JP2003170124A

JP2003170124A - 板状チップの表面洗浄方法及び装置

Info

Publication number: JP2003170124A
Application number: JP2001370250A
Authority: JP
Inventors: Haruo Ozaki; 治雄尾崎
Original assignee: M Tec Co Ltd
Current assignee: M Tec Co Ltd
Priority date: 2001-12-04
Filing date: 2001-12-04
Publication date: 2003-06-17

Abstract

(57)【要約】【課題】板状チップの上下面に付着した異物を完全に
除去してクリーン度を向上させ、高性能の半導体製品を
確実に製作できるようにする。【解決手段】板状チップ１４の外形形状より大きな貫
通穴１１ａが設けられ、かつ板状チップ１４の厚さＷ₁
と略同一の厚さＷ₂ を有する薄板１５がリング状に形成
されたチップ搬送無端ベルト１１を上下から挟み込むよ
うにして一対の洗浄ブラシ２０，２１を板状チップ１４
の厚さＷ₁ と略同じ寸法Ｓだけ離間させて配設し、板状
チップ１４を貫通穴１１ａ内に収納しながら下方に配設
された洗浄ブラシ２０上に搭載し、チップ搬送無端ベル
ト１１及び一対の洗浄ブラシ２０，２１を夫々異なる速
度で走行させることによって、板状チップ１４の表裏面
１４ａ，１４ｂに付着した異物を除去するようにした構
成を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、主としてビューフ
ァインダに用いられるガラスのチップ等の板状チップの
表面洗浄方法及びその装置に係り、特に板状チップの外
形形状より大きな貫通穴が設けられ、かつ板状チップの
厚さと略同一の厚さを有する薄板がリング状に形成され
たチップ搬送無端ベルトのベルトを上下から挟み込むよ
うにして一対の洗浄ブラシを板状チップの厚さと略同じ
寸法だけ離間させて配設し、板状チップを貫通穴内に収
納しながら下方に配設された洗浄ブラシ上に搭載し、チ
ップ搬送無端ベルト及び一対の洗浄ブラシを夫々異なる
速度で走行させることによって板状チップを搬送しなが
ら該板状チップの表裏面の全体に洗浄ブラシの洗浄毛を
接触させて板状チップの表裏面に付着した異物を除去す
ることにより、板状チップの保持機構が障害となること
なく、表裏面の全体を洗浄し、クリーン度を向上させて
高性能の半導体製品を容易に製作することができるよう
にした画期的な板状チップの表面洗浄方法及びその装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ビューファインダにはガラスのチ
ップが用いられており、その表裏面については、非常に
高いクリーン度が要求されている。一方、高周波等のデ
バイスには、ＧａＡｓ（ガリウム砒素）、ＧａＰ（ガリ
ウムリン）、ＩｎＰ（インジウムリン）、水晶、サファ
イア、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ＬＴ（タルタン
酸リチウム）、ランガサイト等の種々の素材が使用され
るようになって来ており、これらの材料を薄く切断して
ウェーハとし、プレーナ技術を用いて研削及び研摩を行
っている。

【０００３】上記した研摩後のウェーハにフォトエッチ
ング法によって微細な電子回路を多数焼き付けた後、１
つずつの板状チップに切断し、ケーシングへの収納、リ
ード線の配線等の後工程を行って完成した半導体素子と
している。

【０００４】ビューファンダ用のガラスの板状チップや
小さなチップに切断後の半導体としての板状チップは、
次工程の作業に先立って表面に付着している異物を除去
する必要があるが、従来の除去方法は、図７において、
板状チップ１の前後の下方角部１ａを略Ｌ字形の保持部
２ａが形成された一対の保持プレート２で保持し、全周
に無数の洗浄毛３ａを有する洗浄ブラシ３を矢印Ａ方向
に回転させながら該板状チップ１の上面１ｂ及び下面１
ｃに接触させて板状チップ１に付着していた異物（図示
せず）を除去していた。

【０００５】上記した従来の洗浄装置によると、保持プ
レート２で保持されている板状チップ１の下方角部１ａ
に、洗浄ブラシ３の洗浄毛３ａを接触させることができ
ず、従って板状チップ１に付着している異物を完全に除
去することができない問題点があり、クリーン度が不足
して高性能の半導体素子を製作する上で改善の余地があ
った。

