JP2016140816A - 透明板清掃システム - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、透明板の両面を容易かつ確実に清掃することができる透明板清掃システムを提供することを課題とする。【解決手段】本発明に係る透明板清掃システムは、透明板を搬送しつつ透明板の第１面を清掃する第１清掃装置、上記第１清掃装置から搬出された上記透明板を反転させる反転装置、及び上記反転装置から搬出された上記透明板を搬送しつつ上記透明板の第２面を清掃する第２清掃装置を備え、上記反転装置が、上記第１清掃装置による上記透明板の搬送速度と異なった搬送速度で、上記第１清掃装置から上記第２清掃装置に透明板を搬送する。上記反転装置における透明板の搬送速度は、第１清掃装置による透明板の搬送速度よりも早いとよい。上記第１清掃装置は、透明板の第１面に一部が接触するよう長尺状の清掃布を送給する送給機構、及びこの送給機構による清掃布の送給方向と逆方向に透明板を搬送する搬送機構を備えるとよい。【選択図】図１

Description

本発明は、透明板清掃システムに関する。

携帯電話やスマートフォン等には、ガラス基板が用いられている。ガラス基板は、ガラス基板の製造装置によって製造される。ガラス基板を製造する際には、ガラス基板の表面に切削により生ずるガラス粉等が付着する場合がある。また、ガラス基板の搬送中にも埃等が付着するおそれがある。これらのガラス粉や埃等を取り除くためにはガラス基板の表面を清掃する必要がある。

透明板を清掃する装置としては、透明板の両端を把持してブラシによって透明板の両面を清掃する装置が提案されているが（特開平８−８９９１０号公報）、この装置では把持している透明板両端を清掃できない。

また、ベルトコンベア上に敷いた清浄な布の上に透明板を載置して、アルコールを含んだ布で透明板の上面全体の汚れを払拭する清掃装置が提案されているが（中国特許出願公開第１０２６９８９８８号）、この装置にあっては透明板の片面しか清掃できない。このため、片面が清掃された透明板を裏返して同じ清掃装置に供給する作業が必要となり、透明板の清掃に時間がかかり、作業効率が悪く、かつコストがかかる。

特開平８−８９９１０号公報 中国特許出願公開第１０２６９８９８８号

そこで、本発明は、透明板の両面を容易かつ確実に清掃することができる透明板清掃システムを提供することを課題とする。

上記課題を解決するためになされた発明は、
透明板を搬送しつつ透明板の第１面を清掃する第１清掃装置、
上記第１清掃装置から搬出された上記透明板を搬送しつつ反転させる反転装置、及び
上記反転装置から搬出された上記透明板を搬送しつつ上記透明板の第２面を清掃する第２清掃装置
を備え、
上記反転装置が、上記第１清掃装置による上記透明板の搬送速度と異なった搬送速度で、上記第１清掃装置から上記第２清掃装置に透明板を搬送する透明板清掃システムである。

当該透明板清掃システムによれば、第１清掃装置によって透明板の第１面が清掃され、第１面清掃後の透明板が反転装置によって反転され、この反転された透明板の第２面（第１面の反対側の面）が第２清掃装置によって清掃される。このため、当該透明板清掃システムは、人が介在することなく透明板の両面を清掃できる。また、当該透明板清掃システムは、上記反転装置が、第１清掃装置による透明板の搬送速度と異なった搬送速度で、第１清掃装置から第２清掃装置に透明板を搬送するので、反転装置の搬送速度を調整することで第１清掃装置及び第２清掃装置の清掃を効率的に行うことができる。なお、第１清掃装置による透明板の搬送速度とは、第１清掃装置において透明板が搬入され搬出されるまでの搬送方向の距離を時間で割った値を意味する。また、反転装置の搬送速度とは、第１清掃装置から受け取った透明板を第２清掃装置に受け渡し可能位置まで透明板を搬送する搬送方向の距離を時間で割った値を意味する。

上記反転装置における上記透明板の搬送速度が、上記第１清掃装置による上記透明板の搬送速度よりも早いことが好ましい。これにより、反転装置によって速やかに第２清掃装置に透明板を搬送することができ、特に、第１清掃装置の搬送速度が、第２清掃装置の搬送速度と同一若しくは未満であった場合、より効率的な清掃を行うことができる。

上記第１清掃装置が、上記透明板の第１面に一部が接触するよう長尺状の清掃布を送給する送給機構、及び上記送給機構による上記清掃布の送給方向と逆方向に上記透明板を搬送する搬送機構を備えるとよい。

これにより、清掃布によって透明板の第１面を容易かつ確実に清掃することができ、この清掃布は送給機構によって送給されるので、清掃布の未使用部分によって透明板の第１面を清掃することも可能となる。また、清掃布は、透明板の逆方向に送給されるので、清掃布と透明板との相対速度を大きくすることもでき、このためより効率的な清掃を行うことができる。

上記搬送機構は、上記送給機構による上記清掃布の送給速度よりも早いとよい。これにより、透明板を速やかに清掃して上記反転装置側に送ることができ、効率的な清掃を行うことができるとともに、清掃布の使用量を低減させることができる。なお、送給機構による清掃布の送給速度とは、透明板と清掃布とが当接している状態における清掃布の速度を意味する。

当該透明板清掃システムは、上記第１清掃装置において、搬送機構によって搬送される上記透明板が搬送方向少なくとも二つの清掃箇所において上記清掃布に接触し、二つの清掃箇所における上記清掃布の洗浄液含浸量が異なる構成を採用するとよい。

これにより、洗浄液を十分に含浸した清掃布によって透明板の第１面を確実に清掃できるとともに、洗浄液による筋等の発生を的確に抑制できる。つまり、多量の洗浄液を含浸した清掃布で清掃しただけの場合、透明板の第１面に洗浄液による筋が残る場合があるが、上記構成を採用することで、搬送方向上流側において透明板の第１面を洗浄液含浸量の多い清掃布の部分で清掃でき、搬送方向下流側において透明板の第１面を洗浄液含浸量の少ない（又は洗浄液を含浸しない）清掃布の部分で清掃することができ、これにより洗浄液による筋等の発生を的確に抑制できる。また、清掃布が透明板搬送方向と逆方向に送られることで、透明板搬送方向下流側（清掃布送給方向上流側）において未使用（未当接）の清掃布によって透明板を清掃し、透明板搬送方向上流側（清掃布送給方向下流側）において使用後（当接済）の清掃布によって透明板を清掃できる。このため、透明板搬送方向につれて汚れの少ない清掃布の部分で透明板を清掃することができる。

当該透明板清掃システムは、上記第１清掃装置が、上記清掃布の一部を上記第１面に当接させるべく押圧する第１清掃部材、上記清掃布の上記第１清掃部材よりも清掃布送給方向下流側の部分を上記第１面に接触させるべく押圧する第２清掃部材、及び上記清掃布の上記第１清掃部材と上記第２清掃部材と間の部分に洗浄液を供給する洗浄液供給機構を備えるとよい。

