KR102166933B1

KR102166933B1 - 필름 세정 장치

Info

Publication number: KR102166933B1
Application number: KR1020190035568A
Authority: KR
Inventors: 윤형규
Original assignee: 주식회사 에프원테크
Priority date: 2019-03-28
Filing date: 2019-03-28
Publication date: 2020-10-19
Also published as: KR20200115848A

Abstract

본 발명은 필름 세정 장치에 관한 것이다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치는, 필름이 이송되는 동안, 필름의 제1 면 및 제2 면에 접촉한 상태로 상기 필름의 제1 면 및 제2 면을 동시에 세정하는 필름 세정부; 및 상기 필름 세정부와 인접하게 배치되며, 상기 필름을 제1 방향 또는 상기 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향으로 이송시키는 필름 이송부를 포함하며, 상기 필름 세정부는, 상기 필름의 제1 면 및 제2 면의 전체 세정 영역을 각각 상기 제1 방향을 따라 전단부 및 후단부로 나누어 순차적으로 세정하되, 상기 필름 이송부가 상기 필름을 상기 제2 방향으로 이송시킬 때에, 상기 필름의 전단부를 세정하고, 상기 필름 이송부가 상기 필름을 상기 제1 방향으로 이송시킬 때에, 상기 필름의 후단부를 세정하는 것을 특징으로 한다.

Description

필름 세정 장치{Apparatus for cleaning film}

본 발명은 필름 세정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 필름 세정 공정이 진행되는 동안 필름의 구겨지는 현상을 방지하여 필름 세정 공정의 불량률을 낮출 수 있으므로 전체적으로 필름 세정 공정의 효율성을 높일 수 있는 필름 세정 장치에 관한 것이다.

일반적으로 모니터, 대형 디지털 TV, 스마트폰 등에 사용되는 액정 디스플레이 패널(Liquid crystal display, LCD), 터치 패널(Touch Panel) 등의 패널(Panel)에는 확산 필름, 휘도 향상 필름, 편광 필름 등 다양한 종류의 광학 필름이 많이 사용되고 있다. 또한, 액정 디스플레이 패널, 터치 패널 등을 구성하는 글래스(Glass)는, 표면에 흠집이 발생하는 것을 방지하거나 이물질이 부착되는 것을 방지하는 등 다양한 목적을 위해 보호 필름 등이 접합(부착)되는 경우가 많다.

이와 같은 광학 필름, 보호 필름 등은 제조 과정에서 표면에 이물질이 부착될 수 밖에 없으므로, 필름의 표면에 잔존하는 이물질을 제거하기 위해서는 다양한 종류의 필름 세정 장치가 사용되어야 하는데, 이러한 필름 세정 장치는 세정 방식에 따라 접촉 방식과 비접촉 방식으로 구분될 수 있다.

먼저, 접촉 방식의 필름 세정 장치는 세정 롤러, 세정 브러쉬 등을 이용하여 필름의 표면에 직접 접촉하여 필름의 표면에 잔존하는 이물질을 제거하는 방식이다.

예를 들어, 국내 공개특허공보 제10-2011-0033527호(편광필름 세정 이송 장치)(2011년 3월 31일 공개)에는, 제1 수평 이송 수단에 의해 편광 필름이 이송되는 동안 제1 크리닝 롤러가 편광 필름의 상면에 접촉하여 편광 필름의 상면을 세정하고, 제2 수평 이송 수단에 의해 편광 필름이 이송되는 동안 제2 크리닝 롤러가 편광 필름의 하면에 접촉하여 편광 필름의 하면을 세정하는 구조가 개시되어 있다.

그러나, 이와 같은 접촉 방식의 필름 세정 장치는 세정 롤러 등의 직접 접촉에 의해 유연한 소재의 필름 자체가 구겨지는 현상이 발생하거나, 필름의 표면에 스크래치와 같은 손상이 발생하여 제품의 불량율이 높아진다는 문제점이 있었다. 특히, 세정 공정 동안에 발생할 수 있는 필름의 손상을 최소화하기 위해 필름의 양면을 따로 세정하므로, 세정 공정 속도가 낮다는 문제점이 있었다.

이러한 접촉 방식의 필름 세정 장치의 문제점을 해결하기 위해 최근에는 비접촉 방식의 세정 장치가 도입되고 있다.

예를 들어, 국내 공개특허공보 제10-2011-0002540호(필름의 상하면 동시 세정이 가능한 층 구조의 이물질 제거장치)(2011년 1월 10일 공개)에는, 순환하는 세정액을 매개체로 하여 필름을 세정하는 동안 초음파를 조사하여 필름의 상부 및 하부에 동시에 세정하는 구조가 개시되어 있다.

그러나, 이와 같은 비접촉 방식의 필름 세정 장치는 세정 공정에 사용된 세정액을 건조하기 위한 건조 공정이 필수적이므로, 건조 공정을 수행하기 위한 별도의 건조 장치를 구비해야 한다는 점에서, 세정 장치가 대형화되고 복잡해지며 그에 따라 전체 세정 공정 시간이 증가한다는 문제점이 있었다. 또한, 비접촉 방식의 특성상, 필름의 표면에 잔존하는 이물질의 제거가 완전하게 이루어지지 않는 경우 접촉 방식의 세정 장치에 비해 필름 세정 공정의 효율성이 낮아진다는 문제점이 있었다.

따라서, 필름 세정 공정이 진행되는 동안 필름의 구겨지는 현상을 방지하여 필름 세정 공정의 불량률을 낮출 수 있으므로 전체적으로 필름 세정 공정의 효율성을 높일 수 있는 필름 세정 장치가 요구된다.

국내 공개특허공보 제10-2011-0033527호(편광필름 세정 이송 장치)(2011년 3월 31일 공개) 국내 공개특허공보 제10-2011-0002540호(필름의 상하면 동시 세정이 가능한 층 구조의 이물질 제거장치)(2011년 1월 10일 공개)

본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 발명된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 필름 이송부에 의해 이송되는 필름의 이송 방향에 따라 필름의 전체 세정 영역을 전단부와 후단부로 나누어 세정함으로써, 필름 세정 공정이 진행되는 동안 필름의 구겨지는 현상을 방지하여 필름 세정 공정의 불량률을 낮출 수 있으므로 전체적으로 필름 세정 공정의 효율성을 높일 수 있는 필름 세정 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치는, 필름이 이송되는 동안, 필름의 제1 면 및 제2 면에 접촉한 상태로 상기 필름의 제1 면 및 제2 면을 동시에 세정하는 필름 세정부; 및 상기 필름 세정부와 인접하게 배치되며, 상기 필름을 제1 방향 또는 상기 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향으로 이송시키는 필름 이송부를 포함하며, 상기 필름 세정부는, 상기 필름의 제1 면 및 제2 면의 전체 세정 영역을 각각 상기 제1 방향을 따라 전단부 및 후단부로 나누어 순차적으로 세정하되, 상기 필름 이송부가 상기 필름을 상기 제2 방향으로 이송시킬 때에, 상기 필름의 전단부를 세정하고, 상기 필름 이송부가 상기 필름을 상기 제1 방향으로 이송시킬 때에, 상기 필름의 후단부를 세정하는 것을 특징으로 한다.

