JP4545829B2 - 基板洗浄装置及びその方法 - Google Patents
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Description
基板の側縁部の表側に位置する第1の洗浄面と裏側に位置する第2の洗浄面とを、第1の払拭面と第2の払拭面とを備えた布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、
洗浄テープを第1の洗浄面に押し付ける第1の押圧部材と、
洗浄テープを第2の洗浄面に押し付ける第2の押圧部材と、
第1の押圧部材と第1の洗浄面との間と第2の押圧部材と第2の洗浄面との間とを通過する、洗浄テープのテープ経路を形成するテープ経路形成部材と、
テープ経路に洗浄テープを供給するテープ供給装置と、
テープ経路から洗浄テープを回収するテープ回収装置と、
洗浄テープを駆動するテープ駆動装置と、
洗浄テープに洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出装置と、
洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させる移動装置とを有し、
テープ経路が、
洗浄テープを、第1の払拭面が第1の洗浄面に対向した状態で、第1の押圧部材と第1の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過させる第1の経路と、
第1の経路を通過した後の洗浄テープを、第2の払拭面が基板の裏側に対向するようにループさせる第2の経路と、
第2の経路を通過した後の洗浄テープを、第1の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、第2の払拭面が第2の洗浄面に対向した状態で、第2の押圧部材と第2の洗浄面との間を通過させる第3の経路とを含んでいる、基板洗浄装置を提供する。
基板の側縁部の表側に位置する第1の洗浄面と裏側に位置する第2の洗浄面とを、第1の払拭面と第2の払拭面とを備えた布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、
洗浄テープを第1の洗浄面に押し付ける第1の押圧部材と、
洗浄テープを第2の洗浄面に押し付ける第2の押圧部材と、
第1の押圧部材と第1の洗浄面との間と第2の押圧部材と第2の洗浄面との間とを通過する、洗浄テープのテープ経路を形成するテープ経路形成部材と、
テープ経路に洗浄テープを供給するテープ供給装置と、
テープ経路から洗浄テープを回収するテープ回収装置と、
洗浄テープを駆動するテープ駆動装置と、
洗浄テープに洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出装置と、
洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させる移動装置とを有し、
テープ経路が、
洗浄テープを、第1の払拭面が第1の洗浄面に対向した状態で、第1の押圧部材と第1の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過させる第1の経路と、
第1の経路を通過した後の洗浄テープを、第2の払拭面が基板の裏側に対向するようにループさせる第2の経路と、
第2の経路を通過した後の洗浄テープを、第2の払拭面が第2の洗浄面に対向した状態で、第2の押圧部材と第2の洗浄面との間を通過させる第3の経路とを含み、
テープ供給装置が、洗浄テープを巻回した供給リールを有し、
テープ回収装置が、洗浄テープを巻き取って回収する回収リールを有し、
供給リールと回収リールとが並列する、基板洗浄装置を提供する。
第3の経路が、テープ経路形成部材により、第1の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、洗浄テープが通過するように形成されている、第2の態様に記載の基板洗浄装置を提供する。
テープ経路形成部材が、第3の経路から第2の経路の洗浄テープ幅方向の横を通過することにより該第2の経路を迂回してテープ回収装置に至る第4の経路を含むテープ経路を形成する、または、テープ供給装置から第2の経路の洗浄テープ幅方向の横を通過することにより該第2の経路を迂回して第1の経路に至る第5の経路を含むテープ経路を形成する、第1の態様から第3の態様のいずれか1つに記載の基板洗浄装置を提供する。
テープ供給装置、第1および第2の押圧部材、およびテープ経路形成部材を少なくとも含み、基板洗浄装置の本体に着脱可能に装着される洗浄ユニットを有し、
テープ供給装置を駆動する駆動装置と、第1および第2の押圧部材を駆動する駆動装置とを基板洗浄装置の本体に有する、第1の態様から第3の態様のいずれか1つに記載の基板洗浄装置を提供する。
第2の経路が、テープ経路形成部材により、洗浄テープをテープ供給装置の周囲に沿ってループさせるように形成されている、第1の態様から第3の態様のいずれか1つに記載の基板洗浄装置を提供する。
第1の経路が、テープ経路形成部材により、第1の押圧部材と第1の洗浄面との間をテープ供給装置から離れる方向に洗浄テープが通過するように形成され、
第2の経路が、テープ経路形成部材により、第1の経路を通過した洗浄テープをテープ供給装置の周囲に沿ってループさせるように形成され、
