JP2011016080A - 基板洗浄装置及びその方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】基板の被洗浄面の洗浄に当たって洗浄クロスをその幅方向に有効利用することで、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図るとともに、洗浄クロスの交換間隔を長くして生産効率を向上する。
【解決手段】基板1の被洗浄面1a、1bに押圧される押圧子と、基板1の被洗浄面1a、1bに対する押圧子の対向面15にテープ状の洗浄クロス12を送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロス12に洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板1の被洗浄面1a、1bの長手方向に相対移動させる移動手段とを備えた基板洗浄装置において、洗浄クロス12の幅方向に複数の押圧子11a1、11a2と11b1、11b2とを並列配置するとともに、各押圧子11a1、11a2と11b1、11b2とを被洗浄面1a、1bに対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成した。
【選択図】図5

Description

本発明は、液晶ディスプレイ用やプラズマディスプレイ用のガラス基板などの各種基板の被洗浄面を洗浄する基板洗浄装置及びその方法に関するものである。
従来、上記ガラス基板の製造工程においては、図13に示すように、ガラス基板41の側縁部に形成された電極42に各種部品44を実装する工程がある。その実装工程では、工程(a)で、供給されたガラス基板41における電極42が配置されている側縁部に付着している異物を除去する洗浄工程を行い、次に工程(b)で、電極42が配置されている側縁部に異方性導電材(ACF)43を貼り付けるACF貼付工程を行い、次に工程(c)で、電極配置位置に部品44を供給して熱と圧力を加えて仮圧着した後、仮圧着時よりも高い熱と圧力を加えて本圧着する工程が行われる。
上記基板の側縁部の表面付着物を洗浄する基板洗浄装置としては、押圧子の基板表面に対する対向面にテープ状の洗浄クロスを供給するとともに、押圧子の対向面より洗浄クロスの送り方向上手側で洗浄クロスに向けて洗浄剤を吐出し、洗浄剤を含んだ洗浄クロスを押圧子にて基板の側縁部に押し付けた状態で押圧子に対し基板を相対移動させて基板の側縁部表面を洗浄するようにしたものが知られている。
従来のこの種の基板洗浄装置の構成例を、図14を参照して説明する。基板洗浄装置は、基板51を洗浄動作に伴って移動させる移動手段52と、基板51の洗浄を行う洗浄機構部53とを備えている。移動手段52にて基板51の中央部を支持し、基板51の側縁部の被洗浄面の一端を洗浄機構部53における洗浄部54に位置決めするとともに、洗浄動作に伴って洗浄部54が側縁部に沿って被洗浄表面の他端まで相対移動するように基板51を移動させるように構成されている。洗浄機構部53の洗浄部54は、基板51の側縁部の上下両面にそれぞれ対向するように一対の押圧子55a、55bを配設し、これら両押圧子55a、55bをチャック機構(図示せず)にて開閉駆動し、押圧子55a、55bにて基板1の側縁部の上下両面の被洗浄面に洗浄クロス56を押し付けるように構成されている。
洗浄クロス56は、各押圧子55a、55bに対応して設けられた、供給リール57a、57bから適宜ガイドローラ58を介して洗浄動作毎にピッチ送りされて、押圧子55a、55bにおける基板51の被洗浄面に対向する対向面に送給され、対向面にて基板51の被洗浄面に圧接されて洗浄を行い、その後適宜ガイドローラ58を介して回収リール59a、59bに巻き取られるように構成されている。また、押圧子55a、55bから対向面にピッチ送りされる前の洗浄クロス56に向けて洗浄剤を吐出し、洗浄クロス56に所要量の洗浄剤が適正に吐出されたときの色変化を検出センサ60にて検出して確認するように構成されている。
また、図14にした例では、基板51の側縁部の表面と裏面の被洗浄面を洗浄するため、各々に対応させて洗浄クロス56の送給系を2つ設けていたが、図15に示すように、洗浄クロス56を供給リール57から表面側の被洗浄面と押圧子55aの間に向けて一方向から送り込んでその洗浄を行った後、ガイド部材61に半周巻き掛けて折り返し、裏面側の被洗浄面と押圧子55bの間に向けて表面側の場合とは逆方向に洗浄クロス56を送り込んで洗浄した後、回収リール59にて巻き取るように構成した、単一の洗浄クロス56の送給系を設けたものも知られている(特許文献1参照)。
さらに、洗浄クロスを表面側の被洗浄面に向けて一方向から送り込んでその洗浄を行った後、その洗浄クロスの表裏を反転させるように捻ってから反転させ、裏面側の被洗浄面に向けて表面側の場合とは逆方向に送り込んで洗浄するように構成して、洗浄クロスの表面と裏面で基板51の表裏両面の被洗浄面を洗浄するようにしたものも知られている(特許文献2参照)。
また、表面側の被洗浄面を2回洗浄するため、1回目の洗浄を洗浄クロスの表面側で行った後、その洗浄クロスを捻って表裏を反転させ、2回目の洗浄を洗浄クロスの裏面側で行うようにしたものも知られている(特許文献3参照)。
特許第3503512号明細書 特許第4114416号明細書 国際公開2006/106803号パンフレット
ところが、図14に示した基板洗浄装置や特許文献1〜3に開示された基板洗浄装置は、何れにおいても所定長の被洗浄面の洗浄が終わると、洗浄クロスをピッチ送りし、押圧子の対向面と被洗浄面との間から洗浄した部分を送り出し、未洗浄部分を送り込むようにしているので、洗浄クロスの幅方向において、洗浄に寄与せずにきれいな状態のままの部分が残っていても、1回の洗浄毎に洗浄クロスを所定長さずつ送給することになり、そのため高価な洗浄クロスの消費量が多く、ランニングコストが高くなるとともに、洗浄クロスの交換頻度が多くなって生産効率を低下させるという問題がある。
なお、特許文献1の構成の場合、単一の洗浄クロスで表裏両面の被洗浄面を洗浄しているが、表面側の洗浄によって汚れが付着した洗浄クロスで裏面側を洗浄して汚れが転写しないようにするため、表面側の洗浄に寄与した部分の間で裏面側の洗浄を行うように洗浄クロスの送給制御が行われるものと考えられる。また、特許文献2や特許文献3の構成では、洗浄クロスの表裏両面を使用するようにしているので、洗浄クロスの使用量を略半分にすることは可能であるが、なお洗浄クロスの幅方向の無駄を無くすことはできず、上記問題は残るとともに、洗浄クロスを捻って表裏反転させているので、洗浄クロスに捻り癖が付くことがあり、裏面の洗浄や2回目の洗浄の際に洗浄が適切に行われない恐れがあるという問題がある。