이 때, 상기 필름 세정부는, 상기 필름이 이송되는 동안, 상기 필름을 지지하는 필름 지지부; 상기 필름의 제1 면에 접촉한 상태로 상기 필름의 제1 면을 세정하는 제1 필름 세정부; 및 상기 필름을 사이에 두고 상기 제1 필름 세정부에 대향하도록 배치되고, 상기 필름의 제2 면을 향하는 방향으로 이동 가능하게 설치되며, 상기 제1 필름 세정부가 상기 필름의 제1 면을 세정할 때에 상기 필름의 제2 면에 접촉한 상태로 상기 필름의 제2 면을 동시에 세정하는 제2 필름 세정부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 필름 세정부 및 상기 제2 필름 세정부는 각각, 상기 필름의 표면을 세정하기 위한 와이퍼(Wiper)를 연속적으로 풀어주는 언와인더(Unwinder); 상기 언와인더로부터 공급되는 상기 와이퍼를 지지하며, 상기 필름의 표면에 접촉하였을 때 상기 와이퍼를 이용하여 상기 필름의 표면을 세정하는 세정 롤러; 상기 세정 롤러로부터 공급되는 상기 와이퍼를 연속적으로 감아주는 리와인더(Rewinder); 및 상기 언와인더, 상기 세정 롤러 및 상기 리와인더의 사이에 배치되며, 상기 와이퍼를 지지한 상태로 상기 와이퍼를 상기 언와인더로부터 상기 세정 롤러를 거쳐 상기 리와인더로 이송시키는 적어도 하나의 공급 롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 필름 세정부 및 상기 제2 필름 세정부는 각각, 상기 세정 롤러와 인접하게 배치되며, 상기 언와인더로부터 상기 세정 롤러로 공급되는 상기 와이퍼에 상기 필름의 표면을 세정하기 위한 용제를 공급하는 용제 공급부를 더 포함하며, 상기 용제 공급부는, 상기 필름의 표면을 세정하기 위한 용제를 분사하는 복수의 용제 공급 노즐; 및 상기 복수의 용제 공급 노즐과 인접하게 배치되며, 상기 언와인더로부터 상기 세정 롤러로 공급되는 상기 와이퍼를 가압한 상태에서 상기 복수의 용제 공급 노즐로부터 분사되는 용제를 확산시키는 용제 유도판을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 필름 세정부 및 상기 제2 필름 세정부는 각각, 상기 세정 롤러와 인접하게 배치되며, 상기 와이퍼에 의해 세정된 상기 필름의 제1 면 및 제2 면에 잔존하는 용제를 건조시키는 용제 건조부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

한편, 상기 필름 이송부는, 상기 필름 세정부의 일측에 배치되며, 상기 필름을 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이송시키는 제1 필름 이송부; 및 상기 필름 세정부의 타측에 배치되며, 상기 필름을 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이송시키는 제2 필름 이송부를 포함하며, 상기 필름 세정부는, 상기 제1 필름 이송부가 상기 필름을 상기 제2 방향으로 이송시킬 때에, 상기 필름의 전단부의 내측으로부터 외측을 향하는 방향으로 세정하고, 상기 제2 필름 이송부가 상기 필름을 상기 제1 방향으로 이송시킬 때에, 상기 필름의 후단부의 내측으로부터 외측을 향하는 방향으로 세정하는 것을 특징으로 한다.

한편, 상기 필름 이송부는, 상기 필름 세정부와 인접하게 배치되며, 상기 필름 세정부가 상기 필름의 제1 면 및 제2 면을 세정하는 동안 상기 필름을 이송시키면서 상기 필름의 이송을 안내하는 제3 필름 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

이 때, 상기 제3 필름 이송부는, 상기 제1 필름 이송부와 상기 제1 필름 세정부의 사이에 배치되며, 상기 필름의 제1 면에 접촉한 상태로 상기 필름을 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이송시키는 제1 이송 롤러; 상기 필름을 사이에 두고 상기 제1 이송 롤러에 대향하도록 배치되고, 상기 필름의 제2 면을 향하는 방향으로 이동 가능하게 설치되는 제1 안내 롤러; 상기 제1 필름 세정부와 상기 제2 필름 이송부의 사이에 배치되며, 상기 필름의 제1 면에 접촉한 상태로 상기 필름을 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이송시키는 제2 이송 롤러; 및 상기 필름을 사이에 두고 상기 제2 이송 롤러에 대향하도록 배치되고, 상기 필름의 제2 면을 향하는 방향으로 이동 가능하게 설치되는 제2 안내 롤러를 포함하며, 상기 제1 이송 롤러 및 상기 제1 안내 롤러는, 상기 제1 필름 세정부 및 상기 제2 필름 세정부가 상기 필름의 전단부를 세정할 때에, 상기 제1 필름 이송부에 의해 이송되는 상기 필름을 이송시키면서 상기 필름의 장력을 일정하게 유지시키고, 상기 제2 이송 롤러 및 상기 제2 안내 롤러는, 상기 제1 필름 세정부 및 상기 제2 필름 세정부가 상기 필름의 후단부를 세정할 때에, 상기 제2 필름 이송부에 의해 이송되는 상기 필름을 이송시키면서 상기 필름의 장력을 일정하게 유지시키는 것을 특징으로 한다.