第3の経路が、テープ経路形成部材により、第1の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、洗浄テープが通過するように形成されている、第1の態様から第3の態様のいずれか1つに記載の基板洗浄装置を提供する。
テープ駆動装置による洗浄テープの送り量を制御する制御装置と、
第1の押圧部材と第1の洗浄面との間を通過した後の洗浄テープの第2の払拭面の汚れを検出する汚れ検出装置とを有し、
制御装置が、汚れ検出装置によって規定以上の汚れが検出された第2の払拭面の部分が第2の押圧部材と第2の洗浄面との間をスキップするように、洗浄テープの送り量を制御する、第1の態様から第3の態様のいずれか1つに記載の基板洗浄装置を提供する。
制御装置によるスキップの実行頻度が規定の頻度以上になると、警告を通知する、第8の態様に記載の基板洗浄装置を提供する。
基板の側縁部の表側に位置する第1の洗浄面と裏側に位置する第2の洗浄面とを、第1の払拭面と第2の払拭面とを備えて洗浄剤が含浸された布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄方法であって、
第1の押圧部材によって洗浄テープを第1の洗浄面に押し付けた状態、且つ第2の押圧部材によって洗浄テープを第2の洗浄面に押し付けた状態を維持しつつ、洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させることによって第1および第2の洗浄面を洗浄し、
洗浄テープを、
第1の払拭面が基板の第1の洗浄面に対向した状態で、第1の押圧部材と第1の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過し、
次に第2の払拭面が基板の裏側に対向するようにループし、
続いて第1の押圧部材と第1の洗浄面との間における洗浄テープの通過方向と同一方向に、第2の払拭面が第2の洗浄面に対向した状態で、第2の押圧部材と第2の洗浄面との間を通過するように駆動する、基板洗浄方法を提供する。
まず、本発明の第1の実施形態に係る基板洗浄装置を、図1〜図8を参照しながら説明する。図1に示す基板洗浄装置は、基板1を基板洗浄装置に搬入する基板搬送装置2と、基板搬送装置2から受け取った基板1を移動させる基板移動装置3と、基板1の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面(洗浄される必要がある面)1a,1b(図4、図5参照)を洗浄する洗浄機構4とを有する。これらは、基台5上に配設されている。なお、洗浄が完了した基板1は、ACF貼付装置(図示せず)に設けられた、基板搬送装置2と類似する基板搬送装置(図示せず)により、基板洗浄装置から搬出され、該ACF貼付装置に搬入される。
次に、本発明の第2の実施形態に係る基板洗浄装置を、図10を参照しながら説明する。
本発明の第3の実施形態に係る基板洗浄装置を、図11を参照しながら説明する。
本発明の第4の実施形態に係る基板洗浄装置を、図12を参照しながら説明する。なお、本実施形態は、第3の実施形態と類似する。
Claims (10)
- 基板の側縁部の表側に位置する第1の洗浄面と裏側に位置する第2の洗浄面とを、第1の払拭面と第2の払拭面とを備えた布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、
洗浄テープを第1の洗浄面に押し付ける第1の押圧部材と、
洗浄テープを第2の洗浄面に押し付ける第2の押圧部材と、
第1の押圧部材と第1の洗浄面との間と第2の押圧部材と第2の洗浄面との間とを通過する、洗浄テープのテープ経路を形成するテープ経路形成部材と、
テープ経路に洗浄テープを供給するテープ供給装置と、
テープ経路から洗浄テープを回収するテープ回収装置と、
洗浄テープを駆動するテープ駆動装置と、
洗浄テープに洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出装置と、
洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させる移動装置とを有し、
テープ経路が、
洗浄テープを、第1の払拭面が第1の洗浄面に対向した状態で、第1の押圧部材と第1の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過させる第1の経路と、
第1の経路を通過した後の洗浄テープを、第2の払拭面が基板の裏側に対向するようにループさせる第2の経路と、
第2の経路を通過した後の洗浄テープを、第1の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、第2の払拭面が第2の洗浄面に対向した状態で、第2の押圧部材と第2の洗浄面との間を通過させる第3の経路とを含む基板洗浄装置。 - 基板の側縁部の表側に位置する第1の洗浄面と裏側に位置する第2の洗浄面とを、第1の払拭面と第2の払拭面とを備えた布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、
洗浄テープを第1の洗浄面に押し付ける第1の押圧部材と、
洗浄テープを第2の洗浄面に押し付ける第2の押圧部材と、
