KR20070074488A - 기판의 반송 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

(과제) 소형 기판이라도 반송시에 기판이 낙하되지 않고, 반송 장치의 비용도 증대하지 않으며, 기판의 세정성이나 건조성도 나빠지지 않고, 장치 메인터넌스성도 향상됨과 함께, 세정시에 세정수압, 에어압을 높여도 기판의 사행이나 낙하 등이 없는 기판의 반송 방법과 장치를 제공하는 것이다.

(해결수단) 기판의 반송 경로의 상하에 축심이 반송 경로와 직교하는 지지 롤러를 복수개 배치하고, 각 지지 롤러의 서로 이웃하는 지지 롤러와의 사이에 엔드리스 형상의 반송 환(丸)벨트를 반송 경로에 평행하게 되도록 복수개 걸고, 반송 경로의 상하의 반송 환벨트로 기판을 협지한 상태에서 지지 롤러를 회전시킴으로써 반송 경로를 따라 기판을 반송한다.

Description

기판의 반송 방법 및 장치 {SUBSTRATE TRANSPORTING METHOD AND SUBSTRATE TRANSPORTING APPARATUS}

도 1 은 본 발명의 기판의 반송 장치를 적용한 액정 패널에의 편광판 첩부 장치의 전체 구조를 나타내는 평면도이다.

도 2 는 본 발명의 기판의 반송 장치를 적용한 세정 장치의 종단 정면도이다.

도 3 은 본 발명의 기판의 반송 장치를 적용한 세정 장치의 종단 평면도이다.

도 4(a), 4(b) 는 본 발명의 기판의 반송 장치를 이용한 세정 장치의 우측면도이다.

도 5 는 본 발명의 동작을 나타내는 일부 확대 설명도이다.

도 6 은 본 발명의 기판의 반송 장치에 의한 세정 상태를 나타내는 설명도이다.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

A: 기판 B: 편광판

C: 액정 패널

1: 컬릿 세정기 2: 시트 세정기

3: 세정 장치 4: 수세 영역

5: 건조 영역 6: 편광판 첩부 장치

7: 편광판 수납부 8: 이형 시트 박리 장치

9: 편광판 공급 포지션 10: 편광판 첩부기

11: 기대 12: 기틀

13: 지지틀 14: 하부 지지틀

15: 가이드축 16: 가이드

17: 상부 지지틀 18: 승강 실린더

19: 지지 롤러축 20: 지지 롤러

21: 반송 환벨트 22: 세정 기구

23: 세정 노즐 24: 에어 나이프

25: 도입 구멍 26: 배출 구멍

[특허 문헌 1] 일본 공개특허공보 제2003-112134호

[특허 문헌 2] 일본 공개특허공보 제2001-9396호

본 발명은, 기판의 반송 방법 및 장치, 더욱 상세하게는, 소형 액정 패널 등의 기판을 세정시에 적확하게 세정하여 반송하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

종래, 액정 패널을 제조하는 공정에 있어서는, 2장의 유리 기판을 마주 붙인 후, 소정의 사이즈로 절단하고, 소정 사이즈로 절단 후의 유리 기판 (이하, 액정 유리 기판이라고 한다) 의 양면에 편광판을 붙여 액정 패널이 얻어지지만, 유리 기판을 소정의 사이즈로 절단하는 공정에 있어서 컬릿이라 불리는 유리 찌꺼기가 발생하여 액정 유리 기판의 표면에 부착되고, 그대로의 상태에서 편광판을 액정 유리 기판에 붙이면 액정 유리 기판과 편광판 사이에 컬릿이 이물로서 존재하여 문제가 발생하기 때문에, 유리 기판의 절단 공정 후에 컬릿 세정기에서 시트 형상의 연마 부재 등으로 액정 유리 기판 표면을 연마 청소하여 컬릿을 제거하고, 계속해서 액정 유리 기판에 대한 세정수에 의한 수세 및 건조 공정을 거쳐 액정 유리 기판 표면의 컬릿 제거에 완전을 기한 후, 편광판의 첩부 공정에 제공되도록 되어 있다.

