JP4950760B2 - 搬送装置、洗浄装置及び液晶表示装置の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、液晶ディスプレイ等の製造工程で使用される搬送装置、洗浄装置及び液晶表示装置の製造方法に関する。

従来、液晶表示装置等の製造工程において使用される搬送装置、洗浄装置及びそれらの搬送装置や洗浄装置を用いた液晶表示装置の製造方法が知られている。

特許文献１には、表示装置の一端部に露出された状態で配列された端子を洗浄するための洗浄装置が開示されている。この洗浄装置は、洗浄工程に供給される基板が載置される供給ステージと、第１の洗浄工程が行われる第１の基板保持ステージと、第２の洗浄工程が行われる第２の基板保持ステージと、後工程に搬送される前に一時的に基板が載置される中間ステージと、各ステージ間で基板を搬送する際に基板を保持するための３つの基板保持ヘッドとを備えている。

４つのステージは、それぞれ等間隔で配置されている。また、３つの基板保持ヘッドもステージ間の間隔と同じ間隔で相対位置が固定されている。そして、３つの基板保持ヘッドは、この間隔を保った状態で４つのステージが配列された方向に移動する。

この洗浄装置では、供給ステージと、第１の基板保持ステージと、第２の基板保持ステージのそれぞれに基板が載置される。この状態で、第１の基板保持ステージでは第１の洗浄工程が行われ、第２の基板保持ステージでは第１の洗浄工程とは異なる第２の洗浄工程が行われる。

次に、供給ステージ、第１の基板保持ステージ及び第２の基板保持ステージに載置されている３つの基板が３つの基板保持ヘッドにより保持される。そして、これら３つの基板は、３つの基板保持ヘッドに保持された状態で移動された後、第１の基板保持ステージ、第２の基板保持ステージ及び中間ステージへと載置される。

そして、中間ステージに載置された基板は後工程が行われる製造装置へと搬送されるとともに、供給ステージには前工程が終了した新たな基板が搬送される。
特開２００５−９９５９５号公報

しかしながら、上述した特許文献１の洗浄装置では、基板を搬送する際には全ての基板を同時に搬送するので、基板の搬送工程が行われている間は基板の洗浄工程を行うことができない。このため、基板の搬送工程と、基板の洗浄工程とを時間をずらして行わなければならないので、作業時間が長大化することいった課題がある。

本発明は、上述した課題を解決するために創案されたものであり、製造時間を短縮できる搬送装置、洗浄装置及び液晶表示装置の製造方法を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明に係る搬送装置は、供給されるワークが載置される供給ステージと、作業工程が行われるワークが載置される第１作業ステージと、前記第１作業ステージと同じ作業工程が行われるワークが載置される第２作業ステージと、排出されるワークが載置される排出ステージとが順に配列されたステージ部と、前記供給ステージから、前記第１作業ステージ及び前記第２作業ステージにワークを供給する供給アームと、前記供給アームよりも排出ステージ側に設けられ、前記第１作業ステージ及び前記第２作業ステージから、前記排出ステージへとワークを排出する排出アームと、前記供給アーム及び前記排出アームを前記４つのステージの配列方向に移動させる第１駆動部と、前記供給アームと前記排出アームの前記配列方向における移動をガイドするガイドレールと、前記供給アームと前記排出アームとの前記配列方向の間隔を変更させる第２駆動部とを有し、前記第２駆動部は、前記ガイドレールによってガイドされ、前記第１駆動部によって前記配列方向に移動することを特徴とする。

