JPWO2010050217A1 - 基板洗浄装置及びその方法 - Google Patents

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Abstract

基板（１）の側縁部の表側の洗浄面（１ａ）と裏側の洗浄面（１ｂ）とを、洗浄テープ（１２）の払拭面（１２ａ，１２ｂ）によって洗浄する基板洗浄装置であって、洗浄テープ（１２）を洗浄面（１ａ）に押し付ける押圧部材（１１ａ）と、洗浄テープ（１２）を洗浄面（１ｂ）に押し付ける押圧部材（１１ｂ）と、押圧部材（１１ａ）と洗浄面（１ａ）との間と押圧部材（１１ｂ）と洗浄面（１ｂ）との間とを通過するテープ経路と、洗浄テープ（１２）と基板（１）とを側縁部の長手方向に相対的に移動させる移動装置とを有する。テープ経路が、洗浄テープ（１２）を、払拭面（１２ａ）が洗浄面（１ａ）に対向した状態で押圧部材（１１ａ）と洗浄面（１ａ）との間を基板（１）の側縁部の長手方向と直交する方向に通過させ、次に払拭面（１２ｂ）が基板（１）の裏側に対向するようにループさせ、続いて押圧部材（１１ａ）と洗浄面（１ａ）との間における通過方向と同一方向に払拭面（１２ｂ）が洗浄面（１ｂ）に対向した状態で押圧部材（１１ｂ）と洗浄面（１ｂ）との間を通過させる。

Description

本発明は、例えば液晶ディスプレイ装置およびプラズマディスプレイ装置に使用されるガラス基板などの基板の側縁部の表側および裏側にそれぞれ位置する洗浄面を洗浄する基板洗浄装置及びその方法に関する。
従来より、ガラス基板の製造において、図１３に示すように、ガラス基板５１の側縁部に形成された複数の電極５２に各種部品５４が実装されることがある。まず、図１３（ａ）に示すように、電極５２が配置されているガラス基板５１の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面（洗浄される必要がある面）が洗浄される。次に、図１３（ｂ）に示すように、電極５２上に異方性導電膜（ＡＣＦ）５３が貼り付けられる。そして、図１３（ｃ）に示すように、異方性導電膜５３を介して電極５２に部品５４が熱圧着される。
基板の側縁部の洗浄面を洗浄する基板洗浄装置が、特許文献１に開示されている。この開示されている基板洗浄装置は、押圧部材によって布製の洗浄テープを基板の側縁部に押し付けた状態で、基板をその側縁部の長手方向に移動させる。これにより、基板の側縁部の洗浄面が洗浄テープによって洗浄される。
この開示されている基板洗浄装置の構成を、図１４を参照しながら説明する。この基板洗浄装置は、基板６１を移動させる基板移動装置６２と、基板６１の洗浄を行う洗浄装置６３とを有する。基板移動装置６２は、基板６１の中央部分を下から支持している。また、基板移動装置６２は、基板６１を、その側縁部の長手方向に移動させるように構成されている。基板６１は、基板移動装置６２により、洗浄装置６３の洗浄部６４に対し、その基板６１の側縁部の長手方向と直交する方向に位置決めされている。洗浄装置６３は、その洗浄部６４に、基板６１の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ配置される押圧部材６５ａ，６５ｂを有する。これらの押圧部材６５ａ，６５ｂは、基板６１の側縁部の表側と裏側とに洗浄テープ６６を押し付けるように構成されている。洗浄テープ６６は、基板６１の側縁部の洗浄前に、供給リール６７ａ（６７ｂ）から、ガイドローラ６８によってガイドされ、押圧部材６５ａ（６５ｂ）と基板６１の側縁部との間に向かって所定の送り量移動される。洗浄テープ６６が移動する前に、洗浄剤が、洗浄テープ６６の移動によって押圧部材６５ａ（６５ｂ）と基板６１の側縁部との間に移動される洗浄テープ６６の部分に吐出される。洗浄を完了した洗浄テープ６６の部分は、ガイドローラ６８によってガイドされ、最終的には回収ローラ６９ａ（６９ｂ）に巻き取られる。さらに、基板洗浄装置は、センサ７０が検出する洗浄テープ６６の表面の色に基づいて、洗浄テープ６６に適正量の洗浄剤が吐出されたことを確認するように構成されている。
ところが、この基板洗浄装置は、基板６１の側縁部の表側と裏側それぞれの洗浄面に対し、１つずつ洗浄テープ６６を使用する。そのため、洗浄テープのテープ経路が２つ設けられ、基板洗浄装置が大型化する。また、洗浄テープ６６の一方の払拭面しか洗浄に使用されない。そのために、基板の側縁部の洗浄コストが高い。
この問題を解決することができる基板洗浄装置が、特許文献２に開示されている。この基板洗浄装置は、洗浄テープの一方の払拭面によって基板の側縁部の表側の洗浄面を洗浄し、他方の払拭面によって該側縁部の裏側の洗浄面を洗浄するように構成されている。これを可能とするために、表側の洗浄面から裏側の洗浄面に至る途中において、洗浄テープが１８０度捻られている。
これとは別に、洗浄テープを１８０度捻る基板洗浄装置が、特許文献３に開示されている。この基板洗浄装置は、基板の表側または裏側のいずれか一方の洗浄面を２回洗浄するように構成されている。一回目の洗浄は、洗浄テープの一方の払拭面によって実行され、２回目の洗浄は、他方の払拭面によって実行される。そのために、洗浄テープが１８０度捻られている。
特許第３５０３５１２号公報 特許第４１１４４１６号公報 国際公開２００６／１０６８０３号パンフレット
しかしながら、特許文献２や特許文献３に開示された基板洗浄装置は、洗浄テープが１８０度捻られている。そのために、洗浄テープに捻り癖がつき、捻れた状態の洗浄テープが洗浄面を不適切に洗浄するという問題が生じる可能性がある。すなわち、洗浄不良が発生する可能性がある。洗浄不良が発生すると、基板の側縁部の洗浄コストは、当然ながら高くなる。
なお、洗浄テープを捻ることなく、１つの洗浄テープの一方の払拭面のみによって基板の側縁部の表側および裏側それぞれの洗浄面を洗浄することが考えられる。しかし、この場合、洗浄テープの消費量が増加し、すなわち洗浄テープの交換頻度が増加し、その結果、洗浄コストが高くなる。
そこで、本発明は、上記の問題を解決するために、洗浄テープを１８０度捻ることなく該洗浄テープの２つの払拭面を洗浄に使用することにより、基板の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面を適切に洗浄し、且つその洗浄コストを抑制することを目的とする。
また、近年、液晶ディスプレイ装置およびプラズマディスプレイ装置が大型化し、それによりガラス基板が大型化している。大型のガラス基板の場合、ガラス基板をその側縁部の長手方向に移動させる大型の装置が必要になるので、洗浄テープを移動させる方が、洗浄コストを低くすることができるため好ましい。
そのためには、洗浄テープ、洗浄テープを基板に押し付ける押圧部材、および洗浄テープの送り装置などを１つのユニットとして構成し、このユニットを基板の側縁部の長手方向に移動させる装置を用意する必要がある。この場合、ユニットは、特に洗浄コストを低くするために、具体的には洗浄時間を短くするために、例えば３００〜５００ｍｍ／ｓの速度で移動させるために、コンパクトに構成するのが好ましい。ユニットのサイズが大きいと、ユニットの始動、加速、減速、および停止に大きなエネルギを必要とするからである。
そこで、本発明はまた、洗浄テープを含む、基板の側縁部の長手方向に高速に移動可能なコンパクトなユニットを構成し、該ユニットにより、洗浄時間を短くし、基板の側縁部の洗浄コストを抑制することを目的とする。特に大型基板の洗浄コストを抑制することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
本発明の第１の態様によれば、
基板の側縁部の表側に位置する第１の洗浄面と裏側に位置する第２の洗浄面とを、第１の払拭面と第２の払拭面とを備えた布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、
洗浄テープを第１の洗浄面に押し付ける第１の押圧部材と、
洗浄テープを第２の洗浄面に押し付ける第２の押圧部材と、
第１の押圧部材と第１の洗浄面との間と第２の押圧部材と第２の洗浄面との間とを通過する、洗浄テープのテープ経路を形成するテープ経路形成部材と、
テープ経路に洗浄テープを供給するテープ供給装置と、
テープ経路から洗浄テープを回収するテープ回収装置と、
洗浄テープを駆動するテープ駆動装置と、
洗浄テープに洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出装置と、
洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させる移動装置とを有し、
テープ経路が、
洗浄テープを、第１の払拭面が第１の洗浄面に対向した状態で、第１の押圧部材と第１の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過させる第１の経路と、
第１の経路を通過した後の洗浄テープを、第２の払拭面が基板の裏側に対向するようにループさせる第２の経路と、
第２の経路を通過した後の洗浄テープを、第１の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、第２の払拭面が第２の洗浄面に対向した状態で、第２の押圧部材と第２の洗浄面との間を通過させる第３の経路とを含んでいる、基板洗浄装置を提供する。
本発明の第２の態様によれば、
基板の側縁部の表側に位置する第１の洗浄面と裏側に位置する第２の洗浄面とを、第１の払拭面と第２の払拭面とを備えた布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、
洗浄テープを第１の洗浄面に押し付ける第１の押圧部材と、
洗浄テープを第２の洗浄面に押し付ける第２の押圧部材と、
第１の押圧部材と第１の洗浄面との間と第２の押圧部材と第２の洗浄面との間とを通過する、洗浄テープのテープ経路を形成するテープ経路形成部材と、
テープ経路に洗浄テープを供給するテープ供給装置と、
テープ経路から洗浄テープを回収するテープ回収装置と、
洗浄テープを駆動するテープ駆動装置と、
洗浄テープに洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出装置と、
洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させる移動装置とを有し、
テープ経路が、
洗浄テープを、第１の払拭面が第１の洗浄面に対向した状態で、第１の押圧部材と第１の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過させる第１の経路と、
第１の経路を通過した後の洗浄テープを、第２の払拭面が基板の裏側に対向するようにループさせる第２の経路と、
第２の経路を通過した後の洗浄テープを、第２の払拭面が第２の洗浄面に対向した状態で、第２の押圧部材と第２の洗浄面との間を通過させる第３の経路とを含み、
テープ供給装置が、洗浄テープを巻回した供給リールを有し、
テープ回収装置が、洗浄テープを巻き取って回収する回収リールを有し、
供給リールと回収リールとが並列する、基板洗浄装置を提供する。
本発明の第３の態様によれば、
第３の経路が、テープ経路形成部材により、第１の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、洗浄テープが通過するように形成されている、第２の態様に記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第４の態様によれば、
テープ経路形成部材が、第３の経路から第２の経路の洗浄テープ幅方向の横を通過することにより該第２の経路を迂回してテープ回収装置に至る第４の経路を含むテープ経路を形成する、または、テープ供給装置から第２の経路の洗浄テープ幅方向の横を通過することにより該第２の経路を迂回して第１の経路に至る第５の経路を含むテープ経路を形成する、第１の態様から第３の態様のいずれか１つに記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第５の態様によれば、
テープ供給装置、第１および第２の押圧部材、およびテープ経路形成部材を少なくとも含み、基板洗浄装置の本体に着脱可能に装着される洗浄ユニットを有し、
テープ供給装置を駆動する駆動装置と、第１および第２の押圧部材を駆動する駆動装置とを基板洗浄装置の本体に有する、第１の態様から第３の態様のいずれか１つに記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第６の態様によれば、
第２の経路が、テープ経路形成部材により、洗浄テープをテープ供給装置の周囲に沿ってループさせるように形成されている、第１の態様から第３の態様のいずれか１つに記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第７の態様によれば、
第１の経路が、テープ経路形成部材により、第１の押圧部材と第１の洗浄面との間をテープ供給装置から離れる方向に洗浄テープが通過するように形成され、
第２の経路が、テープ経路形成部材により、第１の経路を通過した洗浄テープをテープ供給装置の周囲に沿ってループさせるように形成され、
第３の経路が、テープ経路形成部材により、第１の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、洗浄テープが通過するように形成されている、第１の態様から第３の態様のいずれか１つに記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第８の態様によれば、
テープ駆動装置による洗浄テープの送り量を制御する制御装置と、
第１の押圧部材と第１の洗浄面との間を通過した後の洗浄テープの第２の払拭面の汚れを検出する汚れ検出装置とを有し、
制御装置が、汚れ検出装置によって規定以上の汚れが検出された第２の払拭面の部分が第２の押圧部材と第２の洗浄面との間をスキップするように、洗浄テープの送り量を制御する、第１の態様から第３の態様のいずれか１つに記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第９の態様によれば、
制御装置によるスキップの実行頻度が規定の頻度以上になると、警告を通知する、第８の態様に記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第１０の態様によれば、
基板の側縁部の表側に位置する第１の洗浄面と裏側に位置する第２の洗浄面とを、第１の払拭面と第２の払拭面とを備えて洗浄剤が含浸された布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄方法であって、
第１の押圧部材によって洗浄テープを第１の洗浄面に押し付けた状態、且つ第２の押圧部材によって洗浄テープを第２の洗浄面に押し付けた状態を維持しつつ、洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させることによって第１および第２の洗浄面を洗浄し、
洗浄テープを、
第１の払拭面が基板の第１の洗浄面に対向した状態で、第１の押圧部材と第１の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過し、
次に第２の払拭面が基板の裏側に対向するようにループし、
続いて第１の押圧部材と第１の洗浄面との間における洗浄テープの通過方向と同一方向に、第２の払拭面が第２の洗浄面に対向した状態で、第２の押圧部材と第２の洗浄面との間を通過するように駆動する、基板洗浄方法を提供する。
本発明の第１１の態様によれば、
さらに、本発明に係る別の基板洗浄装置は、
