JP4289102B2 - 組立装置および組立方法ならびに端子洗浄装置 - Google Patents
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Description
浄工程によって洗浄された端子に接着テープを貼り付ける接着テープ貼付工程と、基板に貼り付けられた接着テープ上から電子部品の電極を押しつけてこの電極と前記端子を電気的に導通させた状態で電子部品を基板に接合する電子部品接合工程とを含む組立方法であって、前記端子洗浄工程が、第1の基板保持部および前記第1の基板保持部から第1の方向に離れた位置に配置された第2の基板保持部に基板を保持し、前記第1の基板保持部に保持された基板を前記第1の洗浄部を通過させて第1の洗浄部による基板洗浄を行わせるとともに、前記第2の基板保持部に保持された基板を前記第2の洗浄部を通過させて第2の洗浄部による基板洗浄を行い、前記第2の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第2の基板保持部から搬出し、前記第1の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第1の基板保持部から前記第2の基板保持部へ移送し、前記第1の基板保持部に未洗浄の基板を移送する。
3によって端子洗浄手段によって洗浄された端子にドライバ用の半導体デバイスなどの電子部品を接合して、表示パネルを組み立てる。以下、各部の構成を説明する。
板回収部4との間に設けられた回収待機ステージ46に載置される。基板回収部4の基台41上には、組立て後の基板5を収納するトレイ42が載置されており、トレイ42上には基板回収ヘッド44を備えた基板移載部43が配設されている。基板回収ヘッド44は回収待機ステージ46上に載置された基板5を受け取ってトレイ42に回収する。
移送ヘッド)と、第2の洗浄部22による洗浄が終わった基板5を第2の基板保持部25から搬出する基板保持ヘッド27C(基板搬出ヘッド)と、基板保持ヘッド27A,27B,27Cを水平移動させるガイド部26a、スライド部26b(基板搬送ヘッド移動機構)とを備えた構成となっている。
1の洗浄部21による洗浄が終わった基板5を第1の基板保持部24から第2の基板保持部25へ移送し、第1の基板保持部24に未洗浄の基板5を移送する。
部51を除いた構成となっている。
3 電子部品接合装置
5 基板
6 ACFテープ
7 電子部品
21 第1の洗浄部
22 第2の洗浄部
23 XYテーブル機構
24 第1の基板保持部
25 第2の基板保持部
26 第1の基板搬送機構
31 接着テープ貼り付け部
32 電子部品仮接合部
33 電子部品本接合部
51 第1の超音波エアブロー洗浄部
52 大気圧プラズマ洗浄部
53 拭き取り洗浄部
54 第2の超音波エアブロー洗浄部
Claims (27)
- 基板の外部接続用の端子を洗浄する端子洗浄手段と、前記端子洗浄手段によって洗浄された端子に接着テープを貼り付ける接着テープ貼付手段と、基板に貼り付けられた接着テープ上から電子部品の電極を押しつけてこの電極と前記端子を電気的に導通させた状態で電子部品を基板に接合する電子部品接合手段とを備えた組立装置であって、
前記端子洗浄手段が、基板の端子を洗浄する第1の洗浄部と、前記第1の洗浄部から第1の方向に離れた位置に配置され前記第1の洗浄部とは異なる方法で基板の端子を洗浄する第2の洗浄部と、第1の基板保持部およびこの第1の基板保持部から第1の方向に離れた位置に配置された第2の基板保持部と、前記第1の基板保持部に保持された基板を前記第1の洗浄部を通過させて第1の洗浄部による基板洗浄を行わせるとともに、前記第2の基板保持部に保持された基板を前記第2の洗浄部を通過させて第2の洗浄部による基板洗浄を行わせる基板保持部移動手段と、前記第1の基板保持部に未洗浄の基板を移送し前記第1の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第1の基板保持部から前記第2の基板保持部へ移送し、前記第2の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第2の基板保持部から搬出する基板搬送手段とを備えたことを特徴とする組立装置。 - 前記基板保持部移動手段が単一の基板保持部移動機構であり、前記第1の基板保持部および第2の基板保持部を前記基板保持部移動機構によって移動する共通の支持部材を介して取り付けたことを特徴とする請求項1記載の組立装置。