また、上記課題を解決するために、本発明に係る洗浄装置は、供給されるワークが載置される供給ステージと、洗浄工程が行われるワークが載置される第１作業ステージと、前記第１作業ステージと同じ洗浄工程が行われるワークが載置される第２作業ステージと、排出されるワークが載置される排出ステージとが配列されたステージ部と、前記供給ステージから、前記第１作業ステージ及び前記第２作業ステージにワークを供給する供給アームと、前記供給アームよりも排出ステージ側に設けられ、前記第１作業ステージ及び前記第２作業ステージから、前記排出ステージへとワークを排出する排出アームと、前記供給アーム及び前記排出アームを前記４つのステージの配列方向に移動させる第１駆動部と、前記供給アームと前記排出アームの前記配列方向における移動をガイドするガイドレールと、前記供給アームと前記排出アームとの前記配列方向の間隔を変更させる第２駆動部と、 ワークを洗浄するための洗浄ヘッドと、前記洗浄ヘッドを前記配列方向に移動するための洗浄部駆動機構とを有する洗浄部とを有し、前記第２駆動部は、前記ガイドレールによってガイドされ、前記第１駆動部によって前記配列方向に移動することを特徴とする。

本発明によれば、一方の作業ステージでワークの洗浄工程などの作業工程を行いつつ、他方の作業ステージにワークの搬送工程を行うことができるので、製造時間を短縮することができる。

以下、図面を参照して本発明の一実施形態を詳細に説明する。

〔実施形態〕
図１は、本発明の実施形態による洗浄装置の平面図である。図２は、図１における矢印ＩＩから見た洗浄装置の側面図である。以下の説明において、図１及び図２の座標で示すＸＹＺをＸＹＺ方向と定義する。尚、Ｘ方向が請求項に記載のステージの配列方向に相当する。

図１及び図２に示すように、洗浄装置１は、ステージ部２と、搬送部３と、洗浄部４とを備えている。尚、ステージ部２及び搬送部３が、請求項に記載の搬送装置に相当する。

ステージ部２は、供給ステージ１１と、第１作業ステージ１２と、第２作業ステージ１３と、排出ステージ１４とを備えている。供給ステージ１１、第１作業ステージ１２、第２作業ステージ１３、排出ステージ１４の順にＸ方向に配列されている。

供給ステージ１１は、前工程が終了して供給されたワーク１０１_ｎ（ｎ＝１、２・・）を、第１作業ステージ１２及び第２作業ステージ１３へと供給する前に、一時的に載置するためのものである。

第１作業ステージ１２及び第２作業ステージ１３は、同じ洗浄工程が行われるワーク１０１_ｎが載置されるためのものであって、Ｘ方向に所定間隔を開けて配置されている。第１作業ステージ１２及び第２作業ステージ１３は、それぞれピストン及びエアシリンダからなるアクチュエータ１６、１７を備え、Ｙ方向に独立して移動可能に構成されている。これにより、一方の作業ステージ１２（１３）を洗浄位置Ｙ_３に配置するとともに、他方の作業ステージ１３（１２）を搬送部３によってワーク１０１_ｎを搬送可能な搬送位置Ｙ_４に配置することができる。

排出ステージ１４は、洗浄工程が終了したワーク１０１_ｎを後工程に排出する前に一時的に載置するためのものである。

ここで、図１に示すように、供給ステージ１１のＸ座標を供給位置Ｘ_１とし、第１作業ステージ１２のＸ座標を第１作業位置Ｘ_２とし、第２作業ステージ１３のＸ座標を第２作業位置Ｘ_３とし、排出ステージ１４のＸ座標を排出位置Ｘ_４とする。

供給ステージ１１と第１作業ステージ１２との間隔は（Ｘ_２−Ｘ_１）となり、第２作業ステージ１３と排出ステージ１４との間隔は（Ｘ_４−Ｘ_３）となる。各ステージ１１〜１４は、（Ｘ_２−Ｘ_１）＝（Ｘ_４−Ｘ_３）となるように配置されている。これにより、（Ｘ_３−Ｘ_１）＝（Ｘ_４−Ｘ_２）であることもわかる。以下、Ｄ_１＝（Ｘ_２−Ｘ_１）＝（Ｘ_４−Ｘ_３）とし、Ｄ_２＝（Ｘ_３−Ｘ_１）＝（Ｘ_４−Ｘ_２）とする。