基板の側縁部の表側に位置する第１の洗浄面と裏側に位置する第２の洗浄面とを、第１の払拭面と第２の払拭面とを備えた布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、
洗浄テープを第１の洗浄面に押し付ける第１の押圧部材、
洗浄テープを第２の洗浄面に押し付ける第２の押圧部材、
第１の押圧部材と第１の洗浄面との間と第２の押圧部材と第２の洗浄面との間とを通過する、洗浄テープのテープ経路を形成するテープ経路形成部材、
テープ経路に洗浄テープを供給するテープ供給装置、
テープ経路から洗浄テープを回収するテープ回収装置、
洗浄テープを駆動するテープ駆動装置、および、
洗浄テープに洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出装置を含む洗浄ユニットと、
洗浄ユニットを基板の側縁部の長手方向に移動させる洗浄ユニット移動装置とを有し、
テープ供給装置が、洗浄テープを巻回した供給リールを有し、
テープ回収装置が、洗浄テープを巻き取って回収する回収リールを有し、
供給リールと回収リールとが並列する、基板洗浄装置を提供する。
本発明の第１２の態様によれば、
洗浄ユニット移動装置が、着脱可能に装着した洗浄ユニットを移動させるように構成されている、第１１の態様に記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明によれば、洗浄テープを１８０度捻ることなく該洗浄テープの２つの払拭面を洗浄に使用することにより、基板の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面を適切に洗浄することでき、且つその洗浄コストを抑制することができる。
また、本発明によれば、供給リールと回収リールとを並列した状態で含むことによってコンパクトに構成された高速移動可能な洗浄ユニットが提供される。この洗浄ユニットにより、洗浄時間が短くなり、基板の側縁部の洗浄コストが抑制される。また、大型基板の場合、洗浄時間が短くなるとともに、大型基板をその側縁部に移動させる大型の装置が必要なくなることにより、より洗浄コストが抑制される。
本発明のこれらの態様と特徴は、添付された図面についての好ましい実施形態に関連した次の記述から明らかになる。
本発明の第１の実施形態に係る基板洗浄装置の概略的な斜視図 図１の一部分を拡大した図 （ａ）は同実施形態に係る基板洗浄装置の概略的な側面図であり、（ｂ）は基板洗浄装置の洗浄部の側面図 同実施形態における洗浄部の斜視図 同実施形態における洗浄部の側面図 同実施形態における洗浄テープ駆動装置と回収リールとを同期させる連動機構の概略図 同実施形態における押圧部材を駆動する駆動機構の概略図 同実施形態における基板洗浄の流れを示す図 同実施形態の変形例の概略的な斜視図 本発明の第２の実施形態に係る基板洗浄装置の概略的な斜視図 本発明の第３の実施形態に係る基板洗浄装置の概略的な斜視図 （ａ）は本発明の第４の実施形態に係る基板洗浄装置の概略的な斜視図であり、（ｂ）は本発明の第４の実施形態に係る基板洗浄装置の変形例の概略的な斜視図 ガラス基板に対する部品実装を説明するための図 従来例の基板洗浄装置の概略的な側面図
以下、本発明に係る、液晶ディスプレイ装置のガラス基板の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面を洗浄する基板洗浄装置について、図１〜図１２を参照しながら説明する。
（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態に係る基板洗浄装置を、図１〜図８を参照しながら説明する。図１に示す基板洗浄装置は、基板１を基板洗浄装置に搬入する基板搬送装置２と、基板搬送装置２から受け取った基板１を移動させる基板移動装置３と、基板１の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面（洗浄される必要がある面）１ａ，１ｂ（図４、図５参照）を洗浄する洗浄機構４とを有する。これらは、基台５上に配設されている。なお、洗浄が完了した基板１は、ＡＣＦ貼付装置（図示せず）に設けられた、基板搬送装置２と類似する基板搬送装置（図示せず）により、基板洗浄装置から搬出され、該ＡＣＦ貼付装置に搬入される。
基板搬送装置２は、基板１が載置される一対の支持アーム６ａ，６ａを備えるフォーク６と、フォーク６を基板搬送方向（Ｘ方向）に移動させる駆動機構７とを有する。駆動機構７は、フォーク６をガイドするレール７ａと、モータ７ｃに駆動されることによりフォーク６を移動させる送りねじ機構７ｂとを有する。
基板移動装置３は、基板１の実質的な中央を保持する基板保持機構８と、基板保持機構８をＸ軸方向および該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に平行移動させる、且つＺ軸を中心として回転させる移動／回転テーブル９とを有する。この基板移動装置３は、洗浄の開始前、移動／回転テーブル９により、基板１の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面の長手方向（Ｘ軸方向）一端を洗浄機構４の洗浄部１０に位置決めする。洗浄中、基板移動装置３は、移動／回転テーブル９により、基板１をその側縁部の長手方向に移動させる。これにより、洗浄機構４の洗浄部１０が、洗浄面の一端から他端に亘って該洗浄面を洗浄する。
洗浄機構４の洗浄部１０は、図２〜図５に示すように、押圧部材１１ａ，１１ｂ（第１および第２の押圧部材）を有する。押圧部材１１ａは基板保持機構８に保持された状態の基板１の側縁部の表側の洗浄面１ａに対向し、押圧部材１１ｂは裏側の洗浄面１ｂに対向する。押圧部材１１ａは、洗浄面１ａに洗浄テープ１２を押し付けるように構成されている。また、押圧部材１１ｂは、洗浄面１ｂに洗浄テープ１２を押し付けるように構成されている。なお、基板１の電極ｔが、基板１の表側の洗浄面１ａに配設されている（図４参照。）。押圧部材１１ａ，１１ｂそれぞれは、基板１に対向する対向面（洗浄テープ１２と接触する面）１３に、基板１の側縁部の長手方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に延びる、突起１３ａを備えている（図４参照。）。この突起１３ａは、基板１がその側縁部の長手方向（Ｘ軸方向）に移動するときに、基板１とともに洗浄テープ１２が該長手方向に移動しないように該洗浄テープ１２を係止するように構成されている。また、押圧部材１１ａ，１１ｂそれぞれは、対向面１３に洗浄テープ１２をガイドする、傾斜したガイド面１４を備える。
なお、押圧部材１１ａ，１１ｂは、耐薬品性および摺動性が優れたポリアセタール（ＰＯＭ）などの材料によって作製されるのが好ましい。
洗浄テープ送り機構１５は、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間および押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間に洗浄テープ１２を間欠的に移動させる機構である。また、洗浄テープ送り機構１５は、洗浄テープ１２を供給する装置の一部である、洗浄テープ１２を巻回している供給リール１６から、洗浄テープ１２を回収する装置の一部である、洗浄テープ１２を巻き取って回収する回収リール２０に向かって洗浄テープ１２を送る機構でもある。この洗浄テープ送り機構１５は、基板１の側縁部の長手方向と直交する方向に、洗浄テープ１２を送るように構成されている。
洗浄テープ送り機構１５は、洗浄テープ駆動装置１７を有する。洗浄テープ駆動装置１７は、洗浄テープ１２を駆動する駆動ローラ１７ａと、洗浄テープ１２を駆動ローラ１７ａに押し付けるピンチローラ１７ｂとを有する。洗浄テープ駆動装置１７は、洗浄が開始される前、供給リール１６から洗浄テープ１２を引き出し、洗浄テープ１２を所定の移動量（送り量）移動させる。
洗浄テープ送り機構１５はまた、供給リール１６から、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間と押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間とを通過して、回収リール２０に至る、洗浄テープ１２のテープ経路を形成するテープ経路形成部材１８を有する。テープ経路形成部材１８は、複数のガイドローラ１８ａ〜１８ｈから構成されている。
このテープ経路形成部材１８は、図３の（ｂ）に示すように、洗浄テープ１２を、一方の払拭面１２ａ（第１の払拭面）が基板１の側縁部の表側の洗浄面１ａに対向した状態で、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を、押圧部材１１ａの基板中央側端１１ａａから反基板中央側端１１ａｂに至る方向に通過させる経路（第１の経路）を形成する。また、テープ経路形成部材１８は、図２に示すように、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を通過した後の洗浄テープ１２（厳密には洗浄テープ１２の部分）を、他方の払拭面１２ｂが基板１の裏側に対向するようにループ（ｌｏｏｐ）させるループ経路１９（第２の経路）を形成する。さらに、テープ経路形成部材１８は、ループした後の洗浄テープ１２（厳密には洗浄テープ１２の部分）を、払拭面１２ｂが洗浄面１ｂに対向した状態で、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間を、押圧部材１１ｂの基板中央側端１１ｂａから反基板中央側端１１ｂｂに至る方向に通過させる経路（第３の経路）を形成する。
押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間を通過した洗浄テープ１２（厳密には洗浄テープ１２の部分）は、最終的には回収リール２０に到達する。
なお、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間から回収リール２０に至る直線上にループ経路１９が存在する場合、テープ経路形成部材１８は、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間からループ経路１９の洗浄テープ幅方向の横を通過することによりループ経路１９を迂回して回収リール２０に至る経路（第４の経路）を形成する。これにより、洗浄テープ１２のテープ経路の交差が回避される。
あるいは、供給リール１６から押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間に至る直線上にループ経路１９が存在する場合、テープ経路形成部材１８は、供給リール１６からループ経路１９の洗浄テープ幅方向の横を通過することによりループ経路１９を迂回して押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間に至る経路（第５の経路）を形成する。これにより、洗浄テープ１２のテープ経路の交差が回避される。
本実施形態において、供給リール１６、洗浄テープ駆動装置１７、押圧部材１１ａ，１１ｂ、テープ経路形成部材１８（複数のガイドローラ１８ａ〜１８ｈ）、および回収リール２０は、ユニットフレーム２２に設けられることにより、１つの洗浄ユニット２１を構成する。この洗浄ユニット２１は、図１または図２の矢印Ａ方向に見た図７に示すように、基台５に設けられた洗浄機構４の本体４ａに着脱可能に装着されるように構成されている（カセットのように構成されている）。そのために、図１、図２及び図７に示すように、洗浄ユニット２１を本体４ａの所定の位置に固定する、ユニットフレーム２２を保持するユニット固定部材２３が本体４ａに設けられている。また、供給リール１６と回収リール２０は、それぞれの回転中心線が実質的に一致するように並列して設けられている。
なお、本明細書で言う「回転中心線が実質的に一致する」という用語は、供給リール１６と回収リール２０それぞれの回転中心線が、同一直線上にある若しくは一方のリールの半径に比べて小さい間隔をあけて平行にあることを意味する。なお、この用語は、共通のシャフトが２つのリール１６，２０を支持することに限定しない。また、この用語は、２つのリール１６，２０の回転方向が同一であると限定しない。
洗浄ユニット２１は、図６に示すように、洗浄テープ駆動装置１７と回収リール２０とを同期して動作させる連動機構２４を有する。この連動機構２４は、洗浄機構４の本体４ａに設けられている駆動シリンダ２５によって駆動される。
連動機構２４は、垂直アーム２６ａと水平アーム２６ｂとを備えるＬ字形状の揺動レバー２６を含むリンク機構３０を有する。揺動レバー２６は、回収リール２０の回転中心線を中心として自由に揺動可能にリンク機構３０内に組み込まれている。この揺動レバー２６は、駆動シリンダ２５によって垂直アーム２６ａの先端が移動されることにより、揺動する。また、垂直アーム２６ａの先端をピストンロッドの先端２５ａに向かって付勢するスプリング２７がリンク機構３０内に組み込まれている。このスプリング２７により、垂直アーム２６ａの先端とピストンロッドの先端２５ａとの接触が維持される。揺動レバー２６の水平アーム２６ｂは、その先端でリンク２８を介して送りアーム２９の先端に連結されている。この送りアーム２９は、洗浄テープ駆動装置１７の駆動ローラ１７ａの回転中心線を中心として自由に揺動可能にリンク機構３０内に組み込まれている。
リンク機構３０はまた、回収アーム３１を有する。回収アーム３１は、回収リール２０の回転中心線を中心として自由に揺動可能にリンク機構３０内に組み込まれている。また、回収アーム３１は、その先端でスプリング３２を介して揺動レバー２６の水平アーム２６ｂと連結されている。さらに、回収アーム３１は、ラチェット機構３３を介して回収リール２０に連結されている。同様に、送りアーム２９は、ラチェット機構３４を介して駆動ローラ１７ａに連結されている。
連動機構２４の動作を、図６を参照しながら説明する。
洗浄が開始される前、駆動シリンダ２５のピストンロッドを前進することにより、揺動レバー２６を反時計方向に揺動させる。
ピストンロッドの前進の完了後、ピストンロッドが後退されるまたは自由状態にされる。これにより、揺動レバー２６が、スプリング２７に引っ張られ、時計方向に揺動する。揺動レバー２６が時計方向に揺動すると、スプリング３２を介して回収アーム３１が時計方向に揺動される。回収アーム３１の時計方向の揺動により、ラチェット機構３３を介して回収リール２０が回転される。そして、回収リール２０は、揺動レバー２６の時計方向の揺動量に対応した量の洗浄テープ１２を巻き取る。
揺動レバー２６が時計方向に揺動すると、リンク２８を介して送りアーム２９が反時計方向に揺動する。送りアーム２９が反時計方向に揺動すると、ラチェット機構３３を介して駆動ローラ１７ａが反時計方向に回転される。そして、駆動ローラ１７ａが、ピンチローラ１７ｂと協働して挟持している洗浄テープ１２を、揺動レバー２６の時計方向の揺動量に対応した量移動させる。
図７に示すように、押圧部材１１ａ，１１ｂは、ユニットフレーム２２に設けられたガイドレール３５に沿ってＺ軸方向に自由に移動する可動体３６ａ，３６ｂに、取り付けブロック３７ａ，３７ｂを介して固定されている。また、スプリング３８が、取り付けブロック３７ａ，３７ｂの間に配置されている。さらに、可動体３６ａ，３６ｂのガイドレール３５からの脱落を防止するストッパ３９ａ，３９ｂが設けられている。
可動体３６ａ，３６ｂは、ユニットフレーム２２を貫通して延びる操作レバー４０ａ，４０ｂを備える。これらの可動体３６ａ，３６ｂは、操作レバー４０ａ，４０ｂの先端が洗浄機構４の本体４ａに設けられている駆動シリンダ４１ａ，４１ｂのピストンロッドの先端４２ａ，４２ｂによって操作されることにより、駆動される。
