JP4946707B2 - 基板洗浄装置 - Google Patents

Description

本発明は、液晶ディスプレイ用やプラズマディスプレイ用のガラス基板などの各種基板の被洗浄表面を洗浄する基板洗浄装置に関するものである。

従来、上記ガラス基板の製造工程においては、図１３に示すように、ガラス基板４１の側縁部に形成された電極４２に各種部品４４を実装する工程がある。その実装工程では、工程（ａ）で、供給されたガラス基板４１における電極４２が配置されている側縁部に付着している異物を除去する洗浄工程を行い、次に工程（ｂ）で、電極４２が配置されている側縁部に異方性導電膜（ＡＣＦ）４３を貼り付けるＡＣＦ貼付工程を行い、次に工程（ｃ）で、電極配置位置に部品４４を供給して仮圧着した後、部品の本硬化接合の為に仮圧着より高い熱と圧力を加えて本圧着する工程が行われる。

上記基板の側縁部の表面付着物を洗浄する基板洗浄装置として、押圧子の基板表面に対する対向面にテープ状の洗浄クロスを供給するとともに、押圧子における前記対向面より洗浄クロスの送り方向上手側で吐出ヘッドから洗浄クロスに向けて洗浄剤を吐出し、押圧子にて洗浄剤を含んだ洗浄クロスを基板の側縁部に押し付けた状態で押圧子と基板を相対移動させて基板の側縁部表面を洗浄するようにしたものが知られている（特許文献１参照）。

この種の従来例の基板洗浄装置の構成を、図１４、図１５を参照して説明する。基板洗浄装置は、基板５１を洗浄動作に伴って移動させる移動手段５２と、基板５１の洗浄を行う洗浄機構部５３とを備えている。移動手段５２にて基板５１の中央部を支持し、基板５１の側縁部の被洗浄表面の一端を洗浄機構部５３における洗浄部５４に位置決めするとともに、洗浄動作に伴って洗浄部５４が側縁部に沿って被洗浄表面の他端まで相対移動するように基板５１を移動させるように構成されている。洗浄機構部５３の洗浄部５４は、基板５１の端縁部の上下に対向するように配置された一対の押圧子５５ａ、５５ｂを備え、両押圧子５５ａ、５５ｂをチャック機構（図示せず）にて開閉駆動し、押圧子５５ａ、５５ｂにて基板１の側縁部の上下両面の被洗浄表面に洗浄クロス５６を押し付けるように構成されている。

洗浄クロス５６は、各押圧子５５ａ、５５ｂに対応して設けられた、供給リール５７ａ、５７ｂから適宜ガイドローラ５８を介して洗浄動作毎にピッチ送りされて供給され、押圧子５５ａ、５５ｂにおける基板５１の被洗浄表面に対向する対向面６０の上手側に設けられた傾斜ガイド部５９を通過して対向面６０に導かれ、対向面６０にて基板５１の被洗浄表面に圧接されて洗浄を行い、その後適宜ガイドローラ５８を介して回収リール６１ａ、６１ｂに巻き取られるように構成されている。そして、押圧子５５ａ、５５ｂの傾斜ガイド部５９に設けられた吐出口６２からピッチ送りされる前の洗浄クロス５６に向けて洗浄剤が吐出される。６３は、洗浄クロス５６に所要量の洗浄剤が適正に吐出されたことを色変化で検出して確認する検出センサである。
特許第３５０３５１２号明細書

ところで、上記構成の基板洗浄装置においては、図１６（ａ）に示すように、押圧子５５ａ、５５ｂの対向面６０にて洗浄剤を含んだ洗浄クロス５６を基板５１の被洗浄表面に押し付けた状態で、基板５１と押圧子５５ａ、５５ｂを相対移動させることで、洗浄クロス５６にて基板５１の被洗浄表面を洗浄しているが、洗浄作業の短時間化を図るために、基板５１と押圧子５５ａ、５５ｂの相対移動速度を速くすると、図１６（ｂ）に示すように、押圧子５５ａ、５５ｂの対向面６０に沿って洗浄クロス５６が滑って横ずれし、その後の洗浄を適正に行うことができなくなるという問題が発生した。

