JP2001170593A - ガラス基板のクリーニング装置 - Google Patents
ガラス基板のクリーニング装置Info
- Publication number
- JP2001170593A JP2001170593A JP35543099A JP35543099A JP2001170593A JP 2001170593 A JP2001170593 A JP 2001170593A JP 35543099 A JP35543099 A JP 35543099A JP 35543099 A JP35543099 A JP 35543099A JP 2001170593 A JP2001170593 A JP 2001170593A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- cleaning
- tape
- wiper
- pressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 82
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 73
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 64
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 64
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 19
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract 2
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000012840 feeding operation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス基板の表裏によって異なる洗浄品質を
確保することができるガラス基板のクリーニング装置を
提供することを目的とする。 【解決手段】 ガラス基板１の縁部の表面付着物をワイ
パーテープ４によって除去するガラス基板のクリーニン
グ装置において、ガラス基板１の表裏両面にワイパーテ
ープ４を押し付け部材１１によって縁部に押し付けるこ
とによりクリーニングを行う個別のクリーニング手段１
０Ａ，１０Ｂを設ける。これにより洗浄目的が異なる表
裏両面を適切な洗浄品質で洗浄できる。またワイパーテ
ープ４のテープ送り時には、押し付け部材１１への送給
経路をガイド１２を押し付け部材１１の前方まで移動さ
せることにより変更する。これによりテープ送給時にテ
ープを鋭角状に屈曲させる必要がなく、ワイパーテープ
４へのダメージを防止することができる。
確保することができるガラス基板のクリーニング装置を
提供することを目的とする。 【解決手段】 ガラス基板１の縁部の表面付着物をワイ
パーテープ４によって除去するガラス基板のクリーニン
グ装置において、ガラス基板１の表裏両面にワイパーテ
ープ４を押し付け部材１１によって縁部に押し付けるこ
とによりクリーニングを行う個別のクリーニング手段１
０Ａ，１０Ｂを設ける。これにより洗浄目的が異なる表
裏両面を適切な洗浄品質で洗浄できる。またワイパーテ
ープ４のテープ送り時には、押し付け部材１１への送給
経路をガイド１２を押し付け部材１１の前方まで移動さ
せることにより変更する。これによりテープ送給時にテ
ープを鋭角状に屈曲させる必要がなく、ワイパーテープ
４へのダメージを防止することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルなどの
ガラス基板の縁部をクリーニングするガラス基板のクリ
ーニング装置に関するものである。
ガラス基板の縁部をクリーニングするガラス基板のクリ
ーニング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルなどのガラス基板の製造工程
では、ガラス基板の縁部に形成された電極部にサブ基板
が接続される。この接続の方法として異方性導電材によ
ってガラス基板の電極部にサブ基板を接合する方法が用
いられる。この接合に先立って、ガラス基板の縁部の表
面に付着した異物を除去するためのクリーニングが必要
とされ、このクリーニングは単なる異物除去の他に、ガ
ラス基板表面に電子部品を実装するために貼付されるＡ
ＣＦ（異方性導電接着剤）の貼付性を向上させるために
行われる。
では、ガラス基板の縁部に形成された電極部にサブ基板
が接続される。この接続の方法として異方性導電材によ
ってガラス基板の電極部にサブ基板を接合する方法が用
いられる。この接合に先立って、ガラス基板の縁部の表
面に付着した異物を除去するためのクリーニングが必要
とされ、このクリーニングは単なる異物除去の他に、ガ
ラス基板表面に電子部品を実装するために貼付されるＡ
ＣＦ（異方性導電接着剤）の貼付性を向上させるために
行われる。
