JP2007196562A - メタルマスクのクリーニング方法及びクリームはんだ印刷機 - Google Patents

Abstract

【課題】 清掃用フィルムを使用した効果的なメタルマスククリーニング方法とクリームはんだ印刷機を提供する。
【解決手段】 メタルマスク５を使用してクリームはんだ１３をプリント基板に印刷し、所定枚数印刷する毎にメタルマスク５をクリーニングするクリームはんだ印刷機において、メタルマスク５裏面に離間して清掃用フィルム９を対向配置し、メタルマスク５を介して清掃用フィルム９上に直接クリームはんだ１３を印刷することによって、メタルマスク開口部のクリーニングを行うことを特徴とする。
【選択図】 図５

Description

本発明は、メタルマスクのクリーニング機構を備えたクリームはんだ印刷機とメタルマスクのクリーニング方法に関するものである。

プリント基板に表面実装部品を実装するには、プリント基板上にメタルマスクを重ね合わせ、メタルマスクの開口部を介してクリームはんだを印刷し、次いで、印刷したクリームはんだ上に表面実装部品を搭載した後に、リフロー炉を用いてはんだ付けを行う方法が一般的である。

このような表面実装部品の実装方法においては、プリント基板上に形成した部品ランド上に、クリームはんだを印刷することとなるが、印刷作業を繰り返し行っていると、メタルマスク開口部にクリームはんだが詰まることによって残留ペーストが発生し、クリームはんだの印刷擦れや印刷形状が不均一になってしまうという問題を引き起こしていた。

このような問題に対処するものとして、従来実施例としてはクリームはんだ印刷作業を数回行った後に、クリーニングペーパー、溶剤及びバキュームクリーナーによって、プリント基板との接触面側であるメタルマスクの裏面（印刷面）をクリーニングする方法が知られている。

また、プリント基板にクリームはんだを１回以上印刷するたびに、清掃用シートを配置した第二の印刷テーブルが移動し、清掃用シート上にクリームはんだを印刷することでメタルマスクのクリーニングを行う機構を持ったクリームはんだ印刷機が提案されている（例えば特許文献１参照。）。
特開平１０−２５００４３号公報

しかしながら、前記した従来実施例のクリーニング方法では、メタルマスクをクリーニングするためにクリームはんだ印刷作業が中断され、稼働率が下がるという問題がある。特に、メタルマスク開口部の残留ペーストを取り除くには、バキューム吸引を行いながらクリーニングペーパー等で裏拭きをするため、クリーニングに要する時間が長い。さらに、０．４ｍｍピッチＱＦＰ等の狭ピッチ部品のクリームはんだ印刷では、残留ペーストによる狭ピッチ開口部の詰まりを防止するために、メタルマスクのクリーニング頻度を増やす必要があり、更なる稼働率低下を招いてしまう。

また、クリームはんだの主成分は金属ボールとフラックスを混合したもので、これらの練り物であるクリームはんだを安定して印刷するためには、メタルマスク開口部内壁と金属ボールの間に潤滑剤としての役割を果たすフラックスが必要となる。しかし、バキューム方式によってメタルマスク開口部分の残留ペーストを吸引した場合、この動作によってマスク開口部内壁に付着しているフラックスを除去、もしくはフラックス表面に多量の空気が接触するためにフラックス表面が半乾き状態となり、メタルマスク開口部内壁の性状は連続印刷時とは異なるものとなってしまう。
そのため、次の印刷でマスク開口部に充填されたクリームはんだは潤滑不良を起こし、メタルマスククリーニング直後の1枚目のクリームはんだ転写量が低下するという問題を引き起こしていた。さらに、これらのクリーニング機構が印刷機内に必要となるため、構造が簡便で低価格な印刷機への展開が難しいという課題もある。

また、上記提案にあるスクリーン印刷機の構造によると、クリームはんだを清掃用シートの粘着剤面に印刷し、粘着剤の接着効果でメタルマスククリーニングを実施していることから、メタルマスク開口部内壁の性状は連続印刷時と何ら変わることはなくクリーニング直後の1枚目のクリームはんだ転写量低下を抑えることが可能であるが、清掃用シートとメタルマスクを密着させずにクリームはんだ印刷を行うオフコンタクト方式のため、狭ピッチ部品の開口部分の印刷品質を維持する事が難しく、また２台の印刷テーブルが相対往復移動するために印刷機の占有スペースが大きくなり、装置自体の構造が複雑になるため機構面やコスト面においても問題がある。