本発明は、上記従来の問題に鑑み、基板の側縁部の被洗浄面の洗浄に当たって洗浄クロスをその幅方向に有効利用することで、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図るとともに、洗浄クロスの交換間隔を長くして生産効率を向上することができる基板洗浄装置及びその方法を提供することを目的とする。
本発明の基板洗浄装置は、基板の被洗浄面に押圧される押圧子と、基板の被洗浄面に対する押圧子の対向面にテープ状の洗浄クロスを送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロスに洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板の被洗浄面の長手方向に相対移動させる移動手段とを備えた基板洗浄装置において、洗浄クロスの幅方向に複数の押圧子を並列配置するとともに、各押圧子を被洗浄面に対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成したものである。
この構成によれば、洗浄クロスの幅方向に並列配置した複数の押圧子を押圧可能位置と
非押圧位置との間で位置切替可能としたことで、押圧子の位置切替によって洗浄クロスをその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれにて被洗浄面の洗浄を行うことにより、洗浄クロスをその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができ、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図ることができ、かつ洗浄クロスの交換間隔を長くできて生産効率を向上して洗浄することができる。
また、各押圧子の被洗浄面に対する対向面に、その相対移動方向と直交する方向に延びる1又は複数の突部を設けると、押圧子の基板に対する相対移動時に洗浄クロスが突部にて係止され、洗浄クロスに大きな張力を作用させなくても、洗浄クロスが相対移動方向に位置ずれするのを確実に防止することができ、洗浄クロスの張力及び押圧子の押し付け力を増大させることなく洗浄速度を上げても基板の被洗浄表面を安定して洗浄することができる。また、押圧子の対向面に比して面積の小さい突部の頂面にて洗浄クロスを基板の被洗浄表面に接触させるため、押圧子の押し付け力が小さくても洗浄に必要な接触圧を確保することができる。また、洗浄クロスの突部の側部近傍に洗浄剤が多く含浸した部分が発生することで、押圧子の相対移動時に突部と被洗浄表面の間に向けて洗浄剤が円滑に供給され、そのため洗浄作用がより効果的に発揮される。また、突部を複数設けると、洗浄クロスが接触して洗浄を行う箇所が複数に増加するため一層洗浄性能が向上する。
また、本発明の別の基板洗浄装置は、基板の被洗浄面に押圧される押圧子と、基板の被洗浄面に対する押圧子の対向面にテープ状の洗浄クロスを送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロスに洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板の被洗浄面の長手方向に相対移動させる移動手段とを備えた基板洗浄装置において、基板の被洗浄面に対する押圧子の対向面に、その相対移動方向と直交する方向に延びる複数の突部を洗浄クロスの幅方向に並列して配設し、かつ各突部を被洗浄面に対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成したものである。
この構成によれば、複数の押圧子を位置切替可能とするのに代えて、押圧子に設けた複数の突部を位置切替可能としたことで、突部の位置切替によって洗浄クロスをその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれにて被洗浄面の洗浄を行うことにより、洗浄クロスをその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができ、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図ることができかつ洗浄クロスの交換間隔を長くできて生産効率を向上して洗浄することができる。
また、以上の基板洗浄装置において、押圧子に、洗浄クロスの両側縁の位置規制を行う規制突部を設けると、押圧子や突部の位置切替によって洗浄クロスの送給時に横ずれを発生するのを確実に防止することができる。
また、基板の被洗浄面を有する側縁部を表裏両面から挟むように表裏両面に対して対の押圧子が配設され、移動手段は対の押圧子を基板の側縁部に沿って相対移動させるものであると、基板の側縁部の表裏両面の被洗浄表面を同時に洗浄できるとともに、基板の側縁部を裏面から支持する必要がないので、基板の支持構成を簡単にできて装置構成をコンパクトにできる。
また、基板の側縁部の表裏両面の被洗浄面に向けて押圧付勢される表裏両面に対して対の押圧子とこれら基板の側縁部の表裏の被洗浄面に対する対の押圧子の対向面にテープ状の洗浄クロスを送る洗浄クロス送給手段を備え、洗浄クロス送給手段は、洗浄クロスが供給部から一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間を通された後、一方の被洗浄面から他方の被洗浄面に至る略環状の循環経路を経て、他方の被洗浄面と他方の押圧子の対向面との間を一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間の通過方向と同じ方向に通され、その後に、回収部に至る移動経路を有する移動経路手段を設けていると、一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間を通って一方の被洗浄面を洗浄した洗浄クロスが循環経路を経て他方の被洗浄面と他方の押圧子の対向面との間に移動して一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間の通過方向と同じ方向に通ることで、一方の被洗浄面を洗浄した洗浄クロスの面とは反対側の洗浄クロスの面が他方の被洗浄面を洗浄することになり、そのため基板の側縁部の表裏両面の被洗浄面を洗浄クロスの両面を使って洗浄することができ、洗浄クロスの消費量をさらに半減できてコスト低下を図ることができるとともに、洗浄クロスの交換間隔を拡大することができ、しかも洗浄クロスを途中で捻って表裏を反転しないので捻り癖によって洗浄不良が発生する恐れがなく、安定して適切に洗浄することができる。
