JP4114416B2 - 端子配列部洗浄装置 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 375
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 63
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 32
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 19
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 claims description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 3
- 239000000382 optic material Substances 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 6
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 5
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
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- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、電子部品の端子配列部の両面を拭き取り洗浄するための端子配列部洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えばフラットパネル型表示素子等の電子部品は、その縁部に形成され、少なくとも一方の面に複数の端子が配列された端子配列部を有している。
【０００３】
図５は前記端子配列部を有する電子部品の一例を示す斜視図であり、ここでは、フラットパネル型表示素子を示している。
【０００４】
この表示素子１は、例えば単純マトリックス型の液晶表示素子であり、枠状のシール材４を介して接合された互いに対向する一対の透明基板２，３間に液晶層（図示せず）が設けられ、前記一対の基板２，３の内面にそれぞれ、互いに対向する領域により画素部を形成する透明な走査電極及び信号電極が複数本ずつ形成されている。
【０００５】
また、前記一対の基板２，３のうち、一方の基板２の一側縁には、他方の基板３の外方に張出す端子配列部２ａが形成されており、この端子配列部２ａの他方の基板３側の面に、前記一対の基板２，３の内面の複数の電極に接続された複数の駆動信号供給配線５が導出され、これらの配線５の先端部に、駆動回路接続端子が形成されている。
【０００６】
なお、この表示素子１は、前記端子配列部２ａの他方の基板３側の面（以下、端子形成面と言う）に、ＬＳＩからなる駆動回路素子（図示せず）が搭載される駆動回路搭載型のものであり、前記端子配列部２ａの端子形成面には、前記駆動回路素子を外部回路に接続するための両端部に接続端子がそれぞれ形成された複数の外部回路接続配線６と、搭載される駆動回路素子の位置合わせマーク７が形成されている。
【０００７】
ところで、前記表示素子１の端子配列部２ａには、表示素子１の製造過程で付着したゴミや汚れ等の異物が残っていることが多く、前記端子配列部２ａの端子形成面に異物が付着していると、前記端子配列部２ａに搭載される駆動回路素子の各端子と、前記複数の駆動信号供給配線５及び外部回路接続配線６の駆動回路接続端子との間に接続不良が発生する。
【０００８】
一方、前記端子配列部２ａの端子形成面とは反対側の面である外面に付着した異物は、駆動回路の接続に直接は関与しないが、前記端子配列部２ａの外面に異物が付着していると、前記端子配列部２ａをその外面側から支持して行なわれる前記駆動回路素子の搭載に際して、前記端子配列部２ａと駆動回路素子との平行度に誤差を生じ、駆動回路の接続に影響を及ぼすことがある。
【０００９】
また、前記端子配列部２ａに駆動回路素子を搭載する際の位置合わせは、前記端子配列部２ａの外面側からテレビカメラにより前記位置合わせマーク７と駆動回路素子との相対位置を撮像してモニタにより視認することにより行なわれるが、前記端子配列部２ａの端子形成面または外面に異物が付着していると、位置合わせマーク７が見え難くなったり、異物を位置合わせマークと誤認したりし、前記駆動回路素子の各端子と、前記複数の駆動信号供給配線５及び外部回路接続配線６の駆動回路接続端子との間に接続不良を生じさせることがある。
【００１０】
そのため、前記表示素子１に駆動回路を接続不良を生じさせることなく接続するには、その接続前に、前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面と外面を拭き取り洗浄し、その両方の面に付着している異物を除去する必要がある。
【００１１】
前記表示素子１の端子配列部２ａの拭き取り洗浄は、従来、次のような洗浄装置により行なわれている。
【００１２】
図６及び図７は従来の洗浄装置の側面図及びその拭き取り洗浄部の平面図、図８は前記拭き取り洗浄部の拡大側面図である。
【００１３】
この洗浄装置は、前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄する第１の洗浄系１０ａと、前記端子配列部２ａの外面を拭き取り洗浄する第２の洗浄系１０ｂとからなっている。
【００１４】
前記第１と第２の洗浄系１０ａ，１０ｂは、それぞれ、繰出しリール１１から繰出され、巻取りリール１２に巻取られる液体含浸性をもった洗浄用テープ１３と、前記巻取りリール１２側において前記洗浄用テープ１３を送り駆動するテープ送りローラ１４及びピンチローラ１５と、前記繰出しリール１１から繰出された洗浄用テープ１３を折り返してその折り返し部を前記表示素子１の端子配列部２ａに押し付けるテープ押え板１６と、前記テープ押え板１６と繰出しリール１１及び巻取りリール１２との間に配置された複数のテープガイドローラ１７と、前記繰出しリール１１側のテープガイドローラ１７と前記テープ押え板１６との間に配置され、前記テープ押え板１６に向かう洗浄用テープ１３に洗浄液を含浸させる洗浄液供給ノズル１８とにより構成されている。
【００１５】
そして、前記第１の洗浄系１０ａと第２の洗浄系１０ｂは、それぞれの洗浄用テープ１３の送り方向（洗浄用テープ１３の長さ方向）を、図示しない搬送手段により端子配列部２ａの端子形成面（表示素子１の他方の基板３側の面）を上方に向けた状態で前記端子配列部２ａの張出し方向に対して直交する方向に搬送される表示素子１の搬送方向に対して直交させるとともに、前記第１の洗浄系１０ａのテープ押え板１６を、前記搬送手段により搬送される表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面(上面)に対向させ、前記第２の洗浄系１０ｂのテープ押え板１６を、前記表示素子１の端子配列部２ａの外面(下面)に対向させて配置されている。
【００１６】
この洗浄装置は、前記搬送手段により搬送される表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面を前記第１の洗浄系１０ａにより拭き取り洗浄し、前記端子配列部２ａの外面を前記第２の洗浄系１０ｂにより拭き取り洗浄するものであり、いずれの洗浄系１０ａ，１０ｂによる洗浄も、洗浄液供給ノズル１８により洗浄液を含浸された洗浄用テープ１３を前記テープ押え板１６により折り返して前記表示素子１の端子配列部２ａに押し付け、前記洗浄用テープ１３を送り駆動しながら前記表示素子１をその端子配列部２ａの長さ方向に搬送することにより、前記端子配列部２ａの両面をそれぞれその張出し方向に対して直交する方向に沿って拭き取ることにより行なわれている。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の洗浄装置は、洗浄用テープ１３の繰出しリール１１及び巻取りリール１２を備えた第１と第２の２つの洗浄系１０ａ，１０ｂを用い、表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面を第１の洗浄系１０ａにより拭き取り洗浄し、前記端子配列部２ａの外面を第２の洗浄系１０ｂにより拭き取り洗浄するものであるため、装置が複雑で大掛かりであり、しかも第１の洗浄系１０ａ用と、第２の洗浄系１０ｂ用との２本の洗浄用テープ１３が必要であるため、ランニングコストが嵩むという問題をもっている。
【００１８】
この発明は、構成が簡単で、しかも低コストに端子配列部の両面を拭き取り洗浄することができる端子配列部洗浄装置を提供することを目的としたものである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
この発明は、電子部品の縁部に形成され、少なくとも一方の面に複数の端子が配列された端子配列部を拭き取り洗浄するための洗浄装置において、端子配列部を有する電子部品を前記端子配列部の洗浄位置を経由して搬送する搬送手段と、繰出しリールから繰出され、巻取りリールに巻取られる液体含浸性をもった洗浄用テープと、少なくとも前記洗浄位置よりも前記洗浄用テープの送り方向における上流側において前記洗浄用テープに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記繰出しリールから繰出された前記洗浄用テープを、前記洗浄位置に搬送された前記電子部品の端子配列部の一方の面側に案内する第１のテープガイド手段と、前記洗浄液供給手段により供給された洗浄液が含浸した前記洗浄用テープを前記端子配列部の一方の面に押し付けて前記端子配列部の一方の面を拭き取り洗浄させる第１のテープ押え手段と、前記端子配列部の一方の面を拭き取り洗浄した前記洗浄用テープに捻りを加えてその一方と他方の面の向きを逆にするテープ捻り手段と、前記端子配列部の一方の面を拭き取り洗浄した前記洗浄用テープを前記洗浄位置の方向に折り返すテープ折り返し手段と、前記テープ捻り手段により一方と他方の面の向きを逆にされ、且つ前記テープ折り返し手段により折り返された前記洗浄用テープを前記洗浄位置に搬送された前記電子部品の端子配列部の他方の面側に案内する第２のテープガイド手段と、前記洗浄用テープを前記端子配列部の他方の面に押し付けて前記端子配列部の他方の面を拭き取り洗浄させる第２のテープ押え手段とを備えたことを特徴とするものである。
【００２０】
この端子配列部洗浄装置は、同じ洗浄用テープを用いて端子配列部の両面を拭き取り洗浄するものであり、繰出しリールから繰出された洗浄用テープに、少なくとも前記端子配列部の洗浄位置よりも洗浄用テープの送り方向における上流側において洗浄液供給手段により洗浄液を含浸させ、前記洗浄用テープを第１のテープガイド手段により前記端子配列部の一方の面側に案内し、その洗浄用テープを第１のテープ押え手段により前記端子配列部の一方の面に押し付けて前記端子配列部の一方の面を拭き取り洗浄した後、前記洗浄用テープを、テープ捻り手段により捻りを加えてその一方と他方の面の向きを逆にするとともに、テープ折り返し手段により前記洗浄位置の方向に折り返して第２のテープガイド手段により前記端子配列部の他方の面側に案内し、その洗浄用テープを第２のテープ押え手段により前記端子配列部の他方の面に押し付けて前記端子配列部の他方の面を拭き取り洗浄する。
【００２１】
この端子配列部洗浄装置は、同じ洗浄用テープを用いて端子配列部の両面を拭き取り洗浄するものであるため、洗浄用テープの繰出しリールと巻取りリールは１つずつでよく、また洗浄用テープも１本でよい。
【００２２】
したがって、この端子配列部洗浄装置によれば、構成が簡単で、しかも低コストに端子配列部の両面を拭き取り洗浄することができる。
【００２３】
このように、この発明の端子配列部洗浄装置は、同じ洗浄用テープを用いて端子配列部の両面を拭き取り洗浄することにより、構成を簡単にし、しかも低コストに端子配列部の両面を拭き取り洗浄することができるようにしたものである。
【００２４】
この発明の端子配列部洗浄装置において、前記電子部品が例えば互いに対向する一対の基板間に電気光学物質層が設けられるとともに、少なくとも一方の基板に、他方の基板の外方に張出す端子配列部が形成された表示素子である場合、前記洗浄用テープは、前記表示素子の端子配列部の張出し幅よりも大きい幅を有しており、前記第１と第２のテープガイド手段はそれぞれ、前記洗浄用テープを前記端子配列部の張出し方向に対して直交する方向と平行な方向に案内する複数のガイドローラからなり、前記第１と第２のテープ押え手段はそれぞれ、前記テープガイド手段により案内される前記洗浄用テープを、その背後から前記端子配列部に押し付けるテープ押え板からなっているのが好ましい。