本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、メタルマスクのクリーニング時間を短縮させながら、クリームはんだやフラックスの性状変化を抑えつつメタルマスク開口部分の残留ペーストを効果的に取り除くことで、生産性およびクリームはんだ印刷性を向上させ、またクリームはんだ印刷機に容易に組み込む事ができるようなメタルマスクのクリーニング方法と装置を提供することを目的とする。

本発明は、前記課題を解決するために、以下の構成を採用した。

クリームはんだ印刷機におけるメタルマスクのクリーニング方法において、メタルマスク開口部に残留しているクリームはんだを清掃用フィルムに接触させる工程と、清掃用フィルムに接触させることによりメタルマスク開口部に付着したクリームはんだのクリーニングを行う工程とを有するメタルマスクのクリーニング方法及びクリームはんだ印刷機である。

すなわち、印刷パターンを描画したメタルマスクを介してプリント基板上にクリームはんだを印刷し、所定回数の印刷を繰り返した後にメタルマスクをクリーニングするクリームはんだ印刷機において、メタルマスク裏面に離間して清掃用フィルムを対向配置し、メタルマスクを介して清掃用フィルム上に直接クリームはんだを印刷することによって、メタルマスクのクリーニングを行うことを特徴とするものである。
このように、メタルマスク裏面に清掃用フィルムを配置して、プリント基板が載置された印刷テーブルを上昇させると、プリント基板上に清掃用フィルムが張り付けられることとなる。この張り付けられた清掃用フィルムによって、プリント基板表面の凹凸が吸収されて平滑かつ柔軟性のある表面となり、清掃用フィルムを介してプリント基板とメタルマスクとの密着性は極めて良好となる。そのため、プリント基板表面の凹凸によってメタルマスクとの密着性が劣るプリント基板上へのクリームはんだ印刷と比較して、清掃用フィルム上へのクリームはんだ印刷を行った場合には、清掃用フィルムに対して接合面積が大きく密着力が強いクリームはんだの充填が行われることになる。

しかし、プリント基板表面の凹凸等により接合面積及び密着力の小さなクリームはんだの充填では、プリント基板上にクリームはんだの転写が行われたとしても、メタルマスク開口部側に持ち帰られる残留ペーストも多く存在し結果としてメタルマスク詰まりの原因となるが、プリント基板表面の凹凸を吸収することで接合面積が大きく密着力を向上させたクリームはんだ印刷を清掃用フィルム上に行うことによって、メタルマスク版離れ時に発生する清掃用フィルムから取り去ってメタルマスク側に持ち帰ろうとする作用力Ｆ１よりも、清掃用フィルム側に残ろうとするクリームはんだの密着力Ｆ２が大きく上回るため（Ｆ１＜Ｆ２）、クリームはんだの抜け性が改善され残留ペーストを含むクリームはんだが清掃用フィルム上に印刷・転写されることとなる。これにより、メタルマスク開口部に存在していた残留ペーストを効果的に除去しクリーニング効果を高めることができる。

また、メタルマスク裏面（印刷面）に清掃用フィルムの粘着剤面を当接させることによって、メタルマスク開口部に存在する残留ペーストのクリーニングを行うことを特徴とするものである。このことによって、メタルマスク開口部や周辺に存在する残留ペーストが清掃用フィルムの粘着剤に付着し、そのまま清掃用フィルムを離間させることで、これら残留ペーストを効果的に除去することができる。

本発明によれば、メタルマスク開口部内の残留ペーストのみを除去し、マスク開口部内壁に存在し潤滑剤としての役割を果たすフラックスを除去したり半乾きにする等の性状変化が行われないため、メタルマスククリーニング直後の１枚目に発生することが多いクリームはんだ転写量の低下による不具合を防止することができる。

本発明によれば、通常のクリームはんだ印刷プロセスと同等の短時間でメタルマスク開口部内に存在する残留ペーストを取り除くことができるため、クリームはんだ印刷機の稼働率の向上及び高生産性の実現が可能である。また、メタルマスククリーニング直後の印刷においても、メタルマスク開口部内のクリームはんだやフラックスに性状変化がなく、安定したクリームはんだ転写量を確保することができるため、連続作業時や狭ピッチ部品のパターンにおいても良好な印刷状態を維持することが可能である。