搬送部３は、ステージ部２の４つのステージ１１〜１４に載置されたワーク１０１_ｎを搬送するためのものである。

搬送部３は、第１駆動部２１と、第２駆動部２２と、供給アーム２３と、排出アーム２４とを備えている。

第１駆動部２１は、Ｘ方向に延びるように設置されたボールネジ２６と、ボールネジ２６の一端部に設けられた駆動モータ２７と、一対のガイドレール２８ａ、２８ｂとを備えている。尚、ボールネジ２６及び駆動モータ２７は作業台（図示略）に固定されている。第１駆動部２１は、駆動モータ２７をＮＣ制御することによってボールネジ２６を回転させることにより、第２駆動部２２、供給アーム２３及び排出アーム２４をガイドレール２８ａ、２８ｂによりガイドしてＸ方向に移動させる。

第２駆動部２２は、ピストン２９と、エアシリンダ３０と、ガイド部材３１とを備えている。第２駆動部２２は、エアシリンダ３０に空気を供給または排気することによりピストン２９を伸縮させることによって、ガイド部材３１によりガイドしつつ供給アーム２３に対する排出アーム２４の相対位置を変え、これにより供給アーム２３と排出アーム２４とのＸ方向の間隔を変更する。尚、供給アーム２３に対する排出アーム２４の位置は、位置センサ（図示略）により検出される。

ここで、第２駆動部２２のエアシリンダ３０のピストン２９が最も伸長した伸長限界における供給アーム２３と排出アーム２４との間隔はＤ_１となるように構成されている。また、第２駆動部２２のエアシリンダ３０のピストン２９が最も収縮した収縮限界における供給アーム２３と排出アーム２４との間隔はＤ_２となるように構成されている。これにより、ピストン２９の伸長限界の長さと収縮限界の長さとの差は、（Ｄ_２−Ｄ_１）となることがわかる。

供給アーム２３は、供給ステージ１１に載置されたワーク１０１_ｎを第１作業ステージ１２及び第２作業ステージ１３に供給するためのものである。排出アーム２４は、第１作業ステージ１２及び第２作業ステージ１３に載置されたワーク１０１_ｎを排出ステージ１４へと排出するためのものである。

供給アーム２３及び排出アーム２４は、ワーク１０１_ｎを下面で吸着するための吸着機構（図示略）を備えている。また、図２に示すように、供給アーム２３及び排出アーム２４は、それぞれＺ方向に伸縮可能なアクチュエータ３２を備えている。アクチュエータ３２により供給アーム２３及び排出アーム２４は、ワーク１０１_ｎを搬送する際の搬送位置Ｚ_１と、ワーク１０１_ｎを作業ステージ１２、１３に載置（または吸着）する際の載置位置Ｚ_２とにＺ方向に移動可能に構成されている。

洗浄部４は、洗浄ヘッド４１と、洗浄布供給部４２と、洗浄部駆動機構４３と、固定棒４７とを備えている。

洗浄ヘッド４１は、ワーク１０１_ｎの電極の端子部分１０１ａを洗浄するために洗浄布１０２を端子部分１０１ａに被覆するためのものである。また、洗浄ヘッド４１は、一対の洗浄爪４４ａ、４４ｂを備えている。一対の洗浄爪４４ａ、４４ｂは、Ｚ方向に互いに接近及び離脱する方向に移動可能に構成され、互いに接近することにより端子部分１０１ａに洗浄布１０２を覆うことが可能となる。また、洗浄爪４４ａには、ワーク１０１_ｎの端子部分１０１ａを覆っている洗浄布１０２に洗浄液が圧送される洗浄供給チューブ（図示略）が設けられている。洗浄ヘッド４１は、駆動機構（図示略）によってＹ方向に移動可能に構成されている。この駆動機構により、洗浄ヘッド４１は、ワーク１０１_ｎから離脱した待機位置Ｙ_１と、洗浄爪４４ａ、４４ｂ間にワーク１０１_ｎが位置する洗浄位置Ｙ_２との間を移動可能となる。