【００２５】
さらに、その場合、前記表示素子の端子配列部の他方の基板側の面に前記洗浄用テープを押し付けるテープ押え板は、前記洗浄用テープの前記端子配列部の張出し端側に対応するテープ縁の位置を規制し、前記洗浄用テープの反対側のテープ縁を前記端子配列部電子部品の他方の基板側の面と他方の基板の端面との間のコーナー部押し付けるテープ案内部を有しているのが好ましい。
【００２６】
【発明の実施の形態】
図１〜図４はこの発明の一実施例を示しており、図１は洗浄装置の斜視図、図２は前記洗浄装置の拭き取り洗浄部の側面図、図３は前記拭き取り洗浄部の拡大断面図、図４は前記洗浄装置による端子配列部の拭き取り洗浄状態を示す拡大側面図である。なお、この実施例の洗浄装置は、図５に示した液晶表示素子（以下、表示素子と言う）１の端子配列部２ａを拭き取り洗浄するためのものである。
【００２７】
この洗浄装置は、図１に示したように、前記表示素子１をその端子配列部２ａの洗浄位置を経由して搬送する素子搬送手段２０と、繰出しリール２１から繰出され、巻取りリール２２に巻取られる１本の洗浄用テープ２３と、前記洗浄用テープ２３を送り駆動するテープ送り手段２４と、前記繰出しリール２１から繰出された洗浄用テープ２３を前記洗浄位置に搬送された表示素子１の一方の基板２の端子配列部２ａの端子形成面（表示素子１の他方の基板３側の面）側に案内する第１のテープガイド手段２５と、前記端子配列部２ａの端子形成面側に案内される洗浄用テープ２３に洗浄液を供給する第１の洗浄液供給手段２６と、前記第１の洗浄液供給手段２６により供給された洗浄液が含浸した洗浄用テープ２３を前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面に押し付けて前記端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄させる第１のテープ押え手段２７と、前記端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄した洗浄用テープ２３に捻りを加えてその一方と他方の面の向きを逆にするテープ捻り手段２８と、前記端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄した洗浄用テープ２３を前記洗浄位置の方向に折り返すテープ折り返し手段２９と、前記テープ捻り手段２８により一方と他方の面の向きを逆にされ、且つ前記テープ折り返し手段２９により折り返された前記洗浄用テープを前記洗浄位置に搬送された表示素子１の端子配列部２ａの他方の面である外面側に案内する第２のテープガイド手段３０と、前記端子配列部２ａの外面側に案内される洗浄用テープ２３に洗浄液を供給する第２の洗浄液供給手段３１と、前記第２の洗浄液供給手段３１により供給された洗浄液が含浸した洗浄用テープ２３を前記表示素子１の端子配列部２ａの外面に押し付けて前記端子配列部２ａの外面を拭き取り洗浄させる第２のテープ押え手段３２とを備えている。
【００２８】
前記洗浄用テープ２３は、例えば不織布テープ等の液体含浸性をもったテープであり、この洗浄用テープ２３は、前記表示素子１の端子配列部２ａの張出し幅よりも大きい幅を有している。
【００２９】
そして、前記洗浄用テープ２３の繰出しリール２１と巻取りリール２２のうち、繰出しリール２１は、前記素子搬送手段２０により端子配列部２ａの洗浄位置を経由して搬送される表示素子１の搬送路（以下、素子搬送路と言う）の上方に配置され、巻取りリール２２は、前記素子搬送路の下方に配置されている。
【００３０】
前記テープ送り手段２４は、前記表示素子１の搬送速度よりも速い速度で前記洗浄用テープ２３を送り駆動するものであり、前記巻取りリール１２の近傍に位置させて前記素子搬送路の下方に配置されたテープ送りローラ３３とピンチローラ３４とからなっている。
【００３１】
前記第１のテープガイド手段２５は、前記繰出しリール２１から繰出された洗浄用テープ２３を、前記洗浄用テープ２３に端子配列部２ａを対向させるとともに前記端子配列部２ａの端子形成面を上方に向けた状態で前記素子搬送路を搬送される表示素子１のうち、前記洗浄位置に搬送された表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面側（端子配列部２ａの上側）に案内するものであり、この第１のテープガイド手段２５は、前記洗浄位置を挟んで洗浄用テープ２３の送り方向における上流側と下流側の上方に配置され、前記洗浄用テープ２３を前記表示素子１の端子配列部２ａの張出し方向に対して直交する方向（以下、端子配列部２ａの長さ方向と言う）と平行な方向に案内する２つのガイドローラ３５，３６からなっている。
【００３２】
なお、前記繰出しリール２１と前記第１のテープガイド手段２５との間には、繰出しリール２１から繰出された洗浄用テープ２３を前記第１のテープガイド手段２５の上流側ガイドローラ３５に案内する補助ガイドローラ３７が配置されている。
【００３３】
前記第１のテープガイド手段２５の上流側と下流側のガイドローラ３５，３６は、前記素子搬送路を搬送される表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面のレベルよりも上方に配置されており、前記洗浄用テープ２３は、前記上流側と下流側のガイドローラ３５，３６の下を通され、これらのガイドローラ３５，３６により、前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面の上方を、前記端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内されている。
【００３４】
前記第１の洗浄液供給手段２６は、リグロインや各種アルコール系有機溶剤等の洗浄液を前記洗浄用テープ２３に噴射する洗浄液噴射ノズル３８からなっており、この洗浄液噴射ノズル３８は、その噴射端を、前記第１のテープガイド手段２５の上流側ガイドローラ３５と前記洗浄位置との間において前記洗浄用テープ２３に対向させて配置されている。
【００３５】
前記第１のテープ押え手段２７は、前記洗浄位置の上方に図示しないテープ接離機構に支持されて配置され、前記第１のテープガイド手段２５の上流側と下流側のガイドローラ３５，３６により前記表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内される洗浄用テープ２３の略全幅を、その背後（上方）から表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面に押し付けるテープ押え板３９からなっている。
【００３６】
前記テープ押え板３９は、前記洗浄用テープ２３を、前記表示素子１の端子配列部２ａの張出し端側とは反対側のテープ縁を除いてその略全幅にわたり前記端子配列部２ａの端子形成面に押し付ける矩形状の板材である。
【００３７】
このテープ押え板３９は、その洗浄用テープ当接面の一側縁に沿って突出形成されたテープ案内部３９ａを有している。このテープ案内部３９ａは、前記洗浄用テープ２３の前記表示素子１の端子配列部２ａの張出し端側に対応するテープ縁の位置を規制し、反対側のテープ縁を前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面と他方の基板３の端面との間のコーナー部（枠状シール材４の外面）に押し付けるために設けられている。
【００３８】
前記テープ捻り手段２８は、前記第１のテープガイド手段２５の下流側ガイドローラを兼ねる第１の捻りガイドローラ３６と、この第１の捻りガイドローラ３６よりもさらに下流側に配置された第２の捻りガイドローラ４０とからなっており、前記洗浄用テープ２３は、前記第１の捻りガイドローラ３６の下から引出されて１８０度の捻りを加えられ、その一方と他方の面の向きが逆になった状態で前記第２の捻りガイドローラ４０の上に掛け回されている。
【００３９】
なお、前記テープ捻り手段２８の第２の捻りガイドローラ４０は、前記素子搬送路の始端よりも外側に配置されており、このガイドローラ４０に掛け回された前記洗浄用テープ２３は、前記素子搬送路の始端の外側を前記素子搬送路の下方に導かれている。
【００４０】
また、前記テープ折り返し手段２９は、前記素子搬送路の始端の外側の下方に配置され、前記テープ捻り手段２８の第２の捻りガイドローラ４０に掛け回されて下方に導かれた前記洗浄用テープ２３を前記洗浄位置の方向に折り返し案内する折り返しガイドローラ４１からなっている。
【００４１】
前記第２のテープガイド手段３０は、前記テープ捻り手段２８により一方と他方の面の向きを逆にされ、且つ前記テープ折り返し手段２９により折り返された洗浄用テープ２３を、上述したように洗浄用テープ２３に端子配列部２ａを対向させるとともに前記端子配列部２ａの端子形成面を上方に向けた状態で前記素子搬送路を搬送される表示素子１のうち、前記洗浄位置に搬送された表示素子１の端子配列部２ａの外面側（端子配列部２ａの下側）に案内するものであり、この第２のテープガイド手段３０は、前記洗浄位置を挟んで洗浄用テープ２３の送り方向における上流側と下流側の上方に配置され、前記洗浄用テープ２３を前記表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内する２つのガイドローラ４２，４３からなっている。
【００４２】
この第２のテープガイド手段３０の上流側と下流側のガイドローラ４２，４３は、前記素子搬送路を搬送される表示素子１の端子配列部２ａの外面のレベルよりも下方に配置されており、前記洗浄用テープ２３は、前記上流側と下流側のガイドローラ４２，４３の上を通され、これらのガイドローラ４２，４３により、前記表示素子１の端子配列部２ａの外面よりも下方の位置を、前記端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内されている。
【００４３】
なお、前記第２のテープガイド手段３０により案内されてその下流側に導かれた洗浄用テープ２３は、上述したテープ送り手段２４を経て巻取りリール２２に巻取られている。
【００４４】
前記第２の洗浄液供給手段３１は、上述した洗浄液を前記洗浄用テープ２３に噴射する洗浄液噴射ノズル４４からなっており、この洗浄液噴射ノズル４４は、その噴射端を、前記第２のテープガイド手段３０の上流側ガイドローラ４２と前記洗浄位置との間において前記洗浄用テープ２３に対向させて配置されている。
【００４５】
前記第２のテープ押え手段３２は、前記洗浄位置の下方に図示しないテープ接離機構に支持されて配置され、前記第２のテープガイド手段３０の上流側と下流側のガイドローラ４２，４３により表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内される洗浄用テープ２３の略全幅を、その背後（下方）から前記表示素子１の端子配列部２ａの外面に押し付けるテープ押え板４５からなっている。
【００４６】
なお、この実施例では、前記テープ押え板４５を、上述した第１のテープ押え手段２７のテープ押え板３９と同じ大きさと形状の矩形状板材としており、したがって、この第２のテープ押え手段３２のテープ押え板４５も、前記洗浄用テープ２３の前記表示素子１の端子配列部２ａの張出し端側のテープ縁の位置を規制するテープ案内部４５ａを有している。
【００４７】
また、この第２のテープ押え手段３２のテープ押え板４５は、前記第１のテープ押え手段２７のテープ押え板３９に対向させて配置されている。
【００４８】
この洗浄装置による表示素子１の端子配列部２ａの拭き取り洗浄は、次のようにして行なわれる。
【００４９】
前記表示素子１は、図示しない素子搬入手段により前記素子搬送路の始端にその側方から図１に仮想線（二点鎖線）で示したように搬入され、素子搬送手段２０により、端子配列部２ａを素子搬送路の一側に向けるとともに前記端子配列部２ａの端子形成面を上に向けた状態で保持されて前記素子搬送路を搬送される。
【００５０】
なお、前記図示しない素子搬入手段は、複数の表示素子１を順次前記素子搬送路Ａの始端に搬入する。また、図１では前記素子搬入手段２０を簡略化して仮想線（二点鎖線）で示しているが、この素子搬送手段２０は、前記素子搬入手段により搬入された複数の表示素子１を、前記洗浄用テープ２３に端子配列部２ａを対向させるとともに前記端子配列部２ａの端子形成面を上方に向けて一定間隔で保持し、これらの表示素子１を一定速度で連続的に搬送する。
【００５１】
