JP5829494B2 - マスク印刷方法および装置 - Google Patents
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Description
また、特許文献2に記載のマスク印刷装置においては、回路基板の既知の寸法および清掃装置のマスクに沿った移動方向において回路基板の上流側端と下流側端とに設定された既知の余裕寸法に基づいて、清掃装置のクリーニング開始位置とクリーニング終了位置とが自動的に演算され、マスクの回路基板が接触させられる部分が清掃されるようにされている。
さらに、特許文献3に記載のマスク印刷装置は1対のマスク支持部材を備え、回路基板へのクリーム状はんだの印刷時および回路基板のマスクからの離間時に、マスクの回路基板の両側端部から外れた2部分を下方から支持させるようにされている。マスク清掃時には、1対のマスク支持部材は、マスクとの間に清掃装置の進入を許容する位置へ下降させられ、清掃装置によりマスクが下方から清掃される。
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであり、マスクを1対のマスク支持部材によって下方から支持した状態で印刷剤の印刷を行い、あるいは印刷後にマスクを1対のマスク支持部材によって下方から支持した状態でマスクと回路基板との離間を行う方法および装置におけるマスク清掃の改善を課題とする。
本発明に係る別のマスク印刷方法によれば、拭取シートのマスクの下面に押し付けられた部分が、マスクの下面に平行な方向に移動させられつつ、離間させられることにより、離間までに拭き取った印刷剤を拭いつつマスクから離間させられる。この拭上げは、マスクの回路基板が接触させられていた部分と、その部分の端と、マスクと低弾性係数シートとの境界との間の部分において行われ、この拭上げ実行部分にはマスクのマスク支持部材に接触させられた部分が含まれるが、その部分に付着して残る印刷剤を低減させつつ、拭取シートをマスクから離間させることができ、拭取シートのマスクの下面に押し付けられた部分の移動を停止させた後、直角に離間させる場合に比較して、マスク支持部材への印刷剤の付着が低減される。拭上げによれば、拭取シートのマスクの下面に平行な方向の移動と、マスクからの離間とを制御することにより、拭取シートのマスクの下面に押し付けられた部分の移動距離を短くしつつ、汚れを拭き取ることができる。また、低弾性係数シートについては拭取りは行われず、低弾性係数シートの損傷が回避される。
本発明に係るマスク印刷装置によれば、拭取シートのマスクに押し付けられた部分に、マスクのマスク支持部材により支持される部分全体を拭き取らせることができる。
本発明に係る別のマスク印刷装置によれば、拭取シートのマスクに押し付けられた部分に、マスクの下面の拭上げを行わせることができる。
その印刷工程の実施後に、前記回路基板の両側端部から外れた支持位置に位置させた一対のマスク支持部材に前記マスクの下面を支持させた状態で、そのマスクと前記回路基板とを互いに離間させ、その後に前記一対のマスク支持部材を前記支持位置から退避させる離間工程と、
その離間工程の実施により互いに離間させられた回路基板とマスクとの間に、(a)長尺の拭取シートを繰り出す繰出し部と、(b)その拭取シートを繰り込む繰込み部と、(c)それら繰出し部と繰込み部との間に延びる前記拭取シートを前記マスクの下面に押し付ける押付面を有する押付部材とを備えた清掃装置を進入させ、その清掃装置を前記マスクの下面に沿って移動させることにより前記拭取シートに前記マスクの下面を拭き取らせる清掃工程と
を含み、その清掃工程において、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、そのマスクの、前記支持位置に位置させられたマスク支持部材に接触させられた部分から、前記回路基板とは反対側へ出外れた位置まで移動させた後に、前記マスクの下面から離間させることを特徴とするマスク印刷方法。
本項に記載のマスク印刷方法によれば、マスクの清掃について(3)項に記載のマスク印刷方法と同様の作用,効果が得られる。また、マスクと回路基板とが互いに離間させられる際に1対のマスク支持部材によりマスクが支持されるため、離れ易く、離間が良好に行われる。
マスクは、(4)項に記載のマスクと同様に、低弾性係数シートを介してマスク枠に張られたものでもよく、低弾性係数シートを介することなくマスク枠に張られたものでもよい。(2)項および(3)項に記載のマスク印刷方法および(21)項に記載のマスク印刷装置においても同様である。
マスク支持部材は、マスクの下面との間に隙間を有し、マスクを支持するときにのみ、マスクの下面に接触する状態で支持位置に位置させられてもよく、常時、マスクの下面に接触する状態で支持位置に位置させられてもよい。また、マスク支持部材は、マスクとマスク支持部材とのマスクに直角な方向における相対移動により、マスクとマスク支持部材とが互いに離間させられて支持位置から退避させられるようにしてもよく、マスクとマスク支持部材とのマスクの下面に平行な方向の相対移動により、支持位置から退避させられるようにしてもよい。さらに、回路基板はマスクの下面に接触または近接させてもよい。近接とは、常にはマスクとの間に隙間があるが、貫通穴を通して印刷剤が回路基板に印刷される際にはマスクが回路基板に接触した状態となることである。これらは、(2)項〜(6)項に記載のマスク印刷方法および(21)項, (22)項に記載のマスク印刷装置においても同様である。
拭取シートのマスクの下面からの離間は、マスクに平行な方向においては拭取シートを移動させず、マスクに対して直角に下降するように行われてもよく、拭取シートをマスクに沿って移動させつつ下降させ、マスクに対して斜めに離間するように行われてもよい。直角離間の場合、マスクに平行な方向において離間のためのスペースを要さず、迅速に離間させることができ、斜め離間の場合、拭取シートによりマスクの下面を拭いつつ離間させることができ、マスクに残る印刷剤を低減させることができる。