【０００６】他の洗浄装置としては、図８において、板
状チップ１の前後の両側面１ｄを一対の保持プレート４
の側面４ａで矢印Ｂ方向に押圧して挟持し、図７に示す
洗浄ブラシ３を回転させながら該板状チップ１の上面１
ｂ及び下面１ｃに接触させて板状チップ１に付着してい
た異物を除去するものが提案されているが、該洗浄装置
によると、板状チップ１の全面に洗浄毛３ａを接触させ
ることはできるが、板状チップ１が一対の保持プレート
４から脱落しないようにしっかりと板状チップ１の両側
面１ｄを押圧する必要があり、非常に硬く、欠けや割れ
が生じ易い板状チップ１、特にエッジ部に微細な割れ
（ピット）や部分的な割れ（チッピング）が生じるおそ
れがあった。また、図７に示す洗浄装置も同様である
が、板状チップ１のサイズが変更されるごとに保持プレ
ート２，４の大きさを該板状チップ１のサイズに合わせ
て変更しなければならず、多種類の保持プレート２，４
を準備し、かつ板状チップ１のサイズが変更されるごと
に洗浄装置の段取り替えに多大の時間と工数を要する欠
点があった。

【０００７】更に他の洗浄装置としては、図９におい
て、板状チップ１の外形と略同一の貫通穴５ａを保持プ
レート５に形成し、該貫通穴５ａ内に板状チップ１を収
納し、下面１ｃを複数の保持ピン６で支えて保持するよ
うにしたものもあるが、これによると板状チップ１の下
面１ｃは保持ピン６が障害となって洗浄毛３ａを接触さ
せることができず、十分に洗浄することができない欠点
があった。また、板状チップ１のサイズが変更されるご
とに、貫通穴５ａの大きさを板状チップ１のサイズに合
わせて製作した専用の保持プレート５に変更しなければ
ならず、該交換に多大の時間と費用を要する問題点があ
った。

【０００８】上記したごとく、従来のいずれの洗浄装置
も、板状チップ１の全面に洗浄毛３ａを接触させること
ができずに十分な洗浄が行えなかったり、板状チップ１
に微細な割れや部分的な割れを生じさせるおそれがあっ
て、異物の除去が不十分となる問題点があり、また板状
チップ１のサイズに合わせて保持機構の変更を要し、安
価に板状チップ１を洗浄することができない問題点があ
った。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は，上記した従
来技術の欠点を除くためになされたものであって、その
目的とするところは、回転する一対の洗浄ブラシの洗浄
面を互いに対向させて配置し、該洗浄面の間を板状チッ
プの表裏面の全体を露出させた状態で搬送して洗浄毛を
板状チップの表裏面の全体に接触させ、付着した異物を
除去することにより、板状チップの未洗浄箇所をなくし
て表面全体から異物を除去することができるようにする
ことである。

【００１０】また他の目的は、上記洗浄に加えて、洗浄
ブラシで洗浄された後の板状チップの表裏面に清浄圧縮
空気を吹き付けて異物を除去すると共に乾燥させること
により、より確実に異物を除去して板状チップのクリー
ン度を向上させ、また特別の乾燥工程を配設することな
く、乾燥処理された板状チップを次工程に供給すること
ができるようにすることである。

【００１１】更に他の目的は、一対の無端洗浄ベルトを
板状チップの厚さと略同じ寸法だけ離間させて洗浄面同
士の間に隙間を持たせて配置し、該隙間に貫通穴が形成
されチップ搬送無端ベルトを無端洗浄ベルトと異なる速
度で走行させ、貫通穴内に表裏面の全体を露出させた状
態で板状チップを収納して搬送して無端洗浄ベルトの洗
浄毛を表裏面の全体に接触させて付着した異物を除去す
ることにより、異物の付着状況に応じて無端洗浄ベルト
とチップ搬送無端ベルトの走行速度を変化させて異物除
去に必要な洗浄時間を変更し、容易に洗浄の必要時間を
確保することができるようにすることであり、またこれ
によって確実に異物を除去することができるようにする
ことである。

【００１２】また他の目的は、一対のカップブラシの洗
浄面を対向させ、板状チップの厚さと略同じ寸法だけ離
間させて配置し、該洗浄面間に貫通穴内に板状チップが
収納されたチップ搬送無端ベルトを水平面内で回転走行
させ、カップブラシの洗浄毛を板状チップに接触させて
異物を除去することにより、板状チップを清浄にして異
物による後工程への影響を皆無とし、高性能の半導体素
子を製作することができるようにすることである。

【００１３】更に他の目的は、上記洗浄に加え、板状チ
ップの表裏面に清浄圧縮空気を吹き付けて異物を除去す
ると共に乾燥させることにより、更にクリーン度を向上
させて高性能の半導体素子を製作することができるよう
にすることである。