一方、前記洗浄用テープ２３は、前記テープ送り手段２４により、前記素子搬送路を搬送される表示素子１が端子配列部２ａの洗浄位置に到達する直前に送りを開始し、前記表示素子１が前記洗浄位置を通過した後に送りを停止するタイミングで間欠的に送り駆動される。
【００５２】
また、前記洗浄液噴射ノズル２６，３８からなる第１と第２の洗浄液供給手段２６，３１は、前記洗浄用テープ２３の送り時間中、継続して洗浄液を噴射し、その洗浄液を前記洗浄用テープ２３に含浸させる。
【００５３】
さらに、前記第１と第２のテープ押え手段２７，３２であるテープ押え板３９，４５はそれぞれ、表示素子１の端子配列部２ａの洗浄開始に先立って、図示しないテープ接離機構により図１に示した初期位置から洗浄用テープ２３側に押し出され、前記第１と第２のテープガイド手段２５，３０の上流側と下流側のガイドローラ３５，３６及び４２，４３により前記表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内されている前記洗浄用テープ２３を、図２及び図３に示したように、前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面及び外面に適度な接触圧で押し付けるように支持する。
【００５４】
したがって、前記素子搬送路を端子配列部２ａの洗浄位置に搬送されてきた表示素子１は、洗浄液を含浸され、前記テープ押え板３９，４５により前記端子配列部２ａの端子形成面及び外面に適度な接触圧で押し付けられるように支持された状態で前記端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に送り駆動されている前記洗浄用テープ２３により、前記端子配列部２ａの端子形成面及び外面を拭き取り洗浄される。
【００５５】
図４において、（ａ）は前記表示素子１の端子配列部２ａが洗浄位置に進入する直前の状態、（ｂ）及び（ｃ）は前記端子配列部２ａが洗浄位置を通過している途中の状態、（ｄ）は前記端子配列部２ａが洗浄位置を通過し終わった状態を示している。
【００５６】
前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面の拭き取り洗浄は、繰出しリール２１から繰出され、第１の洗浄液供給手段２６により洗浄液を含浸された未使用の洗浄用テープ２３により行なわれる。
【００５７】
すなわち、図４のように、前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面（図において上面）は、洗浄液を含浸され、前記テープ押え板３９により前記端子配列部２ａの端子形成面に適度な接触圧で押し付けられた状態で前記表示素子１の搬送方向と反対方向に送り駆動されている洗浄用テープ２３により拭き取り洗浄される。
【００５８】
この端子配列部２ａの端子形成面の拭き取り洗浄においては、前記端子形成面に押し付けられる洗浄用テープ２３が未使用テープであり、しかも、前記洗浄用テープ２３の送り方向が表示素子１の搬送方向とは反対方向であるため、前記端子形成面の全域を、前記洗浄用テープ２３の未使用面により拭き取ることができる。
【００５９】
さらに、前記洗浄用テープ２３は、前記テープ押え板３９により背後から支持されている部分だけにおいて前記端子形成面に押し付けられるため、前記端子形成面から拭き取られて洗浄用テープ２３に付着した異物ａが前記端子配列部２ａの端子形成面に再付着することは無く、したがって、前記端子配列部２ａの端子形成面を良好に拭き取り洗浄することができる。
【００６０】
また、前記表示素子１の端子配列部２ａの外面の拭き取り洗浄は、前記端子配列部２ａの端子形成面の拭き取り洗浄後にテープ捻り手段２８により捻りを加えられて一方と他方の面の向きを逆にされ、さらにテープ折り返し手段２９により折り返されて第２の洗浄液供給手段３１により洗浄液を再含浸された使用済みの洗浄用テープ２３により行なわれる。
【００６１】
この端子配列部２ａの外面の拭き取り洗浄において、前記端子形成面に押し付けられる洗浄用テープ２３は、前記端子配列部２ａの端子形成面の拭き取り洗浄に使用された使用済みテープであるが、前記端子形成面から拭き取られた異物ａは、前記洗浄用テープ２３の一方の面、つまり前記端子形成面に押し付けられた面に付着しているため、前記洗浄用テープ２３の他方の面は、図４のように未使用状態にある。
【００６２】
また、この端子配列部２ａの外面の拭き取り洗浄においては、洗浄用テープ２３の送り方向が表示素子１の搬送方向と同じ方向であるが、前記洗浄用テープ２３は上述したように、テープ送り手段２４により表示素子１の搬送速度よりも速い速度で送り駆動されるため、前記端子配列部２ａの外面の全域を、前記洗浄用テープ２３の未使用面により拭き取ることができる。
【００６３】
そして、この端子配列部２ａの外面の拭き取り洗浄においても、前記洗浄用テープ２３は、前記テープ押え板４５により背後から支持されている部分だけにおいて前記端子配列部２ａの外面に押し付けられるため、前記端子配列部２ａの外面から拭き取られて洗浄用テープ２３に付着した異物ｂが前記端子配列部２ａの外面に再付着することは無く、したがって、前記端子配列部２ａの外面も良好に拭き取り洗浄することができる。
【００６４】
なお、前記端子配列部２ａの外面を拭き取り洗浄した洗浄用テープ２３は、巻取りリール２２に巻取られる。
【００６５】
このように、上記洗浄装置は、同じ洗浄用テープ２３を用いて表示素子１の端子配列部２ａの両面を拭き取り洗浄するものであり、繰出しリール２１から繰出された洗浄用テープ２３を第１のテープガイド手段２５により端子配列部２ａの洗浄位置を搬送される表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面側に案内してその洗浄用テープ２３に第１の洗浄液供給手段２６により洗浄液を含浸させ、その洗浄用テープ２３を第１のテープ押え手段２７により前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面に押し付けて前記端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄した後、前記洗浄用テープ２３を、テープ捻り手段２８により捻りを加えてその一方と他方の面の向きを逆にするとともに、テープ折り返し手段２９により前記洗浄位置の方向に折り返して第２のテープガイド手段３０により前記表示素子１の端子配列部２ａの外面側に案内し、その洗浄用テープ２３に第２の洗浄液供給手段３１により再び洗浄液を含浸させ、洗浄液を再含浸された前記洗浄用テープ２３を第２のテープ押え手段３２により前記表示素子１の端子配列部２ａの外面に押し付けて前記端子配列部２ａの外面を拭き取り洗浄する。
【００６６】
この洗浄装置は、同じ洗浄用テープ２３を用いて表示素子１の端子配列部２ａの両面を拭き取り洗浄するものであるため、洗浄用テープ２３の繰出しリール２１と巻取りリール２２は１つずつでよく、また洗浄用テープ２３も１本でよい。
【００６７】
したがって、この洗浄装置によれば、図６〜図８に示した従来の洗浄装置に比べて構成を大幅に簡単にし、しかも低いランニングコストで表示素子１の端子配列部２ａの両面を拭き取り洗浄することができる。
【００６８】
また、図６〜図８に示した従来の洗浄装置は、第１と第２の２つの洗浄系１０ａ，１０ｂの洗浄用テープ１３の送り方向が表示素子１の搬送方向に対して直交する方向であるため、搬送されてきた表示素子１の端子配列部２ａの側面がテープ押え板１６により折り返された洗浄用テープ１３の側面にぶつかって洗浄不能となるのを防ぐには、前記端子配列部２ａの一端部が前記テープ押え板１６に対向する洗浄位置に進入するのを待って前記洗浄用テープ１３の折り返し部を前記端子配列部２ａの端子形成面と外面とに押し付けなければならず、そのために、前記端子配列部２ａの端子形成面と外面の一端側の拭き取り洗浄が確実に行なわれず、その部分に異物が残ることがある。
【００６９】
それに対して、上記実施例の洗浄装置は、前記表示素子１の端子配列部２ａの張出し幅よりも大きい幅を有する洗浄用テープ２３を用い、前記第１と第２のテープガイド手段２５，３０をそれぞれ、前記端子配列部２ａの洗浄位置を挟んで洗浄用テープ２３の送り方向における上流側と下流側に配置され、前記洗浄用テープ２３を前記表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内する２つのガイドローラ３５，３６及び４２，４３により構成するとともに、前記第１と第２のテープ押え手段２７，３２をそれぞれ、前記テープガイド手段２５，３０により案内される前記洗浄用テープ２３を、その背後から表示素子１の端子配列部２ａに押し付けるテープ押え板３９，４５により構成しているため、前記表示素子１の端子配列部２ａの両面をそれぞれ、その全域にわたって確実に拭き取り洗浄することができる。
【００７０】
さらに、従来の洗浄装置は、表示素子１の搬送方向に対して直交する方向に送られる洗浄用テープ１３をテープ押え板１６により折り返し、その折り返し部を前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面と外面とに押し付けるようにしているため、前記洗浄用テープ１３のテープ押え板１６の角部に対応する屈曲部の外周面が図８に示したような湾曲面となり、そのために、前記端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄する洗浄用テープ１３が、前記端子配列部２ａの端子形成面と他方の基板３の端面との間のコーナー部（枠状シール材４の外面）に接触せず、そのコーナー部に異物が残って、前記端子形成面に形成された複数の配線間や端子間に短絡を発生させる原因となることがある。
【００７１】
それに対して、上記実施例の洗浄装置は、前記洗浄用テープ２３を前記ガイドローラ３５，３６及び４２，４３により表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内するとともに、前記第１と第２のテープ押え手段２７，３２を構成するテープ押え板３９，４５のうち、表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面に洗浄用テープ２３を押し付けるテープ押え板３９に、前記洗浄用テープ２３の前記端子配列部２ａの張出し端側のテープ縁の位置を規制し、前記洗浄用テープ２３の反対側のテープ縁を前記端子配列部２ａの端子形成面と他方の基板３の端面との間のコーナー部に押し付けるテープ案内部３９ａを設けているため、前記コーナー部も確実に拭き取り洗浄することができる。
【００７２】
また、上記実施例では、表示素子１の端子配列部２ａの外面に洗浄用テープ２３を押し付けるテープ押え板４５にも、前記洗浄用テープ２３の前記端子配列部２ａの張出し端側のテープ縁の位置を規制するテープ案内部４５ａを設けているため、端子配列部２ａの外面も、前記端子形成面の拭き取り幅と同じ幅で拭き取り洗浄することができる。
【００７３】
なお、上記実施例では、表示素子１の搬送方向と反対方向に送られる洗浄用テープ２３により前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄し、一方と他方の面の向きを逆にして折り返され、表示素子１の搬送方向と同じ方向に送られる洗浄用テープ２３により前記端子配列部２ａの外面を拭き取り洗浄しているが、前記表示素子１の搬送方向を上記実施例と逆にし、表示素子１の搬送方向と同じ方向に送られる洗浄用テープ２３により前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄し、表示素子１の搬送方向と反対方向に送られる洗浄用テープ２３により前記端子配列部２ａの外面を拭き取り洗浄するようにしてもよい。
【００７４】
また、上記実施例では、洗浄用テープ２３を表示素子１の搬送速度よりも速い速度で送り駆動しているが、前記洗浄用テープ２３の送り速度は、表示素子１の搬送速度と同じでなければ、前記表示素子１の搬送速度よりも遅くしてもよい。
【００７５】
さらに、前記端子配列部２ａの拭き取り洗浄は、被洗浄物である表示素子１と前記洗浄テープ２３の何れか一方だけを移動させて行なってよい。
【００７６】
すなわち、前記端子配列部２ａの拭き取り洗浄は、例えば、前記洗浄テープ２３の送りをその未使用面が洗浄位置にきたところで停止し、その状態で表示素子１だけを搬送することにより行ない、洗浄された表示素子１が洗浄位置から搬出された後に、前記洗浄テープ２３をその未使用面が洗浄位置にくるまで送り駆動して次の表示素子１の端子配列部２ａを拭き取り洗浄するようにしてもよい。