また、本発明の基板洗浄方法は、基板の被洗浄面と被洗浄面に対する押圧子の対向面との間に洗浄剤を含ませたテープ状の洗浄クロスを送給し、押圧子の対向面を被洗浄面に押圧した状態で押圧子を基板の被洗浄面の長手方向に相対移動させて基板の被洗浄面を洗浄する基板洗浄方法において、被洗浄面に対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能な複数の押圧子又は単一の押圧子に設けた複数の突部によって洗浄クロスをその幅方向に複数の洗浄領域に分け、1つの洗浄領域で所定長の被洗浄面の洗浄を行った後、他の洗浄領域に切り替えて次の所定長の被洗浄面の洗浄を行い、幅方向に全ての洗浄領域による洗浄が終了した後洗浄クロスを送給するものである。
この構成によると、洗浄クロスをその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができ、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図ることができかつ洗浄クロスの交換間隔を長くできて生産効率を向上して洗浄することができる。
また、基板の側縁部の表裏両面の被洗浄面を表裏両面に対して対の押圧子にて洗浄する際に、供給部から供給した単一の洗浄クロスを、一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間に通した後、一方の被洗浄面から他方の被洗浄面に至る略環状の循環経路を経て、他方の被洗浄面と他方の押圧子の対向面との間に一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間の通過方向と同じ方向に通した後に、回収部に回収すると、基板の側縁部の表裏両面の被洗浄面を洗浄クロスの両面を使って洗浄することができ、洗浄クロスの消費量をさらに半減できてコスト低下を図ることができるとともに、洗浄クロスの交換間隔を拡大することができ、しかも洗浄クロスを途中で捻って表裏を反転しないので捻り癖によって洗浄不良が発生する恐れがなく、安定して適切に洗浄することができる。
本発明の基板洗浄装置及びその方法によれば、洗浄クロスの幅方向に並列配置した複数の押圧子又は突部を押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能としたことで、押圧子又は突部の位置切替によって洗浄クロスをその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれにて被洗浄面の洗浄を行うことにより、洗浄クロスをその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができ、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図ることができかつ洗浄クロスの交換間隔を長くできて生産効率を向上できる。
本発明の基板洗浄装置の第1の実施形態の全体概略構成を示す斜視図。 同実施形態の要部である洗浄部の構成を示す斜視図。 同実施形態における洗浄部の縦断側面図。 同実施形態における基板洗浄動作のフロー図。 (a)、(b)は洗浄時の押圧子の動作状態の説明図。 本発明の基板洗浄装置の第2の実施形態の要部である押圧子の構成を示し、(a)は(b)のA−A矢視縦断正面図、(b)は(a)のB−B矢視縦断側面図。 同実施形態の突部位置切替機構の各切替状態の説明図。 本発明の基板洗浄装置の第3の実施形態の全体概略構成を示す側面図。 同実施形態の全体概略構成を示す斜視図。 本発明の基板洗浄装置の第4の実施形態の全体概略構成を示す斜視図。 本発明の基板洗浄装置の第5の実施形態の全体概略構成を示す斜視図。 (a)、(b)は本発明の基板洗浄装置の第6の実施形態の全体概略構成を示す斜視図。 ガラス基板に対する部品実装工程を説明する斜視図。 従来例の基板洗浄装置の要部構成を示す側面図。 他の従来例の基板洗浄装置の要部構成を示す側面図。
以下、本発明を、液晶表示パネルのガラス基板の側縁部の被洗浄表面を洗浄して付着した異物を除去する基板洗浄装置に適用した各実施形態について、図1〜図12を参照して説明する。
(第1の実施形態)
まず、本発明に係る基板洗浄装置の第1の実施形態について、図1〜図5を参照して説明する。
図1〜図3において、本実施形態の基板洗浄装置は、ガラス基板などの基板1を基板洗浄装置に搬入する基板搬送手段2と、基板搬送手段2から基板1を受け取って洗浄動作に伴う移動を行う移動手段3と、基板1の側端部の表裏両面の被洗浄面1a、1b(図2、図3参照)の洗浄を行う洗浄機構部4とを備え、各々基台5上に配設されている。なお、基板1の搬出は、後続工程であるACF貼付装置(図示せず)に設けられた、基板搬送手段2と同様の基板搬送手段(図示せず)にて行われる。
基板搬送手段2は、基板1を載置して両持支持する一対の支持アーム6a、6aを有する基板載置部6と、基板載置部6を基板搬送方向であるX方向に往復移動させる駆動機構7にて構成されている。駆動機構7は、基板載置部6を移動自在に支持する支持レール部7aと、モータ7cにて駆動されて基板載置部6を移動させる送りねじ機構7bにて構成されている。
移動手段3は、基板1の中央部を載置支持する基板保持部8と、基板保持部8をX方向と、それに直交するY方向と、垂直なZ方向と、Z軸回りのθ方向の移動及び位置決めを行う移動テーブル9にて構成されている。この移動手段3は、基板1を基板保持部8上に保持し、基板1の側縁部の表裏両面の被洗浄面1a、1bの一端を洗浄機構部4における後述の洗浄部10に位置決めするとともに、洗浄動作に伴って基板1を移動させることで、洗浄部10が基板1の側縁部に沿って被洗浄面1a、1bの他端まで相対移動するように基板1を移動させる。その相対移動速度は、40〜250mm/s程度に設定され、好適には100〜250mm/s程度の高速に設定される。ここで、洗浄動作に伴って基板1を移動させるとしたが、洗浄部10を移動させても良く、さらに基板1と洗浄部10の移動を組み合わせても良い。
洗浄機構部4について説明すると、洗浄部10は、図2、図3に示すように、基板保持部8にて保持された基板1の側縁部の表裏両面の被洗浄面1a、1bに対してその上下で対向するように、表裏両面に対して対として配置されかつ基板1の側縁部に沿う方向に複数並列配置された複数対(図示例では2対)の押圧子11a1、11b1と、11a2、11b2を備えている。これら押圧子11a1〜11b2としては、耐薬品性に優れるとともに摺動性に優れたポリアセタール(POM)などの材料で構成するのが好適である。そして、押圧子11a1、11b1と、11a2、11b2をそれぞれチャック機構18
a、18bにて開閉駆動して、これら押圧子11a1、11b1と、11a2、11b2にて基板1の側縁部の上下両面の被洗浄面1a、1bにテープ状の洗浄クロス12を押し付けるように構成されている。洗浄クロス12は、並列配置された対の押圧子11a1と11a2、及び対の押圧子11b1、11b2にわたる幅寸法を有している。