그런데, 이들 각 공정에 있어서의 액정 유리 기판의 반송에는, 복수개의 반송 롤러의 양단을 회전이 자유롭게 지지하여 걸치고, 이 반송 롤러 상에 액정 유리 기판을 탑재하여 반송하는 반송 롤러 방식이 알려져 있다.

상기한 수세 및 건조 공정에 있어서, 롤러 방식의 반송 롤러 상을 액정 유리 기판이 반송되고, 상하부로부터 분사 노즐로 세정수를 분사하여 액정 유리 기판의 양 표면을 세정하고, 계속해서 에어 나이프로부터 고압의 에어가 분사되어 액정 유리 기판의 표면에 부착된 물을 날려보냄으로써 액정 유리 기판 표면이 건조되게 된다.

그러나, 에어 나이프로부터 에어가 분사되기 때문에, 그 압력으로 액정 유리 기판이 사행된다는 문제가 있어, 에어 나이프의 바로 앞에 액정 유리 기판을 반송 롤러에 누르는 기판 정렬 노즐을 설치하는 것이 알려져 있다 (예를 들어, 특허 문헌 1).

또한, 초음파 세정을 실시하는 경우에, 초음파 세정으로 반송 롤러 상의 액정 유리 기판이 진동하여 파손되는 것을 방지하기 위해, 반송 롤러에 대향하여 액정 유리 기판 전체를 덮는 폭의 평벨트를 설치하고, 액정 유리 기판을 평벨트와 반송 롤러로 협지하여 반송하는 방법도 알려져 있다 (예를 들어 특허 문헌 2).

최근에는 휴대 기기가 발달하여, 휴대 전화 등에 사용되는 액정 패널 등의 기판도 0.5∼6인치와 같은 소형의 것도 많이 생산되고 있기 때문에, 이들을 제조하는 제조 장치도 소형화하지 않으면 안된다.

그러나, 상기 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2 와 같은 반송 롤러 방식을 소형 기판의 제조 장치의 반송 기구에 적용하고자 한 경우, 서로 이웃하는 반송 롤러 사이의 거리 (피치) 를 대형 기판의 반송 장치보다 좁게 하지 않으면, 소형 기판이 그 간극으로부터 낙하한다.

이들 반송 롤러의 피치를 좁게 하기 위해서는 반송 롤러축의 직경을 가늘게 할 필요가 있어, 반송 롤러축의 강도가 저하되어 휘거나 하는 문제가 있고, 또한, 이 강도 저하를 고려하여 반송 롤러축의 양측을 지지하는 것이 필수 조건이 되어, 메인터넌스성도 매우 나쁘다는 문제가 있다.

또한, 반송 롤러의 피치를 좁게 하면 필요한 반송 롤러의 개수도 증대하므로, 반송 장치의 비용이 증대하는 문제가 있음과 함께, 반송 롤러 사이의 간격이 좁아지기 때문에, 세정수나 에어가 도달하기 어려워 기판의 세정성, 건조성이 나빠지는 문제가 있었다.

또한, 특허 문헌 2 의 반송 구조에 있어서는, 상측을 평(平)벨트의 전체면으로 지지하고 있기 때문에 세정수가 기판의 편면밖에 도달하지 않아, 기판의 양면을 동시에 세정할 수 없다는 문제가 있다.

본 발명은, 상기 과제를 해결하여, 소형 기판이라도 반송시에 기판이 낙하되지 않고, 반송 장치의 비용도 증대하지 않으며, 기판의 세정성이나 건조성도 나빠지지 않고, 장치 메인터넌스성도 향상됨과 함께, 세정시에 세정수압, 에어압을 높여도 기판의 사행이나 낙하 등이 없는 기판의 반송 방법과 장치를 제공하는 것이다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위해, 청구항 제1항의 발명은 기판의 반송 경로의 상하에 축심이 반송 경로와 직교하는 지지 롤러를 복수개 배치하고, 각 지지 롤러의 서로 이웃하는 지지 롤러와의 사이에 엔드리스 형상의 반송 환(丸)벨트를 반송 경로에 평행하게 되도록 복수개 걸고, 반송 경로의 상하의 반송 환벨트로 기판을 협지한 상태에서 지지 롤러를 회전시킴으로써 반송 경로를 따라 기판을 반송하는 기판의 반송 방법이다.