(2)複数の貫通穴を形成したマスクの下方にそのマスクに平行に回路基板を配置するとともに、その回路基板の両側端部から外れた支持位置に一対のマスク支持部材を配置し、前記マスクの上面に印刷剤を載せ、その印刷剤を、そのマスクの上面に沿って移動するスキージにより、前記貫通穴を通して前記回路基板に印刷する印刷工程と、
その印刷工程の実施後に、前記マスクと前記回路基板とを互いに離間させるとともに、前記一対のマスク支持部材を前記支持位置から退避させる離間工程と、
その離間工程の実施により互いに離間させられた回路基板とマスクとの間に、(a)長尺の拭取シートを繰り出す繰出し部と、(b)その拭取シートを繰り込む繰込み部と、(c)それら繰出し部と繰込み部との間に延びる前記拭取シートを前記マスクの下面に押し付ける押付面を有する押付部材とを備えた清掃装置を進入させ、その清掃装置を前記マスクの下面に沿って移動させることにより前記拭取シートに前記マスクの下面を拭き取らせる清掃工程と
を含み、その清掃工程において、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、そのマスクの、前記支持位置に位置させられたマスク支持部材に接触させられた部分から、前記回路基板とは反対側へ出外れた位置まで移動させた後に、前記マスクの下面から離間させることを特徴とするマスク印刷方法。
一対のマスク支持部材は、常にはマスクの下面との間に隙間を有し、印刷時にマスクを支持する際にマスクの下面に接触して支持する状態で配置されてもよく、常時、マスクの下面に接触する状態で配置されてもよい。
本項に記載のマスク印刷方法によれば、マスクの清掃について(3)項に記載のマスク印刷方法と同様の作用,効果が得られる。また、回路基板に印刷が行われる際に1対のマスク支持部材によりマスクが支持され、印刷が良好に行われる。(5)項に記載のマスク印刷方法についても同様である。
(3)複数の貫通穴が形成されたマスクを保持するマスク保持装置と、
回路基板を、前記マスク保持装置に保持されたマスクの下方に、そのマスクに平行に保持する基板保持装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクに沿って移動し、そのマスクの上面に載せられた印刷剤を前記複数の貫通穴を通して、前記基板保持装置に保持された回路基板に印刷するスキージ装置と、
前記マスク保持装置と前記基板保持装置とを相対的に昇降させることにより、マスク保持装置に保持されたマスクと基板保持装置に保持された回路基板とを互いに接近・離間させる接近・離間装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクの、前記基板保持装置に保持された回路基板の両側端部から外れた2部分に接触または近接する支持位置に位置させられ、前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との少なくとも一方において、マスクの下面を支持する一対のマスク支持部材と、
(a)長尺の拭取シートを繰り出す繰出し部と、(b)その拭取シートを繰り込む繰込み部と、(c)それら繰出し部と繰込み部との間に延びる前記拭取シートを前記マスクの下面に押し付ける押付面を有する押付部材とを備え、前記接近・離間装置により互いに離間させられたマスクと回路基板との間に進入し、マスクの下面に沿って移動しつつ前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けた前記拭取シートによりマスクの下面を拭き取る清掃装置と、
前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との前記少なくとも一方において前記一対のマスク支持部材を前記支持位置に位置させ、それら一対のマスク支持部材を前記清掃装置による清掃時に前記支持位置から退避させるマスク支持部材移動装置と
を含むマスク印刷装置により回路基板に印刷剤を印刷する方法であって、
前記スキージ装置による印刷剤の印刷後に、前記接近・離間装置によりマスクと回路基板とを互いに離間させるとともに、前記マスク支持部材移動装置により前記一対のマスク支持部材を前記支持位置から退避させた状態で前記清掃装置に清掃を行わせ、その清掃に際して、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、そのマスクの、前記支持位置に位置させられたマスク支持部材に接触させられた部分から、前記回路基板とは反対側へ出外れた位置まで移動させた後に、前記マスクの下面から離間させることを特徴とするマスク印刷方法。
ここにおいて一対のマスク支持部材のマスクに接触する支持位置とは、一対のマスク支持部材が印刷時にマスクを支持するのであれば、最初から、すなわち印刷開始前からマスクに接触する位置であり、一対のマスク支持部材がマスクと回路基板との離間時にマスクを支持するのであれば、最初から、すなわち離間開始前からマスクに接触する位置である。また、一対のマスク支持部材のマスクに近接する支持位置とは、常にはマスクとの間に隙間があるが、一対のマスク支持部材が印刷時にマスクを支持するのであれば、貫通穴に印刷剤が押し込まれる際にマスクに接触して支持する状態となる位置であり、マスクと回路基板との離間時にマスクを支持するのであれば、回路基板がマスクから離れる際にマスクに接触して支持する状態となる位置である。マスク支持部材として、後述するマスク吸着支持部材が使用される場合、一対のマスク支持部材のマスクに近接する支持位置は、吸着によりマスク支持部材がマスクに接触する状態となる位置である。
本項に記載のマスク印刷方法によれば、回路基板への印刷剤の印刷時と、マスクと回路基板との離間時との少なくとも一方において1対のマスク支持部材によりマスクが支持され、印刷と離間との少なくとも一方が良好に行われる。(6)項に記載のマスク印刷方法についても同様である。