- 前記基板保持部移動機構がXYテーブル機構であることを特徴とする請求項2記載の組立装置。
- 前記基板保持部移動手段が、前記第1の基板保持部を移動させる第1の基板保持部移動機構と、前記第2の基板保持部を移動させる第2の基板保持部移動機構であることを特徴とする請求項1記載の組立装置。
- 前記第1の基板保持部移動機構および第2の基板保持部移動機構がXYテーブル機構であることを特徴とする請求項4記載の組立装置。
- 前記第1の洗浄部にプラズマ洗浄を行う大気圧プラズマ洗浄部を配置し、前記第2の洗浄部に拭取り洗浄を行う拭取り洗浄部を配置したことを特徴とする請求項1記載の組立装置。
- 前記基板搬送手段が、前記第1の基板保持部に未洗浄の基板を移送する基板搬入ヘッドと、前記第1の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第1の基板保持部から前記第2の基板保持部へ移送する基板移送ヘッドと、前記第2の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第2の基板保持部から搬出する基板搬出ヘッドと、前記基板搬入ヘッド、前記基板移送ヘッドおよび前記基板搬出ヘッドを水平移動させる基板搬送ヘッド移動機構とを備えたことを特徴とする請求項1記載の組立装置。
- 前記第1の洗浄部に拭取り洗浄を行う拭取り洗浄部を配置し、前記第2の洗浄部にプラズマ洗浄を行う大気圧プラズマ洗浄部を配置したことを特徴とする請求項1記載の組立装置。
- 前記第1の洗浄部に紫外線によって発生したオゾンによる洗浄を行う紫外線洗浄部を配置し、前記第2の洗浄部に拭取り洗浄を行う拭取り洗浄部を配置したことを特徴とする請求項1記載の組立装置。
- 前記第1の洗浄部に拭取り洗浄を行う拭取り洗浄部を配置し、前記第2の洗浄部に紫外線によって発生したオゾンによる洗浄を行う紫外線洗浄部を配置したことを特徴とする請求項1記載の組立装置。
- 基板の外部接続用の端子を洗浄する端子洗浄工程と、前記端子洗浄工程によって洗浄された端子に接着テープを貼り付ける接着テープ貼付工程と、基板に貼り付けられた接着テープ上から電子部品の電極を押しつけてこの電極と前記端子を電気的に導通させた状態で電子部品を基板に接合する電子部品接合工程とを含む組立方法であって、
前記端子洗浄工程が、第1の基板保持部および第1の基板保持部から第1の方向に離れた位置に配置された第2の基板保持部に基板を保持し、前記第1の基板保持部に保持された基板を前記第1の洗浄部を通過させて第1の洗浄部による基板洗浄を行わせるとともに、前記第2の基板保持部に保持された基板を前記第2の洗浄部を通過させて第2の洗浄部による基板洗浄を行い、前記第2の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第2の基板保持部から搬出し、前記第1の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第1の基板保持部から前記第2の基板保持部へ移送し、前記第1の基板保持部に未洗浄の基板を移送することを特徴とする組立方法。 - 前記第1の基板保持部に保持された基板を前記第1の洗浄部を通過させる動作と、前記第2の基板保持部に保持された基板を前記第2の洗浄部を通過させる動作とを同時に行うことを特徴とする請求項11記載の組立方法。
- 前記第2の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第2の基板保持部から搬出する動作と、前記第1の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第1の基板保持部から前記第2の基板保持部へ移送する動作と、前記第1の基板保持部に未洗浄の基板を移送する動作とを同時に行うことを特徴とする請求項11記載の組立方法。