なお、洗浄クロス５６を押圧子５５ａ、５５ｂに強く接触させてその摩擦力で洗浄クロス５６の横ずれを防止することも考えられる。しかし、そのためには洗浄クロス５６に大きな張力を作用させる必要があり、そうすると洗浄クロス５６の張力によって押圧子５５ａ、５５ｂを基板５１の被洗浄表面から離間させる力が作用し、押圧子５５ａ、５５ｂを簡単な構成で基板５１の被洗浄表面に適切な力で押し付けることが困難になるという問題が発生する。

本発明は、上記従来の問題に鑑み、基板の被洗浄表面を洗浄速度を上げても安定して洗浄することができる基板洗浄装置を提供することを目的とする。

本発明の基板洗浄装置は、基板の被洗浄表面に押圧される押圧子と、押圧子の被洗浄表面に対する対向面にテープ状の洗浄クロスを間欠的に送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロスに洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板の被洗浄表面の長手方向に相対移動させる移動手段とを備え、押圧子の対向面に、押圧子の相対移動方向と直交する方向に延びる１つ又は複数の突部を形成したものである。

この構成によれば、押圧子の被洗浄表面に対する対向面に押圧子の相対移動方向と直交する突部が形成されているため、押圧子の基板に対する相対移動時に洗浄クロスが突部にて係止され、洗浄クロスに大きな張力を作用させなくても、洗浄クロスが相対移動方向に位置ずれするのを確実に防止することができ、洗浄クロスの張力及び押圧子の押し付け力を増大させることなく洗浄速度を上げても基板の被洗浄表面を安定して洗浄することができる。また、押圧子の対向面に比して面積の小さい突部の頂面にて洗浄クロスを基板の被洗浄表面に接触させるため、押圧子の押し付け力が小さくても洗浄に必要な接触圧を確保することができる。また、洗浄クロスの突部の側部近傍に洗浄剤が多く含浸した部分が発生することで、押圧子の相対移動時に突部と被洗浄表面の間に向けて洗浄剤が円滑に供給され、そのため洗浄作用がより効果的に発揮される。また、突部を複数設けると、洗浄クロスが接触して洗浄を行う箇所が複数に増加するため一層洗浄性能が向上し、特に基板が大型で被洗浄表面の長さが長く、洗浄すべき面積が大きいために洗浄クロスとして幅寸法の大きいものを適用する場合に特に効果的である。

また、一対の押圧子が、基板の被洗浄表面を有する側縁部を両面から挟むように配設され、移動手段は一対の押圧子を基板の前記側縁部に沿って相対移動させる構成であると、基板の側縁部の表裏両面の被洗浄表面を同時に洗浄できるとともに、基板の側縁部を裏面から支持する必要がないので、基板の支持構成を簡単にできて装置構成をコンパクトにできる。

また、洗浄クロス送給手段は、押圧子の相対移動方向と直交しかつ対向面と交差するように傾斜させて押圧子に形成されたガイド部を通して対向面に洗浄クロスを送給し、対向面における送給された洗浄クロスの幅方向中央部に対向する位置に１つ又は複数の突部を配置すると、洗浄機構を、基板上方でなく、基板の相対移動方向と直交する一側部に配置できるので、装置構成をコンパクトにでき、しかもその場合洗浄クロスの幅方向に押圧子が相対移動することになるが、洗浄クロスが突部にて係止され、洗浄クロスに大きな張力を作用させなくても、洗浄クロスが横ずれしてしまうのを確実に防止することができ、洗浄クロスの張力及び押圧子の押し付け力を増大させることなく洗浄速度を上げても基板の被洗浄表面を安定して洗浄することができる。

また、ガイド部の先端縁と連続する突部の先端面を、対向面に対して略垂直な面で構成すると、洗浄クロスの送給時に洗浄クロスがガイド部から突部の先端面を介して突部の頂面及び対向面に向けて鈍角な角部で折れ曲がって摺動するので、ガイド部から直接突部の頂面及び対向面に向けて鋭角に折れ曲がる場合に比して円滑に送給することができる。

また、突部は、その高さを洗浄クロスの厚さの３〜５倍とするのが好適である。３倍未満であると、洗浄クロスの位置ずれや横ずれを確実に防止できない恐れがあり、逆に５倍を超えて高すぎると、洗浄クロスの送給時に突部の一側に偏って送給されてしまったり、突部の手前で皺が発生して洗浄剤が均等に含浸しなかったりする恐れがある。

また、突部の両側に間隔をあけて洗浄クロスの両側縁の位置規制を行う、突部とほぼ同じ高さの規制突部を設けると、洗浄クロスの送給時に洗浄クロスが突部の存在によって偏りを生じるのを確実に防止することができる。

