JP5903538B2 - スクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法及びスクリーン印刷機 - Google Patents

Description

本発明は、マスク上でスキージを摺動させて基板に半田等のペーストを印刷するスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法及びスクリーン印刷機に関するものである。

スクリーン印刷機は、基板保持部に保持した基板上の電極に半田等のペーストを印刷する装置であり、基板の電極の配置に応じたパターン孔が形成されたマスクを電極とパターン孔が合致するよう基板に接触させた後、ペーストが供給されたマスク上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せ、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させるようになっている。

このようなスクリーン印刷機では、基板に対するスクリーン印刷作業が進むと、マスクの下面に付着したペーストの影響によって印刷状態が不良になってくるおそれがあるため、クリーニング面をマスクの下面に接触させたペーパー部材をマスクに対して相対移動させてマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去（クリーニング）するマスククリーナが備えられている。

このようなマスククリーナを用いたマスククリーニングでは、マスクの下面のクリーニングを行う領域（クリーニング領域）とクリーニングを行わない領域（非クリーニング領域）が設定される場合があり、マスクの下面に非クリーニング領域が設定された場合には、クリーニング領域のみがマスククリーナによってクリーニングされる（例えば、特許文献１）。

このようにマスククリーニングにおいて非クリーニング領域として設定される領域は、もともとペーストが印刷されることがない領域のうち、その領域をクリーニングした場合にはマスククリーナのクリーニング面に付着したペーストが擦り付けられて却って不都合が生じる領域（例えば金パッドが分散配置されているような領域）であり、クリーニング時には非クリーニング領域にペーストが付着することのないように注意する必要がある。

特開平１１−１６５４０２号公報

しかしながら、従来、クリーニング領域のクリーニング時において、マスククリーナを非クリーニング領域の端部まで移動させた際に、マスククリーナのクリーニング面に付着していたペーストを非クリーニング領域内に侵入させてしまうことがあり、これが原因となって印刷不良が発生するおそれがあるという問題点があった。

そこで本発明は、マスクの下面のクリーニングを行わない領域として設定した非クリーニング領域にマスククリーナ側のペーストを侵入させてしまうことのないスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法及びスクリーン印刷機を提供することを目的とする。

請求項１に記載のマスククリーニング方法は、基板の上面に接触されるマスクと、前記基板の上面に接触された前記マスク上を摺動して前記マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージと、クリーニング面を前記マスクの下面に接触させた状態で前記マスクに対して相対移動することにより前記マスクの下面に付着したペーストをクリーニングするマスククリーナとを備えたスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法であって、前記マスクの下面のクリーニングを行う第１のクリーニング領域及び第２のクリーニング領域とクリーニングを行わない非クリーニング領域を設定する領域設定工程と、前記領域設定工程において設定した前記非クリーニング領域から遠ざかる方向に前記マスククリーナを移動させて前記第１のクリーニング領域及び前記第２のクリーニング領域のクリーニングを行うクリーニング実行工程とを含み、前記第１のクリーニング領域、前記第２のクリーニング領域及び前記非クリーニング領域は、前記スキージの移動方向に、前記第１のクリーニング領域、前記非クリーニング領域、前記第２のクリーニング領域の順で並んでいる。

請求項２に記載のマスククリーニング方法は、請求項１に記載のスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法であって、前記非クリーニング領域は、前記基板上の電極に対応するパターン孔が形成されていない領域に設定される。

請求項３に記載のスクリーン印刷機は、基板の上面に接触されるマスクと、前記基板の上面に接触された前記マスク上を摺動して前記マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージと、クリーニング面を前記マスクの下面に接触させた状態で前記マスクに対して相対移動することにより前記マスクの下面に付着したペーストをクリーニングするマスククリーナと、前記マスクの下面のクリーニングを行う第１のクリーニング領域及び第２のクリーニング領域とクリーニングを行わない非クリーニング領域を設定する領域設定手段と、前記領域設定手段により設定した前記非クリーニング領域から遠ざかる方向に前記マスククリーナを移動させて前記第１のクリーニング領域及び前記第２のクリーニング領域のクリーニングを行うクリーニング実行手段とを備え、前記第１のクリーニング領域、前記第２のクリーニング領域及び前記非クリーニング領域は、前記スキージの移動方向に、前記第１のクリーニング領域、前記非クリーニング領域、前記第２のクリーニング領域の順で並んでいる。