これにより、洗浄液供給機構によって洗浄液が供給された清掃布の部分が、第１清掃部材によって透明板搬送方向上流側の透明板の第１面に押圧されることで、この透明板の第１面を洗浄液を多く含む清掃布の部分で清掃できる。また、透明板搬送方向下流側においては、第２清掃部材によって洗浄液含浸量の少ない（又は洗浄液を含浸しない）清掃布の部分が透明板の第１面に押圧されることで、この透明板の第１面を清掃できる。このため、洗浄液を十分に含浸した清掃布によって透明板の第１面を清掃できるとともに、洗浄液による筋等の発生を的確に抑制でき、より確実な清掃を行うことができる。

上記第１清掃装置は、上記透明板の第１面に向けて上記清掃布を押圧するための押圧ヘッドをさらに備え、上記第１清掃部材及び上記第２清掃部材が上記押圧ヘッドに取り付けられ、第１清掃部材及び第２清掃部材が、上記清掃面の平面上であって、且つ上記透明板搬送方向に直交する方向に往復動するとよい。

これにより第１清掃装置において、清掃布が第１清掃部材及び第２清掃部材よって透明板の清掃面に押圧されつつ、第１清掃部材及び第２清掃部材が上記方向に往復動することで、透明板の清掃面に接触した清掃布が透明板の搬送方向の直交方向に摺動して、清掃面をより確実に清掃することができる。

上記反転装置は、第１受渡領域において透明板の下面を吸着し、第２受渡領域において上記透明板を解放する吸着部と、この吸着部が一端側に付設されているアームと、このアームの他端側を支持し、上記吸着部に吸着されているときの上記透明板と平行な平面上に位置する回転軸を中心に３６０°回転可能な回転部とを備えるとよい。

これにより、回転部に上記他端側が支持されたアームの上記一端側に設けた吸着部によって透明板の第２面を吸着し、吸着部に吸着されている透明板と実質的に平行な回転軸を中心に回転部を回転することによりアームを旋回させて、円弧を描くように透明板を移動させると共に透明板の第２面及び第１面を反転させることができる。これにより、清掃済みの透明板の第１面に触れることなく透明板を移送及び反転できる。

当該透明板清掃システムは、上記第１清掃装置及び上記第２清掃装置により清掃された上記透明板の少なくとも一方の面の付着物を除去する異物除去機構をさらに備えるとよい。これにより、第１清掃装置又は第２清掃装置により清掃された透明板の清掃面に付着する付着物を上記異物除去機構によって除去することができる。

当該透明板清掃システムは、上記第１清掃装置及び上記第２清掃装置により清掃された上記透明板を検査する検査機構をさらに備えるとよい。これにより、検査装置によって透明板の欠陥等を発見することができる。

本発明の透明板清掃システムは、透明板の両面を容易かつ確実に清掃することができる。

本発明の第１実施形態の透明板清掃システムを示す模式的側面図である。 図１の透明板清掃システムの第１清掃装置の模式的側面図である。 図２の第１清掃装置の押圧ヘッドの模式的側面図である。 図１の透明板清掃システムの反転装置を示す模式的平面図である。 図４の反転装置の模式的側面図である。 図１と異なる透明板清掃システムを示す模式的側面図である。 図１と異なる透明板清掃システムの反転装置を示す模式的側面図である。

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。先ず、図１から図５を参照しながら、本発明の第１実施形態の透明板清掃システム１について説明する。

［第１実施形態］
図１の透明板清掃システム１は、例えばスマートフォンに用いられるカバーガラスやタッチパネル等の透明板Ｐを清掃するためのシステムである。より具体的には、本実施形態の透明板清掃システムは、自動的に、透明板Ｐの両面（第１面ｐ１及び第２面ｐ２）を清掃すると共に異物を除去し、さらに透明板Ｐの欠陥を検査するシステムである。

本実施形態の透明板清掃システム１は、透明板Ｐを搬送しつつこの透明板Ｐの第１面ｐ１を清掃する第１清掃装置１０Ａ、この第１清掃装置１０Ａから搬出された透明板Ｐを反転させる反転装置３０、この反転装置３０によって反転された透明板Ｐを搬送しつつこの透明板Ｐの第２面ｐ２（第１面ｐ１の反対面）を清掃する第２清掃装置１０Ｂ、この第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に付着する異物を除去可能な異物除去装置５０、及び上記異物除去装置５０から排出される透明板Ｐを検査する検査装置７０を備えている。なお、図１等に示すように、第１清掃装置１０Ａの透明板Ｐの搬送方向Ｘと、第２清掃装置１０Ｂの透明板Ｐの搬送方向Ｘとは、同一方向である。ここで、搬送方向Ｘは、第１清掃装置１０Ａから第２清掃装置１０Ｂに向かう方向である。また、本実施形態の透明板清掃システム１は、第１清掃装置１０Ａに透明板Ｐを供給するローダ装置９０を有している。

本実施形態の透明板清掃システム１は、各種装置の動作を制御等する制御装置（図示省略）をさらに備えている。

＜第１清掃装置及び第２清掃装置＞
本実施形態の第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、一方向（搬送方向Ｘ）に透明板Ｐを搬送する搬送機構１１、及びこの搬送機構１１によって搬送される透明板Ｐの清掃面に長尺状の清掃布Ｃの一部を接触させて清掃面を清掃すべく清掃布を送給する送給機構２５を備えている。具体的には、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、図２及び図３に示すように、透明板Ｐを搬送する搬送機構１１、透明板Ｐに当接する長尺状の清掃布Ｃ、清掃布Ｃを透明板Ｐに向けて押圧するための二つの押圧ヘッド１３、清掃布Ｃを送る送給機構２５、及び清掃布Ｃに洗浄液を供給する洗浄液供給機構２８を有している。この搬送機構１１、押圧ヘッド１３、送給機構２５及び洗浄液供給機構２８は、上記制御装置によって動作が制御されている。なお、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、後述するように一部の構成（例えば載置用長尺シート）において相違し、他の部分は同一構成を有している。また、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、搬送機構１１、清掃布Ｃ、押圧ヘッド１３、送給機構２５及び洗浄液供給機構２８を内蔵する筐体１０ｈを有している。この筐体１０ｈ（図１参照）は、透明板Ｐの搬入口及び搬出口（図示省略）を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられている。このため第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂでは、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂにおける透明板Ｐの清掃が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Ｐに付着することが防止されている。なお、この筐体１０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

（搬送機構）
搬送機構１１は、清掃対象物である透明板Ｐを搬送方向Ｘに搬送する機構である。搬送機構１１は薄板状物である透明板Ｐを透明板Ｐの平面方向に搬送し、具体的には、本実施形態においては、搬送機構１１は、透明板Ｐを清掃面（第１面ｐ１及び第２面ｐ２のいずれか一方）が上方を向いた状態で載置され、水平方向に搬送する機構である。なお、「平面方向に搬送する」とは、透明板Ｐの清掃面（上記第１面ｐ１及び第２面ｐ２）に沿った方向のうちの１つの方向に搬送することを意味する。