また、突部の頂面に、突部延出方向に延びる１つ又は複数の溝を設けると、洗浄クロスが接触して洗浄を行う箇所が複数に増加するとともに溝部で洗浄剤の保持性能が高くなるため、洗浄性能が向上する。特に、基板が大型で、洗浄表面の長さが長いために、洗浄クロスとして幅寸法の大きいものを適用する場合に特に効果的である。また、突部の頂面に、凹凸を設けても同様の効果が得られる。

また、規制突部の先端に、基板の被洗浄表面の一側縁に形成されている段差部の高さの複数倍の寸法の面取部を設けるのが好適である。基板の被洗浄表面の一側縁に形成されている段差部近傍まで洗浄するため、押圧子の突部の先端面を段差部に近接させて相対移動させると、押圧子の取付角度の微小な誤差によっても押圧子の両側部が、段差部に干渉する恐れがある。これに対して、押圧子の両側部に位置する規制突部に面取部を形成することで、段差部の逃がし空間が形成されて、押圧子と段差部の干渉を確実に防止することができる。
また、基板の被洗浄表面に押圧される押圧子と、押圧子の被洗浄表面に対する対向面にテープ状の洗浄クロスを間欠的に送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロスに洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板の被洗浄表面の長手方向に相対移動させる移動手段とを備え、押圧子の対向面に、押圧子の相対移動方向と直交する方向に延びる１つ又は複数の突部を形成し、突部は、斜面の傾斜角が２０〜４０度の台形の断面形状であるのが好適である。傾斜角が上記角度範囲未満の場合、洗浄クロスの位置ずれや横ずれを確実に防止することができず、上記角度範囲を超えた場合、洗浄クロスに皺を発生させたり、偏ったりして円滑に送給することができない場合が発生する恐れがある。しかし、洗浄クロスの物性等によっては角部を円弧面や面取り形状とした略矩形の断面形状とすることも可能である。

本発明の基板洗浄装置によれば、押圧子の被洗浄表面に対する対向面に押圧子の相対移動方向と直交する突部が形成されているため、押圧子の基板に対する相対移動時に洗浄クロスが突部にて係止され、洗浄クロスに大きな張力を作用させなくても、洗浄クロスが移動方向に位置ずれするのを確実に防止することができ、洗浄クロスの張力及び押圧子の押し付け力を増大させることなく洗浄速度を上げても基板の洗浄表面を安定して洗浄することができる。

以下、本発明を、液晶表示パネルのガラス基板の側縁部の被洗浄表面を洗浄して付着した異物を除去する基板洗浄装置に適用した一実施形態について、図１〜図１２を参照して説明する。

図１〜図４において、本実施形態の基板洗浄装置は、ガラス基板などの基板１を基板洗浄装置に搬入する基板搬送手段２と、基板搬送手段２から基板１を受け取って洗浄動作に伴う移動を行う移動手段３と、基板１の側端部の表裏両面の被洗浄表面の洗浄を行う洗浄機構部４とを備え、各々基台５上に配設されている。なお、基板１の搬出は、後続工程であるＡＣＦ貼付装置（図示せず）に設けられた、基板搬送手段２と同様の基板搬送手段（図示せず）にて行われる。

基板搬送手段２は、基板１を載置して両持支持する一対の支持アーム６ａ、６ａを有する基板載置部６と、基板載置部６を基板搬送方向であるＸ方向に往復移動させる駆動機構７にて構成されている。駆動機構７は、基板載置部６を移動自在に支持する支持レール部７ａと、モータ７ｃにて駆動されて基板載置部６を移動させる送りねじ機構７ｂにて構成されている。

移動手段３は、基板１の中央部を載置支持する基板保持部８と、基板保持部８をＸ方向と、それに直行するＹ方向と、垂直なＺ方向と、Ｚ軸回りのθ方向の移動及び位置決めを行う移動テーブル９にて構成されている。この移動手段３は、基板１を基板保持部８上に保持し、基板１の側縁部の表裏両面の被洗浄表面の一端を洗浄機構部４における後述の洗浄部１０に位置決めするとともに、洗浄動作に伴って洗浄部１０が基板１の側縁部に沿って被洗浄表面の他端まで相対移動するように基板１を移動させる。その相対移動速度は、４０〜２５０ｍｍ／ｓ程度に設定され、好適には１００〜２５０ｍｍ／ｓ程度の高速に設定される。ここで洗浄動作に伴って基板１を移動させるとしたが、洗浄部１０を移動させても良く、また更に、基板１と洗浄部１０の移動の組合せでも良い。