請求項４に記載のスクリーン印刷機は、請求項３に記載のスクリーン印刷機であって、前記非クリーニング領域は、前記基板上の電極に対応するパターン孔が形成されていない領域に設定される。

本発明では、非クリーニング領域から遠ざかる方向にマスククリーナを移動させて第１のクリーニング領域及び第２のクリーニング領域のクリーニングを行うようにしているので、第１のクリーニング領域、第２のクリーニング領域及び非クリーニング領域が、スキージの移動方向に、第１のクリーニング領域、非クリーニング領域、第２のクリーニング領域の順で並んでいる場合において、非クリーニング領域内にペーストを侵入させてしまうことがなく、印刷不良の発生を防止することができる。

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の斜視図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の側面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに保持されたマスクの平面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を示すフローチャート （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順の説明図 （ａ）〜（ｅ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機におけるマスククリーニングの実行手順を示す図 （ａ）〜（ｅ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機におけるマスククリーニングの実行手順を示す図

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、基板２上に設けられた多数の電極３のそれぞれに半田等のペーストＰｔをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を実行する装置であり、基台１０上に設けられた基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１２及び基板搬出コンベア１３、基板保持ユニット１２の上方に設けられたマスクホルダ１４、マスクホルダ１４によって水平姿勢に保持されたマスク１５、マスク１５の上方に設けられたスキージヘッド１６、マスク１５の下方に設けられたカメラユニット１７及びマスククリーナ１８並びに基台１０内に設けられて各部の作動制御を行う制御装置１９を備えている。

基板搬入コンベア１１はスクリーン印刷機１の外部から投入された基板２を搬入し（図１中に示す矢印Ｒ１）、基板保持ユニット１２に受け渡す。基板搬出コンベア１３は基板保持ユニット１２から受け取った基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図１中に示す矢印Ｒ２）。すなわち、基板２は基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１２、基板搬出コンベア１３の順で搬送され、この基板２の移動方向をＸ軸方向（オペレータＯＰから見た左右方向）とする。また、このＸ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向（オペレータＯＰから見た前後方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。

基板保持ユニット１２は、ＸＹＺロボットから成るユニット移動機構１２ＡによってＸＹ平面内での移動（回転も含む）及びＺ軸方向への移動が自在なユニットベース２１、ユニットベース２１に取り付けられて基板２のＸ軸方向への搬送及び所定の作業位置（図１に示す位置）への位置決めを行う一対のコンベア２２、ユニットベース２１に設けられた下受け部昇降シリンダ２３、下受け部昇降シリンダ２３によって昇降され、コンベア２２によって作業位置に位置決めされた基板２の両端がコンベア２２から上方に離間するように基板２を下方から持ち上げ支持する下受け部２４及びＹ軸方向に開閉自在に設けられ、下受け部２４により持ち上げ支持された基板２の両側部をＹ軸方向から挟んで（クランプして）保持する一対のクランプ部材２５を備えている。

図３において、マスク１５は基板２上の電極３の配置に対応して設けられた多数のパターン孔１５ｈを有した矩形の金属板から成るマスク本体１５ａ、マスク本体１５ａの周囲に設けられた樹脂（例えばポリエステル）製のメッシュ状の膜部材１５ｂ及び膜部材１５ｂの外周部を支持する矩形枠状のマスク枠１５ｗから成る。

