JPWO2011155324A1 - インクジェット塗布装置 - Google Patents

Abstract

インクジェット塗布装置は、ノズル面（２２）を有するインクジェットヘッド（２１）と、ノズル面（２２）を拭き取るための帯状編み物（６４）と、搬送アーム（５６）とを備える。インクジェットヘッド（２１）には、ノズル面（２２）に開口し、インクを吐出する複数のノズル孔（２４）と、複数のノズル孔（２４）に向けてインクを供給するインク供給管およびインク供給室とが形成される。ノズル面（２２）を正面から見た場合に、ノズル面（２２）には、複数のノズル孔（２４）が開口するノズル孔領域（４１）と、ノズル孔領域（４１）に隣り合って配置され、インクジェットヘッド（２１）の内部に形成されたインク供給管およびインク供給室が投影される閉塞領域（４２）とが規定される。搬送アーム（５６）は、帯状編み物（６４）をインクジェットヘッド（２１）に対して、ノズル孔領域（４１）および閉塞領域（４２）が並ぶ方向に沿って移動させる。

Description

この発明は、一般的には、インクジェット塗布装置に関し、より特定的には、ノズル面を拭き取るためのクリーニング機構を備えるインクジェット塗布装置に関する。

従来のインクジェットヘッドのクリーニング装置に関して、たとえば、特開２００６−２４８１０２号公報には、インクジェットヘッドのノズル面の余剰吐出液の拭き取り状態を向上させ、溶液の吐出を安定させることを目的としたインクジェット塗布装置が開示されている（特許文献１）。

特許文献１に開示されたインクジェット塗布装置は、ワイピングクロスと、そのワイピングクロスをインクジェットヘッドのノズル面の前面に繰り出す繰り出し機構と、ワイピングクロスをノズル面に押し付けるローラとを有する。ワイピングクロスは、低発塵性の吸水性を有する帯状の部材、たとえばポリエステル繊維から形成されている。ローラがワイピングクロスをノズル面に対して押圧しつつ、ノズル面に沿って移動することによって、ノズル面が拭き取られる。

また、特開２００５−３０５８４５号公報には、液体吐出ヘッドのノズル面のクリーニング効果を向上させることを目的とした、液体吐出ヘッドのクリーニング装置が開示されている（特許文献２）。特許文献２に開示されたクリーニング装置は、ノズル面に接触する面が繊維質の吸収体によって形成され、ノズル面をワイプするクリーニングローラを備える。

また、特開２００６−７５７７号公報には、吐出信頼性を向上させることを目的とした印字清掃機構が開示されている（特許文献３）。特許文献３に開示された印字清掃機構は、弾性のある多孔質材からなるクリーニングローラと、不織布からなり、インクの拭き取り時にインクを供給するヘッド部とクリーニングローラとの間に配置されるクリーニングペーパとを備える。

特開２００６−２４８１０２号公報 特開２００５−３０５８４５号公報 特開２００６−７５７７号公報

基板の表面にレジストや配向膜などの機能性膜を形成する製造工程に、インクジェット塗布装置が利用されている。インクジェット塗布装置の利用に際しては、ノズル面に付着したインクの液膜によって安定したインクの吐出が妨げられるおそれがあるため、ノズル面に付着したインクを拭き取るためのクリーニング装置が用いられる。具体的には、ノズル面がある程度湿った状態を維持するようにインクを拭き取ることにより、吐出の安定性が実現される。

しかしながら、ノズル面に付着するインクの量は、ノズル孔との位置関係に起因して場所によって異なる。この場合に、付着するインク量が少ないにもかかわらず、他の場所と同じようにインクを拭き取ると、その場所でノズル面が乾燥し、インクの残渣が固形化する現象が生じる。さらに、固形化したインクによってノズル面の状態が悪化し、その状態が進行すると、インクを安定して吐出できないという懸念が生じる。