チャック機構18a、18bは独立して開閉駆動され、押圧子11a1、11b1が洗浄クロス12を押し付ける押付可能位置に位置しているときには、押圧子11a2、11b2は基板1の側縁部の表裏両面の被洗浄面1a、1bから離間して洗浄クロス12を被洗浄面1a、1bに押し付けない位置である非押付位置に位置し、押圧子11a2、11b2が押付可能位置に位置しているときには押圧子11a1、11b1は非押付位置に位置するように各対の押圧子11a1、11b1と、11a2、11b2とを、被洗浄面1a、1bに対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に駆動制御される。これら押圧子11a1、11b1、及び押圧子11a2、11b2のチャック力は、4〜9N程度が好適である。なお、押圧子11a1、11b1と、11a2、11b2、及びチャック機構18a、18bは、基板1の側縁部の被洗浄面1a、1bの高さ位置との位置ずれを吸収できるように上下方向に弾性的に支持されている。
洗浄クロス12は、基板1の側縁部の表面の被洗浄面1aに対向する押圧子11a1と11a2、及び基板1の側縁部の裏面の被洗浄面1bに対向する押圧子11b1と11b2にそれぞれ対応して設けられた、洗浄クロス送給手段としての供給リール13a、13bから適宜ガイドローラ14を介して押圧子11a1と11a2、及び11b1と11b2の基板1の側縁部に対する相対移動方向と直交する方向から押圧子11a1と11a2、及び11b1と11a2に向けてそれぞれ供給される。供給された洗浄クロス12は、押圧子11a1と11a2、及び11b1と11b2における基板1の被洗浄面に対向する対向面15の上手側に傾斜形成されたガイド部16を通過して対向面15に導かれる。対向面15にて基板1の被洗浄面に接触されて洗浄を行った後の洗浄クロス12は、適宜ガイドローラ14を介して回収リール17a、17bにそれぞれ巻き取られる。洗浄クロス12に作用させる張力は、0.5〜1.8N程度である。洗浄クロス12は、押圧子11a1と11b1による洗浄動作と、次の押圧子11a2と11b2による洗浄動作の複数回の洗浄動作を行った後に供給リール13a、13bと回収リール17a、17bとの間で、ピッチ送りされ、洗浄クロス12の供給及び回収動作がされる。
押圧子11a1と11a2、及び11b1と11b2のガイド部16に間隔をあけて対向するように、エタノールやイソプロピルアルコールなどの揮発性の洗浄剤を洗浄クロス12に向けて吐出する洗浄剤供給手段としての洗浄剤吐出ノズル19が配設されている。洗浄剤は、洗浄クロス12がピッチ送りされる前に、洗浄剤供給部(図示せず)から供給配管を介して洗浄剤吐出ノズル19に所定量ずつ圧送されて洗浄クロス12に向けて吐出される。洗浄クロス12に洗浄剤が含まれると、洗浄クロス12の色調が変化する。押圧子11a1と11a2、及び11b1と11b2のガイド部16に対向して、洗浄クロス12の色調変化を検出する検出センサ20が配設され、洗浄クロス12に所要量の洗浄剤が適正に吐出されたことを確認できるように構成されている。
さらに、押圧子11a1と11a2、及び11b1と11b2の対向面15には、それぞれ押圧子11a1〜11b2の相対移動方向と直交する方向に延びる突部21が形成されている。対向面15及び突部21の長さは、基板1の被洗浄面の長手方向に直交する方向の幅寸法より大きく設定されている。突部21の高さは、洗浄クロス12の厚さの3〜5倍程度が好適であり、具体例では、洗浄クロス12の厚さが0.2〜0.3mmであるため、突部21の高さは1mmに設定されている。また、突部21は断面形状台形に形成されるとともに、洗浄クロス12の幅寸法が10mm〜13mm程度であるため、突部21の頂面の幅寸法d1を1〜1.5mmとし、突部21の底部の幅寸法d2を略2〜2.5mmに設定している(図5(a)参照)。また、突部21の先端のガイド部16の先端縁に連続する先端面21aは、対向面15に対して略垂直な面で構成されている。
基板1の側縁部の表面の被洗浄面1aに対向するように、並列配置された押圧子11a1と11a2のそれぞれの対向面15の間は微小隙間をあけて略連続した面を形成するとともにその両側部には洗浄クロス12の両側縁の位置規制を行う規制突部22が設けられている。また、基板1の側縁部の裏面の被洗浄面1bに対向するように並列配置された押圧子11b1と11b2についても同様に規制突部22が設けられている。規制突部22の先端には面取部23が設けられている。押圧子11a1と11a2、及び11b1と11b2の突部21の底部に対する規制突部22の高さは、突部21の底部に対する突部21の高さと実質的に同じ高さに設定され、突部20と規制突部22の頂面が同一平面上に位置するように構成されている。また、面取部23の寸法も規制突部22の高さとほぼ同一寸法に設定されている。なお、面取部23の面取り寸法は、基板1の被洗浄表面の一側縁を形成している段差部1c(図3参照)の高さ、すなわち基板1を構成しているガラス基板の厚さを超える寸法に設定すれば良く、好ましくは基板1を構成しているガラス基板の厚さの複数倍の寸法に設定すれば良い。因みに、具体例を示すと、ガラス基板の厚さは0.4mmで、面取部23の寸法を1.2mmに設定している。なお、ガラス基板の厚さは薄くなる傾向にあり、5インチ以下のサイズのガラス基板では0.15mm程度まで薄くなることが予測されている。
次に、以上の構成の基板洗浄装置にて基板1の側縁部の上下の被洗浄面を洗浄する工程を図4、図5を参照して説明する。まず、第1の基板1を基板搬送手段2にて基板洗浄装置に搬入する。搬入された基板1は移動手段3の基板保持部8上に受け取られ、移動手段3にて第1の基板1の側縁部の一端が、洗浄部10における一対の押圧子11a1と11b1、及び11a2と11b2の間に位置するように位置決めされる(ステップS1)。この搬入動作と並行して、ガイド部16に対向位置している洗浄剤吐出ノズル19から洗浄剤が吐出され、洗浄クロス12に所要量の洗浄剤を含浸させた状態とされる(ステップS2)。なお、洗浄クロス12に洗浄剤が含浸することで発生する滲みが検出センサ20にて検出され、洗浄クロス12に洗浄剤を十分に含浸していることが確認される。その後、洗浄クロス12を所定量送給し、押圧子11a1と11b1、及び11a2と11b2の対向面15と基板1の被洗浄面1a、1bとの間に洗浄剤を含浸した部分を送給する(ステップS3)。