図３において、マスクホルダ１４は、基台１０の上方をＹ軸方向に延びた断面Ｌ字状の左右一対のレール部材１４ａから成り、マスク１５はこれら左右一対のレール部材１４ａによってＸ軸方向に対向する左右両辺が下方から支持される。

図１及び図２において、スキージヘッド１６は、マスクホルダ１４に保持されたマスク１５の上方領域をＹ軸方向に移動自在に設けられたプレート状のベース部材４１、ベース部材４１に取り付けられてピストンロッド４２ａをベース部材４１の下方に突出させた２つのスキージ昇降シリンダ４２、各スキージ昇降シリンダ４２のピストンロッド４２ａの下端に取り付けられてＸ軸方向に延びたスキージ保持具４３及び各スキージ保持具４３に上端部が保持されて斜め下方に延びた薄板部材から成る２つのスキージ４４を備えている。

図１及び図２において、カメラユニット１７は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１７ａと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１７ｂを備えて成る。カメラユニット１７は、図示しないアクチュエータ等から成るカメラユニット移動機構１７Ａによってマスク１５の下方領域を水平面内方向に移動される。

図１及び図２において、マスククリーナ１８は全体としてＸ軸方向に延びており、マスク１５と平行な水平面内の一の方向（Ｙ軸方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在に設けられた平面視断面が矩形状の筒状部材から成るノズル部３１の上端部にペーパー部材３２が掛け渡されて成る。ペーパー部材３２のノズル部３１の上端部に掛け渡された部分はマスク１５（マスク本体１５ａ）の下面と接触してマスク１５の下面に付着したペーストＰｔの残り滓を拭き取るクリーニング面１８ａとなっている。

マスククリーナ１８は、ノズル部３１の上端部によってペーパー部材３２をマスク１５の下面に押し付けた状態でＹ軸方向に移動することにより、マスク１５の下面に付着したペーストＰｔを拭き取る。ペーパー部材３２のクリーニング面１８ａは、一対のローラ部材３３によってペーパー部材３２を巻き取ることで更新することができる。

図２において、ノズル部３１内には図示しない空気吸引管路が設けられており、ペーパー部材３２のクリーニング面１８ａを介して空気吸引管路内に空気を吸引することによりペーパー部材３２によるペーストＰｔの拭き取りを効率よく行うことができる。

基板保持ユニット１２のコンベア２２による基板２の搬送及び作業位置への位置決め動作、作業位置に位置した基板２に対する下受け部２４による下受け動作及び一対のクランプ部材２５によるクランプ動作は、制御装置１９が下受け部昇降シリンダ２３を含むアクチュエータ等から成る基板保持機構１２Ｂ（図２）の作動制御を行うことによってなされ、基板２を保持した基板保持ユニット１２の水平面内方向及び上下方向の移動動作は制御装置１９が前述のユニット移動機構１２Ａの作動制御を行うことによってなされる。また、基板搬入コンベア１１による基板２の搬入動作及び基板搬出コンベア１３による基板２の搬出動作も制御装置１９によってなされる。

図２において、スキージヘッド１６（ベース部材４１）のＹ軸方向への往復移動動作は制御装置１９が図示しないアクチュエータ等から成るスキージヘッド移動機構１６Ｍ（図２）の作動制御を行うことによってなされ、各スキージ４４のベース部材４１に対する昇降動作は、制御装置１９がそのスキージ４４に対応するスキージ昇降シリンダ４２の作動制御を行ってスキージ保持具４３を上下させることによってなされる。

図２において、カメラユニット１７の水平面内での移動動作は、制御装置１９がカメラユニット移動機構１７Ａの作動制御を行うことによってなされる。下方撮像カメラ１７ａによる撮像動作の制御と上方撮像カメラ１７ｂによる撮像動作の制御はそれぞれ制御装置１９によってなされ、下方撮像カメラ１７ａの撮像動作によって得られた画像データと上方撮像カメラ１７ｂの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置１９に送信されて制御装置１９の画像認識部１９ａにおいて画像認識処理される。