- 前記第1の洗浄部にプラズマ洗浄を行う大気圧プラズマ洗浄部を配置し、前記第2の洗浄部に拭取り洗浄を行う拭取り洗浄部を配置したことを特徴とする請求項11記載の組立方法。
- 前記第1の洗浄部に拭取り洗浄を行う拭取り洗浄部を配置し、前記第2の洗浄部にプラズマ洗浄を行う大気圧プラズマ洗浄部を配置したことを特徴とする請求項11記載の組立方法。
- 前記第1の洗浄部に紫外線によって発生したオゾンによる洗浄を行う紫外線洗浄部を配置し、前記第2の洗浄部に拭取り洗浄を行う拭取り洗浄部を配置したことを特徴とする請求項11記載の組立方法。
- 前記第1の洗浄部に拭取り洗浄を行う拭取り洗浄部を配置し、前記第2の洗浄部に紫外線によって発生したオゾンによる洗浄を行う紫外線洗浄部を配置したことを特徴とする請求項11記載の組立方法。
- 基板の外部接続用の端子を洗浄する端子洗浄装置であって、基板の端子を洗浄する第1の洗浄部と、前記第1の洗浄部から第1の方向に離れた位置に配置され前記第1の洗浄部とは異なる方法で基板の端子を洗浄する第2の洗浄部と、第1の基板保持部およびこの第1の基板保持部から第1の方向に離れた位置に配置された第2の基板保持部と、前記第1の基板保持部に保持された基板を前記第1の洗浄部を通過させて第1の洗浄部による基板洗浄を行わせるとともに、前記第2の基板保持部に保持された基板を前記第2の洗浄部を通過させて第2の洗浄部による基板洗浄を行わせる基板保持部移動手段と、前記第1の基板保持部に未洗浄の基板を移送し前記第1の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第1
の基板保持部から前記第2の基板保持部へ移送し、前記第2の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第2の基板保持部から搬出する基板搬送手段とを備えたことを特徴とする端子洗浄装置。 - 前記基板保持部移動手段が単一の基板保持部移動機構であり、前記第1の基板保持部および第2の基板保持部を前記基板保持部移動機構によって移動する共通の支持部材を介して取り付けたことを特徴とする請求項18記載の端子洗浄装置。
- 前記基板保持部移動機構がXYテーブル機構であることを特徴とする請求項19記載の端子洗浄装置。
- 前記基板保持部移動手段が、前記第1の基板保持部を移動させる第1の基板保持部移動機構と、前記第2の基板保持部を移動させる第2の基板保持部移動機構であることを特徴とする請求項18記載の端子洗浄装置。
- 前記第1の基板保持部移動機構および第2の基板保持部移動機構がXYテーブル機構であることを特徴とする請求項21記載の端子洗浄装置。
- 前記第1の洗浄部にプラズマ洗浄を行う大気圧プラズマ洗浄部を配置し、前記第2の洗浄部に拭取り洗浄を行う拭取り洗浄部を配置したことを特徴とする請求項18記載の端子洗浄装置。
- 前記基板搬送手段が、前記第1の基板保持部に未洗浄の基板を移送する基板搬入ヘッドと、前記第1の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第1の基板保持部から前記第2の基板保持部へ移送する基板移送ヘッドと、前記第2の洗浄部による洗浄が終わった基板を前記第2の基板保持部から搬出する基板搬出ヘッドと、前記基板搬入ヘッド、前記基板移送ヘッドおよび前記基板搬出ヘッドとを水平移動させる基板搬送ヘッド移動機構とを備えたことを特徴とする請求項18記載の端子洗浄装置。
- 前記第1の洗浄部に拭取り洗浄を行う拭取り洗浄部を配置し、前記第2の洗浄部にプラズマ洗浄を行う大気圧プラズマ洗浄部を配置したことを特徴とする請求項18記載の端子洗浄装置。
- 前記第1の洗浄部に紫外線によって発生したオゾンによる洗浄を行う紫外線洗浄部を配置し、前記第2の洗浄部に拭取り洗浄を行う拭取り洗浄部を配置したことを特徴とする請求項18記載の端子洗浄装置。
- 前記第1の洗浄部に拭取り洗浄を行う拭取り洗浄部を配置し、前記第2の洗浄部に紫外線によって発生したオゾンによる洗浄を行う紫外線洗浄部を配置したことを特徴とする請求項18記載の端子洗浄装置。
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