【００１４】また他の目的は、板状チップの厚さと略同
一の厚さの薄板で製作されたチップ搬送無端ベルトに板
状チップの外形形状より大きな貫通穴を設け、該貫通穴
内に板状チップを収納して搬送することにより、特別な
板状チップの保持機構を不要化して洗浄装置の構造を簡
単にし、洗浄装置を極めて安価に製作することができる
ようにし、かつ板状チップに挟持力等の力を作用させる
ことなく搬送することができるようにすることであり、
またこれによって板状チップに微細な割れ（ピット）や
部分的な割れ（チッピング）を生じさせることなく搬送
できるようにし、半導体素子の性能を高性能に維持する
ことができるようにすることである。

【００１５】更に他の目的は、上記構成により、板状チ
ップの大きさが変更されても、チップ搬送無端ベルト等
を板状チップの大きさに合わせて変更する必要をなく
し、単に板状チップを貫通穴内に収納するだけで該板状
チップを保持することができるようにすることであり、
またこれによって段取り替えに要する時間を不要として
効率よく板状チップを洗浄することができるようにする
ことである。

【００１６】また他の目的は、チップ搬送無端ベルトを
板状チップの厚さと略同一の厚さの薄板で製作し、該薄
板にあけられた貫通穴内に板状チップを収納することに
より、板状チップの表裏面の全体をチップ搬送無端ベル
トから露出させた状態で搬送することができるようにす
ることであり、またこれによってチップ搬送無端ベルト
を上下から挟み込むように配設された一対の無端洗浄ベ
ルトを板状チップの表裏面の全体に接触させて付着した
異物を完全に除去することができるようにすることであ
る。

【００１７】更に他の目的は、チップ搬送無端ベルトを
板状チップの厚さと略同一の厚さの薄板で製作し、該薄
板にあけられた貫通穴内に板状チップを収納して板状チ
ップの表裏面の全体をチップ搬送無端ベルトから露出さ
せた状態で搬送すると共に、チップ搬送無端ベルトを上
下から挟み込むように配設された一対の無端洗浄ベルト
又は一対のカップブラシを同一方向、かつチップ搬送無
端ベルトとは異なる走行速度で走行させることにより、
板状チップを貫通穴の走行方向前方又は後方の端面に当
接させて（どちらの端面に当接するかは、チップ搬送無
端ベルトと無端洗浄ベルト又はカップブラシの相対走行
速度による）板状チップの向きも含めて位置決めするこ
とができるようにすることであり、またこれによって洗
浄後の板状チップを次工程に搬送する際に、板状チップ
の向きを補正する必要がなく、確実に板状チップの表面
洗浄装置から取り出して搬送し、次工程に供給すること
ができるようにすることである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】要するに本発明方法（請
求項１）は、表面に無数の洗浄毛を有する一対の洗浄ブ
ラシの洗浄面を互いに対向させ板状チップの厚さと略同
じ寸法の隙間を持たせて配置し、回転中の一対の前記洗
浄ブラシの前記洗浄面の間に前記板状チップの表裏面の
全体を露出させた状態で前記洗浄面の走行速度と異なる
速度で前記板状チップを搬送し、前記洗浄ブラシの前記
洗浄毛を前記板状チップの前記表裏面の全体に接触させ
て前記板状チップの前記表裏面に付着した異物を除去す
ることを特徴とするものである。

【００１９】また本発明方法（請求項２）は、表面に無
数の洗浄毛を有する一対の洗浄ブラシの洗浄面を互いに
対向させ板状チップの厚さと略同じ寸法の隙間を持たせ
て配置し、回転中の一対の前記洗浄ブラシの前記洗浄面
の間に前記板状チップの表裏面の全体を露出させた状態
で前記洗浄面の走行速度と異なる速度で前記板状チップ
を搬送し、前記洗浄ブラシの前記洗浄毛を前記板状チッ
プの前記表裏面の全体に接触させて前記板状チップの前
記表裏面に付着した異物を除去した後、前記板状チップ
の前記表裏面に清浄圧縮空気を吹き付けて異物を除去す
ると共に乾燥させることを特徴とするものである。

【００２０】また本発明方法（請求項３）は、表面に無
数の洗浄毛を有する一対の無端洗浄ベルトを前記表面間
の距離が板状チップの厚さと略同じ寸法の隙間となるよ
うに対向させて配置し、対向する前記表面である洗浄面
同士が同一方向に移動するように走行させると共に、前
記板状チップの外形形状より大きな貫通穴が形成され前
記板状チップの厚さと略同一の厚さを有する薄板がリン
グ状に形成されたチップ搬送無端ベルトの上下面を前記
無端洗浄ベルトの対向する一対の前記洗浄面で挟み込む
ように前記無端洗浄ベルトの前記隙間の間に前記チップ
搬送無端ベルトを配設し、前記板状チップを前記貫通穴
内に収納し、かつ前記チップ搬送無端ベルトの下方に配
設された前記無端洗浄ベルトの前記洗浄面上に搭載して
前記板状チップの表裏面の全体を前記チップ搬送無端ベ
ルトから露出させた状態で前記チップ搬送無端ベルトを
前記無端洗浄ベルトの走行速度と異なる速度で走行させ
て前記板状チップを搬送し、前記無端洗浄ベルトの前記
洗浄毛を前記板状チップの前記表裏面の全体に接触させ
て前記板状チップの前記表裏面に付着した異物を除去す
ることを特徴とするものである。

