JP2011016080A - 基板洗浄装置及びその方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の被洗浄面の洗浄に当たって洗浄クロスをその幅方向に有効利用することで、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図るとともに、洗浄クロスの交換間隔を長くして生産効率を向上する。
【解決手段】基板１の被洗浄面１ａ、１ｂに押圧される押圧子と、基板１の被洗浄面１ａ、１ｂに対する押圧子の対向面１５にテープ状の洗浄クロス１２を送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロス１２に洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板１の被洗浄面１ａ、１ｂの長手方向に相対移動させる移動手段とを備えた基板洗浄装置において、洗浄クロス１２の幅方向に複数の押圧子１１ａ１、１１ａ２と１１ｂ１、１１ｂ２とを並列配置するとともに、各押圧子１１ａ１、１１ａ２と１１ｂ１、１１ｂ２とを被洗浄面１ａ、１ｂに対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成した。
【選択図】図５

Description

本発明は、液晶ディスプレイ用やプラズマディスプレイ用のガラス基板などの各種基板の被洗浄面を洗浄する基板洗浄装置及びその方法に関するものである。

従来、上記ガラス基板の製造工程においては、図１３に示すように、ガラス基板４１の側縁部に形成された電極４２に各種部品４４を実装する工程がある。その実装工程では、工程（ａ）で、供給されたガラス基板４１における電極４２が配置されている側縁部に付着している異物を除去する洗浄工程を行い、次に工程（ｂ）で、電極４２が配置されている側縁部に異方性導電材（ＡＣＦ）４３を貼り付けるＡＣＦ貼付工程を行い、次に工程（ｃ）で、電極配置位置に部品４４を供給して熱と圧力を加えて仮圧着した後、仮圧着時よりも高い熱と圧力を加えて本圧着する工程が行われる。

上記基板の側縁部の表面付着物を洗浄する基板洗浄装置としては、押圧子の基板表面に対する対向面にテープ状の洗浄クロスを供給するとともに、押圧子の対向面より洗浄クロスの送り方向上手側で洗浄クロスに向けて洗浄剤を吐出し、洗浄剤を含んだ洗浄クロスを押圧子にて基板の側縁部に押し付けた状態で押圧子に対し基板を相対移動させて基板の側縁部表面を洗浄するようにしたものが知られている。

従来のこの種の基板洗浄装置の構成例を、図１４を参照して説明する。基板洗浄装置は、基板５１を洗浄動作に伴って移動させる移動手段５２と、基板５１の洗浄を行う洗浄機構部５３とを備えている。移動手段５２にて基板５１の中央部を支持し、基板５１の側縁部の被洗浄面の一端を洗浄機構部５３における洗浄部５４に位置決めするとともに、洗浄動作に伴って洗浄部５４が側縁部に沿って被洗浄表面の他端まで相対移動するように基板５１を移動させるように構成されている。洗浄機構部５３の洗浄部５４は、基板５１の側縁部の上下両面にそれぞれ対向するように一対の押圧子５５ａ、５５ｂを配設し、これら両押圧子５５ａ、５５ｂをチャック機構（図示せず）にて開閉駆動し、押圧子５５ａ、５５ｂにて基板１の側縁部の上下両面の被洗浄面に洗浄クロス５６を押し付けるように構成されている。

洗浄クロス５６は、各押圧子５５ａ、５５ｂに対応して設けられた、供給リール５７ａ、５７ｂから適宜ガイドローラ５８を介して洗浄動作毎にピッチ送りされて、押圧子５５ａ、５５ｂにおける基板５１の被洗浄面に対向する対向面に送給され、対向面にて基板５１の被洗浄面に圧接されて洗浄を行い、その後適宜ガイドローラ５８を介して回収リール５９ａ、５９ｂに巻き取られるように構成されている。また、押圧子５５ａ、５５ｂから対向面にピッチ送りされる前の洗浄クロス５６に向けて洗浄剤を吐出し、洗浄クロス５６に所要量の洗浄剤が適正に吐出されたときの色変化を検出センサ６０にて検出して確認するように構成されている。

また、図１４にした例では、基板５１の側縁部の表面と裏面の被洗浄面を洗浄するため、各々に対応させて洗浄クロス５６の送給系を２つ設けていたが、図１５に示すように、洗浄クロス５６を供給リール５７から表面側の被洗浄面と押圧子５５ａの間に向けて一方向から送り込んでその洗浄を行った後、ガイド部材６１に半周巻き掛けて折り返し、裏面側の被洗浄面と押圧子５５ｂの間に向けて表面側の場合とは逆方向に洗浄クロス５６を送り込んで洗浄した後、回収リール５９にて巻き取るように構成した、単一の洗浄クロス５６の送給系を設けたものも知られている（特許文献１参照）。

さらに、洗浄クロスを表面側の被洗浄面に向けて一方向から送り込んでその洗浄を行った後、その洗浄クロスの表裏を反転させるように捻ってから反転させ、裏面側の被洗浄面に向けて表面側の場合とは逆方向に送り込んで洗浄するように構成して、洗浄クロスの表面と裏面で基板５１の表裏両面の被洗浄面を洗浄するようにしたものも知られている（特許文献２参照）。

また、表面側の被洗浄面を２回洗浄するため、１回目の洗浄を洗浄クロスの表面側で行った後、その洗浄クロスを捻って表裏を反転させ、２回目の洗浄を洗浄クロスの裏面側で行うようにしたものも知られている（特許文献３参照）。

特許第３５０３５１２号明細書 特許第４１１４４１６号明細書 国際公開２００６／１０６８０３号パンフレット

ところが、図１４に示した基板洗浄装置や特許文献１〜３に開示された基板洗浄装置は、何れにおいても所定長の被洗浄面の洗浄が終わると、洗浄クロスをピッチ送りし、押圧子の対向面と被洗浄面との間から洗浄した部分を送り出し、未洗浄部分を送り込むようにしているので、洗浄クロスの幅方向において、洗浄に寄与せずにきれいな状態のままの部分が残っていても、１回の洗浄毎に洗浄クロスを所定長さずつ送給することになり、そのため高価な洗浄クロスの消費量が多く、ランニングコストが高くなるとともに、洗浄クロスの交換頻度が多くなって生産効率を低下させるという問題がある。

なお、特許文献１の構成の場合、単一の洗浄クロスで表裏両面の被洗浄面を洗浄しているが、表面側の洗浄によって汚れが付着した洗浄クロスで裏面側を洗浄して汚れが転写しないようにするため、表面側の洗浄に寄与した部分の間で裏面側の洗浄を行うように洗浄クロスの送給制御が行われるものと考えられる。また、特許文献２や特許文献３の構成では、洗浄クロスの表裏両面を使用するようにしているので、洗浄クロスの使用量を略半分にすることは可能であるが、なお洗浄クロスの幅方向の無駄を無くすことはできず、上記問題は残るとともに、洗浄クロスを捻って表裏反転させているので、洗浄クロスに捻り癖が付くことがあり、裏面の洗浄や２回目の洗浄の際に洗浄が適切に行われない恐れがあるという問題がある。