【０００３】以下、従来のガラス基板のクリーニング装
置について図面を参照して説明する。図５は従来のガラ
ス基板のクリーニング装置の部分断面図である。図５に
おいて、ガラス基板１は上下２枚のガラス板１Ａ，１Ｂ
より成り、ガラス板１Ａの縁部はガラス板１Ｂの外縁よ
り張り出しており、この縁部の表面にはサブ基板との接
続用の電極が形成されている。この電極部にサブ基板を
異方性導電材によって接合するに先立って、縁部のクリ
ーニングが行われる。このクリーニングは、クリーニン
グローラ２Ａ，２Ｂとガイドローラ３にクリーニング用
のワイパーテープ４を周回させ、クリーニングローラ２
Ａ，２Ｂの間に縁部を位置させてクリーニングローラ２
Ａ，２Ｂをクリーニング対象部位である縁部の表裏両面
に押し付けることにより行っていた。
置について図面を参照して説明する。図５は従来のガラ
ス基板のクリーニング装置の部分断面図である。図５に
おいて、ガラス基板１は上下２枚のガラス板１Ａ，１Ｂ
より成り、ガラス板１Ａの縁部はガラス板１Ｂの外縁よ
り張り出しており、この縁部の表面にはサブ基板との接
続用の電極が形成されている。この電極部にサブ基板を
異方性導電材によって接合するに先立って、縁部のクリ
ーニングが行われる。このクリーニングは、クリーニン
グローラ２Ａ，２Ｂとガイドローラ３にクリーニング用
のワイパーテープ４を周回させ、クリーニングローラ２
Ａ，２Ｂの間に縁部を位置させてクリーニングローラ２
Ａ，２Ｂをクリーニング対象部位である縁部の表裏両面
に押し付けることにより行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】表面のクリーニング
は、縁部をクリーニングローラ２Ａ，２Ｂに対して相対
的にスライドさせることにより、ワイパーテープ４によ
ってガラス板１Ａの表裏面の付着物を拭き取るものであ
る。しかしながら従来のようにクリーニングローラを用
いる方法では、クリーニングローラの外周がＲ形状であ
ることから、ガラス板１Ｂの端面付近の段差部近傍には
ワイパーテープ４を押し付けることができず、この段差
近傍が充分にクリーニングされないままとなり、必要な
クリーニング品質を確保することができないという問題
点があった。
は、縁部をクリーニングローラ２Ａ，２Ｂに対して相対
的にスライドさせることにより、ワイパーテープ４によ
ってガラス板１Ａの表裏面の付着物を拭き取るものであ
る。しかしながら従来のようにクリーニングローラを用
いる方法では、クリーニングローラの外周がＲ形状であ
ることから、ガラス板１Ｂの端面付近の段差部近傍には
ワイパーテープ４を押し付けることができず、この段差
近傍が充分にクリーニングされないままとなり、必要な
クリーニング品質を確保することができないという問題
点があった。
【０００５】また、クリーニング対象部位であるガラス
板１Ａの縁部は、表裏によってクリーニング目的が異な
る。すなわち、ＡＣＦが貼付されるガラス板１Ａの上面
はＡＣＦの貼付性を向上させるために単なるゴミのみな
らず膜状に付着した有機付着物などを除去対象としたク
リーニングを行わなければならないのに対し、ガラス板
１Ａの裏面では、ＡＣＦが貼付されないことから異物除
去のみを行えばよい。しかしながら、従来のガラス基板
のクリーニング装置では、表裏それぞれの面に供給され
る洗浄剤が混ざり合う結果、洗浄性能の劣化などの不都
合が生じるという問題点もあった。
板１Ａの縁部は、表裏によってクリーニング目的が異な
る。すなわち、ＡＣＦが貼付されるガラス板１Ａの上面
はＡＣＦの貼付性を向上させるために単なるゴミのみな
らず膜状に付着した有機付着物などを除去対象としたク
リーニングを行わなければならないのに対し、ガラス板
１Ａの裏面では、ＡＣＦが貼付されないことから異物除
去のみを行えばよい。しかしながら、従来のガラス基板
のクリーニング装置では、表裏それぞれの面に供給され
る洗浄剤が混ざり合う結果、洗浄性能の劣化などの不都
合が生じるという問題点もあった。
【０００６】そこで本発明は、ガラス基板の表裏によっ
て異なる洗浄品質を確保することができるガラス基板の
クリーニング装置を提供することを目的とする。
て異なる洗浄品質を確保することができるガラス基板の
クリーニング装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のガラス基板のク
リーニング装置は、ガラス基板の縁部の表面付着物をワ
イパーテープによって除去するガラス基板のクリーニン
グ装置であって、前記ガラス基板の表裏両面にそれぞれ
個別のクリーニング手段が設けられており、前記クリー
ニング手段は、押し付け部材により前記ワイパーテープ
を前記縁部に押し付けるテープ押し付け手段と、このテ
ープ押し付け手段を前記ガラス基板に対して相対的に移
動させ位置決めする位置決め手段と、前記テープ押し付
け手段に対してワイパーテープを送給するテープ送給手
段と、前記押し付け部材に対して送給されたワイパーテ
ープをガイドして前記押し付け部材の前記縁部に対する
押し付け面に位置させるガイド手段とを備え、このガイ