【００２１】また本発明方法（請求項４）は、請求項３
に記載の発明方法であって、対向して同一方向に走行す
る前記無端洗浄ベルトの前記洗浄毛を前記表裏面の全体
が前記チップ搬送無端ベルトから露出した状態で搬送さ
れる前記板状チップの前記表裏面の全体に接触させて前
記板状チップの前記表裏面に付着した異物を除去した
後、前記板状チップの前記表裏面に清浄圧縮空気を吹き
付けて異物を除去すると共に乾燥させることを特徴とす
るものである。

【００２２】また本発明方法（請求項５）は、軸の端部
に固定された円板の前記軸と反対側の表面に無数の洗浄
毛を有する洗浄面が設けられた一対のカップブラシを、
前記洗浄面間の距離が板状チップの厚さと略同じ寸法の
隙間となるように対向させて配置して前記軸を中心とし
て回転させると共に、板状チップの外形形状より大きな
貫通穴が形成され前記板状チップの厚さと略同一の厚さ
を有する薄板が円環状に形成され水平面内で回転走行す
るチップ搬送無端ベルトの上下面を、前記カップブラシ
の対向する一対の前記洗浄面で挟み込むように前記カッ
プブラシの前記隙間の間に前記チップ搬送無端ベルトを
配設し、前記板状チップを前記貫通穴内に収納し、かつ
前記チップ搬送無端ベルトの下方に配設された前記カッ
プブラシの前記洗浄面上に搭載して前記板状チップの表
裏面の全体を前記チップ搬送無端ベルトから露出させた
状態で前記チップ搬送無端ベルトを前記洗浄面の走行速
度と異なる速度で走行させて前記板状チップを搬送し、
前記カップブラシの前記洗浄毛を前記板状チップの前記
表裏面の全体に接触させて前記板状チップの前記表裏面
に付着した異物を除去することを特徴とするものであ
る。

【００２３】また本発明方法（請求項６）は、請求項５
に記載の発明方法であって、対向して回転する一対の前
記カップブラシの前記洗浄毛を前記表裏面の全体が前記
チップ搬送無端ベルトから露出した状態で搬送される前
記板状チップの前記表裏面の全体に接触させて前記板状
チップの前記表裏面に付着した異物を除去した後、前記
板状チップの前記表裏面に清浄圧縮空気を吹き付けて異
物を除去すると共に乾燥させることを特徴とするもので
ある。

【００２４】また本発明装置（請求項７）は、板状チッ
プの外形形状より大きな貫通穴が設けられ、かつ前記板
状チップの厚さと略同一の厚さを有する薄板がリング状
に形成され前記貫通穴内に前記板状チップを収納して走
行し該板状チップを搬送するチップ搬送無端ベルトと、
表面に無数の洗浄毛を有する洗浄面で前記チップ搬送無
端ベルトを上下から挟み込むと共に前記洗浄面間の距離
が前記板状チップの厚さと略同じ寸法となるように対向
させて前記チップ搬送無端ベルトと平行に配置され対向
する前記洗浄面同士が前記チップ搬送無端ベルトとは異
なる走行速度で同一方向に走行する一対の無端洗浄ベル
トとを備え、前記板状チップの表裏面の全体を前記チッ
プ搬送無端ベルトから露出させた状態で搬送しながら前
記表裏面の全体に前記無端洗浄ベルトの前記洗浄毛を接
触させて前記板状チップの前記表裏面に付着した異物を
除去するように構成したことを特徴とするものである。