本願発明の実施の形態は、クリームはんだを基板に印刷するためのメタルマスクの裏面に離間して、清掃用フィルムを対向配置する工程と、清掃用フィルムの上面にメタルマスクの裏面を当接させる工程と、メタルマスクの上面から、クリームはんだを清掃用フィルムに印刷する工程と、メタルマスクと清掃用フィルムを離間させる工程と、を有する。

もしくは、クリームはんだを基板に印刷するためのメタルマスクの裏面に離間して、清掃用フィルムを対向配置する工程と、清掃用フィルムの上面にメタルマスクの裏面を当接させる工程と、清掃用フィルムの下面から、清掃用フィルムを押圧して、メタルマスクと清掃用フィルムをマスクの面方向に相対的に移動する工程と、メタルマスクと清掃用フィルムを離間させる工程と、を有する。

また、プリント基板を載置するための印刷テーブルと、印刷テーブルの上面に対向配置されたメタルマスクと、メタルマスクを保持するメタルマスクフレームと、メタルマスクの上面から、メタルマスクが有する開口部を介して、プリント基板にクリームはんだを供給するスキージと、スキージを保持するスキージホルダーと、清掃用フィルムと、清掃用フィルムが巻かれた清掃用フィルム供給ローラーと、清掃用フィルムをメタルマスクと印刷テーブルの間に引き出し、巻き取る清掃用フィルム巻取りローラーと、を有する。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

図１は、クリームはんだを清掃用フィルムから取り去ろうとする作用力Ｆ１と、クリームはんだと清掃用フィルムの間に働く力を密着力Ｆ２の関係を表した模式図、図２はクリームはんだ印刷機の実施例を概略的に示す側面図、図３はプリント基板へのクリームはんだ印刷中の状態を示した側面図、図４はメタルマスククリーニング動作前の状態を示した側面図、図５はメタルマスククリーニング中の状態を示した側面図、図６はメタルマスククリーニング後の状態を示した側面図、図７は別途クリームはんだ印刷機の実施例を概略的に示す側面図、図８はメタルマスククリーニング中の状態を示した側面図、図９はメタルマスク開口部の詰まり状態を示すパターン図、図１０は清掃用フィルムに印刷を行い、メタルマスククリーニングを行う状態の主要部拡大側面図、図１１は清掃用フィルム粘着剤面にメタルマスク開口部を接触させ、メタルマスククリーニングを行う状態の主要部拡大側面図である。
図２から８において、このクリームはんだ印刷機は大きく分類して、印刷を行うためのマスク１、スキージブロック２、印刷テーブル３、クリーニング機構としての清掃部４で構成されている。

これらを詳述すると、マスク１は、印刷パターンが描画された開口をもつメタルマスク５と、これを張って保持するメタルマスクフレーム６とで構成される。

スキージブロック２は、メタルマスク５上でクリームはんだ１３を刷りながら塗布するスキージ７と、スキージ７を保持したスキージホルダー８とで構成されている。
そして、図３に示すようにクリームはんだ印刷時には、一体化されているスキージ７とスキージホルダー８とがメタルマスク５上を矢印方向にクリームはんだ１３を刷りながら移動し、このときメタルマスク５を介してプリント基板１２上にクリームはんだ１３が転移されて印刷される。

清掃部４は、メタルマスク５の裏面側すなわちプリント基板１２側に配置され、ロール状に巻かれた長尺の清掃用フィルム９は清掃用フィルム供給ローラー１０に取付けられ、引出し側を清掃用フィルム巻取りローラー１１に装着した状態で構成され、これらがスキージブロック２と同様に横方向に移動できる状態となっている。

そして、清掃用フィルム９は供給ローラー１０から引き出され、印刷テーブル３上に載置されたプリント基板１２の上を通って巻取りローラー１１に巻き取られるようにして配膳されており、またこうして巻取りローラー１１で清掃用フィルム９を順次巻き取ることによって、メタルマスククリーニング動作によってクリームはんだ１３が印刷された部分の清掃用フィルム交換が順次行えるようになっている。