洗浄布供給部４２は、回転可能に支持された供給ローラ４５及び回収ローラ４６を備えている。洗浄布供給部４２は、洗浄布１０２が巻き回された供給ローラ４５から洗浄ヘッド４１に洗浄布１０２を供給するとともに、洗浄ヘッド４１を通過した洗浄布１０２を回収ローラ４６により回収する。

洗浄部駆動機構４３は、駆動モータ４８と、ボールネジ４９と、一対のガイドレール５０ａ、５０ｂとを備えている。図２に示すように、洗浄部駆動機構４３は、駆動モータ４８をＮＣ制御することによってボールネジ４９を回転させることにより、ガイドレール５０ａ、５０ｂに沿って洗浄ヘッド４１及び洗浄布供給部４２を第１作業ステージ１２のワーク１０１_ｎの洗浄工程を開始する第１洗浄開始位置Ｘ_５から第２作業ステージ１３のワーク１０１_ｎの洗浄工程が終了する第２洗浄終了位置Ｘ_８まで移動させる。第１洗浄開始位置Ｘ_５と第２洗浄終了位置Ｘ_８との間には、第１作業ステージ１２のワーク１０１_ｎの洗浄工程が終了する第１洗浄終了位置Ｘ_６と、第２作業ステージ１３のワーク１０１_ｎの洗浄工程を開始する第２洗浄開始位置Ｘ_７がある。

固定棒４７は、ワーク１０１_ｎの＋Ｙ方向側の端面が洗浄布１０２に押圧されることを防ぐためのものである。これにより、ワーク１０１_ｎが洗浄布１０２によって−Ｙ方向に位置ズレされることを抑制できる。固定棒４７は、洗浄ヘッド４１がＹ方向に移動する際にも、移動しないように固定されている。ここで固定棒４７のＹ方向の固定位置は、洗浄ヘッド４１が待機位置Ｙ_１に配置されている場合は、洗浄爪４４ａ、４４ｂの先端よりも−Ｙ方向側に位置し、洗浄ヘッド４１が洗浄位置Ｙ_２に移動された場合には、洗浄爪４４ａ、４４ｂの先端よりも＋Ｙ方向側に位置するように固定されている。また、固定棒４７は、Ｚ方向において略同じ位置の洗浄布１０２よりも−Ｙ方向側に位置するように固定されている。固定棒４７のＺ方向の固定位置は、洗浄爪４４ａと洗浄爪４４ｂとの間の略中央部であって、ワーク１０１_ｎのＺ方向の位置と略同じ位置に固定されている。

次に、図３〜図１４を参照して、搬送工程及び洗浄工程を中心に液晶表示装置の製造工程について説明する。尚、図３、図５、図７〜図１４は、平面的に視た、洗浄装置における概略の工程説明図である。図４及び図６は、側面的に視た、洗浄ヘッド近傍の工程説明図である。符号２７ａは、駆動モータ２７に電力及び信号を送る配線である。

まず、表示部組立工程では、２枚のガラス基板の内面側に相当する面に電極を形成した後、電極の端子部分が露出するように且つ液晶が注入された状態で２枚のガラス板を封着して表示部（以下、ワークという）が組み立てられる。