【００２５】また本発明装置（請求項８）は、板状チッ
プの外形形状より大きな貫通穴が設けられ、かつ前記板
状チップの厚さと略同一の厚さを有する薄板がリング状
に形成され前記貫通穴内に前記板状チップを収納して走
行し該板状チップを搬送するチップ搬送無端ベルトと、
表面に無数の洗浄毛を有する洗浄面で前記チップ搬送無
端ベルトを上下から挟み込むと共に前記洗浄面間の距離
が前記板状チップの厚さと略同じ寸法となるように対向
させて前記チップ搬送無端ベルトと平行に配置され対向
する前記洗浄面同士が前記チップ搬送無端ベルトとは異
なる走行速度で同一方向に走行する一対の無端洗浄ベル
トと、前記板状チップの表裏面に清浄圧縮空気を吹き付
ける一対のノズルとを備え、前記板状チップの表裏面の
全体を前記チップ搬送無端ベルトから露出させた状態で
搬送しながら前記表裏面の全体に前記無端洗浄ベルトの
前記洗浄毛を接触させて前記板状チップの前記表裏面に
付着した異物を除去した後、該表裏面に前記ノズルから
前記清浄圧縮空気を吹き付けて異物を除去すると共に乾
燥させるように構成したことを特徴とするものである。

【００２６】また本発明装置（請求項９）は、板状チッ
プの外形形状より大きな貫通穴が設けられ、かつ前記板
状チップの厚さと略同一の厚さを有する薄板がリング状
に形成され前記貫通穴内に前記板状チップを収納して走
行し該板状チップを搬送するチップ搬送無端ベルトと、
軸の端部に固定された円板の前記軸と反対側の表面に無
数の洗浄毛を有する洗浄面が設けられた一対のカップブ
ラシであって対向する前記洗浄面間の距離が前記板状チ
ップの厚さと略同じ寸法となるように一対の前記洗浄面
を対向させ、かつ前記チップ搬送無端ベルトと平行に前
記チップ搬送無端ベルトを上下方向から挟み込んで配設
された一対のカップブラシとを備え、前記板状チップの
表裏面の全体を前記チップ搬送無端ベルトから露出させ
た状態で搬送しながら前記表裏面の全体に前記カップブ
ラシの前記洗浄毛を接触させて前記板状チップの前記表
裏面に付着した異物を除去するように構成したことを特
徴とするものである。

【００２７】また本発明装置（請求項１０）は、板状チ
ップの外形形状より大きな貫通穴が設けられ、かつ前記
板状チップの厚さと略同一の厚さを有する薄板がリング
状に形成され前記貫通穴内に前記板状チップを収納して
水平面内で回転走行し該板状チップを搬送するチップ搬
送無端ベルトと、軸の端部に固定された円板の前記軸と
反対側の表面に無数の洗浄毛を有する洗浄面が設けられ
た一対のカップブラシであって対向する前記洗浄面間の
距離が前記板状チップの厚さと略同じ寸法となるように
一対の前記洗浄面を対向させ、かつ前記チップ搬送無端
ベルトと平行に前記チップ搬送無端ベルトを上下方向か
ら挟み込んで配設された一対のカップブラシと、前記板
状チップの表裏面に清浄圧縮空気を吹き付ける乾燥ユニ
ットとを備え、前記板状チップの表裏面の全体を前記チ
ップ搬送無端ベルトから露出させた状態で搬送しながら
前記表裏面の全体に前記カップブラシの前記洗浄毛を接
触させて前記板状チップの前記表裏面に付着した異物を
除去した後、該表裏面に前記ノズルから前記清浄圧縮空
気を吹き付けて異物を除去すると共に乾燥させるように
構成したことを特徴とするものである。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示す実施例に
基いて説明する。本発明に係る第１実施例の板状チップ
の表面洗浄装置１０は、図１及び図２において、チップ
搬送無端ベルト１１と、一対の無端洗浄ベルト１２と、
一対のノズル１３とを備えている。

【００２９】チップ搬送無端ベルト１１は、板状チップ
１４を搬送するためのものであって、板状チップ１４の
厚さＷ₁ より薄い厚さＷ₂ を有するゴム等の薄板１５が
無端のリング状に形成されて製作されており、板状チッ
プ１４の外形形状より大きな貫通穴１１ａが所定の間隔
であけられている。チップ搬送無端ベルト１１は、離間
して配設された駆動プーリ１６及び被駆動プーリ１８に
巻き掛けられ、駆動プーリ１６には駆動モータ１９の回
転軸が接続されている。該駆動モータ１９を回転させて
駆動プーリ１６及び被駆動プーリ１８を矢印Ｅ方向に回
転させ、チップ搬送無端ベルト１１を矢印Ｆ方向に走行
させるようになっている。

【００３０】一対の無端洗浄ベルト１２は、チップ搬送
無端ベルト１１によって搬送される板状チップ１４を洗
浄するためのものであって、チップ搬送無端ベルト１１
と平行に配設された第１洗浄ベルト２０及び第２洗浄ベ
ルト２１とから構成されており、第１洗浄ベルト２０は
駆動モータ２２の回転軸が連結され矢印Ｇ方向に回転す
る駆動プーリ２３と２つの被駆動プーリ２４に巻き掛け
られ、リング状のチップ搬送無端ベルト１１の内側か
つ、チップ搬送無端ベルト１１の長さよりわずかに短く
されて配設されており、チップ搬送無端ベルト１１の下
方で矢印Ｉ方向に走行するようになっている。