ド手段に前記ワイパーテープの前記押し付け部材周縁で
の送給経路を変更する経路変更手段を設けた。
リーニング装置は、ガラス基板の縁部の表面付着物をワ
イパーテープによって除去するガラス基板のクリーニン
グ装置であって、前記ガラス基板の表裏両面にそれぞれ
個別のクリーニング手段が設けられており、前記クリー
ニング手段は、押し付け部材により前記ワイパーテープ
を前記縁部に押し付けるテープ押し付け手段と、このテ
ープ押し付け手段を前記ガラス基板に対して相対的に移
動させ位置決めする位置決め手段と、前記テープ押し付
け手段に対してワイパーテープを送給するテープ送給手
段と、前記押し付け部材に対して送給されたワイパーテ
ープをガイドして前記押し付け部材の前記縁部に対する
押し付け面に位置させるガイド手段とを備え、このガイ
ド手段に前記ワイパーテープの前記押し付け部材周縁で
の送給経路を変更する経路変更手段を設けた。
【０００８】本発明によれば、ガラス基板の表裏両面に
それぞれ個別のクリーニング手段を設けることにより洗
浄目的が異なる表裏両面を適切な洗浄品質で洗浄できる
と共に、押し付け部材に対して送給されたワイパーテー
プをガイドして前記押し付け部材の前記縁部に対する押
し付け面に位置させるガイド手段にワイパーテープの押
し付け部材周縁での送給経路を変更する経路変更手段を
設けることにより、テープ送給時のワイパーテープへの
ダメージを防止することができる。
それぞれ個別のクリーニング手段を設けることにより洗
浄目的が異なる表裏両面を適切な洗浄品質で洗浄できる
と共に、押し付け部材に対して送給されたワイパーテー
プをガイドして前記押し付け部材の前記縁部に対する押
し付け面に位置させるガイド手段にワイパーテープの押
し付け部材周縁での送給経路を変更する経路変更手段を
設けることにより、テープ送給時のワイパーテープへの
ダメージを防止することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のガラ
ス基板のクリーニング装置の側面図、図２は同ガラス基
板のクリーニング装置の部分平面図、図３（ａ），
（ｂ），（ｃ）、図４（ａ），（ｂ），（ｃ）は同ガラ
ス基板のクリーニング方法の工程説明図である。
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のガラ
ス基板のクリーニング装置の側面図、図２は同ガラス基
板のクリーニング装置の部分平面図、図３（ａ），
（ｂ），（ｃ）、図４（ａ），（ｂ），（ｃ）は同ガラ
ス基板のクリーニング方法の工程説明図である。
【００１０】まず図１、図２を参照してガラス基板のク
リーニング装置について説明する。図１において、上下
２枚のガラス板１Ａ，１Ｂより成るガラス基板１は保持
部６上に載置されている。ガラス板１Ａ，１Ｂの表面に
は保護膜５が形成されている。ガラス板１Ａの縁部はガ
ラス板１Ｂの縁部より張り出しており、ガラス板１Ａの
縁部の表面にはサブ基板との接続用の電極（図示せず）
が形成されている。
リーニング装置について説明する。図１において、上下
２枚のガラス板１Ａ，１Ｂより成るガラス基板１は保持
部６上に載置されている。ガラス板１Ａ，１Ｂの表面に
は保護膜５が形成されている。ガラス板１Ａの縁部はガ
ラス板１Ｂの縁部より張り出しており、ガラス板１Ａの
縁部の表面にはサブ基板との接続用の電極（図示せず）
が形成されている。
【００１１】この電極が形成された縁部は、サブ基板と
の接続に先立って表面付着物を除去するためのクリーニ
ングが行われるクリーニング対象部位となっている。ガ
ラス基板１を保持する保持部６は図示しない移動手段に
よって水平方向に移動し、これによりガラス基板１は所
定位置に位置決めされる。
の接続に先立って表面付着物を除去するためのクリーニ
ングが行われるクリーニング対象部位となっている。ガ
ラス基板１を保持する保持部６は図示しない移動手段に
よって水平方向に移動し、これによりガラス基板１は所
定位置に位置決めされる。
【００１２】ガラス基板１の上面の側方および下面の側
方には、それぞれクリーニングユニット１０Ａ，１０Ｂ
が個別に配設されている。クリーニングユニット１０
Ａ，１０Ｂは同一の機構を有しており、ガラス基板１が
位置する平面に対して上下対称に配置されている。以
下、クリーニングユニット１０Ａ，１０Ｂの構造につい
て説明する。なお、ここではクリーニングユニット１０
Ａについてのみ説明し、１０Ｂについては同一構造であ
ることから説明を省略する。
方には、それぞれクリーニングユニット１０Ａ，１０Ｂ
が個別に配設されている。クリーニングユニット１０
Ａ，１０Ｂは同一の機構を有しており、ガラス基板１が
位置する平面に対して上下対称に配置されている。以
下、クリーニングユニット１０Ａ，１０Ｂの構造につい
て説明する。なお、ここではクリーニングユニット１０
Ａについてのみ説明し、１０Ｂについては同一構造であ
ることから説明を省略する。
【００１３】クリーニングユニット１０Ａは、図示しな
い上下動作手段によって上下動作を行う押し付け部材１
１を備えている。押し付け部材１１の下面は水平な押し