한편, 상기 제1 필름 이송부 및 상기 제2 필름 이송부는 각각, 상기 필름의 표면을 진공 흡착한 상태로 상기 필름을 이송시키는 흡착 컨베이어; 상기 흡착 컨베이어에 인접한 위치에 배치되며, 상기 흡착 컨베이어에 진공압을 공급하는 진공압 공급부; 및 상기 흡착 컨베이어에 연결되며, 상기 흡착 컨베이어를 순환 구동시키는 컨베이어 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 필름 세정 장치에 따르면, 필름 이송부에 의해 이송되는 필름의 이송 방향에 따라 필름의 전체 세정 영역을 전단부와 후단부로 나누어 세정함으로써, 필름 세정 공정이 진행되는 동안 필름의 구겨지는 현상을 방지하여 필름 세정 공정의 불량률을 낮출 수 있으므로 전체적으로 필름 세정 공정의 효율성을 높일 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예들에 따른 필름 세정 장치에 따르면, 필름 세정부가 필름을 세정하는 동안, 필름 세정부가 필름을 세정하는 동안, 필름 이송부가 필름을 이송시키는 것과 동시에 필름의 장력을 조절함으로써, 필름 세정 공정이 진행되는 동안 필름의 구겨지는 현상을 방지하여 필름 세정 공정의 불량률을 낮출 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예들에 따른 필름 세정 장치에 따르면, 진공 흡착 방식의 필름 이송부에 의해 필름을 이송시킴으로써, 필름 세정 공정이 진행되는 동안 필름의 구겨지는 현상을 방지할 뿐 아니라, 필름에 대한 스크래치 발생을 방지할 수 있으므로 필름 세정 공정의 불량률을 낮출 수 있다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치의 구조를 개략적으로 나타내는 정면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치의 구조를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치를 구성하는 필름 세정부의 구조를 나타내는 정면도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치의 필름 세정부를 구성하는 필름 지지부의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치의 필름 세정부를 구성하는 제1 필름 세정부의 다른 예를 나타내는 정면도이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치의 필름 세정부를 구성하는 제1 필름 세정부의 또 다른 예를 나타내는 정면도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름 세정 장치의 구조를 개략적으로 나타내는 정면도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름 세정 장치를 구성하는 제3 필름 이송부의 구조를 나타내는 정면도이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름 세정 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 필름 세정 장치의 구조를 나타내는 정면도이다.
도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 필름 세정 장치의 필름 이송부를 구성하는 제1 필름 이송부의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 필름 세정 장치의 구조를 개략적으로 나타내는 정면도이다.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.

마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.

또한, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다.

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 필름 세정 장치(1)를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치의 구조를 개략적으로 나타내는 정면도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치의 구조를 개략적으로 나타내는 평면도이다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)는 크게 필름 세정부(100) 및 필름 이송부(200)를 포함하여 구성될 수 있다.

필름 세정부(100)는 필름 이송부(200)에 의해 필름(F)이 이송되는 동안, 필름(F)의 제1 면(F1)(도 1의 예에서, 필름(F)의 하부면) 및 제2 면(F2)(도 1의 예에서 필름(F)의 상부면)에 접촉한 상태로 필름(F)의 제1 면(F1) 및 제2 면(F2)을 동시에 세정할 수 있다. 도 1에서는 필름(F)의 제1 면(F1) 및 제2 면(F2)이 각각 필름(F)의 하부면 및 상부면인 예를 도시하고 있으나, 이와 반대일 수도 있다.

본 발명에서, 필름(Film)(F)은 유연성을 가지는 모든 종류의 소재를 의미하는 것으로, 액정 디스플레이 패널(Liquid crystal display, LCD), 터치 패널(Touch Panel) 등의 패널(Panel)을 구성하는 글래스(Glass)에 부착되는 광학 필름, 보호 필름은 물론, 다양한 종류의 플렉시블 기판(Flexible substrate) 등을 포함하는 광의의 개념이다. 특히, 본 발명은 길이 방향(L) 및 폭 방향(W)으로 일정한 길이로 형성된 직사각형 형상의 필름(F)에 적용되는 것이 바람직하다.

도 1에 도시된 바와 같이, 필름 세정부(100)는 필름(F)의 제1 면(F1) 및 제2 면(F2)을 동시에 세정하기 위해, 필름(F)의 제1 면(F1)을 세정하는 제1 필름 세정부(120)와, 필름(F)의 제2 면(F2)을 세정하는 제2 필름 세정부(130)로 구성될 수 있다. 필름 세정부(100)의 구체적인 구조에 대해서는 도 4 내지 도 7을 참조하여 자세히 후술하기로 한다.

필름 이송부(200)는 필름 세정부(100)와 인접하게 배치되며, 필름(F)을 지지한 상태에서 필름(F)을 제1 방향(도 1의 예에서, 우측 방향) 또는 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향(도 1의 예에서, 좌측 방향)으로 이송시킬 수 있다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 필름 이송부(200)는 필름 세정부(100)의 일측(도 1의 예에서, 필름 세정부(100)의 좌측)에 배치되며 필름(F)을 제1 방향 또는 제2 방향으로 이송시키는 제1 필름 이송부(210)와, 필름 세정부(100)의 타측(도 1의 예에서, 필름 세정부(100)의 우측)에 배치되며 필름(F)을 제1 방향 또는 제2 방향으로 이송시키는 제2 필름 이송부(220)로 구성될 수 있다.

비록 자세히 도시되지는 않았으나, 제1 필름 이송부(210) 및 제2 필름 이송부(220)는 유연성을 가지는 필름(F)을 지지한 상태에서 이송시킬 수 있는 구조라면 어떠한 형태로도 구현될 수 있다.

한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)를 구성하는 필름 세정부(100)는 필름(F)의 제1 면(F1) 및 제2 면(F2)의 전체 세정 영역을 각각 세정 공정 진행 방향(즉, 제1 방향)을 따라 전단부(Ⅰ) 및 후단부(Ⅱ)로 나누어 순차적으로 세정할 수 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 필름(F)의 전단부(Ⅰ)는 전체 세정 영역 중, 필름(F)의 세정 공정 진행 방향(도 2의 예에서, 우측 방향)을 따라 앞 부분을 의미하고, 필름(F)의 후단부(Ⅱ)는 필름(F)의 세정 공정 진행 방향을 따라 뒷 부분을 의미한다.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치의 동작을 나타내는 도면이다.

도 3의 (a)에서는 필름 세정부(100)가 필름(F)의 전단부(Ⅰ)를 세정하는 모습을 나타내고, 도 3의 (b)에서는 필름 세정부(100)가 필름(F)의 후단부(Ⅱ)를 세정하는 모습을 나타내고 있다.

도 3의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 필름 세정부(100)는 필름 이송부(200)가 필름(F)을 제2 방향(도 3의 예에서, 좌측 방향)으로 이송시킬 때에 필름(F)의 전단부(Ⅰ)를 세정하고, 필름 이송부(200)가 필름(F)을 제1 방향(도 3의 예에서, 우측 방향)으로 이송시킬 때에 필름(F)의 후단부(Ⅱ)를 세정할 수 있다.

바람직하게는, 필름 세정부(100)는, 제1 필름 이송부(210)가 필름(F)을 제2 방향으로 이송시킬 때에, 필름(F)의 전단부(Ⅰ)의 내측으로부터 외측을 향하는 방향으로 세정하고, 제2 필름 이송부(220)가 필름(F)을 제1 방향으로 이송시킬 때에, 필름(F)의 후단부(Ⅱ)의 내측으로부터 외측을 향하는 방향으로 세정할 수 있다. 즉, 필름 세정부(100)는 필름(F)의 전단부(Ⅰ)와 필름(F)의 후단부(Ⅱ) 모두 중앙부로부터 가장자리를 향하는 방향으로 세정을 수행하므로, 필름(F)이 구겨지는 현상을 방지할 수 있다.

