JP5429018B2

JP5429018B2 - 基板洗浄装置および基板洗浄方法

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Publication number: JP5429018B2
Application number: JP2010094691A
Authority: JP
Inventors: 好裕味村; 八郎中逵
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2010-04-16
Filing date: 2010-04-16
Publication date: 2014-02-26
Anticipated expiration: 2030-04-16
Also published as: JP2011224438A

Description

本発明は、表示パネルなどの基板の縁部を洗浄して異物を除去する基板洗浄装置および基板洗浄方法に関するものである。

液晶パネルなどの表示パネルの製造工程では、ガラス基板の縁部に形成された端子にサブ基板が接続される。この接続の方法として異方性導電材によってガラス基板にサブ基板を接合する方法が用いられる。この接合に先立って、ガラス基板の縁部の表裏面に付着した異物の除去や、ガラス基板表面に電子部品を実装するために貼付されるＡＣＦ（異方性導電接着剤）の貼着性を向上させることを目的とした縁部洗浄が行われる。

この縁部洗浄は、ガラス基板の縁部の表裏両面に洗浄剤が含浸された状態の洗浄クロスを、一対の押圧部材によって表裏両面に押し付けて縁部を挟持した状態で、ガラス基板を洗浄クロスに対して相対的にスライドさせることによって行われる。これにより洗浄クロスによってガラス板の上下両面に付着した付着物が拭き取られる（例えば特許文献１参照）。この特許文献に示す先行技術においては、洗浄クロス（洗浄用テープ）を送る送り動作中に、上下個別に設けられたノズルから縁部の表裏両面に対して洗浄剤を継続して吐出して洗浄用テープに含浸させるようにしている。

特開２００４−３３９７０号公報

ところで、縁部洗浄において良好な洗浄効果を確保するためには、適正量の洗浄剤を表裏両面に均一に供給する必要がある。しかしながら上述の先行技術に示す洗浄剤の供給方法には、以下に説明するような洗浄剤の供給量のばらつきが避け難いという問題があった。すなわち、洗浄剤は装置本体に付属して設けられた供給タンクからポンプによって圧送されて液送配管を介してノズルまで供給される。ところが、供給タンクから洗浄剤の供給対象となる縁部の表裏両面に至る液送配管は表と裏とでは配管経路が異なり、また配管内部の経時的な汚損状態も異なることから、必ずしも均一な液送状態が保たれているとは限らない。このため、表裏両面に同時に塗布すると表裏面によって洗浄剤の吐出タイミングや吐出量がばらつく不具合が生じて、表裏均一で良好な洗浄効果を確保することが難しいという問題があった。

そこで本発明は、基板の縁部を対象とする縁部洗浄において、表裏均一で良好な洗浄効果を確保することができる基板洗浄装置および基板洗浄方法を提供することを目的とする。

本発明の基板洗浄装置は、基板において外部接続用の端子が形成された縁部を洗浄剤を含浸させた洗浄クロスによって洗浄する基板洗浄装置であって、前記基板を保持する保持テーブルと、前記保持テーブルを昇降および水平移動させるテーブル移動機構と、前記縁部の表裏両面に前記洗浄クロスを押しつける一対の第１押圧部材、第２押圧部材およびこれら一対の押圧部材を開閉する開閉駆動手段を有する挟持機構と、前記洗浄クロスをクロス供給手段から引き出し、前記第１押圧部材、第２押圧部材のそれぞれの押圧面を経由してクロス回収手段に送るクロス送り機構と、洗浄剤貯留部に貯留された前記洗浄剤を、前記第１押圧部材、第２押圧部材のそれぞれの押圧面に供給する第１洗浄剤供給機構、第２洗浄剤供給機構と、前記第１洗浄剤供給機構、第２洗浄剤供給機構を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記第１押圧部材、第２押圧部材のそれぞれの前記押圧面に対して、前記洗浄剤を所定のタイムラグによって時間的に隔てられた異なるタイミングにて供給させることで前記第１押圧部材と前記第２押圧部材とへの前記洗浄剤の供給量のバラツキを防止する。