付け面１１ａとなっており、押し付け面１１ａにワイパ
ーテープ４を沿わせた状態で押し付け面１１ａをガラス
板１Ａの縁部に押し付けることにより、ワイパーテープ
４をクリーニング対象部位であるガラス板１Ａに押し付
ける。押し付け面１１ａの先端は、エッジ形状の突部１
１ｂとなっている。
い上下動作手段によって上下動作を行う押し付け部材１
１を備えている。押し付け部材１１の下面は水平な押し
付け面１１ａとなっており、押し付け面１１ａにワイパ
ーテープ４を沿わせた状態で押し付け面１１ａをガラス
板１Ａの縁部に押し付けることにより、ワイパーテープ
４をクリーニング対象部位であるガラス板１Ａに押し付
ける。押し付け面１１ａの先端は、エッジ形状の突部１
１ｂとなっている。
【００１４】押し付け部材１１には、上方に配設された
テープ送給手段であるワイパーテープの供給リール１３
より、ガイドローラ１４を介してワイパーテープ４が送
給される。押し付け部材１１はワイパーテープ４をガラ
ス板１Ａの縁部に押し付ける押し付け手段となってい
る。ガイドローラ１４は、押し付け部材１１に送給され
たワイパーテープ４をガイドして押し付け面１１ａに位
置させるガイド手段となっている。
テープ送給手段であるワイパーテープの供給リール１３
より、ガイドローラ１４を介してワイパーテープ４が送
給される。押し付け部材１１はワイパーテープ４をガラ
ス板１Ａの縁部に押し付ける押し付け手段となってい
る。ガイドローラ１４は、押し付け部材１１に送給され
たワイパーテープ４をガイドして押し付け面１１ａに位
置させるガイド手段となっている。
【００１５】押し付け部材１１に送給されたワイパーテ
ープ４は、押し付け部材１１の突部１１ｂを周回して押
し付け面１１ａの下面に送られる。そしてガイドローラ
１５を介して回収リール１６に回収される。押し付け部
材１１の上方には洗浄剤の吐出ヘッド１７が配設されて
おり、吐出ヘッド１７のノズル１７ａからは洗浄用の液
体がワイパーテープ４に対して供給される。
ープ４は、押し付け部材１１の突部１１ｂを周回して押
し付け面１１ａの下面に送られる。そしてガイドローラ
１５を介して回収リール１６に回収される。押し付け部
材１１の上方には洗浄剤の吐出ヘッド１７が配設されて
おり、吐出ヘッド１７のノズル１７ａからは洗浄用の液
体がワイパーテープ４に対して供給される。
【００１６】ここで、上下２つの吐出ヘッド１７にはそ
れぞれ異なる種類の洗浄用液体が供給される。本実施の
形態では、ガラス基板１Ａの上面側にはＡＣＦが貼付さ
れることから、上側の吐出ヘッド１７には単なる異物除
去以外にＡＣＦの貼付性を向上させるために必要な洗浄
力を備えた界面活性剤などの成分を含有する液体が供給
される。また、ガラス基板１Ａの下面側にはＡＣＦの貼
付が行われないことから、下側の吐出ヘッド１７には単
なる異物除去を目的としたアルコールなどの液体が供給
される。
れぞれ異なる種類の洗浄用液体が供給される。本実施の
形態では、ガラス基板１Ａの上面側にはＡＣＦが貼付さ
れることから、上側の吐出ヘッド１７には単なる異物除
去以外にＡＣＦの貼付性を向上させるために必要な洗浄
力を備えた界面活性剤などの成分を含有する液体が供給
される。また、ガラス基板１Ａの下面側にはＡＣＦの貼
付が行われないことから、下側の吐出ヘッド１７には単
なる異物除去を目的としたアルコールなどの液体が供給
される。
【００１７】図示しない移動手段を駆動することにより
ガラス基板１は水平移動し、クリーニング対象部位であ
るガラス板１Ａの縁部を、クリーニングユニット１０
Ａ，１０Ｂに備えられたの２つの押し付け部材１１の相
対する２つの押し付け面１１ａの間に位置決めすること
ができる。
ガラス基板１は水平移動し、クリーニング対象部位であ
るガラス板１Ａの縁部を、クリーニングユニット１０
Ａ，１０Ｂに備えられたの２つの押し付け部材１１の相
対する２つの押し付け面１１ａの間に位置決めすること
ができる。
【００１８】すなわち、図示しない移動手段および保持
テーブル６は、テープ押し付け手段である押し付け部材
１１をガラス板１Ａに対して相対的に位置決めする位置
決め手段となっている。この状態で図示しない上下動手
段を駆動することにより、上下２つの押し付け部材１１
は相互に閉動作を行い、押し付け面１１ａによってワイ
パーテープ４をガラス板１Ａの縁部の表裏両面に押し付
ける。
テーブル６は、テープ押し付け手段である押し付け部材
１１をガラス板１Ａに対して相対的に位置決めする位置
決め手段となっている。この状態で図示しない上下動手
段を駆動することにより、上下２つの押し付け部材１１
は相互に閉動作を行い、押し付け面１１ａによってワイ
パーテープ４をガラス板１Ａの縁部の表裏両面に押し付
ける。
【００１９】押し付け部材１１の上側（クリーニングユ
ニット１０Ｂにおいては下側）にはガイド１２が配設さ
れている。図２に示すようにガイド１２はシリンダ２１
のロッド２１ａに固着されたブロック２０に装着されて
いる。シリンダ２１のロッド２１ａを突没させることに
より、ガイド１２は上下２つの押し付け部材１１の上側