【００３１】第２洗浄ベルト２１は、駆動モータ２５の
回転軸が連結され矢印Ｈ方向に回転する駆動プーリ２６
と被駆動プーリ２８に巻き掛けられ、チップ搬送無端ベ
ルト１１を挟んで第１洗浄ベルト２０と対向してチップ
搬送無端ベルト１１の外側に配設されており、該駆動モ
ータ２５により駆動されて第１洗浄ベルト２０の走行速
度と同一速度かつ、対向する面が同一方向に矢印Ｊ方向
に走行するようになっている。

【００３２】第１洗浄ベルト２０と第２洗浄ベルト２１
の表面には、無数の洗浄毛２０ａ，２１ａが全面にわた
って植設して形成され、該洗浄毛２０ａ，２１ａを板状
チップ１４に接触させて洗浄するように構成され、また
対向する第１洗浄ベルト２０と第２洗浄ベルト２１との
距離Ｓは、板状チップ１４の厚さＷ₁ と略同じ寸法に設
定されている。

【００３３】第１洗浄ベルト２０と第２洗浄ベルト２１
の走行速度は、チップ搬送無端ベルト１１の走行速度と
は異なる速度に設定されて相対速度を有しており、例え
ば図３にベクトルの矢印で示すように、チップ搬送無端
ベルト１１の走行速度は第１洗浄ベルト２０と第２洗浄
ベルト２１の走行速度の略２倍の速度とされ、同方向に
走行するようになっている。なお、走行速度は、上記の
速度に限定する必要はなく、走行方向も含めて異物除去
に最適な速度とすることができる。

【００３４】第２洗浄ベルト２１の上流側には、整列さ
せて矢印Ｃ方向に搬送される板状チップ１４を吸着して
矢印Ｄ方向に搬送してチップ搬送無端ベルト１１の貫通
穴１１ａ内に供給する搬入装置２９が、また第２洗浄ベ
ルト２１の下流側には、洗浄後の板状チップ１４を吸着
して矢印Ｋ，Ｌ，Ｍ方向に搬送して次工程に供給する搬
出装置３０が配設されている。

【００３５】一対のノズル１３は、板状チップ１４に清
浄圧縮空気を吹き付けて、異物を除去すると共に乾燥さ
せるためのものであって、第２洗浄ベルト２１の下流側
に配設されており、一方のノズル１３は、チップ搬送無
端ベルト１１の上方に配設されて該チップ搬送無端ベル
ト１１によって矢印Ｆ方向に搬送される板状チップ１４
の上面１４ａに向けて清浄圧縮空気を勢いよく噴出する
ようになっている。他方のノズル１３は、搬出装置３０
の近くに配設されており、該搬出装置３０に吸着されて
搬出される板状チップ１４の下面１４ｂに向けて清浄圧
縮空気を勢いよく噴出するようになっている。

【００３６】また、チップ搬送無端ベルト１１及び第１
洗浄ベルト２０の返送側（図１及び図２において下方）
には、該チップ搬送無端ベルト１１及び第１洗浄ベルト
２０に向けて洗浄ノズル３１，３２が配設されていて、
該洗浄ノズル３１，３２から清浄な洗浄水３３を吐出し
てチップ搬送無端ベルト１１及び第１洗浄ベルト２０に
付着した異物を除去して洗浄するように構成されてい
る。

【００３７】本発明に係る第２実施例の板状チップの表
面洗浄装置５０は、図６において、一対の無端洗浄ベル
ト１２の代わりに一対のカップブラシ５１，５２が円環
に形成され水平面内で回転走行するチップ搬送無端ベル
ト６１を挟み、対向して配設されている。一対のカップ
ブラシ５１（小径），５２（大径）は、夫々矢印Ｏ方向
に回転する軸５３，５４の端部に円板５５，５６が固定
されており、該円板５５，５６の軸５３，５４と反対側
の表面には、無数の洗浄毛５５ａ，５６ａが全面にわた
って植設して形成されて洗浄面が設けられており、該洗
浄面をチップ搬送無端ベルト１１と平行にして挟み、対
向して配設されている。円板５５，５６の対向する洗浄
面の距離は、第１実施例の板状チップの表面洗浄装置１
０と同様に、板状チップ１４の厚さと略同じ寸法に設定
されている。