먼저, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 필름 세정부(100)는 제1 필름 이송부(210)에 의해 필름(F)이 제2 방향으로 이송되어 제1 위치(P1)로부터 제2 위치(P2)에 도달하는 동안 필름(F)의 전단부(Ⅰ)를 세정할 수 있다. 비록 도시되지는 않았으나, 필름 세정부(100)가 필름(F)의 전단부(Ⅰ)를 세정한 후, 제1 필름 이송부(210)는 필름(F)의 제1 위치(P1)가 필름 세정부(100)에 위치하도록 필름(F)을 제1 방향으로 다시 이송시킬 수 있다.

또한, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 필름 세정부(100)는 제2 필름 이송부(220)에 의해 필름(F)이 제1 방향으로 이송되어 제1 위치(P1)로부터 제3 위치(P3)에 도달하는 동안 필름(F)의 후단부(Ⅱ)를 세정할 수 있다.

한편, 도 3에서는 필름(F)의 전단부(Ⅰ)를 세정할 때에 제1 필름 이송부(210)가 필름(F)을 제2 방향으로 이송하고, 필름(F)의 후단부(Ⅱ)를 세정할 때에 제2 필름 이송부(220)가 필름(F)을 제1 방향으로 이송하는 예를 도시하고 있으나, 이에 한정되지는 않으며, 필름(F)의 길이 등 조건에 따라 당업자에 의해 얼마든지 변경될 수 있다.

예를 들어, 필름(F)의 길이가 충분히 긴 경우, 필름(F)의 전단부(Ⅰ) 또는 후단부(Ⅱ)를 세정할 때에 필름(F)을 이송하기 위해 제1 필름 이송부(210)와 제2 필름 이송부(220)를 동시에 구동시킬 수도 있다.

이와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)는, 필름 이송부(200)에 의해 이송되는 필름(F)의 이송 방향에 따라 필름(F)의 전체 세정 영역을 전단부(Ⅰ)와 후단부(Ⅱ)로 나누어 세정함으로써, 필름 세정 공정이 진행되는 동안 필름(F)의 구겨지는 현상을 방지하여 필름 세정 공정의 불량률을 낮출 수 있으므로 전체적으로 필름 세정 공정의 효율성을 높일 수 있다.

한편, 도 2 및 도 3에서는 필름(F)의 전단부(Ⅰ)와 후단부(Ⅱ)가 서로 동일한 면적을 가지는 예를 도시하고 있으나, 이는 예시적인 것으로서, 필름(F)의 전단부(Ⅰ)와 후단부(Ⅱ)는 필름(F)의 길이, 필름 세정부(100)의 길이, 필름 이송부(200)의 길이 등의 조건에 따라 서로 다른 면적을 가질 수도 있다.

이하, 도 4 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)의 구조를 자세하게 설명하기로 한다.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치를 구성하는 필름 세정부의 구조를 나타내는 정면도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 필름 세정부(100)는 필름 지지부(110), 제1 필름 세정부(120) 및 제2 필름 세정부(130)를 포함하여 구성될 수 있다.

필름 지지부(110)는 필름 이송부(200)에 의해 필름(F)이 이송되는 동안, 필름(F)을 지지할 수 있다.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치의 필름 세정부를 구성하는 필름 지지부의 구조를 나타내는 사시도이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 필름 지지부(110)는 얇은 판상 형태를 가지고, 후술할 제1 필름 세정부(120)의 제1 세정 롤러(122)를 사이에 두고 한 쌍의 필름 지지판(111, 112)으로 구성될 수 있다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 세정 롤러(122)는 한 쌍의 필름 지지판(111, 112) 사이에 배치되며, 제1 필름 이송부(210) 및 제2 필름 이송부(220)에 의해 이송되는 필름(F)의 제1 면(F1)을 지지할 수 있도록 한 쌍의 필름 지지판(111, 112)으로부터 약간 돌출될 수 있다.

바람직하게는, 도 5에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 필름 지지판(111, 112)은 제1 필름 이송부(210) 및 제2 필름 이송부(220)에 의한 필름(F)의 이송이 보다 원활하게 수행될 수 있도록 내부에 형성된 복수의 가이드 홈(도시되지 않음)에 설치된 복수의 가이드 롤러(113)를 구비할 수 있다.

다시 도 4를 참조하면, 제1 필름 세정부(120)는 필름(F)의 제1 면(F1)에 접촉한 상태로 필름(F)의 제1 면(F1)(도 1의 예에서, 필름(F)의 하부면)을 세정할 수 있다. 또한, 제2 필름 세정부(130)는 필름(F)을 사이에 두고 제1 필름 세정부(120)에 대향하도록 배치되고, 제1 필름 세정부(120)가 필름(F)의 제1 면(F1)을 세정할 때에 필름(F)의 제2 면(F2)에 접촉한 상태로 필름(F)의 제2 면(F2)(도 1의 예에서 필름(F)의 상부면)을 동시에 세정할 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 필름 세정부(130)는 필름(F)의 제2 면(F2)을 향하는 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다.

한편, 제1 필름 세정부(120)와 제2 필름 세정부(130)는 실질적으로 서로 동일한 구조로 구성될 수 있으며, 제1 필름 세정부(120)와 제2 필름 세정부(130)는 필름 지지부(110)를 중심으로 서로 대칭되는 구조로 구성될 수 있다. 또한, 도 4에서는 제1 필름 세정부(120) 및 제2 필름 세정부(130)가 필름(F)의 하부면 및 상부면을 세정하는 예를 도시하고 있으나, 제1 필름 세정부(120) 및 제2 필름 세정부(130)는 이와 반대로 배치될 수도 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 제1 필름 세정부(120)는 제1 언와인더(Unwinder)(121), 제1 세정 롤러(122), 제1 리와인더(Rewinder)(123) 및 적어도 하나의 제1 공급 롤러(124)를 포함하여 구성될 수 있다.

제1 언와인더(121)는 필름(F)의 제1 면(F1)을 세정하기 위한 제1 와이퍼(Wiper)(W1)를 연속적으로 풀어주고, 제1 세정 롤러(122)는 제1 언와인더(121)로부터 공급되는 제1 와이퍼(W1)를 지지하며 필름(F)의 제1 면(F1)에 접촉하였을 때 제1 와이퍼(W1)를 이용하여 필름(F)의 제1 면(F1)을 세정하며, 제1 리와인더(123)는 제1 세정 롤러(122)로부터 공급되는 제1 와이퍼(W1)를 연속적으로 감아줄 수 있다.

비록 자세히 도시되지는 않았으나, 제1 와이퍼(W1)에 의해 필름(F)의 제1 면(F1)에 대한 세정이 진행되는 동안, 제1 언와인더(121) 및 제1 리와인더(123)는 동작을 중지하고, 필름(F)의 제1 면(F1)에 대한 세정을 마친 후, 제1 언와인더(121) 및 제1 리와인더(123)는 다음 세정 작업을 위해 제1 와이퍼(W1)를 필요한 만큼 이송시킬 수 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 제1 공급 롤러(124)는 제1 언와인더(121), 제1 세정 롤러(122) 및 제1 리와인더(123)의 사이에 배치되며, 제1 와이퍼(W1)를 지지한 상태로 제1 와이퍼(W1)를 제1 언와인더(121)로부터 제1 세정 롤러(122)를 거쳐 제1 리와인더(123)로 이송시킬 수 있다.