本発明の基板洗浄方法は、基板を保持する保持テーブルと、前記保持テーブルを昇降および水平移動させるテーブル移動機構と、前記基板の縁部の表裏両面に洗浄クロスを押しつける一対の第１押圧部材、第２押圧部材およびこれら一対の押圧部材を開閉する開閉駆動手段を有する挟持機構と、前記洗浄クロスをクロス供給手段から引き出し、前記第１押圧部材、第２押圧部材のそれぞれの押圧面を経由してクロス回収手段に送るクロス送り機構と、洗浄剤貯留部に貯留される洗浄剤を、前記第１押圧部材、第２押圧部材のそれぞれの押圧面に供給する第１洗浄剤供給機構、第２洗浄剤供給機構とを備えた基板洗浄装置によって、前記基板において外部接続用の端子が形成された前記縁部を前記洗浄剤を含浸させた洗浄クロスによって洗浄する基板洗浄方法であって、前記第１洗浄剤供給機構、第２洗浄剤供給機構を制御することにより、前記第１押圧部材、第２押圧部材のそれぞれの前記押圧面に対して、前記洗浄剤を所定のタイムラグによって時間的に隔てられた異なるタイミングにて供給させることで前記第１押圧部材と前記第２押圧部材とへの前記洗浄剤の供給量のバラツキを防止する。

本発明の基板洗浄装置および基板洗浄方法によれば、第１押圧部材、第２押圧部材のそれぞれの押圧面に洗浄剤を供給する第１洗浄剤供給機構、第２洗浄剤供給機構を制御して、それぞれの押圧面に対して洗浄剤を所定のタイムラグによって時間的に隔てられた異なるタイミングにて供給させる塗布方式を用いることにより、基板の縁部を対象とする縁部洗浄において、供給タンクから洗浄剤の供給対象となる縁部の表裏両面に至る液送配管の配管経路が異なる場合にあっても、表裏均一で良好な洗浄効果を確保することができる。

本発明の一実施の形態の基板洗浄装置の斜視図本発明の一実施の形態の基板洗浄装置の部分斜視図本発明の一実施の形態の基板洗浄装置における洗浄剤供給機構の構成説明図本発明の一実施の形態の基板洗浄装置の洗浄ヘッドにおけるヘッド駆動機構の構成説明図本発明の一実施の形態の基板洗浄装置の洗浄ヘッドにおける押圧部材の動作説明図本発明の一実施の形態の基板洗浄装置の制御系の構成を示すブロック図本発明の一実施の形態の基板洗浄方法を示すフロー図本発明の一実施の形態の基板洗浄方法における洗浄剤供給タイミングを示すタイムチャート

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図１を参照して基板洗浄装置１の構成について説明する。基板洗浄装置１は、表示パネルなどのガラス材質の基板において、外部接続用の端子が形成された縁部を、洗浄剤を含浸させた洗浄クロスによって洗浄する機能を有するものである。

図１において、基台２上にはパネル搬送機構３、テーブル移動機構４、拭き取り洗浄機構５が配設されている。パネル搬送機構３は、送りねじ１１ａ、ナット部材１１ｂ、ナット部材１１ｂを回転駆動するモータ１１Ｍを備えた直動機構によって、移動プレート１２をＸ方向に往復移動させる構成となっている。移動プレート１２にはＹ方向に延出して２つの保持アーム１２ａが設けられており、上流側装置から受け渡され、保持アーム１２ａ上に載置された作業対象となる基板６は、図中破線で示すように、テーブル移動機構４に受け渡される。