【００３８】また板状チップ１４をチップ搬送無端ベル
ト６１に搭載するために矢印Ｐ，Ｑの如く上下動すると
共に矢印Ｒの如く旋回するチップ搬送ユニット６２と、
板状チップ１４をチップ搬送無端ベルト６１から取り出
すために矢印Ｐ，Ｑの如く上下動すると共に矢印Ｒの如
く旋回するチップ搬送ユニット６３と、矢印Ｓ又はＴの
如く洗浄圧縮空気を板状チップ１４の表面１４ａ，裏面
１４ｂに夫々吹き付ける乾燥ユニット６４と、ブラシ洗
浄が完了した板状チップ１４からの映像を矢印Ｕの如く
受けて撮影するＣＣＤカメラ６５とが配設されている。

【００３９】そして本発明方法（請求項１）は、表面に
無数の洗浄毛２０ａ，２１ａを有する一対の洗浄ブラシ
１２の洗浄面を互いに対向させ板状チップ１４の厚さＷ
₁ と略同じ寸法の隙間Ｓを持たせて配置し、回転中の一
対の前記洗浄ブラシ１２の前記洗浄面の間に前記板状チ
ップ１４の表裏面１４ａ，１４ｂの全体を露出させた状
態で前記洗浄面の走行速度と異なる速度で前記板状チッ
プ１４を搬送し、前記洗浄ブラシ１２の前記洗浄毛２０
ａ，２１ａを前記板状チップ１４の前記表裏面１４ａ，
１４ｂの全体に接触させて前記板状チップ１４の前記表
裏面１４ａ，１４ｂに付着した異物を除去する方法であ
る。

【００４０】また、本発明方法（請求項２）は、表面に
無数の洗浄毛２０ａ，２１ａを有する一対の洗浄ブラシ
１２の洗浄面を互いに対向させ板状チップ１４の厚さＷ
₁ と略同じ寸法の隙間Ｓを持たせて配置し、回転中の一
対の前記洗浄ブラシ１２の前記洗浄面の間に前記板状チ
ップ１４の表裏面１４ａ，１４ｂの全体を露出させた状
態で前記洗浄面の走行速度と異なる速度で前記板状チッ
プ１４を搬送し、前記洗浄ブラシ１２の前記洗浄毛２０
ａ，２１ａを前記板状チップ１４の前記表裏面１４ａ，
１４ｂの全体に接触させて前記板状チップ１４の前記表
裏面１４ａ，１４ｂに付着した異物を除去した後、前記
板状チップ１４の前記表裏面１４ａ，１４ｂに清浄圧縮
空気を吹き付けて異物を除去すると共に乾燥させる方法
である。

【００４１】また、本発明方法（請求項３）は、表面に
無数の洗浄毛２０ａ，２１ａを有する一対の無端洗浄ベ
ルト１２を前記表面間の距離Ｓが板状チップ１４の厚さ
Ｗ₁ と略同じ寸法の隙間となるように対向させて配置
し、対向する前記表面である洗浄面同士が同一方向に移
動するように走行させると共に、板状チップ１４の外形
形状より大きな貫通穴１１ａが形成され前記板状チップ
１４の厚さＷ ₁ より薄い厚さを有する薄板１５がリング
状に形成されたチップ搬送無端ベルト１１の上下面を前
記無端洗浄ベルト１２の対向する一対の前記洗浄面で挟
み込むように前記無端洗浄ベルト１２の前記隙間の間に
前記チップ搬送無端ベルト１１を配設し、前記板状チッ
プ１４を前記貫通穴１１ａ内に収納し、かつ前記チップ
搬送無端ベルト１１の下方に配設された前記無端洗浄ベ
ルト２０の前記洗浄面上に搭載して前記板状チップ１４
の表裏面１４ａ，１４ｂの全体を前記チップ搬送無端ベ
ルト１１から露出させた状態で前記チップ搬送無端ベル
ト１１を前記無端洗浄ベルト１２の走行速度と異なる速
度で走行させて前記板状チップ１４を搬送し、前記無端
洗浄ベルト１２の前記洗浄毛２０ａ，２１ａを前記板状
チップ１４の前記表裏面１４ａ，１４ｂの全体に接触さ
せて前記板状チップ１４の前記表裏面１４ａ，１４ｂに
付着した異物を除去する方法である。