本発明は、上記従来の問題に鑑み、基板の側縁部の被洗浄面の洗浄に当たって洗浄クロスをその幅方向に有効利用することで、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図るとともに、洗浄クロスの交換間隔を長くして生産効率を向上することができる基板洗浄装置及びその方法を提供することを目的とする。

本発明の基板洗浄装置は、基板の被洗浄面に押圧される押圧子と、基板の被洗浄面に対する押圧子の対向面にテープ状の洗浄クロスを送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロスに洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板の被洗浄面の長手方向に相対移動させる移動手段とを備えた基板洗浄装置において、洗浄クロスの幅方向に複数の押圧子を並列配置するとともに、各押圧子を被洗浄面に対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成したものである。

この構成によれば、洗浄クロスの幅方向に並列配置した複数の押圧子を押圧可能位置と
非押圧位置との間で位置切替可能としたことで、押圧子の位置切替によって洗浄クロスをその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれにて被洗浄面の洗浄を行うことにより、洗浄クロスをその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができ、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図ることができ、かつ洗浄クロスの交換間隔を長くできて生産効率を向上して洗浄することができる。

また、各押圧子の被洗浄面に対する対向面に、その相対移動方向と直交する方向に延びる１又は複数の突部を設けると、押圧子の基板に対する相対移動時に洗浄クロスが突部にて係止され、洗浄クロスに大きな張力を作用させなくても、洗浄クロスが相対移動方向に位置ずれするのを確実に防止することができ、洗浄クロスの張力及び押圧子の押し付け力を増大させることなく洗浄速度を上げても基板の被洗浄表面を安定して洗浄することができる。また、押圧子の対向面に比して面積の小さい突部の頂面にて洗浄クロスを基板の被洗浄表面に接触させるため、押圧子の押し付け力が小さくても洗浄に必要な接触圧を確保することができる。また、洗浄クロスの突部の側部近傍に洗浄剤が多く含浸した部分が発生することで、押圧子の相対移動時に突部と被洗浄表面の間に向けて洗浄剤が円滑に供給され、そのため洗浄作用がより効果的に発揮される。また、突部を複数設けると、洗浄クロスが接触して洗浄を行う箇所が複数に増加するため一層洗浄性能が向上する。

また、本発明の別の基板洗浄装置は、基板の被洗浄面に押圧される押圧子と、基板の被洗浄面に対する押圧子の対向面にテープ状の洗浄クロスを送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロスに洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板の被洗浄面の長手方向に相対移動させる移動手段とを備えた基板洗浄装置において、基板の被洗浄面に対する押圧子の対向面に、その相対移動方向と直交する方向に延びる複数の突部を洗浄クロスの幅方向に並列して配設し、かつ各突部を被洗浄面に対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成したものである。

この構成によれば、複数の押圧子を位置切替可能とするのに代えて、押圧子に設けた複数の突部を位置切替可能としたことで、突部の位置切替によって洗浄クロスをその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれにて被洗浄面の洗浄を行うことにより、洗浄クロスをその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができ、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図ることができかつ洗浄クロスの交換間隔を長くできて生産効率を向上して洗浄することができる。

また、以上の基板洗浄装置において、押圧子に、洗浄クロスの両側縁の位置規制を行う規制突部を設けると、押圧子や突部の位置切替によって洗浄クロスの送給時に横ずれを発生するのを確実に防止することができる。

また、基板の被洗浄面を有する側縁部を表裏両面から挟むように表裏両面に対して対の押圧子が配設され、移動手段は対の押圧子を基板の側縁部に沿って相対移動させるものであると、基板の側縁部の表裏両面の被洗浄表面を同時に洗浄できるとともに、基板の側縁部を裏面から支持する必要がないので、基板の支持構成を簡単にできて装置構成をコンパクトにできる。

また、基板の側縁部の表裏両面の被洗浄面に向けて押圧付勢される表裏両面に対して対の押圧子とこれら基板の側縁部の表裏の被洗浄面に対する対の押圧子の対向面にテープ状の洗浄クロスを送る洗浄クロス送給手段を備え、洗浄クロス送給手段は、洗浄クロスが供給部から一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間を通された後、一方の被洗浄面から他方の被洗浄面に至る略環状の循環経路を経て、他方の被洗浄面と他方の押圧子の対向面との間を一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間の通過方向と同じ方向に通され、その後に、回収部に至る移動経路を有する移動経路手段を設けていると、一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間を通って一方の被洗浄面を洗浄した洗浄クロスが循環経路を経て他方の被洗浄面と他方の押圧子の対向面との間に移動して一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間の通過方向と同じ方向に通ることで、一方の被洗浄面を洗浄した洗浄クロスの面とは反対側の洗浄クロスの面が他方の被洗浄面を洗浄することになり、そのため基板の側縁部の表裏両面の被洗浄面を洗浄クロスの両面を使って洗浄することができ、洗浄クロスの消費量をさらに半減できてコスト低下を図ることができるとともに、洗浄クロスの交換間隔を拡大することができ、しかも洗浄クロスを途中で捻って表裏を反転しないので捻り癖によって洗浄不良が発生する恐れがなく、安定して適切に洗浄することができる。

また、本発明の基板洗浄方法は、基板の被洗浄面と被洗浄面に対する押圧子の対向面との間に洗浄剤を含ませたテープ状の洗浄クロスを送給し、押圧子の対向面を被洗浄面に押圧した状態で押圧子を基板の被洗浄面の長手方向に相対移動させて基板の被洗浄面を洗浄する基板洗浄方法において、被洗浄面に対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能な複数の押圧子又は単一の押圧子に設けた複数の突部によって洗浄クロスをその幅方向に複数の洗浄領域に分け、１つの洗浄領域で所定長の被洗浄面の洗浄を行った後、他の洗浄領域に切り替えて次の所定長の被洗浄面の洗浄を行い、幅方向に全ての洗浄領域による洗浄が終了した後洗浄クロスを送給するものである。

この構成によると、洗浄クロスをその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができ、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図ることができかつ洗浄クロスの交換間隔を長くできて生産効率を向上して洗浄することができる。

また、基板の側縁部の表裏両面の被洗浄面を表裏両面に対して対の押圧子にて洗浄する際に、供給部から供給した単一の洗浄クロスを、一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間に通した後、一方の被洗浄面から他方の被洗浄面に至る略環状の循環経路を経て、他方の被洗浄面と他方の押圧子の対向面との間に一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間の通過方向と同じ方向に通した後に、回収部に回収すると、基板の側縁部の表裏両面の被洗浄面を洗浄クロスの両面を使って洗浄することができ、洗浄クロスの消費量をさらに半減できてコスト低下を図ることができるとともに、洗浄クロスの交換間隔を拡大することができ、しかも洗浄クロスを途中で捻って表裏を反転しないので捻り癖によって洗浄不良が発生する恐れがなく、安定して適切に洗浄することができる。