マスククリーナ１８の水平面内での移動と昇降移動は、制御装置１９が図示しないアクチュエータ等から成るクリーナ移動機構１８Ａの作動制御を行うことによってなされる。また、マスククリーナ１８が備えるペーパー部材３２の巻き取り動作とペーパー部材３２を介したペーストＰｔの吸引動作は、制御装置１９のクリーニング実行部１９ｂ（図２）が図示しないアクチュエータ等から成るクリーナ作動機構１８Ｂ（図２）の作動制御を行うことによってなされる。

このような構成のスクリーン印刷機１がスクリーン印刷作業を行う場合には、制御装置１９は先ず、上流工程側の他の装置から基板２が送られてきたことを検知したところで基板搬入コンベア１１と基板保持ユニット１２のコンベア２２を作動させ、スクリーン印刷機１内に基板２を搬入したうえで（図４に示すステップＳＴ１。図５（ａ））、基板保持機構１２Ｂの作動制御を行って基板２を保持する（図４に示すステップＳＴ２。図５（ｂ））。基板２の保持は、具体的には、下受け部昇降シリンダ２３で下受け部２４を押し上げて基板２をコンベア２２から浮いた状態に持ち上げる一方（図５（ｂ）中に示す矢印Ａ１）、一対のクランプ部材２５を閉じる方向に駆動して基板２の両端を挟み込む（図５（ｂ）中に示す矢印Ｂ１）ことによって行う。

制御装置１９は基板２を保持したら、カメラユニット移動機構１７Ａの作動制御を行い、下方撮像カメラ１７ａを基板２に設けられた基板側マーク２ｍ（図１）の直上に位置させて下方撮像カメラ１７ａに基板側マーク２ｍの撮像を行わせる一方、上方撮像カメラ１７ｂをマスク１５に設けられたマスク側マーク１５ｍ（図１及び図３）の直下に位置させて上方撮像カメラ１７ｂにマスク側マーク１５ｍの撮像を行わせる。そして、得られた基板側マーク２ｍの画像データから基板２の位置を把握するとともに、得られたマスク側マーク１５ｍの画像データからマスク１５の位置を把握し、基板保持ユニット１２を水平面内方向に移動させ、基板側マーク２ｍとマスク側マーク１５ｍとが上下に対向するようにして、マスク１５に対する基板２の水平面内方向の位置合わせを行う（図４に示すステップＳＴ３）。

制御装置１９は、マスク１５に対する基板２の位置合わせが終わったら、ユニット移動機構１２Ａの作動制御を行って基板保持ユニット１２を基台１０に対して上昇させ（図６（ａ）中に示す矢印Ｃ１）、基板２を保持した一対のクランプ部材２５がマスク１５の下面に相対的に下方から押し当てられるようにすることにより、一対のクランプ部材２５及び基板２それぞれの上面をマスク１５の下面に接触させる（図４に示すステップＳＴ４。図６（ａ））。これにより基板２上の電極３とマスク１５のパターン孔１５ｈとが合致した状態となる。

制御装置１９は基板２をマスク１５に接触させたら、制御装置１９に繋がるディスプレイ装置ＤＰ（図２）に、オペレータＯＰにペーストＰｔの供給を促すメッセージを表示する（図４に示すステップＳＴ５）。この表示に対してオペレータＯＰは、現時点でマスク１５上に残っているペーストＰｔを目視し、そのペーストＰｔの量に基づいてペーストＰｔの供給（補充）を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストＰｔの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ（図示せず）により、マスク１５上にペーストＰｔの供給を行う。そしてオペレータＯＰは、ペーストＰｔの供給が終わり、或いはペーストＰｔの供給が不要と判断したときには、制御装置１９に繋がる動作再開ボタンＢＴ（図２）の操作を行う。