【００７７】
このように、洗浄用テープ２３の送りを停止し、表示素子１だけを搬送してその端子配列部２ａを拭き取り洗浄する場合は、前記端子配列部２ａの両面をそれぞれ前記洗浄用テープ２３の同じ部分で拭き取ることになるが、１つの表示素子１の端子配列部２ａを洗浄する間に洗浄用テープ２３に付着する異物ａ，ｂの量は極く僅かであるため、前記洗浄用テープ２３に付着した異物ａ，ｂが前記端子配列部２ａに再付着することは無く、したがって、前記端子配列部２ａの両面をそれぞれその全域にわたって充分良好に洗浄することができる。
【００７８】
また、前記端子配列部２ａの拭き取り洗浄は、素子搬送手段２０により搬送されてきた表示素子１を前記洗浄位置で停止させ、その状態で洗浄テープ２３だけを送り駆動することにより行ない、その後に、端子配列部２ａを洗浄された前記表示素子１を前記洗浄位置から搬出するようにしてもよい。
【００７９】
このように、表示素子１を洗浄位置で停止させ、洗浄用テープ２３だけを送り駆動して前記端子配列部２ａを拭き取り洗浄する場合は、前記テープ押え板３９，４５の長さを前記端子配列部２ａの長さよりも大きくし、前記洗浄テープ２３を前記端子配列部２ａにその全長にわたって押し付けるようにすればよく、このようにすることにより、前記端子配列部２ａの両面をそれぞれ確実に洗浄することができる。
【００８０】
さらにまた、前記端子配列部２ａの端子形成面とその反対側の面である外面は、同時にではなく、異なるタイミングで洗浄するようにしてもよい。
【００８１】
その場合は、前記端子配列部２ａの端子形成面の洗浄時と、前記端子配列部２ａの外面の洗浄時とで、表示素子１の搬送方向を切り換え、いすれの面の洗浄も、その面に押し付けられる洗浄テープ２３の送り方向に対して反対方向に表示素子１を搬送して行なうのが好ましく、このようにすることにより、前記端子配列部２ａの両面をそれぞれ良好に拭き取り洗浄することができる。
【００８２】
しかも、この場合は、洗浄用テープ２３の送り速度が遅くても前記端子配列部２ａの両面を良好に洗浄することができるため、前記洗浄テープ２３の送り速度を遅くし、洗浄テープ２３の使用時間を長くして、ランニングコストをより低くすることができる。
【００８３】
また、上記実施例では、表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面側に案内される洗浄用テープ２３に洗浄液を供給する第１の洗浄液供給手段２６と、前記端子配列部２ａの他方の面である外面側に案内される洗浄用テープ２３に洗浄液を供給する第２の洗浄液供給手段３１とを備えているが、洗浄液供給手段は、少なくとも前記端子配列部２ａの洗浄位置よりも洗浄用テープ２３の送り方向における上流側にあればよい。
【００８４】
また、上記実施例では、第１と第２のテープガイド手段２５，３０をそれぞれ、端子配列部２ａの洗浄位置を挟んで洗浄用テープ２３の送り方向における上流側と下流側の上方に配置された２つのガイドローラ３５，３６及び４２，４３により構成しているが、これらのテープガイド手段２５，３０は、洗浄用テープ２３を表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内することができれば、２つ以上の複数のガイドローラにより構成してもよい。
【００８５】
またさらに、上記実施例では、洗浄用テープ２３を案内するガイドローラ数を少なくして洗浄装置の構成をより簡単にするため、第１のテープガイド手段２５の下流側のガイドローラと、テープ捻り手段２８の第１の捻りガイドローラ３６とを１つのローラで兼用しているが、前記第１のテープガイド手段２５の下流側のガイドローラと、前記テープ捻り手段２８の第１の捻りガイドローラ３６は、別のローラとしてもよく、その場合は、前記テープ捻り手段２８を、テープ折り返し手段２９と第２のテープガイド手段３０との間に配置してもよい。
【００８６】
また、上記実施例では、表示素子１の端子配列部２ａの外面に洗浄用テープ２３を押し付けるテープ押え板４５にも、前記洗浄用テープ２３の前記端子配列部２ａの張出し端側のテープ縁の位置を規制するテープ案内部４５ａを設けているが、このテープ押え板４５のテープ案内部４５ａは省略してもよい。
【００８７】
また、この発明の端子配列部洗浄装置は、図５に示した駆動回路搭載型の表示素子１に限らず、外部の駆動回路にフィルム状配線基板等を介して接続される複数の端子が配列された端子配列部を有する表示素子の端子配列部の拭き取り洗浄にも適用することができる。
【００８８】
さらに、この発明の端子配列部洗浄装置は、互いに対向する一対の基板間に電気光学物質層が設けられるとともに、少なくとも一方の基板に、他方の基板の外方に張出す端子配列部が形成された表示素子（電気光学物質層が液晶層である液晶表示素子でも、電気光学物質層がエレクトロクロミック等である他の表示素子でもよい）に限らず、例えば、縁部に少なくとも一方の面に複数の端子が配列された端子配列部が形成された配線基板等の電子部品の端子配列部の拭き取り洗浄に広く適用することができる。
【００８９】
【発明の効果】
この発明の端子配列部洗浄装置は、繰出しリールから繰出された洗浄用テープに、少なくとも電子部品の端子配列部を洗浄する洗浄位置よりも洗浄用テープの送り方向における上流側において洗浄液供給手段により洗浄液を含浸させ、前記洗浄用テープを第１のテープガイド手段により前記端子配列部の一方の面側に案内し、その洗浄用テープを第１のテープ押え手段により前記端子配列部の一方の面に押し付けて前記端子配列部の一方の面を拭き取り洗浄した後、前記洗浄用テープを、テープ捻り手段により捻りを加えてその一方と他方の面の向きを逆にするとともに、テープ折り返し手段により前記洗浄位置の方向に折り返して第２のテープガイド手段により前記端子配列部の他方の面側に案内し、その洗浄用テープを第２のテープ押え手段により前記端子配列部の他方の面に押し付けて前記端子配列部の他方の面を拭き取り洗浄するものであるため、構成を簡単にし、しかも低コストに端子配列部の両面を拭き取り洗浄することができる。
【００９０】
この発明の洗浄装置において、前記電子部品が例えば互いに対向する一対の基板間に電気光学物質層が設けられるとともに、少なくとも一方の基板に、他方の基板の外方に張出す端子配列部が形成された表示素子である場合、前記洗浄用テープは、前記表示素子の端子配列部の張出し幅よりも大きい幅を有しており、前記第１と第２のテープガイド手段はそれぞれ、前記洗浄用テープを前記端子配列部の張出し方向に対して直交する方向と平行な方向に案内する複数のガイドローラからなり、前記第１と第２のテープ押え手段はそれぞれ、前記テープガイド手段により案内される前記洗浄用テープを、その背後から前記端子配列部に押し付けるテープ押え板からなっているのが好ましく、このようにすることにより、前記表示素子の端子配列部の両面をそれぞれ、その全域にわたって確実に拭き取り洗浄することができる。
【００９１】
さらに、その場合、前記表示素子の一方の基板に形成された端子配列部の他方の基板側の面に洗浄用テープを押し付けるテープ押え板は、前記洗浄用テープの前記端子配列部の張出し端側に対応するテープ縁の位置を規制し、前記洗浄用テープの反対側のテープ縁を前記端子配列部の他方の基板側の面と他方の基板の端面との間のコーナー部電子部品に押し付けるテープ案内部を有しているのが好ましく、このようにすることにより、前記端子配列部の端子形成面と前記他方の基板の端面との間のコーナー部も確実に拭き取り洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例を示す端子配列部洗浄装置の斜視図。
【図２】前記洗浄装置の拭き取り洗浄部の側面図。
【図３】前記拭き取り洗浄部の拡大断面図。
【図４】前記洗浄装置による端子配列部の拭き取り洗浄状態を示す拡大側面図。
【図５】端子配列部を有する電子部品の一つである表示素子の斜視図。
【図６】従来の端子配列部洗浄装置の側面図。
【図７】従来の端子配列部洗浄装置の拭き取り洗浄部の平面図。
【図８】従来の端子配列部洗浄装置の拭き取り洗浄部の拡大側面図。
【符号の説明】
１…表示素子（電子部品）
２，３…基板
２ａ…端子配列部
４…シール材
５…駆動信号供給配線
６…外部回路接続配線６
７…位置合わせマーク
２０…搬送手段
２１…繰出しリール
２２…巻取りリール
２３…洗浄用テープ
２４…テープ送り手段
２５…第１のテープガイド手段
２６…第１の洗浄液供給手段
２７…第１のテープ押え手段
２８…テープ捻り手段
２９…テープ折り返し手段
３０…第２のテープガイド手段
３１…第２の洗浄液供給手段
３２…第２のテープ押え手段
３５，３６，４２，４３…ガイドローラ
３９，４５…テープ押え板
３９ａ，４５ａ…テープ案内部
【発明の属する技術分野】
この発明は、電子部品の端子配列部の両面を拭き取り洗浄するための端子配列部洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えばフラットパネル型表示素子等の電子部品は、その縁部に形成され、少なくとも一方の面に複数の端子が配列された端子配列部を有している。
【０００３】
図５は前記端子配列部を有する電子部品の一例を示す斜視図であり、ここでは、フラットパネル型表示素子を示している。
【０００４】
この表示素子１は、例えば単純マトリックス型の液晶表示素子であり、枠状のシール材４を介して接合された互いに対向する一対の透明基板２，３間に液晶層（図示せず）が設けられ、前記一対の基板２，３の内面にそれぞれ、互いに対向する領域により画素部を形成する透明な走査電極及び信号電極が複数本ずつ形成されている。
【０００５】
また、前記一対の基板２，３のうち、一方の基板２の一側縁には、他方の基板３の外方に張出す端子配列部２ａが形成されており、この端子配列部２ａの他方の基板３側の面に、前記一対の基板２，３の内面の複数の電極に接続された複数の駆動信号供給配線５が導出され、これらの配線５の先端部に、駆動回路接続端子が形成されている。
【０００６】
なお、この表示素子１は、前記端子配列部２ａの他方の基板３側の面（以下、端子形成面と言う）に、ＬＳＩからなる駆動回路素子（図示せず）が搭載される駆動回路搭載型のものであり、前記端子配列部２ａの端子形成面には、前記駆動回路素子を外部回路に接続するための両端部に接続端子がそれぞれ形成された複数の外部回路接続配線６と、搭載される駆動回路素子の位置合わせマーク７が形成されている。
【０００７】
ところで、前記表示素子１の端子配列部２ａには、表示素子１の製造過程で付着したゴミや汚れ等の異物が残っていることが多く、前記端子配列部２ａの端子形成面に異物が付着していると、前記端子配列部２ａに搭載される駆動回路素子の各端子と、前記複数の駆動信号供給配線５及び外部回路接続配線６の駆動回路接続端子との間に接続不良が発生する。
【０００８】
一方、前記端子配列部２ａの端子形成面とは反対側の面である外面に付着した異物は、駆動回路の接続に直接は関与しないが、前記端子配列部２ａの外面に異物が付着していると、前記端子配列部２ａをその外面側から支持して行なわれる前記駆動回路素子の搭載に際して、前記端子配列部２ａと駆動回路素子との平行度に誤差を生じ、駆動回路の接続に影響を及ぼすことがある。
【０００９】
また、前記端子配列部２ａに駆動回路素子を搭載する際の位置合わせは、前記端子配列部２ａの外面側からテレビカメラにより前記位置合わせマーク７と駆動回路素子との相対位置を撮像してモニタにより視認することにより行なわれるが、前記端子配列部２ａの端子形成面または外面に異物が付着していると、位置合わせマーク７が見え難くなったり、異物を位置合わせマークと誤認したりし、前記駆動回路素子の各端子と、前記複数の駆動信号供給配線５及び外部回路接続配線６の駆動回路接続端子との間に接続不良を生じさせることがある。
【００１０】
そのため、前記表示素子１に駆動回路を接続不良を生じさせることなく接続するには、その接続前に、前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面と外面を拭き取り洗浄し、その両方の面に付着している異物を除去する必要がある。
【００１１】
前記表示素子１の端子配列部２ａの拭き取り洗浄は、従来、次のような洗浄装置により行なわれている。
【００１２】
図６及び図７は従来の洗浄装置の側面図及びその拭き取り洗浄部の平面図、図８は前記拭き取り洗浄部の拡大側面図である。
【００１３】
この洗浄装置は、前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄する第１の洗浄系１０ａと、前記端子配列部２ａの外面を拭き取り洗浄する第２の洗浄系１０ｂとからなっている。