第1の押圧部材と第1の洗浄面との間と第2の押圧部材と第2の洗浄面との間とを通過する、洗浄テープのテープ経路を形成するテープ経路形成部材と、
テープ経路に洗浄テープを供給するテープ供給装置と、
テープ経路から洗浄テープを回収するテープ回収装置と、
洗浄テープを駆動するテープ駆動装置と、
洗浄テープに洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出装置と、
洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させる移動装置とを有し、
テープ経路が、
洗浄テープを、第1の払拭面が第1の洗浄面に対向した状態で、第1の押圧部材と第1の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過させる第1の経路と、
第1の経路を通過した後の洗浄テープを、第2の払拭面が基板の裏側に対向するようにループさせる第2の経路と、
第2の経路を通過した後の洗浄テープを、第2の払拭面が第2の洗浄面に対向した状態で、第2の押圧部材と第2の洗浄面との間を通過させる第3の経路とを含み、
テープ供給装置が、洗浄テープを巻回した供給リールを有し、
テープ回収装置が、洗浄テープを巻き取って回収する回収リールを有し、
供給リールと回収リールとが並列する基板洗浄装置。 - 第3の経路が、テープ経路形成部材により、第1の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、洗浄テープが通過するように形成されている請求項2に記載の基板洗浄装置。
- テープ経路形成部材が、第3の経路から第2の経路の洗浄テープ幅方向の横を通過することにより該第2の経路を迂回してテープ回収装置に至る第4の経路を含むテープ経路を形成する、または、テープ供給装置から第2の経路の洗浄テープ幅方向の横を通過することにより該第2の経路を迂回して第1の経路に至る第5の経路を含むテープ経路を形成する請求項1から3のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
- テープ供給装置、第1および第2の押圧部材、およびテープ経路形成部材を少なくとも含み、基板洗浄装置の本体に着脱可能に装着される洗浄ユニットを有し、
テープ供給装置を駆動する駆動装置と、第1および第2の押圧部材を駆動する駆動装置とを基板洗浄装置の本体に有する請求項1から3のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。 - 第2の経路が、テープ経路形成部材により、洗浄テープをテープ供給装置の周囲に沿ってループさせるように形成されている請求項1から3のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。
- 第1の経路が、テープ経路形成部材により、第1の押圧部材と第1の洗浄面との間をテープ供給装置から離れる方向に洗浄テープが通過するように形成され、
第2の経路が、テープ経路形成部材により、第1の経路を通過した洗浄テープをテープ供給装置の周囲に沿ってループさせるように形成され、
第3の経路が、テープ経路形成部材により、第1の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、洗浄テープが通過するように形成されている請求項1から3のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。 - テープ駆動装置による洗浄テープの送り量を制御する制御装置と、
第1の押圧部材と第1の洗浄面との間を通過した後の洗浄テープの第2の払拭面の汚れを検出する汚れ検出装置とを有し、
制御装置が、汚れ検出装置によって規定以上の汚れが検出された第2の払拭面の部分が第2の押圧部材と第2の洗浄面との間をスキップするように、洗浄テープの送り量を制御する請求項1から3のいずれか1項に記載の基板洗浄装置。 - 制御装置によるスキップの実行頻度が規定の頻度以上になると、警告を通知する請求項8に記載の基板洗浄装置。
- 基板の側縁部の表側に位置する第1の洗浄面と裏側に位置する第2の洗浄面とを、第1の払拭面と第2の払拭面とを備えて洗浄剤が含浸された布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄方法であって、
第1の押圧部材によって洗浄テープを第1の洗浄面に押し付けた状態、且つ第2の押圧部材によって洗浄テープを第2の洗浄面に押し付けた状態を維持しつつ、洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させることによって第1および第2の洗浄面を洗浄し、
洗浄テープを、
第1の払拭面が基板の第1の洗浄面に対向した状態で、第1の押圧部材と第1の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過し、
次に第2の払拭面が基板の裏側に対向するようにループし、
続いて第1の押圧部材と第1の洗浄面との間における洗浄テープの通過方向と同一方向に、第2の払拭面が第2の洗浄面に対向した状態で、第2の押圧部材と第2の洗浄面との間を通過するように駆動する基板洗浄方法。
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