(4)金属製シートに複数の貫通穴が形成されたマスクが、前記金属製シートより弾性係数の小さい低弾性係数シートを介してマスク枠に張られたマスク体を用い、前記マスクの上面に印刷剤を載せ、その印刷剤をマスクの上面に沿って移動するスキージにより、前記貫通穴を通してそのマスクの下に配置した回路基板に印刷する印刷工程と、
その印刷工程の実施後に、前記回路基板の両側端部から外れた支持位置に位置させた一対のマスク支持部材に前記マスクの下面を支持させた状態で、そのマスクと前記回路基板とを互いに離間させ、その後に前記一対のマスク支持部材を前記支持位置から退避させる離間工程と、
それら互いに離間した回路基板とマスクとの間に、(a)長尺の拭取シートを繰り出す繰出し部と、(b)その拭取シートを繰り込む繰込み部と、(c)それら繰出し部と繰込み部との間に延びる前記拭取シートを前記マスクの下面に押し付ける押付面を有する押付部材とを備えた清掃装置を進入させ、その清掃装置を前記マスクの下面に沿って移動させることにより前記拭取シートに前記マスクの下面を拭き取らせる清掃工程と
を含み、その清掃工程において、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、そのマスクの、少なくとも、回路基板が接触させられた部分の端を前記マスク支持部材に接触させられた部分側へ過ぎた後、そのマスクと前記低弾性係数シートとの境界に至る前に、前記マスクの下面に平行な方向の移動を継続させつつそのマスクの下面から離間させる拭上げを行うことを特徴とするマスク印刷方法。
本項に記載のマスク印刷方法によれば、マスクの清掃について(6)項に記載のマスク印刷方法と同様の作用,効果が得られる。
(5)金属製シートに複数の貫通穴が形成されたマスクが、前記金属製シートより弾性係数の小さい低弾性係数シートを介してマスク枠に張られたマスク体を用い、マスクの下方にそのマスクに平行に回路基板を配置するとともに、その回路基板の両側端部から外れた支持位置に一対のマスク支持部材を配置し、前記マスクの上面に印刷剤を載せ、その印刷剤を、そのマスクの上面に沿って移動するスキージにより、前記貫通穴を通して前記回路基板に印刷する印刷工程と、
その印刷工程の実施後に、前記マスクと前記回路基板とを互いに離間させるとともに、前記一対のマスク支持部材を前記支持位置から退避させる離間工程と、
その離間工程の実施により互いに離間させられた回路基板とマスクとの間に、(a)長尺の拭取シートを繰り出す繰出し部と、(b)その拭取シートを繰り込む繰込み部と、(c)それら繰出し部と繰込み部との間に延びる前記拭取シートを前記マスクの下面に押し付ける押付面を有する押付部材とを備えた清掃装置を進入させ、その清掃装置を前記マスクの下面に沿って移動させることにより前記拭取シートに前記マスクの下面を拭き取らせる清掃工程と
を含み、その清掃工程において、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、そのマスクの、少なくとも、回路基板が接触させられた部分の端を前記マスク支持部材に接触させられた部分側へ過ぎた後、そのマスクと前記低弾性係数シートとの境界に至る前に、前記マスクの下面に平行な方向の移動を継続させつつそのマスクの下面から離間させる拭上げを行うことを特徴とするマスク印刷方法。
本項に記載のマスク印刷方法によれば、マスクの清掃について(6)項に記載のマスク印刷方法と同様の作用,効果が得られる。
(6)金属製シートに複数の貫通穴が形成されたマスクが、前記金属製シートより弾性係数の小さい低弾性係数シートを介してマスク枠に張られたマスク体を保持するマスク保持装置と、
回路基板を、前記マスク保持装置に保持されたマスクの下方に、そのマスクに平行に保持する基板保持装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクに沿って移動し、そのマスクの上面に載せられた印刷剤を前記複数の貫通穴を通して、前記基板保持装置に保持された回路基板に印刷するスキージ装置と、
前記マスク保持装置と前記基板保持装置とを相対的に昇降させることにより、マスク保持装置に保持されたマスクと基板保持装置に保持された回路基板とを互いに接近・離間させる接近・離間装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクの、前記基板保持装置に保持された回路基板の両側端部から外れた2部分に接触または近接する支持位置に位置させられ、前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との少なくとも一方において、マスクの下面を支持する一対のマスク支持部材と、
(a)長尺の拭取シートを繰り出す繰出し部と、(b)その拭取シートを繰り込む繰込み部と、(c)それら繰出し部と繰込み部との間に延びる前記拭取シートを前記マスクの下面に押し付ける押付面を有する押付部材とを備え、前記接近・離間装置により互いに離間させられたマスクと回路基板との間に進入し、マスクの下面に沿って移動しつつ前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けた前記拭取シートによりマスクの下面を拭き取る清掃装置と、
前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との前記少なくとも一方において前記一対のマスク支持部材を前記支持位置に位置させ、それら一対のマスク支持部材を前記清掃装置による清掃時に前記支持位置から退避させるマスク支持部材移動装置と
を含むマスク印刷装置により回路基板に印刷剤を印刷する方法であって、