次に、洗浄工程及び洗浄工程におけるワークを搬送するための搬送工程が行われる。以下、洗浄工程と搬送工程とを詳細に述べる。

まず、図３及び図４に示すように、ステージ１１、１２、１３にワーク１０１_１、１０１_２、１０１_３が載置されている状態から説明を始める。尚、第１作業ステージ１２に載置されているワーク１０１_２は端子部分１０１ａが既に洗浄されたものであって、第２作業ステージ１３に載置されているワーク１０１_３は未だ端子部分１０１ａが洗浄されていないものである。供給アーム２３は、供給位置Ｘ_１に配置されている。排出アーム２４は、伸長限界のピストン２９により供給アーム２３との間隔が最も接近したＤ_１とされて、第１作業位置Ｘ_２に配置されている。作業ステージ１２、１３は、Ｙ方向において搬送位置Ｙ_４に配置されている。洗浄ヘッド４１は、Ｘ方向においては洗浄部駆動機構４３により第２洗浄開始位置Ｘ_７に配置され、Ｙ方向においては待機位置Ｙ_１に配置されている。ワーク１０１_３のＺ方向の位置に対応する領域の洗浄布１０２は、Ｙ方向において、洗浄爪４４ａ、４４ｂの先端と固定棒４７との間に配置されている。

次に、図５及び図６に示すように、第２洗浄開始位置Ｘ_７に配置された洗浄ヘッド４１が、駆動機構により待機位置Ｙ_１から洗浄位置Ｙ_２に移動するともに、洗浄爪４４ａ、４４ｂが閉口状態となる。また、第２作業ステージ１３が搬送位置Ｙ_４から洗浄位置Ｙ_３に移動する。これにより、図６に示すように、閉口状態の洗浄爪４４ａ、４４ｂの間に第２作業ステージ１３のワーク１０１_３の端子部分１０１ａが挿入される。これにより、洗浄爪４４ａ、４４ｂにより洗浄布１０２が−Ｙ方向に押圧され、ワーク１０１_３により洗浄布１０２が＋Ｙ方向に押圧されて、洗浄布１０２がワーク１０１_３の端子部分１０１ａを覆った状態となる。更に、洗浄布１０２によって端面が押圧されてワーク１０１_３が−Ｙ方向に位置ズレすることを抑制するために、ワーク１０１_３のＺ方向の位置と略同じ領域の洗浄布１０２は固定棒４７によって押圧される。供給位置Ｘ_１に配置されている供給アーム２３は、供給ステージ１１のワーク１０１_１を吸着する。排出アーム２４は、第１作業ステージ１２に対応した第１作業位置Ｘ_２に配置され、第１作業ステージ１２のワーク１０１_２を吸着する。このワーク１０１_１、１０１_２を吸着する工程では、吸着の前後でアーム２３、２４はアクチュエータ３２により搬送位置Ｚ_１と載置位置Ｚ_２との間をＺ方向に往復移動される。尚、以下の説明においてはアーム２３、２４のＺ方向の移動に関して説明を省略する。

次に、図７に示すように、第１駆動部２１により供給アーム２３及び排出アーム２４が移動されるとともに、第２駆動部２２のピストン２９の収縮駆動により排出アーム２４と供給アーム２３との間隔が大きくなる方向に移動する。これにより、ワーク１０１_１を供給ステージ１１から第１作業ステージ１２へ搬送しつつ、ワーク１０１_２を第１作業ステージ１２から排出ステージ１４へと搬送する第１搬送工程を開始する。そして、供給アーム２３及び排出アーム２４が上述の第１搬送工程を行っている間に、洗浄ヘッド４１は、洗浄部駆動機構４３により第２洗浄開始位置Ｘ_７から第２洗浄終了位置Ｘ_８方向へと移動しつつ、ワーク１０１_３の端子部分１０１ａを洗浄する第２洗浄工程を行う。

次に、図８に示すように、第１駆動部２１により供給アーム２３及び排出アーム２４が移動されて、供給アーム２３が第１作業ステージ１２に達すると、供給アーム２３は吸着保持しているワーク１０１_１の吸着を解除して第１作業ステージ１２にワーク１０１_１を載置する。また、第２駆動部２２のピストン２９は収縮限界まで達して、第１作業ステージ１２と第２作業ステージ１３との間隔が最も離れたＤ_２となる。これにより、排出ステージ１４が配置された排出位置Ｘ_４まで排出アーム２４が達してワーク１０１_２の吸着を解除して、排出ステージ１４にワーク１０１_２を載置する。この結果、第１搬送工程が完了する。そして、第１搬送工程の間に、洗浄ヘッド４１は、洗浄部駆動機構４３により第２洗浄終了位置Ｘ_８まで移動して第２洗浄工程を終える。

