定板321相连，以对其进行固定，另一端通过直线轴承穿设有调节轴372，所述调节轴372一端安装有固定螺栓373，所述压卷固定座371与所述固定螺栓373之间的调节轴372上设置有压卷弹簧374，所述调节轴372另一端通过螺母375固定连接压卷板376一端，所述压卷板376另一端面向所述压卷弹簧374的一侧固定有压卷块377。由于压卷固定座371位置固定，当纸卷固定轴322未安装时，弹簧的弹力使得调节轴372一端的固定螺栓373远离纸卷固定座，从而调节轴372另一端的压卷板376带动压卷块377靠近压卷固定座371。当压卷块377抵接纸卷固定轴322时，压卷块377带动压卷板376向远离压卷固定座371的方向移动，调节轴372另一端的固定螺栓373则向靠近压卷固定板的方向移动，压卷弹簧374被压缩。通过压卷弹簧374的伸缩能够控制压卷块377抵压纸卷固定轴322的力度，防止纸卷从U型槽3211中跑出，同时由于压卷块377抵压纸卷固定轴322的力度可调，故能够保证纸卷均匀放卷，使放出的擦拭纸360保持平整。为方便调整压卷板376的高度，本实施例中还在压卷板376上固定有压卷把手378。当需要取放纸卷固定轴322时，提拉压卷把手378，将压卷板376转过一定的角度，使U型槽3211上方的空间被让开，从而能够取放纸卷固定轴322。

参照图7所示，所述擦拭组件330包括擦条固定板331和擦拭条332，所述擦拭条332安装于所述擦条固定板331两侧，通过擦拭条332的设置使得擦拭纸360被顶起，在对网底进行清洁时，能够保证擦拭条332与网底之间的擦拭纸360与网底之间全接触，保证对网底的清洁效果。两擦拭条332将擦拭纸360撑起一个平面，该平面承接喷洒出的液体，为防止擦拭纸360未吸收完的液体流到其他部件，两所述擦拭条332之间的擦条固定板331上设置有若干漏液孔333，所述漏液孔333下方的清洁固定板310上固定有接液盘334。多余液体最终从擦拭纸360上渗出后，经漏液孔333滴落至接液盘334上，不会对其他部件造成影响。

参照图9和图10所示，为收卷组件340示意图。所述收卷组件340包括收卷轴341，为使得收卷轴341能够被驱动的同时方便拆卸，所述收卷轴341一端通过浮动件342与第一收卷固定板343相连，另一端通过穿过第二收卷固定板344的收卷主轴345连接收卷电机346，所述收卷主轴345端部设置有与所述收卷轴341端部形状配合的凹槽3451。当需要拆卸收卷轴341时，将收卷轴341压向浮动件342的方向，使收卷轴341脱离收卷主轴345的凹槽3451，而后收卷轴341从浮动件342中取出，实现收卷轴341的拆卸。参照图11所示，所述浮动件342包括分别安装于所述第一收卷固定板343两侧的轴承盖3421和弹簧后盖3422，所述轴承盖3421内设置有水平移动的浮动轴承3423，所述浮动轴承3423固定连接有浮动销轴3424，所述浮动销轴3424与所述弹簧后盖3422之间设置有浮动弹簧3425，所述浮动销轴3424另一端与所述收卷轴341配合。当收卷时，由于浮动销轴3424和浮动轴承3423的设置，收卷轴341可以自由转动；当拆卸收卷轴341时，将收卷轴341向浮动弹簧3425的方向推动，浮动轴承3423水平移动，浮动销轴3424和弹簧后盖3422实现对浮动弹簧3425位置的限位，浮动弹簧3425被压缩，收卷轴341的另一端从收卷主轴345的凹槽3451中移出，此时整个收卷轴341可以取下；当安装收卷轴341时，将收卷轴341一端向浮动弹簧3425一侧推动，然后将收卷轴341另一端对准收卷主轴345，使收卷轴341端部插入收卷主轴345的凹槽3451内，实现收卷轴341的安装。进一步的，为使得擦拭纸360在擦拭网底时不被擦拭纸360与网底接触时产生的摩擦力让擦拭纸360产生移动，所述收卷主轴345通过单向轴承3451与所述第二收卷固定板344相连，从而与收卷主轴345相连的收卷轴341只能向一个方向旋转。单向轴承3451通过单向轴承3451座2363固定在第二收卷固定板344上，收卷主轴345穿过单向轴承3451后通过收卷联轴器2361连接收卷电机346。更进一步的，所述收卷轴341上还设置有收卷压条3411，所述收卷压条3411两端通过卡板3412卡装于所述收卷轴341两端。当更换新的纸卷时，将收卷压条3411取下，然后把从新的纸卷上拉出的擦拭纸360端部用收卷压条3411压在收卷轴341上，而后收卷电机346启动，收卷轴341旋转，实现收卷动作。

参照图11所示，本实施例中为了保证擦拭纸360与网底的接触，设置升降组件350。由于清洁固定板310上其他部件较多，重量较重，为保证清洁固定板310升降的稳定，所述升降组件350包括升降气缸351，所述升降气缸351固定于气缸安装座352上，所述升降气缸351两侧的气缸安装座352上固定有导向轴353，所述升降气缸351连接有升降固定板355，所述升降固定板355与所述清洁固定板310相连，所述升降固定板355两端设置有供所述导向轴353穿过的直线轴承，两所述导向轴353另一端通过导向连接板354相连。导向轴353下端固定在气缸安装座352上，上端通过导向连接板354相连，保证了导向轴353位置的固定。当升降气缸351推动气缸固定板升降，由于两导向轴353的导向，气缸固定板不会产生歪斜，从而能够保证与气缸固定板相连的清洁固定板310在升降式的稳定。