前記スキージ装置による印刷剤の印刷後に、前記接近・離間装置によりマスクと回路基板とを互いに離間させるとともに、前記マスク支持部材移動装置により前記一対のマスク支持部材を前記支持位置から退避させた状態で前記清掃装置に清掃を行わせ、その清掃に際して、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、そのマスクの、少なくとも、回路基板が接触させられた部分の端を前記マスク支持部材に接触させられた部分側へ過ぎた後、そのマスクと前記低弾性係数シートとの境界に至る前に、前記マスクの下面に平行な方向の移動を継続させつつそのマスクの下面から離間させる拭上げを行うことを特徴とするマスク印刷方法。
(7)前記清掃装置によるマスクの清掃時に、マスクの前記マスク支持部材に接触させられた部分の前記回路基板に近い側の端と、前記マスクと前記低弾性係数シートとの境界との間に、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、その押付状態に保ったままで、前記マスクの前記マスク支持部材に接触させられた部分から前記回路基板とは反対側へ出外れた位置まで移動させるに十分な距離がある場合はその位置まで移動させた後にマスクから離間させ、その距離がない場合に前記拭上げを行う(4)項ないし(6)項のいずれかに記載のマスク印刷方法。
本項に記載のマスク印刷方法によれば、マスクのマスク支持部材に接触させられた部分の回路基板に近い側の端と、マスクと低弾性係数シートとの境界との間の距離に応じて清掃態様を選択することができ、その距離が十分であれば、拭取シートは、マスクのマスク支持部材が接触させられた部分全体を拭き取って通り抜け、その部分に印刷剤が残らないように清掃を行うことができる。距離が十分ではなくても、拭上げにより、低弾性係数シートとの干渉を回避しつつ、マスクのマスク支持部材に接触させられた部分の拭取りが行われ、マスク支持部材への印刷剤の付着を低減させることができる。マスクのマスク支持部材に接触させられた部分から出外れた位置まで拭取シートを移動させて印刷剤を追い出すことはできないが、拭上げによる印刷剤の拭取りにより、マスク支持部材への印刷剤の付着を低減させることができる。
上記距離が十分で拭取シートのマスクの下面に押し付けられた部分が上記出外れた位置まで移動させられた状態でマスクから離間させられる場合、拭取シートは、マスクのマスク支持部材により支持される部分から出外れた位置まで移動させられるため、離間箇所に印刷剤が残ってもマスク支持部材に付いて汚すことがなく、拭取シートをマスクに対して直角に離間させてもよく、斜めに離間させてもよい。
(8)前記マスク支持部材として、上面に開口する吸引孔を有し、その吸引孔からの空気の吸引により、前記マスクを吸着して支持するマスク吸着支持部材を使用する(1)項ないし(7)項のいずれかに記載のマスク印刷方法。
印刷時にマスク支持部材がマスクを支持する場合、マスクの吸着によりマスクの回路基板に対するずれが防止されて印刷精度の低下が防止され、離間時にマスク支持部材がマスクを吸着して支持する場合、貫通穴からの印刷剤の抜け出しが容易になるようにすることができる。
拭取シートのマスクの下面に押し付けられた部分が、マスクのマスク支持部材に接触させられた部分から回路基板とは反対側へ出外れる位置まで移動させられた後にマスクの下面から離間させられる場合にも、マスクの下面の拭上げを行う場合にも、マスクのマスク支持部材に接触させられた部分が拭取シートによって拭かれるため、マスク吸着支持部材によるマスクの吸着支持時にマスクに付着した印刷剤が吸引孔内に吸い込まれ、目詰まりが発生することが低減される。
(9)前記マスクの、前記清掃工程の末期に前記拭取シートが離間させられた部分である離間部分を、前記拭取シートに再び拭かせることにより、その離間部分に残った印刷剤を除去する残印刷剤除去工程を含む(1)項ないし(8)項のいずれかに記載のマスク印刷方法。
残印刷剤の除去により、例えば、マスクの拭取シートの離間部分にマスク支持部材が接触させられることがあっても、マスク支持部材に残印刷剤が付着して汚れることが回避され、あるいは、マスクに残った印刷剤が固まってしまい、マスクの清掃が困難になることが回避される。また、残印刷剤の除去によりマスクの洗浄回数が低減され、マスク交換回数の低減による印刷能率の向上やマスクの寿命向上が図られ得る。
(10)前記残印刷剤除去工程を、前記清掃工程の設定回数実行毎に行う(9)項に記載のマスク印刷方法。
設定回数は1回でもよく、2回以上の複数回でもよい。残印刷剤除去を行えば、マスクをきれいにすることができる反面、清掃時間が長くなるが、設定回数を複数回にすれば、清掃時間の増加による印刷能率の低下を抑制しつつ、残印刷除去を行うことができる。
(11)前記残印刷剤除去工程を、(a)液体を浸み込ませた前記拭取シートに前記離間部分を拭かせる湿式拭取りと、それに続く、(b)液体を浸み込ませない前記拭取シートに前記離間部分を拭かせる乾式拭取りとの併用により行う(9)項または(10)項に記載のマスク印刷方法。
湿式拭取りによれば、マスクの下面に付着して固まった印刷剤を容易に拭き取ることができ、それに続く乾式拭取りにより、マスクの下面に付いた液体や拭き残された印刷剤が除去され、マスクがよりきれいにされる。
(12)前記印刷剤としてクリーム状はんだを印刷する(1)項ないし(11)項のいずれかに記載のマスク印刷方法。
印刷剤には、クリーム状はんだの他、例えば、導電性ペーストや絶縁体ペーストがある。
(21)複数の貫通穴が形成されたマスクを保持するマスク保持装置と、
回路基板を、前記マスク保持装置に保持されたマスクの下方に、そのマスクに平行に保持する基板保持装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクに沿って移動し、そのマスクの上面に載せられた印刷剤を前記複数の貫通穴を通して、前記基板保持装置に保持された回路基板に印刷するスキージ装置と、