駆動シリンダ４１ａ，４１ｂが操作レバー４０ａ，４０ｂを操作することにより、押圧部材１１ａが洗浄テープ１２を洗浄面１ａに押し付ける力と、押圧部材１１ｂが洗浄テープ１２を洗浄面１ｂに押し付ける力とが調節される。駆動シリンダ４１ａ，４１ｂが同一の制御で制御されると、押圧部材１１ａが洗浄テープ１２を介して洗浄面１ａを押圧する力と、押圧部材１１ｂが洗浄テープ１２を介して洗浄面１ｂを押圧する力が等しくなる。このように押圧力が等しい状態を維持しつつ、基板１が基板移動装置３によってその側縁部の長手方向に移動されると、洗浄面１ａ，１ｂが洗浄テープ１２によって等しく洗浄される。なお、駆動シリンダ４１ａ，４１ｂとスプリング３８とにより、押圧部材１１ａ，１１ｂは、基板１のその側縁部の長手方向への移動中、洗浄テープ１２を介して基板１の側縁部と好ましく接触し続けることができる。
また、図２〜図４に示すように、押圧部材１１ａ，１１ｂのガイド面１４（図４参照）より上流側の洗浄テープ１２の部分にエタノール、イソプロピルアルコールなどの揮発性の洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出ノズル４３ａ，４３ｂが設けられている。洗浄剤は、洗浄テープ１２が移動される直前に、ポンプ（図示せず）により、タンク（図示せず）からパイプ（図示せず）を介して洗浄剤吐出ノズル４３ａ，４３ｂに送られ、洗浄剤吐出ノズル４３ａ，４３ｂから洗浄テープ１２に向かって吐出される。洗浄剤が吐出された洗浄テープ１２の部分４７は、色が変化する。この洗浄テープ１２の色を検出する色検出センサ４４ａ，４４ｂが、洗浄剤が吐出された洗浄テープ１２の部分４７の色を検出できる位置に設けられている。
また、図２、図３の（ａ）に示すように、洗浄テープ１２の汚れを検出する汚れ検出センサ４５が、ループ経路１９を形成するガイドローラ１８ｄと１８ｅとの間に配置されている。すなわち、汚れ検出センサ４５は、押圧部材１１ａと基板１の洗浄面１ａとの間を通過した後、且つ押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間を通過する前の、洗浄テープ１２の払拭面１２ｂの汚れを検出する。
制御装置４６が基台５内に配置されている。制御装置４６は、基板搬送装置２、基板移動装置３、洗浄機構４の駆動シリンダ２５、４１ａ、４１ｂ、及び洗浄剤のポンプ（図示せず）を制御するように構成されている。
制御装置４６は、色検出センサ４４ａ、４４ｂの検出信号に基づいて洗浄テープ１２への洗浄剤の吐出量を確認する。そして、制御装置４６は、確認結果に基づき、ポンプ（図示せず）を制御することにより、洗浄剤の吐出量を調節する。
また、制御装置４６は、汚れ検出センサ４５の検出信号に基づいて、洗浄テープ１２の汚れが所定以上の汚れであるか否かを判定する。所定以上の汚れである場合、制御装置４６は、洗浄テープ１２の払拭面１２ｂの所定以上の汚れが検出された部分が押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間をスキップするように、駆動シリンダ２５を制御する。さらに、制御装置４６は、スキップの実行頻度（例えば、規定時間あたりのスキップ実行回数）が規定の頻度を超えると、警告を通知するように構成されている。
ここからは、基板洗浄装置によって基板１の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面を洗浄する流れを、主に図８、補助的に図１〜図５を参照しながら説明する。
まず、基板１が、基板搬送装置２により、基板洗浄装置に搬入され、基板移動装置３の基板保持機構８にセットされる。そして、基板移動装置３により、基板１の側縁部（洗浄面の長手方向一端）が、押圧部材１１ａ、１１ｂの間に位置決めされる（ステップＳ１）。なお、このとき、押圧部材１１ａと１１ｂは、基板１の側縁部の厚さを超える距離をあけて離れている。
洗浄剤吐出ノズル４３ａ、４３ｂから洗浄テープ１２に洗浄剤が所定量吐出される。（ステップＳ２）。なお、洗浄剤の吐出後、洗浄剤が吐出された洗浄テープ１２の部分４７が色検出センサ４４ａ，４４ｂによって検出され、洗浄テープ１２に洗浄剤が所定量吐出されたことが確認される。
駆動シリンダ２５により、洗浄テープ１２が所定の送り量移動される。これにより、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間および押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間に、洗浄剤が吐出された洗浄テープ１２の部分が配置される（ステップＳ３）。
基板１の位置決めと洗浄テープ１２の移動が完了したことが確認される（ステップＳ４）。
駆動シリンダ４１ａ、４１ｂにより、図５に示すように、押圧部材１１ａ、１１ｂに洗浄テープ１２を基板１の側縁部に押し付けさせる。これにより、基板１の側縁部の表側の洗浄面１ａに洗浄テープ１２の払拭面１２ａが接触した状態で維持され、裏側の洗浄面１ｂに払拭面１２ｂが接触した状態で維持される（ステップＳ５）。
基板移動装置３により、基板１がその側縁部の長手方向に移動される。これにより、洗浄テープ１２の払拭面１２ａが、基板１の側縁部の表側に位置する洗浄面１ａの一端から他端に亘って該洗浄面１ａを洗浄する。それと同時に、洗浄テープ１２の払拭面１２ｂが、基板１の側縁部の裏側に位置する洗浄面１ｂの一端から他端に亘って該洗浄面１ｂを洗浄する（ステップＳ６）。なお、基板１を長手方向に少なくとも１回往復させることにより、基板１の側縁部の洗浄面１ａ，１ｂを洗浄してもよい。
洗浄の完了後、駆動シリンダ４１ａ、４１ｂにより、押圧部材１１ａ、１１ｂが基板１から離れる方向に移動される（ステップＳ７）。
基板移動装置３により、基板１の側縁部が押圧部材１１ａ，１１ｂの間から出るように基板１が移動される。そして、ＡＣＦ貼付装置の基板搬送装置（図示せず）により、基板１が基板洗浄装置から搬出される（ステップＳ８）。
ＡＣＦ貼付装置の基板搬送装置（図示せず）によって搬出された基板１が、ロット内の最後の基板であるか否かを判定する（ステップＳ１６）。最後の基板である場合は終了し、そうでない場合はステップＳ１にリターンする。
なお、基板１に洗浄が必要な複数の側縁部が存在する場合（例えば、基板が長方形であって、４つの側縁部の洗浄が必要な場合）、ステップＳ１６の実行前に、全ての側縁部の洗浄が完了したか否かが判定される。完了している場合はステップＳ１６に進む。そうでない場合は、基板移動装置３によって未洗浄の側縁部を押圧部材１１ａ，１１ｂとの間に位置合わせし、ステップＳ２にリターンする。
洗浄テープの所定の送り量の移動の開始前または完了後（ステップＳ３の開始直前または完了後）に、洗浄テープ１２の払拭面１２ｂの汚れが、汚れ検出センサ４５によって検出される（ステップＳ１０）。
汚れ検出センサ４５の汚れ検出結果のデータが記憶装置（図示せず）に記憶される（ステップＳ１１）。この記憶装置は、洗浄テープ１２の複数の部分（所定の送り量間隔で区分される複数の部分）それぞれの汚れ検出結果のデータを記憶している。
洗浄テープ１２の所定の送り量の移動前（ステップＳ３の開始前）、洗浄テープ１２の所定の送り量の移動が実行された後に押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間に位置する洗浄テープ１２の部分について、汚れが規定以上の汚れか否かが判定される（ステップＳ１２）。この判定は、記憶装置に記憶されている洗浄テープ１２の複数の部分それぞれの汚れ検出結果のデータに基づいて実行される。
洗浄テープ１２の所定の送り量の移動後に押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間に位置する洗浄テープ１２の部分の汚れが規定以上でない場合、ステップＳ４に進む。
一方、洗浄テープ１２の所定の送り量の移動後（ステップＳ３の実行後）に押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間に位置する洗浄テープ１２の部分の汚れが規定以上の場合、駆動シリンダ２５により、洗浄テープ１２が所定量移動される（ステップＳ１３）。これにより、ステップＳ３の実行後、規定以上の汚れの洗浄テープ１２の部分が、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間に位置しない（結果として、規定以上の汚れの洗浄テープ１２の部分が、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間をスキップする）。
スキップの実行頻度が規定の頻度（例えば、規定時間あたりのスキップ実行回数）以上か否かが判定される（ステップＳ１４）。規定の頻度以上でない場合、ステップＳ１２にリターンする。一方、規定の頻度以上である場合、警告が通知される（ステップＳ１５）。この警告通知により、作業者が、洗浄テープ１２のトラブルの発生を知ることができる。例えば、作業者は、洗浄剤が過剰に吐出されるトラブル（払拭面１２ａに吐出された過剰な洗浄剤が反対側の払拭面１２ｂに現出し、現出した洗浄剤が汚れとして検出されるトラブル）の発生を知ることができる。また、作業者は、基板１の洗浄が開始される前の基板１の洗浄面１ａが、通常より汚れているトラブルの発生を知ることができる。
本実施形態によれば、洗浄テープ１２は、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を、払拭面１２ａが洗浄面１ａに対向した状態で、基板１の側縁部の長手方向と直交する方向に通過する。押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を通過した洗浄テープ１２はループして、その払拭面１２ｂが基板１の裏側に対向する。ループした洗浄テープ１２は、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間を、払拭面１２ｂが洗浄面１ｂに対向した状態で、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間における通過方向と同一方向に通過する。この状態で、基板１がその側縁部の長手方向に移動されることにより、洗浄テープ１２が払拭面１２ａによって洗浄面１ａを洗浄し、それと同時に払拭面１２ｂによって洗浄面１ｂを洗浄する。これにより、洗浄テープ１２を１８０度捻ることなく、洗浄テープ１２によって洗浄面１ａ，１ｂを適切に洗浄することができる。また、洗浄テープ１２の２つの払拭面１２ａと１２ｂとが使用されるため、洗浄テープ１２の消費量を抑制する、言い換えると洗浄テープ１２の交換頻度を少なくすることができる。その結果、基板１の洗浄コストが低くなる。
また、図１、図２、図６および図７に示すように、供給リール１６、洗浄テープ駆動装置１７、押圧部材１１ａ，１１ｂ、テープ経路形成部材１８（複数のガイドローラ１８ａ〜１８ｈ）、および回収リール２０は、ユニットフレーム２２に設けられることにより、１つの洗浄ユニット２１を構成している。そして、この洗浄ユニット２１は、図７に示すように、基台５に設けられた洗浄機構４の本体４ａに着脱可能に装着される。したがって、未使用の洗浄テープ１２がセットされた洗浄ユニット２１と、洗浄テープを使い果たした、洗浄機構４の本体４ａに装着されている洗浄ユニット２１とを交換することにより、未使用の洗浄テープ１２を簡単に短時間で洗浄機構４にセットすることができる。
さらに、供給リール１６と回収リール２０とが、それぞれの回転中心線が実質的に一致した状態で並列するため、それぞれの回転中心線が実質的に一致しない場合に比べて基板洗浄装置、特に洗浄ユニット２１がコンパクト化される。
さらにまた、洗浄テープ１２の払拭面１２ｂの汚れが部分的に規定以上の汚れである場合、規定以上の汚れの部分が、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間をスキップする。これにより、規定以上の汚れの洗浄テープ１２の部分が洗浄面１ｂの洗浄に使用されなくなる。その結果、洗浄不良の発生が抑制される。
加えて、洗浄テープ１２が押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間をスキップする回数が、規定の頻度以上になると、警告が通知される。これにより、作業者が、洗浄テープ１２のトラブルの発生を知ることができる。
さらに加えて、押圧部材１１ａが洗浄面１ａに洗浄テープ１２を押し付け、且つ押圧部材１１ｂが洗浄面１ｂに洗浄テープ１２を押し付けることにより、別の観点から見れば、基板１の側縁部は２つの押圧部材１１ａ，１１ｂによって挟持される。そのため、基板移動装置３が、基板１の側縁部を支持する必要がなくなる。すなわち、基板１は、基板移動装置３によって実質的な中央部が支持されるとともに、側縁部が２つの押圧部材１１ａ，１１ｂに支持されることにより、安定した姿勢で支持される。これにより、基板移動装置３をコンパクトにすることができる。
さらに加えて、洗浄機構４は、洗浄テープ１２を基板１の移動方向と直交する方向に送るように構成されているので、すなわち２つのリール１６，２０の径方向が基板１の移動方向と直交するように洗浄ユニット２１に設けられているので、基板１の移動方向の寸法が小さくコンパクトである。
さらに加えて、押圧部材１１ａ，１１ｂそれぞれは、基板１に対向する対向面（洗浄テープ１２と接触する面）１３に突起１３ａを備えて、洗浄テープ１２が基板１とともに側縁部の長手方向に移動しないように該洗浄テープ１２を係止している。これにより、基板１の移動速度を上げても、洗浄テープ１２は基板１の側縁部の洗浄面を確実に洗浄することができる。
以上、本発明の第１の実施形態に係る基板洗浄装置について説明したが、本実施形態の基板洗浄装置は、後述するようにまたは後述する以外にも、様々に変形することが可能であることは当業者にとって明らかである。
例えば、図６に示すように、回収リール２０と洗浄テープ駆動装置１７とを駆動する駆動シリンダ２５が、モータであってもよい。この場合、モータは、ギヤまたはベルトを介して回収リール２０と洗浄テープ駆動装置１７とを駆動する。モータは、回転量が制御可能なステッピングモータが好ましい。
また、上述の第１の実施形態の場合、図１や図２に示すように、洗浄テープ１２が押圧部材１１ａ，１１ｂと洗浄面１ａ，１ｂとの間を通過するときの方向は、基板１の側縁部の長手方向（基板１の移動方向）と直交する方向であるが、これと異なる方向でも可能である。例えば、洗浄テープ１２が押圧部材１１ａ，１１ｂと洗浄面１ａ，１ｂとの間を、基板１の側縁部の長手方向に通過するように、基板洗浄装置を構成することは可能である。
さらに、上述の第１の実施形態の場合、図１や図２に示すように、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を洗浄テープ１２が通過する方向と、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間を通過する方向とが同一であるが、この２つの通過方向は同一でなくともよい。ただし、この２つの通過方向は、同一の方向が好ましい。理由は、例えば図２に示すように、ループ経路１９によってループされる洗浄テープ１２は、ループ開始時の洗浄テープ１２の移動方向とループ終了時の移動方向とが略同一方向であるためである。そのため、２つの通過方向を異なるようにするためには、ループ経路１９の後に洗浄テープの移動方向を略１８０度変える別の経路が必要になり、テープ経路全体が長くなる。その結果、基板洗浄装置、特に洗浄ユニット２１が大きくなる。したがって、２つの通過方向を同一方向にするのが、ループ経路１９を含むテープ経路全体を短くすることができる、すなわち洗浄ユニット２１をコンパクトにすることができるので好ましい。