바람직하게는, 제1 공급 롤러(124)는 제1 언와인더(121)로부터 공급되는 제1 와이퍼(W1)를 제1 세정 롤러(122)로 공급하고 제1 세정 롤러(122)로부터 공급되는 제1 와이퍼(W1)를 제1 언와인더(121)로 공급하는 제1 중앙 롤러(134a)와, 제1 중앙 롤러(134a)의 양측에 접촉한 상태에서 제1 중앙 롤러(134a)를 지나는 제1 와이퍼(W1)의 장력을 조절하는 한 쌍의 제1 사이드 롤러(134b, 134c)로 구성될 수 있다. 이 때, 한 쌍의 제1 사이드 롤러(134b, 134c)는 각각 제1 와이퍼(W1)의 장력을 조절하기 위해 공압 실린더 등 액츄에이터(C1, C2)에 의해 제1 중앙 롤러(134a)를 향하는 방향으로 이동될 수 있다.

마찬가지로, 제2 필름 세정부(130)는 제2 언와인더(Unwinder)(131), 제2 세정 롤러(132), 제2 리와인더(Rewinder)(133) 및 적어도 하나의 제2 공급 롤러(134)를 포함하여 구성될 수 있다. 이 때, 제2 필름 세정부(130)를 구성하는 제2 언와인더(131), 제2 세정 롤러(132), 제2 리와인더(133) 및 제2 공급 롤러(134)의 구조 및 동작은 제1 필름 세정부(130)를 구성하는 제1 언와인더(121), 제1 세정 롤러(122), 제1 리와인더(123) 및 제1 공급 롤러(124)와 유사하므로, 중복 설명은 생략하기로 한다.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 필름 세정부(130)의 제2 세정 롤러(132)와 제2 공급 롤러(134)는 하나의 베이스 판(B)에 설치되며, 공압 실린더 등 액츄에이터(C3)에 의해 필름 지지부(110)를 향하는 방향(도 4의 예에서, 하부 방향), 즉, 필름(F)의 제2 면(F2)을 향하는 방향을 향해 이동될 수 있다.

한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)를 구성하는 필름 세정부(100)의 제1 필름 세정부(120)는 제1 와이퍼(W1)에 필름(F)의 제1 면(F1)을 세정하기 위한 용제를 공급하는 제1 용제 공급부(125)를 더 포함할 수 있다.

도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치의 필름 세정부를 구성하는 제1 필름 세정부의 다른 예를 나타내는 정면도이다.

도 6에 도시된 바와 같이, 제1 용제 공급부(125)는 제1 세정 롤러(122)와 인접하게 배치되며, 제1 언와인더(121)로부터 제1 세정 롤러(122)로 공급되는 제1 와이퍼(W1)에 용제를 공급할 수 있다.

이 때, 제1 용제 공급부(125)는 필름(F)의 제1 면(F1)을 세정하기 위한 용제를 분사하는 복수의 제1 용제 공급 노즐(125a)과, 복수의 제1 용제 공급 노즐(125a)과 인접하게 배치되며 제1 언와인더(121)로부터 제1 세정 롤러(122)로 공급되는 제1 와이퍼(W1)를 가압한 상태에서 복수의 제1 용제 공급 노즐(125a)로부터 분사되는 용제를 확산시키는 제1 용제 유도판(125b)을 포함하여 구성될 수 있다.

마찬가지로, 제2 용제 공급부는 제2 세정 롤러(132)와 인접하게 배치되며, 제2 언와인더(131)로부터 제2 세정 롤러(132)로 공급되는 제2 와이퍼에 용제를 공급하며, 복수의 제2 용제 공급 노즐과 제2 용제 유도판을 포함할 수 있다.

이와 같이, 제1 필름 세정부(120) 및 제2 필름 세정부(130)는 제1 와이퍼(W1) 및 제2 와이퍼에 용제를 공급하는 제1 용제 공급부(125) 및 제2 용제 공급부를 구비함으로써, 필름(F)의 제1 면(F1) 및 제2 면(F2)에 대한 세정 효율을 증대시킬 수 있다.

한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)를 구성하는 필름 세정부(100)의 제1 필름 세정부(120)는 세정 공정 이후 필름(F)의 제1 면(F1)에 잔존하는 용제를 건조시키는 제1 용제 건조부(126)를 더 포함할 수도 있다.

도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 세정 장치의 필름 세정부를 구성하는 제1 필름 세정부의 또 다른 예를 나타내는 정면도이다.

도 7에 도시된 바와 같이, 제1 용제 건조부(126)는 제1 세정 롤러(122)와 제2 필름 이송부(220)의 사이에서 제1 세정 롤러(122)와 인접하게 배치되며, 제1 와이퍼(W1)에 의해 세정된 필름(F)의 제1 면(F1)에 잔존하는 용제를 건조시킬 수 있다.

도 7에 도시된 바와 같이, 제1 용제 건조부(126)는 한 쌍의 제1 용제 건조부(126a, 126b), 즉, 제1 세정 롤러122)가 필름(F)의 제1 면(F1)의 전단부(Ⅰ)를 세정한 후에 필름(F)의 제1 면(F1)의 전단부(Ⅰ)에 잔존하는 용제를 건조시키는 제1 용제 건조부(126a)와, 제1 세정 롤러122)가 필름(F)의 제1 면(F1)의 후단부(Ⅱ)를 세정한 후에 필름(F)의 제1 면(F1)의 후단부(Ⅱ)에 잔존하는 용제를 건조시키는 제1 용제 건조부(126b)로 구성될 수 있다.

이 때, 제1 용제 건조부(126)는 필름(F)의 제1 면(F1)을 향해 공기(Air)를 분사하는 에어 나이프(Air Knife)를 사용하는 것이 바람직하나, 이에 한정되지 않으며, 적외선 히터(IR Heater) 등 다양한 종류의 건조 장치를 사용할 수도 있다.

마찬가지로, 제2 필름 세정부(130)는 세정 공정 이후 필름(F)의 제2 면(F2)에 잔존하는 용제를 건조시키는 제2 용제 건조부(136, 136a, 136b)를 더 포함할 수도 있다.

이하, 도 8 내지 도 10을 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)의 구조에 대해 설명하기로 한다. 설명의 편의상, 도 1 내지 도 7에 도시된 제1 실시예와 동일한 구조에 대한 설명은 생략하며, 이하 차이점 만을 위주로 설명하기로 한다.