次に、洗浄部10の一方のチャック機構18a(図2参照)にて、基板1の側縁部の表裏両面の被洗浄面1a、1b対する一対の押圧子11a1と11b1の間の隙間を閉じることで、一対の押圧子11a1と11b1を押付可能位置に動作させ、図5(a)に示すように、押圧子11a1と11b1の対向面15に形成された突部21にて、洗浄クロス12が第1の基板1の表裏両面の被洗浄面1a、1bに接触された状態とする。こうして押圧子11a1と11b1の突部21にて洗浄クロス12が第1の基板1の被洗浄面に接触されている状態で、移動手段3を作動させて第1の基板1を移動させ、押圧子11a1と11b1を第1の基板1の側縁部の被洗浄面1a、1b長手方向に沿って被洗浄面1a、1bの一端から他端に向けて相対移動させることで、第1の基板1の表裏両面の被洗浄面1a、1bを洗浄する(ステップS4)。なお、この洗浄動作は、1方向の移動のみによって、あるいは1又は複数回の往復移動によって行われる。その後、一方のチャック機構18aにて一対の押圧子11a1と11b1の間を開き、基板1の側縁部の表裏両面の被洗浄面1a、1bから被洗浄面1a、1bに対し垂直な方向である上下方向に離間して洗浄クロス12を被洗浄面1a、1bに押し付けない位置である非押付位置に動作させた後、移動手段3にて第1の基板1を洗浄部10から水平方向に離間させ、第1の基板1を後続工程のACF貼付装置の基板搬送装置(図示せず)にて搬出する(ステップS5)。
次に、基板搬送手段2にて次の第2の基板1が搬入される(ステップS6)。そして、洗浄部10の他方のチャック機構18b(図2参照)にて、基板1の側縁部の表裏両面の被洗浄面1a、1b対する一対の押圧子11a2と11b2の間の隙間を閉じることで、一対の押圧子11a2と11b2を押付可能位置に動作させ、図5(b)に示すように、押圧子11a2と11b2の対向面15に形成された突部21にて、洗浄クロス12が第2の基板1の表裏両面の被洗浄面1a、1bに接触された状態とする。こうして押圧子11a2と11b2の突部21にて洗浄クロス12が第2の基板1の被洗浄面に接触されている状態で、移動手段3を作動させて第2の基板1を移動させ、押圧子11a2と11b2を第2の基板1の側縁部の被洗浄面1a、1bの長手方向に沿って被洗浄面1a、1bの一端から他端に向けて相対移動させることで、第2の基板1の表裏両面の被洗浄面1a、1bを洗浄する(ステップS7)。その後、他方のチャック機構18bにて一対の押圧子11a2と11b2の間を開き、基板1の側縁部の表裏両面の被洗浄面1a、1bから被洗浄面1a、1bに対し垂直な方向である上下方向に離間して洗浄クロス12を被洗浄面1a、1bに押し付けない位置である非押付位置に動作させた後、移動手段3にて第2の基板1を洗浄部10から水平方向に離間させ、第2の基板1を後続工程のACF貼付装置の基板搬送装置(図示せず)にて搬出する(ステップS8)。その後ステップS1にリターンして以上の洗浄工程が繰り返される。
以上の本実施形態によれば、洗浄クロス12の幅方向に並列配置した複数対の押圧子11a1、11b1、及び11a2、11b2を、押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能としたことによって、押圧子11a1、11b1、及び11a2、11b2の位置切替によって洗浄クロス12をその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれにて被洗浄面の洗浄を行うことができる。
これにより、1つの洗浄領域で被洗浄面1a、1bの洗浄を行い、あるいは基板1に対する所定長の被洗浄面1a、1bの洗浄を行った後、他の洗浄領域に切り替えて、次の被洗浄面1a、1bの洗浄を行い、あるいは基板1に対する次の所定長の被洗浄面1a、1
bの洗浄を行い、洗浄クロス12の幅方向における全ての洗浄領域による洗浄が終了した後、複数対の押圧子11a1、11b1、及び11a2、11b2に対し、洗浄クロスを送給するように動作させる。
かくして、洗浄クロス12をその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができるので、洗浄クロス12の使用量を低減してコスト低下を図ることができかつ洗浄クロス12の交換間隔も長くできるため生産効率を向上することができる。
また、基板1の側縁部の表裏両面の被洗浄面1a、1bに対する各押圧子11a1〜11b2の対向面15にその相対移動方向と直交する方向に延びる1又は複数の突部21を設けているので、基板1の側縁部の表裏両面の被洗浄面1a、1bに対するこれら押圧子11a1〜11b2の相対移動時に洗浄クロス12がこの突部21にて係止された状態となる。そのため、例えば、洗浄クロス12に1.8Nを超えるような大きな張力を作用させ、それに対応して押圧子11a1〜11b2のチャック力を、9Nを超えて大きくしなくても、洗浄クロス12が移動方向に位置ずれするのを確実に防止することができる。かくして、洗浄クロス12の張力及び押圧子11a、11bの押し付け力を増大させることなく、押圧子11a、11bと基板1の相対移動速度を、例えば100mm/s以上の速度に上げても基板1の側縁部の表裏両面の被洗浄面1a、1bを安定して洗浄することができ、洗浄時間の短縮化を図ることができる。
また、押圧子11a1〜11b2の対向面15に比して面積の小さい突部21の頂面にて洗浄クロス12を基板1の被洗浄面1a、1bに接触させるようにしているため、押圧子11a1〜11b2に作用させる押し付け力が小さくても洗浄に必要な接触圧を確保す
ることができ、よりコンパクトな構成のチャック機構18a、18bにて効率的に洗浄することができるとともに、押し付け力が小さくて良いので、基板1の厚さが上記のように薄くなっても損傷の恐れなく確実に洗浄することができる。また、洗浄クロス12における突部21の側部近傍部分に洗浄剤を多く含浸した状態が発生するので、押圧子11a1〜11b2と基板1の相対移動に伴って、突部21と被洗浄面との間に対する洗浄剤の供給が円滑に行われ、洗浄作用がより効果的に発揮される。
また、複数対の押圧子11a1、11b1、及び11a2、11b2が、基板1の側縁部を両面から挟むように配設され、移動手段3は基板1の中央部を支持してその側縁部に沿って一対の押圧子11a1、11b1、及び11a2、11b2を相対移動させる構成であるため、基板1の側縁部を裏面から支持する必要がなく、基板1の支持構成も簡単で、装置構成をコンパクトにできる。また、洗浄クロス12を、押圧子11a1、11b1、及び11a2、11b2の相対移動方向と直交する方向からガイド部16を通して対向面15に送給するように構成しているので、洗浄機構部4を、基板1の上方でなく、基板1の移動方向と直交する一側部に配置できて、装置構成をコンパクトにできる。