さらに、上述の第１の実施形態の場合、図５に示すように、洗浄テープ１２の払拭面１２ａによる洗浄面１ａの洗浄と、払拭面１２ｂによる洗浄面１ｂの洗浄とが同時に実行されるが、払拭面１２ａによる洗浄と払拭面１２ｂによる洗浄は同時でなくてもよい。洗浄テープ１２の一方の払拭面１２ａのみを使用して２つの洗浄面１ａ，１ｂを洗浄し、一方の払拭面１２ａを使い果たした後、他方の払拭面１２ｂを使用して２つの洗浄面１ａ，１ｂを洗浄するようにしてもよい。
これが可能になるように変形された基板洗浄装置が、図９に示されている。なお、以下、上記第１の実施形態に係る基板洗浄装置と異なる基板洗浄装置の説明において、上記第１の実施形態の構成要素と同一の構成要素は、同一の参照符号が付されている。また、主に、上記第１の実施形態に係る基板洗浄装置と異なる点について説明する。
図９に示す基板洗浄装置は、洗浄テープ１２が、押圧部材１１ａと基板１の側縁部の表側に位置する洗浄面との間を通過し、次にガイドローラ１８ｈによって折り返し、続いて押圧部材１１ｂと側縁部の裏側に位置する洗浄面との間を通過するように形成されたテープ経路を有する。すなわち、洗浄テープ１２の一方の払拭面の異なる部分によって２つの洗浄面を同時に洗浄するように構成されている。また、この基板洗浄装置は、上述の第１の実施形態と同様に、基板１の側縁部の表側の洗浄面を洗浄した払拭面の部分が押圧部材１１ｂと側縁部の裏側の洗浄面との間をスキップするように、洗浄テープを送る構成にされている（払拭面の同じ部分が、２つの洗浄面を洗浄しないように構成されている）。
この基板洗浄装置はさらに、一方の払拭面のみ使用された洗浄テープ１２を巻き取って回収した回収リール２０を供給リール１６として使用できるように、且つ一方の払拭面のみが洗浄に使用された後に他方の払拭面が洗浄に使用されるように構成されている。
例えば、図９に示すように、洗浄機構４は、回収リール２０が洗浄に使用された払拭面をリール中心に向けて洗浄テープ１２を巻き取るように、回収リール２０を駆動する構成にされている。また、洗浄機構４は、供給リール１６を両方向に自由回転可能に支持するように構成されている。さらに、回収リール２０が供給リール１６として使用可能に構成されている。これにより、以下の手順にしたがい、洗浄テープ１２の両方の払拭面を洗浄に使用することができる。
まず、回収リール２０が、一方の払拭面のみ洗浄に使用された洗浄テープ１２を、洗浄に使用された払拭面をリール中心に向けて巻取り回収する。次に、洗浄テープ１２の回収が完了した回収リール２０を反転し、供給リール１６として洗浄機構４にセットする。続いて、供給リール１６（回収リール２０）が巻回する洗浄テープ１２が、未使用の払拭面が基板１の側縁部の表側と裏側とに対向するように、テープ経路形成部材１８にセットされる。
これにより、洗浄テープ１２の一方の払拭面のみを使用して２つの洗浄面１ａ，１ｂを洗浄し、一方の払拭面１２ａを使い果たした後、他方の払拭面１２ｂを使用して２つの洗浄面１ａ，１ｂを洗浄することができる。
さらにまた、上述の第１の実施形態の場合、図４に示すように、洗浄中、基板１がその側縁部の長手方向に移動するが、洗浄テープ１２が基板１の側縁部の長手方向に移動してもよい。
具体的には、図９に示す基板洗浄装置のように、洗浄ユニット２１を基板１の側縁部の長手方向に移動させる洗浄ユニット移動装置５０が基板洗浄装置に設けられる。この洗浄ユニット移動装置５０が洗浄ユニット２１を基板１の側縁部の長手方向に移動させることにより、洗浄テープ１２は側縁部の長手方向に移動することができる。なお、洗浄ユニット移動装置５０は、洗浄ユニット２１を着脱可能に装着した洗浄ユニット２１を移動させるように構成されるのが好ましい。未使用の洗浄テープ１２がセットされた洗浄ユニット２１と、洗浄テープを使い果たした、洗浄ユニット移動装置５０に装着されている洗浄ユニット２１とを交換することにより、未使用の洗浄テープ１２を簡単に短時間で洗浄機構４にセットすることができる。
洗浄ユニット２１が基板１の側縁部の長手方向に移動する場合、図９に示すように、供給リール１６と回収リール２０は、それぞれの回転中心線Ｃが実質的に一致した状態で並列するのがよい。
一例として、２つのリールそれぞれの回転中心線が実質的に一致せず、回転中心線が延びる方向（洗浄ユニット２１の移動方向）に見たときに、奥側のリールの一部が手前側のリールの外周から部分的に露出している場合を挙げる（手前側のリールの径は、奥側のリールの径と等しい、または大きい）。この例の場合、回転中心線が実質的に一致して奥側のリールが手前のリールに完全に隠れる場合に比べて、露出部分が存在することにより、洗浄ユニット２１は相対的に大きくなり、剛性が相対的に低下する。また、洗浄ユニット２１の移動中にリール及びリールを支持する部材が揺れやすくなり、例えば、振動等が発生しやすくなる。その結果、洗浄ユニット２１を高速に移動することが困難になる。
洗浄ユニット２１が洗浄ユニット移動装置５０によって基板１の側縁部の長手方向に移動され、且つ供給リール１６と回収リール２０とがそれぞれの回転中心線が実質的に一致した状態で並列に洗浄ユニット２１に設けられることにより、基板１の側縁部の長手方向に高速に、例えば、３００〜５００ｍｍ／ｓの速度で移動することができるコンパクトな洗浄ユニット２１が実現される。また、洗浄ユニット２１は、コンパクトな構成であるため、軽量で剛性が高く、高速での移動中の振動発生を抑制してスムーズに移動することができる。また、このような構成であるため、洗浄ユニット２１は、その始動、加速、減速、および停止に大きなエネルギを必要としない。すなわち、洗浄ユニット移動装置５０もコンパクトな構成にすることができる。
なお、洗浄ユニット２１を基板１の側縁部の長手方向に高速に移動させて洗浄時間を短くし、その結果として洗浄コストを抑制することを考えると、洗浄テープ１２のテープ経路は、テープ経路が短いシンプルな経路が好ましい。シンプルなテープ経路の場合、テープ経路形成部材１８、すなわちガイドローラの数が少なくなり、洗浄ユニット２１を軽量化することができる。
一例として、洗浄ユニット２１を高速に移動させることができるシンプルなテープ経路として、図９に示すテープ経路が挙げられる。図９に示すテープ経路は、洗浄テープ１２が、押圧部材１１ａと基板１の側縁部の表側に位置する洗浄面との間を通過し、次にガイドローラ１８ｈによって折り返し、続いて押圧部材１１ｂと側縁部の裏側に位置する洗浄面との間を通過するように形成されている（テープ経路は、洗浄テープ１２の一方の払拭面の異なる部分によって２つの洗浄面を同時に洗浄するように形成されている）。この図９に示すシンプルなテープ経路によれば、洗浄ユニット２１は、軽量化され、高速に移動することができる。
また、大型基板は、このような洗浄ユニット２１により、大型基板をその側縁部の長手方向に移動させる大型の基板移動装置を使用することなく、短時間に洗浄される。その結果、大型基板の洗浄コストが抑制される。
さらに加えて、基板１と洗浄テープ１２との両方が、基板の側縁部の長手方向に相対的に移動するようにしてもよい。
この場合、基板洗浄装置は、基板移動装置３と図９に示す洗浄ユニット移動装置５０との両方を有する。基盤移動装置３が基板１をその長手方向の一方側に移動させ、洗浄ユニット移動装置５０が洗浄ユニット２１を該長手方向の他方側に移動させることにより、より高速に洗浄を実行することができる。
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態に係る基板洗浄装置を、図１０を参照しながら説明する。
上記第１の実施形態の基板洗浄装置は、洗浄テープ１２を回収リール２０が巻き取ることによって回収する。これに対して、本実施形態の基板洗浄装置は、図１０に示すように、回収リール２０の代わりに、洗浄テープ１２を回収する洗浄テープ回収装置４８と、洗浄テープ回収装置４８が回収した洗浄テープ１２を収容する回収ボックス４９とを有する。
洗浄テープ回収装置４８は、洗浄テープ１２を引っ張る回収ローラ４８ａと、洗浄テープ１２を回収ローラ４８ａに押し付けるピンチローラ４８ｂとを有する。回収ローラ４８ａとピンチローラ４８ｂは、洗浄ユニット２１のユニットフレーム２２に設けられている（洗浄ユニット２１に組み込まれている）。また、回収ローラ４８ａは、駆動ローラ１７ａと同期して回転するように構成されている。
回収ボックス４９は、洗浄機構４の本体４ａに取り外し可能に据え付けられている。
本実施形態によれば、回収リール２０を使用することなく、洗浄テープ１２を回収することができる。
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係る基板洗浄装置を、図１１を参照しながら説明する。
上述の第１の実施形態に係る基板洗浄装置において、洗浄テープ１２は、図１または図２に示すように、テープ経路形成部材１８により、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を通過した後、基板１と供給リール１６との間の空間内でループする。これに対して、本実施形態に係る基板洗浄装置は、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を通過した洗浄テープ１２を、テープ経路形成部材１８（複数のガイドローラ１８ａ〜１８ｈ）により、供給リール１６の周囲（径方向外側）に沿ってループさせる。
本実施形態によれば、図２と図１１とを比較すれば明らかなように、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間からガイドローラ１８ｄまでの距離が、第１の実施形態に比べて長くなる。これにより、払拭面１２ａによって洗浄面１ａを洗浄した洗浄テープ１２がガイドローラ１８ｄに到達する前に、洗浄剤が洗浄テープ１２から十分に揮発する。その結果、洗浄テープ１２の払拭面１２ａ上の汚れが、洗浄剤とともにガイドローラ１８ｄ〜１８ｇに転写されることが抑制される。
（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態に係る基板洗浄装置を、図１２を参照しながら説明する。なお、本実施形態は、第３の実施形態と類似する。
上記第３の実施形態に係る基板洗浄装置において、洗浄テープ１２は、図１１に示すように、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を供給リール２０に接近する方向に通過し、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間も供給リール２０に接近する方向に通過する。これに対し、本実施形態に係る基板洗浄装置において、洗浄テープ１２は、図１２に示すように、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を供給リール２０から離れる方向に通過し、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間も供給リール２０から離れる方向に通過する。
なお、図１２の（ａ）は、供給リール１６と回収リール２０が、それぞれの回転中心線が実質的に一致するように並列されている例であり、図１２の（ｂ）は、供給リール１６と回収リール２０が実質的に同一平面上に配置されている例である。
本実施形態によれば、図１２に示すように、ループ経路１９を形成するガイドローラ１８ｃ〜１８ｆは、洗浄面１ａを洗浄して汚れた払拭面１２ａに触れることなく、洗浄テープ１２をガイドしてループさせることができる。その結果、複数のガイドローラ１８ｃ〜１８ｆが汚れることが抑制される。
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
２００８年１０月３１日に出願された日本国特許出願Ｎｏ．２００８−２８２３１３号およびこの出願に基づく優先権主張出願である２００９年７月３１日に出願された日本国特許出願Ｎｏ．２００９−１７９０９９号の明細書、図面、及び特許請求の範囲の開示内容は、全体として参照されて本明細書の中に取り入れられるものである。
本発明が、基板の側縁部に限らず、他の部分の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面を、洗浄テープの２つの払拭面によって適切に且つ高速に洗浄することか可能であることは明らかである。したがって、基板の洗浄が必要な分野、例えば、基板に部品を実装する部品実装の分野において、本発明は好適に利用することができる。
本発明は、例えば液晶ディスプレイ装置およびプラズマディスプレイ装置に使用されるガラス基板などの基板の側縁部の表側および裏側にそれぞれ位置する洗浄面を洗浄する基板洗浄装置及びその方法に関する。
従来より、ガラス基板の製造において、図１３に示すように、ガラス基板５１の側縁部に形成された複数の電極５２に各種部品５４が実装されることがある。まず、図１３（ａ）に示すように、電極５２が配置されているガラス基板５１の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面（洗浄される必要がある面）が洗浄される。次に、図１３（ｂ）に示すように、電極５２上に異方性導電膜（ＡＣＦ）５３が貼り付けられる。そして、図１３（ｃ）に示すように、異方性導電膜５３を介して電極５２に部品５４が熱圧着される。
基板の側縁部の洗浄面を洗浄する基板洗浄装置が、特許文献１に開示されている。この開示されている基板洗浄装置は、押圧部材によって布製の洗浄テープを基板の側縁部に押し付けた状態で、基板をその側縁部の長手方向に移動させる。これにより、基板の側縁部の洗浄面が洗浄テープによって洗浄される。
この開示されている基板洗浄装置の構成を、図１４を参照しながら説明する。この基板洗浄装置は、基板６１を移動させる基板移動装置６２と、基板６１の洗浄を行う洗浄装置６３とを有する。基板移動装置６２は、基板６１の中央部分を下から支持している。また、基板移動装置６２は、基板６１を、その側縁部の長手方向に移動させるように構成されている。基板６１は、基板移動装置６２により、洗浄装置６３の洗浄部６４に対し、その基板６１の側縁部の長手方向と直交する方向に位置決めされている。洗浄装置６３は、その洗浄部６４に、基板６１の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ配置される押圧部材６５ａ，６５ｂを有する。これらの押圧部材６５ａ，６５ｂは、基板６１の側縁部の表側と裏側とに洗浄テープ６６を押し付けるように構成されている。洗浄テープ６６は、基板６１の側縁部の洗浄前に、供給リール６７ａ（６７ｂ）から、ガイドローラ６８によってガイドされ、押圧部材６５ａ（６５ｂ）と基板６１の側縁部との間に向かって所定の送り量移動される。洗浄テープ６６が移動する前に、洗浄剤が、洗浄テープ６６の移動によって押圧部材６５ａ（６５ｂ）と基板６１の側縁部との間に移動される洗浄テープ６６の部分に吐出される。洗浄を完了した洗浄テープ６６の部分は、ガイドローラ６８によってガイドされ、最終的には回収ローラ６９ａ（６９ｂ）に巻き取られる。さらに、基板洗浄装置は、センサ７０が検出する洗浄テープ６６の表面の色に基づいて、洗浄テープ６６に適正量の洗浄剤が吐出されたことを確認するように構成されている。
ところが、この基板洗浄装置は、基板６１の側縁部の表側と裏側それぞれの洗浄面に対し、１つずつ洗浄テープ６６を使用する。そのため、洗浄テープのテープ経路が２つ設けられ、基板洗浄装置が大型化する。また、洗浄テープ６６の一方の払拭面しか洗浄に使用されない。そのために、基板の側縁部の洗浄コストが高い。
この問題を解決することができる基板洗浄装置が、特許文献２に開示されている。この基板洗浄装置は、洗浄テープの一方の払拭面によって基板の側縁部の表側の洗浄面を洗浄し、他方の払拭面によって該側縁部の裏側の洗浄面を洗浄するように構成されている。これを可能とするために、表側の洗浄面から裏側の洗浄面に至る途中において、洗浄テープが１８０度捻られている。