本发明的清洁装置结构简单，清洁效果好，且清洁过程中能够不破除真空；本发明的方法通过先在大气压状态下进行预喷液，而后再进行真空环境中的喷液，保证在真空环境中的正常喷液，从而实现在不破除真空的情形下对网底进行湿擦。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (15)

1.一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于，包括设置于大气侧的储液机构以及设置于真空腔体内的喷液机构和擦拭机构，所述喷液机构位于所述擦拭机构上方，所述储液机构包括存储低饱和蒸气压溶剂的储液罐和频率可调的喷液泵，所述喷液机构包括若干喷液组件，所述喷液组件包括与喷液连接板相连的喷嘴和喷液开关，所述喷液泵连接所述储液罐和喷嘴，所述喷嘴与所述喷液泵之间设置有喷液电磁阀，所述喷液开关封堵所述喷嘴，所述擦拭机构往返于网底。

2.根据权利要求1所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述喷液连接板上安装有喷液固定块，所述喷嘴安装于所述喷液固定块下方，所述喷液开关包括喷液堵片和喷液堵板，所述喷液堵板与所述喷液固定块之间通过第一销轴连接，所述喷液堵板通过翻转部驱动绕所述销轴翻转，所述喷液堵片安装于所述喷液堵板上对应所述喷嘴的位置。

3.根据权利要求2所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述翻转部包括安装于所述喷液连接板上的气缸尾板，所述气缸尾板与所述喷液堵板之间连接有堵头气缸，所述喷液堵板远离所述喷液堵片的一侧设置有第二销轴，所述堵头气缸的尾部与所述气缸尾板铰接，所述堵头气缸的推杆通过鱼眼轴承连接所述第二销轴。

4.根据权利要求1所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述喷液组件设置有一个，所述喷液机构还包括喷液直线模组，所述喷液直线模组沿所述擦拭机构的长度方向设置，所述喷液组件与所述喷液直线模组相连。

5.根据权利要求4所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述喷液直线模组包括滑轨安装板，所述滑轨安装板上沿其长度方向设置有喷液直线滑轨，所述滑轨安装板两端分别连接有喷液主动轮和喷液惰轮，所述喷液主动轮与喷液惰轮通过喷液同步带连接，所述喷液主动轮由喷液驱动电机驱动，所述喷液组件与所述喷液同步带和喷液直线滑轨相连。

6.根据权利要求1所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述擦拭机构包括依次设置于清洁固定板上的放卷组件、擦拭组件和收卷组件，所述清洁固定板由升降组件驱动升降。

7.根据权利要求6所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述放卷组件包括固定于所述清洁固定板两端的放卷固定板，两所述放卷固定板上分别设置有纸卷固定轴，所述纸卷固定轴一侧的放卷固定板上还转动连接有纸卷感应轴，所述纸卷感应轴一端穿过所述放卷固定板连接无纸感应器。

8.根据权利要求7所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述放卷固定板上设置有U型槽，所述纸卷固定轴通过压卷组件压紧于所述U型槽内，所述压卷组件包括压卷固定座，所述压卷固定座一端与所述放卷固定板相连，另一端通过直线轴承穿设有调节轴，所述调节轴一端安装有固定螺栓，所述压卷固定座与所述固定螺栓之间的调节轴上设置有压卷弹簧，所述调节轴另一端通过螺母固定连接压卷板一端，所述压卷板另一端面向所述压卷弹簧的一侧固定有压卷块。

9.根据权利要求6所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述擦拭组件包括擦条固定板和擦拭条，所述擦拭条安装于所述擦条固定板两侧，两所述擦拭条之间的擦条固定板上设置有若干漏液孔，所述漏液孔下方的清洁固定板上固定有接液盘。

10.根据权利要求6所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述收卷组件包括收卷轴，所述收卷轴一端通过浮动件与第一收卷固定板相连，另一端通过穿过第二收卷固定板的收卷主轴连接收卷电机，所述收卷主轴端部设置有与所述收卷轴端部形状配合的凹槽。

11.根据权利要求10所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述浮动件包括分别安装于所述第一收卷固定板两侧的轴承盖和弹簧后盖，所述轴承盖内设置有水平移动的浮动轴承，所述浮动轴承固定连接有浮动销轴，所述浮动销轴与所述弹簧后盖之间设置有浮动弹簧，所述浮动轴承另一端与所述收卷轴配合。

12.根据权利要求10所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述收卷主轴通过单向轴承与所述第二收卷固定板相连。

13.根据权利要求10所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述收卷轴上设置有收卷压条，所述收卷压条两端通过卡板卡装于所述收卷轴两端。

14.根据权利要求6所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述升降组件包括升降气缸，所述升降气缸固定于气缸安装座上，所述升降气缸两侧的气缸安装座上固定有导向轴，所述升降气缸连接有升降固定板，所述升降固定板与所述清洁固定板相连，所述升降固定板两端设置有供所述导向轴穿过的直线轴承，两所述导向轴另一端通过导向连接板相连。

15.根据权利要求1所述的一种真空环境下的网底清洁装置，其特征在于：所述电磁阀与喷液机构之间通过大气真空转接板过渡，所述电磁阀的输出端连接所述大气真空转接板的大气侧，所述喷液机构连接所述大气真空转接板的真空侧。

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