（または下側）で水平移動する。
ニット１０Ｂにおいては下側）にはガイド１２が配設さ
れている。図２に示すようにガイド１２はシリンダ２１
のロッド２１ａに固着されたブロック２０に装着されて
いる。シリンダ２１のロッド２１ａを突没させることに
より、ガイド１２は上下２つの押し付け部材１１の上側
（または下側）で水平移動する。
【００２０】ロッド２１ａが没入した状態では、図１に
示すようにガイド１２はワイパーテープ４の送給経路か
ら離れた位置にあり、送給されるワイパーテープ４はガ
イドローラ１４から押し付け部材１１に直接送給され
る。ロッド２１ａが突出した状態では、ガイド１２は押
し付け部材１１の先端部より前方（ガラス基板１側）に
位置する。この状態でワイパーテープ４を送給すると、
ワイパーテープ４が押し付け部材１１に送給される際の
送給経路はガイド１２によって変更される。従って、ガ
イド１２およびガイド１２を進退させるシリンダ２１
は、ワイヤテープ４の送給経路を変更する経路変更手段
となっている。
示すようにガイド１２はワイパーテープ４の送給経路か
ら離れた位置にあり、送給されるワイパーテープ４はガ
イドローラ１４から押し付け部材１１に直接送給され
る。ロッド２１ａが突出した状態では、ガイド１２は押
し付け部材１１の先端部より前方（ガラス基板１側）に
位置する。この状態でワイパーテープ４を送給すると、
ワイパーテープ４が押し付け部材１１に送給される際の
送給経路はガイド１２によって変更される。従って、ガ
イド１２およびガイド１２を進退させるシリンダ２１
は、ワイヤテープ４の送給経路を変更する経路変更手段
となっている。
【００２１】このガラス基板のクリーニング装置は上記
の様に構成され、以下動作について図３、図４を参照し
て説明する。まず図３（ａ）において、保持部６上にガ
ラス基板１を載置する。このとき、クリーニングユニッ
ト１０Ａ，１０Ｂの押し付け部材１１に沿ってワイパー
テープ４が送給されている。
の様に構成され、以下動作について図３、図４を参照し
て説明する。まず図３（ａ）において、保持部６上にガ
ラス基板１を載置する。このとき、クリーニングユニッ
ト１０Ａ，１０Ｂの押し付け部材１１に沿ってワイパー
テープ４が送給されている。
【００２２】次いで図３（ｂ）に示すように、移動手段
（図外）を駆動して保持部６上のガラス基板１を移動さ
せ、クリーニング対象部位であるガラス板１Ａの縁部を
上下２つの押し付け部材１１の間に位置決めする。そし
て図示しない上下動手段を駆動することにより、図３
（ｃ）に示すように押し付け部材１１によってワイパー
テープ４をガラス板１Ａの縁部の表裏両面に押し付け
る。
（図外）を駆動して保持部６上のガラス基板１を移動さ
せ、クリーニング対象部位であるガラス板１Ａの縁部を
上下２つの押し付け部材１１の間に位置決めする。そし
て図示しない上下動手段を駆動することにより、図３
（ｃ）に示すように押し付け部材１１によってワイパー
テープ４をガラス板１Ａの縁部の表裏両面に押し付け
る。
【００２３】この状態でガラス基板１を水平移動させる
ことにより、ガラス板１Ａの縁部の表面付着物はワイパ
ーテープ４によって除去され、クリーニングが行われ
る。このとき、押し付け部材１１の押し付け面１１ａの
先端はエッジ形状の突部１１ｂとなっているため、ガラ
ス板１Ａ上のガラス板１Ｂとの段差部までワイパーテー
プ４を押し当てることができ、従来のローラを用いてワ
イパーテープを押し付ける方法と比較して、未クリーニ
ング部分を生じることなく良好なクリーニングを行うこ
とができる。
ことにより、ガラス板１Ａの縁部の表面付着物はワイパ
ーテープ４によって除去され、クリーニングが行われ
る。このとき、押し付け部材１１の押し付け面１１ａの
先端はエッジ形状の突部１１ｂとなっているため、ガラ
ス板１Ａ上のガラス板１Ｂとの段差部までワイパーテー
プ４を押し当てることができ、従来のローラを用いてワ
イパーテープを押し付ける方法と比較して、未クリーニ
ング部分を生じることなく良好なクリーニングを行うこ
とができる。
【００２４】このクリーニングにおいて、縁部の上下両
面にはそれぞれ洗浄目的に合致した異なる種類の洗浄剤
が供給される。この洗浄剤の供給において、２つの吐出
ヘッド１７が上下両面に完全に分離して設けられている
ことから異種洗浄剤が混ざり合うことがなく、従って異
種洗浄剤の混合による洗浄性能の劣化が生じない。
面にはそれぞれ洗浄目的に合致した異なる種類の洗浄剤
が供給される。この洗浄剤の供給において、２つの吐出
ヘッド１７が上下両面に完全に分離して設けられている
ことから異種洗浄剤が混ざり合うことがなく、従って異
種洗浄剤の混合による洗浄性能の劣化が生じない。
【００２５】この後、当該部分のクリーニングが完了す
ると、図４（ａ）に示すように押し付け部材１１を上下
に移動させてワイパーテープ４の押し当て状態を解除す
る。次いで、図４（ｂ）に示すようにガラス基板１を移
動させてガラス基板１Ａを押し付け部材１１の外部に位
置させるとともに、シリンダ２１のロッド２１ａ（図
２）を突出させる。この結果、図４（ｃ）に示すように