【００１４】
前記第１と第２の洗浄系１０ａ，１０ｂは、それぞれ、繰出しリール１１から繰出され、巻取りリール１２に巻取られる液体含浸性をもった洗浄用テープ１３と、前記巻取りリール１２側において前記洗浄用テープ１３を送り駆動するテープ送りローラ１４及びピンチローラ１５と、前記繰出しリール１１から繰出された洗浄用テープ１３を折り返してその折り返し部を前記表示素子１の端子配列部２ａに押し付けるテープ押え板１６と、前記テープ押え板１６と繰出しリール１１及び巻取りリール１２との間に配置された複数のテープガイドローラ１７と、前記繰出しリール１１側のテープガイドローラ１７と前記テープ押え板１６との間に配置され、前記テープ押え板１６に向かう洗浄用テープ１３に洗浄液を含浸させる洗浄液供給ノズル１８とにより構成されている。
【００１５】
そして、前記第１の洗浄系１０ａと第２の洗浄系１０ｂは、それぞれの洗浄用テープ１３の送り方向（洗浄用テープ１３の長さ方向）を、図示しない搬送手段により端子配列部２ａの端子形成面（表示素子１の他方の基板３側の面）を上方に向けた状態で前記端子配列部２ａの張出し方向に対して直交する方向に搬送される表示素子１の搬送方向に対して直交させるとともに、前記第１の洗浄系１０ａのテープ押え板１６を、前記搬送手段により搬送される表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面(上面)に対向させ、前記第２の洗浄系１０ｂのテープ押え板１６を、前記表示素子１の端子配列部２ａの外面(下面)に対向させて配置されている。
【００１６】
この洗浄装置は、前記搬送手段により搬送される表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面を前記第１の洗浄系１０ａにより拭き取り洗浄し、前記端子配列部２ａの外面を前記第２の洗浄系１０ｂにより拭き取り洗浄するものであり、いずれの洗浄系１０ａ，１０ｂによる洗浄も、洗浄液供給ノズル１８により洗浄液を含浸された洗浄用テープ１３を前記テープ押え板１６により折り返して前記表示素子１の端子配列部２ａに押し付け、前記洗浄用テープ１３を送り駆動しながら前記表示素子１をその端子配列部２ａの長さ方向に搬送することにより、前記端子配列部２ａの両面をそれぞれその張出し方向に対して直交する方向に沿って拭き取ることにより行なわれている。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の洗浄装置は、洗浄用テープ１３の繰出しリール１１及び巻取りリール１２を備えた第１と第２の２つの洗浄系１０ａ，１０ｂを用い、表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面を第１の洗浄系１０ａにより拭き取り洗浄し、前記端子配列部２ａの外面を第２の洗浄系１０ｂにより拭き取り洗浄するものであるため、装置が複雑で大掛かりであり、しかも第１の洗浄系１０ａ用と、第２の洗浄系１０ｂ用との２本の洗浄用テープ１３が必要であるため、ランニングコストが嵩むという問題をもっている。
【００１８】
この発明は、構成が簡単で、しかも低コストに端子配列部の両面を拭き取り洗浄することができる端子配列部洗浄装置を提供することを目的としたものである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
この発明は、電子部品の縁部に形成され、少なくとも一方の面に複数の端子が配列された端子配列部を拭き取り洗浄するための洗浄装置において、端子配列部を有する電子部品を前記端子配列部の洗浄位置を経由して搬送する搬送手段と、繰出しリールから繰出され、巻取りリールに巻取られる液体含浸性をもった洗浄用テープと、少なくとも前記洗浄位置よりも前記洗浄用テープの送り方向における上流側において前記洗浄用テープに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記繰出しリールから繰出された前記洗浄用テープを、前記洗浄位置に搬送された前記電子部品の端子配列部の一方の面側に案内する第１のテープガイド手段と、前記洗浄液供給手段により供給された洗浄液が含浸した前記洗浄用テープを前記端子配列部の一方の面に押し付けて前記端子配列部の一方の面を拭き取り洗浄させる第１のテープ押え手段と、前記端子配列部の一方の面を拭き取り洗浄した前記洗浄用テープに捻りを加えてその一方と他方の面の向きを逆にするテープ捻り手段と、前記端子配列部の一方の面を拭き取り洗浄した前記洗浄用テープを前記洗浄位置の方向に折り返すテープ折り返し手段と、前記テープ捻り手段により一方と他方の面の向きを逆にされ、且つ前記テープ折り返し手段により折り返された前記洗浄用テープを前記洗浄位置に搬送された前記電子部品の端子配列部の他方の面側に案内する第２のテープガイド手段と、前記洗浄用テープを前記端子配列部の他方の面に押し付けて前記端子配列部の他方の面を拭き取り洗浄させる第２のテープ押え手段とを備えたことを特徴とするものである。
【００２０】
この端子配列部洗浄装置は、同じ洗浄用テープを用いて端子配列部の両面を拭き取り洗浄するものであり、繰出しリールから繰出された洗浄用テープに、少なくとも前記端子配列部の洗浄位置よりも洗浄用テープの送り方向における上流側において洗浄液供給手段により洗浄液を含浸させ、前記洗浄用テープを第１のテープガイド手段により前記端子配列部の一方の面側に案内し、その洗浄用テープを第１のテープ押え手段により前記端子配列部の一方の面に押し付けて前記端子配列部の一方の面を拭き取り洗浄した後、前記洗浄用テープを、テープ捻り手段により捻りを加えてその一方と他方の面の向きを逆にするとともに、テープ折り返し手段により前記洗浄位置の方向に折り返して第２のテープガイド手段により前記端子配列部の他方の面側に案内し、その洗浄用テープを第２のテープ押え手段により前記端子配列部の他方の面に押し付けて前記端子配列部の他方の面を拭き取り洗浄する。
【００２１】
この端子配列部洗浄装置は、同じ洗浄用テープを用いて端子配列部の両面を拭き取り洗浄するものであるため、洗浄用テープの繰出しリールと巻取りリールは１つずつでよく、また洗浄用テープも１本でよい。
【００２２】
したがって、この端子配列部洗浄装置によれば、構成が簡単で、しかも低コストに端子配列部の両面を拭き取り洗浄することができる。
【００２３】
このように、この発明の端子配列部洗浄装置は、同じ洗浄用テープを用いて端子配列部の両面を拭き取り洗浄することにより、構成を簡単にし、しかも低コストに端子配列部の両面を拭き取り洗浄することができるようにしたものである。
【００２４】
この発明の端子配列部洗浄装置において、前記電子部品が例えば互いに対向する一対の基板間に電気光学物質層が設けられるとともに、少なくとも一方の基板に、他方の基板の外方に張出す端子配列部が形成された表示素子である場合、前記洗浄用テープは、前記表示素子の端子配列部の張出し幅よりも大きい幅を有しており、前記第１と第２のテープガイド手段はそれぞれ、前記洗浄用テープを前記端子配列部の張出し方向に対して直交する方向と平行な方向に案内する複数のガイドローラからなり、前記第１と第２のテープ押え手段はそれぞれ、前記テープガイド手段により案内される前記洗浄用テープを、その背後から前記端子配列部に押し付けるテープ押え板からなっているのが好ましい。
【００２５】
さらに、その場合、前記表示素子の端子配列部の他方の基板側の面に前記洗浄用テープを押し付けるテープ押え板は、前記洗浄用テープの前記端子配列部の張出し端側に対応するテープ縁の位置を規制し、前記洗浄用テープの反対側のテープ縁を前記端子配列部電子部品の他方の基板側の面と他方の基板の端面との間のコーナー部押し付けるテープ案内部を有しているのが好ましい。
【００２６】
【発明の実施の形態】
図１〜図４はこの発明の一実施例を示しており、図１は洗浄装置の斜視図、図２は前記洗浄装置の拭き取り洗浄部の側面図、図３は前記拭き取り洗浄部の拡大断面図、図４は前記洗浄装置による端子配列部の拭き取り洗浄状態を示す拡大側面図である。なお、この実施例の洗浄装置は、図５に示した液晶表示素子（以下、表示素子と言う）１の端子配列部２ａを拭き取り洗浄するためのものである。
【００２７】
この洗浄装置は、図１に示したように、前記表示素子１をその端子配列部２ａの洗浄位置を経由して搬送する素子搬送手段２０と、繰出しリール２１から繰出され、巻取りリール２２に巻取られる１本の洗浄用テープ２３と、前記洗浄用テープ２３を送り駆動するテープ送り手段２４と、前記繰出しリール２１から繰出された洗浄用テープ２３を前記洗浄位置に搬送された表示素子１の一方の基板２の端子配列部２ａの端子形成面（表示素子１の他方の基板３側の面）側に案内する第１のテープガイド手段２５と、前記端子配列部２ａの端子形成面側に案内される洗浄用テープ２３に洗浄液を供給する第１の洗浄液供給手段２６と、前記第１の洗浄液供給手段２６により供給された洗浄液が含浸した洗浄用テープ２３を前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面に押し付けて前記端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄させる第１のテープ押え手段２７と、前記端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄した洗浄用テープ２３に捻りを加えてその一方と他方の面の向きを逆にするテープ捻り手段２８と、前記端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄した洗浄用テープ２３を前記洗浄位置の方向に折り返すテープ折り返し手段２９と、前記テープ捻り手段２８により一方と他方の面の向きを逆にされ、且つ前記テープ折り返し手段２９により折り返された前記洗浄用テープを前記洗浄位置に搬送された表示素子１の端子配列部２ａの他方の面である外面側に案内する第２のテープガイド手段３０と、前記端子配列部２ａの外面側に案内される洗浄用テープ２３に洗浄液を供給する第２の洗浄液供給手段３１と、前記第２の洗浄液供給手段３１により供給された洗浄液が含浸した洗浄用テープ２３を前記表示素子１の端子配列部２ａの外面に押し付けて前記端子配列部２ａの外面を拭き取り洗浄させる第２のテープ押え手段３２とを備えている。
【００２８】
前記洗浄用テープ２３は、例えば不織布テープ等の液体含浸性をもったテープであり、この洗浄用テープ２３は、前記表示素子１の端子配列部２ａの張出し幅よりも大きい幅を有している。
【００２９】
そして、前記洗浄用テープ２３の繰出しリール２１と巻取りリール２２のうち、繰出しリール２１は、前記素子搬送手段２０により端子配列部２ａの洗浄位置を経由して搬送される表示素子１の搬送路（以下、素子搬送路と言う）の上方に配置され、巻取りリール２２は、前記素子搬送路の下方に配置されている。
【００３０】
前記テープ送り手段２４は、前記表示素子１の搬送速度よりも速い速度で前記洗浄用テープ２３を送り駆動するものであり、前記巻取りリール１２の近傍に位置させて前記素子搬送路の下方に配置されたテープ送りローラ３３とピンチローラ３４とからなっている。
【００３１】
前記第１のテープガイド手段２５は、前記繰出しリール２１から繰出された洗浄用テープ２３を、前記洗浄用テープ２３に端子配列部２ａを対向させるとともに前記端子配列部２ａの端子形成面を上方に向けた状態で前記素子搬送路を搬送される表示素子１のうち、前記洗浄位置に搬送された表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面側（端子配列部２ａの上側）に案内するものであり、この第１のテープガイド手段２５は、前記洗浄位置を挟んで洗浄用テープ２３の送り方向における上流側と下流側の上方に配置され、前記洗浄用テープ２３を前記表示素子１の端子配列部２ａの張出し方向に対して直交する方向（以下、端子配列部２ａの長さ方向と言う）と平行な方向に案内する２つのガイドローラ３５，３６からなっている。
【００３２】
なお、前記繰出しリール２１と前記第１のテープガイド手段２５との間には、繰出しリール２１から繰出された洗浄用テープ２３を前記第１のテープガイド手段２５の上流側ガイドローラ３５に案内する補助ガイドローラ３７が配置されている。
【００３３】