これとは別に、洗浄テープを１８０度捻る基板洗浄装置が、特許文献３に開示されている。この基板洗浄装置は、基板の表側または裏側のいずれか一方の洗浄面を２回洗浄するように構成されている。一回目の洗浄は、洗浄テープの一方の払拭面によって実行され、２回目の洗浄は、他方の払拭面によって実行される。そのために、洗浄テープが１８０度捻られている。
特許第３５０３５１２号公報 特許第４１１４４１６号公報 国際公開２００６／１０６８０３号パンフレット
しかしながら、特許文献２や特許文献３に開示された基板洗浄装置は、洗浄テープが１８０度捻られている。そのために、洗浄テープに捻り癖がつき、捻れた状態の洗浄テープが洗浄面を不適切に洗浄するという問題が生じる可能性がある。すなわち、洗浄不良が発生する可能性がある。洗浄不良が発生すると、基板の側縁部の洗浄コストは、当然ながら高くなる。
なお、洗浄テープを捻ることなく、１つの洗浄テープの一方の払拭面のみによって基板の側縁部の表側および裏側それぞれの洗浄面を洗浄することが考えられる。しかし、この場合、洗浄テープの消費量が増加し、すなわち洗浄テープの交換頻度が増加し、その結果、洗浄コストが高くなる。
そこで、本発明は、上記の問題を解決するために、洗浄テープを１８０度捻ることなく該洗浄テープの２つの払拭面を洗浄に使用することにより、基板の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面を適切に洗浄し、且つその洗浄コストを抑制することを目的とする。
また、近年、液晶ディスプレイ装置およびプラズマディスプレイ装置が大型化し、それによりガラス基板が大型化している。大型のガラス基板の場合、ガラス基板をその側縁部の長手方向に移動させる大型の装置が必要になるので、洗浄テープを移動させる方が、洗浄コストを低くすることができるため好ましい。
そのためには、洗浄テープ、洗浄テープを基板に押し付ける押圧部材、および洗浄テープの送り装置などを１つのユニットとして構成し、このユニットを基板の側縁部の長手方向に移動させる装置を用意する必要がある。この場合、ユニットは、特に洗浄コストを低くするために、具体的には洗浄時間を短くするために、例えば３００〜５００ｍｍ／ｓの速度で移動させるために、コンパクトに構成するのが好ましい。ユニットのサイズが大きいと、ユニットの始動、加速、減速、および停止に大きなエネルギを必要とするからである。
そこで、本発明はまた、洗浄テープを含む、基板の側縁部の長手方向に高速に移動可能なコンパクトなユニットを構成し、該ユニットにより、洗浄時間を短くし、基板の側縁部の洗浄コストを抑制することを目的とする。特に大型基板の洗浄コストを抑制することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
本発明の第１の態様によれば、
基板の側縁部の表側に位置する第１の洗浄面と裏側に位置する第２の洗浄面とを、第１の払拭面と第２の払拭面とを備えた布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、
洗浄テープを第１の洗浄面に押し付ける第１の押圧部材と、
洗浄テープを第２の洗浄面に押し付ける第２の押圧部材と、
第１の押圧部材と第１の洗浄面との間と第２の押圧部材と第２の洗浄面との間とを通過する、洗浄テープのテープ経路を形成するテープ経路形成部材と、
テープ経路に洗浄テープを供給するテープ供給装置と、
テープ経路から洗浄テープを回収するテープ回収装置と、
洗浄テープを駆動するテープ駆動装置と、
洗浄テープに洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出装置と、
洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させる移動装置とを有し、
テープ経路が、
洗浄テープを、第１の払拭面が第１の洗浄面に対向した状態で、第１の押圧部材と第１の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過させる第１の経路と、
第１の経路を通過した後の洗浄テープを、第２の払拭面が基板の裏側に対向するようにループさせる第２の経路と、
第２の経路を通過した後の洗浄テープを、第１の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、第２の払拭面が第２の洗浄面に対向した状態で、第２の押圧部材と第２の洗浄面との間を通過させる第３の経路とを含んでいる、基板洗浄装置を提供する。
本発明の第２の態様によれば、
基板の側縁部の表側に位置する第１の洗浄面と裏側に位置する第２の洗浄面とを、第１の払拭面と第２の払拭面とを備えた布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、
洗浄テープを第１の洗浄面に押し付ける第１の押圧部材と、
洗浄テープを第２の洗浄面に押し付ける第２の押圧部材と、
第１の押圧部材と第１の洗浄面との間と第２の押圧部材と第２の洗浄面との間とを通過する、洗浄テープのテープ経路を形成するテープ経路形成部材と、
テープ経路に洗浄テープを供給するテープ供給装置と、
テープ経路から洗浄テープを回収するテープ回収装置と、
洗浄テープを駆動するテープ駆動装置と、
洗浄テープに洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出装置と、
洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させる移動装置とを有し、
テープ経路が、
洗浄テープを、第１の払拭面が第１の洗浄面に対向した状態で、第１の押圧部材と第１の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過させる第１の経路と、
第１の経路を通過した後の洗浄テープを、第２の払拭面が基板の裏側に対向するようにループさせる第２の経路と、
第２の経路を通過した後の洗浄テープを、第２の払拭面が第２の洗浄面に対向した状態で、第２の押圧部材と第２の洗浄面との間を通過させる第３の経路とを含み、
テープ供給装置が、洗浄テープを巻回した供給リールを有し、
テープ回収装置が、洗浄テープを巻き取って回収する回収リールを有し、
供給リールと回収リールとが並列する、基板洗浄装置を提供する。
本発明の第３の態様によれば、
第３の経路が、テープ経路形成部材により、第１の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、洗浄テープが通過するように形成されている、第２の態様に記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第４の態様によれば、
テープ経路形成部材が、第３の経路から第２の経路の洗浄テープ幅方向の横を通過することにより該第２の経路を迂回してテープ回収装置に至る第４の経路を含むテープ経路を形成する、または、テープ供給装置から第２の経路の洗浄テープ幅方向の横を通過することにより該第２の経路を迂回して第１の経路に至る第５の経路を含むテープ経路を形成する、第１の態様から第３の態様のいずれか１つに記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第５の態様によれば、
テープ供給装置、第１および第２の押圧部材、およびテープ経路形成部材を少なくとも含み、基板洗浄装置の本体に着脱可能に装着される洗浄ユニットを有し、
テープ供給装置を駆動する駆動装置と、第１および第２の押圧部材を駆動する駆動装置とを基板洗浄装置の本体に有する、第１の態様から第３の態様のいずれか１つに記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第６の態様によれば、
第２の経路が、テープ経路形成部材により、洗浄テープをテープ供給装置の周囲に沿ってループさせるように形成されている、第１の態様から第３の態様のいずれか１つに記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第７の態様によれば、
第１の経路が、テープ経路形成部材により、第１の押圧部材と第１の洗浄面との間をテープ供給装置から離れる方向に洗浄テープが通過するように形成され、
第２の経路が、テープ経路形成部材により、第１の経路を通過した洗浄テープをテープ供給装置の周囲に沿ってループさせるように形成され、
第３の経路が、テープ経路形成部材により、第１の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、洗浄テープが通過するように形成されている、第１の態様から第３の態様のいずれか１つに記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第８の態様によれば、
テープ駆動装置による洗浄テープの送り量を制御する制御装置と、
第１の押圧部材と第１の洗浄面との間を通過した後の洗浄テープの第２の払拭面の汚れを検出する汚れ検出装置とを有し、
制御装置が、汚れ検出装置によって規定以上の汚れが検出された第２の払拭面の部分が第２の押圧部材と第２の洗浄面との間をスキップするように、洗浄テープの送り量を制御する、第１の態様から第３の態様のいずれか１つに記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第９の態様によれば、
制御装置によるスキップの実行頻度が規定の頻度以上になると、警告を通知する、第８の態様に記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明の第１０の態様によれば、
基板の側縁部の表側に位置する第１の洗浄面と裏側に位置する第２の洗浄面とを、第１の払拭面と第２の払拭面とを備えて洗浄剤が含浸された布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄方法であって、
第１の押圧部材によって洗浄テープを第１の洗浄面に押し付けた状態、且つ第２の押圧部材によって洗浄テープを第２の洗浄面に押し付けた状態を維持しつつ、洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させることによって第１および第２の洗浄面を洗浄し、
洗浄テープを、
第１の払拭面が基板の第１の洗浄面に対向した状態で、第１の押圧部材と第１の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過し、
次に第２の払拭面が基板の裏側に対向するようにループし、
続いて第１の押圧部材と第１の洗浄面との間における洗浄テープの通過方向と同一方向に、第２の払拭面が第２の洗浄面に対向した状態で、第２の押圧部材と第２の洗浄面との間を通過するように駆動する、基板洗浄方法を提供する。
本発明の第１１の態様によれば、
さらに、本発明に係る別の基板洗浄装置は、
基板の側縁部の表側に位置する第１の洗浄面と裏側に位置する第２の洗浄面とを、第１の払拭面と第２の払拭面とを備えた布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、
洗浄テープを第１の洗浄面に押し付ける第１の押圧部材、
洗浄テープを第２の洗浄面に押し付ける第２の押圧部材、
第１の押圧部材と第１の洗浄面との間と第２の押圧部材と第２の洗浄面との間とを通過する、洗浄テープのテープ経路を形成するテープ経路形成部材、
テープ経路に洗浄テープを供給するテープ供給装置、
テープ経路から洗浄テープを回収するテープ回収装置、
洗浄テープを駆動するテープ駆動装置、および、
洗浄テープに洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出装置を含む洗浄ユニットと、
洗浄ユニットを基板の側縁部の長手方向に移動させる洗浄ユニット移動装置とを有し、
テープ供給装置が、洗浄テープを巻回した供給リールを有し、
テープ回収装置が、洗浄テープを巻き取って回収する回収リールを有し、
供給リールと回収リールとが並列する、基板洗浄装置を提供する。
本発明の第１２の態様によれば、
洗浄ユニット移動装置が、着脱可能に装着した洗浄ユニットを移動させるように構成されている、第１１の態様に記載の基板洗浄装置を提供する。
本発明によれば、洗浄テープを１８０度捻ることなく該洗浄テープの２つの払拭面を洗浄に使用することにより、基板の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面を適切に洗浄することでき、且つその洗浄コストを抑制することができる。
また、本発明によれば、供給リールと回収リールとを並列した状態で含むことによってコンパクトに構成された高速移動可能な洗浄ユニットが提供される。この洗浄ユニットにより、洗浄時間が短くなり、基板の側縁部の洗浄コストが抑制される。また、大型基板の場合、洗浄時間が短くなるとともに、大型基板をその側縁部に移動させる大型の装置が必要なくなることにより、より洗浄コストが抑制される。
本発明のこれらの態様と特徴は、添付された図面についての好ましい実施形態に関連した次の記述から明らかになる。
本発明の第１の実施形態に係る基板洗浄装置の概略的な斜視図 図１の一部分を拡大した図 （ａ）は同実施形態に係る基板洗浄装置の概略的な側面図であり、（ｂ）は基板洗浄装置の洗浄部の側面図 同実施形態における洗浄部の斜視図 同実施形態における洗浄部の側面図 同実施形態における洗浄テープ駆動装置と回収リールとを同期させる連動機構の概略図 同実施形態における押圧部材を駆動する駆動機構の概略図 同実施形態における基板洗浄の流れを示す図 同実施形態の変形例の概略的な斜視図 本発明の第２の実施形態に係る基板洗浄装置の概略的な斜視図 本発明の第３の実施形態に係る基板洗浄装置の概略的な斜視図 （ａ）は本発明の第４の実施形態に係る基板洗浄装置の概略的な斜視図であり、（ｂ）は本発明の第４の実施形態に係る基板洗浄装置の変形例の概略的な斜視図 ガラス基板に対する部品実装を説明するための図 従来例の基板洗浄装置の概略的な側面図
以下、本発明に係る、液晶ディスプレイ装置のガラス基板の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面を洗浄する基板洗浄装置について、図１〜図１２を参照しながら説明する。
（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態に係る基板洗浄装置を、図１〜図８を参照しながら説明する。図１に示す基板洗浄装置は、基板１を基板洗浄装置に搬入する基板搬送装置２と、基板搬送装置２から受け取った基板１を移動させる基板移動装置３と、基板１の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面（洗浄される必要がある面）１ａ，１ｂ（図４、図５参照）を洗浄する洗浄機構４とを有する。これらは、基台５上に配設されている。なお、洗浄が完了した基板１は、ＡＣＦ貼付装置（図示せず）に設けられた、基板搬送装置２と類似する基板搬送装置（図示せず）により、基板洗浄装置から搬出され、該ＡＣＦ貼付装置に搬入される。
基板搬送装置２は、基板１が載置される一対の支持アーム６ａ，６ａを備えるフォーク６と、フォーク６を基板搬送方向（Ｘ方向）に移動させる駆動機構７とを有する。駆動機構７は、フォーク６をガイドするレール７ａと、モータ７ｃに駆動されることによりフォーク６を移動させる送りねじ機構７ｂとを有する。