基板６は複数のガラス基板を積層した構成となっており、下層側のガラス基板が露呈された縁部６ａには、外部接続用の端子６ｂが形成されている。端子６ｂには、ドライバ部品が実装されたサブ基板を接続するためのフレキシブル基板が接合され、この接合作業に先立って、基板洗浄装置１により縁部６ａに付着した異物を拭き取り除去するための縁部洗浄作業が実行される。

テーブル移動機構４は、Ｙ軸テーブル１３Ｙ、Ｘ軸テーブル１３ＸおよびＺΘ軸テーブル１３ＺΘを積層し、ＺΘ軸テーブル１３ＺΘ上に、基板６を吸着保持する保持テーブル１４を載置した構成となっている。テーブル移動機構４を駆動することにより、保持テーブル１４は昇降（Ｚ方向）および水平移動（Ｘ、Ｙ、Θ各方向）し、これにより移動テーブル１１から受け渡された基板６を、以下に説明する拭き取り洗浄機構５に対して位置決めする。この位置決めに際しては、端子６ｂを撮像装置２０（図２参照）によって撮像して認識した認識結果に基づいてテーブル移動機構４を駆動する。

拭き取り洗浄機構５は、縁部６ａをテープ状の洗浄クロス７によって洗浄する機能を有しており、基台２上に垂直に立設されたベースフレーム１７に、狭持ヘッド１５、ヘッド駆動機構１６、クロス供給リール１８およびクロス回収リール１９を配設した構成となっている。縁部洗浄に際しては、ヘッド駆動機構１６によって狭持ヘッド１５を駆動することにより、縁部６ａの表裏両面に洗浄クロス７を押し付ける。

そしてこの状態でテーブル移動機構４を駆動して基板６を水平移動させることにより、押し付けられた洗浄クロス７によって縁部６ａの表裏面を拭き取り洗浄する。クロス供給リール１８（クロス供給手段）は、吸液性を有するシート素材をテープ状に成形した洗浄クロス７を卷回状態で収納する。クロス送り機構８によってクロス供給リール１８から引き出された洗浄クロス７は、狭持ヘッド１５に送給されて縁部洗浄に使用された後、クロス回収リール１９（クロス回収手段）に巻き取られて回収される。

次に図２〜図５を参照して、拭き取り洗浄機構５の構造を説明する。図２に示すように、クロス供給リール１８，クロス回収リール１９は、ベースフレーム１７のそれぞれの面に同軸で配置されている。クロス送り機構８は、駆動ローラ２２とピンチローラ２２ａ、駆動ローラ２４とピンチローラ２４ａとをそれぞれ組み合わせた２つの送り駆動部を備えており、洗浄クロス７の送り経路における変曲部に配置された複数のガイドローラ２１、２３によってクロス送りをガイドする構成となっている。駆動ローラ２２、２４を駆動することにより、クロス供給リール１８から洗浄クロス７が引き出されて狭持ヘッド１５に導かれ（矢印ａ）、狭持ヘッド１５に配設された第１押圧部材２５、ガイドローラ２３、第２押圧部材２６を順次周回して（矢印ｂ）、クロス回収リール１９に回収される。

図３は、狭持ヘッド１５における第１押圧部材２５、第２押圧部材２６の配置、洗浄クロス７の移動経路および洗浄剤の供給の詳細について示している。第１押圧部材２５、第２押圧部材２６は、基板６において下層のガラス基板が露呈した縁部６ａの表面６ｃ、裏面６ｄ（図４（ｂ）参照）にそれぞれ洗浄クロス７を押し付ける機能を有している。表面６ｃにおいて洗浄クロス７をコーナ近傍まで良好に押し付けることができるように、以下に説明するような形状となっている。