第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１は、透明板Ｐを載置、つまりは透明板Ｐの下側に位置する面（第２面ｐ２（清掃対象である第１面ｐ１の反対側の面））の全面が接した状態で透明板Ｐを搬送する。このように透明板Ｐは、第２面ｐ２の全面が接した状態で搬送されることで、搬送機構１１と清掃布Ｃとの間で全面的に挟み込まれ、上方に位置する面（第１面ｐ１）が清掃される。この第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１としては、例えばベルトコンベアから構成できる。

第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１は、透明板Ｐを載置、つまりは透明板Ｐの下側に位置する面（第１面ｐ１（清掃対象である第２面ｐ２の反対側の面））の全面が接した状態で透明板Ｐを搬送する。このように透明板Ｐは第１面ｐ１が接した状態で搬送されることで、搬送機構１１と清掃布Ｃとの間で全面的に挟み込まれ、第２面ｐ２が清掃される。この第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１としては、例えば図１に示すようにベルトコンベアと、このベルトコンベア上に供給され、ベルトコンベアと同じ速度で移動する清浄な載置用長尺シート１２とを有するものが採用できる。このように第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１が、載置用長尺シート１２を有することで、第１清掃装置１０Ａによって清掃された透明板Ｐの第１面ｐ１が載置用長尺シート１２に接触した状態で載置されることとなり、第１面ｐ１が第２清掃装置１０Ｂ内で汚れることを防止できる。なお、本実施形態では、第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１で搬送される透明板Ｐの高さ（上下高さ）は、第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１で搬送される透明板Ｐの高さ未満である。

上記ベルトコンベアについてさらに詳述する。ベルトコンベアは、搬送ベルト１１ａ、搬送従動ローラ１１ｂ及び搬送駆動ローラ１１ｃを備えている。搬送ベルト１１ａは無端状のベルト部材からなり、この搬送ベルト１１ａが搬送従動ローラ１１ｂ及び搬送駆動ローラ１１ｃに架け渡されており、搬送駆動ローラ１１ｃの回転に伴って搬送ベルト１１ａが循環すると共に搬送従動ローラ１１ｂも回転する。この搬送従動ローラ１１ｂは、後述する搬送方向Ｘにおいて上流側に位置する押圧ヘッド１３のさらに上流側に配され、搬送駆動ローラ１１ｃは、後述する搬送方向Ｘにおいて下流側に位置する押圧ヘッド１３のさらに下流側に配されている。なお、搬送駆動ローラ１１ｂと搬送従動ローラ１１ｃとの配設箇所を逆とすることも可能である。

第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１による透明板Ｐの搬送速度及び第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１の搬送速度は、本実施形態においては同一に設定されている。なお、搬送速度とは、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂにおいて透明板Ｐが搬入され搬出されるまでの距離を時間で割った値を意味する。

この搬送機構１１の搬送速度は、清掃対象物によって適宜設定されるが、例えば８０ｍｍ／ｓであり、１０ｍｍ／ｓ以上１６０ｍｍ／ｓ以下とすることができる。

また、第１清掃機構の搬送機構１１は、上記ローダ装置９０（図１参照）から透明板Ｐを受け取り、清掃後に反転装置３０に受け渡す第１受渡領域Ａ１（図５参照）まで透明板Ｐを搬送する。また、第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１は、反転装置３０から第２受渡領域Ａ２（図５参照）において透明板Ｐを受け取り、透明板Ｐの排出領域まで透明板Ｐを搬送して排出する。

（清掃布）
清掃布Ｃは、清掃箇所において透明板Ｐに接触されながら動かされることで透明板Ｐの清掃面（上側に位置する面）を清掃する。清掃布Ｃは、清掃箇所において一方の面が透明板Ｐの清掃面に対面するよう供給され、上記押圧ヘッド１３によって透明板Ｐの清掃面に押し付けられながら清掃面を拭き取ることで清掃面を清掃する。

この清掃布Ｃとしては、繊維製のものが用いられ、例えば織物が用いられる。この繊維としては、天然繊維、合成繊維等、種々のものが採用可能である。また繊維製の清掃布Ｃとして不織布を用いることもできる。不織布を用いる場合、不織布としては、乾式法、湿式法、メルトブロー法によってフリースが形成されるものを用いることができる。

上記清掃布Ｃの幅及び長さは特に限定されるものではないが、幅が例えば６０ｃｍの清掃布Ｃが用いられ、１０ｃｍ以上１００ｃｍ以下のものが好適に用いられる。また、長さが例えば１２０ｍの清掃布Ｃが用いられ、３０ｍ以上１５０ｍ以下のものが好適に用いられる。

（押圧ヘッド）
二つの上記押圧ヘッド１３は、図１及び図２に示すようにそれぞれ透明板Ｐの搬送方向Ｘに順次並べて配置されている。

各押圧ヘッド１３には、図２及び図３に示すように清掃布Ｃの一部を透明板Ｐに向けて押圧する第１清掃部材１４、及び清掃布Ｃの第１清掃部材１４よりも搬送方向Ｘの下流側の部分を透明板Ｐに向けて押圧する第２清掃部材１５が取付けられている。つまり、本実施形態においては、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、それぞれ清掃布Ｃと透明板Ｐとが接触する清掃箇所が、透明板搬送方向に並べて４箇所設けられている。なお、本実施形態においては、二つの押圧ヘッド１３は同一構成を有している。この第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５は、例えばシリコン等の弾性部材で形成されたパッド状の部材である。

各押圧ヘッド１３は、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５それぞれを清掃面の平面上であって、且つ搬送方向Ｘの直交方向に往復動させる清掃部材駆動機構（図示省略）を有している。なお、「清掃面の平面上であって、且つ搬送方向Ｘの直交方向」とは、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５が清掃布Ｃを透明板Ｐの清掃面に接触させることのできる平面内における搬送方向Ｘの直交方向であることを意味し、具体的には清掃面と平行な面上であり且つ搬送方向Ｘの直交方向を意味する。

上記ヘッド１３は、上下動可能に設けられている。つまり、搬送機構１１（搬送ベルト）に対して接近及び離反可能に設けられている。このため、清掃作業に際しては、ヘッド１３を下降させることで清掃布Ｃを透明板Ｐの清掃面に当接させることができ、またメンテナンス作業等に際してはヘッド１３を上昇させることができる。

（送給機構）
図１を参照して送給機構２５について説明する。上記清掃布Ｃは、上述のように送給機構２５によって送られる。ここで、送給機構２５は、主動ローラ２５ａ及び従動ローラ２５ｂを有している。清掃布Ｃは、この主動ローラ２５ａ及び従動ローラ２５ｂに架け渡され、主動ローラ２５ａの回転によって透明板Ｐの清掃後の清掃布Ｃの部分は主動ローラ２５ａに巻き取られる。このとき、従動ローラ２５ｂから未使用の清掃布が繰り出される。