本発明の基板洗浄装置及びその方法によれば、洗浄クロスの幅方向に並列配置した複数の押圧子又は突部を押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能としたことで、押圧子又は突部の位置切替によって洗浄クロスをその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれにて被洗浄面の洗浄を行うことにより、洗浄クロスをその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができ、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図ることができかつ洗浄クロスの交換間隔を長くできて生産効率を向上できる。

本発明の基板洗浄装置の第１の実施形態の全体概略構成を示す斜視図。 同実施形態の要部である洗浄部の構成を示す斜視図。 同実施形態における洗浄部の縦断側面図。 同実施形態における基板洗浄動作のフロー図。 （ａ）、（ｂ）は洗浄時の押圧子の動作状態の説明図。 本発明の基板洗浄装置の第２の実施形態の要部である押圧子の構成を示し、（ａ）は（ｂ）のＡ−Ａ矢視縦断正面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ矢視縦断側面図。 同実施形態の突部位置切替機構の各切替状態の説明図。 本発明の基板洗浄装置の第３の実施形態の全体概略構成を示す側面図。 同実施形態の全体概略構成を示す斜視図。 本発明の基板洗浄装置の第４の実施形態の全体概略構成を示す斜視図。 本発明の基板洗浄装置の第５の実施形態の全体概略構成を示す斜視図。 （ａ）、（ｂ）は本発明の基板洗浄装置の第６の実施形態の全体概略構成を示す斜視図。 ガラス基板に対する部品実装工程を説明する斜視図。 従来例の基板洗浄装置の要部構成を示す側面図。 他の従来例の基板洗浄装置の要部構成を示す側面図。

以下、本発明を、液晶表示パネルのガラス基板の側縁部の被洗浄表面を洗浄して付着した異物を除去する基板洗浄装置に適用した各実施形態について、図１〜図１２を参照して説明する。

（第１の実施形態）
まず、本発明に係る基板洗浄装置の第１の実施形態について、図１〜図５を参照して説明する。

図１〜図３において、本実施形態の基板洗浄装置は、ガラス基板などの基板１を基板洗浄装置に搬入する基板搬送手段２と、基板搬送手段２から基板１を受け取って洗浄動作に伴う移動を行う移動手段３と、基板１の側端部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂ（図２、図３参照）の洗浄を行う洗浄機構部４とを備え、各々基台５上に配設されている。なお、基板１の搬出は、後続工程であるＡＣＦ貼付装置（図示せず）に設けられた、基板搬送手段２と同様の基板搬送手段（図示せず）にて行われる。

基板搬送手段２は、基板１を載置して両持支持する一対の支持アーム６ａ、６ａを有する基板載置部６と、基板載置部６を基板搬送方向であるＸ方向に往復移動させる駆動機構７にて構成されている。駆動機構７は、基板載置部６を移動自在に支持する支持レール部７ａと、モータ７ｃにて駆動されて基板載置部６を移動させる送りねじ機構７ｂにて構成されている。

移動手段３は、基板１の中央部を載置支持する基板保持部８と、基板保持部８をＸ方向と、それに直交するＹ方向と、垂直なＺ方向と、Ｚ軸回りのθ方向の移動及び位置決めを行う移動テーブル９にて構成されている。この移動手段３は、基板１を基板保持部８上に保持し、基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂの一端を洗浄機構部４における後述の洗浄部１０に位置決めするとともに、洗浄動作に伴って基板１を移動させることで、洗浄部１０が基板１の側縁部に沿って被洗浄面１ａ、１ｂの他端まで相対移動するように基板１を移動させる。その相対移動速度は、４０〜２５０ｍｍ／ｓ程度に設定され、好適には１００〜２５０ｍｍ／ｓ程度の高速に設定される。ここで、洗浄動作に伴って基板１を移動させるとしたが、洗浄部１０を移動させても良く、さらに基板１と洗浄部１０の移動を組み合わせても良い。

洗浄機構部４について説明すると、洗浄部１０は、図２、図３に示すように、基板保持部８にて保持された基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂに対してその上下で対向するように、表裏両面に対して対として配置されかつ基板１の側縁部に沿う方向に複数並列配置された複数対（図示例では２対）の押圧子１１ａ１、１１ｂ１と、１１ａ２、１１ｂ２を備えている。これら押圧子１１ａ１〜１１ｂ２としては、耐薬品性に優れるとともに摺動性に優れたポリアセタール（ＰＯＭ）などの材料で構成するのが好適である。そして、押圧子１１ａ１、１１ｂ１と、１１ａ２、１１ｂ２をそれぞれチャック機構１８
ａ、１８ｂにて開閉駆動して、これら押圧子１１ａ１、１１ｂ１と、１１ａ２、１１ｂ２にて基板１の側縁部の上下両面の被洗浄面１ａ、１ｂにテープ状の洗浄クロス１２を押し付けるように構成されている。洗浄クロス１２は、並列配置された対の押圧子１１ａ１と１１ａ２、及び対の押圧子１１ｂ１、１１ｂ２にわたる幅寸法を有している。

チャック機構１８ａ、１８ｂは独立して開閉駆動され、押圧子１１ａ１、１１ｂ１が洗浄クロス１２を押し付ける押付可能位置に位置しているときには、押圧子１１ａ２、１１ｂ２は基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂから離間して洗浄クロス１２を被洗浄面１ａ、１ｂに押し付けない位置である非押付位置に位置し、押圧子１１ａ２、１１ｂ２が押付可能位置に位置しているときには押圧子１１ａ１、１１ｂ１は非押付位置に位置するように各対の押圧子１１ａ１、１１ｂ１と、１１ａ２、１１ｂ２とを、被洗浄面１ａ、１ｂに対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に駆動制御される。これら押圧子１１ａ１、１１ｂ１、及び押圧子１１ａ２、１１ｂ２のチャック力は、４〜９Ｎ程度が好適である。なお、押圧子１１ａ１、１１ｂ１と、１１ａ２、１１ｂ２、及びチャック機構１８ａ、１８ｂは、基板１の側縁部の被洗浄面１ａ、１ｂの高さ位置との位置ずれを吸収できるように上下方向に弾性的に支持されている。