前記マスク保持装置と前記基板保持装置とを相対的に昇降させることにより、マスク保持装置に保持されたマスクと基板保持装置に保持された回路基板とを互いに接近・離間させる接近・離間装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクの、前記基板保持装置に保持された回路基板の両側端部から外れた2部分に接触または近接する支持位置に位置させられ、前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との少なくとも一方において、マスクの下面を支持する一対のマスク支持部材と、
(a)長尺の拭取シートを繰り出す繰出し部と、(b)その拭取シートを繰り込む繰込み部と、(c)それら繰出し部と繰込み部との間に延びる前記拭取シートを前記マスクの下面に押し付ける押付面を有する押付部材とを備え、前記接近・離間装置により互いに離間させられたマスクと回路基板との間に進入し、マスクの下面に沿って移動しつつ前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けた前記拭取シートによりマスクの下面を拭き取る清掃装置と、
その清掃装置の押付部材に前記拭取シートによるマスクの下面拭取りのために必要な運動を付与する押付部材移動装置と、
その押付部材移動装置を制御することにより前記押付部材の移動を制御する清掃制御装置と、
前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との前記少なくとも一方において前記一対のマスク支持部材を前記支持位置に位置させ、前記清掃装置による清掃時に、それら一対のマスク支持部材を前記支持位置から退避させるマスク支持部材移動装置と
を含み、かつ、前記清掃制御装置が、
前記マスク保持装置に保持されたマスクと前記基板保持装置に保持された回路基板との大きさに関する情報を入力可能な入力装置と、
その入力装置に入力された前記情報に基づいて、前記拭取シートによる前記マスクの下面拭取りのために前記押付部材に付与すべき、その押付部材のマスクへの接近・離間とマスクに沿った移動とを含む運動を、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、そのマスクの前記支持位置に位置させられたマスク支持部材に接触させられた部分から、前記回路基板とは反対側へ出外れた位置までマスクに沿って移動させた後に、前記マスクの下面から離間させる運動に決定する運動決定部と
を含むことを特徴とするマスク印刷装置。
入力装置は、操作パネル,キーボード等、作業者により操作されてデータの入力が行われる装置でもよく、マスク印刷装置の制御装置内の記憶手段や外部記憶装置に記憶させられている情報の読込みを行う部分でもよい。
本項に記載のマスク印刷装置によれば、(3)項に記載の方法を好適に実施し得る。
(22)金属製シートに複数の貫通穴が形成されたマスクが、前記金属製シートより弾性係数の小さい低弾性係数シートを介してマスク枠に張られたマスク体を保持するマスク保持装置と、
回路基板を、前記マスク保持装置に保持されたマスクの下方に、そのマスクに平行に保持する基板保持装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクに沿って移動し、そのマスクの上面に載せられた印刷剤を前記複数の貫通穴を通して、前記基板保持装置に保持された回路基板に印刷するスキージ装置と、
前記マスク保持装置と前記基板保持装置とを相対的に昇降させることにより、マスク保持装置に保持されたマスクと基板保持装置に保持された回路基板とを互いに接近・離間させる接近・離間装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクの、前記基板保持装置に保持された回路基板の両側端部から外れた2部分に接触または近接する支持位置に位置させられ、前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との少なくとも一方において、マスクの下面を支持する1対のマスク支持部材と、
(a)長尺の拭取シートを繰り出す繰出し部と、(b)その拭取シートを繰り込む繰込み部と、(c)それら繰出し部と繰込み部との間に延びる前記拭取シートを前記マスクの下面に押し付ける押付面を有する押付部材とを備え、前記接近・離間装置により互いに離間させられたマスクと回路基板との間に進入し、マスクの下面に沿って移動しつつ前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けた前記拭取シートによりマスクの下面を拭き取る清掃装置と、
その清掃装置の前記押付部材に前記拭取シートによるマスクの下面拭取りのために必要な運動を付与する押付部材移動装置と、
その押付部材移動装置を制御することにより前記押付部材の移動を制御する清掃制御装置と、
前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との前記少なくとも一方において前記一対のマスク支持部材を前記支持位置に位置させ、前記清掃装置による清掃時に、それら一対のマスク支持部材を前記支持位置から退避させるマスク支持部材移動装置と
を含み、かつ、前記清掃制御装置が、
前記マスク保持装置に保持されたマスクおよび低弾性係数シートと前記基板保持装置に保持された回路基板との大きさに関する情報を入力可能な入力装置と、
その入力装置に入力された前記情報に基づいて、前記拭取シートによるマスクの下面拭取りのために前記押付部材に付与すべき、その押付部材のマスクへの接近・離間とマスクに沿った移動とを含む運動を、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、そのマスクの、少なくとも、回路基板が接触させられた部分の端を前記マスク支持部材に接触させられた部分側へ過ぎた後、そのマスクと前記低弾性係数シートとの境界に至る前に、前記マスクの下面に平行な方向の移動を継続させつつそのマスクの下面から離間させる拭上げを行う運動に決定する運動決定部と