前記第１のテープガイド手段２５の上流側と下流側のガイドローラ３５，３６は、前記素子搬送路を搬送される表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面のレベルよりも上方に配置されており、前記洗浄用テープ２３は、前記上流側と下流側のガイドローラ３５，３６の下を通され、これらのガイドローラ３５，３６により、前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面の上方を、前記端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内されている。
【００３４】
前記第１の洗浄液供給手段２６は、リグロインや各種アルコール系有機溶剤等の洗浄液を前記洗浄用テープ２３に噴射する洗浄液噴射ノズル３８からなっており、この洗浄液噴射ノズル３８は、その噴射端を、前記第１のテープガイド手段２５の上流側ガイドローラ３５と前記洗浄位置との間において前記洗浄用テープ２３に対向させて配置されている。
【００３５】
前記第１のテープ押え手段２７は、前記洗浄位置の上方に図示しないテープ接離機構に支持されて配置され、前記第１のテープガイド手段２５の上流側と下流側のガイドローラ３５，３６により前記表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内される洗浄用テープ２３の略全幅を、その背後（上方）から表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面に押し付けるテープ押え板３９からなっている。
【００３６】
前記テープ押え板３９は、前記洗浄用テープ２３を、前記表示素子１の端子配列部２ａの張出し端側とは反対側のテープ縁を除いてその略全幅にわたり前記端子配列部２ａの端子形成面に押し付ける矩形状の板材である。
【００３７】
このテープ押え板３９は、その洗浄用テープ当接面の一側縁に沿って突出形成されたテープ案内部３９ａを有している。このテープ案内部３９ａは、前記洗浄用テープ２３の前記表示素子１の端子配列部２ａの張出し端側に対応するテープ縁の位置を規制し、反対側のテープ縁を前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面と他方の基板３の端面との間のコーナー部（枠状シール材４の外面）に押し付けるために設けられている。
【００３８】
前記テープ捻り手段２８は、前記第１のテープガイド手段２５の下流側ガイドローラを兼ねる第１の捻りガイドローラ３６と、この第１の捻りガイドローラ３６よりもさらに下流側に配置された第２の捻りガイドローラ４０とからなっており、前記洗浄用テープ２３は、前記第１の捻りガイドローラ３６の下から引出されて１８０度の捻りを加えられ、その一方と他方の面の向きが逆になった状態で前記第２の捻りガイドローラ４０の上に掛け回されている。
【００３９】
なお、前記テープ捻り手段２８の第２の捻りガイドローラ４０は、前記素子搬送路の始端よりも外側に配置されており、このガイドローラ４０に掛け回された前記洗浄用テープ２３は、前記素子搬送路の始端の外側を前記素子搬送路の下方に導かれている。
【００４０】
また、前記テープ折り返し手段２９は、前記素子搬送路の始端の外側の下方に配置され、前記テープ捻り手段２８の第２の捻りガイドローラ４０に掛け回されて下方に導かれた前記洗浄用テープ２３を前記洗浄位置の方向に折り返し案内する折り返しガイドローラ４１からなっている。
【００４１】
前記第２のテープガイド手段３０は、前記テープ捻り手段２８により一方と他方の面の向きを逆にされ、且つ前記テープ折り返し手段２９により折り返された洗浄用テープ２３を、上述したように洗浄用テープ２３に端子配列部２ａを対向させるとともに前記端子配列部２ａの端子形成面を上方に向けた状態で前記素子搬送路を搬送される表示素子１のうち、前記洗浄位置に搬送された表示素子１の端子配列部２ａの外面側（端子配列部２ａの下側）に案内するものであり、この第２のテープガイド手段３０は、前記洗浄位置を挟んで洗浄用テープ２３の送り方向における上流側と下流側の上方に配置され、前記洗浄用テープ２３を前記表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内する２つのガイドローラ４２，４３からなっている。
【００４２】
この第２のテープガイド手段３０の上流側と下流側のガイドローラ４２，４３は、前記素子搬送路を搬送される表示素子１の端子配列部２ａの外面のレベルよりも下方に配置されており、前記洗浄用テープ２３は、前記上流側と下流側のガイドローラ４２，４３の上を通され、これらのガイドローラ４２，４３により、前記表示素子１の端子配列部２ａの外面よりも下方の位置を、前記端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内されている。
【００４３】
なお、前記第２のテープガイド手段３０により案内されてその下流側に導かれた洗浄用テープ２３は、上述したテープ送り手段２４を経て巻取りリール２２に巻取られている。
【００４４】
前記第２の洗浄液供給手段３１は、上述した洗浄液を前記洗浄用テープ２３に噴射する洗浄液噴射ノズル４４からなっており、この洗浄液噴射ノズル４４は、その噴射端を、前記第２のテープガイド手段３０の上流側ガイドローラ４２と前記洗浄位置との間において前記洗浄用テープ２３に対向させて配置されている。
【００４５】
前記第２のテープ押え手段３２は、前記洗浄位置の下方に図示しないテープ接離機構に支持されて配置され、前記第２のテープガイド手段３０の上流側と下流側のガイドローラ４２，４３により表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内される洗浄用テープ２３の略全幅を、その背後（下方）から前記表示素子１の端子配列部２ａの外面に押し付けるテープ押え板４５からなっている。
【００４６】
なお、この実施例では、前記テープ押え板４５を、上述した第１のテープ押え手段２７のテープ押え板３９と同じ大きさと形状の矩形状板材としており、したがって、この第２のテープ押え手段３２のテープ押え板４５も、前記洗浄用テープ２３の前記表示素子１の端子配列部２ａの張出し端側のテープ縁の位置を規制するテープ案内部４５ａを有している。
【００４７】
また、この第２のテープ押え手段３２のテープ押え板４５は、前記第１のテープ押え手段２７のテープ押え板３９に対向させて配置されている。
【００４８】
この洗浄装置による表示素子１の端子配列部２ａの拭き取り洗浄は、次のようにして行なわれる。
【００４９】
前記表示素子１は、図示しない素子搬入手段により前記素子搬送路の始端にその側方から図１に仮想線（二点鎖線）で示したように搬入され、素子搬送手段２０により、端子配列部２ａを素子搬送路の一側に向けるとともに前記端子配列部２ａの端子形成面を上に向けた状態で保持されて前記素子搬送路を搬送される。
【００５０】
なお、前記図示しない素子搬入手段は、複数の表示素子１を順次前記素子搬送路Ａの始端に搬入する。また、図１では前記素子搬入手段２０を簡略化して仮想線（二点鎖線）で示しているが、この素子搬送手段２０は、前記素子搬入手段により搬入された複数の表示素子１を、前記洗浄用テープ２３に端子配列部２ａを対向させるとともに前記端子配列部２ａの端子形成面を上方に向けて一定間隔で保持し、これらの表示素子１を一定速度で連続的に搬送する。
【００５１】
一方、前記洗浄用テープ２３は、前記テープ送り手段２４により、前記素子搬送路を搬送される表示素子１が端子配列部２ａの洗浄位置に到達する直前に送りを開始し、前記表示素子１が前記洗浄位置を通過した後に送りを停止するタイミングで間欠的に送り駆動される。
【００５２】
また、前記洗浄液噴射ノズル２６，３８からなる第１と第２の洗浄液供給手段２６，３１は、前記洗浄用テープ２３の送り時間中、継続して洗浄液を噴射し、その洗浄液を前記洗浄用テープ２３に含浸させる。
【００５３】
さらに、前記第１と第２のテープ押え手段２７，３２であるテープ押え板３９，４５はそれぞれ、表示素子１の端子配列部２ａの洗浄開始に先立って、図示しないテープ接離機構により図１に示した初期位置から洗浄用テープ２３側に押し出され、前記第１と第２のテープガイド手段２５，３０の上流側と下流側のガイドローラ３５，３６及び４２，４３により前記表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内されている前記洗浄用テープ２３を、図２及び図３に示したように、前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面及び外面に適度な接触圧で押し付けるように支持する。
【００５４】
したがって、前記素子搬送路を端子配列部２ａの洗浄位置に搬送されてきた表示素子１は、洗浄液を含浸され、前記テープ押え板３９，４５により前記端子配列部２ａの端子形成面及び外面に適度な接触圧で押し付けられるように支持された状態で前記端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に送り駆動されている前記洗浄用テープ２３により、前記端子配列部２ａの端子形成面及び外面を拭き取り洗浄される。
【００５５】
図４において、（ａ）は前記表示素子１の端子配列部２ａが洗浄位置に進入する直前の状態、（ｂ）及び（ｃ）は前記端子配列部２ａが洗浄位置を通過している途中の状態、（ｄ）は前記端子配列部２ａが洗浄位置を通過し終わった状態を示している。
【００５６】
前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面の拭き取り洗浄は、繰出しリール２１から繰出され、第１の洗浄液供給手段２６により洗浄液を含浸された未使用の洗浄用テープ２３により行なわれる。
【００５７】
すなわち、図４のように、前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面（図において上面）は、洗浄液を含浸され、前記テープ押え板３９により前記端子配列部２ａの端子形成面に適度な接触圧で押し付けられた状態で前記表示素子１の搬送方向と反対方向に送り駆動されている洗浄用テープ２３により拭き取り洗浄される。
【００５８】
この端子配列部２ａの端子形成面の拭き取り洗浄においては、前記端子形成面に押し付けられる洗浄用テープ２３が未使用テープであり、しかも、前記洗浄用テープ２３の送り方向が表示素子１の搬送方向とは反対方向であるため、前記端子形成面の全域を、前記洗浄用テープ２３の未使用面により拭き取ることができる。
【００５９】
さらに、前記洗浄用テープ２３は、前記テープ押え板３９により背後から支持されている部分だけにおいて前記端子形成面に押し付けられるため、前記端子形成面から拭き取られて洗浄用テープ２３に付着した異物ａが前記端子配列部２ａの端子形成面に再付着することは無く、したがって、前記端子配列部２ａの端子形成面を良好に拭き取り洗浄することができる。
【００６０】
また、前記表示素子１の端子配列部２ａの外面の拭き取り洗浄は、前記端子配列部２ａの端子形成面の拭き取り洗浄後にテープ捻り手段２８により捻りを加えられて一方と他方の面の向きを逆にされ、さらにテープ折り返し手段２９により折り返されて第２の洗浄液供給手段３１により洗浄液を再含浸された使用済みの洗浄用テープ２３により行なわれる。
【００６１】
この端子配列部２ａの外面の拭き取り洗浄において、前記端子形成面に押し付けられる洗浄用テープ２３は、前記端子配列部２ａの端子形成面の拭き取り洗浄に使用された使用済みテープであるが、前記端子形成面から拭き取られた異物ａは、前記洗浄用テープ２３の一方の面、つまり前記端子形成面に押し付けられた面に付着しているため、前記洗浄用テープ２３の他方の面は、図４のように未使用状態にある。
【００６２】
また、この端子配列部２ａの外面の拭き取り洗浄においては、洗浄用テープ２３の送り方向が表示素子１の搬送方向と同じ方向であるが、前記洗浄用テープ２３は上述したように、テープ送り手段２４により表示素子１の搬送速度よりも速い速度で送り駆動されるため、前記端子配列部２ａの外面の全域を、前記洗浄用テープ２３の未使用面により拭き取ることができる。
【００６３】
そして、この端子配列部２ａの外面の拭き取り洗浄においても、前記洗浄用テープ２３は、前記テープ押え板４５により背後から支持されている部分だけにおいて前記端子配列部２ａの外面に押し付けられるため、前記端子配列部２ａの外面から拭き取られて洗浄用テープ２３に付着した異物ｂが前記端子配列部２ａの外面に再付着することは無く、したがって、前記端子配列部２ａの外面も良好に拭き取り洗浄することができる。
【００６４】
なお、前記端子配列部２ａの外面を拭き取り洗浄した洗浄用テープ２３は、巻取りリール２２に巻取られる。
【００６５】