洗浄クロス１２は、基板１の側縁部の表面の被洗浄面１ａに対向する押圧子１１ａ１と１１ａ２、及び基板１の側縁部の裏面の被洗浄面１ｂに対向する押圧子１１ｂ１と１１ｂ２にそれぞれ対応して設けられた、洗浄クロス送給手段としての供給リール１３ａ、１３ｂから適宜ガイドローラ１４を介して押圧子１１ａ１と１１ａ２、及び１１ｂ１と１１ｂ２の基板１の側縁部に対する相対移動方向と直交する方向から押圧子１１ａ１と１１ａ２、及び１１ｂ１と１１ａ２に向けてそれぞれ供給される。供給された洗浄クロス１２は、押圧子１１ａ１と１１ａ２、及び１１ｂ１と１１ｂ２における基板１の被洗浄面に対向する対向面１５の上手側に傾斜形成されたガイド部１６を通過して対向面１５に導かれる。対向面１５にて基板１の被洗浄面に接触されて洗浄を行った後の洗浄クロス１２は、適宜ガイドローラ１４を介して回収リール１７ａ、１７ｂにそれぞれ巻き取られる。洗浄クロス１２に作用させる張力は、０．５〜１．８Ｎ程度である。洗浄クロス１２は、押圧子１１ａ１と１１ｂ１による洗浄動作と、次の押圧子１１ａ２と１１ｂ２による洗浄動作の複数回の洗浄動作を行った後に供給リール１３ａ、１３ｂと回収リール１７ａ、１７ｂとの間で、ピッチ送りされ、洗浄クロス１２の供給及び回収動作がされる。

押圧子１１ａ１と１１ａ２、及び１１ｂ１と１１ｂ２のガイド部１６に間隔をあけて対向するように、エタノールやイソプロピルアルコールなどの揮発性の洗浄剤を洗浄クロス１２に向けて吐出する洗浄剤供給手段としての洗浄剤吐出ノズル１９が配設されている。洗浄剤は、洗浄クロス１２がピッチ送りされる前に、洗浄剤供給部（図示せず）から供給配管を介して洗浄剤吐出ノズル１９に所定量ずつ圧送されて洗浄クロス１２に向けて吐出される。洗浄クロス１２に洗浄剤が含まれると、洗浄クロス１２の色調が変化する。押圧子１１ａ１と１１ａ２、及び１１ｂ１と１１ｂ２のガイド部１６に対向して、洗浄クロス１２の色調変化を検出する検出センサ２０が配設され、洗浄クロス１２に所要量の洗浄剤が適正に吐出されたことを確認できるように構成されている。

さらに、押圧子１１ａ１と１１ａ２、及び１１ｂ１と１１ｂ２の対向面１５には、それぞれ押圧子１１ａ１〜１１ｂ２の相対移動方向と直交する方向に延びる突部２１が形成されている。対向面１５及び突部２１の長さは、基板１の被洗浄面の長手方向に直交する方向の幅寸法より大きく設定されている。突部２１の高さは、洗浄クロス１２の厚さの３〜５倍程度が好適であり、具体例では、洗浄クロス１２の厚さが０．２〜０．３ｍｍであるため、突部２１の高さは１ｍｍに設定されている。また、突部２１は断面形状台形に形成されるとともに、洗浄クロス１２の幅寸法が１０ｍｍ〜１３ｍｍ程度であるため、突部２１の頂面の幅寸法ｄ１を１〜１．５ｍｍとし、突部２１の底部の幅寸法ｄ２を略２〜２．５ｍｍに設定している（図５（a）参照）。また、突部２１の先端のガイド部１６の先端縁に連続する先端面２１ａは、対向面１５に対して略垂直な面で構成されている。

基板１の側縁部の表面の被洗浄面１ａに対向するように、並列配置された押圧子１１ａ１と１１ａ２のそれぞれの対向面１５の間は微小隙間をあけて略連続した面を形成するとともにその両側部には洗浄クロス１２の両側縁の位置規制を行う規制突部２２が設けられている。また、基板１の側縁部の裏面の被洗浄面１ｂに対向するように並列配置された押圧子１１ｂ１と１１ｂ２についても同様に規制突部２２が設けられている。規制突部２２の先端には面取部２３が設けられている。押圧子１１ａ１と１１ａ２、及び１１ｂ１と１１ｂ２の突部２１の底部に対する規制突部２２の高さは、突部２１の底部に対する突部２１の高さと実質的に同じ高さに設定され、突部２０と規制突部２２の頂面が同一平面上に位置するように構成されている。また、面取部２３の寸法も規制突部２２の高さとほぼ同一寸法に設定されている。なお、面取部２３の面取り寸法は、基板１の被洗浄表面の一側縁を形成している段差部１ｃ（図３参照）の高さ、すなわち基板１を構成しているガラス基板の厚さを超える寸法に設定すれば良く、好ましくは基板１を構成しているガラス基板の厚さの複数倍の寸法に設定すれば良い。因みに、具体例を示すと、ガラス基板の厚さは０．４ｍｍで、面取部２３の寸法を１．２ｍｍに設定している。なお、ガラス基板の厚さは薄くなる傾向にあり、５インチ以下のサイズのガラス基板では０．１５ｍｍ程度まで薄くなることが予測されている。

次に、以上の構成の基板洗浄装置にて基板１の側縁部の上下の被洗浄面を洗浄する工程を図４、図５を参照して説明する。まず、第１の基板１を基板搬送手段２にて基板洗浄装置に搬入する。搬入された基板１は移動手段３の基板保持部８上に受け取られ、移動手段３にて第１の基板１の側縁部の一端が、洗浄部１０における一対の押圧子１１ａ１と１１ｂ１、及び１１ａ２と１１ｂ２の間に位置するように位置決めされる（ステップＳ１）。この搬入動作と並行して、ガイド部１６に対向位置している洗浄剤吐出ノズル１９から洗浄剤が吐出され、洗浄クロス１２に所要量の洗浄剤を含浸させた状態とされる（ステップＳ２）。なお、洗浄クロス１２に洗浄剤が含浸することで発生する滲みが検出センサ２０にて検出され、洗浄クロス１２に洗浄剤を十分に含浸していることが確認される。その後、洗浄クロス１２を所定量送給し、押圧子１１ａ１と１１ｂ１、及び１１ａ２と１１ｂ２の対向面１５と基板１の被洗浄面１ａ、１ｂとの間に洗浄剤を含浸した部分を送給する（ステップＳ３）。