ガイド１２は押し付け部材１１の前方に位置する。そし
てこの状態で回収リール１６を駆動してワイパーテープ
４を所定ピッチだけ巻き取る。これにより前述のクリー
ニング動作によって汚れたワイパーテープ４が回収され
るとともに、新しい未使用のワイパーテープ４が送給さ
れる。
ると、図４（ａ）に示すように押し付け部材１１を上下
に移動させてワイパーテープ４の押し当て状態を解除す
る。次いで、図４（ｂ）に示すようにガラス基板１を移
動させてガラス基板１Ａを押し付け部材１１の外部に位
置させるとともに、シリンダ２１のロッド２１ａ（図
２）を突出させる。この結果、図４（ｃ）に示すように
ガイド１２は押し付け部材１１の前方に位置する。そし
てこの状態で回収リール１６を駆動してワイパーテープ
４を所定ピッチだけ巻き取る。これにより前述のクリー
ニング動作によって汚れたワイパーテープ４が回収され
るとともに、新しい未使用のワイパーテープ４が送給さ
れる。
【００２６】このワイパーテープ４の送給動作におい
て、ワイパーテープ４は送給経路が変更されガイド１２
を周回して送られるため、ワイパーテープ４が押し付け
部材１１の先端の突部１１ｂを周回する際に鋭角状に屈
曲させる必要がない。したがって先端部の突部１１ｂを
鋭角的に屈曲して周回する場合に生じるワイパーテープ
４への損傷が発生することなく、常に安定してワイパー
テープ４を送給することができる。
て、ワイパーテープ４は送給経路が変更されガイド１２
を周回して送られるため、ワイパーテープ４が押し付け
部材１１の先端の突部１１ｂを周回する際に鋭角状に屈
曲させる必要がない。したがって先端部の突部１１ｂを
鋭角的に屈曲して周回する場合に生じるワイパーテープ
４への損傷が発生することなく、常に安定してワイパー
テープ４を送給することができる。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、ガラス基板の表裏両面
にそれぞれ個別のクリーニング手段を設けることにより
洗浄目的が異なる表裏両面を適切な洗浄品質で洗浄でき
ると共に、押し付け部材に対して送給されたワイパーテ
ープをガイドして前記押し付け部材の前記縁部に対する
押し付け面に位置させるガイド手段に、ワイパーテープ
の押し付け部材周縁での送給経路を変更する経路変更手
段を設けたので、テープ送給時のワイパーテープへのダ
メージを防止することができる。
にそれぞれ個別のクリーニング手段を設けることにより
洗浄目的が異なる表裏両面を適切な洗浄品質で洗浄でき
ると共に、押し付け部材に対して送給されたワイパーテ
ープをガイドして前記押し付け部材の前記縁部に対する
押し付け面に位置させるガイド手段に、ワイパーテープ
の押し付け部材周縁での送給経路を変更する経路変更手
段を設けたので、テープ送給時のワイパーテープへのダ
メージを防止することができる。
【図１】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニ
ング装置の側面図
ング装置の側面図
【図２】本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニ
ング装置の部分平面図
ング装置の部分平面図
【図３】（ａ）本発明の一実施の形態のガラス基板のク
リーニング方法の工程説明図 （ｂ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図 （ｃ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図
リーニング方法の工程説明図 （ｂ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図 （ｃ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図
【図４】（ａ）本発明の一実施の形態のガラス基板のク
リーニング方法の工程説明図 （ｂ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図 （ｃ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図
リーニング方法の工程説明図 （ｂ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図 （ｃ）本発明の一実施の形態のガラス基板のクリーニン
グ方法の工程説明図
【図５】従来のガラス基板のクリーニング装置の部分断
面図
面図
１ ガラス基板 ４ ワイパーテープ １０Ａ，１０Ｂ クリーニングユニット １１ 押し付け部材 １２ ガイド １３ 供給リール １４，１５ ガイドローラ １６ 回収リール ２１ シリンダ
Claims (1)
- 【請求項１】ガラス基板の縁部の表面付着物をワイパー
テープによって除去するガラス基板のクリーニング装置
であって、前記ガラス基板の表裏両面にそれぞれ個別の
クリーニング手段が設けられており、前記クリーニング
手段は、押し付け部材により前記ワイパーテープを前記
縁部に押し付けるテープ押し付け手段と、このテープ押