また、並列して配置された押圧子11a1と11b1の外側の両端側、及び並列して配置された押圧子11a2と11b2の外側の両端側に洗浄クロス12の両側縁の位置規制を行う、突部21とほぼ同じ高さの規制突部22を設けているので、ガイド部16と規制突部22にて、押圧子11a1〜11b2における洗浄クロス12の送給経路のほぼ全長にわたって洗浄クロス12の両側がガイドされることで、突部21の存在によっても、また押圧子11a1、11b1と、11a2、11b2を押圧可能位置と非押圧位置との間で交互に位置切替しても、洗浄クロス12の送給時に洗浄クロス12が偏りを生じるのを確実に防止することができる。
また、液晶パネル等において、表示画面を大きく確保しながらコンパクトな構成とするため、表示画面の周囲の幅寸法を小さくすることが求められており、それに伴って、図3に示すように、基板1の段差部1cの近傍、例えば段差部1cから0.3mm以下の位置まで被洗浄面1a、1bを洗浄することが求められることがある。その場合、押圧子11a1〜11b2の突部21の先端面21aを段差部1cに近接させて位置させた状態で、基板1と押圧子11a1〜11b2を相対移動させることになるが、その場合、押圧子11a1〜11b2の取付角度の微小な誤差によっても押圧子11a1〜11b2の両側部が、段差部1cに干渉する恐れがあるが、本実施形態では規制突部22の先端に、基板1の被洗浄表面の一側縁を形成している段差部1cの高さの複数倍の寸法の面取部23を設けているので、この面取部23にて段差部1cの逃がし空間が形成されるため、押圧子11a1〜11b2と段差部1cの干渉を確実に防止することができる。
(第2の実施形態)
次に、本発明に係る基板洗浄装置の第2の実施形態について、図6、図7を参照して説明する。なお、以下の実施形態の説明においては、先行する実施形態と共通する構成要素については同一参照符号を付して説明を省略し、主として相違点について説明する。
上記実施形態では、複数対の押圧子11a1、11b1と、11a2、11b2を基板1の側縁部との相対移動方向に並列配置した例を示したが、本実施形態では上下一対の押圧子11a、11bを配設し、これら押圧子11a、11bに、図6(a)に示すように、それぞれ複数(図示例では3つ)の突部21を適当な間隔をあけて並列して配設するとともに、何れか1つの突部21を選択的に対向面15から突出させて、洗浄クロス12を基板1の側縁部の被洗浄面に押し付け可能な押圧可能位置に位置させ、他の突部21は対向面15と実質的に面一の非押圧位置である基板1の側縁部の被洗浄面から離間して洗浄クロス12を被洗浄面に押し付けない位置に位置させることができるように構成されている。
具体的な構成例としては、図6(a)、(b)に示すように、押圧子11a、11bに各突部21の配置位置に対応して対向面15から側面視台形状のスリット凹部24を形成するとともに、このスリット凹部24内に、対向面15に臨む部分が突部21を構成する台形状の出退板25を、対向面15に対して出退可能に挿入配置している。出退板25は、スリット凹部24の奥壁面24aとの間に配置された弾性体26にて突出付勢され、かつ各出退板25の略中央部に形成された開口27を貫通するとともに出退板25の配設方向に移動可能に押圧子11a、11bに配設されたカムバー28(図6(b)、図7参照)にて、出退位置が規制されている。すなわち、各出退板25の弾性体26に対向する開口27の側縁27aがカムバー28に係合されており、図7(a)〜(c)に示すように、カムバー28をソレノイドやエアシリンダなどの位置切替手段29にて位置切替することで、何れかの出退板25の側縁27aがカムバー28の適所に形成されたカム凹部28aに入り込んで係合し、その出退板25の対向面15に臨む部分が対向面15から突出した突部21となり、押圧子11a、11bの対向面15から突出した突部21の位置を切り替えることができる。
洗浄時には、最初の突部21を対向面15から突出させた状態で、チャック機構(図示せず)にて一対の押圧子11aと11bの間の隙間を閉じ、一対の押圧子11a1と11b1を押付可能位置に動作させ、押圧子11aと11bの対向面15に突出している突部21にて洗浄クロス12を基板1の表裏両面の被洗浄面1a、1bに接触させた状態とし、突出した突部21にて洗浄クロス12が基板1の被洗浄面1a、1bに接触されている状態で、移動手段3を作動させて基板1を移動させ、押圧子11aと11bを基板1の側縁部の被洗浄面1a、1b長手方向に沿って相対移動させることで、基板1の表裏両面の被洗浄面1a、1bを洗浄する。あるいは基板1に対する所定長の被洗浄面1a、1bを洗浄する。その後、残りの突部21を順次対向面15から突出させた状態に切替することにより、被洗浄面1a、1bに対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成して、同様に順次、洗浄を行い、全ての突部21について順次搬入される基板1の側縁部の表裏両面の被洗浄面1a、1bに対する洗浄が終了すると、洗浄クロス12がピッチ送りされ、最初の突部21を対向面15から突出させた状態に戻り、以下同様に上述の洗浄動作を繰り返される。
本実施形態によれば、被洗浄面1a、1bに対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能な単一の押圧子11a1と11b1に設けた複数の突部21によって洗浄クロス12をその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれで被洗浄面の洗浄を行うことができ、1つの洗浄領域で被洗浄面1a、1bの洗浄を行い、あるいは基板1に対する所定長の被洗浄面1a、1bの洗浄を行った後、他の洗浄領域に切り替えて、次の被洗浄面1a、1bの洗浄を行い、あるいは基板1に対する次の所定長の被洗浄面1a、1bの洗浄を行い、洗浄クロス12の幅方向の全ての洗浄領域による洗浄が終了した後、洗浄クロス12を送給する。これにより上記第1の実施形態と同様に洗浄クロス12をその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができ、洗浄クロス12の使用量を低減してコスト低下を図ることができかつ洗浄クロス12の交換間隔を長くできて生産効率を向上でき、さらに洗浄クロス12の幅寸法が例えば10〜13mm程度の比較的狭い幅であっても、押圧子11a、11bに複数の突部21を配設することで、容易に洗浄クロス12を幅方向に複数の洗浄領域に分けて洗浄を行うことができる。
(第3の実施形態)
まず、本発明に係る基板洗浄装置の第3の実施形態について、図8、図9を参照して説明する。
上記第1の実施形態洗浄機構部4においては、洗浄クロス12の送給系を並列配置された押圧子11a1、11a2、及び11b1、11b2にそれぞれ対応させて複数配設していたが、本実施形態の洗浄機構部4においては、単一の洗浄クロス送給手段30にて並列配置された複数対の押圧子11a1、11b1と、11a2、11b2に対する洗浄クロス12の送給を行うとともに、洗浄クロス12の表裏両面で基板1の表裏両面の被洗浄面1a、1bにそれぞれ対応させて、基板1の側縁部の表裏両面の被洗浄面1a、1bを洗浄するようにしている。