또한, 청구항 제2항의 발명은, 기판의 반송 경로의 상하에 설치한 축심이 반송 경로와 직교하는 복수의 지지 롤러와, 각 지지 롤러의 서로 이웃하는 지지 롤러와의 사이에 반송 경로에 평행하게 되도록 복수개 걸린 엔드리스 형상의 반송 환벨 트와, 상기 지지 롤러를 회전시키는 구동 수단으로 이루어지고, 반송 경로에 있는 기판을 상하의 지지 롤러에 걸린 반송 환벨트에 의해 협지한 상태에서 지지 롤러의 회전에 의해 반송 경로를 따라 반송하는 기판의 반송 장치이다.

또한, 청구항 제3항의 발명은, 상기 제2항에 기재된 기판의 반송 장치에 있어서, 반송 경로에 면하여 중간에 위치하는 각 지지 롤러에 있어서, 일방측에서 서로 이웃하는 지지 롤러 사이에 걸린 반송 환벨트와 타방측에서 서로 이웃하는 지지 롤러 사이에 걸린 반송 환벨트를 교대로 배치한 구성을 채용한 것이다.

또한, 청구항 제4항의 발명은, 상기 제2항 또는 제3항 중 어느 한 항에 기재된 기판의 반송 장치에 있어서, 반송 경로의 하방에 있는 지지 롤러는 그 일방 단부가 하부 지지틀에 축지지되고, 반송 경로의 상방에 있는 지지 롤러는 그 일방 단부가 상부 지지틀에 축지지되고, 하부 지지틀과 상부 지지틀은 서로 상하 방향으로 접근 이반 이동이 자유롭게 되어 있는 구성을 채용한 것이다.

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

도 1 은, 본 발명과 관련되는 기판의 반송 장치를 포함하는 액정 유리 기판에의 편광판 첩부 장치의 전체를 나타내는 평면도이다.

액정 유리 기판 (이하 단지 기판 A 라 한다) 은, 도시하지 않는 전 공정에서 소정 치수로 절단되고, 절단시에 기판 A 의 표면에 부착된 유리 찌꺼기 (컬릿) 를 제거하기 위해 컬릿 세정기 (1) 로 보내지고, 시트 세정기 (2) 에서 연마 시트 등에 의해 기판 A 의 표면에 부착된 컬릿을 깎아내어 세정한 후, 세정 장치 (3) 의 수세 영역 (4) 및 건조 영역 (5) 을 경유하여 기판 A 표면의 컬릿을 완전히 제거 한 후, 편광판 첩부 장치 (6) 에 반송하고, 기판 A 의 양면에 편광판 B 가 첩부되어 액정 패널 C 가 된다.

도시와 같이, 편광판 첩부 장치 (6) 는, 우측의 전단과 좌측의 후단으로 분할되어 있고, 전단 및 후단의 각각에 편광판 B 를 수납함과 함께 기판 A 에 편광판 B 를 공급하는 편광판 수납부 (7) 가 인접하고, 편광판 수납부 (7) 내에는 편광판 B 의 점착면을 덮는 이형 시트 (도시 생략) 를 박리하는 이형 시트 박리 장치 (8) 가 설치되고, 또한, 기판 A 의 반송 경로 상에는, 전단 및 후단 각각에 기판 A 에 편광판 B 를 겹치는 편광판 공급 포지션 (9) 및 도시하지 않는 첩부 롤러의 압압 등에 의해 편광판 B 를 기판 A 에 붙이는 편광판 첩부기 (10) 가 설치되고, 전단과 후단의 사이에 있어서 도시하지 않는 적절한 수단으로 기판 A 는 뒤집혀 반전됨으로써 전단 및 후단의 편광판 첩부기 (10) 를 경유한 기판 A 는 그 양면에 편광판 B 가 첩부되어 액정 패널 C 가 되고, 그 후 도시한 좌측의 다음 공정으로 이송된다.