도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름 세정 장치의 구조를 개략적으로 나타내는 정면도이고, 도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름 세정 장치를 구성하는 제3 필름 이송부의 구조를 나타내는 정면도이다.

도 8 및 도 9에 도시된 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)는, 도 1 내지 도 7에 도시된 제1 실시예와는 달리, 필름 이송부(200)가 제1 필름 이송부(210)와 제2 필름 이송부(220)의 사이에 배치되는 제3 필름 이송부(230)를 더 포함할 수 있다.

즉, 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)를 구성하는 제3 필름 이송부(230)는 필름 세정부(100)의 필름 지지부(110)와 인접한 위치에 배치되며, 필름 세정부(100)가 필름(F)의 제1 면(F1) 및 제2 면(F2)을 세정하는 동안 필름(F)의 이송을 안내하고, 이와 동시에, 필름(F)의 장력을 유지시킬 수 있다.

도 9에 도시된 바와 같이, 제3 필름 이송부(230)는, 제1 필름 이송부(210)와 제1 필름 세정부(120)의 사이에 배치되며 필름(F)을 이송시키는 제1 이송 롤러(231) 및 제1 안내 롤러(232), 제1 필름 세정부(120)와 제2 필름 이송부(220)의 사이에 배치되며 필름(F)을 이송시키는 제2 이송 롤러(233) 및 제2 안내 롤러(234)로 구성될 수 있다.

제1 이송 롤러(231)는 필름(F)의 제1 면(F1)과 인접한 위치에 배치되며, 필름 세정부(100)가 필름(F)을 세정할 때에, 필름(F)의 제1 면(F1)에 접촉한 상태로 필름(F)을 제1 방향(도 9의 예에서, 좌측 방향) 또는 제2 방향(도 9의 예에서, 우측 방향)으로 이송시킬 수 있다. 이 때, 제1 이송 롤러(231)는 제1 필름 이송부(210) 및 제2 필름 이송부(220)의 필름(F) 이송 속도와 동일한 이송 속도(선속도)를 유지하는 것이 바람직하다.

또한, 제1 안내 롤러(232)는 필름(F)을 사이에 두고 제1 이송 롤러(231)에 대향하도록 필름(F)의 제2 면(F2)과 인접한 위치에 배치되며, 필름(F)의 제2 면(F2)을 향하는 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다. 즉, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 안내 롤러(232)는 필름 세정부(100)가 필름(F)을 세정할 때에, 공압 실린더 등 액츄에이터(C4)에 의해 이동하여 필름(F)의 제2 면(F2)에 접촉하여 제1 이송 롤러(231)와 함께 필름(F)을 이송시키면서 필름(F)의 장력을 일정하게 유지시킬 수 있다.

마찬가지로, 제2 이송 롤러(233)와 제2 안내 롤러(234)는 필름 세정부(100)가 필름(F)을 세정할 때에 필름(F)을 이송시키면서 필름(F)의 장력을 일정하게 유지시킬 수 있다.

한편, 제1 이송 롤러(231)와 제2 이송 롤러(233)는 구동 모터로부터 회전 구동력을 제공 받을 수 있다. 도 9에서는 1 개의 구동 모터(M1)가 제1 이송 롤러(231)와 제2 이송 롤러(233)에 동시에 회전 구동력을 제공하는 예를 도시하고 있으나, 제1 이송 롤러(231)와 제2 이송 롤러(233)는 별도의 구동 모터(도시되지 않음)에 의해 각각 개별적으로 구동될 수도 있다.

한편, 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)의 필름 이송부(200)가 제3 필름 이송부(230)를 더 포함하는 경우, 필름 세정부(100)를 구성하는 필름 지지부(110)는 4 개의 필름 지지판(111, 112, 113, 114)으로 구성될 수 있다. 즉, 도 9에 도시된 바와 같이, 4 개의 필름 지지판(111, 112, 113, 114) 사이에는 제1 이송 롤러(231), 제1 세정 롤러(122) 및 제2 이송 롤러(233)가 순차적으로 배치되며, 제1 이송 롤러(231), 제1 세정 롤러(122) 및 제2 이송 롤러(233)는 각각 4 개의 필름 지지판(111, 112, 113, 114)으로부터 약간 돌출된 상태에서 필름(F)의 제1 면(F1)을 지지할 수 있다.

바람직하게는, 제1 이송 롤러(231)와 제1 안내 롤러(232)는 제1 필름 세정부(120) 및 제2 필름 세정부(130)가 필름(F)의 전단부(Ⅰ)를 세정할 때에, 제1 필름 이송부(210)에 의해 이송되는 필름(F)을 함께 이송시키는 것과 동시에, 필름(F)의 장력을 일정하게 유지시키고, 제2 이송 롤러(233)와 제2 안내 롤러(234)는 제1 필름 세정부(120) 및 제2 필름 세정부(130)가 필름(F)의 후단부(Ⅱ)를 세정할 때에, 제2 필름 이송부(220)에 의해 이송되는 필름(F)을 함께 이송시키는 것과 동시에, 필름(F)의 장력을 일정하게 유지시킬 수 있다.

즉, 제1 필름 세정부(120) 및 제2 필름 세정부(130)가 필름(F)의 전단부(Ⅰ)를 세정할 때에는, 제1 이송 롤러(231)는 필름(F)을 제2 방향으로 이송시키고, 제1 안내 롤러(232)는 필름(F)의 제2 면(F2)에 접촉한 상태를 유지한 상태로 필름(F)의 장력을 일정하게 유지시킬 수 있다.

또한, 제1 필름 세정부(120) 및 제2 필름 세정부(130)가 필름(F)의 후단부(Ⅱ)를 세정할 때에는, 제2 이송 롤러(233)는 필름(F)을 제1 방향으로 이송시키고, 제2 안내 롤러(234)는 필름(F)의 제2 면(F2)에 접촉한 상태를 유지한 상태로 필름(F)의 장력을 일정하게 유지시킬 수 있다.

이하, 도 10을 참조하여, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)의 동작에 대해서 자세히 설명하기로 한다.

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름 세정 장치의 동작을 나타내는 도면이다.

도 10의 (a)에서는 필름 세정부(100)가 필름(F)의 전단부(Ⅰ)를 세정하는 모습을 나타내고, 도 10의 (b)에서는 필름 세정부(100)가 필름(F)의 후단부(Ⅱ)를 세정하는 모습을 나타내고 있다.

도 10의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 제3 필름 이송부(230)는, 필름 이송부(200)에 의해 필름(F)이 제2 방향(도 10의 예에서, 좌측 방향)으로 이송하는 동안 필름 세정부(100)가 필름(F)의 전단부(Ⅰ)를 세정할 때에, 필름(F)을 제2 방향으로 함께 이송시키며 필름(F)의 장력을 일정하게 유지시키고, 필름 이송부(200)에 의해 필름(F)이 제1 방향(도 10의 예에서, 우측 방향)으로 이송하는 동안 필름 세정부(100)가 필름(F)의 후단부(Ⅱ)를 세정할 때에, 필름(F)을 제1 방향으로 함께 이송시키며 필름(F)의 장력을 일정하게 유지시킬 수 있다.

