JP2008292638A - 搬送装置、洗浄装置及び液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】洗浄装置1は、ステージ部2と、搬送部3と、洗浄部4とを備えている。ステージ部2には、供給されるワーク101nが載置される供給ステージ11と、同じ洗浄工程が行われるワーク101nが載置される第1作業ステージ12及び第2作業ステージ13と、排出されるワーク101nが載置される排出ステージ14とが順にX方向に配列されている。搬送部3は、供給アーム23及び排出アーム24をX方向に移動させる第1駆動部21と、供給アーム23と排出アーム24とのX方向の間隔を変更する第2駆動部22と、供給ステージ11から作業ステージ12、13にワーク101nを供給するための供給アーム23と、作業ステージ12、13からワーク101nを排出するための排出アーム24とを備えている。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施形態による洗浄装置の平面図である。図2は、図1における矢印IIから見た洗浄装置の側面図である。以下の説明において、図1及び図2の座標で示すXYZをXYZ方向と定義する。尚、X方向が請求項に記載のステージの配列方向に相当する。
Claims (5)
- 供給されるワークが載置される供給ステージと、作業工程が行われるワークが載置される第1作業ステージと、前記第1作業ステージと同じ作業工程が行われるワークが載置される第2作業ステージと、排出されるワークが載置される排出ステージとが順に配列されたステージ部と、
前記供給ステージから前記第1作業ステージ及び前記第2作業ステージにワークを供給するための供給アームと、前記供給アームよりも排出ステージ側に設けられた排出アームであって前記第1作業ステージ及び前記第2作業ステージから前記排出ステージへとワークを排出するための前記排出アームと、前記供給アーム及び前記排出アームを前記4つのステージの配列方向に移動するための第1駆動部と、前記供給アームと前記排出アームとの前記配列方向の間隔を変更するための第2駆動部とを有する搬送部とを備えたことを特徴とする搬送装置。 - 前記第2駆動部は、ピストンと、シリンダとを備え、
前記供給ステージと前記第1作業ステージとの間隔及び前記第2作業ステージと前記排出ステージとの間隔はともにD1であって、
前記供給ステージと前記第2ステージとの間隔及び前記第1作業ステージと前記排出ステージとの間隔はともにD2であって、
前記第2駆動部のピストンの伸長限界の長さと収縮限界の長さとの差は、D2−D1であることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。 - 供給されるワークが載置される供給ステージと、洗浄工程が行われるワークが載置される第1作業ステージと、前記第1作業ステージと同じ洗浄工程が行われるワークが載置される第2作業ステージと、排出されるワークが載置される排出ステージとが配列されたステージ部と、
前記供給ステージから前記第1作業ステージ及び前記第2作業ステージにワークを供給するための供給アームと、前記供給アームよりも排出ステージ側に設けられた排出アームであって前記第1作業ステージ及び前記第2作業ステージから前記排出ステージへとワークを排出するための前記排出アームと、前記供給アーム及び前記排出アームを前記4つのステージの配列方向に移動するための第1駆動部と、前記供給アームと前記排出アームとの前記配列方向の間隔を変更するための第2駆動部とを有する搬送部と、
ワークを洗浄するための洗浄ヘッドと、前記洗浄ヘッドを前記配列方向に移動するための洗浄部駆動機構とを有する洗浄部とを備えたことを特徴とする洗浄装置。 - 前記洗浄部駆動機構は、ワークの一端部から他端部へ前記洗浄ヘッドを洗浄するための洗浄移動と前記第1作業ステージと前記第2作業ステージとの間のステージ間移動とを行うことを特徴とする請求項3に記載の洗浄装置。
- 電極が形成された一対の基板を端子部分が露出するように封着する工程と、
一対の作業ステージのうち、洗浄部駆動機構により洗浄ヘッドを移動させて一方の作業ステージに載置された前記基板の端子部分を洗浄する洗浄工程と、
前記一対の作業ステージのうち、他方の作業ステージに載置された洗浄済みの基板を排出アームにより排出するとともに、他方の作業ステージに次に洗浄するための基板を供給アームにより供給する搬送工程と、
前記端子部分にドライバICを取り付ける工程とを備え、
前記洗浄工程と前記搬送工程の少なくとも一部を同時に行うことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
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