図４（ａ）に示すように、第１押圧部材２５には、洗浄クロス７を縁部６ａの上面側に押し付けるための押圧面２５ａおよび斜め上方向から送られる洗浄クロス７を押圧面２５ａに導くためのテーパ状のガイド面２５ｂが設けられている。また第２押圧部材２６には、洗浄クロス７を縁部６ａの下面側に押しつけるための押圧面２６ａおよび押圧面２６ａを経て折り返された洗浄クロス７を、斜め下方に導くガイド面２６ｂが設けられている。押圧面２５ａとガイド面２５ｂとの頂辺２５ｃおよび押圧面２６ａとガイド面２６ｂとの頂辺２６ｃは、いずれも頂角が鋭角の断面形状に設定されており、洗浄クロス７を縁部６ａに確実に押し付けることができるようになっている。

クロス送り機構８によって送られた洗浄クロス７はガイド面２５ｂによって導かれ（矢印ｃ）、頂辺２５ｃを周回して第１押圧部材２５の下面側に至り、押圧面２５ａに沿って水平方向に導かれて（矢印ｄ）洗浄に使用される。そして洗浄クロス７はさらにガイドローラ２３（図２参照）を周回して折り返されて第２押圧部材２６の上面側に至り、押圧面２６ａに沿って導かれて（矢印ｅ）洗浄に使用される。この後の洗浄クロス７は頂辺２６ｃを周回してた後ガイド面２６ｂによって導かれ（矢印ｆ）、さらに駆動ローラ２４（図２参照）によって送り駆動されることにより、クロス回収リール１９に回収される。すなわち、クロス送り機構８は、洗浄クロス７をクロス供給リール１８から引き出し、第１押圧部材２５、第２押圧部材２６のそれぞれの押圧面２５ａ、２６ａを経由してクロス回収リール１９に送る機能を有している。

図３において、第１押圧部材２５、第２押圧部材２６には、それぞれ第１ノズルブロック２７、第２ノズルブロック２８が付属して設けられれている。第１ノズルブロック２７、第２ノズルブロック２８は同一構成であり、それぞれ有機溶剤やアルコールなどの洗浄剤を吐出する第１ノズル２７ａ、第２ノズル２８ａ、洗浄剤の塗布状態を検出するための第１センサ２７ｂ、第２センサ２８ｂを備えている。第１ノズル２７ａ、第２ノズル２８ａは、それぞれ第１開閉バルブ２９、第２開閉バルブ３０を介して液送ポンプ３１に接続されており、液送ポンプ３１は洗浄剤貯留部３２に貯留された洗浄剤を圧送する。

液送ポンプ３１、第１開閉バルブ２９および第２開閉バルブ３０は、制御装置３４によって制御され、液送ポンプ３１を作動させた状態で、第１開閉バルブ２９および第２開閉バルブ３０をＯＮＮ／ＯＦＦすることにより、第１ノズル２７ａ、第２ノズル２８ａからの洗浄剤の吐出（矢印ｇ、ｈ）をＯＮＮ／ＯＦＦすることができる。液送ポンプ３１、第１開閉バルブ２９、第１ノズル２７ａは、洗浄剤貯留部３２に貯留された洗浄剤を第１押圧部材２５に供給する第１洗浄剤供給機構を構成し、液送ポンプ３１、第２開閉バルブ３０、第２ノズル２８ａは、洗浄剤貯留部３２に貯留された洗浄剤を第２押圧部材２６に供給する第２洗浄剤供給機構を構成する。そして制御装置３４は、上述構成の第１洗浄剤供給機構、第２洗浄剤供給機構を制御することにより、洗浄剤の吐出動作を実行させる。