먼저, 도 10의 (a)에 도시된 바와 같이, 필름 세정부(100)는 제1 필름 이송부(210)에 의해 필름(F)이 제2 방향(도 10의 예에서, 좌측 방향)으로 이송되어 제1 위치(P1)로부터 제2 위치(P2)에 도달하는 동안 필름(F)의 전단부(Ⅰ)를 세정할 수 있다. 이 때, 제1 이송 롤러(231)와 제1 안내 롤러(232)는 제1 필름 이송부(210)와 함께 필름(F)을 제2 방향으로 이송시키면서 필름(F)의 장력을 일정하게 유지시킬 수 있다.

또한, 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이, 필름 세정부(100)는 제2 필름 이송부(220)에 의해 필름(F)이 제1 방향(도 10의 예에서, 우측 방향)으로 이송되어 제1 위치(P1)로부터 제3 위치(P3)에 도달하는 동안 필름(F)의 후단부(Ⅱ)를 세정할 수 있다. 이 때, 제2 이송 롤러(233)와 제2 안내 롤러(234)는 제2 필름 이송부(220)와 함께 필름(F)을 제1 방향으로 이송시키면서 필름(F)의 장력을 일정하게 유지시킬 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)는, 필름 세정부(100)가 필름(F)을 세정하는 동안, 필름 이송부(200)가 필름(F)을 이송시키는 것과 동시에 필름(F)의 장력을 조절함으로써, 필름 세정 공정이 진행되는 동안 필름(F)의 구겨지는 현상을 방지하여 필름 세정 공정의 불량률을 낮출 수 있다.

이하, 도 11 및 도 12를 참조하여, 본 발명의 제3 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)의 구조에 대해 설명하기로 한다. 설명의 편의상, 도 1 내지 도 7에 도시된 제1 실시예와 동일한 구조에 대한 설명은 생략하며, 이하 차이점 만을 위주로 설명하기로 한다.

도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 필름 세정 장치의 구조를 나타내는 정면도이고, 도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 필름 세정 장치의 필름 이송부를 구성하는 제1 필름 이송부의 구조를 나타내는 사시도이다.

도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)는, 필름 이송부(200)를 구성하는 제1 필름 이송부(210) 및 제2 필름 이송부(220)는 진공 흡착 방식에 의해 필름(F)을 지지한 상태로 이송시킬 수 있다.

도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 제1 필름 이송부(210)는 제1 흡착 컨베이어(211), 제1 진공압 공급부(212) 및 제1 컨베이어 구동부(213)를 포함하여 구성될 수 있다.

제1 흡착 컨베이어(211)는 필름(F)의 제1 면(F1)을 진공 흡착한 상태로 필름(F)을 제1 방향(도 11의 예에서, 좌측 방향) 또는 제2 방향(도 11의 예에서, 우측 방향)으로 이송시킬 수 있다. 도 12에 도시된 바와 같이, 제1 흡착 컨베이어(211)는 평 벨트(Flat belt) 형태를 가지고, 평 벨트의 두께 방향으로 필름(F)의 제1 면(F1)에 진공압(P)을 공급하기 위한 복수의 관통 홀(도시되지 않음)이 형성될 수 있다.

제1 진공압 공급부(212)는 제1 흡착 컨베이어(211)에 인접한 위치에 배치되며, 제1 흡착 컨베이어(211)에 진공압(P)을 공급할 수 있다. 도 12에 도시된 바와 같이, 제1 진공압 공급부(212)는 외부의 진공 펌프(도시되지 않음) 등으로부터 공급된 진공압(P)에 의한 진공이 형성되는 제1 진공 챔버(212a)와, 제1 진공 챔버(212a)의 일면(도 12의 예에서, 제1 진공 챔버(212a)의 상부면)을 밀폐한 상태에서 제1 흡착 컨베이어(211)에 접촉하여 제1 흡착 컨베이어(211)에 형성된 복수의 관통 홀(도시되지 않음)에 진공압(P)을 공급하는 제1 진공 플레이트(212b)를 포함할 수 있다.

도 12에 도시된 바와 같이, 제1 진공 플레이트(212b)는 제1 방향 또는 제2 방향으로 순환 구동하는 제1 흡착 컨베이어(211)에 효율적으로 진공압(P)을 공급하기 위해 두께 방향으로 복수의 관통 홀 또는 관통 홈(도시되지 않음)이 형성될 수 있다.

제1 컨베이어 구동부(213)는 제1 흡착 컨베이어(211)에 연결되며, 제1 흡착 컨베이어(211)를 순환 구동시킬 수 있다. 벨트 컨베이어 구동 방식은 잘 알려져 있으므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.

비록 자세히 도시되지는 않았으나, 제2 필름 이송부(220)는 제1 필름 이송부(210)와 실질적으로 동일한 구조를 가질 수 있으며, 제2 흡착 컨베이어(221), 제2 진공압 공급부(222) 및 제2 컨베이어 구동부(223)를 포함하여 구성될 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)는, 진공 흡착 방식의 필름 이송부(200)에 의해 필름(F)을 이송시킴으로써, 필름 세정 공정이 진행되는 동안 필름(F)의 구겨지는 현상을 방지할 뿐 아니라, 필름(F)에 대한 스크래치 발생을 방지할 수 있으므로 필름 세정 공정의 불량률을 낮출 수 있다.

이하, 도 13을 참조하여, 본 발명의 제4 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)의 구조에 대해 설명하기로 한다.

도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 필름 세정 장치의 구조를 개략적으로 나타내는 정면도이다.

도 13에 도시된 본 발명의 제4 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)는, 도 8 내지 도 10에 도시된 제2 실시예와, 도 11 및 도 12에 도시된 제3 실시예를 결합한 구조를 가질 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 필름 세정 장치(1)는, 필름 세정부(100)가 필름(F)을 세정하는 동안, 진공 흡착 방식의 필름 이송부(200)에 의해 필름(F)을 이송시키고, 제3 필름 이송부(230)에 의해 필름(F)을 이송시키는 것과 동시에 필름(F)의 장력을 조절함으로써, 필름 세정 공정이 진행되는 동안 필름(F)의 구겨지는 현상을 방지할 뿐 아니라, 필름(F)에 대한 스크래치 발생을 방지할 수 있으므로 필름 세정 공정의 불량률을 더욱 낮출 수 있다.