洗浄機構部４について説明すると、洗浄部１０は、図２〜図６に示すように、基板保持部８にて保持された基板１の側縁部の上下に対向するように配置された一対の押圧子１１ａ、１１ｂを備えている。押圧子１１ａ、１１ｂとしては、耐薬品性に優れるとともに摺動性に優れたポリアセタール（ＰＯＭ）などの材料で構成するのが好適である。そして、両押圧子１１ａ、１１ｂをチャック機構（図示せず）にて開閉駆動して、これら押圧子１１ａ、１１ｂにて基板１の側縁部の上下両面の被洗浄表面にテープ状の洗浄クロス１２を押し付けるように構成されている。両押圧子１１ａ、１１ｂのチャック力は、４〜９Ｎ程度が好適である。なお、押圧子１１ａ、１１ｂ及びチャック機構（図示せず）は、基板１の高さ位置との位置ずれを吸収できるように上下方向に弾性的に支持されている。

洗浄クロス１２は、押圧子１１ａ、１１ｂにそれぞれ対応して設けられた、洗浄クロス送給手段としての供給リール１３ａ、１３ｂから適宜ガイドローラ１４を介して押圧子１１ａ、１１ｂの相対移動方向と直交する方向から押圧子１１ａ、１１ｂに供給される。供給された洗浄クロス１２は、押圧子１１ａ、１１ｂにおける基板１の被洗浄表面に対向する対向面１５の上手側に傾斜形成されたガイド部１６を通過して対向面１５に導かれる。対向面１５にて基板１の被洗浄表面に接触されて洗浄を行った後の洗浄クロス１２は、適宜ガイドローラ１４を介して回収リール１７ａ、１７ｂに巻き取られる。洗浄クロス１２に作用させる張力は、０．５〜１．８Ｎ程度である。洗浄クロス１２は、供給リール１３ａ、１３ｂと回収リール１７ａ、１７ｂにて１回の洗浄動作毎にピッチ送りされる。

押圧子１１ａ、１１ｂのガイド部１６には、エタノールやイソプロピルアルコールなどの揮発性の洗浄剤を洗浄クロス１２に向けて吐出するように、洗浄剤供給手段としての吐出口１８が開口されている。洗浄剤は、洗浄クロス１２がピッチ送りされる前に、洗浄剤供給部（図示せず）から供給配管及び押圧子１１ａ、１１ｂに設けられた流路を介して吐出口１８に所定量づつ圧送されて洗浄テープ１２に向けて吐出される。洗浄クロス１２に洗浄剤が含まれると、洗浄クロス１２の色調が変化する。押圧子１１ａ、１１ｂのガイド部１６に対向して、洗浄クロス１２の色調変化を検出する検出センサ１９が配設され、洗浄クロス１２に所要量の洗浄剤が適正に吐出されたことを確認できるように構成されている。

以上のような全体構成の基板洗浄装置において、図５、図６に詳細に示すように、押圧子１１ａ、１１ｂの対向面１５に、押圧子１１ａ、１１ｂの相対移動方向と直交する方向に延びる突部２０が形成されている。対向面１５及び突部２０の長さは、基板１の被洗浄表面の幅寸法より大きく設定されている。突部２０の高さｈは、洗浄クロス１２の厚さの３〜５倍程度が好適であり、具体例では、洗浄クロス１２の厚さが０．２〜０．３ｍｍであるため、突部２０の高さｈを１ｍｍに設定している。また、突部２０の断面形状は、斜面の傾斜角αを３０度程度の台形にするとともに、洗浄クロス１２及びガイド部１６の幅寸法ｗが１０ｍｍであるため、突部２０の頂面の幅寸法ｄを２ｍｍとし、突部２０の底部の幅寸法を略５．５ｍｍに設定している。なお、斜面の傾斜角αは２０〜４０度に設定すれば良い。また、突部２０の先端のガイド部１６の先端縁に連続する先端面２１は、対向面１５に対して略垂直な面で構成されている。