도 2 내지 도 4 는 본 발명의 반송 장치를 적용한 세정 장치 (3) 를 나타내고 있으며, 기대 (11) 상에는 밀폐 형상의 기틀 (12) 을 설치하고, 기틀 (12) 의 후방 외측에 기대 (11) 상에 입설된 지지틀 (13) 의 전방에의 연장부가 기틀 (12) 의 내부로 들어가고, 기틀 (12) 내의 전연(前緣)에는 판 형상이고 주면이 전방을 향하는 수직면이 되는 하부 지지틀 (14) 이 고정 지지되어 있다.

하부 지지틀 (14) 의 후방 양측에는, 상하 방향으로 연신한 가이드축 (15) 이 하부 지지틀 (14) 에 대하여 고정 배치되고, 이 가이드축 (15) 에 끼워맞춰져 가이드 (16) 가 가이드축 (15) 에 대하여 상하 이동이 자유롭게 되고, 이 가이드 (16) 의 전방에 판 형상이고 주면이 수직면이 되는 상부 지지틀 (17) 이 설치되어 있고, 이 상부 지지틀 (17) 의 주면은 하부 지지틀 (14) 의 주면과 동일한 평면이고, 하부 지지틀 (14) 과의 사이에 설치한 승강 실린더 (18) 의 작용에 의해 상부 지지틀 (17) 은 고정 상태의 하부 지지틀 (14) 에 대하여 승강 이동이 자유롭게 되어 있다.

하부 지지틀 (14) 및 상부 지지틀 (17) 의 전면에는 이들 하부 지지틀 (14) 및 상부 지지틀 (17) 에 대하여 회전 운동이 자유롭게 되는 지지 롤러축 (19) 이 복수개 돌출 형성되어 있고 (도 6 참조), 이들 각 지지 롤러축 (19) 의 전방에는 이 지지 롤러축 (19) 과 동일 축이 되는 지지 롤러 (20) 가 연장 형성되어 있다.

이들 지지 롤러 (20) 는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 하부 지지틀 (14) 의 상단에 좌우 양단을 제외하고 대략 등간격으로 나란히 배치된 것과, 하부 지지틀 (14) 의 상단에서 서로 이웃하는 지지 롤러 (20) 간의 하방에도 배치되어 있고, 또한, 상부 지지틀 (17) 에는, 일부를 제외하고 하부 지지틀 (14) 측의 지지 롤러 (20) 군과 반송 경로를 협지한 대칭 위치에 설치되어 있다.

이들 지지 롤러 (20) 의 표면에는, 도면에는 나타나 있지 않지만 지지 롤러 (20) 의 주위를 주회하는 홈이 등간격으로 복수 설치되고, 이들 홈에 엔드리스 형상으로 단면이 원형인 고무제 반송용 벨트 (이하, 반송 환벨트 (21) 라고 한다) 가 끼워맞춰져 있으며, 이 반송 환벨트 (21) 의 각각은, 상기 지지 롤러 (20) 의 복수개 (2개 내지 3개) 에 걸쳐 걸려 있다.

3개의 지지 롤러 (20) 에 걸린 반송 환벨트 (21) 는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 삼각형 형상이 되고, 삼각형의 일변이 기판 A 의 반송 경로에 접하고, 또한 평행하게 되도록 되어 있으며, 이 부분에 있어서의 반송 경로의 상하의 반송 환벨트 (21) 의 간격은, 기판 A 를 협지할 수 있을 정도의 간격으로 되어 있다.

또한, 반송 경로에 면하는 각 지지 롤러 (20) 중 양 단부를 제외한 중간의 지지 롤러 (20) 에 있어서는, 일방측에서 서로 이웃하는 지지 롤러 (20) 와의 사이에 걸린 반송 환벨트 (21) 와 타방측에서 서로 이웃하는 지지 롤러 (20) 와의 사이에 걸린 반송 환벨트 (21) 를 교대로 배치하고 있다.