次に、図９に示すように、第２作業ステージ１３が搬送位置Ｙ_４に移動し、洗浄ヘッド４１が待機位置Ｙ_１に移動する。尚、上述したように、ワーク１０１_ｎを洗浄するために、互いに接近または離脱するように各作業ステージ１２、１３及び洗浄ヘッド４１がＹ方向に移動するが、以下の説明ではＹ方向の移動については説明を省略する。

次に、図１０に示すように、第１駆動部２１によりワークを保持していない供給アーム２３及び排出アーム２４が移動されて、供給ステージ１１が配置された供給位置Ｘ_１方向へと、供給アーム２３が移動するとともに、第２作業ステージ１３が配置された第２作業位置Ｘ_３方向へと、排出アーム２４が移動する。尚、この供給アーム２３及び排出アーム２４の移動工程において、第２駆動部２２のピストン２９は伸縮駆動を行わず、供給アーム２３と排出アーム２４との間隔Ｄ_２は一定に保たれる。洗浄ヘッド４１は、洗浄部駆動機構４３により第２洗浄終了位置Ｘ_８から第１洗浄開始位置Ｘ_５方向へと端子部分１０１ａに沿って移動する。尚、この工程の間に、供給ステージ１１には、前工程が終了した次のワーク１０１_４が供給される。

次に、図１１に示すように、第１駆動部２１により供給アーム２３が供給位置Ｘ_１に達すると、供給アーム２３が供給ステージ１１上に載置されたワーク１０１_４を吸着して保持する。第１駆動部２１により排出アーム２４が第２作業位置Ｘ_３に達すると、第２作業ステージ１３上に載置されたワーク１０１_３を吸着して保持する。洗浄ヘッド４１は、洗浄部駆動機構４３により第１洗浄開始位置Ｘ_５に達する。

次に、図１２に示すように、第１駆動部２１により供給アーム２３及び排出アーム２４が移動されるとともに、第２駆動部２２のピストン２９の伸長駆動により排出アーム２４が供給アーム２３との間隔が小さくなる方向に移動する。これにより、ワーク１０１_４を供給ステージ１１から第２作業ステージ１３へ搬送しつつ、ワーク１０１_３を第２作業ステージ１３から排出ステージ１４へと搬送する第２搬送工程を開始する。そして、供給アーム２３及び排出アーム２４が上述の第２搬送工程を行っている間に、洗浄ヘッド４１は、洗浄部駆動機構４３により第１洗浄開始位置Ｘ_５から第１洗浄終了位置Ｘ_６方向へと端子部分１０１ａに沿って移動しつつ、第１作業ステージ１２に載置されたワーク１０１_１の端子部分１０１ａを洗浄する第１洗浄工程を開始する。

次に、図１３に示すように、第１駆動部２１により供給アーム２３及び排出アーム２４が移動されて、供給アーム２３が第２作業ステージ１３に達すると、供給アーム２３は吸着保持しているワーク１０１_４の吸着を解除して第２作業ステージ１３にワーク１０１_４を載置する。また、第２駆動部２２のピストン２９が伸長限界まで達して、第１作業ステージ１２と第２作業ステージ１３との間隔が最も接近したＤ_１となる。排出ステージ１４が配置された排出位置Ｘ_４まで排出アーム２４が達すると、ワーク１０１_３の吸着を解除して、排出ステージ１４にワーク１０１_３を載置する。これにより、第１搬送工程が完了する。そして、第１搬送工程の間に、洗浄ヘッド４１は、洗浄部駆動機構４３により第１洗浄終了位置Ｘ_６まで移動して第１洗浄工程を終える。