押圧子１１ａ、１１ｂの対向面１５の両側部には、突部２０の両側に間隔をあけて洗浄クロス１２の両側縁の位置規制を行う規制突部２２が設けられ、かつ規制突部２２の先端には面取部２３が設けられている。規制突部２２の高さは突部２０の高さｈと同じ高さに設定され、突部２０と規制突部２２の頂面が同一平面上に位置するように構成されている。また、面取部２３の寸法も規制突部２２の高さとほぼ同一寸法に設定されている。なお、面取部２３の寸法は、基板１の被洗浄表面の一側縁を形成している段差部１ａ（図９参照）の高さ、すなわち基板１を構成しているガラス基板の厚さの複数倍の寸法に設定すれば良い。因みに、具体例を示すと、ガラス基板の厚さは０．４ｍｍで、面取部２３の寸法を１．２ｍｍに設定している。なお、ガラス基板の厚さは薄くなる傾向にあり、５インチ以下のサイズのガラス基板では０．１５ｍｍ程度まで薄くなることが予測されている。尚、面取部２３の寸法は少なくともガラス基板の厚さより大きいことが好ましい。

次に、以上の構成の基板洗浄装置にて基板１の側縁部の上下の洗浄表面を洗浄する工程を図７を参照して説明する。まず、基板１を基板搬送手段２にて基板洗浄装置に搬入する。搬入された基板１は移動手段３の基板保持部８上に受け取られ、移動手段３にて基板１の側縁部の一端が、洗浄部１０における一対の押圧子１１ａ、１１ｂの間に位置するように位置決めされる。この搬入動作と並行して、ガイド部１６に対向位置している洗浄クロス１２に対して吐出口１８から洗浄剤を吐出し、洗浄クロス１２に所要量の洗浄剤を含ませた状態とする。なお、洗浄クロス１２に含んだ洗浄剤の滲み２４（図４参照）を検出センサ１９にて検出することで、洗浄クロス１２に洗浄剤を十分に含んでいることが確認される。その後、洗浄クロス１２を所定量送給し、押圧子１１ａ、１１ｂの対向面１５と基板１の被洗浄表面との間に洗浄剤を含んだ部分を送給する。

次に、洗浄部１０のチャック機構（図示せず）にて一対の押圧子１１ａ、１１ｂ間の隙間を閉じることで、図８、図９に示すように、押圧子１１ａ、１１ｂの対向面１５に形成された突部２０にて洗浄クロス１２が基板１の被洗浄表面に接触された状態となる。このように押圧子１１ａ、１１ｂの突部２０にて洗浄クロス１２が基板１の被洗浄表面に接触されている状態で、移動手段３を作動させて基板１を移動させ、押圧子１１ａ、１１ｂを基板１の側縁部に沿って被洗浄表面の他端に向けて相対移動させることで、基板１の被洗浄表面を洗浄する。なお、この洗浄動作は、１方向の移動のみによって、あるいは１回又は複数回の往復移動によって行われる。

その後、チャック機構（図示せず）にて一対の押圧子１１ａ、１１ｂを開き、移動手段３にて基板１を洗浄部１０から離間させ、後続工程のＡＣＦ貼付装置の基板搬送装置（図示せず）に受け渡されて搬出される。そして、基板搬送手段２にて次の基板１が搬入され、また吐出口１８から洗浄剤が吐出され、洗浄クロス１２に洗浄剤が十分に含浸されていることが確認された後、供給リール１３ａ、１３ｂと回収リール１７ａ、１７ｂにて洗浄クロス１２がピッチ送りされ、以上の洗浄工程が繰り返される。

以上の本実施形態によれば、押圧子１１ａ、１１ｂの被洗浄表面に対する対向面に、基板１と押圧子１１ａ、１１ｂの相対移動方向と直交する突部２０が形成されているため、押圧子１１ａ、１１ｂの基板１に対する相対移動時に、図８に示すように、洗浄クロス１２が突部２０にて係止された状態となっているため、洗浄クロス１２に例えば１．８Ｎを超えるような大きな張力を作用させ、それに対応して押圧子１１ａ、１１ｂのチャック力を９Ｎを超えて大きくしなくても、洗浄クロス１２が移動方向に位置ずれするのを確実に防止することができる。かくして、洗浄クロス１２の張力及び押圧子１１ａ、１１ｂの押し付け力を増大させることなく、押圧子１１ａ、１１ｂと基板１の相対移動速度を、例えば１００ｍｍ／ｓ以上の速度に上げても基板１の被洗浄表面を安定して洗浄することができ、洗浄時間の短縮化を図ることができる。