基板移動装置３は、基板１の実質的な中央を保持する基板保持機構８と、基板保持機構８をＸ軸方向および該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に平行移動させる、且つＺ軸を中心として回転させる移動／回転テーブル９とを有する。この基板移動装置３は、洗浄の開始前、移動／回転テーブル９により、基板１の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面の長手方向（Ｘ軸方向）一端を洗浄機構４の洗浄部１０に位置決めする。洗浄中、基板移動装置３は、移動／回転テーブル９により、基板１をその側縁部の長手方向に移動させる。これにより、洗浄機構４の洗浄部１０が、洗浄面の一端から他端に亘って該洗浄面を洗浄する。
洗浄機構４の洗浄部１０は、図２〜図５に示すように、押圧部材１１ａ，１１ｂ（第１および第２の押圧部材）を有する。押圧部材１１ａは基板保持機構８に保持された状態の基板１の側縁部の表側の洗浄面１ａに対向し、押圧部材１１ｂは裏側の洗浄面１ｂに対向する。押圧部材１１ａは、洗浄面１ａに洗浄テープ１２を押し付けるように構成されている。また、押圧部材１１ｂは、洗浄面１ｂに洗浄テープ１２を押し付けるように構成されている。なお、基板１の電極ｔが、基板１の表側の洗浄面１ａに配設されている（図４参照。）。押圧部材１１ａ，１１ｂそれぞれは、基板１に対向する対向面（洗浄テープ１２と接触する面）１３に、基板１の側縁部の長手方向と直交する方向（Ｙ軸方向）に延びる、突起１３ａを備えている（図４参照。）。この突起１３ａは、基板１がその側縁部の長手方向（Ｘ軸方向）に移動するときに、基板１とともに洗浄テープ１２が該長手方向に移動しないように該洗浄テープ１２を係止するように構成されている。また、押圧部材１１ａ，１１ｂそれぞれは、対向面１３に洗浄テープ１２をガイドする、傾斜したガイド面１４を備える。
なお、押圧部材１１ａ，１１ｂは、耐薬品性および摺動性が優れたポリアセタール（ＰＯＭ）などの材料によって作製されるのが好ましい。
洗浄テープ送り機構１５は、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間および押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間に洗浄テープ１２を間欠的に移動させる機構である。また、洗浄テープ送り機構１５は、洗浄テープ１２を供給する装置の一部である、洗浄テープ１２を巻回している供給リール１６から、洗浄テープ１２を回収する装置の一部である、洗浄テープ１２を巻き取って回収する回収リール２０に向かって洗浄テープ１２を送る機構でもある。この洗浄テープ送り機構１５は、基板１の側縁部の長手方向と直交する方向に、洗浄テープ１２を送るように構成されている。
洗浄テープ送り機構１５は、洗浄テープ駆動装置１７を有する。洗浄テープ駆動装置１７は、洗浄テープ１２を駆動する駆動ローラ１７ａと、洗浄テープ１２を駆動ローラ１７ａに押し付けるピンチローラ１７ｂとを有する。洗浄テープ駆動装置１７は、洗浄が開始される前、供給リール１６から洗浄テープ１２を引き出し、洗浄テープ１２を所定の移動量（送り量）移動させる。
洗浄テープ送り機構１５はまた、供給リール１６から、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間と押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間とを通過して、回収リール２０に至る、洗浄テープ１２のテープ経路を形成するテープ経路形成部材１８を有する。テープ経路形成部材１８は、複数のガイドローラ１８ａ〜１８ｈから構成されている。
このテープ経路形成部材１８は、図３の（ｂ）に示すように、洗浄テープ１２を、一方の払拭面１２ａ（第１の払拭面）が基板１の側縁部の表側の洗浄面１ａに対向した状態で、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を、押圧部材１１ａの基板中央側端１１ａａから反基板中央側端１１ａｂに至る方向に通過させる経路（第１の経路）を形成する。また、テープ経路形成部材１８は、図２に示すように、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を通過した後の洗浄テープ１２（厳密には洗浄テープ１２の部分）を、他方の払拭面１２ｂが基板１の裏側に対向するようにループ（ｌｏｏｐ）させるループ経路１９（第２の経路）を形成する。さらに、テープ経路形成部材１８は、ループした後の洗浄テープ１２（厳密には洗浄テープ１２の部分）を、払拭面１２ｂが洗浄面１ｂに対向した状態で、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間を、押圧部材１１ｂの基板中央側端１１ｂａから反基板中央側端１１ｂｂに至る方向に通過させる経路（第３の経路）を形成する。
押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間を通過した洗浄テープ１２（厳密には洗浄テープ１２の部分）は、最終的には回収リール２０に到達する。
なお、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間から回収リール２０に至る直線上にループ経路１９が存在する場合、テープ経路形成部材１８は、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間からループ経路１９の洗浄テープ幅方向の横を通過することによりループ経路１９を迂回して回収リール２０に至る経路（第４の経路）を形成する。これにより、洗浄テープ１２のテープ経路の交差が回避される。
あるいは、供給リール１６から押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間に至る直線上にループ経路１９が存在する場合、テープ経路形成部材１８は、供給リール１６からループ経路１９の洗浄テープ幅方向の横を通過することによりループ経路１９を迂回して押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間に至る経路（第５の経路）を形成する。これにより、洗浄テープ１２のテープ経路の交差が回避される。
本実施形態において、供給リール１６、洗浄テープ駆動装置１７、押圧部材１１ａ，１１ｂ、テープ経路形成部材１８（複数のガイドローラ１８ａ〜１８ｈ）、および回収リール２０は、ユニットフレーム２２に設けられることにより、１つの洗浄ユニット２１を構成する。この洗浄ユニット２１は、図１または図２の矢印Ａ方向に見た図７に示すように、基台５に設けられた洗浄機構４の本体４ａに着脱可能に装着されるように構成されている（カセットのように構成されている）。そのために、図１、図２及び図７に示すように、洗浄ユニット２１を本体４ａの所定の位置に固定する、ユニットフレーム２２を保持するユニット固定部材２３が本体４ａに設けられている。また、供給リール１６と回収リール２０は、それぞれの回転中心線が実質的に一致するように並列して設けられている。
なお、本明細書で言う「回転中心線が実質的に一致する」という用語は、供給リール１６と回収リール２０それぞれの回転中心線が、同一直線上にある若しくは一方のリールの半径に比べて小さい間隔をあけて平行にあることを意味する。なお、この用語は、共通のシャフトが２つのリール１６，２０を支持することに限定しない。また、この用語は、２つのリール１６，２０の回転方向が同一であると限定しない。
洗浄ユニット２１は、図６に示すように、洗浄テープ駆動装置１７と回収リール２０とを同期して動作させる連動機構２４を有する。この連動機構２４は、洗浄機構４の本体４ａに設けられている駆動シリンダ２５によって駆動される。
連動機構２４は、垂直アーム２６ａと水平アーム２６ｂとを備えるＬ字形状の揺動レバー２６を含むリンク機構３０を有する。揺動レバー２６は、回収リール２０の回転中心線を中心として自由に揺動可能にリンク機構３０内に組み込まれている。この揺動レバー２６は、駆動シリンダ２５によって垂直アーム２６ａの先端が移動されることにより、揺動する。また、垂直アーム２６ａの先端をピストンロッドの先端２５ａに向かって付勢するスプリング２７がリンク機構３０内に組み込まれている。このスプリング２７により、垂直アーム２６ａの先端とピストンロッドの先端２５ａとの接触が維持される。揺動レバー２６の水平アーム２６ｂは、その先端でリンク２８を介して送りアーム２９の先端に連結されている。この送りアーム２９は、洗浄テープ駆動装置１７の駆動ローラ１７ａの回転中心線を中心として自由に揺動可能にリンク機構３０内に組み込まれている。
リンク機構３０はまた、回収アーム３１を有する。回収アーム３１は、回収リール２０の回転中心線を中心として自由に揺動可能にリンク機構３０内に組み込まれている。また、回収アーム３１は、その先端でスプリング３２を介して揺動レバー２６の水平アーム２６ｂと連結されている。さらに、回収アーム３１は、ラチェット機構３３を介して回収リール２０に連結されている。同様に、送りアーム２９は、ラチェット機構３４を介して駆動ローラ１７ａに連結されている。
連動機構２４の動作を、図６を参照しながら説明する。
洗浄が開始される前、駆動シリンダ２５のピストンロッドを前進することにより、揺動レバー２６を反時計方向に揺動させる。
ピストンロッドの前進の完了後、ピストンロッドが後退されるまたは自由状態にされる。これにより、揺動レバー２６が、スプリング２７に引っ張られ、時計方向に揺動する。揺動レバー２６が時計方向に揺動すると、スプリング３２を介して回収アーム３１が時計方向に揺動される。回収アーム３１の時計方向の揺動により、ラチェット機構３３を介して回収リール２０が回転される。そして、回収リール２０は、揺動レバー２６の時計方向の揺動量に対応した量の洗浄テープ１２を巻き取る。
揺動レバー２６が時計方向に揺動すると、リンク２８を介して送りアーム２９が反時計方向に揺動する。送りアーム２９が反時計方向に揺動すると、ラチェット機構３３を介して駆動ローラ１７ａが反時計方向に回転される。そして、駆動ローラ１７ａが、ピンチローラ１７ｂと協働して挟持している洗浄テープ１２を、揺動レバー２６の時計方向の揺動量に対応した量移動させる。
図７に示すように、押圧部材１１ａ，１１ｂは、ユニットフレーム２２に設けられたガイドレール３５に沿ってＺ軸方向に自由に移動する可動体３６ａ，３６ｂに、取り付けブロック３７ａ，３７ｂを介して固定されている。また、スプリング３８が、取り付けブロック３７ａ，３７ｂの間に配置されている。さらに、可動体３６ａ，３６ｂのガイドレール３５からの脱落を防止するストッパ３９ａ，３９ｂが設けられている。
可動体３６ａ，３６ｂは、ユニットフレーム２２を貫通して延びる操作レバー４０ａ，４０ｂを備える。これらの可動体３６ａ，３６ｂは、操作レバー４０ａ，４０ｂの先端が洗浄機構４の本体４ａに設けられている駆動シリンダ４１ａ，４１ｂのピストンロッドの先端４２ａ，４２ｂによって操作されることにより、駆動される。
駆動シリンダ４１ａ，４１ｂが操作レバー４０ａ，４０ｂを操作することにより、押圧部材１１ａが洗浄テープ１２を洗浄面１ａに押し付ける力と、押圧部材１１ｂが洗浄テープ１２を洗浄面１ｂに押し付ける力とが調節される。駆動シリンダ４１ａ，４１ｂが同一の制御で制御されると、押圧部材１１ａが洗浄テープ１２を介して洗浄面１ａを押圧する力と、押圧部材１１ｂが洗浄テープ１２を介して洗浄面１ｂを押圧する力が等しくなる。このように押圧力が等しい状態を維持しつつ、基板１が基板移動装置３によってその側縁部の長手方向に移動されると、洗浄面１ａ，１ｂが洗浄テープ１２によって等しく洗浄される。なお、駆動シリンダ４１ａ，４１ｂとスプリング３８とにより、押圧部材１１ａ，１１ｂは、基板１のその側縁部の長手方向への移動中、洗浄テープ１２を介して基板１の側縁部と好ましく接触し続けることができる。
また、図２〜図４に示すように、押圧部材１１ａ，１１ｂのガイド面１４（図４参照）より上流側の洗浄テープ１２の部分にエタノール、イソプロピルアルコールなどの揮発性の洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出ノズル４３ａ，４３ｂが設けられている。洗浄剤は、洗浄テープ１２が移動される直前に、ポンプ（図示せず）により、タンク（図示せず）からパイプ（図示せず）を介して洗浄剤吐出ノズル４３ａ，４３ｂに送られ、洗浄剤吐出ノズル４３ａ，４３ｂから洗浄テープ１２に向かって吐出される。洗浄剤が吐出された洗浄テープ１２の部分４７は、色が変化する。この洗浄テープ１２の色を検出する色検出センサ４４ａ，４４ｂが、洗浄剤が吐出された洗浄テープ１２の部分４７の色を検出できる位置に設けられている。
また、図２、図３の（ａ）に示すように、洗浄テープ１２の汚れを検出する汚れ検出センサ４５が、ループ経路１９を形成するガイドローラ１８ｄと１８ｅとの間に配置されている。すなわち、汚れ検出センサ４５は、押圧部材１１ａと基板１の洗浄面１ａとの間を通過した後、且つ押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間を通過する前の、洗浄テープ１２の払拭面１２ｂの汚れを検出する。
制御装置４６が基台５内に配置されている。制御装置４６は、基板搬送装置２、基板移動装置３、洗浄機構４の駆動シリンダ２５、４１ａ、４１ｂ、及び洗浄剤のポンプ（図示せず）を制御するように構成されている。
制御装置４６は、色検出センサ４４ａ、４４ｂの検出信号に基づいて洗浄テープ１２への洗浄剤の吐出量を確認する。そして、制御装置４６は、確認結果に基づき、ポンプ（図示せず）を制御することにより、洗浄剤の吐出量を調節する。
また、制御装置４６は、汚れ検出センサ４５の検出信号に基づいて、洗浄テープ１２の汚れが所定以上の汚れであるか否かを判定する。所定以上の汚れである場合、制御装置４６は、洗浄テープ１２の払拭面１２ｂの所定以上の汚れが検出された部分が押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間をスキップするように、駆動シリンダ２５を制御する。さらに、制御装置４６は、スキップの実行頻度（例えば、規定時間あたりのスキップ実行回数）が規定の頻度を超えると、警告を通知するように構成されている。
ここからは、基板洗浄装置によって基板１の側縁部の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面を洗浄する流れを、主に図８、補助的に図１〜図５を参照しながら説明する。
まず、基板１が、基板搬送装置２により、基板洗浄装置に搬入され、基板移動装置３の基板保持機構８にセットされる。そして、基板移動装置３により、基板１の側縁部（洗浄面の長手方向一端）が、押圧部材１１ａ、１１ｂの間に位置決めされる（ステップＳ１）。なお、このとき、押圧部材１１ａと１１ｂは、基板１の側縁部の厚さを超える距離をあけて離れている。
洗浄剤吐出ノズル４３ａ、４３ｂから洗浄テープ１２に洗浄剤が所定量吐出される。（ステップＳ２）。なお、洗浄剤の吐出後、洗浄剤が吐出された洗浄テープ１２の部分４７が色検出センサ４４ａ，４４ｂによって検出され、洗浄テープ１２に洗浄剤が所定量吐出されたことが確認される。
駆動シリンダ２５により、洗浄テープ１２が所定の送り量移動される。これにより、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間および押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間に、洗浄剤が吐出された洗浄テープ１２の部分が配置される（ステップＳ３）。
基板１の位置決めと洗浄テープ１２の移動が完了したことが確認される（ステップＳ４）。
駆動シリンダ４１ａ、４１ｂにより、図５に示すように、押圧部材１１ａ、１１ｂに洗浄テープ１２を基板１の側縁部に押し付けさせる。これにより、基板１の側縁部の表側の洗浄面１ａに洗浄テープ１２の払拭面１２ａが接触した状態で維持され、裏側の洗浄面１ｂに払拭面１２ｂが接触した状態で維持される（ステップＳ５）。