第１センサ２７ｂ、第２センサ２８ｂは、グラスファイバによって光信号を伝達するファイバセンサであり、洗浄クロス７に対して吐出された洗浄剤の塗布状態を光学的に検出した検出信号を出力する機能を有している。第１センサ２７ｂ、第２センサ２８ｂは、それぞれ第１ノズル２７ａ、第２ノズル２８ａと近接して並列する位置に、洗浄剤の吐出方向（矢印ｇ、ｈ方向）に検出面を向けて装着されている。第１センサ２７ｂ、第２センサ２８ｂはそれぞれ塗布検出部３３に接続されており、第１センサ２７ｂ、第２センサ２８ｂから伝達された検出信号に基づき、塗布検出部３３は押圧面２５ａ，押圧面２６ａにおける洗浄剤の塗布状態を検出する。第１センサ２７ｂ、第２センサ２８ｂおよび塗布検出部３３は、塗布検出装置３６を構成する。検出結果は制御装置３４に伝達され、制御装置３４はこの検出結果に応じて、必要な制御処理を行う。すなわち、塗布量が規定量を下回っていることが検出されたならば、表示装置３８によってその旨の警告表示を行い、さらのその状態が所定時間以上継続している場合には、洗浄動作を停止する。

図４（ｂ）は、このようにして洗浄クロス７に洗浄剤が含浸された状態の第１押圧部材２５および第２押圧部材２６をヘッド駆動機構１６によって駆動して、縁部６ａを挟み込んだ状態を示している。すなわち第１押圧部材２５、第２押圧部材２６を相接近する方向に閉方向に移動させ（矢印ｋ、ｌ）、押圧面２５ａ、押圧面２６ａを、それぞれ洗浄クロス７を介して表面６ｃ、裏面６ｄに押し付ける。そしてこの状態でテーブル移動機構４を駆動して基板６を洗浄動作方向（Ｘ方向）に水平移動させることにより、洗浄剤が含浸された洗浄クロス７によって縁部６ａの表裏両面が清掃され、付着異物を除去する縁部洗浄が行われる。

ここで図５を参照して、狭持ヘッド１５において第１押圧部材２５、第２押圧部材２６を開閉させるヘッド駆動機構１６の構成について説明する。ヘッド駆動機構１６は、ベースフレーム１７の一方側の側方に立設された縦プレート１６ａの側面に、ロッド４１ａ、４２ａを上下対向させた姿勢で配置されたシリンダ４１、４２を備えている。ロッド４１ａ、４２ａは、ベースフレーム１７に設けられた開口部１７ａを挿通して反対面側に突出したリンク部材４４、４５に、結合部材４３を介して結合されている。

リンク部材４４、４５は昇降ブロック４８、４９に結合されており、昇降ブロック４８、４９は、ガイドレール４６、スライダ４７よりなるスライド機構によって上下スライド自在に配設されている。昇降ブロック４８、４９には、それぞれ第１押圧部材２５、第２押圧部材２６が結合されており、シリンダ４１、４２を駆動することにより、第１押圧部材２５、第２押圧部材２６は、相互に接近・離隔する方向に上下動する（矢印ｍ、ｎ）。ここで、昇降ブロック４８、４９の間にはスプリング５０が介在しており、これにより、第１押圧部材２５、第２押圧部材２６によって挟み込む対象となる基板６の高さ位置がばらつく場合にあっても、スプリング５０の弾性力の範囲で、第１押圧部材２５、第２押圧部材２６による挟み持高さ位置を基板６の高さに倣わせるフローティング動作が実現される。

上記構成において、ヘッド駆動機構１６は、縁部６ａの表裏両面に洗浄クロス７を押し付ける１対の第１押圧部材２５、第２押圧部材２６を開閉する開閉駆動手段となっている。そして、狭持ヘッド１５は、第１押圧部材２５、第２押圧部材２６および開閉駆動手段を有する狭持機構となっている。

次に図６を参照して、制御系の構成を説明する。図６において、制御装置３４は、パネル搬送機構３、テーブル移動機構４、クロス送り機構８、ヘッド駆動機構１６、洗浄剤供給機構３５、表示装置３８の各部を制御する。この制御処理においては、塗布検出装置３６、撮像装置２０、入力装置３７から入力および記憶装置３９に記憶されたデータが参照される。ここで記憶装置３９に記憶されるデータには、洗浄剤の塗布順序、塗布パターンを定義するデータや、上下２つのノズルで個別に交互に塗布する際のインターバル時間が含まれる。