そこでこの発明の目的は、上記の課題を解決することであり、インクの吐出が安定化されるインクジェット塗布装置を提供することである。

この発明に従ったインクジェット塗布装置は、ノズル面を有するインクジェットヘッドと、ノズル面を拭き取るための吸収体と、移動機構部とを備える。インクジェットヘッドには、ノズル面に開口し、インクを吐出する複数のノズル孔と、複数のノズル孔に向けてインクを供給する供給孔とが形成される。吸収体は、ノズル面に付着したインクを吸収する。移動機構部は、吸収体とノズル面とを対向させた状態で、吸収体およびインクジェットヘッドを相対移動させる。ノズル面を正面から見た場合に、ノズル面には、複数のノズル孔が開口する第１領域と、第１領域に隣り合って配置され、インクジェットヘッドの内部に形成された供給孔が投影される第２領域とが規定される。移動機構部は、第１領域および第２領域が並ぶ方向に沿って吸収体およびインクジェットヘッドを相対移動させる。

このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、吸収体は、ノズル面に付着するインク量が多い第１領域と、ノズル面に付着するインク量が少ない第２領域とを順に拭き取るように、インクジェットヘッドに対して相対移動される。これにより、第１領域に付着したインクが吸収体によって吸収されるとともに、吸収体に吸収されたインクが第２領域に移る。これにより、第２領域が極度に乾燥し、ノズル面にインクの固形物が生じることを防止できる。結果、本発明によれば、インクジェット塗布装置からのインクの吐出を安定化させることができる。

また好ましくは、複数のインクジェットヘッドが、第１領域および第２領域が一方向に並ぶように設けられる。このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、複数のインクジェットヘッドの第１領域および第２領域が順に吸収体によって拭き取られる。このため、各インクジェットヘッドの第２領域が極度に乾燥し、ノズル面にインクの固形物が生じることを防止できる。

また好ましくは、各インクジェットヘッドの第１領域が、第１領域および第２領域が並ぶ方向に沿って千鳥状に配置されるように、複数のインクジェットヘッドが複数列に渡って設けられる。このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、各列の複数のインクジェットヘッドの第１領域および第２領域が順に吸収体によって拭き取られる。このため、各インクジェットヘッドの第２領域が極度に乾燥し、ノズル面にインクの固形物が生じることを防止できる。

また好ましくは、吸収体は、インクを吸収可能な帯状部材が多層に巻き回されて形成される。このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、帯状部材を多層に巻き回す構造によって、吸収体の吸液性を高めることができる。

また好ましくは、帯状部材は、編み物からなる。このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、インクが編み物の編み目に浸入するため、ノズル面に付着したインクを吸収体に吸収することができる。

また好ましくは、複数のノズル孔を通じてポリイミドの溶液が基板に向けて吐出される。吸収体によって、ノズル面に付着したポリイミドの溶液が拭き取られる。このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、ポリイミドの溶液を安定して基板に向けて吐出することができる。

また好ましくは、第１領域および第２領域は、吸収体およびインクジェットヘッドの相対移動に伴って、吸収体による第１領域の拭き取りに連続して第２領域の拭き取りが実施されるように配置されている。このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、第１領域からインクを吸収した吸収体によって第２領域が拭き取られるため、第２領域が極度に乾燥することを防止できる。

以上に説明したように、この発明に従えば、インクの吐出が安定化されるインクジェット塗布装置を提供することができる。

この発明の実施の形態におけるインクジェット塗布装置を示す斜視図である。 図１中の矢印ＩＩに示す方向から見たインクジェットヘッドを示す底面図である。 図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線上に沿ったインクジェットヘッドを示す断面図である。 図３中のＩＶ−ＩＶ線上に沿ったインクジェットヘッドを示す断面図である。 図１中のクリーニングローラを示す斜視図である。 クリーニングローラによるノズル面の拭き取り工程を示す底面図である。 クリーニングローラによる拭き取り前のノズル面の様子を示す断面図である。 比較のためのインクジェット塗布装置において、クリーニングローラの搬送方向を示す底面図である。 図８中の比較のためのインクジェット塗布装置において、ノズル面の拭き取り工程を示す断面図である。 図９中の拭き取り工程が実施された後のノズル面の様子を示す断面図である。 図６中の拭き取り工程が実施された後のノズル面の様子を示す断面図である。 図２中に示すインクジェット塗布装置の変形例を示す底面図である。