基板移動装置３により、基板１がその側縁部の長手方向に移動される。これにより、洗浄テープ１２の払拭面１２ａが、基板１の側縁部の表側に位置する洗浄面１ａの一端から他端に亘って該洗浄面１ａを洗浄する。それと同時に、洗浄テープ１２の払拭面１２ｂが、基板１の側縁部の裏側に位置する洗浄面１ｂの一端から他端に亘って該洗浄面１ｂを洗浄する（ステップＳ６）。なお、基板１を長手方向に少なくとも１回往復させることにより、基板１の側縁部の洗浄面１ａ，１ｂを洗浄してもよい。
洗浄の完了後、駆動シリンダ４１ａ、４１ｂにより、押圧部材１１ａ、１１ｂが基板１から離れる方向に移動される（ステップＳ７）。
基板移動装置３により、基板１の側縁部が押圧部材１１ａ，１１ｂの間から出るように基板１が移動される。そして、ＡＣＦ貼付装置の基板搬送装置（図示せず）により、基板１が基板洗浄装置から搬出される（ステップＳ８）。
ＡＣＦ貼付装置の基板搬送装置（図示せず）によって搬出された基板１が、ロット内の最後の基板であるか否かを判定する（ステップＳ１６）。最後の基板である場合は終了し、そうでない場合はステップＳ１にリターンする。
なお、基板１に洗浄が必要な複数の側縁部が存在する場合（例えば、基板が長方形であって、４つの側縁部の洗浄が必要な場合）、ステップＳ１６の実行前に、全ての側縁部の洗浄が完了したか否かが判定される。完了している場合はステップＳ１６に進む。そうでない場合は、基板移動装置３によって未洗浄の側縁部を押圧部材１１ａ，１１ｂとの間に位置合わせし、ステップＳ２にリターンする。
洗浄テープの所定の送り量の移動の開始前または完了後（ステップＳ３の開始直前または完了後）に、洗浄テープ１２の払拭面１２ｂの汚れが、汚れ検出センサ４５によって検出される（ステップＳ１０）。
汚れ検出センサ４５の汚れ検出結果のデータが記憶装置（図示せず）に記憶される（ステップＳ１１）。この記憶装置は、洗浄テープ１２の複数の部分（所定の送り量間隔で区分される複数の部分）それぞれの汚れ検出結果のデータを記憶している。
洗浄テープ１２の所定の送り量の移動前（ステップＳ３の開始前）、洗浄テープ１２の所定の送り量の移動が実行された後に押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間に位置する洗浄テープ１２の部分について、汚れが規定以上の汚れか否かが判定される（ステップＳ１２）。この判定は、記憶装置に記憶されている洗浄テープ１２の複数の部分それぞれの汚れ検出結果のデータに基づいて実行される。
洗浄テープ１２の所定の送り量の移動後に押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間に位置する洗浄テープ１２の部分の汚れが規定以上でない場合、ステップＳ４に進む。
一方、洗浄テープ１２の所定の送り量の移動後（ステップＳ３の実行後）に押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間に位置する洗浄テープ１２の部分の汚れが規定以上の場合、駆動シリンダ２５により、洗浄テープ１２が所定量移動される（ステップＳ１３）。これにより、ステップＳ３の実行後、規定以上の汚れの洗浄テープ１２の部分が、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間に位置しない（結果として、規定以上の汚れの洗浄テープ１２の部分が、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間をスキップする）。
スキップの実行頻度が規定の頻度（例えば、規定時間あたりのスキップ実行回数）以上か否かが判定される（ステップＳ１４）。規定の頻度以上でない場合、ステップＳ１２にリターンする。一方、規定の頻度以上である場合、警告が通知される（ステップＳ１５）。この警告通知により、作業者が、洗浄テープ１２のトラブルの発生を知ることができる。例えば、作業者は、洗浄剤が過剰に吐出されるトラブル（払拭面１２ａに吐出された過剰な洗浄剤が反対側の払拭面１２ｂに現出し、現出した洗浄剤が汚れとして検出されるトラブル）の発生を知ることができる。また、作業者は、基板１の洗浄が開始される前の基板１の洗浄面１ａが、通常より汚れているトラブルの発生を知ることができる。
本実施形態によれば、洗浄テープ１２は、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を、払拭面１２ａが洗浄面１ａに対向した状態で、基板１の側縁部の長手方向と直交する方向に通過する。押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を通過した洗浄テープ１２はループして、その払拭面１２ｂが基板１の裏側に対向する。ループした洗浄テープ１２は、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間を、払拭面１２ｂが洗浄面１ｂに対向した状態で、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間における通過方向と同一方向に通過する。この状態で、基板１がその側縁部の長手方向に移動されることにより、洗浄テープ１２が払拭面１２ａによって洗浄面１ａを洗浄し、それと同時に払拭面１２ｂによって洗浄面１ｂを洗浄する。これにより、洗浄テープ１２を１８０度捻ることなく、洗浄テープ１２によって洗浄面１ａ，１ｂを適切に洗浄することができる。また、洗浄テープ１２の２つの払拭面１２ａと１２ｂとが使用されるため、洗浄テープ１２の消費量を抑制する、言い換えると洗浄テープ１２の交換頻度を少なくすることができる。その結果、基板１の洗浄コストが低くなる。
また、図１、図２、図６および図７に示すように、供給リール１６、洗浄テープ駆動装置１７、押圧部材１１ａ，１１ｂ、テープ経路形成部材１８（複数のガイドローラ１８ａ〜１８ｈ）、および回収リール２０は、ユニットフレーム２２に設けられることにより、１つの洗浄ユニット２１を構成している。そして、この洗浄ユニット２１は、図７に示すように、基台５に設けられた洗浄機構４の本体４ａに着脱可能に装着される。したがって、未使用の洗浄テープ１２がセットされた洗浄ユニット２１と、洗浄テープを使い果たした、洗浄機構４の本体４ａに装着されている洗浄ユニット２１とを交換することにより、未使用の洗浄テープ１２を簡単に短時間で洗浄機構４にセットすることができる。
さらに、供給リール１６と回収リール２０とが、それぞれの回転中心線が実質的に一致した状態で並列するため、それぞれの回転中心線が実質的に一致しない場合に比べて基板洗浄装置、特に洗浄ユニット２１がコンパクト化される。
さらにまた、洗浄テープ１２の払拭面１２ｂの汚れが部分的に規定以上の汚れである場合、規定以上の汚れの部分が、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間をスキップする。これにより、規定以上の汚れの洗浄テープ１２の部分が洗浄面１ｂの洗浄に使用されなくなる。その結果、洗浄不良の発生が抑制される。
加えて、洗浄テープ１２が押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間をスキップする回数が、規定の頻度以上になると、警告が通知される。これにより、作業者が、洗浄テープ１２のトラブルの発生を知ることができる。
さらに加えて、押圧部材１１ａが洗浄面１ａに洗浄テープ１２を押し付け、且つ押圧部材１１ｂが洗浄面１ｂに洗浄テープ１２を押し付けることにより、別の観点から見れば、基板１の側縁部は２つの押圧部材１１ａ，１１ｂによって挟持される。そのため、基板移動装置３が、基板１の側縁部を支持する必要がなくなる。すなわち、基板１は、基板移動装置３によって実質的な中央部が支持されるとともに、側縁部が２つの押圧部材１１ａ，１１ｂに支持されることにより、安定した姿勢で支持される。これにより、基板移動装置３をコンパクトにすることができる。
さらに加えて、洗浄機構４は、洗浄テープ１２を基板１の移動方向と直交する方向に送るように構成されているので、すなわち２つのリール１６，２０の径方向が基板１の移動方向と直交するように洗浄ユニット２１に設けられているので、基板１の移動方向の寸法が小さくコンパクトである。
さらに加えて、押圧部材１１ａ，１１ｂそれぞれは、基板１に対向する対向面（洗浄テープ１２と接触する面）１３に突起１３ａを備えて、洗浄テープ１２が基板１とともに側縁部の長手方向に移動しないように該洗浄テープ１２を係止している。これにより、基板１の移動速度を上げても、洗浄テープ１２は基板１の側縁部の洗浄面を確実に洗浄することができる。
以上、本発明の第１の実施形態に係る基板洗浄装置について説明したが、本実施形態の基板洗浄装置は、後述するようにまたは後述する以外にも、様々に変形することが可能であることは当業者にとって明らかである。
例えば、図６に示すように、回収リール２０と洗浄テープ駆動装置１７とを駆動する駆動シリンダ２５が、モータであってもよい。この場合、モータは、ギヤまたはベルトを介して回収リール２０と洗浄テープ駆動装置１７とを駆動する。モータは、回転量が制御可能なステッピングモータが好ましい。
また、上述の第１の実施形態の場合、図１や図２に示すように、洗浄テープ１２が押圧部材１１ａ，１１ｂと洗浄面１ａ，１ｂとの間を通過するときの方向は、基板１の側縁部の長手方向（基板１の移動方向）と直交する方向であるが、これと異なる方向でも可能である。例えば、洗浄テープ１２が押圧部材１１ａ，１１ｂと洗浄面１ａ，１ｂとの間を、基板１の側縁部の長手方向に通過するように、基板洗浄装置を構成することは可能である。
さらに、上述の第１の実施形態の場合、図１や図２に示すように、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を洗浄テープ１２が通過する方向と、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間を通過する方向とが同一であるが、この２つの通過方向は同一でなくともよい。ただし、この２つの通過方向は、同一の方向が好ましい。理由は、例えば図２に示すように、ループ経路１９によってループされる洗浄テープ１２は、ループ開始時の洗浄テープ１２の移動方向とループ終了時の移動方向とが略同一方向であるためである。そのため、２つの通過方向を異なるようにするためには、ループ経路１９の後に洗浄テープの移動方向を略１８０度変える別の経路が必要になり、テープ経路全体が長くなる。その結果、基板洗浄装置、特に洗浄ユニット２１が大きくなる。したがって、２つの通過方向を同一方向にするのが、ループ経路１９を含むテープ経路全体を短くすることができる、すなわち洗浄ユニット２１をコンパクトにすることができるので好ましい。
さらに、上述の第１の実施形態の場合、図５に示すように、洗浄テープ１２の払拭面１２ａによる洗浄面１ａの洗浄と、払拭面１２ｂによる洗浄面１ｂの洗浄とが同時に実行されるが、払拭面１２ａによる洗浄と払拭面１２ｂによる洗浄は同時でなくてもよい。洗浄テープ１２の一方の払拭面１２ａのみを使用して２つの洗浄面１ａ，１ｂを洗浄し、一方の払拭面１２ａを使い果たした後、他方の払拭面１２ｂを使用して２つの洗浄面１ａ，１ｂを洗浄するようにしてもよい。
これが可能になるように変形された基板洗浄装置が、図９に示されている。なお、以下、上記第１の実施形態に係る基板洗浄装置と異なる基板洗浄装置の説明において、上記第１の実施形態の構成要素と同一の構成要素は、同一の参照符号が付されている。また、主に、上記第１の実施形態に係る基板洗浄装置と異なる点について説明する。
図９に示す基板洗浄装置は、洗浄テープ１２が、押圧部材１１ａと基板１の側縁部の表側に位置する洗浄面との間を通過し、次にガイドローラ１８ｈによって折り返し、続いて押圧部材１１ｂと側縁部の裏側に位置する洗浄面との間を通過するように形成されたテープ経路を有する。すなわち、洗浄テープ１２の一方の払拭面の異なる部分によって２つの洗浄面を同時に洗浄するように構成されている。また、この基板洗浄装置は、上述の第１の実施形態と同様に、基板１の側縁部の表側の洗浄面を洗浄した払拭面の部分が押圧部材１１ｂと側縁部の裏側の洗浄面との間をスキップするように、洗浄テープを送る構成にされている（払拭面の同じ部分が、２つの洗浄面を洗浄しないように構成されている）。
この基板洗浄装置はさらに、一方の払拭面のみ使用された洗浄テープ１２を巻き取って回収した回収リール２０を供給リール１６として使用できるように、且つ一方の払拭面のみが洗浄に使用された後に他方の払拭面が洗浄に使用されるように構成されている。
例えば、図９に示すように、洗浄機構４は、回収リール２０が洗浄に使用された払拭面をリール中心に向けて洗浄テープ１２を巻き取るように、回収リール２０を駆動する構成にされている。また、洗浄機構４は、供給リール１６を両方向に自由回転可能に支持するように構成されている。さらに、回収リール２０が供給リール１６として使用可能に構成されている。これにより、以下の手順にしたがい、洗浄テープ１２の両方の払拭面を洗浄に使用することができる。
まず、回収リール２０が、一方の払拭面のみ洗浄に使用された洗浄テープ１２を、洗浄に使用された払拭面をリール中心に向けて巻取り回収する。次に、洗浄テープ１２の回収が完了した回収リール２０を反転し、供給リール１６として洗浄機構４にセットする。続いて、供給リール１６（回収リール２０）が巻回する洗浄テープ１２が、未使用の払拭面が基板１の側縁部の表側と裏側とに対向するように、テープ経路形成部材１８にセットされる。
これにより、洗浄テープ１２の一方の払拭面のみを使用して２つの洗浄面１ａ，１ｂを洗浄し、一方の払拭面１２ａを使い果たした後、他方の払拭面１２ｂを使用して２つの洗浄面１ａ，１ｂを洗浄することができる。
さらにまた、上述の第１の実施形態の場合、図４に示すように、洗浄中、基板１がその側縁部の長手方向に移動するが、洗浄テープ１２が基板１の側縁部の長手方向に移動してもよい。
具体的には、図９に示す基板洗浄装置のように、洗浄ユニット２１を基板１の側縁部の長手方向に移動させる洗浄ユニット移動装置５０が基板洗浄装置に設けられる。この洗浄ユニット移動装置５０が洗浄ユニット２１を基板１の側縁部の長手方向に移動させることにより、洗浄テープ１２は側縁部の長手方向に移動することができる。なお、洗浄ユニット移動装置５０は、洗浄ユニット２１を着脱可能に装着した洗浄ユニット２１を移動させるように構成されるのが好ましい。未使用の洗浄テープ１２がセットされた洗浄ユニット２１と、洗浄テープを使い果たした、洗浄ユニット移動装置５０に装着されている洗浄ユニット２１とを交換することにより、未使用の洗浄テープ１２を簡単に短時間で洗浄機構４にセットすることができる。
洗浄ユニット２１が基板１の側縁部の長手方向に移動する場合、図９に示すように、供給リール１６と回収リール２０は、それぞれの回転中心線Ｃが実質的に一致した状態で並列するのがよい。
一例として、２つのリールそれぞれの回転中心線が実質的に一致せず、回転中心線が延びる方向（洗浄ユニット２１の移動方向）に見たときに、奥側のリールの一部が手前側のリールの外周から部分的に露出している場合を挙げる（手前側のリールの径は、奥側のリールの径と等しい、または大きい）。この例の場合、回転中心線が実質的に一致して奥側のリールが手前のリールに完全に隠れる場合に比べて、露出部分が存在することにより、洗浄ユニット２１は相対的に大きくなり、剛性が相対的に低下する。また、洗浄ユニット２１の移動中にリール及びリールを支持する部材が揺れやすくなり、例えば、振動等が発生しやすくなる。その結果、洗浄ユニット２１を高速に移動することが困難になる。