制御装置１９は、ディスプレイ装置ＤＰにペーストＰｔの供給を促すメッセージを表示した後、動作再開ボタンＢＴの操作がなされたか否かの判断を一定時間おきに行い（図４に示すステップＳＴ６）、動作再開ボタンＢＴからの信号出力に基づいて、オペレータＯＰによって動作再開ボタンＢＴの操作がなされたことを検知したときには、スキージ４４によるスキージングを行ってマスク１５上のペーストＰｔを基板２に転写させる（図４に示すステップＳＴ７）。

このスキージングは、具体的には、スキージヘッド１６から２つのスキージ４４のうちの一方を下降させ、マスク１５の上面に当接させた状態を維持したままベース部材４１をＹ軸方向に移動させることによって行う（図６（ｂ）中に示す矢印Ｄ）。これによりマスク１５上でスキージ４４が摺動し、マスク１５上のペーストＰｔはスキージ４４によって掻き寄せられてマスク１５のパターン孔１５ｈ内に押し込まれ、基板２の電極３上に転写される。なお、制御装置１９は、スキージヘッド１６を前方から後方に移動させてスキージングを行うときには後側のスキージ４４をマスク１５上に当接させ、スキージヘッド１６を後方から前方に移動させてスキージングを行うときには前側のスキージ４４をマスク１５上に当接させるようにする。

制御装置１９は、スキージングを行って基板２にペーストＰｔを転写させたら、ユニット移動機構１２Ａを作動させて基板保持ユニット１２を下降させ（図７（ａ）中に示す矢印Ｃ２）、マスク１５から基板２及び一対のクランプ部材２５を離間させて版離れを行う（図４に示すステップＳＴ８。図７（ａ））。これにより基板２の電極３上にペーストＰｔが残留し、基板２にペーストＰｔが印刷される。

制御装置１９は版離れが終わったら、基板保持ユニット１２による基板２の保持を解除する（図４に示すステップＳＴ９。図７（ｂ））。この基板２の保持の解除は、具体的には、制御装置１９が基板保持機構１２Ｂを作動させて一対のクランプ部材２５を開かせたうえで（図７（ｂ）中に示す矢印Ｂ２）、下受け部２４を下降させ（図７（ｂ）中に示す矢印Ａ２）、基板２の両端を一対のコンベア２２上に降ろすことによって行う。

制御装置１９は基板２の保持を解除したら、ユニット移動機構１２Ａを作動させて基板保持ユニット１２を水平面内で移動させ、コンベア２２の向きを整えたうえでコンベア２２及び基板搬出コンベア１３を作動させ、基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図４に示すステップＳＴ１０）。

制御装置１９は基板２を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う（図４に示すステップＳＴ１１）。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があった場合にはステップＳＴ１に戻って新たな基板２の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板２がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。

スクリーン印刷機１は上記手順によって基板２の１枚当たりのスクリーン印刷作業を行うが、このようなスクリーン印刷作業を数枚〜十数枚（或いは数十枚）の基板２に対して行うと、マスク１５の下面に付着したペーストＰｔ（ペーストＰｔの残り滓）によって印刷状態が不良になってくるおそれがある。このため本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、定期的にマスククリーナ１８を用いたマスク１５のクリーニング作業を実行するようになっており、図８及び図９の説明図を用いて以下にその説明を行う。

制御装置１９は、マスククリーナ１８を用いたマスク１５（マスク本体１５ａ）のクリーニングを行うときには、先ず、オペレータＯＰからの事前入力等によって記憶部１９ｃ（図２）に記憶されたマスク１５ごとのクリーニング関連情報を入手し、領域設定部１９ｄ（図２）において、マスク１５の下面のクリーニングを行う領域（クリーニング領域Ｓ１。図３も参照）とクリーニングを行わない領域（非クリーニング領域Ｓ２。図３も参照）の設定を行う（領域設定工程）。