次に、洗浄部１０の一方のチャック機構１８ａ（図２参照）にて、基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂ対する一対の押圧子１１ａ１と１１ｂ１の間の隙間を閉じることで、一対の押圧子１１ａ１と１１ｂ１を押付可能位置に動作させ、図５（ａ）に示すように、押圧子１１ａ１と１１ｂ１の対向面１５に形成された突部２１にて、洗浄クロス１２が第１の基板１の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂに接触された状態とする。こうして押圧子１１ａ１と１１ｂ１の突部２１にて洗浄クロス１２が第１の基板１の被洗浄面に接触されている状態で、移動手段３を作動させて第１の基板１を移動させ、押圧子１１ａ１と１１ｂ１を第１の基板１の側縁部の被洗浄面１ａ、１ｂ長手方向に沿って被洗浄面１ａ、１ｂの一端から他端に向けて相対移動させることで、第１の基板１の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂを洗浄する（ステップＳ４）。なお、この洗浄動作は、１方向の移動のみによって、あるいは１又は複数回の往復移動によって行われる。その後、一方のチャック機構１８ａにて一対の押圧子１１ａ１と１１ｂ１の間を開き、基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂから被洗浄面１ａ、１ｂに対し垂直な方向である上下方向に離間して洗浄クロス１２を被洗浄面１ａ、１ｂに押し付けない位置である非押付位置に動作させた後、移動手段３にて第１の基板１を洗浄部１０から水平方向に離間させ、第１の基板１を後続工程のＡＣＦ貼付装置の基板搬送装置（図示せず）にて搬出する（ステップＳ５）。

次に、基板搬送手段２にて次の第２の基板１が搬入される（ステップＳ６）。そして、洗浄部１０の他方のチャック機構１８ｂ（図２参照）にて、基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂ対する一対の押圧子１１ａ２と１１ｂ２の間の隙間を閉じることで、一対の押圧子１１ａ２と１１ｂ２を押付可能位置に動作させ、図５（ｂ）に示すように、押圧子１１ａ２と１１ｂ２の対向面１５に形成された突部２１にて、洗浄クロス１２が第２の基板１の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂに接触された状態とする。こうして押圧子１１ａ２と１１ｂ２の突部２１にて洗浄クロス１２が第２の基板１の被洗浄面に接触されている状態で、移動手段３を作動させて第２の基板１を移動させ、押圧子１１ａ２と１１ｂ２を第２の基板１の側縁部の被洗浄面１ａ、１ｂの長手方向に沿って被洗浄面１ａ、１ｂの一端から他端に向けて相対移動させることで、第２の基板１の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂを洗浄する（ステップＳ７）。その後、他方のチャック機構１８ｂにて一対の押圧子１１ａ２と１１ｂ２の間を開き、基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂから被洗浄面１ａ、１ｂに対し垂直な方向である上下方向に離間して洗浄クロス１２を被洗浄面１ａ、１ｂに押し付けない位置である非押付位置に動作させた後、移動手段３にて第２の基板１を洗浄部１０から水平方向に離間させ、第２の基板１を後続工程のＡＣＦ貼付装置の基板搬送装置（図示せず）にて搬出する（ステップＳ８）。その後ステップＳ１にリターンして以上の洗浄工程が繰り返される。

以上の本実施形態によれば、洗浄クロス１２の幅方向に並列配置した複数対の押圧子１１ａ１、１１ｂ１、及び１１ａ２、１１ｂ２を、押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能としたことによって、押圧子１１ａ１、１１ｂ１、及び１１ａ２、１１ｂ２の位置切替によって洗浄クロス１２をその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれにて被洗浄面の洗浄を行うことができる。

これにより、１つの洗浄領域で被洗浄面１ａ、１ｂの洗浄を行い、あるいは基板１に対する所定長の被洗浄面１ａ、１ｂの洗浄を行った後、他の洗浄領域に切り替えて、次の被洗浄面１ａ、１ｂの洗浄を行い、あるいは基板1に対する次の所定長の被洗浄面１ａ、１
ｂの洗浄を行い、洗浄クロス１２の幅方向における全ての洗浄領域による洗浄が終了した後、複数対の押圧子１１ａ１、１１ｂ１、及び１１ａ２、１１ｂ２に対し、洗浄クロスを送給するように動作させる。

かくして、洗浄クロス１２をその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができるので、洗浄クロス１２の使用量を低減してコスト低下を図ることができかつ洗浄クロス１２の交換間隔も長くできるため生産効率を向上することができる。

また、基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂに対する各押圧子１１ａ１〜１１ｂ２の対向面１５にその相対移動方向と直交する方向に延びる１又は複数の突部２１を設けているので、基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂに対するこれら押圧子１１ａ１〜１１ｂ２の相対移動時に洗浄クロス１２がこの突部２１にて係止された状態となる。そのため、例えば、洗浄クロス１２に１．８Ｎを超えるような大きな張力を作用させ、それに対応して押圧子１１ａ１〜１１ｂ２のチャック力を、９Ｎを超えて大きくしなくても、洗浄クロス１２が移動方向に位置ずれするのを確実に防止することができる。かくして、洗浄クロス１２の張力及び押圧子１１ａ、１１ｂの押し付け力を増大させることなく、押圧子１１ａ、１１ｂと基板１の相対移動速度を、例えば１００ｍｍ／ｓ以上の速度に上げても基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂを安定して洗浄することができ、洗浄時間の短縮化を図ることができる。

また、押圧子１１ａ１〜１１ｂ２の対向面１５に比して面積の小さい突部２１の頂面にて洗浄クロス１２を基板１の被洗浄面１ａ、１ｂに接触させるようにしているため、押圧子１１ａ１〜１１ｂ２に作用させる押し付け力が小さくても洗浄に必要な接触圧を確保す
ることができ、よりコンパクトな構成のチャック機構１８ａ、１８ｂにて効率的に洗浄することができるとともに、押し付け力が小さくて良いので、基板１の厚さが上記のように薄くなっても損傷の恐れなく確実に洗浄することができる。また、洗浄クロス１２における突部２１の側部近傍部分に洗浄剤を多く含浸した状態が発生するので、押圧子１１ａ１〜１１ｂ２と基板１の相対移動に伴って、突部２１と被洗浄面との間に対する洗浄剤の供給が円滑に行われ、洗浄作用がより効果的に発揮される。

また、複数対の押圧子１１ａ１、１１ｂ１、及び１１ａ２、１１ｂ２が、基板１の側縁部を両面から挟むように配設され、移動手段３は基板１の中央部を支持してその側縁部に沿って一対の押圧子１１ａ１、１１ｂ１、及び１１ａ２、１１ｂ２を相対移動させる構成であるため、基板１の側縁部を裏面から支持する必要がなく、基板１の支持構成も簡単で、装置構成をコンパクトにできる。また、洗浄クロス１２を、押圧子１１ａ１、１１ｂ１、及び１１ａ２、１１ｂ２の相対移動方向と直交する方向からガイド部１６を通して対向面１５に送給するように構成しているので、洗浄機構部４を、基板１の上方でなく、基板１の移動方向と直交する一側部に配置できて、装置構成をコンパクトにできる。