이 실시 형태에서는, 도 3 에서 나타내는 바와 같이 일방측에 6개의 반송 환벨트 (21) 를 도출함과 함께, 상기 6개의 반송 환벨트 (21) 의 간극에 5개의 반송 환벨트 (21) 을 타방측으로 도출하도록 하고 있고, 6개 조(組)의 반송 환벨트 (21) 군 (도 2 중 이점 쇄선) 과 5개 조의 반송 환벨트 (21) 군 (도 2 중 실선) 이 반송 경로를 따라 교대로 위치하도록 되어 있다.

또한, 기판 A 의 반송 경로를 협지한 상하에서는, 도 4(a) 에 나타내는 바와 같이, 상하의 반송 환벨트 (21) 는 대칭이 되도록 배치되어 있다.

또한, 이들 지지 롤러 (20) 와 반송 환벨트 (21) 에 의한 기판 A 의 반송 동작은, 반송 경로의 상하 각각의 지지 롤러 (20) 군 중 1개 또는 일부의 지지 롤러 (20) 를 도시되지 않은 모터 등 적절한 구동 수단으로 도 5 에 나타내는 화살표 방향으로 회전 구동시키면, 반송 환벨트 (21) 를 통하여 모든 지지 롤러 (20) 가 화살표 방향으로 회전하고 반송 환벨트 (21) 는 기판 A 의 화살표 방향으로의 반송 동작을 실시하게 된다.

상기 지지 롤러 (20) 와 반송 환벨트 (21) 에 의한 기판의 반송 경로 중, 수세 영역 (4) 에 있어서는, 3개의 지지 롤러 (20) 에 의해 삼각형으로 걸린 반송 환벨트 (21) 의 내측 스페이스내에 반송 경로의 상하에서 쌍이 되는 세정 기구 (22) 가 2조 설치되어 있다.

세정 기구 (22) 는, 기판의 반송 방향과 수직 또한 수평 방향으로 복수의 세정 노즐 (23) 을 늘어놓아 설치되고, 도 5 에서 나타내는 바와 같이 반송 경로를 이동하는 기판 A 의 전체면에 세정수를 적용하도록 되어 있다.

건조 영역 (5) 에 있어서는, 3개의 지지 롤러 (20) 에 의해 삼각형으로 걸린 반송 환벨트 (21) 의 내측 스페이스내에 반송 경로의 상하에서 쌍이 되는 에어 나이프 (24) 가 3조 설치되어 있으며, 반송 경로를 이동하는 기판 A 의 전체면에 건조용 에어를 분무하도록 되어 있다. 또한, 건조 영역 (5) 에는, 발생하는 수증기를 배출하는 배출 구멍 등을 적절히 형성해도 된다.

기틀 (12) 에는, 컬릿 세정기 (1) 로부터 보내져 오는 기판 A 의 세정 장치 (3) 에의 도입로가 되는 도입 구멍 (25) 과, 세정이 완료된 액정 유리 기판 A 를 편광판 첩부 장치 (6) 에 반송하기 위한 배출 구멍 (26) 이 형성되어 있다.

본 발명의 기판 반송 장치의 일 실시형태를 이용한 세정 장치 (3) 는 상기 와 같은 구성으로서, 도입 구멍 (25) 으로부터 도입된 기판 A 는, 그 하면을 가장 우측의 반송 환벨트 (21) 에 의해 지지되어 좌측 화살표 방향으로 도입되고, 수세 영역 (4) 에서 도중에 존재하는 상측의 반송 환벨트 (21) 와 함께 상하면이 협지된 후, 상하의 세정 노즐 (23) 에서 상하면에 고압 세정수가 분무되고, 지지 롤러 (20) 를 통과하여 별도의 조의 반송 환벨트 (21) 군에 협지된 후, 다시 상하의 세정 노즐 (23) 에서 상하면에 고압 세정수가 분무되므로, 반송 환벨트 (21) 가 기판 A 와 접하는 위치를 바꾸어 2번 세정되게 되어, 기판 A 전체가 골고루 세정되게 된다.