また、押圧子１１ａ、１１ｂの対向面１５に比して面積の小さい突部２０の頂面にて洗浄クロス１２を基板１の被洗浄表面に接触させるようにしているため、押圧子１１ａ、１１ｂに作用させる押し付け力が小さくても洗浄に必要な接触圧を確保することができ、よりコンパクトな構成のチャック機構（図示せず）にて効率的に洗浄することができるとともに、押し付け力が小さくて良いので、基板１の厚さが上記のように薄くなっても損傷の恐れなく確実に洗浄することができる。また、洗浄クロス１２における突部２０の側部近傍部分に洗浄剤を多く含浸した状態が発生するので、押圧子１１ａ、１１ｂと基板１の相対移動に伴って、突部２０と被洗浄表面との間に対する洗浄剤の供給が円滑に行われ、洗浄作用がより効果的に発揮される。

また、一対の押圧子１１ａ、１１ｂが、基板１の側縁部を両面から挟むように配設され、移動手段３は基板１の中央部を支持してその側縁部に沿って一対の押圧子１１ａ、１１ｂを相対移動させる構成であるため、基板１の側縁部を裏面から支持する必要がなく、基板１の支持構成も簡単で、装置構成をコンパクトにできる。また、洗浄クロス１２を、押圧子１１ａ、１１ｂの相対移動方向と直交する方向からガイド部１６を通して対向面１５に送給するように構成しているので、洗浄機構部４を、基板１上方でなく、基板１の移動方向と直交する一側部に配置できて、装置構成をコンパクトにできる。しかも、その場合洗浄クロス１２の幅方向に押圧子１１ａ、１１ｂが相対移動することになるが、対向面１５における送給された洗浄クロス１２の幅方向中央部に対向する位置に突部２０が配置されているので、洗浄クロス１２が突部２０にて係止され、上記のように洗浄クロス１２が横ずれするのを確実に防止することができる。かくして、基板１の側縁部の被洗浄表面を洗浄速度を上げても洗浄しても安定して洗浄することができる。

また、ガイド部１６の先端縁と連続する突部２０の先端面２１を、対向面１５に対して略垂直な面で構成しているので、洗浄クロス１２の送給時に洗浄クロス１２がガイド部１６から突部２０の先端面２１を介して突部２０の頂面及び対向面１５に向けて鈍角な角部で折れ曲がって摺動するので、ガイド部１６から直接突部２０の頂面及び対向面１６に向けて鋭角に折れ曲がる場合に比して円滑に送給することができる。

また、突部２０の両側に間隔をあけて洗浄クロス１２の両側縁の位置規制を行う、突部２０とほぼ同じ高さの規制突部２２を設けているので、ガイド部１６と規制突部２２にて、押圧子１１ａ、１１ｂにおける洗浄クロス１２の送給経路のほぼ全長にわたって洗浄クロス１２の両側がガイドされることで、洗浄クロス１２の送給時に、洗浄クロス１２が突部２０の存在によって偏りを生じるのを確実に防止することができる。

また、突部２０の高さｈを、洗浄クロス１２の厚さの３〜５倍、具体的には１ｍｍに設定することで、他の不具合を生じることなく上記作用を確実に得ることができる。突部２０の高さを５倍を超えて高くした場合、図１０（ａ）に示すように、洗浄クロス１２の両側縁と規制突部２２との間の隙間ｆが大きく発生し、洗浄動作時の洗浄クロス１２の横ずれ代が大きくなるとともに、特に図１０（ｂ）に示すように、洗浄クロス１２の送給時に突部２０の一側方に偏って送給される恐れがある。また、その対策として、図１０（ｃ）に示すように、ガイド部１６の幅を対向面１５に向けて漸次狭くなるように形成することも考えられるが、その場合洗浄クロス１２に突部２０の手前で皺が発生して吐出口１８から吐出された洗浄剤が洗浄クロス１２に均等に含浸させることができず、信頼性の高い洗浄ができなくなる恐れがある。一方、突部２０の高さｈが、図１０（ｄ）に示すように、洗浄クロス１２の厚さの３倍未満であると、洗浄クロス１２の横ずれを確実に防止できない恐れがあり、上記作用を確実に得ることができない。