また、並列して配置された押圧子１１ａ１と１１ｂ１の外側の両端側、及び並列して配置された押圧子１１ａ２と１１ｂ２の外側の両端側に洗浄クロス１２の両側縁の位置規制を行う、突部２１とほぼ同じ高さの規制突部２２を設けているので、ガイド部１６と規制突部２２にて、押圧子１１ａ１〜１１ｂ２における洗浄クロス１２の送給経路のほぼ全長にわたって洗浄クロス１２の両側がガイドされることで、突部２１の存在によっても、また押圧子１１ａ１、１１ｂ１と、１１ａ２、１１ｂ２を押圧可能位置と非押圧位置との間で交互に位置切替しても、洗浄クロス１２の送給時に洗浄クロス１２が偏りを生じるのを確実に防止することができる。

また、液晶パネル等において、表示画面を大きく確保しながらコンパクトな構成とするため、表示画面の周囲の幅寸法を小さくすることが求められており、それに伴って、図３に示すように、基板１の段差部１ｃの近傍、例えば段差部１ｃから０．３ｍｍ以下の位置まで被洗浄面１ａ、１ｂを洗浄することが求められることがある。その場合、押圧子１１ａ１〜１１ｂ２の突部２１の先端面２１ａを段差部１ｃに近接させて位置させた状態で、基板１と押圧子１１ａ１〜１１ｂ２を相対移動させることになるが、その場合、押圧子１１ａ１〜１１ｂ２の取付角度の微小な誤差によっても押圧子１１ａ１〜１１ｂ２の両側部が、段差部１ｃに干渉する恐れがあるが、本実施形態では規制突部２２の先端に、基板１の被洗浄表面の一側縁を形成している段差部１ｃの高さの複数倍の寸法の面取部２３を設けているので、この面取部２３にて段差部１ｃの逃がし空間が形成されるため、押圧子１１ａ１〜１１ｂ２と段差部１ｃの干渉を確実に防止することができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明に係る基板洗浄装置の第２の実施形態について、図６、図７を参照して説明する。なお、以下の実施形態の説明においては、先行する実施形態と共通する構成要素については同一参照符号を付して説明を省略し、主として相違点について説明する。

上記実施形態では、複数対の押圧子１１ａ１、１１ｂ１と、１１ａ２、１１ｂ２を基板１の側縁部との相対移動方向に並列配置した例を示したが、本実施形態では上下一対の押圧子１１ａ、１１ｂを配設し、これら押圧子１１ａ、１１ｂに、図６（ａ）に示すように、それぞれ複数（図示例では３つ）の突部２１を適当な間隔をあけて並列して配設するとともに、何れか１つの突部２１を選択的に対向面１５から突出させて、洗浄クロス１２を基板１の側縁部の被洗浄面に押し付け可能な押圧可能位置に位置させ、他の突部２１は対向面１５と実質的に面一の非押圧位置である基板１の側縁部の被洗浄面から離間して洗浄クロス１２を被洗浄面に押し付けない位置に位置させることができるように構成されている。

具体的な構成例としては、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、押圧子１１ａ、１１ｂに各突部２１の配置位置に対応して対向面１５から側面視台形状のスリット凹部２４を形成するとともに、このスリット凹部２４内に、対向面１５に臨む部分が突部２１を構成する台形状の出退板２５を、対向面１５に対して出退可能に挿入配置している。出退板２５は、スリット凹部２４の奥壁面２４ａとの間に配置された弾性体２６にて突出付勢され、かつ各出退板２５の略中央部に形成された開口２７を貫通するとともに出退板２５の配設方向に移動可能に押圧子１１ａ、１１ｂに配設されたカムバー２８（図６（ｂ）、図７参照）にて、出退位置が規制されている。すなわち、各出退板２５の弾性体２６に対向する開口２７の側縁２７ａがカムバー２８に係合されており、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、カムバー２８をソレノイドやエアシリンダなどの位置切替手段２９にて位置切替することで、何れかの出退板２５の側縁２７ａがカムバー２８の適所に形成されたカム凹部２８ａに入り込んで係合し、その出退板２５の対向面１５に臨む部分が対向面１５から突出した突部２１となり、押圧子１１ａ、１１ｂの対向面１５から突出した突部２１の位置を切り替えることができる。

洗浄時には、最初の突部２１を対向面１５から突出させた状態で、チャック機構（図示せず）にて一対の押圧子１１ａと１１ｂの間の隙間を閉じ、一対の押圧子１１ａ１と１１ｂ１を押付可能位置に動作させ、押圧子１１ａと１１ｂの対向面１５に突出している突部２１にて洗浄クロス１２を基板１の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂに接触させた状態とし、突出した突部２１にて洗浄クロス１２が基板１の被洗浄面１ａ、１ｂに接触されている状態で、移動手段３を作動させて基板１を移動させ、押圧子１１ａと１１ｂを基板１の側縁部の被洗浄面１ａ、１ｂ長手方向に沿って相対移動させることで、基板１の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂを洗浄する。あるいは基板1に対する所定長の被洗浄面１ａ、１ｂを洗浄する。その後、残りの突部２１を順次対向面１５から突出させた状態に切替することにより、被洗浄面１ａ、１ｂに対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成して、同様に順次、洗浄を行い、全ての突部２１について順次搬入される基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂに対する洗浄が終了すると、洗浄クロス１２がピッチ送りされ、最初の突部２１を対向面１５から突出させた状態に戻り、以下同様に上述の洗浄動作を繰り返される。

本実施形態によれば、被洗浄面１ａ、１ｂに対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能な単一の押圧子１１ａ１と１１ｂ１に設けた複数の突部２１によって洗浄クロス１２をその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれで被洗浄面の洗浄を行うことができ、１つの洗浄領域で被洗浄面１ａ、１ｂの洗浄を行い、あるいは基板１に対する所定長の被洗浄面１ａ、１ｂの洗浄を行った後、他の洗浄領域に切り替えて、次の被洗浄面１ａ、１ｂの洗浄を行い、あるいは基板1に対する次の所定長の被洗浄面１ａ、１ｂの洗浄を行い、洗浄クロス１２の幅方向の全ての洗浄領域による洗浄が終了した後、洗浄クロス１２を送給する。これにより上記第１の実施形態と同様に洗浄クロス１２をその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができ、洗浄クロス１２の使用量を低減してコスト低下を図ることができかつ洗浄クロス１２の交換間隔を長くできて生産効率を向上でき、さらに洗浄クロス１２の幅寸法が例えば１０〜１３ｍｍ程度の比較的狭い幅であっても、押圧子１１ａ、１１ｂに複数の突部２１を配設することで、容易に洗浄クロス１２を幅方向に複数の洗浄領域に分けて洗浄を行うことができる。