し付け手段を前記ガラス基板に対して相対的に移動させ
位置決めする位置決め手段と、前記テープ押し付け手段
に対してワイパーテープを送給するテープ送給手段と、
前記押し付け部材に対して送給されたワイパーテープを
ガイドして前記押し付け部材の前記縁部に対する押し付
け面に位置させるガイド手段とを備え、このガイド手段
に前記ワイパーテープの前記押し付け部材周縁での送給
経路を変更する経路変更手段を設けたことを特徴とする
ガラス基板のクリーニング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35543099A JP2001170593A (ja) | 1999-12-15 | 1999-12-15 | ガラス基板のクリーニング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35543099A JP2001170593A (ja) | 1999-12-15 | 1999-12-15 | ガラス基板のクリーニング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001170593A true JP2001170593A (ja) | 2001-06-26 |
Family
ID=18443915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35543099A Pending JP2001170593A (ja) | 1999-12-15 | 1999-12-15 | ガラス基板のクリーニング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001170593A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007065303A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板端子洗浄装置 |
| WO2010050217A1 (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | パナソニック株式会社 | 基板洗浄装置及びその方法 |
| JP2011115676A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-16 | Panasonic Corp | 基板洗浄装置 |
| JP2011224438A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Panasonic Corp | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
| CN105057236A (zh) * | 2015-08-13 | 2015-11-18 | 枞阳县金源汽车零部件有限公司 | 一种汽车刹车盘油污清理装置 |
| CN105327921A (zh) * | 2015-09-25 | 2016-02-17 | 重庆江北区长安产业有限公司 | 用于汽车仪表盘上平板玻璃的擦拭装置的除尘结构 |
| CN105478381A (zh) * | 2014-10-07 | 2016-04-13 | 发那科株式会社 | 清扫装置以及包括清扫装置的清扫系统 |
| CN106824956A (zh) * | 2015-12-05 | 2017-06-13 | 深圳聚顶科技有限公司 | 玻璃镀膜擦拭设备 |
| CN107030077A (zh) * | 2016-11-16 | 2017-08-11 | 深圳聚顶科技有限公司 | 改进型玻璃镀膜擦拭设备 |
| CN109529956A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-03-29 | 苏州安泰空气技术有限公司 | 一种带有可全幅清洁移动窗结构的洁净设备 |
| CN113333373A (zh) * | 2021-05-26 | 2021-09-03 | Tcl华星光电技术有限公司 | 清洁装置及显示面板的制备方法 |
-
1999
- 1999-12-15 JP JP35543099A patent/JP2001170593A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007065303A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板端子洗浄装置 |
| JPWO2010050217A1 (ja) * | 2008-10-31 | 2012-03-29 | パナソニック株式会社 | 基板洗浄装置及びその方法 |
| WO2010050217A1 (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | パナソニック株式会社 | 基板洗浄装置及びその方法 |