送給機構２５は、透明板Ｐの搬送方向Ｘと逆方向（図２のＹ方向）に清掃布Ｃを送るよう設けられている（図２参照）。つまり、清掃布Ｃは、送給機構２５によって、清掃箇所（透明板Ｐと接触する箇所）において清掃布Ｃが搬送方向Ｘの逆方向（図２のＹ方向）に送られる。上記主動ローラ２５ａは、全ての清掃部材１４，１５よりも搬送方向Ｘの上流側に配置され、上記従動ローラ２５ｂは、全ての清掃部材１４，１５よりも搬送方向Ｘの下流側に配置されている。なお、本実施形態においては、送給機構２５は、清掃布Ｃを連続的に送るが、間欠的に送ることも可能であり、例えば清掃箇所において透明板Ｐに接触する際に清掃布Ｃを送り、接触しない時に清掃布Ｃの送給を停止するよう設けることも可能である。

上記送給機構２５による清掃布Ｃの送給速度は、上記搬送機構１１による透明板Ｐの搬送速度よりも遅い。これにより、透明板Ｐを速やかに清掃して上記反転装置３０側に送ることができ、効率的な清掃を行うことができると共に、清掃布Ｃの使用量を低減させることができる。この送給機構２５の送給速度は、清掃対象物によって適宜設定されるが、例えば１０ｍｍ／ｓであり、０．３ｍｍ／ｓ以上２０ｍｍ／ｓ以下とすることができる。なお、送給機構２５による清掃布Ｃの送給速度とは、透明板Ｐと清掃布Ｃとが接触している状態における清掃布の速度を意味する。

また、送給機構２５は、二つの上記押圧ヘッド１３の間に位置する清掃布Ｃの一部を、透明板Ｐから離間させるようにガイドしている。具体的には、送給機構２５は、二つの押圧ヘッド１３間においてベルトコンベアの上方に配されたローラ２６を有している。送給機構２５では、このローラ２６に二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃが架け渡されていることで二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃの一部が透明板Ｐから離間されている。

このローラ２６は、テンションローラから構成されている。つまり、送給機構２５はテンションローラを有するテンション調整部を備え、清掃布Ｃに作用するテンションがテンション調整部によって調整されている。具体的には、テンション調整部は、上下に並べて配された二つのテンションローラを有し、上方のテンションローラは搬送方向Ｘの下流側に配置された押圧ヘッド１３における清掃布Ｃの一部のテンションを調整し、下方のテンションローラは搬送方向Ｘの上流側に配置された押圧ヘッド１３における清掃布Ｃの一部のテンションを調整している。

（洗浄液供給機構）
上記清掃布Ｃには、上述のように洗浄液供給機構２８によって洗浄液が供給される。このため、洗浄液が含浸された清掃布Ｃによって透明板Ｐが清掃される。本実施形態において洗浄液供給機構２８は、搬送方向Ｘにおいて第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５間に位置する清掃布Ｃの一部にそれぞれ洗浄液を供給すると共に、後述するように押圧ヘッド１３よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する清掃布Ｃの一部にも洗浄液を供給している。

上記洗浄液供給機構２８は、図３に示すように第１清掃部材１４と第２清掃部材１５との間に設けられた供給ノズル２８ｂを有している。この供給ノズル２８ｂは、清掃布Ｃの清掃面に接触する側の面から洗浄液を供給している。具体的には、供給ノズル２８ｂは、第１清掃部材１４と第２清掃部材１５との間において清掃布Ｃの透明板Ｐに対面する面、より具体的には清掃布Ｃの下側の面に直接洗浄液を供給している。

供給ノズル２８ｂは図示しない洗浄液貯蔵タンクに接続されている。供給ノズル２８ｂは、上方に向かって洗浄液を供給する。供給ノズル２８ｂから供給された洗浄液は、清掃布Ｃに含浸して透明板Ｐの清掃面に到達する。供給ノズル２８ｂから供給される洗浄液の量は、透明板Ｐに付着した汚れを分解可能であり、且つ清掃部材１５により清掃布Ｃの一部が押圧されて拭き取り動作が行われたとしても筋が残らないように調整されている。供給ノズル２８ｂは、先細形状となっている。本実施形態では、上述のような構成となっているが、清掃布Ｃの上方から下方に向かって洗浄液を供給する構成を採用することもできる。

この供給ノズル２８ｂによる洗浄液の供給量は、清掃対象物等において適宜変更可能であるが、清掃布単位面積あたりの洗浄液供給量が例えば２００ｇ／ｍ^２とすることが可能であり、２０ｇ／ｍ^２以上４００ｇ／ｍ^２以下することができる。

上記洗浄液としては、特に限定されるものではないが、アルコールが好適に用いられ、中でもエタノールが特に好適に用いられる。

また、当該透明板清掃システム１は、洗浄液供給機構２８として、透明板Ｐの搬送方向Ｘの下流側に配置された押圧ヘッド１３よりも清掃布Ｃの供給方向Ｙの上流側に位置している清掃布Ｃの部分に洗浄液を供給する洗浄液供給部２８ａをさらに有している（図１参照）。換言すれば、この洗浄液供給部２８ａは、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５よりも清掃布Ｃの供給方向Ｙの上流側に位置する清掃布Ｃの部分に洗浄液を供給している。この洗浄液供給部２８ａとしては、噴射ノズル等の種々のものを採用可能である。なお、この洗浄液供給部２８ａにおける洗浄液の供給量は、清掃部材１４，１５における洗浄液の供給量よりも少ない。具体的には、この洗浄液供給部２８ａにおける洗浄液の供給量は、例えば８０ｇ／ｍ^２とすることが可能であり、２０ｇ／ｍ^２以上２００ｇ／ｍ^２以下することができる。

＜反転装置＞
図１、図４及び図５を参照して反転装置３０について説明する。反転装置３０は、上述のように第１清掃装置１０Ａ（図１参照）から搬出された透明板Ｐを反転させて、第２清掃装置１０Ｂ（図１参照）に供給する装置である。具体的には、第１清掃装置１０Ａから順次第１受渡領域Ａ１（図６参照）に供給される透明板Ｐを、第２受渡領域Ａ２（図５参照）において第２清掃装置１０Ｂに受け渡している。

この反転装置３０は、上記第１清掃装置１０Ａによる透明板Ｐの搬送速度と異なった搬送速度で、第１清掃装置１０Ａから第２清掃装置１０Ｂに透明板Ｐを搬送している。この反転装置３０における透明板Ｐの搬送速度は、第１清掃装置１０Ａによる透明板Ｐの搬送速度よりも早い。なお、反転装置３０による搬送速度とは、第１清掃装置１０Ａから受け取った透明板Ｐを第２清掃装置１０Ｂに受け渡し可能位置まで透明板Ｐを搬送する搬送方向Ｘの距離を時間で割った値を意味する。