この発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、以下で参照する図面では、同一またはそれに相当する部材には、同じ番号が付されている。

図１は、この発明の実施の形態におけるインクジェット塗布装置を示す斜視図である。図１を参照して、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０は、液晶ディスプレイの製造工程において、液晶基板１６の表面に配向膜を形成する工程に用いられる。

まず、インクジェット塗布装置１０の基本的な構造について説明すると、インクジェット塗布装置１０は、載置台１２と、搬送アーム１４と、インクジェットヘッド２１とを有する。

載置台１２には、インクを吐出する対象物である液晶基板１６が載置される。液晶基板１６は、配向膜が形成される主表面１６ａを有する。液晶基板１６は、主表面１６ａが水平方向に延在するように載置台１２に載置される。液晶基板１６は、主表面１６ａを正面から見た場合に矩形形状を有する。液晶基板１６は、一例として、２１６０×２４６０ｍｍ、もしくは２８５０×３０５０ｍｍのサイズを有する大型基板である。

本実施の形態では、液晶基板１６に配向膜を形成するため、主表面１６ａにポリイミドの溶液が塗布される。なお、液晶基板１６の主表面１６ａに塗布される材料は、ポリイミドに限られず、配向膜の原料となりうる材料が適宜選択される。

インクジェットヘッド２１は、液晶基板１６に向けてインクを吐出する機能を有する。インクジェットヘッド２１は、載置台１２の上方に設けられている。インクジェットヘッド２１は、ノズル面２２を有する。ノズル面２２は、水平方向に延在する。

搬送アーム１４は、載置台１２に載置された液晶基板１６と、インクジェットヘッド２１とを相対移動させるための基板用の移動機構部として設けられている。より具体的には、搬送アーム１４は、載置台１２に接続されおり、載置台１２を矢印１０１に示す水平方向に搬送することが可能なように設けられている。搬送アーム１４の駆動に伴って、載置台１２に載置された液晶基板１６がインクジェットヘッド２１の下を通過する。この間、ノズル面２２から液晶基板１６に向けてポリイミドの溶液が吐出されることにより、主表面１６ａにポリイミド膜が塗布される。

図２は、図１中の矢印ＩＩに示す方向から見たインクジェットヘッドを示す底面図である。図３は、図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線上に沿ったインクジェットヘッドを示す断面図である。

図２および図３を参照して、本実施の形態では、複数のインクジェットヘッド２１ｐが組み合わさって、インクジェットヘッド２１が構成されている。複数のインクジェットヘッド２１ｐは、液晶基板１６の搬送方向（図２中の矢印１０１に示す方向）に直交する方向（図２中の矢印１０２に示す方向）に並んでいる。複数のインクジェットヘッド２１ｐは、各インクジェットヘッド２１ｐのノズル面２２が同一平面上に延在するように組み合わされている。液晶基板１６の搬送方向に直交する方向におけるインクジェットヘッド２１の全長は、同方向における液晶基板１６の幅よりも大きくなるように設定されている。インクジェットヘッド２１ｐは、互いに同一構造を有する。

なお、組み合わされるインクジェットヘッド２１ｐの数は、液晶基板１６の大きさを考慮して適宜決定される。

インクジェットヘッド２１ｐは、ブロック部材としてのヘッド本体３１およびノズル板３２と、可撓板３８と、ピエゾ（圧電）素子３６と、駆動部３４とを有する。

ヘッド本体３１には、その上面から下面に貫通する開口部３５が形成されている。開口部３５の内側には、駆動部３４および複数のピエゾ素子３６が配置されている。ヘッド本体３１の下面には、開口部３５を塞ぐように可撓板３８が設けられている。ノズル板３２は、可撓板３８を覆うようにヘッド本体３１の下面に取り付けられている。ノズル板３２は、ノズル面２２を有する。ノズル面２２は、液晶基板１６の搬送方向に短辺を有し、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に長辺を有する、矩形形状を有する。