（第３の実施形態）
まず、本発明に係る基板洗浄装置の第３の実施形態について、図８、図９を参照して説明する。

上記第１の実施形態洗浄機構部４においては、洗浄クロス１２の送給系を並列配置された押圧子１１ａ１、１１ａ２、及び１１ｂ１、１１ｂ２にそれぞれ対応させて複数配設していたが、本実施形態の洗浄機構部４においては、単一の洗浄クロス送給手段３０にて並列配置された複数対の押圧子１１ａ１、１１ｂ１と、１１ａ２、１１ｂ２に対する洗浄クロス１２の送給を行うとともに、洗浄クロス１２の表裏両面で基板１の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂにそれぞれ対応させて、基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂを洗浄するようにしている。

洗浄クロス送給手段３０は、洗浄クロス１２の供給部としての供給リール１３から引き出した洗浄クロス１２を、送りローラ３１ａとピンチローラ３１ｂから成る送給手段３１にて複数回の洗浄動作毎にピッチ送りし、洗浄クロス１２を走行自在に支持する複数の走行ローラ３２ａ〜３２ｇから成る移動経路手段３２によって、一方の被洗浄面１ａと一方の押圧子１１ａ１、１１ａ２の対向面１５との間を通った後、一方の被洗浄面１ａから他方の被洗浄面１ｂに至る略環状の循環経路３３を経て、他方の被洗浄面１ｂと他方の押圧子１１ｂ１、１１ｂ２の対向面１５との間を一方の被洗浄面１ａと一方の押圧子１１ａ１、１１ａ２の対向面１５との間の通過方向と同一方向に通り、その後循環経路３３との干渉を避けるように洗浄クロス１２の幅方向に変位させて回収部としての回収リール１７にて巻き取るように構成されている。供給リール１３と回収リール１７は同一軸心上に配設されている。

本実施形態によれば、以上のように基板１の一方の被洗浄面１ａと一方の押圧子１１ａ１、１１ａ２の対向面１５との間を通って一方の被洗浄面１ａを洗浄した洗浄クロス１２が、循環経路３３を経て他方の被洗浄面１ｂと他方の押圧子１１ｂ１、１１ｂ２の対向面１５との間を、一方の被洗浄面１ａと一方の押圧子１１ａ１、１１ａ２の対向面１５との間の通過方向と同じ方向に通過するようにしていることで、基板１の一方の被洗浄面１ａを洗浄した洗浄クロス１２の面とは反対側の洗浄クロス１２の面にて他方の被洗浄面１ｂを洗浄することになる。そのため、基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂを洗浄クロス１２の両面を使って洗浄することができる。

かくして、本実施形態においては、第１の実施形態と同様に押圧子１１ａ１と１１ｂ１、及び１１ａ２と１１ｂ２の被洗浄面１ａ、１ｂに対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替によって洗浄クロス１２をその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれで被洗浄面の洗浄を行うことで、洗浄クロス１２をその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができ、さらに洗浄クロス１２の表裏両面を使って洗浄するので、洗浄クロス１２の消費量を４分の１以下に低減することができて大幅にコスト低下を図ることができるとともに、洗浄クロス１２の交換間隔を拡大することができ、さらに洗浄クロス１２を途中で捻って表裏を反転しないので捻り癖によって洗浄不良が発生する恐れがなく、安定して適切に洗浄することができる。

また、供給部が洗浄クロス１２を巻回した供給リール１３からなり、回収部が洗浄クロス１２を巻き取る回収リール１７からなり、これら供給リール１３と回収リール１７を同一回転軸心上に並列して配設しているので、大きな面積を占める供給リール１３と回収リール１７を重ねて配置されてコンパクトに構成することができる。

（第４の実施形態）
次に、本発明の基板洗浄装置の第４の実施形態について、図１０を参照して説明する。上記第３の実施形態では、回収部を回収リール１７にて構成した例を示したが、本実施形態では、図１０に示すように、回収ボックス３４と、洗浄クロス１２を回収ボックス３４に排出する排出手段３５を配設した構成としている。排出手段３５は、送りローラ３１ａと同期回転するように連動された排出ローラ３５ａとこの排出ローラ３５ａとの間で洗浄
クロス１２を挟圧する回転自在なピンチローラ３５ｂにて構成されている。

（第５の実施形態）
次に、本発明の基板洗浄装置の第５の実施形態について、図１１を参照して説明する。上記第３の実施形態では、移動経路手段３２を、洗浄クロス１２が一方の被洗浄面１ａと一方の押圧子１１ａ１、１１ａ２の対向面１５との間を通った後そのまま被洗浄面１ａから遠ざかるように移動し、その後、下方に形成された循環経路３３を通って他方の被洗浄面１ｂと他方の押圧子１１ｂ１、１１ｂ２の対向面１５との間を通るように設定した例を示したが、本実施形態では、移動経路手段３２の循環経路３３を、洗浄クロス１２が一方の被洗浄面１ａと一方の押圧子１１ａ１、１１ａ２の対向面１５との間を通った後一方の被洗浄面１ａに対して略垂直方向に遠ざかる方向に移動して供給部の周囲を迂回するように設定している。

本実施形態によれば、洗浄クロス１２の一方の面で一方の被洗浄面１ａを洗浄した後、洗浄クロス１２が供給部の周囲を迂回する循環経路３３を移動する間に洗浄クロス１２に滲み込んだ洗浄液の溶剤が揮発する時間を確保することができ、洗浄クロス１２が湿潤状態から乾燥状態に近い付いた後に、洗浄クロス１２の洗浄後の汚れのある一方の面が走行ローラ３２ｄ〜３２ｇに接触するので、これらの走行ローラ３２ｄ〜３２ｇに汚れが転写するのを抑制することができる。

（第６の実施形態）
次に、本発明の基板洗浄装置の第６の実施形態について、図１２（ａ）、図１２（ｂ）を参照して説明する。上記第３の実施形態（図８、９参照）では、移動経路手段３２を、供給リール１３から送給された洗浄クロス１２が、基板１の基板側縁より基板中央側方向に位置する段差部１ｃ側（図３参照）の一方の押圧子１１ａ１、１１ａ２の端に送給され、一方の被洗浄面１ａと一方の押圧子１１ａ１、１１ａ２の対向面１５との間を通った後、循環経路３３を経て基板１の基板側縁より基板中央側方向に位置する他方の押圧子１１ｂ１、１１ｂ２の端に送給され、他方の被洗浄面１ｂと他方の押圧子１１ｂ１、１１ｂ２の対向面１５との間を通って回収リール１７に至るように構成した例を示したが、本実施形態の移動経路手段３２は、図１２（ａ）に示すように、供給リール１３から送給された洗浄クロス１２が、一方の被洗浄面１ａに略沿う方向の基板１から離れた方向から一方の被洗浄面１ａと一方の押圧子１１ａ１、１１ａ２の対向面１５との間を基板中央側方向に向かって通された後、一方の被洗浄面１ａに対して略垂直方向に遠ざかる方向に移動して供給リール１３の周囲を迂回する循環経路３３を経て、他方の被洗浄面１ｂに略沿う方向から他方の被洗浄面１ｂと他方の押圧子１１ｂ１、１１ｂ２の対向面１５との間を一方の被洗浄面１ａと一方の押圧子１１ｂ１、１１ｂ２の対向面との間の通過方向と同じ方向に通され、その後他方の被洗浄面１ｂに対して略垂直方向に遠ざかる方向に移動した後回収リール１７に至るように設定している。