この反転装置３０の搬送速度は、清掃対象物等によって適宜設定されるが、例えば ４５０ｍｍ／ｓであり、４０ｍ／ｓ以上６００ｍ／ｓ以下とすることができる。

この反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１において透明板Ｐの第２面ｐ２を吸着し、第２受渡領域Ａ２において上記透明板Ｐを解放する保持部（吸着部３２）と、この保持部（吸着部３２）が一端側に付設されているアーム３３と、このアーム３３の他端側を支持する回転部３５とを備えている。なお、反転装置３０は、上記吸着部３２、アーム３３及び回転部３５等を内蔵する筐体３０ｈ（図１参照）を有し、この筐体３０ｈは、透明板Ｐの搬入口及び搬出口（図示省略）を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられ、このため反転装置３０における透明板Ｐの反転及び搬送が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Ｐに付着することが防止されている。この反転装置３０の筐体３０ｈの搬入口は第１清掃装置１０Ａの筐体１０ｈの搬出口と気密に連結され、また、反転装置３０の筐体３０ｈの搬出口は第２清掃装置１０Ｂの筐体１０ｈの搬入口と気密に連結されている。なお、この反転装置３０の筐体３０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

さらに、反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１に配設された仮受部材３１と、回転部３５に対して上記アーム３３を上記吸着部３２の吸引方向に突出又は後退する突出機構３４とを備える。反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１において一つの透明板Ｐを下側から支持する仮受部材３１を備えている。具体的には、仮受部材３１は、第１受渡領域Ａ１において第１清掃装置１０Ａ（図１参照）から排出された透明板Ｐの第２面ｐ２を一時的に支持する。吸着部３２は、仮受部材３１に支持されている透明板Ｐの第２面ｐ２を吸着する。アーム３３は伸縮可能である。具体的には、アーム３３は、吸着部３２が一端側に付設されており、回転部３５に支持される上記他端から吸着部３２が付設される上記一端に向かう方向に伸縮可能である。突出機構３４は、回転部３５とアーム３３との間に設けられ、上述のように回転部３５に対してアーム３３を吸着部３２の吸引方向に突出又は後退する機構である。具体的には、突出機構３４は、アーム３３の上記他端側を支持するエアシリンダからなる。回転部３５は、突出機構３４が固定され、これにより上述のようにアーム３３を支持している。回転部３５は、吸着部３２に吸着される透明板Ｐと平行な平面上に位置する回転軸を中心に回転可能である。具体的には、この回転軸は、水平方向（透明板Ｐを搬送する方向に垂直な方向）であり、また吸着部３２の吸引する方向に垂直な方向に設けられている。反転装置３０は、複数の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４を備えており、これら複数の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４はそれぞれ対をなし、一対の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４は、それぞれ回転部３５の回転軸を中心に略回転対称に配設されている。なお、「略回転対称」とは、完全に回転対称である場合のみならず、第１受渡領域Ａ１における一の透明板Ｐの吸着と第２受渡領域Ａ２における他の透明板Ｐの解放とを同時に行うことができる程度に配置されている場合を含むものである。例えば、略回転対称となる一対の受渡領域（又はアーム或いは吸着部３２）の一方と回転軸との距離が、他方と回転軸との距離の９０％以上１１０％以下である場合であっても、受渡領域同士は略回転対称である。回転軸に対する角度差も同様であり、具体的には例えば略回転対称となる一対の受渡領域（又はアーム或いは吸着部３２）の一方と回転軸とを結ぶ仮想直線と、他方と回転軸とを結ぶ仮想直線とが、１０°未満となるような場合も、受渡領域同士は略回転対称である。

＜異物除去装置＞
図１を参照して異物除去装置５０について説明する。異物除去装置５０は、上述のように第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に付着する異物を除去するための装置である。当該ワーク清掃システム１では、繊維製の清掃布Ｃ等に起因する異物が透明板Ｐに付着していたとしても上記異物除去装置５０によって除去することができる。

この異物除去装置５０は、透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に接触する粘着面を有する粘着部材と、この粘着部材の粘着面に付着する異物を除去可能な粘着力回復機構を備えている。本実施形態において、異物除去装置５０は、透明板Ｐを挟んで互いに対向する二つの粘着部材５１を備えている。具体的には、異物除去装置５０は、透明板Ｐを挟んで上下に対向する一対の粘着ローラ５１（粘着部材）を備え、この粘着ローラ５１は、外周面に粘着力を有する。

また、異物除去装置５０は、図１に示すように第２清掃装置１０Ｂが排出した透明板Ｐが載置されるフリーローラ５０ａを有しており、上下一対の上記粘着ローラ５１は互いに駆動モータ（図示省略）によって回転され、粘着ローラ５１の回転によって透明板Ｐが下流側に搬送される。

上記粘着力回復機構は、粘着ローラ５１の粘着面に接触可能な長尺状の粘着テープ５３を有している。この粘着テープ５３は、上下一対の粘着ローラ５１それぞれに対して設けられる。

上記粘着テープ５３は、上記粘着ローラ５１の粘着面（外周面）よりも強い粘着力を有する粘着面を有しており、この粘着テープ５３の粘着面が粘着ローラ５１の粘着面に貼着され剥離されることで粘着ローラ５１に付着した異物を除去することができる。

異物除去装置５０は、上記粘着テープ５３を送る粘着テープ送給機構５４を有している。ここで、粘着テープ送給機構５４は、間欠的に粘着テープ５３を粘着ローラ５１に接触させるよう設けられている。粘着テープ送給機構５４は、具体的には粘着テープ５３が架け渡されると共に粘着ローラ５１に対面する粘着テープ用ローラ５４（粘着テープ送給機構）が粘着ローラ５１に接近・離反可能に設けられている。

なお、異物除去装置５０は、上記粘着ローラ５１及び粘着力回復機構５３等を内蔵する筐体５０ｈを有している。この筐体５０ｈは、透明板Ｐの搬入口及び搬出口を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられている。このため、異物除去装置５０では、上述のような異物除去が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Ｐに付着することが防止されている。また、異物除去装置５０の筐体５０ｈの搬入口は第２清掃装置１０Ｂの筐体１０ｈの搬出口と気密に連結されている。なお、この異物除去装置５０の筐体５０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

＜検査装置＞
上記検査装置７０は、上述のように異物除去装置５０から排出される透明板Ｐを検査する装置である。

この検査装置７０は、透明板Ｐを搬送する機構（図示省略）、搬送される透明板Ｐに光線を照射する照明部７１、及び光線を照射された透明板Ｐを撮像するカメラ７２を有している。なお、検査装置７０は、上記照明部７１及びカメラ７２等を内蔵する筐体７０ｈを有し、この筐体７０ｈは、透明板Ｐの搬入口及び搬出口（図示省略）を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられ、このため透明板Ｐの検査は気密状態で行われる。この検査装置７０の筐体７０ｈの搬入口は異物除去装置５０の筐体５０ｈの搬出口と気密に連結されている。なお、この検査装置７０の筐体７０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