インクジェットヘッド２１ｐには、複数のノズル孔２４が形成されている。ノズル孔２４は、液晶基板１６に向けてインクを吐出するための孔である。ノズル孔２４は、ノズル板３２に形成されている。ノズル孔２４は、ノズル面２２に開口するように形成されている。複数のノズル孔２４は、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に互いに間隔を隔てて並んでいる。

本実施の形態では、複数のノズル孔２４が、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に沿って千鳥状に並んでいる。液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に配列されるノズル孔２４の数は、液晶基板１６の搬送方向に配列されるノズル孔２４の数よりも多い。

インクジェットヘッド２１ｐには、複数のインク室２６がさらに形成されている。複数のインク室２６は、ノズル板３２に形成されている。複数のインク室２６は、それぞれ、複数のノズル孔２４に対応して形成されている。各ノズル孔２４は、インク室２６に連通している。インク室２６は、ノズル孔２４に対してノズル面２２の反対側に形成されている。インク室２６は、ノズル孔２４が連通する位置とは反対側で開口するように形成されている。ノズル板３２がヘッド本体３１に取り付けられた状態で、インク室２６の上記開口が可撓板３８によって閉塞されている。インク室２６には、後述するインク供給機構によって、インクが常時貯留される。

可撓板３８には、複数のピエゾ素子３６が固着されている。複数のピエゾ素子３６は、それぞれ、可撓板３８を隔てて複数のインク室２６と向かい合う位置に設けられている。開口部３５の内部において、ピエゾ素子３６は駆動部３４に電気的に接続されている。駆動部３４からピエゾ素子３６に駆動電力が供給されると、可撓板３８がインク室２６内に向けて撓む。この可撓板３８の変形に伴ってインク室２６内の容積が減少するため、インク室２６に貯留されたインクがノズル孔２４を通じて吐出される。

図４は、図３中のＩＶ−ＩＶ線上に沿ったインクジェットヘッドを示す断面図である。図２から図４を参照して、インク室２６にインクを供給するためのインク供給機構について説明する。インクジェットヘッド２１ｐには、インク供給管２９およびインク供給室２８と、枝管２７とがさらに形成されている。インク供給管２９およびインク供給室２８は、インクジェットヘッド２１に導入されたインクをノズル孔２４に向けて供給するための供給孔として設けられている。インク供給管２９およびインク供給室２８は、インクジェットヘッド２１の内部において、ノズル孔２４に向かうインクが通る通路を形成する供給孔として設けられている。

インク供給室２８は、ノズル板３２に形成されている。インク供給室２８は、図３および図４中に示す断面において、複数のノズル孔２４の両側の位置にそれぞれ形成されている。枝管２７は、ノズル板３２に形成されている。枝管２７は、インク供給室２８と、複数のインク室２６との間をそれぞれ連通させるように形成されている。図４中に示す断面において、枝管２７は、液晶基板１６の搬送方向に距離を隔てたインク室２６間を通って、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に沿って直線状に延び、２つのインク供給室２８間を連通させている。さらに枝管２７は、その直線状に延びる部分から各インク室２６に向けて枝分かれして延びている。

インク供給管２９は、ヘッド本体３１に形成されている。インク供給管２９は、インク供給室２８に連通して形成されている。インク供給管２９は、ノズル面２２を正面から見た場合に、インク供給室２８に重なる位置に形成されている。インク供給管２９には、外部からインクジェットヘッド２１ｐにインクを供給する配管が接続されている。

インク供給管２９およびインク供給室２８は、ノズル面２２に開口することなく、インクジェットヘッド２１ｐの内部に形成されている。

このような構成により、インク供給室２８には、インク供給管２９を通じてインクが供給される。一方、ノズル孔２４を通じてインクが吐出されるのに伴って、インク室２６の内部は負圧となる。このため、インク供給室２８に供給されたインクが、枝管２７を通って随時、インク室２６に補給される。