洗浄クロス送給手段30は、洗浄クロス12の供給部としての供給リール13から引き出した洗浄クロス12を、送りローラ31aとピンチローラ31bから成る送給手段31にて複数回の洗浄動作毎にピッチ送りし、洗浄クロス12を走行自在に支持する複数の走行ローラ32a〜32gから成る移動経路手段32によって、一方の被洗浄面1aと一方の押圧子11a1、11a2の対向面15との間を通った後、一方の被洗浄面1aから他方の被洗浄面1bに至る略環状の循環経路33を経て、他方の被洗浄面1bと他方の押圧子11b1、11b2の対向面15との間を一方の被洗浄面1aと一方の押圧子11a1、11a2の対向面15との間の通過方向と同一方向に通り、その後循環経路33との干渉を避けるように洗浄クロス12の幅方向に変位させて回収部としての回収リール17にて巻き取るように構成されている。供給リール13と回収リール17は同一軸心上に配設されている。
本実施形態によれば、以上のように基板1の一方の被洗浄面1aと一方の押圧子11a1、11a2の対向面15との間を通って一方の被洗浄面1aを洗浄した洗浄クロス12が、循環経路33を経て他方の被洗浄面1bと他方の押圧子11b1、11b2の対向面15との間を、一方の被洗浄面1aと一方の押圧子11a1、11a2の対向面15との間の通過方向と同じ方向に通過するようにしていることで、基板1の一方の被洗浄面1aを洗浄した洗浄クロス12の面とは反対側の洗浄クロス12の面にて他方の被洗浄面1bを洗浄することになる。そのため、基板1の側縁部の表裏両面の被洗浄面1a、1bを洗浄クロス12の両面を使って洗浄することができる。
かくして、本実施形態においては、第1の実施形態と同様に押圧子11a1と11b1、及び11a2と11b2の被洗浄面1a、1bに対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替によって洗浄クロス12をその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれで被洗浄面の洗浄を行うことで、洗浄クロス12をその幅方向に有効に使用して複数回の洗浄を行うことができ、さらに洗浄クロス12の表裏両面を使って洗浄するので、洗浄クロス12の消費量を4分の1以下に低減することができて大幅にコスト低下を図ることができるとともに、洗浄クロス12の交換間隔を拡大することができ、さらに洗浄クロス12を途中で捻って表裏を反転しないので捻り癖によって洗浄不良が発生する恐れがなく、安定して適切に洗浄することができる。
また、供給部が洗浄クロス12を巻回した供給リール13からなり、回収部が洗浄クロス12を巻き取る回収リール17からなり、これら供給リール13と回収リール17を同一回転軸心上に並列して配設しているので、大きな面積を占める供給リール13と回収リール17を重ねて配置されてコンパクトに構成することができる。
(第4の実施形態)
次に、本発明の基板洗浄装置の第4の実施形態について、図10を参照して説明する。上記第3の実施形態では、回収部を回収リール17にて構成した例を示したが、本実施形態では、図10に示すように、回収ボックス34と、洗浄クロス12を回収ボックス34に排出する排出手段35を配設した構成としている。排出手段35は、送りローラ31aと同期回転するように連動された排出ローラ35aとこの排出ローラ35aとの間で洗浄
クロス12を挟圧する回転自在なピンチローラ35bにて構成されている。
(第5の実施形態)
次に、本発明の基板洗浄装置の第5の実施形態について、図11を参照して説明する。上記第3の実施形態では、移動経路手段32を、洗浄クロス12が一方の被洗浄面1aと一方の押圧子11a1、11a2の対向面15との間を通った後そのまま被洗浄面1aから遠ざかるように移動し、その後、下方に形成された循環経路33を通って他方の被洗浄面1bと他方の押圧子11b1、11b2の対向面15との間を通るように設定した例を示したが、本実施形態では、移動経路手段32の循環経路33を、洗浄クロス12が一方の被洗浄面1aと一方の押圧子11a1、11a2の対向面15との間を通った後一方の被洗浄面1aに対して略垂直方向に遠ざかる方向に移動して供給部の周囲を迂回するように設定している。
本実施形態によれば、洗浄クロス12の一方の面で一方の被洗浄面1aを洗浄した後、洗浄クロス12が供給部の周囲を迂回する循環経路33を移動する間に洗浄クロス12に滲み込んだ洗浄液の溶剤が揮発する時間を確保することができ、洗浄クロス12が湿潤状態から乾燥状態に近い付いた後に、洗浄クロス12の洗浄後の汚れのある一方の面が走行ローラ32d〜32gに接触するので、これらの走行ローラ32d〜32gに汚れが転写するのを抑制することができる。
(第6の実施形態)
次に、本発明の基板洗浄装置の第6の実施形態について、図12(a)、図12(b)を参照して説明する。上記第3の実施形態(図8、9参照)では、移動経路手段32を、供給リール13から送給された洗浄クロス12が、基板1の基板側縁より基板中央側方向に位置する段差部1c側(図3参照)の一方の押圧子11a1、11a2の端に送給され、一方の被洗浄面1aと一方の押圧子11a1、11a2の対向面15との間を通った後、循環経路33を経て基板1の基板側縁より基板中央側方向に位置する他方の押圧子11b1、11b2の端に送給され、他方の被洗浄面1bと他方の押圧子11b1、11b2の対向面15との間を通って回収リール17に至るように構成した例を示したが、本実施形態の移動経路手段32は、図12(a)に示すように、供給リール13から送給された洗浄クロス12が、一方の被洗浄面1aに略沿う方向の基板1から離れた方向から一方の被洗浄面1aと一方の押圧子11a1、11a2の対向面15との間を基板中央側方向に向かって通された後、一方の被洗浄面1aに対して略垂直方向に遠ざかる方向に移動して供給リール13の周囲を迂回する循環経路33を経て、他方の被洗浄面1bに略沿う方向から他方の被洗浄面1bと他方の押圧子11b1、11b2の対向面15との間を一方の被洗浄面1aと一方の押圧子11b1、11b2の対向面との間の通過方向と同じ方向に通され、その後他方の被洗浄面1bに対して略垂直方向に遠ざかる方向に移動した後回収リール17に至るように設定している。
なお、ここで、供給リール13と回収リール17の配置において、図12(a)は供給リール13と回収リール17とが同一回転軸芯上に並列して配設されているに構成例であり、図12(b)は、供給リール13と回収リール17とが実質的同一平面上に配設されている構成例である。