本実施形態においては、検査装置７０は、複数対の上記照明部７１及びカメラ７２を有しており、複数対の照明部７１及びカメラ７２によって、反射光や透過光等による種々の画像が撮像される。当該透明板清掃システムにあっては、上記画像が上記制御装置に送信され、制御装置によって透明板Ｐの良否判定を行い得る。

＜利点＞
当該透明板清掃システム１によれば、第１清掃装置１０Ａによって透明板Ｐの第１面ｐ１が清掃され、第１面ｐ１清掃後の透明板Ｐが反転装置３０によって反転され、この反転された透明板Ｐの第２面ｐ２が第２清掃装置１０Ｂによって清掃されるため、人が介在することなく透明板Ｐの両面を清掃できる。

さらに、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、清掃布Ｃを送る送給機構２５を有するので、清掃布Ｃの未使用部分によって透明板Ｐの清掃面を清掃することも可能となり、また、清掃布Ｃは、透明板Ｐの逆方向に送給されるので、清掃布Ｃと透明板Ｐとの相対速度を大きくすることもでき、このためより効率的な清掃を行うことができる。

また、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、それぞれ搬送機構１１によって透明板Ｐを搬送しつつ、この透明板Ｐの清掃面（第１面ｐ１及び第２面ｐ２）を一枚の長尺状の清掃布Ｃの一方の面によって複数回清掃でき、このため、複数の清掃箇所において所望の清掃を行うことができ、透明板Ｐの両面を確実に清掃することができる。また、複数の清掃箇所において清掃布Ｃを反転させることなく清掃布Ｃの一方の面によって清掃面を清掃するので、清掃布Ｃを反転させる手段を設ける必要がなく、コスト高及びメンテンナンスの複雑性を抑制することができる。

また、清掃布Ｃは、上述のように一枚の清掃布Ｃの一方の面で複数回清掃面を清掃し、かつ清掃布Ｃは透明板搬送方向Ｘと逆方向に送られるので、透明板搬送方向Ｘ下流側（清掃布送給方向上流側）において未使用（未当接）の清掃布Ｃによって透明板Ｐを清掃し、透明板搬送方向Ｘ上流側（清掃布送給方向下流側）において使用後（当接済）の清掃布Ｃによって透明板Ｐを清掃できる。このため、清掃布Ｃの各部分を複数回の清掃に用いることができると共に、透明板搬送方向Ｘにつれて汚れの少ない状態の清掃布Ｃで透明板Ｐを清掃することができる。

さらに、搬送機構１１による透明板Ｐの搬送速度が送給機構による清掃布Ｃの送給速度よりも速いので、透明板Ｐを速やかに清掃して下流の工程に送ることができ、効率的な清掃を行うことができると共に、清掃布Ｃの使用量を低減させることができる。

また、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、清掃布Ｃに洗浄液を供給する洗浄液供給機構を備えているので、洗浄液を含有する清掃布Ｃによって透明板Ｐの清掃面を好適に清掃することができる。

上記洗浄液供給機構は、第１押圧パッド１４と第２押圧パッド１５との間に配されたガイド部材１６において清掃布Ｃに洗浄液を供給するので、透明板搬送方向Ｘ上流側の清掃箇所（第１押圧パッド１４による清掃箇所）における清掃布Ｃの洗浄液含浸量が、透明板搬送方向Ｘ下流側の清掃箇所（第２押圧パッド１５による清掃箇所）における清掃布Ｃの洗浄液含浸量よりも多くなり、このため、洗浄液を十分に含浸した清掃布Ｃによって透明板Ｐを確実に清掃できると共に、洗浄液による筋等の発生を的確に抑制できる。つまり、多量の洗浄液を含浸した清掃布Ｃで清掃しただけの場合、透明板Ｐに洗浄液による筋が残る場合があるが、上記構成を採用することで、搬送方向上流側において透明板Ｐを洗浄液含浸量の多い清掃布Ｃの部分で清掃でき、透明板搬送方向Ｘの下流側において透明板Ｐを洗浄液含浸量の少ない清掃布Ｃの部分で所謂乾拭きを行うことができ、これにより洗浄液による筋等の発生を的確に抑制できる。

さらに、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、搬送方向Ｘに並べて二箇所にそれぞれ上記押圧ヘッド１３が配置され、清掃布Ｃの送給機構が、二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃを透明板Ｐから離間させるようにガイドする構成を採用しているので、各押圧ヘッド１３で所望の清掃を行うことができる。特に、この二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃを透明板Ｐから離間させるようにガイドする構成として、テンションローラ２６を採用しているので、各押圧ヘッド１３において清掃布Ｃに十分なテンションを与えることができ、より確実な清掃を行うことができる。

上記洗浄液供給機構は、押圧ヘッド１３の清掃布供給方向上流側の清掃布Ｃにも洗浄液を供給しているので、完全に乾燥した清掃布Ｃによるよりも若干洗浄液が含浸されている清掃布Ｃによって清掃することで、より綺麗に清掃面を清掃することができ、より確実な清掃が可能となる。

また、第１押圧パッド１４及び第２押圧パッド１５が、清掃時において上記透明板搬送方向の直交方向かつ上記清掃面の平面方向に往復動するので、清掃布Ｃが第１押圧パッド１４及び第２押圧パッド１５によって透明板Ｐの清掃面に押圧され、透明板Ｐの清掃面に当接された清掃布Ｃが透明板搬送方向Ｘの直交方向に摺動するため、清掃布Ｃによって清掃面をより確実に清掃することができる。

また、当該透明板清掃システムは、反転装置３０が、第１清掃装置１０Ａによる透明板Ｐの搬送速度と異なった搬送速度で、第１清掃装置１０Ａから第２清掃装置１０Ｂに透明板Ｐを搬送するので、反転装置３０の搬送速度を調整することで第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂの清掃を効率的に行うことができる。特に、反転装置３０における透明板Ｐの搬送速度は、第１清掃装置１０Ａによる透明板Ｐの搬送速度よりも早いので、反転装置３０によって速やかに第２清掃装置１０Ｂに透明板Ｐを搬送することができ、第１清掃装置１０Ａの搬送速度が、第２清掃装置１０Ｂの搬送速度と同一であった場合、より効率的な清掃を行うことができる。

さらに、当該透明板清掃システムは、反転装置３０が、第１受渡領域Ａ１において透明板Ｐの下面を吸着し、第２受渡領域Ａ２において上記透明板Ｐを解放する吸着部３２と、この吸着部３２が一端側に付設されているアーム３３と、このアーム３３の他端側を支持し、上記吸着部３２に吸着されているときの上記透明板Ｐと平行な平面上に位置する回転軸を中心に３６０°回転可能な回転部３５とを備えているので、回転部３５に上記他端側が支持されたアーム３３の上記一端側に設けた吸着部３２によって透明板Ｐの第２面を吸着し、吸着部３２に吸着されている透明板Ｐと実質的に平行な回転軸を中心に回転部３５を回転することによりアーム３３を旋回させて、円弧を描くように透明板Ｐを移動させると共に透明板Ｐの第２面及び第１面を反転させることができる。これにより、清掃済みの透明板Ｐの第１面に触れることなく透明板Ｐを移送及び反転できる。