この清掃用フィルム９は、主として基材フィルムと粘着剤で構成され、基材フィルムとしてはポリエチレン系（ＰＥ）フィルムやポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、ポリオレフィン系（ＰＯ）フィルム等のプラスチック系フィルムが使われ、粘着剤としては粘着剤残渣等の汚染がなく被着体から容易に剥がすことができる微粘着材料が使われる。例えば、日立化成工業株式会社製のヒタレックス（試し印刷用透明低粘着シート）や表面保護用途のフィルム等で、かつフィルム厚み１５μm〜１００μmで柔軟性があれば清掃用フィルムとして使用することができる。

このクリームはんだ１３としては、Ｓｎ−Ｐｂ系、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系、Ｓｎ−Ａｇ−Ｉｎ−Ｂｉ系、Ｓｎ−Ｚｎ系、Ｓｎ−Ｂｉ系等のものが用いられる。また、スキージ７としては、ゴムあるいは金属製のものが用いられる。

この様に構成されたクリームはんだ印刷機の動作について説明する。まずは、プリント基板１２にクリームはんだ１３を印刷する場合は、清掃部４は図２に示すようにメタルマスク５および印刷テーブル３から外れた格納位置に配置され、プリント基板１２への印刷作業の邪魔にならない位置におかれる。そして、図３に示すように印刷テーブル３の所定の位置に載置されたプリント基板１２を、メタルマスク５の裏面に密着当接されて配置させる。この状態でスキージ７が図３における矢印方向に移動し、クリームはんだ１３がメタルマスク５の開口部を介してプリント基板１２の所定のパターンに転移されて印刷される。

こうして、クリームはんだ１３の印刷が何回か行われ、メタルマスク５の開口部には次第に残留ペースト１６が付着してくるが、この状態の典型的なパターンを図９に示す。同図に示すように、残留ペースト１６はメタルマスク５の開口部１７の側壁に付着するため、開口部１７は次第に狭まり、結果としてクリームはんだ印刷時の擦れや印刷形状が不安定等の不良要因が生まれる。

そのため、清掃部４を用いてのメタルマスククリーニングが行われる。なお、クリーニングが行われる間隔については印刷不良の影響が出る前の任意の回数で実行されるが、そのためには事前に印刷可能回数の実力を試験等により把握し、設定しておくことが必要となる。
このクリーニング動作では、プリント基板１２が印刷テーブル３の所定の位置に載置された後に、巻取りローラー１１がプリント基板１２の直上を移動して、プリント基板１２上に清掃用フィルム９が張られる。図４は、清掃用フィルム９がプリント基板上に配置された状態を示している。

ここで、印刷テーブル３が上昇しプリント基板１２がメタルマスク５の裏面に清掃用フィルム９を介して密着当接される。上述のようにプリント基板１２にはんだを印刷したのと同様に、メタルマスク５の開口部を介してクリームはんだ１３の印刷が行われる。図５は、清掃用フィルム９にクリームはんだ１３を印刷している状態を示している。

その後、清掃用フィルム９が張られたプリント基板１２と印刷テーブル３が降下して、清掃用フィルム９がメタルマスク５から離間することで、メタルマスククリーニングが完了することとなる。クリームはんだが印刷された清掃用フィルム９の該当部分は巻取りローラー１１に巻き取られて、その後巻取りローラー１１は上述のようにメタルマスク５および印刷テーブル３から外れた格納位置に配置され、プリント基板への印刷作業の邪魔にならない位置におかれる。図６は、清掃用フィルム９にクリームはんだ１３を印刷し印刷テーブル３を降下させた状態、図１０は清掃用フィルム９に印刷されたクリームはんだ１３の状態を示している。

なお、上記実施例は、巻取りローラー１１を移動させるようにしたが、供給ローラー１０を移動させるようにしてもよく、また巻取りローラー１１をなくして手動または他の手段で清掃用フィルム９をプリント基板１２上に配置または張り付けるようにしてもよい。

図７を用いて本願発明の実施例２について構成されたクリームはんだ印刷機について説明する。

清掃部４は、清掃用フィルム供給ローラー１０に取付けられたロール状に巻かれた清掃用フィルム９と、ヘッド部１４及びガイドローラ１５、清掃用フィルム巻取りローラー１１によって構成される。