制御装置３４がパネル搬送機構３、テーブル移動機構４を制御することにより、基板６の受け渡しおよび拭き取り洗浄機構５に対する位置決めが行われ、このとき撮像装置２０によって取得された位置認識結果に基づいて、基板６の位置が補正される。また制御装置３４が、クロス送り機構８、ヘッド駆動機構１６、洗浄剤供給機構３５を制御することにより、拭き取り洗浄機構５による縁部６ａを対象とした基板洗浄動作が実行される。このとき入力装置３７から入力される塗布順序や、塗布検出装置３６による塗布状態の検出結果が参照される。

次に基板洗浄動作における洗浄剤の塗布動作について、図７、図８を参照して説明する。図７において、まず塗布順序の指定が行われる（ＳＴ１）。すなわち、第１ノズル２７ａ、第２ノズル２８ａの２つのノズルについて、先に洗浄剤の塗布を実行する「先ノズル」と、後に洗浄剤の塗布を実行する「後ノズル」の指定を、入力装置３７からの入力により行う。これにより、以下の縁部６ａの表裏面を対象とした洗浄剤の塗布における塗布順序が設定される。ここでは、第１ノズル２７ａが先ノズルに、第２ノズル２８ａが後ノズルに指定された例を示している。

塗布動作が開始されると、まず先ノズルである第１ノズル２７ａによって、洗浄剤を所定時間／所定回数でノズルから吐出させ、洗浄クロス７に塗布する（ＳＴ２）。すなわち、制御装置３４によって第１開閉バルブ２９第２開閉バルブ３０を制御して、図８に示すように、タイミングｔ１〜ｔ２の間、第１開閉バルブ２９を所定のパターンＰでＯＮ／ＯＦＦすることにより、第１ノズル２７ａから洗浄剤を吐出させて洗浄クロス７に塗布する塗布動作が実行される。ここでは、吐出時間Ｔ１の間だけ第１開閉バルブ２９をＯＮ状態にするＯＮ動作をインターバル時間Ｔ２で複数回（ここでは２回）実行するパターンの例を示している。

次いで、第１ノズル２７ａによる塗布動作を終了したタイミングｔ２から、予め設定されたインターバル時間Ｔ３だけ時間待ちし（ＳＴ３）、その後時間待ちが完了したタイミングｔ３において、後ノズルである第２ノズル２８ａによる塗布動作が開始される（ＳＴ４）。すなわち、前述のパターンＰによって第２開閉バルブ３０をＯＮ／ＯＦＦすることにより、第２ノズル２８ａから洗浄剤を吐出させて洗浄クロス７に塗布する塗布動作が実行される。そしてこの後、同様の塗布動作が第１ノズル２７ａ、第２ノズル２８ａによって交互に実行される。この場合においても、一方のノズルによる塗布動作を終了したタイミングから、予め設定されたインターバル時間Ｔ３の時間待ちが完了したタイミングにおいて、他方のノズルによる塗布動作が開始される。

すなわち、上述の基板洗浄方法においては、制御装置３４（制御部）は、第１押圧部材２５、第２押圧部材２６のそれぞれの押圧面２５ａ、２６ａに対して、インターバル時間Ｔ３で規定される所定のタイムラグによって時間的に隔てられた異なるタイミングにて、洗浄剤を供給させるようにしている。これにより、従来の洗浄剤の供給において生じていた洗浄剤の供給量のばらつきを防止することが可能となっている。