また、突部２０の断面形状を、斜面の傾斜角が２０〜４０度の台形としているので、洗浄クロス１２の送給時に洗浄クロス１２に皺を発生させたり、偏って送給されたりすることもない。上記斜面の傾斜角が上記角度範囲未満の場合には、洗浄クロス１２の横ずれ防止効果が確実に発揮されなくなり、逆に上記角度範囲を超えた場合には、洗浄クロス１２の送給時に上記のような不具合を生じる恐れがある。しかし、洗浄クロス１２の物性によっては、突部２０の断面形状を上記のような台形ではなく、角部を円弧面や面取り形状とした略矩形にしても、上記作用効果を奏しかつ不具合を生じないようにすることが可能なこともある。

また、液晶パネル等において、表示画面を大きく確保しながらコンパクトな構成とするため、表示画面の周囲の幅寸法を小さくすることが求められており、それに伴って、図９に示すように、基板１の段差部１ａの近傍、例えば段差部１ａから０．３ｍｍ以下の位置まで被洗浄表面を洗浄することが求められることがある。その場合、押圧子１１ａ、１１ｂの突部２０の先端面２１を段差部１ａに近接させて位置させた状態で、基板１と押圧子１１ａ、１１ｂを相対移動させることになるが、その場合押圧子１１ａ、１１ｂの取付角度の微小な誤差によっても押圧子１１ａ、１１ｂの両側部が、段差部１ａに干渉する恐れがある。これに対して、本実施形態では、規制突部２２の先端に、基板１の被洗浄表面の一側縁を形成している段差部１ａの高さの複数倍の寸法の面取部２３を設けているので、この面取部２３にて段差部１ａの逃がし空間が形成されるため、押圧子１１ａ、１１ｂと段差部１ａの干渉を確実に防止することができる。

以上の説明では突部２０の頂面を全面にわたって平面にて構成した例を示したが、突部２０の頂面に突部２０の延出方向に延びる１つ又は複数の溝を設けても良い。そうすると、溝部で洗浄剤の保持性能が高くなるため、洗浄性能が向上する。特に、基板１が大型で、被洗浄表面の長さが長いために、洗浄クロス１２として幅寸法の大きいものを適用する場合に特に効果的である。また、突部２０の頂面に、凹凸を設けても同様の効果が得られる。しかし、その場合洗浄クロス１２の送給時の抵抗力が大きくならないように工夫するのが好ましい。

また、押圧子１１ａ、１１ｂの対向面１５に１つの突部２０を設けた例を示したが、図１１に示すように、突部２０を複数設けても良い。そうすると、洗浄クロス１２が接触して洗浄を行う箇所が複数に増加するため一層洗浄性能が向上し、特に基板１が大型で被洗浄表面の長さが長いために洗浄クロス１２として幅寸法の大きいものを適用する場合に特に効果的である。

また、押圧子１１ａ、１１ｂの対向面１５の両側部に規制突部２２を設けた例を示したが、図１２に示すように、規制突部２２を設けていない構成としても良い。

さらに、上記実施形態の説明では、基板１の側端部の表裏両面の被洗浄表面に対向させて一対の押圧子１１ａ、１１ｂを配設して基板１の側端部に沿って相対移動させるように構成するとともに、押圧子１１ａ、１１ｂの相対移動方向と直交する方向から対向面１５に洗浄クロス１２を送給し、対向面１５における送給された洗浄クロス１２の幅方向中央部に対向する位置に突部２０を設けた例を示したが、押圧子１１ａ、１１ｂの相対移動方向と平行する方向から、押圧子１１ａ、１１ｂの対向面１５と基板１の被洗浄表面との間に洗浄クロス１２を送給するようにしても良い。その場合、押圧子１１ａ、１１ｂの対向面１５に押圧子１１ａ、１１ｂの相対移動方向に適宜間隔をあけて複数の突部２０を配設すると、基板１が大型で被洗浄表面が長くても確実にかつ効率的に洗浄することができる。

また、上記実施形態では、一対の押圧子１１ａ、１１ｂにて洗浄テープ１２を基板１の表裏両面の被洗浄表面に接触させた状態で、移動手段３にて一対の押圧子１１ａ、１１ｂを基板１の被洗浄表面に沿って相対移動させて洗浄するように構成した例を示したが、基板１の任意箇所に存在する被洗浄表面を洗浄するため、被洗浄表面の裏面を支持した状態で、被洗浄表面に対して押圧子を押し付けて相対移動させるようにするとともに、その被洗浄表面と押圧子の対向面１５との間に洗浄クロス１２を送給するように構成した基板洗浄装置に本発明を適用し、その対向面１５に相対移動と直交する方向の突部２０を設けても同様の作用効果を奏することができる。