まずは、プリント基板１２にクリームはんだ１３を印刷する場合は、清掃部４は図７に示すようにメタルマスク５および印刷テーブル３から外れた格納位置に配置され、プリント基板１２への印刷作業の邪魔にならない位置におかれる。そして、清掃用フィルム９は粘着剤面がメタルマスク５側に来るように配置される。

ここで、メタルマスク５のクリーニングを行う場合、巻取りローラー１１がプリント基板１２の直上を移動、遅れてヘッド部１４がメタルマスク開口部１６に対応する位置まで移動する。
そして、清掃用フィルム９を介してメタルマスク５の裏面にヘッド部１４を押し付けながら、スキージ７の場合と同様に矢印方向に移動させ、メタルマスク５の裏面を払拭し、かつメタルマスク開口部１７に存在する残留ペースト１６が粘着剤面上に貼り付いたまま剥ぎ取られる。

図８はメタルマスク５にヘッド部１４を用いて清掃用フィルム９を押し付けている状態、図１１は清掃用フィルム９の粘着剤面側に貼り付いた残留ペースト１６の状態を示している。

その後、ヘッド部１４が降下してメタルマスク５の裏面から離間することで、メタルマスククリーニングが完了することとなる。クリームはんだが印刷された清掃用フィルム９の該当部分は巻取りローラー１１に巻き取られて、その後巻取りローラー１１は上述のようにメタルマスク５および印刷テーブル３から外れた格納位置に配置され、プリント基板への印刷作業の邪魔にならない位置におかれる。

なお、上記実施例は、巻取りローラ１１及びガイドローラ１５を移動させるようにしたが、これらを固定してヘッド部１４のみ移動してメタルマスク５に押し付ける構造としてもよい。

また、実施例１と２いずれにおいてもメタルマスク５の印刷面側に撥水撥油性の特殊コーティングを施したものを本発明と併用することで、メタルマスク開口部１７に存在する残留ペースト１６をより効果的に除去することができる。

また、従来のクリーニング方式であるクリーニングペーパー、溶剤（ＩＰＡ）及びバキュームクリーナー等の機能を装備したクリームはんだ印刷機に、本願発明を加えても差し支えないものとする。

清掃用フィルム上に印刷されたクリームはんだの版離れ状態を示す模式図 本発明の一実施例としてのクリームはんだ印刷機を示す側面図 同クリームはんだ印刷機によりプリント基板に印刷を行う状態を示す側面図 同クリームはんだ印刷機により清掃用フィルムを展開した状態を示す側面図 同クリームはんだ印刷機により清掃用フィルムに印刷を行う状態を示す側面図 同クリームはんだ印刷機により清掃用フィルムに印刷し、メタルマスククリーニングを行った状態を示す側面図 本発明の一実施例としてのクリームはんだ印刷機を示す側面図 同クリームはんだ印刷機により清掃用フィルムで残渣ペーストの除去を行う状態を示す側面図 同クリームはんだ印刷機にメタルマスク開口部の詰まり状態を示すパターン図 同クリームはんだ印刷機により清掃用フィルムに印刷を行い、メタルマスククリーニングを行う状態の主要部拡大側面図 同クリームはんだ印刷機により清掃用フィルム粘着剤面にメタルマスク開口部を接触させ、メタルマスククリーニングを行う状態の主要部拡大側面図

符号の説明

１ マスク
２ スキージブロック
３ 印刷テーブル
４ 清掃部
５ メタルマスク
６ メタルマスクフレーム
７ スキージ
８ スキージホルダー
９ 清掃用フィルム
１０ 清掃用フィルム供給ローラー
１１清掃用フィルム巻取りローラー
１２ プリント基板
１３ クリームはんだ
１４ ヘッド部
１５ ガイドローラ
１６ 残留ペースト
１７ メタルマスク開口部
１８ 粘着剤
１９ クリームはんだの密着面積
２０ 作用力Ｆ１
２１ 密着力Ｆ２

Claims (12)