図２および図３を参照して、各インクジェットヘッド２１ｐのノズル面２２には、ノズル孔２４が開口するノズル孔領域４１と、インク供給管２９およびインク供給室２８が形成され、閉塞された表面が延在する閉塞領域４２（４２ｍ，４２ｎ）とが規定されている。ノズル面２２を正面から見た場合に、インク供給管２９およびインク供給室２８は閉塞領域４２に投影される。閉塞領域４２ｍと、ノズル孔領域４１と、閉塞領域４２ｎとは、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に並んでいる。すなわち、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向において、ノズル孔領域４１は、ノズル面２２の中央に配置され、閉塞領域４２は、ノズル面２２の両端に配置されている。

このような構成により、複数のインクジェットヘッド２１ｐは、ノズル孔領域４１および閉塞領域４２が液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に一列に並ぶように設けられている。複数のインクジェットヘッド２１ｐの配列方向において、ノズル孔領域４１と、閉塞領域４２（４２ｍ，４２ｎ）とが交互に並ぶ。

図１を参照して、インクジェット塗布装置１０は、ノズル面２２に付着したインクを拭き取るためのクリーニング装置５０を有する。続いて、クリーニング装置５０の構造について説明する。

クリーニング装置５０は、クリーニングローラ５１と、ベース部材５４と、搬送アーム５６とを有する。

クリーニングローラ５１は、ベース部材５４に対して着脱可能に設けられている。搬送アーム５６は、クリーニングローラ５１とインクジェットヘッド２１とを相対移動させるための移動機構部として設けられている。搬送アーム５６は、ベース部材５４に接続されており、ベース部材５４に装着されたクリーニングローラ５１を矢印１０２に示す水平方向に搬送することが可能なように設けられている。搬送アーム５６は、クリーニングローラ５１を、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向に搬送することが可能なように設けられている。

なお、クリーニングローラ５１を搬送する手段は、搬送アーム５６の形態に限られず、たとえば、レールやコンベアを利用した形態であってもよい。

図５は、図１中のクリーニングローラを示す斜視図である。図５を参照して、クリーニングローラ５１は、円柱状の外観を有する。クリーニングローラ５１は、芯筒６３と、吸収体としての帯状編み物６４とを有する。

芯筒６３は、仮想線である中心軸１１０の軸線に沿って延在する筒形状を有する。帯状編み物６４は、一方向に長辺を有し、その一方向に直交する方向に短辺を有する帯形状を有する。帯状編み物６４は、芯筒６３に対して多層に巻き回されている。帯状編み物６４は、中心軸１１０を中心に巻き回されている。帯状編み物６４は、中心軸１１０の軸方向において一定の直径を有する。

図６は、クリーニングローラによるノズル面の拭き取り工程を示す底面図である。図６を参照して、クリーニングローラ５１は、その搬送方向に直交する方向に中心軸１１０が延びるように位置決めされる。クリーニングローラ５１（帯状編み物６４）は、中心軸１１０の軸方向において、ノズル面２２よりも若干大きい寸法に設定されている。

搬送アーム５６による搬送時、クリーニングローラ５１は、ノズル面２２の表面に対して平行移動しながら、複数のインクジェットヘッド２１ｐの下方を順に通過する。この間、帯状編み物６４の外周面が各インクジェットヘッド２１ｐのノズル面２２に接触することにより、ノズル面２２に付着したインクが拭き取られる。

なお、本実施の形態では、ノズル面２２の拭き取り時、クリーニングローラ５１を移動させることによって帯状編み物６４とインクジェットヘッド２１とを相対移動させたが、本発明はこれに限られず、たとえば、静止するクリーニングローラ５１に対してインクジェットヘッド２１を移動させてもよい。

また、クリーニングローラ５１は、編み物に替わって、たとえば、織り物や不織布などを用いて構成されてもよい。また、帯状部材を多層に巻き回す構造に限られず、たとえば、連続気泡構造を有するスポンジを用いてノズル面２２の拭き取りを行なってもよい。