다음에, 건조 영역 (5) 에서, 기판 A 는 협지되는 반송 환벨트 (21) 군을 대신하면서 3번 에어 나이프 (24) 에 의한 고압 에어가 분무되어 기판 A 전체가 골고루 건조되고, 그 후, 기판 A 의 하면을 가장 좌측의 반송 환벨트 (21) 에 의해 지지되어 좌측 화살표 방향으로 보내지고, 배출 구멍 (26) 으로부터 세정 장치 (3) 를 나와 다음 공정에 보내지게 된다.

기판 A 의 두께가 변경될 때에는, 승강 실린더 (18) 의 작용에 의해 하부 지지틀 (14) 과 상부 지지틀 (17) 의 간격을 변경함으로써 상하의 반송 환벨트 (21) 의 간격을 조정하고, 반송 장치의 보수 점검시에 있어서는, 승강 실린더 (18) 의 작용에 의해 상부 지지틀 (17) 을 상승시키고, 도 2 의 이점 쇄선이나 도 4(b) 에서 나타내는 상태로 하면, 관리가 용이하게 되어 메인터넌스성이 향상되게 된다.

또한, 본 발명의 반송 방법 및 장치는, 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 지지 롤러의 수나 배치, 및, 반송 환벨트의 걸침 형상 등은, 본 발명의 범위내에서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.

또한, 본 실시예에 있어서는, 상하의 반송 환벨트 (21) 를 기판 A 에 대하여 상하 대칭이 되도록 배치하였지만, 상하 서로 다르게 되는 배치로 해도 되고, 이 경우, 기판 A 에 가해지는 부하를 저감할 수 있다.

또한, 본 발명에서는 반송 환벨트의 형상으로서 단면이 원 형상인 것을 사용하였지만, 단면이 원 형상인 것에 한정되는 것이 아니라, 기판과의 접촉이 대략 선 접촉이 되는 형상이면 바람직하게 사용할 수 있다 (예를 들어 단면 형상이 타원, 마름모꼴, 삼각형인 것 등).

또한, 본 발명의 반송 장치는, 지금까지 설명한 바와 같이, 세정 장치내에 있어서의 기판의 반송에 적용하는 것이 최적이지만, 이들 용도에 한정되지 않고 보통의 반송에도 적용할 수 있으며, 또한, 반송되는 기판으로서도 액정 패널용 액정 유리 기판 이외의 각종 기판류에 적용할 수 있고 형상도 직사각형 형상에는 한정되지 않고, 예를 들어, 카메라의 파인더 등의 소형 광학 부품에도 바람직하게 사용 할 수 있다.

상기 청구항 제1항 및 청구항 제2항의 발명에 의하면, 복수의 지지 롤러 사이에 반송 환벨트를 걸침으로써, 기판이 항상 반송 환벨트로 지지되고, 기판이 작아도 종래의 반송 롤러 방식과 같이 지지 롤러의 피치를 좁게 할 필요가 없고, 지지 롤러의 개수 증가에 의한 비용이 증대하지 않음과 함께, 롤러 간격을 넓게 유지할 수 있으므로 세정 노즐 등의 설치도 용이하고 기판의 세정성, 건조성도 향상시킬 수 있다.

또한, 지지 롤러를 가늘게 할 필요도 없으므로 롤러축의 강도를 유지할 수 있고, 지지 롤러를 편측에서 축지지하는 것도 가능하여, 메인터넌스성도 향상된다.

또한, 기판은 그 상하면이 반송 환벨트에 의해 협지된 상태에 있어, 세정 등 의 압력에 의한 기판의 사행, 미끄러짐이나 낙하 등이 발생하지 않아 안정적으로 반송할 수 있으므로, 세정시의 수압이나 건조 등의 에어 압력을 더욱 강화할 수 있으므로 기판의 세정성, 건조성이 향상된다.