1. クリームはんだを基板に印刷するためのメタルマスクの裏面に離間して、清掃用フィルムを対向配置する工程と、
   前記清掃用フィルムの上面に前記メタルマスクの裏面を当接させる工程と、
   前記メタルマスクの上面から、前記クリームはんだを前記清掃用フィルムに印刷する工程と、
   前記メタルマスクと前記清掃用フィルムを離間させる工程と、
   を有するメタルマスクのクリーニング方法。
2. クリームはんだを基板に印刷するためのメタルマスクの裏面に離間して、清掃用フィルムを対向配置する工程と、
   前記清掃用フィルムの上面に前記メタルマスクの裏面を当接させる工程と、
   前記清掃用フィルムの下面から、前記清掃用フィルムを押圧して、前記メタルマスクと前記清掃用フィルムを前記マスクの面方向に相対的に移動する工程と、
   前記メタルマスクと前記清掃用フィルムを離間させる工程と、
   を有するメタルマスクのクリーニング方法。
3. 前記清掃用フィルムを対向配置する工程において、
   前記清掃用フィルムを、前記清掃用フィルムを供給するローラーから引き出し、
   前記メタルマスクと前記清掃用フィルムを離間させる工程において、
   前記清掃用フィルムを、前記清掃用フィルムを収納するローラーに巻き取る、請求項１または２に記載のメタルマスクのクリーニング方法。
4. 前記清掃用フィルムは、クリームはんだ接触との密着力が、前記メタルマスクとクリームはんだとの密着力よりも強く、メタルマスクの開口部に付着したクリームはんだを取り除く請求項１から３のいずれか一項に記載のメタルマスクのクリーニング方法。
5. 前記清掃用フィルムは、基材フィルムと、前記基材フィルムの上面に形成された粘着剤からなり、前記粘着剤によって前記メタルマスクや他の被着体に接着する請求項１から３のいずれか一項に記載のメタルマスクのクリーニング方法。
6. 前記クリームはんだと前記清掃用フィルムを接触させる工程において、
   前記清掃用フィルムの前記粘着剤を有する面を、前記メタルマスクの裏面に貼り付けて、
   前記メタルマスクの開口部に付着したクリームはんだと接触させる請求項１から３のいずれか一項に記載のメタルマスクのクリーニング方法。
7. クリームはんだ印刷機におけるメタルマスクのクリーニング方法において、
   前記メタルマスクの開口部に残留しているクリームはんだを清掃用フィルムに接触させる工程と、
   清掃用フィルムに接触させることにより前記メタルマスク開口部に付着したクリームはんだのクリーニングを行う工程と、
   を有するメタルマスクのクリーニング方法。
8. 前記メタルマスクのクリーニングを行う工程において、
   前記メタルマスクの開口部に付着したクリームはんだ及びフラックスの性状変化を加えることなく取り除く請求項７に記載のメタルマスクのクリーニング方法。
9. プリント基板を載置するための印刷テーブルと、
   前記印刷テーブルの上面に対向配置されたメタルマスクと、
   前記メタルマスクを保持するメタルマスクフレームと、
   前記メタルマスクの上面から、前記メタルマスクが有する開口部を介して、前記プリント基板にクリームはんだを供給するスキージと、
   前記スキージを保持するスキージホルダーと、
   清掃用フィルムと、
   前記清掃用フィルムが巻かれた清掃用フィルム供給ローラーと、
   前記清掃用フィルムを前記メタルマスクと前記印刷テーブルの間に引き出し、巻き取る清掃用フィルム巻取りローラーと、
   を有するクリームはんだ印刷機。
10. 前記清掃用フィルムは長尺な帯状で前記清掃用フィルム供給ローラーに巻かれ、
    前記清掃用フィルム巻取りローラーは、前記フィルムを供給ローラーから前記清掃用フィルムを必要量引き出し、巻き取る、巻取り機構を有する請求項９に記載のクリームはんだ印刷機。
11. 前記清掃用フィルム巻取りローラーは、前記清掃用フィルムを前記メタルマスクのクリーニングを行う場合にのみ前記清掃用フィルム巻取りローラーから引き出し、クリーニング時以外は空きスペースに前記清掃用フィルム巻取りローラーを格納する移動機構を有する請求項１０に記載のクリームはんだ印刷機。
12. メタルマスクのクリーニング機構を備えたクリームはんだ印刷機において、
    プリント基板または印刷テーブルの上面に配置するために設けられた清掃用フィルムと、
    前記清掃用フィルムの上面に設けられた前記メタルマスクと、
    を有するクリームはんだ印刷機。

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