このように、上記洗浄装置は、同じ洗浄用テープ２３を用いて表示素子１の端子配列部２ａの両面を拭き取り洗浄するものであり、繰出しリール２１から繰出された洗浄用テープ２３を第１のテープガイド手段２５により端子配列部２ａの洗浄位置を搬送される表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面側に案内してその洗浄用テープ２３に第１の洗浄液供給手段２６により洗浄液を含浸させ、その洗浄用テープ２３を第１のテープ押え手段２７により前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面に押し付けて前記端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄した後、前記洗浄用テープ２３を、テープ捻り手段２８により捻りを加えてその一方と他方の面の向きを逆にするとともに、テープ折り返し手段２９により前記洗浄位置の方向に折り返して第２のテープガイド手段３０により前記表示素子１の端子配列部２ａの外面側に案内し、その洗浄用テープ２３に第２の洗浄液供給手段３１により再び洗浄液を含浸させ、洗浄液を再含浸された前記洗浄用テープ２３を第２のテープ押え手段３２により前記表示素子１の端子配列部２ａの外面に押し付けて前記端子配列部２ａの外面を拭き取り洗浄する。
【００６６】
この洗浄装置は、同じ洗浄用テープ２３を用いて表示素子１の端子配列部２ａの両面を拭き取り洗浄するものであるため、洗浄用テープ２３の繰出しリール２１と巻取りリール２２は１つずつでよく、また洗浄用テープ２３も１本でよい。
【００６７】
したがって、この洗浄装置によれば、図６〜図８に示した従来の洗浄装置に比べて構成を大幅に簡単にし、しかも低いランニングコストで表示素子１の端子配列部２ａの両面を拭き取り洗浄することができる。
【００６８】
また、図６〜図８に示した従来の洗浄装置は、第１と第２の２つの洗浄系１０ａ，１０ｂの洗浄用テープ１３の送り方向が表示素子１の搬送方向に対して直交する方向であるため、搬送されてきた表示素子１の端子配列部２ａの側面がテープ押え板１６により折り返された洗浄用テープ１３の側面にぶつかって洗浄不能となるのを防ぐには、前記端子配列部２ａの一端部が前記テープ押え板１６に対向する洗浄位置に進入するのを待って前記洗浄用テープ１３の折り返し部を前記端子配列部２ａの端子形成面と外面とに押し付けなければならず、そのために、前記端子配列部２ａの端子形成面と外面の一端側の拭き取り洗浄が確実に行なわれず、その部分に異物が残ることがある。
【００６９】
それに対して、上記実施例の洗浄装置は、前記表示素子１の端子配列部２ａの張出し幅よりも大きい幅を有する洗浄用テープ２３を用い、前記第１と第２のテープガイド手段２５，３０をそれぞれ、前記端子配列部２ａの洗浄位置を挟んで洗浄用テープ２３の送り方向における上流側と下流側に配置され、前記洗浄用テープ２３を前記表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内する２つのガイドローラ３５，３６及び４２，４３により構成するとともに、前記第１と第２のテープ押え手段２７，３２をそれぞれ、前記テープガイド手段２５，３０により案内される前記洗浄用テープ２３を、その背後から表示素子１の端子配列部２ａに押し付けるテープ押え板３９，４５により構成しているため、前記表示素子１の端子配列部２ａの両面をそれぞれ、その全域にわたって確実に拭き取り洗浄することができる。
【００７０】
さらに、従来の洗浄装置は、表示素子１の搬送方向に対して直交する方向に送られる洗浄用テープ１３をテープ押え板１６により折り返し、その折り返し部を前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面と外面とに押し付けるようにしているため、前記洗浄用テープ１３のテープ押え板１６の角部に対応する屈曲部の外周面が図８に示したような湾曲面となり、そのために、前記端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄する洗浄用テープ１３が、前記端子配列部２ａの端子形成面と他方の基板３の端面との間のコーナー部（枠状シール材４の外面）に接触せず、そのコーナー部に異物が残って、前記端子形成面に形成された複数の配線間や端子間に短絡を発生させる原因となることがある。
【００７１】
それに対して、上記実施例の洗浄装置は、前記洗浄用テープ２３を前記ガイドローラ３５，３６及び４２，４３により表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内するとともに、前記第１と第２のテープ押え手段２７，３２を構成するテープ押え板３９，４５のうち、表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面に洗浄用テープ２３を押し付けるテープ押え板３９に、前記洗浄用テープ２３の前記端子配列部２ａの張出し端側のテープ縁の位置を規制し、前記洗浄用テープ２３の反対側のテープ縁を前記端子配列部２ａの端子形成面と他方の基板３の端面との間のコーナー部に押し付けるテープ案内部３９ａを設けているため、前記コーナー部も確実に拭き取り洗浄することができる。
【００７２】
また、上記実施例では、表示素子１の端子配列部２ａの外面に洗浄用テープ２３を押し付けるテープ押え板４５にも、前記洗浄用テープ２３の前記端子配列部２ａの張出し端側のテープ縁の位置を規制するテープ案内部４５ａを設けているため、端子配列部２ａの外面も、前記端子形成面の拭き取り幅と同じ幅で拭き取り洗浄することができる。
【００７３】
なお、上記実施例では、表示素子１の搬送方向と反対方向に送られる洗浄用テープ２３により前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄し、一方と他方の面の向きを逆にして折り返され、表示素子１の搬送方向と同じ方向に送られる洗浄用テープ２３により前記端子配列部２ａの外面を拭き取り洗浄しているが、前記表示素子１の搬送方向を上記実施例と逆にし、表示素子１の搬送方向と同じ方向に送られる洗浄用テープ２３により前記表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面を拭き取り洗浄し、表示素子１の搬送方向と反対方向に送られる洗浄用テープ２３により前記端子配列部２ａの外面を拭き取り洗浄するようにしてもよい。
【００７４】
また、上記実施例では、洗浄用テープ２３を表示素子１の搬送速度よりも速い速度で送り駆動しているが、前記洗浄用テープ２３の送り速度は、表示素子１の搬送速度と同じでなければ、前記表示素子１の搬送速度よりも遅くしてもよい。
【００７５】
さらに、前記端子配列部２ａの拭き取り洗浄は、被洗浄物である表示素子１と前記洗浄テープ２３の何れか一方だけを移動させて行なってよい。
【００７６】
すなわち、前記端子配列部２ａの拭き取り洗浄は、例えば、前記洗浄テープ２３の送りをその未使用面が洗浄位置にきたところで停止し、その状態で表示素子１だけを搬送することにより行ない、洗浄された表示素子１が洗浄位置から搬出された後に、前記洗浄テープ２３をその未使用面が洗浄位置にくるまで送り駆動して次の表示素子１の端子配列部２ａを拭き取り洗浄するようにしてもよい。
【００７７】
このように、洗浄用テープ２３の送りを停止し、表示素子１だけを搬送してその端子配列部２ａを拭き取り洗浄する場合は、前記端子配列部２ａの両面をそれぞれ前記洗浄用テープ２３の同じ部分で拭き取ることになるが、１つの表示素子１の端子配列部２ａを洗浄する間に洗浄用テープ２３に付着する異物ａ，ｂの量は極く僅かであるため、前記洗浄用テープ２３に付着した異物ａ，ｂが前記端子配列部２ａに再付着することは無く、したがって、前記端子配列部２ａの両面をそれぞれその全域にわたって充分良好に洗浄することができる。
【００７８】
また、前記端子配列部２ａの拭き取り洗浄は、素子搬送手段２０により搬送されてきた表示素子１を前記洗浄位置で停止させ、その状態で洗浄テープ２３だけを送り駆動することにより行ない、その後に、端子配列部２ａを洗浄された前記表示素子１を前記洗浄位置から搬出するようにしてもよい。
【００７９】
このように、表示素子１を洗浄位置で停止させ、洗浄用テープ２３だけを送り駆動して前記端子配列部２ａを拭き取り洗浄する場合は、前記テープ押え板３９，４５の長さを前記端子配列部２ａの長さよりも大きくし、前記洗浄テープ２３を前記端子配列部２ａにその全長にわたって押し付けるようにすればよく、このようにすることにより、前記端子配列部２ａの両面をそれぞれ確実に洗浄することができる。
【００８０】
さらにまた、前記端子配列部２ａの端子形成面とその反対側の面である外面は、同時にではなく、異なるタイミングで洗浄するようにしてもよい。
【００８１】
その場合は、前記端子配列部２ａの端子形成面の洗浄時と、前記端子配列部２ａの外面の洗浄時とで、表示素子１の搬送方向を切り換え、いすれの面の洗浄も、その面に押し付けられる洗浄テープ２３の送り方向に対して反対方向に表示素子１を搬送して行なうのが好ましく、このようにすることにより、前記端子配列部２ａの両面をそれぞれ良好に拭き取り洗浄することができる。
【００８２】
しかも、この場合は、洗浄用テープ２３の送り速度が遅くても前記端子配列部２ａの両面を良好に洗浄することができるため、前記洗浄テープ２３の送り速度を遅くし、洗浄テープ２３の使用時間を長くして、ランニングコストをより低くすることができる。
【００８３】
また、上記実施例では、表示素子１の端子配列部２ａの端子形成面側に案内される洗浄用テープ２３に洗浄液を供給する第１の洗浄液供給手段２６と、前記端子配列部２ａの他方の面である外面側に案内される洗浄用テープ２３に洗浄液を供給する第２の洗浄液供給手段３１とを備えているが、洗浄液供給手段は、少なくとも前記端子配列部２ａの洗浄位置よりも洗浄用テープ２３の送り方向における上流側にあればよい。
【００８４】
また、上記実施例では、第１と第２のテープガイド手段２５，３０をそれぞれ、端子配列部２ａの洗浄位置を挟んで洗浄用テープ２３の送り方向における上流側と下流側の上方に配置された２つのガイドローラ３５，３６及び４２，４３により構成しているが、これらのテープガイド手段２５，３０は、洗浄用テープ２３を表示素子１の端子配列部２ａの長さ方向と平行な方向に案内することができれば、２つ以上の複数のガイドローラにより構成してもよい。
【００８５】
またさらに、上記実施例では、洗浄用テープ２３を案内するガイドローラ数を少なくして洗浄装置の構成をより簡単にするため、第１のテープガイド手段２５の下流側のガイドローラと、テープ捻り手段２８の第１の捻りガイドローラ３６とを１つのローラで兼用しているが、前記第１のテープガイド手段２５の下流側のガイドローラと、前記テープ捻り手段２８の第１の捻りガイドローラ３６は、別のローラとしてもよく、その場合は、前記テープ捻り手段２８を、テープ折り返し手段２９と第２のテープガイド手段３０との間に配置してもよい。
【００８６】
また、上記実施例では、表示素子１の端子配列部２ａの外面に洗浄用テープ２３を押し付けるテープ押え板４５にも、前記洗浄用テープ２３の前記端子配列部２ａの張出し端側のテープ縁の位置を規制するテープ案内部４５ａを設けているが、このテープ押え板４５のテープ案内部４５ａは省略してもよい。
【００８７】
また、この発明の端子配列部洗浄装置は、図５に示した駆動回路搭載型の表示素子１に限らず、外部の駆動回路にフィルム状配線基板等を介して接続される複数の端子が配列された端子配列部を有する表示素子の端子配列部の拭き取り洗浄にも適用することができる。
【００８８】
さらに、この発明の端子配列部洗浄装置は、互いに対向する一対の基板間に電気光学物質層が設けられるとともに、少なくとも一方の基板に、他方の基板の外方に張出す端子配列部が形成された表示素子（電気光学物質層が液晶層である液晶表示素子でも、電気光学物質層がエレクトロクロミック等である他の表示素子でもよい）に限らず、例えば、縁部に少なくとも一方の面に複数の端子が配列された端子配列部が形成された配線基板等の電子部品の端子配列部の拭き取り洗浄に広く適用することができる。
【００８９】
【発明の効果】