本発明の基板洗浄装置によれば、押圧子の被洗浄表面に対する対向面に押圧子の相対移動方向と直交する突部が形成されているため、押圧子の基板に対する相対移動時に洗浄クロスが突部にて係止され、洗浄クロスに大きな張力を作用させなくても、洗浄クロスが移動方向に位置ずれするのを確実に防止することができ、洗浄クロスの張力及び押圧子の押し付け力を増大させることなく洗浄速度を上げても基板の洗浄表面を安定して洗浄することができるので、各種基板に各種部品を実装する部品実装装置に好適に利用することができる。

本発明の基板洗浄装置の一実施形態の全体概略構成を示す斜視図。 同実施形態の要部構成を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視図。 図２（ａ）の部分拡大側面図。 同実施形態における洗浄部の構成を示す斜視図。 同実施形態における一対の押圧子の斜視図。 同実施形態における押圧子を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図。 同実施形態における基板洗浄動作のフロー図。 同実施形態における洗浄部の正面図。 同実施形態における洗浄部の縦断側面図。 同実施形態における押圧子の突部の高さによる作用説明図。 他の構成例の押圧子を適用した洗浄部の正面図。 さらに別の構成例の押圧子を適用した洗浄部の正面図。 ガラス基板に対する部品実装工程を説明する斜視図。 従来例の基板洗浄装置の要部構成を示す側面図。 同従来例の洗浄部の構成を示す斜視図。 同従来例における洗浄動作時の挙動の説明図。

符号の説明

１ 基板
１ａ 段差部
３ 移動手段
１０ 洗浄部
１１ａ、１１ｂ 押圧子
１２ 洗浄クロス
１３ａ、１３ｂ 供給リール（洗浄クロス送給手段）
１５ 対向面
１６ ガイド部
１８ 吐出口（洗浄剤供給手段）
２０ 突部
２１ 先端面
２２ 規制突部
２３ 面取部

Claims (8)

1. 基板の被洗浄表面に押圧される押圧子と、押圧子の被洗浄表面に対する対向面にテープ状の洗浄クロスを間欠的に送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロスに洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板の被洗浄表面の長手方向に相対移動させる移動手段とを備え、押圧子の対向面に、押圧子の相対移動方向と直交する方向に延びる１つ又は複数の突部を形成し、
   一対の押圧子が、基板の被洗浄表面を有する側縁部を両面から挟むように配設され、移動手段は一対の押圧子を基板の前記側縁部に沿って相対移動させるものであり、
   洗浄クロス送給手段は、押圧子の相対移動方向と直交しかつ対向面と交差するように傾斜させて押圧子に形成されたガイド部を通して対向面に洗浄クロスを送給し、対向面における送給された洗浄クロスの幅方向中央部に対向する位置に１つ又は複数の突部を配置したことを特徴とする基板洗浄装置。
2. ガイド部の先端縁と連続する突部の先端面を、対向面に対して略垂直な面で構成したことを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄装置。
3. 突部は、その高さが洗浄クロスの厚さの３〜５倍であることを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄装置。
4. 突部の両側に間隔をあけて洗浄クロスの両側縁の位置規制を行う、突部とほぼ同じ高さの規制突部を設けたことを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄装置。
5. 突部の頂面に、突部延出方向に延びる１つ又は複数の溝を設けたことを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄装置。
6. 突部の頂面に、凹凸を設けたことを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄装置。
7. 規制突部の先端に、基板の被洗浄表面の一側縁に形成されている段差部の高さの複数倍の寸法の面取部を設けたことを特徴とする請求項４に記載の基板洗浄装置。
8. 基板の被洗浄表面に押圧される押圧子と、押圧子の被洗浄表面に対する対向面にテープ状の洗浄クロスを間欠的に送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロスに洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板の被洗浄表面の長手方向に相対移動させる移動手段とを備え、押圧子の対向面に、押圧子の相対移動方向と直交する方向に延びる１つ又は複数の突部を形成し、
   突部は、斜面の傾斜角が２０〜４０度の台形の断面形状であることを特徴とする基板洗浄装置。

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