を含むことを特徴とするマスク印刷装置。
本項に記載のマスク印刷装置によれば、(6)項に記載の方法を好適に実施し得る。
(23)前記運動決定部が、前記押付部材に付与すべき運動を、前記清掃装置による清掃の実行時に、マスクの前記マスク支持部材に接触させられた部分の前記回路基板に近い側の端と、マスクと低弾性係数シートとの境界との間に、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、その押付状態に保ったままで、前記マスクの前記マスク支持部材に接触させられた部分から前記回路基板とは反対側へ出外れた位置まで移動させるに十分な距離がある場合はその位置まで移動させた後にマスクから離間させる運動に決定し、その距離がない場合に前記拭上げを行う運動に決定する(22)項に記載のマスク印刷装置。
本項に記載のマスク印刷装置によれば、(7)項に記載の方法を好適に実施し得る。
(24)前記一対のマスク支持部材が、それぞれ上面に開口する吸引孔を有し、その吸引孔からの空気の吸引により、マスクを吸着して支持するマスク吸着支部材である(21)項ないし(23)項のいずれかに記載のマスク印刷装置。
前記(9)項ないし(12)項の各々に記載の特徴は上記(21)項ないし(24)項の各々に記載の特徴と組み合わせて採用することが可能である。
本マスク印刷装置への基板206の搬入時には、図16(a)に示すように、マスク支持装置16は下降端位置である退避位置に位置し、基板保持装置14,基板支持装置150はそれぞれ、マスク支持装置16,サイドクランプ装置152に対して下降端位置に位置する。また、マスク吸着支持部材62,64は後方位置に位置し、マスク吸着支持部材64はマスク支持装置本体60に固定されていない。後方位置は、マスク吸着支持部材62,64が水平方向ないしマスク412に平行な方向においてクランプ部材156,158に隣接し、基板保持装置14に保持された基板206の搬送方向に平行な両側端部から外れた状態となる位置である。また、可動クランプ部材158は、基板206から離間し、クランプしない離間位置ないし解放位置に位置する。
印刷によりマスク412の下面が汚れ、あるいは貫通穴420にはんだが残れば、印刷品質が低下するため、マスク412の清掃が行われる。清掃時には、マスク支持装置16は退避位置に位置し、基板保持装置14および基板支持装置150はいずれも下降端位置に位置し、マスク412から離間させられている。清掃装置562は、清掃が行われない場合には退避位置に退避させられていて、基板206等のマスク412への接触を許容し、清掃時には退避位置から前方へ移動させられ、基板保持装置14およびマスク支持装置16とマスク412との間のスペースに進入させられる。
あるいは、拭取り部627を押付部材622により、マスク412のはんだが残っている部分に押し付け、押付部材622を停止させたままの状態で拭取シート604を巻取ロール608により巻き取って送り、拭取シート604のマスク412を拭う面を汚れのない新しいきれいな面に変えつつ、残ったはんだを拭き取るようにしてもよい。拭取シートが循環式のシートとされる場合は、拭取シートをマスクに押し付け、押付部材を停止させたままの状態で拭取シートを循環させて送り、拭取シートの拭取り部を構成する部分をきれいな面に変えつつ、残はんだを拭き取らせる。このように拭取シートをマスクに押し付け、押付部材を停止させたままの状態で拭取シートを送って残はんだを拭き取る場合は、押付部材による拭取り部のマスクへの押付力は、清掃時より小さくすることが望ましい。
Claims (9)
- 複数の貫通穴が形成されたマスクを保持するマスク保持装置と、
回路基板を、前記マスク保持装置に保持されたマスクの下方に、そのマスクに平行に保持する基板保持装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクに沿って移動し、そのマスクの上面に載せられた印刷剤を前記複数の貫通穴を通して、前記基板保持装置に保持された回路基板に印刷するスキージ装置と、
前記マスク保持装置と前記基板保持装置とを相対的に昇降させることにより、マスク保持装置に保持されたマスクと基板保持装置に保持された回路基板とを互いに接近・離間させる接近・離間装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクの、前記基板保持装置に保持された回路基板の両側端部から外れた2部分に接触または近接する支持位置に位置させられ、前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との少なくとも一方において、マスクの下面を支持する一対のマスク支持部材と、
(a)長尺の拭取シートを繰り出す繰出し部と、(b)その拭取シートを繰り込む繰込み部と、(c)それら繰出し部と繰込み部との間に延びる前記拭取シートを前記マスクの下面に押し付ける押付面を有する押付部材とを備え、前記接近・離間装置により互いに離間させられたマスクと回路基板との間に進入し、マスクの下面に沿って移動しつつ前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けた前記拭取シートによりマスクの下面を拭き取る清掃装置と、
前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との前記少なくとも一方において前記一対のマスク支持部材を前記支持位置に位置させ、それら一対のマスク支持部材を前記清掃装置による清掃時に前記支持位置から退避させるマスク支持部材移動装置と
を含むマスク印刷装置により回路基板に印刷剤を印刷する方法であって、