これらクリーニング領域Ｓ１と非クリーニング領域Ｓ２は、図３に示すように、スキージヘッド１６の移動方向であるＹ軸方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に延びた帯状の領域として設定する。ここでは、Ｙ軸方向にひとつ目のクリーニング領域Ｓ１である第１のクリーニング領域Ｓ１１、非クリーニング領域Ｓ２、ふたつ目のクリーニング領域Ｓ１である第２のクリーニング領域Ｓ１２がマスク１５の後方側からこの順で並んだものとなっている。

なお、非クリーニング領域Ｓ２は、例えば、基板２上の電極３に対応するパターン孔１５ｈが形成されておらず、もともとペーストＰｔが印刷されることがない領域のうち、その領域をクリーニングした場合にはマスククリーナ１８のクリーニング面１８ａに付着したペーストＰｔが擦り付けられて却って不都合が生じる領域（例えば金パッドが分散配置されているような領域）に設定される。

制御装置１９のクリーニング実行部１９ｂは、領域設定部１９ｄにおいて、マスク１５の下面のクリーニングを行う領域とクリーニングを行わない領域が設定されたら、クリーナ移動機構１８Ａとクリーナ作動機構１８Ｂの作動制御を行って、以下に示すクリーニング実行工程を行う。

クリーニング実行工程では、制御装置１９のクリーニング実行部１９ｂは、マスククリーナ１８を領域設定部１９ｄで（領域設定工程で）設定された第１のクリーニング領域Ｓ１１の前後（Ｙ軸方向）の両端部のうち、非クリーニング領域Ｓ２側の端部である前方側端部の直下に位置させ（図８（ａ）中に示す矢印Ｗ１）、そこからマスククリーナ１８を上昇させて（図８（ａ）中に示す矢印Ｗ２）、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａをマスク１５の下面に接触させる（図８（ａ））。なお、このマスククリーナ１８の上昇時にマスククリーナ１８のクリーニング面１８ａが非クリーニング領域Ｓ２にかかることがないように、マスククリーナ１８を上昇させる前の位置（矢印Ｗ１の終端の位置）が、制御装置１９のクリーニング実行部１９ｂによって調整される。

制御装置１９のクリーニング実行部１９ｂは、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａをマスク１５の下面に接触させたら、クリーナ移動機構１８Ａの作動制御を行って、マスククリーナ１８を非クリーニング領域Ｓ２から遠ざかる方向に（マスク１５の内側からマスク１５の外側に）移動させ、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａ（ペーパー部材３２）によりマスク１５の下面に付着しているペーストＰｔの残り滓を拭き取って（図８（ｂ）中に示す矢印Ｗ３）、第１のクリーニング領域Ｓ１１のクリーニングを行う。そして、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａが第１のクリーニング領域Ｓ１１の端部（非クリーニング領域Ｓ２とは反対側の端部であり、後方側の端部）に達したところで第１のクリーニング領域Ｓ１１のクリーニングが終了する（図８（ｂ））。

ここで、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａによりマスク１５の下面に付着しているペーストＰｔの残り滓を拭き取るときは、制御装置１９のクリーニング実行部１９ｂは、ノズル部３１内の空気吸引管路を介した空気の吸引動作を行うようにする（その後のクリーニング動作においても同じ）。

制御装置１９のクリーニング実行部１９ｂは、第１のクリーニング領域Ｓ１１のクリーニングが終了したら、マスククリーナ１８を下降させてクリーニング面１８ａをマスク１５の下面から離間させたうえで（図８（ｃ）中に示す矢印Ｗ４）、マスククリーナ１８を第２のクリーニング領域Ｓ１２の前後の両端部のうち、非クリーニング領域Ｓ２側の端部である後方側端部の直下に位置させる（図８（ｃ）中に示す矢印Ｗ５）。そして、そこからマスククリーナ１８を上昇させて（図８（ｃ）中に示す矢印Ｗ６）、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａをマスク１５の下面に接触させる（図８（ｃ））。なお、このマスククリーナ１８の上昇時にマスククリーナ１８のクリーニング面１８ａが非クリーニング領域Ｓ２にかかることがないように、マスククリーナ１８を上昇させる前の位置（矢印Ｗ５の終端の位置）が、制御装置１９のクリーニング実行部１９ｂによって調整される。