上記反転装置３０は、複数の上記吸着部３２及び上記アーム３３が、上記回転部３５の回転軸を中心に略回転対称に配置されており、上記第１受渡領域Ａ１と上記第２受渡領域Ａ２とが上記回転軸を中心に略回転対称に位置するので、第１受渡領域Ａ１において一方の吸着部３２が透明板Ｐを吸着するとき、他方の吸着部３２が第２受渡領域Ａ２に配置されるので、第１受渡領域Ａ１における一の透明板Ｐの吸着と同時に第２受渡領域Ａ２における他の透明板Ｐの解放が可能であり、上記反転装置３０によって効率よく透明板Ｐを移送でき、透明板Ｐの清掃を効率的に行うことができる。

また、当該透明板清掃システムは、上述のように第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの第１面及び第２面に付着する異物を除去可能な異物除去装置５０を備えているので、仮に上記清掃段階で透明板Ｐに繊維製の清掃布Ｃ等が起因する異物が付着したとしても、異物除去装置５０によって異物を的確に除去することかできる。

上記異物除去装置５０は、粘着ローラ５１の粘着面に付着する異物を除去可能な粘着テープ５３を備えているので、粘着ローラ５１の粘着面から付着した異物を粘着テープ５３によって除去することができ、これにより粘着ローラ５１の粘着面の粘着力が回復し、当該透明板清掃システムを長期間好適な状態で運転することができる。

また、異物除去装置５０は、粘着テープ５３を送る粘着テープ送給機構５４を有し、この粘着テープ送給機構５４は、間欠的に粘着テープ５３を粘着ローラ５１に接触させるよう設けられているので、粘着テープの使用量を低減することができる。

さらに、当該透明板清掃システムは、異物除去装置５０から排出される透明板Ｐを検査する検査装置７０を備えるので、検査装置７０によって透明板Ｐの欠陥等を発見することができると共に、清掃段階で透明板Ｐに繊維等の異物が付着したとしても、上述のように異物除去装置５０によって上記異物を的確に除去することかできるため、上記検査装置７０において上記異物によって透明板Ｐの欠陥と判断されるおそれが少ない。

［その他の実施形態］
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更（構成の置換、付加及び削除）が含まれることが意図される。

つまり、上記実施形態においては、第２清掃装置の搬送機構で搬送される透明板Ｐの高さ（上下高さ）は、第１清掃装置の搬送機構で搬送される透明板Ｐの高さ未満であるものについて説明したが、本発明はこれに限定されず、第１清掃装置及び第２清掃装置の搬送装置で搬送される透明板の高さが同一であっても良い。但し、当該透明板清掃システムにおいて、第１清掃装置の搬送装置が透明板を搬送する高さ（位置）と第２清掃装置の搬送装置が透明板を搬送する高さ（位置）とが異なり、両搬送装置が透明板を搬送する高さ（位置）の間に回転部の回転軸が上下方向位置するように設けることが好ましく、これにより、反転装置が、平面視で回転部に重なるように透明板を保持できるので、第１受渡領域と第２受渡領域とを近く設定でき、当該透明板清掃システムの専有面積を小さくできる。具体的には、図６に示すように、第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１で搬送される透明板Ｐが、第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１で搬送される透明板Ｐよりも高いものも、本発明の意図する範囲内である。なお、図６において、第１実施形態と同一の構成及び機能を有する部材については同一符号を用いた。

また、上記実施形態では、第１清掃装置の透明板の搬送方向と第２清掃装置の透明板の搬送方向とが同一方向であるものについて説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば図７に示すように第１清掃装置１０Ａの透明板Ｐの搬送方向Ｘ１と第２清掃装置１０Ｂの透明板Ｐの搬送方向Ｘ２とが反対方向であっても良い。この図７に示す透明板清掃システムは、第１清掃装置１０Ａと第２清掃装置１０Ｂとが平面視で平行に並んで配置されている。詳しくは、第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１による透明板Ｐの搬送方向Ｘ１と第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１による透明板Ｐの搬送方向Ｘ２とが反対向きになるように配置されている。そして、反転装置３０ａは、吸着部３２ａに吸着されているときの透明板Ｐと平行な平面上に位置する回転軸を中心に回転する回転部３５ａを備え、この回転部３５ａは、水平かつ第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１の搬送方向Ｘ１及び第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１の搬送方向Ｘ２と平行な回転軸を中心に回転する。回転部３５ａの回転軸は、第１清掃装置１０Ａと第２清掃装置２０Ｂとの間に配置されている。この回転部３５ａは、回転軸と垂直に延びる腕状の部材であり、第１受渡領域Ａ１よりも第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１の搬送方向Ｘ１の下流側、かつ第２受渡領域Ａ２よりも第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１の搬送方向Ｘ２の上流側に配置されている。そして、回転部３５ａは、両端部の第１清掃装置１０及び第２清掃装置２０側の側部に突出機構３４を支持している。なお、この場合においても、反転装置３０の搬送速度は、上記第１清掃装置１０Ａによる透明板Ｐの搬送速度よりも早いことが好ましい。なお、この場合における反転装置３０による搬送速度も、第１清掃装置１０Ａから受け取った透明板Ｐを第２清掃装置１０Ｂに受け渡す位置までの透明板を搬送する搬送方向の距離を時間で割った値を意味する。

また、上記実施形態においては、第１清掃装置の搬送機構による透明板の搬送速度及び第２清掃装置の搬送機構の搬送速度を同一に設定したものについて説明したが、第１清掃装置の搬送機構による透明板の搬送速度と第２清掃装置の搬送機構の搬送速度とを異ならしめることも可能である。また、第１清掃装置の搬送機構による透明板の搬送速度よりも第２清掃装置の搬送機構の搬送速度の方が早い場合、反転装置における透明板の搬送速度を、第１清掃装置による透明板の搬送速度が早いことによって、清掃効率をより高めることができる。

さらに、上記実施形態においては反転装置が上記構成からなるので種々のメリットを奏するものであったが、本発明における反転装置の構成は上記実施形態のものに限定されるものではない。例えば、吸着制御ユニット及び解放制御ユニットがアームの収縮を行わず、回転制御ユニットが回転部の回転前にアームの収縮を行ってもよい。また、本発明は、必ずしもアームが伸縮可能な構成である必要はない。ただし、伸縮不能なアームを備えた反転装置の場合には、どのようなサイズの透明板であっても、保持部上に薄板が移動した時点で回転部が回転して透明板を移送する。しかしながら、このような構成の場合、透明板のサイズによっては効率的ではない場合が存在する。例えば、小さい透明板の搬送に合わせて、アームを長く設定している場合には、大きい透明板を搬送する際には、回転部を中心として大きな透明板が回転することとなるため大きなスペースが必要となる。一方で大きな透明板の搬送に合わせて短いアームに設定されている場合には、小さい透明板を搬送する際には、アームの吸着部が位置する箇所まで、透明板を搬送する機構が必要となる。このため、上述のようにアームが伸縮可能であることが好ましい。