次に、図１中のインクジェット塗布装置１０によって奏される作用、効果について説明する。

図７は、クリーニングローラによる拭き取り前のノズル面の様子を示す断面図である。図７を参照して、ノズル孔２４からインクが吐出されるのに伴って、ノズル面２２にインクが付着する。この際、ノズル孔２４に近いノズル孔領域４１では、付着するインク量が多くなり、ノズル孔２４から遠い閉塞領域４２では、付着するインク量が少なくなる。ノズル面２２に厚膜のインク膜が形成されたままインクの吐出工程が実行されると、可撓板３８（図３を参照のこと）の変形に伴う駆動力がノズル面２２の表層のインクにまで十分に伝わらず、インク滴が適切に吐出されないという問題が生じる。このため、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０においては、クリーニング装置５０を用いてノズル面２２の拭き取り工程を実施する。

図８は、比較のためのインクジェット塗布装置において、クリーニングローラの搬送方向を示す底面図である。図９は、図８中の比較のためのインクジェット塗布装置において、ノズル面の拭き取り工程を示す断面図である。図１０は、図９中の拭き取り工程が実施された後のノズル面の様子を示す断面図である。

図８から図１０を参照して、図中に示す比較のためのインクジェット塗布装置においては、クリーニングローラ５１を、液晶基板１６の搬送方向に平行な方向（図１および図２中の矢印１０１に示す方向）に搬送させる場合が想定されている。

この場合、図９中に示すように、ノズル孔領域４１および閉塞領域４２にかかわらず、ノズル面２２に付着したインクが均一に帯状編み物６４に吸収される。このため、付着するインク量が相対的に少ない閉塞領域４２では、インクが乾いた状態となり、時間の経過とともに、インクの残渣が固形化する。その結果、図１０中に示すように、ノズル面２２に固形物７３が生じる。このような固形物７３が生じた状態で、クリーニングローラ５１による拭き取り工程を続行すると、固形物７３に起因して、帯状編み物６４の外周面とノズル面２２との間に微小な隙間が生じ、ノズル面２２の拭き取り性が低下するおそれが生じる。また、帯状編み物６４の外周面と固形物７３とが擦れることによって、帯状編み物６４の発塵性が低下するおそれが生じる。

図１１は、図６中の拭き取り工程が実施された後のノズル面の様子を示す断面図である。図６および図１１を参照して、これに対して、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０においては、クリーニングローラ５１を、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向（矢印１０２に示す方向）に移動させる。このため、帯状編み物６４は、一方向に配列された複数のインクジェットヘッド２１ｐのノズル孔領域４１および閉塞領域４２を交互に拭き取ることになる。特に最初の閉塞領域４２を除いては、帯状編み物６４によるノズル孔領域４１の拭き取りに連続して閉塞領域４２の拭き取りが実施されることになる。

この場合、ノズル面２２の拭き取り時に、ノズル孔領域４１に付着したインクが帯状編み物６４に移行することにより、帯状編み物６４は湿った状態となる。閉塞領域４２は、その湿った状態の帯状編み物６４によって拭き取られるため、閉塞領域４２が極度に乾燥することを防止できる。結果、ノズル面２２にインクの固形物が生じることを防止できる。

以上に説明した、この発明の実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０の構造についてまとめて説明すると、本実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０は、ノズル面２２を有するインクジェットヘッド２１と、ノズル面２２を拭き取るための吸収体としての帯状編み物６４と、移動機構部としての搬送アーム５６とを備える。インクジェットヘッド２１には、ノズル面２２に開口し、インクを吐出する複数のノズル孔２４と、複数のノズル孔２４に向けてインクを供給する供給孔としてのインク供給管２９およびインク供給室２８とが形成される。帯状編み物６４は、ノズル面２２に付着したインクを吸収する。搬送アーム５６は、帯状編み物６４とノズル面２２とを対向させた状態で、帯状編み物６４およびインクジェットヘッド２１を相対移動させる。