本実施形態によれば、洗浄クロス12を移動自在に支持して移動経路手段32を構成する走行ローラ32c〜32fが、洗浄クロス12の一方の被洗浄面1aを洗浄した後の一方の面には接触することなく、洗浄クロス12を他方の被洗浄面1bに向けて案内するので、走行ローラ32c〜32fに汚れが転写され難く、これら走行ローラ32c〜32fの汚れ発生を抑制することができる。
以上の実施形態の説明では、並列配置された複数対の押圧子11a1と11b1、又は11a2と11b2、若しくは一対の押圧子11aと11bに設けられた複数の突部21の内の順次選択された突部21にて、洗浄クロス12を基板1の表裏両面の被洗浄面1a、1bに接触させた状態で、移動手段3にて押圧子11a1、11b2、若しくは11a2、11b2を基板1の側縁部の被洗浄面1a、1bの長手方向に沿って相対移動させて洗浄するように構成した例を示したが、基板1の任意箇所に存在する被洗浄面を洗浄するため、被洗浄面の裏面を支持した状態で、被洗浄面に対して押圧子を押し付けて相対移動させるようにするとともに、その被洗浄面と押圧子の対向面15との間に洗浄クロス12を送給するように構成した基板洗浄装置に本発明を適用しても同様の作用効果を奏することができる。
本発明の基板洗浄装置及びその方法によれば、洗浄クロスの幅方向に並列配置した複数の押圧子又は突部を押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能とし、押圧子又は突部の位置切替によって洗浄クロスをその幅方向に複数の洗浄領域に分けてそれぞれで被洗浄面の洗浄を行うようにしたので、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図ることができかつ洗浄クロスの交換間隔を長くできて生産効率を向上できるため、各種基板に各種部品を実装する部品実装装置に好適に利用することができる。
1 基板
1a、1b 被洗浄面
3 移動手段
11a1、11a2、11b1、11b2 押圧子
12 洗浄クロス
13、13a、13b 供給リール(洗浄クロス送給手段)
15 対向面
17、17a、17b 回収リール(回収部)
18a、18b チャック機構
19 洗浄剤吐出ノズル(洗浄剤供給手段)
21 突部
22 規制突部
25 出退板
28 カムバー
29 位置切替手段
30 洗浄クロス送給手段
32 移動経路手段
33 環状経路

Claims (8)

  1. 基板の被洗浄面に押圧される押圧子と、基板の被洗浄面に対する
    押圧子の対向面にテープ状の洗浄クロスを送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロスに洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板の被洗浄面の長手方向に相対移動させる移動手段とを備えた基板洗浄装置において、
    洗浄クロスの幅方向に複数の押圧子を並列配置するとともに、各押圧子を被洗浄面に対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成したことを特徴とする基板洗浄装置。
  2. 各押圧子の被洗浄面に対する対向面に、その相対移動方向と直交する方向に延びる1又は複数の突部を設けたことを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄装置。
  3. 基板の被洗浄面に押圧される押圧子と、基板の被洗浄面に対する押圧子の対向面にテープ状の洗浄クロスを送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロスに洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板の被洗浄面の長手方向に相対移動させる移動手段とを備えた基板洗浄装置において、
    基板の被洗浄面に対する押圧子の対向面に、その相対移動方向と直交する方向に延びる複数の突部を洗浄クロスの幅方向に並列して配設し、かつ各突部を被洗浄面に対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成したことを特徴とする基板洗浄装置。
  4. 押圧子に、洗浄クロスの両側縁の位置規制を行う規制突部を設けたことを特徴とする請求項1〜3の何れか1つに記載の基板洗浄装置。
  5. 基板の被洗浄面を有する側縁部を表裏両面から挟むように表裏両面に対して対の押圧子が配設され、移動手段は対の押圧子を基板の側縁部に沿って相対移動させることを特徴とする請求項1〜4の何れか1つに記載の基板洗浄装置。
  6. 基板の側縁部の表裏両面の被洗浄面に向けて押圧付勢される表裏両面に対して対の押圧子とこれら基板の側縁部の表裏の被洗浄面に対する対の押圧子の対向面にテープ状の洗浄クロスを送る洗浄クロス送給手段を備え、洗浄クロス送給手段は、洗浄クロスが供給部から一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間を通された後、一方の被洗浄面から他方の被洗浄面に至る略環状の循環経路を経て、他方の被洗浄面と他方の押圧子の対向面との間を一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間の通過方向と同じ方向に通され、その後に、回収部に至る移動経路を有する移動経路手段を設けたことを特徴とする請求項1〜5の何れか1つに記載の基板洗浄装置。
  7. 基板の被洗浄面と被洗浄面に対する押圧子の対向面との間に洗浄剤を含ませたテープ状の洗浄クロスを送給し、押圧子の対向面を被洗浄面に押圧した状態で押圧子を基板の被洗浄面の長手方向に相対移動させて基板の被洗浄面を洗浄する基板洗浄方法において、
    被洗浄面に対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能な複数の押圧子又は単一の押圧子に設けた複数の突部によって洗浄クロスをその幅方向に複数の洗浄領域に分け、1つの洗浄領域で所定長の被洗浄面の洗浄を行った後、他の洗浄領域に切り替えて次の所定長の被洗浄面の洗浄を行い、幅方向に全ての洗浄領域による洗浄が終了した後洗浄クロスを送給することを特徴とする基板洗浄方法。
  8. 基板の側縁部の表裏両面の被洗浄面を表裏両面に対して対の押圧子にて洗浄する際に、供給部から供給した単一の洗浄クロスを、一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間に通した後、一方の被洗浄面から他方の被洗浄面に至る略環状の循環経路を経て、他方の被洗浄面と他方の押圧子の対向面との間に一方の被洗浄面と一方の押圧子の対向面との間
    の通過方向と同じ方向に通し、その後に、回収部に回収することを特徴とする請求項7記載の基板洗浄方法。
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