制御装置１９のクリーニング実行部１９ｂは、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａをマスク１５の下面に接触させたら、マスククリーナ１８を非クリーニング領域Ｓ２から遠ざかる方向に（マスク１５の内側からマスク１５の外側に）移動させ、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａ（ペーパー部材３２）によりマスク１５の下面に付着しているペーストＰｔの残り滓を拭き取って（図８（ｄ）中に示す矢印Ｗ７）、第２のクリーニング領域Ｓ１２のクリーニングを行う。そして、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａが第２のクリーニング領域Ｓ１２の端部（非クリーニング領域Ｓ２とは反対側の端部であり、前方側の端部）に達したところで第２のクリーニング領域Ｓ１２のクリーニングが終了し（図８（ｄ））、マスククリーナ１８をマスク１５から離間させて（図８（ｅ）中に示す矢印Ｗ８）、マスク１５の１枚当たりのクリーニング実行工程が終了する（図８（ｅ））。

このようにしてマスク１５の１枚当たりのクリーニング実行工程が終了した後、次にマスククリーニングを実行すべき時期がきたときには、前述の要領とは前後対称のルートでマスククリーナ１８を移動させ、第２のクリーニング領域Ｓ１２、第１のクリーニング領域Ｓ１１の順でマスククリーニングを実行する（図９（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｄ），（ｅ）及びこれらの図中に示す矢印Ｗ１１〜Ｗ１８参照）

なお、このようなマスククリーニングにおいて、制御装置１９のクリーニング実行部１９ｂは、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａにくっついたペーストＰｔが多くなってきた頃に、一対のローラ部材３３を作動させてペーパー部材３２の巻き取りを行い、クリーニング面１８ａの更新を行う。

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板２の上面に接触されるマスク１５、基板２の上面に接触されたマスク１５上を摺動してマスク１５上に供給されたペーストＰｔを基板２に転写させるスキージ４４、クリーニング面１８ａをマスク１５の下面に接触させた状態でマスク１５に対して相対移動することによりマスク１５の下面に付着したペーストＰｔをクリーニングするマスククリーナ１８、マスク１５の下面のクリーニングを行うクリーニング領域Ｓ１とクリーニングを行わない非クリーニング領域Ｓ２を設定する領域設定手段（制御装置１９の領域設定部１９ｄ）及び領域設定手段により非クリーニング領域Ｓ２が設定された場合に、非クリーニング領域Ｓ２から遠ざかる方向にマスククリーナ１８を移動させてクリーニング領域Ｓ１のクリーニングを行うクリーニング実行手段（制御装置１９のクリーニング実行部１９ｂ）を備えたものとなっている。

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１におけるマスククリーニング方法は、マスク１５の下面のクリーニングを行うクリーニング領域Ｓ１とクリーニングを行わない非クリーニング領域Ｓ２を設定する領域設定工程と、領域設定工程において非クリーニング領域Ｓ２が設定された場合に、非クリーニング領域Ｓ２から遠ざかる方向にマスククリーナ１８を移動させてクリーニング領域Ｓ１のクリーニングを行うクリーニング実行工程を含むものとなっている。

本実施の形態におけるスクリーン印刷機１及びスクリーン印刷機１におけるマスククリーニング方法では、マスク１５の下面のクリーニングを行わない領域として非クリーニング領域Ｓ２が設定された場合に、非クリーニング領域Ｓ２から遠ざかる方向にマスククリーナ１８を移動させてクリーニング領域Ｓ１のクリーニングを行うようにしているので、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａから非クリーニング領域Ｓ２内にペーストＰｔを侵入させてしまうことがなく、印刷不良の発生を防止することができる。