前記スキージ装置による印刷剤の印刷後に、前記接近・離間装置によりマスクと回路基板とを互いに離間させるとともに、前記マスク支持部材移動装置により前記一対のマスク支持部材を前記支持位置から退避させた状態で前記清掃装置に清掃を行わせ、その清掃に際して、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、そのマスクの、前記支持位置に位置させられたマスク支持部材に接触させられた部分から、前記回路基板とは反対側へ出外れた位置まで移動させた後に、前記マスクの下面から離間させることを特徴とするマスク印刷方法。 - 金属製シートに複数の貫通穴が形成されたマスクが、前記金属製シートより弾性係数の小さい低弾性係数シートを介してマスク枠に張られたマスク体を保持するマスク保持装置と、
回路基板を、前記マスク保持装置に保持されたマスクの下方に、そのマスクに平行に保持する基板保持装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクに沿って移動し、そのマスクの上面に載せられた印刷剤を前記複数の貫通穴を通して、前記基板保持装置に保持された回路基板に印刷するスキージ装置と、
前記マスク保持装置と前記基板保持装置とを相対的に昇降させることにより、マスク保持装置に保持されたマスクと基板保持装置に保持された回路基板とを互いに接近・離間させる接近・離間装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクの、前記基板保持装置に保持された回路基板の両側端部から外れた2部分に接触または近接する支持位置に位置させられ、前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との少なくとも一方において、マスクの下面を支持する一対のマスク支持部材と、
(a)長尺の拭取シートを繰り出す繰出し部と、(b)その拭取シートを繰り込む繰込み部と、(c)それら繰出し部と繰込み部との間に延びる前記拭取シートを前記マスクの下面に押し付ける押付面を有する押付部材とを備え、前記接近・離間装置により互いに離間させられたマスクと回路基板との間に進入し、マスクの下面に沿って移動しつつ前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けた前記拭取シートによりマスクの下面を拭き取る清掃装置と、
前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との前記少なくとも一方において前記一対のマスク支持部材を前記支持位置に位置させ、それら一対のマスク支持部材を前記清掃装置による清掃時に前記支持位置から退避させるマスク支持部材移動装置と
を含むマスク印刷装置により回路基板に印刷剤を印刷する方法であって、
前記スキージ装置による印刷剤の印刷後に、前記接近・離間装置によりマスクと回路基板とを互いに離間させるとともに、前記マスク支持部材移動装置により前記一対のマスク支持部材を前記支持位置から退避させた状態で前記清掃装置に清掃を行わせ、その清掃に際して、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、そのマスクの、少なくとも、回路基板が接触させられた部分の端を前記マスク支持部材に接触させられた部分側へ過ぎた後、そのマスクと前記低弾性係数シートとの境界に至る前に、前記マスクの下面に平行な方向の移動を継続させつつそのマスクの下面から離間させる拭上げを行うことを特徴とするマスク印刷方法。 - 前記清掃装置によるマスクの清掃時に、マスクの前記マスク支持部材に接触させられた部分の前記回路基板に近い側の端と、前記マスクと前記低弾性係数シートとの境界との間に、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、その押付状態に保ったままで、前記マスクの前記マスク支持部材に接触させられた部分から前記回路基板とは反対側へ出外れた位置まで移動させるに十分な距離がある場合はその位置まで移動させた後にマスクから離間させ、その距離がない場合に前記拭上げを行う請求項2に記載のマスク印刷方法。
- 前記マスク支持部材として、上面に開口する吸引孔を有し、その吸引孔からの空気の吸引により、前記マスクを吸着して支持するマスク吸着支持部材を使用する請求項1ないし3のいずれかに記載のマスク印刷方法。
- 前記マスクの、前記清掃工程の末期に前記拭取シートが離間させられた部分である離間部分を、前記拭取シートに再び拭かせることにより、その離間部分に残った印刷剤を除去する残印刷剤除去工程を含む請求項1ないし4のいずれかに記載のマスク印刷方法。
- 複数の貫通穴が形成されたマスクを保持するマスク保持装置と、
回路基板を、前記マスク保持装置に保持されたマスクの下方に、そのマスクに平行に保持する基板保持装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクに沿って移動し、そのマスクの上面に載せられた印刷剤を前記複数の貫通穴を通して、前記基板保持装置に保持された回路基板に印刷するスキージ装置と、
前記マスク保持装置と前記基板保持装置とを相対的に昇降させることにより、マスク保持装置に保持されたマスクと基板保持装置に保持された回路基板とを互いに接近・離間させる接近・離間装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクの、前記基板保持装置に保持された回路基板の両側端部から外れた2部分に接触または近接する支持位置に位置させられ、前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との少なくとも一方において、マスクの下面を支持する一対のマスク支持部材と、