この発明の端子配列部洗浄装置は、繰出しリールから繰出された洗浄用テープに、少なくとも電子部品の端子配列部を洗浄する洗浄位置よりも洗浄用テープの送り方向における上流側において洗浄液供給手段により洗浄液を含浸させ、前記洗浄用テープを第１のテープガイド手段により前記端子配列部の一方の面側に案内し、その洗浄用テープを第１のテープ押え手段により前記端子配列部の一方の面に押し付けて前記端子配列部の一方の面を拭き取り洗浄した後、前記洗浄用テープを、テープ捻り手段により捻りを加えてその一方と他方の面の向きを逆にするとともに、テープ折り返し手段により前記洗浄位置の方向に折り返して第２のテープガイド手段により前記端子配列部の他方の面側に案内し、その洗浄用テープを第２のテープ押え手段により前記端子配列部の他方の面に押し付けて前記端子配列部の他方の面を拭き取り洗浄するものであるため、構成を簡単にし、しかも低コストに端子配列部の両面を拭き取り洗浄することができる。
【００９０】
この発明の洗浄装置において、前記電子部品が例えば互いに対向する一対の基板間に電気光学物質層が設けられるとともに、少なくとも一方の基板に、他方の基板の外方に張出す端子配列部が形成された表示素子である場合、前記洗浄用テープは、前記表示素子の端子配列部の張出し幅よりも大きい幅を有しており、前記第１と第２のテープガイド手段はそれぞれ、前記洗浄用テープを前記端子配列部の張出し方向に対して直交する方向と平行な方向に案内する複数のガイドローラからなり、前記第１と第２のテープ押え手段はそれぞれ、前記テープガイド手段により案内される前記洗浄用テープを、その背後から前記端子配列部に押し付けるテープ押え板からなっているのが好ましく、このようにすることにより、前記表示素子の端子配列部の両面をそれぞれ、その全域にわたって確実に拭き取り洗浄することができる。
【００９１】
さらに、その場合、前記表示素子の一方の基板に形成された端子配列部の他方の基板側の面に洗浄用テープを押し付けるテープ押え板は、前記洗浄用テープの前記端子配列部の張出し端側に対応するテープ縁の位置を規制し、前記洗浄用テープの反対側のテープ縁を前記端子配列部の他方の基板側の面と他方の基板の端面との間のコーナー部電子部品に押し付けるテープ案内部を有しているのが好ましく、このようにすることにより、前記端子配列部の端子形成面と前記他方の基板の端面との間のコーナー部も確実に拭き取り洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例を示す端子配列部洗浄装置の斜視図。
【図２】前記洗浄装置の拭き取り洗浄部の側面図。
【図３】前記拭き取り洗浄部の拡大断面図。
【図４】前記洗浄装置による端子配列部の拭き取り洗浄状態を示す拡大側面図。
【図５】端子配列部を有する電子部品の一つである表示素子の斜視図。
【図６】従来の端子配列部洗浄装置の側面図。
【図７】従来の端子配列部洗浄装置の拭き取り洗浄部の平面図。
【図８】従来の端子配列部洗浄装置の拭き取り洗浄部の拡大側面図。
【符号の説明】
１…表示素子（電子部品）
２，３…基板
２ａ…端子配列部
４…シール材
５…駆動信号供給配線
６…外部回路接続配線６
７…位置合わせマーク
２０…搬送手段
２１…繰出しリール
２２…巻取りリール
２３…洗浄用テープ
２４…テープ送り手段
２５…第１のテープガイド手段
２６…第１の洗浄液供給手段
２７…第１のテープ押え手段
２８…テープ捻り手段
２９…テープ折り返し手段
３０…第２のテープガイド手段
３１…第２の洗浄液供給手段
３２…第２のテープ押え手段
３５，３６，４２，４３…ガイドローラ
３９，４５…テープ押え板
３９ａ，４５ａ…テープ案内部
Claims (3)
- 電子部品の縁部に形成され、少なくとも一方の面に複数の端子が配列された端子配列部を拭き取り洗浄するための洗浄装置において、
前記電子部品を前記端子配列部の洗浄位置を経由して搬送する搬送手段と、
繰出しリールから繰出され、巻取りリールに巻取られる液体含浸性をもった洗浄用テープと、
少なくとも前記洗浄位置よりも前記洗浄用テープの送り方向における上流側において前記洗浄用テープに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
前記繰出しリールから繰出された前記洗浄用テープを、前記洗浄位置に搬送された前記電子部品の端子配列部の一方の面側に案内する第１のテープガイド手段と、
前記洗浄液供給手段により供給された洗浄液が含浸した前記洗浄用テープを前記端子配列部の一方の面に押し付けて前記端子配列部の一方の面を拭き取り洗浄させる第１のテープ押え手段と、
前記端子配列部の一方の面を拭き取り洗浄した前記洗浄用テープに捻りを加えてその一方と他方の面の向きを逆にするテープ捻り手段と、
前記端子配列部の一方の面を拭き取り洗浄した前記洗浄用テープを前記洗浄位置の方向に折り返すテープ折り返し手段と、
前記テープ捻り手段により一方と他方の面の向きを逆にされ、且つ前記テープ折り返し手段により折り返された前記洗浄用テープを前記洗浄位置に搬送された前記電子部品の端子配列部の他方の面側に案内する第２のテープガイド手段と、
前記洗浄用テープを前記端子配列部の他方の面に押し付けて前記端子配列部の他方の面を拭き取り洗浄させる第２のテープ押え手段とを備えたことを特徴とする端子配列部洗浄装置。 - 電子部品は、互いに対向する一対の基板間に電気光学物質層が設けられるとともに、少なくとも一方の基板に、他方の基板の外方に張出す端子配列部が形成された表示素子であり、洗浄用テープは、前記表示素子の端子配列部の張出し幅よりも大きい幅を有しており、第１と第２のテープガイド手段はそれぞれ、前記洗浄用テープを前記端子配列部の張出し方向に対して直交する方向と平行な方向に案内する複数のガイドローラからなり、第１と第２のテープ押え手段はそれぞれ、前記テープガイド手段により案内される前記洗浄用テープを、その背後から前記端子配列部に押し付けるテープ押え板からなっていることを特徴とする請求項１に記載の端子配列部洗浄装置。
- 表示素子の端子配列部の他方の基板側の面に洗浄用テープを押し付けるテープ押え板は、前記洗浄用テープの前記端子配列部の張出し端側に対応するテープ縁の位置を規制し、前記洗浄用テープの反対側のテープ縁を前記端子配列部の他方の基板側の面と他方の基板の端面との間のコーナー部電子部品に押し付けるテープ案内部を有していることを特徴とする請求項２に記載の端子配列部洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002197281A JP4114416B2 (ja) | 2002-07-05 | 2002-07-05 | 端子配列部洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002197281A JP4114416B2 (ja) | 2002-07-05 | 2002-07-05 | 端子配列部洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004033970A JP2004033970A (ja) | 2004-02-05 |
| JP4114416B2 true JP4114416B2 (ja) | 2008-07-09 |
Family
ID=31705096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002197281A Expired - Fee Related JP4114416B2 (ja) | 2002-07-05 | 2002-07-05 | 端子配列部洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4114416B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102176981A (zh) * | 2008-10-31 | 2011-09-07 | 松下电器产业株式会社 | 基板清洗装置及其方法 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011031331A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Seiko Epson Corp | レンズクリーニング装置 |
| JP2011039116A (ja) * | 2009-08-06 | 2011-02-24 | Hitachi High-Technologies Corp | Ｆｐｄパネル実装装置及び実装方法 |
| JP2011085642A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Hitachi High-Technologies Corp | Ｆｐｄパネル実装装置及び実装方法 |
| CN102596434A (zh) * | 2009-11-04 | 2012-07-18 | 夏普株式会社 | 擦拭清扫装置和擦拭清扫方法 |
| JP5429018B2 (ja) * | 2010-04-16 | 2014-02-26 | パナソニック株式会社 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
| JP2014081445A (ja) * | 2012-10-15 | 2014-05-08 | Olympus Corp | 光コネクタ清掃装置、及び光コネクタの清掃方法 |
| JP2014094341A (ja) * | 2012-11-08 | 2014-05-22 | Sony Corp | 清掃装置 |
| WO2015122338A1 (ja) * | 2014-02-12 | 2015-08-20 | シャープ株式会社 | 貼り合わせ基板の拭浄装置、及び貼り合わせ基板の製造方法 |
| CN105057236B (zh) * | 2015-08-13 | 2017-03-22 | 枞阳县金源汽车零部件有限公司 | 一种汽车刹车盘油污清理装置 |
| CN109013411B (zh) * | 2018-06-25 | 2020-11-24 | 上海华太信息技术有限公司 | 一种手机壳自动擦拭装置 |
| CN110523733A (zh) * | 2019-09-11 | 2019-12-03 | 周瑞明 | 一种液晶模组边缘清洗机 |
-
2002
- 2002-07-05 JP JP2002197281A patent/JP4114416B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102176981A (zh) * | 2008-10-31 | 2011-09-07 | 松下电器产业株式会社 | 基板清洗装置及其方法 |
| US8025737B2 (en) | 2008-10-31 | 2011-09-27 | Panasonic Corporation | Substrate cleaning apparatus and method employed therein |
| CN102176981B (zh) * | 2008-10-31 | 2013-04-03 | 松下电器产业株式会社 | 基板清洗装置及其方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2004033970A (ja) | 2004-02-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050330 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080222 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080325 |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080407 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110425 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110425 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120425 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120425 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130425 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130425 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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