JP6883730B2 - スクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置ならびにスクリーン印刷システム - Google Patents
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本発明の他のスクリーン印刷方法は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストをスクリーン印刷するスクリーン印刷方法であって、スクリーン印刷後の基板におけるペーストの印刷状態を検査する印刷検査工程と、前記印刷検査工程の検査結果に基づいて、マスククリーニングを実行するかスクリーン印刷を実行するかを判断する判断工程と、を含み、前記判断工程において、前記スキージ動作の往路方向または復路方向の一の方向でスクリーン印刷された所定枚数の基板のうちの所定割合の基板において前記検査結果が警告範囲であった場合に、マスククリーニングを実行すると判断されることを特徴とする。
本発明の他のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストをスクリーン印刷するスクリーン印刷装置であって、スクリーン印刷後の基板におけるペーストの印刷状態を検査した結果を取得する印刷検査結果取得部と、取得された前記検査結果に基づいて、マスククリーニングを実行するかスクリーン印刷を実行するかを判断する判断部と、を備え、前記判断部は、前記スキージ動作の往路方向または復路方向の一の方向でスクリーン印刷された所定枚数の基板のうちの所定割合の基板において前記検査結果が警告範囲であった場合に、マスククリーニングを実行すると判断することを特徴とする。
4h パターン孔
20 スキージ
B 基板
M1 スクリーン印刷装置
M2 検査装置
S ペースト
Claims (7)
- パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストをスクリーン印刷するスクリーン印刷方法であって、
スクリーン印刷後の基板におけるペーストの印刷状態を検査した結果を取得する印刷検査結果取得工程と、
取得された前記検査結果に基づいて、マスククリーニングを実行するかスクリーン印刷を実行するかを判断する判断工程と、を含み、
前記判断工程において、前記スキージ動作の往路方向または復路方向の一の方向でスクリーン印刷された基板の前記検査結果が連続して警告範囲であった場合に、マスククリーニングを実行すると判断されることを特徴とする、スクリーン印刷方法。 - 前記判断工程において、前記検査結果が連続して警告範囲であった場合に、次の前記検査結果が取得されるまでマスククリーニングまたはスクリーン印刷のいずれも実行することなく待機すると判断されることを特徴とする、請求項1に記載のスクリーン印刷方法。
- パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストをスクリーン印刷するスクリーン印刷方法であって、
スクリーン印刷後の基板におけるペーストの印刷状態を検査する印刷検査工程と、
前記印刷検査工程の検査結果に基づいて、マスククリーニングを実行するかスクリーン印刷を実行するかを判断する判断工程と、を含み、
前記判断工程において、前記スキージ動作の往路方向または復路方向の一の方向でスクリーン印刷された所定枚数の基板のうちの所定割合の基板において前記検査結果が警告範囲であった場合に、マスククリーニングを実行すると判断されることを特徴とする、スクリーン印刷方法。 - パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストをスクリーン印刷するスクリーン印刷装置であって、
スクリーン印刷後の基板におけるペーストの印刷状態を検査した結果を取得する印刷検査結果取得部と、
取得された前記検査結果に基づいて、マスククリーニングを実行するかスクリーン印刷を実行するかを判断する判断部と、を備え、
前記判断部は、前記スキージ動作の往路方向または復路方向の一の方向でスクリーン印刷された基板の前記検査結果が連続して警告範囲であった場合に、マスククリーニングを実行すると判断することを特徴とする、スクリーン印刷装置。 - 前記判断部は、前記検査結果が連続して警告範囲であった場合に、次の前記検査結果が取得されるまでマスククリーニングまたはスクリーン印刷のいずれも実行することなく待機すると判断することを特徴とする、請求項4に記載のスクリーン印刷装置。
- パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストをスクリーン印刷するスクリーン印刷装置であって、
スクリーン印刷後の基板におけるペーストの印刷状態を検査した結果を取得する印刷検査結果取得部と、
取得された前記検査結果に基づいて、マスククリーニングを実行するかスクリーン印刷を実行するかを判断する判断部と、を備え、
前記判断部は、前記スキージ動作の往路方向または復路方向の一の方向でスクリーン印刷された所定枚数の基板のうちの所定割合の基板において前記検査結果が警告範囲であった場合に、マスククリーニングを実行すると判断することを特徴とする、スクリーン印刷装置。 - スクリーン印刷後の基板におけるペーストの印刷状態を検査する検査装置と、
前記検査装置より検査結果を取得して、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストをスクリーン印刷するスクリーン印刷装置と、を備えるスクリーン印刷システムであって、
前記スクリーン印刷装置は、請求項4から6のいずれかに記載のスクリーン印刷装置である、スクリーン印刷システム。
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