(a)長尺の拭取シートを繰り出す繰出し部と、(b)その拭取シートを繰り込む繰込み部と、(c)それら繰出し部と繰込み部との間に延びる前記拭取シートを前記マスクの下面に押し付ける押付面を有する押付部材とを備え、前記接近・離間装置により互いに離間させられたマスクと回路基板との間に進入し、マスクの下面に沿って移動しつつ前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けた前記拭取シートによりマスクの下面を拭き取る清掃装置と、
その清掃装置の前記押付部材に前記拭取シートによるマスクの下面拭取りのために必要な運動を付与する押付部材移動装置と、
その押付部材移動装置を制御することにより前記押付部材の移動を制御する清掃制御装置と、
前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との前記少なくとも一方において前記一対のマスク支持部材を前記支持位置に位置させ、前記清掃装置による清掃時に、それら一対のマスク支持部材を前記支持位置から退避させるマスク支持部材移動装置と
を含み、かつ、前記清掃制御装置が、
前記マスク保持装置に保持されたマスクと前記基板保持装置に保持された回路基板との大きさに関する情報を入力可能な入力装置と、
その入力装置に入力された前記情報に基づいて、前記拭取シートによる前記マスクの下面拭取りのために前記押付部材に付与すべき、その押付部材のマスクへの接近・離間とマスクに沿った移動とを含む運動を、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、そのマスクの前記支持位置に位置させられたマスク支持部材に接触させられた部分から、前記回路基板とは反対側へ出外れた位置までマスクに沿って移動させた後に、前記マスクの下面から離間させる運動に決定する運動決定部と
を含むことを特徴とするマスク印刷装置。 - 金属製シートに複数の貫通穴が形成されたマスクが、前記金属製シートより弾性係数の小さい低弾性係数シートを介してマスク枠に張られたマスク体を保持するマスク保持装置と、
回路基板を、前記マスク保持装置に保持されたマスクの下方に、そのマスクに平行に保持する基板保持装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクに沿って移動し、そのマスクの上面に載せられた印刷剤を前記複数の貫通穴を通して、前記基板保持装置に保持された回路基板に印刷するスキージ装置と、
前記マスク保持装置と前記基板保持装置とを相対的に昇降させることにより、マスク保持装置に保持されたマスクと基板保持装置に保持された回路基板とを互いに接近・離間させる接近・離間装置と、
前記マスク保持装置に保持されたマスクの、前記基板保持装置に保持された回路基板の両側端部から外れた2部分に接触または近接する支持位置に位置させられ、前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との少なくとも一方において、マスクの下面を支持する一対のマスク支持部材と、
(a)長尺の拭取シートを繰り出す繰出し部と、(b)その拭取シートを繰り込む繰込み部と、(c)それら繰出し部と繰込み部との間に延びる前記拭取シートを前記マスクの下面に押し付ける押付面を有する押付部材とを備え、前記接近・離間装置により互いに離間させられたマスクと回路基板との間に進入し、マスクの下面に沿って移動しつつ前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けた前記拭取シートによりマスクの下面を拭き取る清掃装置と、
その清掃装置の前記押付部材に前記拭取シートによるマスクの下面拭取りのために必要な運動を付与する押付部材移動装置と、
その押付部材移動装置を制御することにより前記押付部材の移動を制御する清掃制御装置と、
前記スキージ装置による印刷時と前記接近・離間装置によるマスクと回路基板との離間時との前記少なくとも一方において前記一対のマスク支持部材を前記支持位置に位置させ、前記清掃装置による清掃時に、それら一対のマスク支持部材を前記支持位置から退避させるマスク支持部材移動装置と
を含み、かつ、前記清掃制御装置が、
前記マスク保持装置に保持されたマスクおよび低弾性係数シートと前記基板保持装置に保持された回路基板との大きさに関する情報を入力可能な入力装置と、
その入力装置に入力された前記情報に基づいて、前記拭取シートによるマスクの下面拭取りのために前記押付部材に付与すべき、その押付部材のマスクへの接近・離間とマスクに沿った移動とを含む運動を、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、そのマスクの、少なくとも、回路基板が接触させられた部分の端を前記マスク支持部材に接触させられた部分側へ過ぎた後、そのマスクと前記低弾性係数シートとの境界に至る前に、前記マスクの下面に平行な方向の移動を継続させつつそのマスクの下面から離間させる拭上げを行う運動に決定する運動決定部と
を含むことを特徴とするマスク印刷装置。 - 前記運動決定部が、前記押付部材に付与すべき運動を、前記清掃装置による清掃の実行時に、マスクの前記マスク支持部材に接触させられた部分の前記回路基板に近い側の端と、マスクと低弾性係数シートとの境界との間に、前記拭取シートの前記押付部材により前記マスクの下面に押し付けられた部分を、その押付状態に保ったままで、前記マスクの前記マスク支持部材に接触させられた部分から前記回路基板とは反対側へ出外れた位置まで移動させるに十分な距離がある場合はその位置まで移動させた後にマスクから離間させる運動に決定し、その距離がない場合に前記拭上げを行う運動に決定する請求項7に記載のマスク印刷装置。
- 前記一対のマスク支持部材が、それぞれ上面に開口する吸引孔を有し、その吸引孔からの空気の吸引により、マスクを吸着して支持するマスク吸着支部材である請求項6ないし8のいずれかに記載のマスク印刷装置。
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