洗浄ユニット２１が洗浄ユニット移動装置５０によって基板１の側縁部の長手方向に移動され、且つ供給リール１６と回収リール２０とがそれぞれの回転中心線が実質的に一致した状態で並列に洗浄ユニット２１に設けられることにより、基板１の側縁部の長手方向に高速に、例えば、３００〜５００ｍｍ／ｓの速度で移動することができるコンパクトな洗浄ユニット２１が実現される。また、洗浄ユニット２１は、コンパクトな構成であるため、軽量で剛性が高く、高速での移動中の振動発生を抑制してスムーズに移動することができる。また、このような構成であるため、洗浄ユニット２１は、その始動、加速、減速、および停止に大きなエネルギを必要としない。すなわち、洗浄ユニット移動装置５０もコンパクトな構成にすることができる。
なお、洗浄ユニット２１を基板１の側縁部の長手方向に高速に移動させて洗浄時間を短くし、その結果として洗浄コストを抑制することを考えると、洗浄テープ１２のテープ経路は、テープ経路が短いシンプルな経路が好ましい。シンプルなテープ経路の場合、テープ経路形成部材１８、すなわちガイドローラの数が少なくなり、洗浄ユニット２１を軽量化することができる。
一例として、洗浄ユニット２１を高速に移動させることができるシンプルなテープ経路として、図９に示すテープ経路が挙げられる。図９に示すテープ経路は、洗浄テープ１２が、押圧部材１１ａと基板１の側縁部の表側に位置する洗浄面との間を通過し、次にガイドローラ１８ｈによって折り返し、続いて押圧部材１１ｂと側縁部の裏側に位置する洗浄面との間を通過するように形成されている（テープ経路は、洗浄テープ１２の一方の払拭面の異なる部分によって２つの洗浄面を同時に洗浄するように形成されている）。この図９に示すシンプルなテープ経路によれば、洗浄ユニット２１は、軽量化され、高速に移動することができる。
また、大型基板は、このような洗浄ユニット２１により、大型基板をその側縁部の長手方向に移動させる大型の基板移動装置を使用することなく、短時間に洗浄される。その結果、大型基板の洗浄コストが抑制される。
さらに加えて、基板１と洗浄テープ１２との両方が、基板の側縁部の長手方向に相対的に移動するようにしてもよい。
この場合、基板洗浄装置は、基板移動装置３と図９に示す洗浄ユニット移動装置５０との両方を有する。基盤移動装置３が基板１をその長手方向の一方側に移動させ、洗浄ユニット移動装置５０が洗浄ユニット２１を該長手方向の他方側に移動させることにより、より高速に洗浄を実行することができる。
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態に係る基板洗浄装置を、図１０を参照しながら説明する。
上記第１の実施形態の基板洗浄装置は、洗浄テープ１２を回収リール２０が巻き取ることによって回収する。これに対して、本実施形態の基板洗浄装置は、図１０に示すように、回収リール２０の代わりに、洗浄テープ１２を回収する洗浄テープ回収装置４８と、洗浄テープ回収装置４８が回収した洗浄テープ１２を収容する回収ボックス４９とを有する。
洗浄テープ回収装置４８は、洗浄テープ１２を引っ張る回収ローラ４８ａと、洗浄テープ１２を回収ローラ４８ａに押し付けるピンチローラ４８ｂとを有する。回収ローラ４８ａとピンチローラ４８ｂは、洗浄ユニット２１のユニットフレーム２２に設けられている（洗浄ユニット２１に組み込まれている）。また、回収ローラ４８ａは、駆動ローラ１７ａと同期して回転するように構成されている。
回収ボックス４９は、洗浄機構４の本体４ａに取り外し可能に据え付けられている。
本実施形態によれば、回収リール２０を使用することなく、洗浄テープ１２を回収することができる。
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係る基板洗浄装置を、図１１を参照しながら説明する。
上述の第１の実施形態に係る基板洗浄装置において、洗浄テープ１２は、図１または図２に示すように、テープ経路形成部材１８により、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を通過した後、基板１と供給リール１６との間の空間内でループする。これに対して、本実施形態に係る基板洗浄装置は、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を通過した洗浄テープ１２を、テープ経路形成部材１８（複数のガイドローラ１８ａ〜１８ｈ）により、供給リール１６の周囲（径方向外側）に沿ってループさせる。
本実施形態によれば、図２と図１１とを比較すれば明らかなように、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間からガイドローラ１８ｄまでの距離が、第１の実施形態に比べて長くなる。これにより、払拭面１２ａによって洗浄面１ａを洗浄した洗浄テープ１２がガイドローラ１８ｄに到達する前に、洗浄剤が洗浄テープ１２から十分に揮発する。その結果、洗浄テープ１２の払拭面１２ａ上の汚れが、洗浄剤とともにガイドローラ１８ｄ〜１８ｇに転写されることが抑制される。
（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態に係る基板洗浄装置を、図１２を参照しながら説明する。なお、本実施形態は、第３の実施形態と類似する。
上記第３の実施形態に係る基板洗浄装置において、洗浄テープ１２は、図１１に示すように、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を供給リール２０に接近する方向に通過し、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間も供給リール２０に接近する方向に通過する。これに対し、本実施形態に係る基板洗浄装置において、洗浄テープ１２は、図１２に示すように、押圧部材１１ａと洗浄面１ａとの間を供給リール２０から離れる方向に通過し、押圧部材１１ｂと洗浄面１ｂとの間も供給リール２０から離れる方向に通過する。
なお、図１２の（ａ）は、供給リール１６と回収リール２０が、それぞれの回転中心線が実質的に一致するように並列されている例であり、図１２の（ｂ）は、供給リール１６と回収リール２０が実質的に同一平面上に配置されている例である。
本実施形態によれば、図１２に示すように、ループ経路１９を形成するガイドローラ１８ｃ〜１８ｆは、洗浄面１ａを洗浄して汚れた払拭面１２ａに触れることなく、洗浄テープ１２をガイドしてループさせることができる。その結果、複数のガイドローラ１８ｃ〜１８ｆが汚れることが抑制される。
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
２００８年１０月３１日に出願された日本国特許出願Ｎｏ．２００８−２８２３１３号およびこの出願に基づく優先権主張出願である２００９年７月３１日に出願された日本国特許出願Ｎｏ．２００９−１７９０９９号の明細書、図面、及び特許請求の範囲の開示内容は、全体として参照されて本明細書の中に取り入れられるものである。
本発明が、基板の側縁部に限らず、他の部分の表側と裏側とにそれぞれ位置する洗浄面を、洗浄テープの２つの払拭面によって適切に且つ高速に洗浄することか可能であることは明らかである。したがって、基板の洗浄が必要な分野、例えば、基板に部品を実装する部品実装の分野において、本発明は好適に利用することができる。

Claims (12)

  1. 基板の側縁部の表側に位置する第１の洗浄面と裏側に位置する第２の洗浄面とを、第１の払拭面と第２の払拭面とを備えた布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、
    洗浄テープを第１の洗浄面に押し付ける第１の押圧部材と、
    洗浄テープを第２の洗浄面に押し付ける第２の押圧部材と、
    第１の押圧部材と第１の洗浄面との間と第２の押圧部材と第２の洗浄面との間とを通過する、洗浄テープのテープ経路を形成するテープ経路形成部材と、
    テープ経路に洗浄テープを供給するテープ供給装置と、
    テープ経路から洗浄テープを回収するテープ回収装置と、
    洗浄テープを駆動するテープ駆動装置と、
    洗浄テープに洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出装置と、
    洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させる移動装置とを有し、
    テープ経路が、
    洗浄テープを、第１の払拭面が第１の洗浄面に対向した状態で、第１の押圧部材と第１の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過させる第１の経路と、
    第１の経路を通過した後の洗浄テープを、第２の払拭面が基板の裏側に対向するようにループさせる第２の経路と、
    第２の経路を通過した後の洗浄テープを、第１の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、第２の払拭面が第２の洗浄面に対向した状態で、第２の押圧部材と第２の洗浄面との間を通過させる第３の経路とを含む基板洗浄装置。
  2. 基板の側縁部の表側に位置する第１の洗浄面と裏側に位置する第２の洗浄面とを、第１の払拭面と第２の払拭面とを備えた布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、
    洗浄テープを第１の洗浄面に押し付ける第１の押圧部材と、
    洗浄テープを第２の洗浄面に押し付ける第２の押圧部材と、
    第１の押圧部材と第１の洗浄面との間と第２の押圧部材と第２の洗浄面との間とを通過する、洗浄テープのテープ経路を形成するテープ経路形成部材と、
    テープ経路に洗浄テープを供給するテープ供給装置と、
    テープ経路から洗浄テープを回収するテープ回収装置と、
    洗浄テープを駆動するテープ駆動装置と、
    洗浄テープに洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出装置と、
    洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させる移動装置とを有し、
    テープ経路が、
    洗浄テープを、第１の払拭面が第１の洗浄面に対向した状態で、第１の押圧部材と第１の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過させる第１の経路と、
    第１の経路を通過した後の洗浄テープを、第２の払拭面が基板の裏側に対向するようにループさせる第２の経路と、
    第２の経路を通過した後の洗浄テープを、第２の払拭面が第２の洗浄面に対向した状態で、第２の押圧部材と第２の洗浄面との間を通過させる第３の経路とを含み、
    テープ供給装置が、洗浄テープを巻回した供給リールを有し、
    テープ回収装置が、洗浄テープを巻き取って回収する回収リールを有し、
    供給リールと回収リールとが並列する基板洗浄装置。
  3. 第３の経路が、テープ経路形成部材により、第１の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、洗浄テープが通過するように形成されている請求項２に記載の基板洗浄装置。
  4. テープ経路形成部材が、第３の経路から第２の経路の洗浄テープ幅方向の横を通過することにより該第２の経路を迂回してテープ回収装置に至る第４の経路を含むテープ経路を形成する、または、テープ供給装置から第２の経路の洗浄テープ幅方向の横を通過することにより該第２の経路を迂回して第１の経路に至る第５の経路を含むテープ経路を形成する請求項１から３のいずれか１項に記載の基板洗浄装置。
  5. テープ供給装置、第１および第２の押圧部材、およびテープ経路形成部材を少なくとも含み、基板洗浄装置の本体に着脱可能に装着される洗浄ユニットを有し、
    テープ供給装置を駆動する駆動装置と、第１および第２の押圧部材を駆動する駆動装置とを基板洗浄装置の本体に有する請求項１から３のいずれか１項に記載の基板洗浄装置。
  6. 第２の経路が、テープ経路形成部材により、洗浄テープをテープ供給装置の周囲に沿ってループさせるように形成されている請求項１から３のいずれか１項に記載の基板洗浄装置。
  7. 第１の経路が、テープ経路形成部材により、第１の押圧部材と第１の洗浄面との間をテープ供給装置から離れる方向に洗浄テープが通過するように形成され、
    第２の経路が、テープ経路形成部材により、第１の経路を通過した洗浄テープをテープ供給装置の周囲に沿ってループさせるように形成され、
    第３の経路が、テープ経路形成部材により、第１の経路における洗浄テープの通過方向と同一方向に、洗浄テープが通過するように形成されている請求項１から３のいずれか１項に記載の基板洗浄装置。
  8. テープ駆動装置による洗浄テープの送り量を制御する制御装置と、
    第１の押圧部材と第１の洗浄面との間を通過した後の洗浄テープの第２の払拭面の汚れを検出する汚れ検出装置とを有し、
    制御装置が、汚れ検出装置によって規定以上の汚れが検出された第２の払拭面の部分が第２の押圧部材と第２の洗浄面との間をスキップするように、洗浄テープの送り量を制御する請求項１から３のいずれか１項に記載の基板洗浄装置。
  9. 制御装置によるスキップの実行頻度が規定の頻度以上になると、警告を通知する請求項８に記載の基板洗浄装置。
  10. 基板の側縁部の表側に位置する第１の洗浄面と裏側に位置する第２の洗浄面とを、第１の払拭面と第２の払拭面とを備えて洗浄剤が含浸された布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄方法であって、
    第１の押圧部材によって洗浄テープを第１の洗浄面に押し付けた状態、且つ第２の押圧部材によって洗浄テープを第２の洗浄面に押し付けた状態を維持しつつ、洗浄テープと基板とを該基板の側縁部の長手方向に相対的に移動させることによって第１および第２の洗浄面を洗浄し、
    洗浄テープを、
    第１の払拭面が基板の第１の洗浄面に対向した状態で、第１の押圧部材と第１の洗浄面との間を、基板の側縁部の長手方向と直交する方向に通過し、
    次に第２の払拭面が基板の裏側に対向するようにループし、
    続いて第１の押圧部材と第１の洗浄面との間における洗浄テープの通過方向と同一方向に、第２の払拭面が第２の洗浄面に対向した状態で、第２の押圧部材と第２の洗浄面との間を通過するように駆動する基板洗浄方法。
  11. 基板の側縁部の表側に位置する第１の洗浄面と裏側に位置する第２の洗浄面とを、第１の払拭面と第２の払拭面とを備えた布製の洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、
    洗浄テープを第１の洗浄面に押し付ける第１の押圧部材、
    洗浄テープを第２の洗浄面に押し付ける第２の押圧部材、
    第１の押圧部材と第１の洗浄面との間と第２の押圧部材と第２の洗浄面との間とを通過する、洗浄テープのテープ経路を形成するテープ経路形成部材、
    テープ経路に洗浄テープを供給するテープ供給装置、
    テープ経路から洗浄テープを回収するテープ回収装置、
    洗浄テープを駆動するテープ駆動装置、および、
    洗浄テープに洗浄剤を吐出する洗浄剤吐出装置を含む洗浄ユニットと、
    洗浄ユニットを基板の側縁部の長手方向に移動させる洗浄ユニット移動装置とを有し、
    テープ供給装置が、洗浄テープを巻回した供給リールを有し、
    テープ回収装置が、洗浄テープを巻き取って回収する回収リールを有し、
    供給リールと回収リールとが並列する基板洗浄装置。
  12. 洗浄ユニット移動装置が、着脱可能に装着した洗浄ユニットを移動させるように構成されている請求項１１に記載の基板洗浄装置。
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