次に、図１４に示すように、第１駆動部２１により供給アーム２３及び排出アーム２４が移動されて、供給ステージ１１が配置された供給位置Ｘ_１方向へと供給アーム２３が移動するとともに、第１作業ステージ１２が配置された第１作業位置Ｘ_２方向へと排出アーム２４が移動する。尚、この供給アーム２３及び排出アーム２４の移動工程において、第２駆動部２２のピストン２９は伸縮駆動を行わず、供給アーム２３と排出アーム２４との間隔Ｄ_１は一定に保たれる。洗浄ヘッド４１は、洗浄部駆動機構４３により第１洗浄終了位置Ｘ_６から第２洗浄開始位置Ｘ_７方向へと移動する。尚、この工程の間に、供給ステージ１１には、前工程が終了した次のワーク１０１_５が供給される。

そして、図３〜図１４に基づいて説明した洗浄工程及び搬送工程が繰り返される。

そして、洗浄工程が終了したワーク（表示部）１０１_ｎは、端子部分１０１ａにドライバＩＣ（図示略）が端子部分１０１ａと電気的に接続された状態で設置され、これにより液晶表示装置が製造される。

上述したように、本発明の実施形態に係る洗浄装置１では、２つの作業ステージ１２、１３を設けているので、一方の作業ステージ１２（１３）では載置されたワーク１０１_ｎを洗浄し、他方の作業ステージ１３（１２）ではワーク１０１_ｎの搬送を行うことができる。これにより、搬送工程と洗浄工程とを同時に行うことができるので、製造時間を短縮することができる。

また、搬送部３の駆動モータ２７を固定することにより、駆動モータ２７に電力を供給するための電力線２７ａなどの配線の破損を抑制することができる。特に、電力線のように太い配線とともに駆動モータを移動させることは、駆動モータへの負担となるがこのような負担をも搬送部３は、解消することができる。

また、供給アーム２３と排出アーム２４との間隔をエアシリンダ３０及びピストン２９とを備えた第２駆動部２２により制御することにより、エアシリンダ３０に空気を送る細い配管やピストン２９の伸縮状態を検出する位置センサ用の細い配線などにより第２駆動部２２を構成することができるので、電力線等が必要な駆動モータを設ける場合などに比べて、第２駆動部２２の構成を簡単化し、安価にすることができる。

以上、実施形態を用いて本発明を詳細に説明したが、本発明は本明細書中に説明した実施形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載及び特許請求の範囲の記載と均等の範囲により決定されるものである。以下、上記実施形態を一部変更した変更形態について説明する。

例えば、上述した実施形態では、洗浄工程に用いられるステージ部及び搬送部に本発明の搬送装置を適用したが、ワークの端子部分にドライバＩＣを取り付ける工程などの他の工程に、上述した搬送装置（ステージ部及び搬送部）を適用してもよい。

本発明の実施形態による洗浄装置の平面図である。 図１における矢印ＩＩから見た洗浄装置の側面図である。 平面的に視た、洗浄装置における概略の工程説明図である。 側面的に視た、洗浄ヘッド近傍の工程説明図である。 平面的に視た、洗浄装置における概略の工程説明図である。 側面的に視た、洗浄ヘッド近傍の工程説明図である。 平面的に視た、洗浄装置における概略の工程説明図である。 平面的に視た、洗浄装置における概略の工程説明図である。 平面的に視た、洗浄装置における概略の工程説明図である。 平面的に視た、洗浄装置における概略の工程説明図である。 平面的に視た、洗浄装置における概略の工程説明図である。 平面的に視た、洗浄装置における概略の工程説明図である。 平面的に視た、洗浄装置における概略の工程説明図である。 平面的に視た、洗浄装置における概略の工程説明図である。

符号の説明

１…洗浄装置、２…ステージ部、３…搬送部、４…洗浄部、１１…供給ステージ、１２…第１作業ステージ、１３…第２作業ステージ、１４…排出ステージ、１６、１７…アクチュエータ、２１…第１駆動部、２２…第２駆動部、２３…供給アーム、２４…排出アーム、２６…ボールネジ、２７…駆動モータ、２９…ピストン、３０…エアシリンダ、３１…ガイド部材、４１…洗浄ヘッド、４３…洗浄部駆動機構、４８…駆動モータ、４９…ボールネジ、１０１ａ…端子部分、１０１_ｎ…ワーク、