なお、ここで、供給リール１３と回収リール１７の配置において、図１２（ａ）は供給リール１３と回収リール１７とが同一回転軸芯上に並列して配設されているに構成例であり、図１２（ｂ）は、供給リール１３と回収リール１７とが実質的同一平面上に配設されている構成例である。

本実施形態によれば、洗浄クロス１２を移動自在に支持して移動経路手段３２を構成する走行ローラ３２ｃ〜３２ｆが、洗浄クロス１２の一方の被洗浄面１ａを洗浄した後の一方の面には接触することなく、洗浄クロス１２を他方の被洗浄面１ｂに向けて案内するので、走行ローラ３２ｃ〜３２ｆに汚れが転写され難く、これら走行ローラ３２ｃ〜３２ｆの汚れ発生を抑制することができる。

以上の実施形態の説明では、並列配置された複数対の押圧子１１ａ１と１１ｂ１、又は１１ａ２と１１ｂ２、若しくは一対の押圧子１１ａと１１ｂに設けられた複数の突部２１の内の順次選択された突部２１にて、洗浄クロス１２を基板１の表裏両面の被洗浄面１ａ、１ｂに接触させた状態で、移動手段３にて押圧子１１ａ１、１１ｂ２、若しくは１１ａ２、１１ｂ２を基板１の側縁部の被洗浄面１ａ、１ｂの長手方向に沿って相対移動させて洗浄するように構成した例を示したが、基板１の任意箇所に存在する被洗浄面を洗浄するため、被洗浄面の裏面を支持した状態で、被洗浄面に対して押圧子を押し付けて相対移動させるようにするとともに、その被洗浄面と押圧子の対向面１５との間に洗浄クロス１２を送給するように構成した基板洗浄装置に本発明を適用しても同様の作用効果を奏することができる。

本発明の基板洗浄装置及びその方法によれば、洗浄クロスの幅方向に並列配置した複数の押圧子又は突部を押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能とし、押圧子又は突部の位置切替によって洗浄クロスをその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれで被洗浄面の洗浄を行うようにしたので、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図ることができかつ洗浄クロスの交換間隔を長くできて生産効率を向上できるため、各種基板に各種部品を実装する部品実装装置に好適に利用することができる。

１ 基板
１ａ、１ｂ 被洗浄面
３ 移動手段
１１ａ１、１１ａ２、１１ｂ１、１１ｂ２ 押圧子
１２ 洗浄クロス
１３、１３ａ、１３ｂ 供給リール（洗浄クロス送給手段）
１５ 対向面
１７、１７ａ、１７ｂ 回収リール（回収部）
１８ａ、１８ｂ チャック機構
１９ 洗浄剤吐出ノズル（洗浄剤供給手段）
２１ 突部
２２ 規制突部
２５ 出退板
２８ カムバー
２９ 位置切替手段
３０ 洗浄クロス送給手段
３２ 移動経路手段
３３ 環状経路

Claims (8)

1. 基板の被洗浄面に押圧される押圧子と、基板の被洗浄面に対する
   押圧子の対向面にテープ状の洗浄クロスを送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロスに洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板の被洗浄面の長手方向に相対移動させる移動手段とを備えた基板洗浄装置において、
   洗浄クロスの幅方向に複数の押圧子を並列配置するとともに、各押圧子を被洗浄面に対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成したことを特徴とする基板洗浄装置。
2. 各押圧子の被洗浄面に対する対向面に、その相対移動方向と直交する方向に延びる１又は複数の突部を設けたことを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄装置。
3. 基板の被洗浄面に押圧される押圧子と、基板の被洗浄面に対する押圧子の対向面にテープ状の洗浄クロスを送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロスに洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板の被洗浄面の長手方向に相対移動させる移動手段とを備えた基板洗浄装置において、
   基板の被洗浄面に対する押圧子の対向面に、その相対移動方向と直交する方向に延びる複数の突部を洗浄クロスの幅方向に並列して配設し、かつ各突部を被洗浄面に対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成したことを特徴とする基板洗浄装置。
4. 押圧子に、洗浄クロスの両側縁の位置規制を行う規制突部を設けたことを特徴とする請求項１〜３の何れか１つに記載の基板洗浄装置。
5. 基板の被洗浄面を有する側縁部を表裏両面から挟むように表裏両面に対して対の押圧子が配設され、移動手段は対の押圧子を基板の側縁部に沿って相対移動させることを特徴とする請求項１〜４の何れか１つに記載の基板洗浄装置。
6. 基板の側縁部の表裏両面の被洗浄面に向けて押圧付勢される表裏両面に対して対の押圧子とこれら基板の側縁部の表裏の被洗浄面に対する対の押圧子の対向面にテープ状の洗浄クロスを送る洗浄クロス送給手段を備え、洗浄クロス送給手段は、洗浄クロスが供給部から一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間を通された後、一方の被洗浄面から他方の被洗浄面に至る略環状の循環経路を経て、他方の被洗浄面と他方の押圧子の対向面との間を一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間の通過方向と同じ方向に通され、その後に、回収部に至る移動経路を有する移動経路手段を設けたことを特徴とする請求項１〜５の何れか１つに記載の基板洗浄装置。
7. 基板の被洗浄面と被洗浄面に対する押圧子の対向面との間に洗浄剤を含ませたテープ状の洗浄クロスを送給し、押圧子の対向面を被洗浄面に押圧した状態で押圧子を基板の被洗浄面の長手方向に相対移動させて基板の被洗浄面を洗浄する基板洗浄方法において、
   被洗浄面に対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能な複数の押圧子又は単一の押圧子に設けた複数の突部によって洗浄クロスをその幅方向に複数の洗浄領域に分け、１つの洗浄領域で所定長の被洗浄面の洗浄を行った後、他の洗浄領域に切り替えて次の所定長の被洗浄面の洗浄を行い、幅方向に全ての洗浄領域による洗浄が終了した後洗浄クロスを送給することを特徴とする基板洗浄方法。
8. 基板の側縁部の表裏両面の被洗浄面を表裏両面に対して対の押圧子にて洗浄する際に、供給部から供給した単一の洗浄クロスを、一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間に通した後、一方の被洗浄面から他方の被洗浄面に至る略環状の循環経路を経て、他方の被洗浄面と他方の押圧子の対向面との間に一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間
   の通過方向と同じ方向に通し、その後に、回収部に回収することを特徴とする請求項７記載の基板洗浄方法。