ノズル面２２を正面から見た場合に、ノズル面２２には、複数のノズル孔２４が開口する第１領域としてのノズル孔領域４１と、ノズル孔領域４１に隣り合って配置され、インクジェットヘッド２１の内部に形成されたインク供給管２９およびインク供給室２８が投影される第２領域としての閉塞領域４２とが規定される。搬送アーム５６は、ノズル孔領域４１および閉塞領域４２が並ぶ方向に沿って帯状編み物６４およびインクジェットヘッド２１を相対移動させる。

このように構成された、この発明の実施の形態におけるインクジェット塗布装置１０によれば、クリーニングローラ５１をノズル孔領域４１および閉塞領域４２が並ぶ方向に移動させることにより、ノズル面２２が局所的に乾燥することを防ぐ。これにより、ノズル面２２にインクの固形物が生じることを防止し、ノズル孔２４から安定してインクが吐出されるインクジェット塗布装置１０を実現することができる。

なお、本実施の形態では、インクジェット塗布装置１０が、液晶ディスプレイ用の基板表面に配向膜を形成する工程に用いられる場合を説明したが、本発明は、これに限られず、たとえば、基板表面にレジストを形成する工程に利用されてもよい。

図１２は、図２中に示すインクジェット塗布装置の変形例を示す底面図である。図１２を参照して、本変形例では、複数のインクジェットヘッド２１ｐが、液晶基板１６の搬送方向（矢印１０１に示す方向）において複数列に並んで設けられている。各インクジェットヘッド２１ｐのノズル孔領域４１は、液晶基板１６の搬送方向に直交する方向（矢印１０２に示す方向）、すなわち、クリーニングローラ５１の移動方向に沿って千鳥状に並んで設けられている。複数のインクジェットヘッド２１ｐは、液晶基板１６の搬送方向においてノズル孔領域４１の範囲が部分的に重なり合うように配置されている。

このような構成によれば、複数のインクジェットヘッド２１ｐの各列において、ノズル孔領域４１および閉塞領域４２がクリーニングローラ５１によって交互に拭き取られるため、閉塞領域４２が極度に乾燥することを防止できる。

なお、千鳥状に配置されたノズル面２２を拭き取るクリーニングローラ５１は、複数のインクジェットヘッド２１ｐの各列に対応して設けられてもよいし、全列を一括して拭き取るように１つだけ設けられてもよい。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

この発明は、主に、液晶ディスプレイの配向膜や、レジストなどの機能膜を基板上に形成する装置として利用される。

１０ インクジェット塗布装置、１２ 載置台、１４ 搬送アーム、１６ 液晶基板、１６ａ 主表面、２１，２１ｐ インクジェットヘッド、２２ ノズル面、２４ ノズル孔、２６ インク室、２７ 枝管、２８ インク供給室、２９ インク供給管、３１ ヘッド本体、３２ ノズル板、３４ 駆動部、３５ 開口部、３６ ピエゾ素子、３８ 可撓板、４１ ノズル孔領域、４２，４２ｍ，４２ｎ 閉塞領域、５０ クリーニング装置、５１ クリーニングローラ、５４ ベース部材、５６ 搬送アーム、６３ 芯筒、６４ 帯状編み物、７３ 固形物。

この発明に従ったインクジェット塗布装置は、ノズル面を有するインクジェットヘッドと、ノズル面を拭き取るための吸収体と、移動機構部とを備える。インクジェットヘッドには、ノズル面に開口し、インクを吐出する複数のノズル孔と、複数のノズル孔に向けてインクを供給する供給孔とが形成される。吸収体は、ノズル面に付着したインクを吸収する。移動機構部は、吸収体とノズル面とを対向させた状態で、吸収体およびインクジェットヘッドを相対移動させる。ノズル面を正面から見た場合に、ノズル面には、複数のノズル孔が開口する第１領域と、第１領域に隣り合って配置され、インクジェットヘッドの内部に形成された供給孔が投影される第２領域とが規定される。移動機構部は、第１領域および第２領域が並ぶ方向に沿って吸収体およびインクジェットヘッドを相対移動させる。複数のインクジェットヘッドが、各インクジェットヘッドのノズル面が同一平面上に延在し、第１領域および第２領域が一方向に並ぶように設けられる。吸収体およびインクジェットヘッドの相対移動に伴って、吸収体は、複数のインクジェットヘッドのうち一方の端に配置されたインクジェットヘッドと、他方の端に配置されたインクジェットヘッドとの間で、吸収体による第１領域の拭き取りと第２領域の拭き取りとを交互に、かつ連続して実施する。