Claims (6)

1. 供給されるワークが載置される供給ステージと、作業工程が行われるワークが載置される第１作業ステージと、前記第１作業ステージと同じ作業工程が行われるワークが載置される第２作業ステージと、排出されるワークが載置される排出ステージとが順に配列されたステージ部と、
   前記供給ステージから、前記第１作業ステージ及び前記第２作業ステージにワークを供給する供給アームと、
   前記供給アームよりも排出ステージ側に設けられ、前記第１作業ステージ及び前記第２作業ステージから、前記排出ステージへとワークを排出する排出アームと、
   前記供給アーム及び前記排出アームを前記４つのステージの配列方向に移動させる第１駆動部と、
   前記供給アームと前記排出アームの前記配列方向における移動をガイドするガイドレールと、
   前記供給アームと前記排出アームとの前記配列方向の間隔を変更させる第２駆動部と
   を有し、
   前記第２駆動部は、前記ガイドレールによってガイドされ、前記第１駆動部によって前記配列方向に移動することを特徴とする搬送装置。
2. 前記第２駆動部は、シリンダと、前記排出アームを駆動するピストンと、前記排出アームをガイドするガイド部材と、を備え、前記ガイド部材によって前記排出アームをガイドしながら、前記配列方向における前記供給アームに対する前記排出アームの間隔を変えることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記第２駆動部は、ピストンと、シリンダとを備え、
   前記供給ステージと前記第１作業ステージとの間隔、及び前記第２作業ステージと前記排
   出ステージとの間隔は、ともにＤ_１であって、
   前記供給ステージと前記第２ステージとの間隔、及び前記第１作業ステージと前記排出ステージとの間隔は、ともにＤ_２であって、
   前記第２駆動部のピストンの伸長限界の長さと収縮限界の長さとの差は、Ｄ_２−Ｄ_１であることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送装置。
4. 供給されるワークが載置される供給ステージと、洗浄工程が行われるワークが載置される第１作業ステージと、前記第１作業ステージと同じ洗浄工程が行われるワークが載置される第２作業ステージと、排出されるワークが載置される排出ステージとが配列されたステージ部と、
   前記供給ステージから、前記第１作業ステージ及び前記第２作業ステージにワークを供給する供給アームと、前記供給アームよりも排出ステージ側に設けられ、前記第１作業ステージ及び前記第２作業ステージから、前記排出ステージへとワークを排出する排出アームと、
   前記供給アーム及び前記排出アームを前記４つのステージの配列方向に移動させる第１駆動部と、
   前記供給アームと前記排出アームの前記配列方向における移動をガイドするガイドレールと、
   前記供給アームと前記排出アームとの前記配列方向の間隔を変更させる第２駆動部と、
   ワークを洗浄するための洗浄ヘッドと、前記洗浄ヘッドを前記配列方向に移動するための洗浄部駆動機構とを有する洗浄部と
   を有し、
   前記第２駆動部は、前記ガイドレールによってガイドされ、前記第１駆動部によって前記配列方向に移動することを特徴とする洗浄装置。
5. 前記第２駆動部は、シリンダと、前記排出アームを駆動するピストンと、前記排出アームをガイドするガイド部材と、を備え、前記ガイド部材によって前記排出アームをガイドしながら、前記配列方向における前記供給アームに対する前記排出アームの間隔を変えることを特徴とする請求項４に記載の洗浄装置。
6. 前記洗浄部駆動機構は、ワークの一端部から他端部へ前記洗浄ヘッドを洗浄するための洗浄移動と前記第１作業ステージと前記第２作業ステージとの間のステージ間移動とを行うことを特徴とする請求項４または５に記載の洗浄装置。

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