また、第２受渡領域に透明板を受け渡す別の機構を設ければ、例えば第２清掃装置の搬送機構にスライドエッジ型のコンベアを採用すれば、反転装置は、アームを収縮した状態で透明板を第２清掃装置に受け渡すことができる。

上記実施形態では、第１受渡領域において透明板の吸着に際して吸着部が透明板に対して退避状態から突出できるよう突出機構を備えるものについて説明したが、本発明はこれに限らず、反転装置が突出機構を有していない構成であってもよい。また、本発明において、上記透明板の吸着に際して退避状態から吸着部を突出させるべく、アームと保持部との間に出退機構を設け、この出退機構によって吸着部を透明板に対して出退させることも可能である。しかし、アームと吸着部との間に上記出退機構を設けることは困難であり、装置全体のコスト高を招くおそれがあるため、上記実施形態のように回転部とアームとの間に上記突出機構を設けることが好ましい。

上記実施形態では、アームは伸長及び収縮の２つの状態にのみ変化し得る構成について説明したが、本発明はこれに限らず、３段階又はそれ以上の段階に変化し得るアームを備えた構成であっても良い。この場合には、上記の実施形態よりもさらに、様々なサイズの透明板に対応することができる。

上記実施形態では、清掃布を用いて透明板を清掃する構成を採用したが、これに限らず、別の清掃方法、例えばブラシ等を用いて清掃する構成であってもよい。

上記の実施形態では、それぞれ２つの清掃部材を備えた清掃装置を用いたが、これに限らず、清掃装置が１つの清掃部材の構成や３つ以上の清掃部材を備えた構成であってもよい。

さらに、上記実施形態では、異物除去装置及び検査装置を備えるものについて説明したが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば第１清掃装置、反転装置及び第２清掃装置のみを備えるものも本発明の意図する範囲内である。また、本件のシステムは、第１清掃装置や第２清掃装置の搬送方向における前後に別のユニット、例えばローダ装置等が配置された構成であってもよい。

また、上記実施形態においては、第２清掃装置の筐体の搬出口と異物除去装置の筐体の搬入口とを気密に接続しているものについて説明したが、第２清掃装置と異物除去装置との間に別途ローダを配置することも可能である。さらに、検査装置の下流側にラミネート装置を配置し、検査終了後の透明板の両面に保護フィルムを貼着することも可能である。

さらに、上記実施形態では、第１清掃装置及び第２清掃装置が繊維製の清掃布を用いて清掃を行うものについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。さらに、上記実施形態では、異物除去装置が透明板の両面（第１面及び第２面）の異物を除去可能に設けたものについて説明したが、本発明はこれに限定されものではなく、透明板の第１面及び第２面のいずれか一方の面のみ異物を除去可能に設けることも可能である。なお、上述のように第１清掃装置又は第２清掃装置が繊維製の清掃布を用いて清掃を行うものである場合、その清掃布で清掃された清掃面の異物を異物除去装置が除去可能に設けられていることが好ましく、これにより繊維製の清掃布に起因して付着する異物を異物除去装置によって好適に除去することができる。

さらに、第１清掃装置又は第２清掃装置が繊維製の清掃布を用いて清掃する場合には、既述のように洗浄液を清掃布に含浸させることが好ましいが、本願発明は必ずしもこれに限定されるものではない。

本発明の透明板清掃システムは、携帯機器の表示装置に用いられるガラス基板等の透明板の清掃に好適に利用できる。

１０Ａ 第１清掃装置
１０Ｂ 第２清掃装置
１１ 搬送機構
３０ 反転装置
５０ 異物除去装置
５１ 粘着ローラ（粘着部材）
５３ 粘着テープ
７０ 検査装置
Ｃ 清掃布
Ｐ 透明板
Ｘ 透明板の搬送方向

Claims (10)

1. 透明板を搬送しつつ透明板の第１面を清掃する第１清掃装置、
   上記第１清掃装置から搬出された上記透明板を搬送しつつ反転させる反転装置、及び
   上記反転装置から搬出された上記透明板を搬送しつつ上記透明板の第２面を清掃する第２清掃装置
   を備え、
   上記反転装置が、上記第１清掃装置による上記透明板の搬送速度と異なった搬送速度で、上記第１清掃装置から上記第２清掃装置に透明板を搬送する透明板清掃システム。
2. 上記反転装置における上記透明板の搬送速度が、上記第１清掃装置による上記透明板の搬送速度よりも早い請求項１に記載の透明板清掃システム。
3. 上記第１清掃装置が、
   上記透明板の第１面に一部が接触するよう長尺状の清掃布を送給する送給機構、及び
   上記送給機構による上記清掃布の送給方向と逆方向に上記透明板を搬送する搬送機構を備える請求項１又は請求項２に記載の透明板清掃システム。
4. 上記搬送機構は、上記送給機構による上記清掃布の送給速度よりも早い搬送速度で上記透明板を搬送する請求項３に記載の透明板清掃システム。
5. 上記第１清掃装置において、搬送機構によって搬送される上記透明板が搬送方向少なくとも二つの清掃箇所において上記清掃布に接触し、二つの清掃箇所における上記清掃布の洗浄液含浸量が異なる請求項３又は請求項４に記載の透明板清掃システム。
6. 上記第１清掃装置が、
   上記清掃布の一部を上記第１面に当接させるべく押圧する第１清掃部材、
   上記清掃布の上記第１清掃部材よりも清掃布送給方向下流側の部分を上記第１面に接触させるべく押圧する第２清掃部材、及び
   上記清掃布の上記第１清掃部材と上記第２清掃部材と間の部分に洗浄液を供給する洗浄液供給機構を備える請求項５に記載の透明板清掃システム。
7. 上記第１清掃装置が、上記透明板の第１面に向けて上記清掃布を押圧するための押圧ヘッドをさらに備え、
   上記第１清掃部材及び上記第２清掃部材が上記押圧ヘッドに取り付けられ、
   上記第１清掃部材及び上記第２清掃部材が、上記清掃面の平面上であって、且つ上記透明板搬送方向に直交する方向に往復動する請求項５又は請求項６に記載の清掃装置。
8. 上記反転装置が、
   第１受渡領域において透明板の下面を吸着し、第２受渡領域において上記透明板を解放する吸着部と、
   上記吸着部が一端側に付設されているアームと、
   上記アームの他端側を支持し、上記吸着部に吸着されているときの上記透明板と平行な平面上に位置する回転軸を中心に３６０°回転可能な回転部と
   を備える請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の透明板清掃システム。
9. 上記第１清掃装置及び上記第２清掃装置により清掃された上記透明板の少なくとも一方の面の付着物を除去する異物除去機構をさらに備えた請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の透明板清掃システム。
10. 上記第１清掃装置及び上記第２清掃装置により清掃された上記透明板を検査する検査機構をさらに備えた請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の透明板清掃システム。

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