| JP4545829B2 (ja) * | 2008-10-31 | 2010-09-15 | パナソニック株式会社 | 基板洗浄装置及びその方法 |
| US8025737B2 (en) | 2008-10-31 | 2011-09-27 | Panasonic Corporation | Substrate cleaning apparatus and method employed therein |
| JP2011115676A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-16 | Panasonic Corp | 基板洗浄装置 |
| JP2011224438A (ja) * | 2010-04-16 | 2011-11-10 | Panasonic Corp | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
| CN105478381A (zh) * | 2014-10-07 | 2016-04-13 | 发那科株式会社 | 清扫装置以及包括清扫装置的清扫系统 |
| CN105478381B (zh) * | 2014-10-07 | 2017-08-29 | 发那科株式会社 | 清扫装置以及包括清扫装置的清扫系统 |
| CN105057236A (zh) * | 2015-08-13 | 2015-11-18 | 枞阳县金源汽车零部件有限公司 | 一种汽车刹车盘油污清理装置 |
| CN105327921A (zh) * | 2015-09-25 | 2016-02-17 | 重庆江北区长安产业有限公司 | 用于汽车仪表盘上平板玻璃的擦拭装置的除尘结构 |
| CN106824956A (zh) * | 2015-12-05 | 2017-06-13 | 深圳聚顶科技有限公司 | 玻璃镀膜擦拭设备 |
| CN107030077A (zh) * | 2016-11-16 | 2017-08-11 | 深圳聚顶科技有限公司 | 改进型玻璃镀膜擦拭设备 |
| CN109529956A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-03-29 | 苏州安泰空气技术有限公司 | 一种带有可全幅清洁移动窗结构的洁净设备 |
| CN113333373A (zh) * | 2021-05-26 | 2021-09-03 | Tcl华星光电技术有限公司 | 清洁装置及显示面板的制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4644202B2 (ja) | 基板端子クリーニング装置及び基板端子のクリーニング方法 | |
| JP2001170593A (ja) | ガラス基板のクリーニング装置 | |
| JP4289102B2 (ja) | 組立装置および組立方法ならびに端子洗浄装置 | |
| CN104487252A (zh) | 模板擦拭器污渍清洁器组件及其相关方法 | |
| JP4650058B2 (ja) | 異物除去装置、電気光学装置の製造方法 | |
| EP1393905A1 (en) | Cleaning apparatus of screen mask | |
| KR100839781B1 (ko) | 도포용 다이의 청소 장치 | |
| JP4636297B2 (ja) | スクリーン印刷機のスクリーン版クリーニング装置 | |
| WO2006064596A1 (ja) | 基板の清掃装置及び清掃方法 | |
| JP3503512B2 (ja) | ガラス基板のクリーニング装置およびクリーニング方法 | |
| JP3324281B2 (ja) | 清浄装置 | |
| JPH07241977A (ja) | スクリーン印刷機 | |
| JP4324770B2 (ja) | 基板クリーニング装置及びクリーニング方法 | |
| JP5122233B2 (ja) | 基板の清掃装置及び清掃方法 | |
| JPH11198354A (ja) | スクリーン印刷用マスクのマスク清掃装置およびそれを備えたスクリーン印刷装置 | |
| CN112547598B (zh) | 一种清洁装置及清洁方法 | |
| JP2009148946A (ja) | スクリーン印刷装置 | |
| JP2003266647A (ja) | スクリーン製版清掃装置 | |
| JP2006293047A (ja) | 表示装置の保持方法、搬送方法および洗浄方法並びに洗浄装置 | |
| CN113369180A (zh) | 叶片清洁装置及显示装置的制造装置 | |
| JP3564491B2 (ja) | 液晶セルのクリーニング装置及びクリーニング方法 | |
| JP2004314004A (ja) | 接着剤塗布装置 | |
| JP2000106479A (ja) | 回路基板の再生装置 | |
| KR100970396B1 (ko) | 편광필름부착장치 | |
| JP2011167621A (ja) | 基板洗浄装置、および、基板洗浄方法 |