このように構成されたインクジェット塗布装置によれば、吸収体は、ノズル面に付着するインク量が多い第１領域と、ノズル面に付着するインク量が少ない第２領域とを順に拭き取るように、インクジェットヘッドに対して相対移動される。これにより、第１領域に付着したインクが吸収体によって吸収されるとともに、吸収体に吸収されたインクが第２領域に移る。これにより、第２領域が極度に乾燥し、ノズル面にインクの固形物が生じることを防止できる。結果、本発明によれば、インクジェット塗布装置からのインクの吐出を安定化させることができる。
また、複数のインクジェットヘッドの第１領域および第２領域が順に吸収体によって拭き取られる。このため、各インクジェットヘッドの第２領域が極度に乾燥し、ノズル面にインクの固形物が生じることを防止できる。
また、第１領域からインクを吸収した吸収体によって第２領域が拭き取られるため、第２領域が極度に乾燥することを防止できる。

Claims (7)

1. ノズル面（２２）を有し、前記ノズル面（２２）に開口し、インクを吐出する複数のノズル孔（２４）と、前記複数のノズル孔（２４）に向けてインクを供給する供給孔（２９，２８）とが形成されるインクジェットヘッド（２１）と、
   前記ノズル面（２２）に付着したインクを吸収し、前記ノズル面（２２）を拭き取るための吸収体（６４）と、
   前記吸収体（６４）と前記ノズル面（２２）とを対向させた状態で、前記吸収体（６４）および前記インクジェットヘッド（２１）を相対移動させる移動機構部（５６）とを備え、
   前記ノズル面（２２）を正面から見た場合に、前記ノズル面（２２）には、前記複数のノズル孔（２４）が開口する第１領域（４１）と、前記第１領域（４１）に隣り合って配置され、前記インクジェットヘッド（２１）の内部に形成された前記供給孔（２９，２８）が投影される第２領域（４２）とが規定され、
   前記移動機構部（５６）は、前記第１領域（４１）および前記第２領域（４２）が並ぶ方向に沿って前記吸収体（６４）および前記インクジェットヘッド（２１）を相対移動させる、インクジェット塗布装置。
2. 複数の前記インクジェットヘッド（２１）が、前記第１領域（４１）および前記第２領域（４２）が一方向に並ぶように設けられる、請求項１に記載のインクジェット塗布装置。
3. 各前記インクジェットヘッド（２１）の前記第１領域（４１）が、前記第１領域（４１）および前記第２領域（４２）が並ぶ方向に沿って千鳥状に配置されるように、前記複数のインクジェットヘッド（２１）が複数列に渡って設けられる、請求項２に記載のインクジェット塗布装置。
4. 前記吸収体（６４）は、インクを吸収可能な帯状部材が多層に巻き回されて形成される、請求項１から３のいずれか１項に記載のインクジェット塗布装置。
5. 前記帯状部材は、編み物からなる、請求項４に記載のインクジェット塗布装置。
6. 前記複数のノズル孔（２４）を通じてポリイミドの溶液が基板に向けて吐出され、
   前記吸収体（６４）によって、前記ノズル面（２２）に付着したポリイミドの溶液が拭き取られる、請求項１から５のいずれか１項に記載のインクジェット塗布装置。
7. 前記第１領域（４１）および前記第２領域（４２）は、前記吸収体（６４）および前記インクジェットヘッド（２１）の相対移動に伴って、前記吸収体（６４）による前記第１領域（４１）の拭き取りに連続して前記第２領域（４２）の拭き取りが実施されるように配置されている、請求項１から６のいずれか１項に記載のインクジェット塗布装置。

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