なお、上述の例では、１つの非クリーニング領域Ｓ２が２つのクリーニング領域Ｓ１（第１のクリーニング領域Ｓ１１及び第２のクリーニング領域Ｓ１２）の間に位置するようになっていたが、非クリーニング領域Ｓ２はスキージヘッド１６の移動方向であるＹ軸方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に延びた帯状の領域として設定されるのであれば、その位置及び数は任意である。２つの非クリーニング領域Ｓ２の間に位置するひとつのクリーニング領域Ｓ１をクリーニングする場合には、クリーニング領域Ｓ１それぞれの両端から、クリーニング領域Ｓ１の中央へ向かって（すなわち、非クリーニング領域Ｓ２から遠ざかる方向にマスククリーナ１８を移動させて）クリーニングを行えば、２つの非クリーニング領域Ｓ２のいずれにもマスククリーナ１８に付着したペーストＰｔを侵入させることなく、クリーニング領域Ｓ１のクリーニングを行うことができる。

マスクの下面のクリーニングを行わない領域として設定した非クリーニング領域にマスククリーナ側のペーストを侵入させてしまうことのないスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法及びスクリーン印刷機を提供する。

１ スクリーン印刷機
２ 基板
３ 電極
１５ マスク
１５ｈ パターン孔
１８ マスククリーナ
１８ａ クリーニング面
１９ｂ クリーニング実行部（クリーニング実行手段）
１９ｄ 領域設定部（領域設定手段）
４４ スキージ
Ｐｔ ペースト
Ｓ１ クリーニング領域
Ｓ２ 非クリーニング領域

Claims (4)

1. 基板の上面に接触されるマスクと、前記基板の上面に接触された前記マスク上を摺動して前記マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージと、クリーニング面を前記マスクの下面に接触させた状態で前記マスクに対して相対移動することにより前記マスクの下面に付着したペーストをクリーニングするマスククリーナとを備えたスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法であって、
   前記マスクの下面のクリーニングを行う第１のクリーニング領域及び第２のクリーニング領域とクリーニングを行わない非クリーニング領域を設定する領域設定工程と、
   前記領域設定工程において設定した前記非クリーニング領域から遠ざかる方向に前記マスククリーナを移動させて前記第１のクリーニング領域及び前記第２のクリーニング領域のクリーニングを行うクリーニング実行工程とを含み、
   前記第１のクリーニング領域、前記第２のクリーニング領域及び前記非クリーニング領域は、前記スキージの移動方向に、前記第１のクリーニング領域、前記非クリーニング領域、前記第２のクリーニング領域の順で並んでいることを特徴とするスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法。
2. 前記非クリーニング領域は、前記基板上の電極に対応するパターン孔が形成されていない領域に設定されることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法。
3. 基板の上面に接触されるマスクと、
   前記基板の上面に接触された前記マスク上を摺動して前記マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージと、
   クリーニング面を前記マスクの下面に接触させた状態で前記マスクに対して相対移動することにより前記マスクの下面に付着したペーストをクリーニングするマスククリーナと、
   前記マスクの下面のクリーニングを行う第１のクリーニング領域及び第２のクリーニング領域とクリーニングを行わない非クリーニング領域を設定する領域設定手段と、
   前記領域設定手段により設定した前記非クリーニング領域から遠ざかる方向に前記マスククリーナを移動させて前記第１のクリーニング領域及び前記第２のクリーニング領域のクリーニングを行うクリーニング実行手段とを備え、
   前記第１のクリーニング領域、前記第２のクリーニング領域及び前記非クリーニング領域は、前記スキージの移動方向に、前記第１のクリーニング領域、前記非クリーニング領域、前記第２のクリーニング領域の順で並んでいることを特徴とするスクリーン印刷機。
4. 前記非クリーニング領域は、前記基板上の電極に対応するパターン孔が形成されていない領域に設定されることを特徴とする請求項３に記載のスクリーン印刷機。

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