또한, 반송 환벨트는 단면이 원형 형상이기 때문에, 반송시에 기판에 데미지를 주지 않고, 기판과 반송 환벨트와의 접촉도 대략 선접촉 상태가 되어, 세정시의 물이나 건조시의 에어가 기판 전체에 충분히 도달하게 된다.

또한, 기판의 치수가 바뀌어도, 지지 롤러의 치수 이내의 폭의 기판이라면 반송 장치를 그대로 이용할 수 있어, 종래의 반송 롤러 방식시와 같이 반송 롤러의 피치를 변경하는 수고가 들지 않기 때문에, 기판 변경시의 작업 비용도 저하된다.

다음에, 청구항 제3항의 발명에 의하면, 반송 경로에 면하여 중간에 위치하는 각 지지 롤러에 있어서 일방으로 연장되는 반송 환벨트와, 타방으로 연장되는 반송 환벨트를 교대로 배치하고 있으므로, 각 지지 롤러 위치에 있어서 반송 경로를 따른 앞뒤의 반송 환벨트끼리에서의 기판의 수수가 안정적으로 행해지고, 기판을 협지하는 반송 환벨트의 교체에 수반되는 기판의 미끄러짐이나 사행이 발생하지 않음과 함께, 기판에 접촉하는 반송 환벨트의 위치가 지지 롤러를 통과했을 때에 바뀌므로, 그 지지 롤러의 앞뒤에 세정 노즐이나 에어 나이프를 2개 배치하면, 기판 전체에 물이나 에어가 널리 퍼지게 되어, 기판의 세정성이나 건조성이 더욱 향상된다.

다음에, 청구항 제4항의 발명에 의하면, 반송 경로의 상하의 각 지지 롤러의 각각 일방 단부가 하부 지지틀과 상부 지지틀에 축지지되고, 이들 상하의 지지틀을 상하 방향으로 접근 이반 이동이 자유롭게 되어 있으므로, 각 지지 롤러의 축지지되어 있지 않은 타방 단부로부터의 메인터넌스가 용이함과 함께, 상하의 지지틀을 이반시킴으로써 더욱 메인터넌스성이 향상된다.

Claims (4)

1. 기판의 반송 경로의 상하에 축심이 반송 경로와 직교하는 지지 롤러를 복수개 배치하고, 각 지지 롤러의 서로 이웃하는 지지 롤러와의 사이에 엔드리스 형상의 반송 환(丸) 벨트를 반송 경로에 평행하게 되도록 복수개 걸고, 반송 경로의 상하의 반송 환벨트로 기판을 협지한 상태에서 지지 롤러를 회전시킴으로써 반송 경로를 따라 기판을 반송하는 것을 특징으로 하는 기판의 반송 방법.
2. 기판의 반송 경로의 상하에 설치한 축심이 반송 경로와 직교하는 복수의 지지 롤러와, 각 지지 롤러의 서로 이웃하는 지지 롤러와의 사이에 반송 경로에 평행하게 되도록 복수개 걸린 엔드리스 형상의 반송 환벨트와, 상기 지지 롤러를 회전시키는 구동 수단으로 이루어지고, 반송 경로에 있는 기판을 상하의 지지 롤러에 걸린 반송 환벨트에 의해 협지한 상태에서 지지 롤러의 회전에 의해 반송 경로를 따라 반송하는 것을 특징으로 하는 기판의 반송 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   반송 경로에 면하여 중간에 위치하는 각 지지 롤러에 있어서, 일방측에서 서로 이웃하는 지지 롤러 사이에 걸린 반송 환벨트와 타방측에서 서로 이웃하는 지지 롤러 사이에 걸린 반송 환벨트를 교대로 배치한 것을 특징으로 하는 기판의 반송 장치.
4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

   반송 경로의 하방에 있는 지지 롤러는 그 일방 단부가 하부 지지틀에 축지지되고, 반송 경로의 상방에 있는 지지 롤러는 그 일방 단부가 상부 지지틀에 축지지되고, 하부 지지틀과 상부 지지틀은 서로 상하 방향으로 접근 이반 이동이 자유롭게 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 반송 장치.

Images