한편, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 필름 세정 장치
100: 필름 세정부 110: 필름 지지부
120: 제1 필름 세정부 130: 제2 필름 세정부
200: 필름 이송부 210: 제1 필름 이송부
220: 제2 필름 이송부 230: 제3 필름 이송부

Claims

필름이 이송되는 동안, 필름의 제1 면 및 제2 면에 접촉한 상태로 상기 필름의 제1 면 및 제2 면을 동시에 세정하는 필름 세정부; 및
상기 필름 세정부와 인접하게 배치되며, 상기 필름을 제1 방향 또는 상기 제1 방향의 반대 방향인 제2 방향으로 이송시키는 필름 이송부를 포함하며,
상기 필름 세정부는,
상기 필름의 제1 면 및 제2 면의 전체 세정 영역을 각각 상기 제1 방향을 따라 전단부 및 후단부로 나누어 순차적으로 세정하되,
상기 필름 이송부가 상기 필름을 상기 제2 방향으로 이송시킬 때에, 상기 필름의 전단부를 세정하고,
상기 필름 이송부가 상기 필름을 상기 제1 방향으로 이송시킬 때에, 상기 필름의 후단부를 세정하는 것을 특징으로 하는 필름 세정 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 필름 세정부는,
상기 필름이 이송되는 동안, 상기 필름을 지지하는 필름 지지부;
상기 필름의 제1 면에 접촉한 상태로 상기 필름의 제1 면을 세정하는 제1 필름 세정부; 및
상기 필름을 사이에 두고 상기 제1 필름 세정부에 대향하도록 배치되고, 상기 필름의 제2 면을 향하는 방향으로 이동 가능하게 설치되며, 상기 제1 필름 세정부가 상기 필름의 제1 면을 세정할 때에 상기 필름의 제2 면에 접촉한 상태로 상기 필름의 제2 면을 동시에 세정하는 제2 필름 세정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 세정 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 제1 필름 세정부 및 상기 제2 필름 세정부는 각각,
상기 필름의 표면을 세정하기 위한 와이퍼(Wiper)를 연속적으로 풀어주는 언와인더(Unwinder);
상기 언와인더로부터 공급되는 상기 와이퍼를 지지하며, 상기 필름의 표면에 접촉하였을 때 상기 와이퍼를 이용하여 상기 필름의 표면을 세정하는 세정 롤러;
상기 세정 롤러로부터 공급되는 상기 와이퍼를 연속적으로 감아주는 리와인더(Rewinder); 및
상기 언와인더, 상기 세정 롤러 및 상기 리와인더의 사이에 배치되며, 상기 와이퍼를 지지한 상태로 상기 와이퍼를 상기 언와인더로부터 상기 세정 롤러를 거쳐 상기 리와인더로 이송시키는 적어도 하나의 공급 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 세정 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 제1 필름 세정부 및 상기 제2 필름 세정부는 각각,
상기 세정 롤러와 인접하게 배치되며, 상기 언와인더로부터 상기 세정 롤러로 공급되는 상기 와이퍼에 상기 필름의 표면을 세정하기 위한 용제를 공급하는 용제 공급부를 더 포함하며,
상기 용제 공급부는,
상기 필름의 표면을 세정하기 위한 용제를 분사하는 복수의 용제 공급 노즐; 및
상기 복수의 용제 공급 노즐과 인접하게 배치되며, 상기 언와인더로부터 상기 세정 롤러로 공급되는 상기 와이퍼를 가압한 상태에서 상기 복수의 용제 공급 노즐로부터 분사되는 용제를 확산시키는 용제 유도판을 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 세정 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 제1 필름 세정부 및 상기 제2 필름 세정부는 각각,
상기 세정 롤러와 인접하게 배치되며, 상기 와이퍼에 의해 세정된 상기 필름의 제1 면 및 제2 면에 잔존하는 용제를 건조시키는 용제 건조부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 세정 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 필름 이송부는,
상기 필름 세정부의 일측에 배치되며, 상기 필름을 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이송시키는 제1 필름 이송부; 및
상기 필름 세정부의 타측에 배치되며, 상기 필름을 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이송시키는 제2 필름 이송부를 포함하며,
상기 필름 세정부는,
상기 제1 필름 이송부가 상기 필름을 상기 제2 방향으로 이송시킬 때에, 상기 필름의 전단부의 내측으로부터 외측을 향하는 방향으로 세정하고,
상기 제2 필름 이송부가 상기 필름을 상기 제1 방향으로 이송시킬 때에, 상기 필름의 후단부의 내측으로부터 외측을 향하는 방향으로 세정하는 것을 특징으로 하는 필름 세정 장치.
제 6 항에 있어서,
상기 필름 이송부는,
상기 필름 세정부와 인접하게 배치되며, 상기 필름 세정부가 상기 필름의 제1 면 및 제2 면을 세정하는 동안 상기 필름을 이송시키면서 상기 필름의 이송을 안내하는 제3 필름 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 세정 장치.
제 7 항에 있어서,
상기 제3 필름 이송부는,
상기 제1 필름 이송부와 상기 제1 필름 세정부의 사이에 배치되며, 상기 필름의 제1 면에 접촉한 상태로 상기 필름을 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이송시키는 제1 이송 롤러;
상기 필름을 사이에 두고 상기 제1 이송 롤러에 대향하도록 배치되고, 상기 필름의 제2 면을 향하는 방향으로 이동 가능하게 설치되는 제1 안내 롤러;
상기 제1 필름 세정부와 상기 제2 필름 이송부의 사이에 배치되며, 상기 필름의 제1 면에 접촉한 상태로 상기 필름을 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향으로 이송시키는 제2 이송 롤러; 및
상기 필름을 사이에 두고 상기 제2 이송 롤러에 대향하도록 배치되고, 상기 필름의 제2 면을 향하는 방향으로 이동 가능하게 설치되는 제2 안내 롤러를 포함하며,
상기 제1 이송 롤러 및 상기 제1 안내 롤러는,
상기 제1 필름 세정부 및 상기 제2 필름 세정부가 상기 필름의 전단부를 세정할 때에, 상기 제1 필름 이송부에 의해 이송되는 상기 필름을 이송시키면서 상기 필름의 장력을 일정하게 유지시키고,
상기 제2 이송 롤러 및 상기 제2 안내 롤러는,
상기 제1 필름 세정부 및 상기 제2 필름 세정부가 상기 필름의 후단부를 세정할 때에, 상기 제2 필름 이송부에 의해 이송되는 상기 필름을 이송시키면서 상기 필름의 장력을 일정하게 유지시키는 것을 특징으로 하는 필름 세정 장치.
제 6 항에 있어서,
상기 제1 필름 이송부 및 상기 제2 필름 이송부는 각각,
상기 필름의 표면을 진공 흡착한 상태로 상기 필름을 이송시키는 흡착 컨베이어;
상기 흡착 컨베이어에 인접한 위치에 배치되며, 상기 흡착 컨베이어에 진공압을 공급하는 진공압 공급부; 및
상기 흡착 컨베이어에 연결되며, 상기 흡착 컨베이어를 순환 구동시키는 컨베이어 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 세정 장치.