すなわち従来技術においては、縁部６ａの表裏面に洗浄剤を供給する２つのノズルの吐出タイミングを同一に設定していたため、これらのノズルから吐出される洗浄剤の吐出量は、ポンプからノズルに至る配管経路の流路抵抗の相違によって異なったものとなっていた。これに対し、本実施の形態に示す基板洗浄方法においては、第１ノズル２７ａ、第２ノズル２８ａのそれぞれによる洗浄剤の吐出タイミングを、所定のタイムラグによって時間的に隔てられた異なるタイミングに設定することから、２つのノズルから同時に洗浄剤を吐出させる場合において配管特性の相違によって生じる吐出量のばらつきを防止して、表裏均一で良好な洗浄効果を確保することができる。

本発明の基板洗浄装置および基板洗浄方法は、基板の縁部を対象とする縁部洗浄において、表裏均一で良好な洗浄効果を確保することができるという効果を有し、表示パネルなどの基板の外部接続用の端子が形成された縁部を洗浄する用途に有用である。

１基板洗浄装置
３パネル搬送機構
４テーブル移動機構
５拭き取り洗浄機構
６基板
６ａ縁部
６ｂ端子
７洗浄クロス
８クロス送り機構
１４保持テーブル
１５狭持ヘッド
１６ヘッド駆動機構
１８クロス供給リール
１９クロス回収リール
２５第１押圧部材
２５ａ、２６ａ押圧面
２７ａ第１ノズル
２８ａ第２ノズル
２９第１開閉バルブ
３０第２開閉バルブ
３１液送ポンプ
３２洗浄剤貯留部

Claims

基板において外部接続用の端子が形成された縁部を洗浄剤を含浸させた洗浄クロスによって洗浄する基板洗浄装置であって、
前記基板を保持する保持テーブルと、前記保持テーブルを昇降および水平移動させるテーブル移動機構と、前記縁部の表裏両面に前記洗浄クロスを押しつける一対の第１押圧部材、第２押圧部材およびこれら一対の押圧部材を開閉する開閉駆動手段を有する挟持機構と、
前記洗浄クロスをクロス供給手段から引き出し、前記第１押圧部材、第２押圧部材のそれぞれの押圧面を経由してクロス回収手段に送るクロス送り機構と、
洗浄剤貯留部に貯留された前記洗浄剤を、前記第１押圧部材、第２押圧部材のそれぞれの押圧面に供給する第１洗浄剤供給機構、第２洗浄剤供給機構と、前記第１洗浄剤供給機構、第２洗浄剤供給機構を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記第１押圧部材、第２押圧部材のそれぞれの前記押圧面に対して、前記洗浄剤を所定のタイムラグによって時間的に隔てられた異なるタイミングにて供給させることで前記第１押圧部材と前記第２押圧部材とへの前記洗浄剤の供給量のバラツキを防止することを特徴とする基板洗浄装置。
基板を保持する保持テーブルと、前記保持テーブルを昇降および水平移動させるテーブル移動機構と、前記基板の縁部の表裏両面に洗浄クロスを押しつける一対の第１押圧部材、第２押圧部材およびこれら一対の押圧部材を開閉する開閉駆動手段を有する挟持機構と、前記洗浄クロスをクロス供給手段から引き出し、前記第１押圧部材、第２押圧部材のそれぞれの押圧面を経由してクロス回収手段に送るクロス送り機構と、洗浄剤貯留部に貯留される洗浄剤を、前記第１押圧部材、第２押圧部材のそれぞれの押圧面に供給する第１洗浄剤供給機構、第２洗浄剤供給機構とを備えた基板洗浄装置によって、前記基板において外部接続用の端子が形成された前記縁部を前記洗浄剤を含浸させた洗浄クロスによって洗浄する基板洗浄方法であって、
前記第１洗浄剤供給機構、第２洗浄剤供給機構を制御することにより、前記第１押圧部材、第２押圧部材のそれぞれの前記押圧面に対して、前記洗浄剤を所定のタイムラグによって時間的に隔てられた異なるタイミングにて供給させることで前記第１押圧部材と前記第２押圧部材とへの前記洗浄剤の供給量のバラツキを防止することを特徴とする基板洗浄方法。