【００４２】また、本発明方法（請求項４）は、請求項
３に記載の方法であって、対向して同一方向に走行する
前記無端洗浄ベルト１２の前記洗浄毛２０ａ，２１ａを
前記表裏面１４ａ，１４ｂの全体が前記チップ搬送無端
ベルト１１から露出した状態で搬送される前記板状チッ
プ１４の前記表裏面１４ａ，１４ｂの全体に接触させて
前記板状チップ１４の前記表裏面１４ａ，１４ｂに付着
した異物を除去した後、前記板状チップ１４の前記表裏
面１４ａ，１４ｂに清浄圧縮空気を吹き付けて異物を除
去すると共に乾燥させる方法である。

【００４３】また、本発明方法（請求項５）は、軸５
３，５４の端部に固定された円板５５，５６の前記軸５
３，５４と反対側の表面に無数の洗浄毛５５ａ，５６ａ
を有する洗浄面が設けられた一対のカップブラシ５１，
５２を、前記洗浄面間の距離Ｓが板状チップ１４の厚さ
Ｗ₁ と略同じ寸法の隙間となるように対向させて配置し
て前記軸５３，５４を中心として回転させると共に、板
状チップ１４の外形形状より大きな貫通穴１１ａが形成
され前記板状チップ１４の厚さＷ₁ より薄い厚さを有す
る薄板１５がリング状に形成されたチップ搬送無端ベル
ト１１の上下面を、前記カップブラシ５１，５２の対向
する一対の前記洗浄面で挟み込むように前記カップブラ
シ５１，５２の前記隙間の間に前記チップ搬送無端ベル
ト１１を配設し、前記板状チップ１４を前記貫通穴１１
ａ内に収納し、かつ前記チップ搬送無端ベルト１１の下
方に配設された前記カップブラシ５２の前記洗浄面上に
搭載して前記板状チップ１４の表裏面１４ａ，１４ｂの
全体を前記チップ搬送無端ベルト１１から露出させた状
態で前記チップ搬送無端ベルト１１を前記洗浄面の走行
速度と異なる速度で走行させて前記板状チップ１４を搬
送し、前記カップブラシ５１，５２の前記洗浄毛５５
ａ，５６ａを前記板状チップ１４の前記表裏面１４ａ，
１４ｂの全体に接触させて前記板状チップ１４の前記表
裏面１４ａ，１４ｂに付着した異物を除去する方法であ
る。

【００４４】また、本発明方法（請求項６）は、請求項
５に記載の方法であって、対向して回転する一対の前記
カップブラシ５１，５２の前記洗浄毛５５ａ，５６ａを
前記表裏面１４ａ，１４ｂの全体が前記チップ搬送無端
ベルト６１から露出した状態で搬送される前記板状チッ
プ１４の前記表裏面１４ａ，１４ｂの全体に接触させて
前記板状チップ１４の前記表裏面１４ａ，１４ｂに付着
した異物を除去した後、前記板状チップ１４の前記表裏
面１４ａ，１４ｂに清浄圧縮空気を吹き付けて異物を除
去すると共に乾燥させる方法である。

【００４５】本発明は、上記のように構成されており、
以下その作用について説明する。第１実施例の板状チッ
プの表面洗浄装置１０は、図１及び図３において、洗浄
ノズル３１，３２から清浄な洗浄水３３をチップ搬送無
端ベルト１１及び第１洗浄ベルト２０に向けて吐出し、
該チップ搬送無端ベルト１１及び第１洗浄ベルト２０に
付着した異物等を除去して洗浄する。該洗浄水３３によ
る洗浄作業は、板状チップ１４の洗浄作業中は連続して
行われており、常に清浄なチップ搬送無端ベルト１１及
び第１洗浄ベルト２０が板状チップ１４の洗浄作業に使
用される。

【００４６】駆動モータ１９を回転させ、駆動プーリ１
６及び被駆動プーリ１８を矢印Ｅ方向に回転させてチッ
プ搬送無端ベルト１１を矢印Ｆ方向に走行させ、また駆
動モータ２２を回転させ、駆動プーリ２３と２つの被駆
動プーリ２４を矢印Ｇ方向に回転させて第１洗浄ベルト
２０を矢印Ｉ方向に走行させると共に、駆動モータ２５
を回転させ、駆動プーリ２６と被駆動プーリ２８を矢印
Ｈ方向に回転させて第２洗浄ベルト２１を第１洗浄ベル
ト２０の走行速度と同一速度かつ、対向する面が同一方
向に矢印Ｊ方向に走行させる。なお、図示の実施例にお
いては、チップ搬送無端ベルト１１の走行速度は、第１
洗浄ベルト２０及び第２洗浄ベルト２１の走行速度の略
２倍の速度とされている。

【００４７】ここで、整列させて矢印Ｃ方向に搬送され
る板状チップ１４を搬入装置２９で吸着し、矢印Ｄ方向
に搬送してチップ搬送無端ベルト１１の貫通穴１１ａ内
の第１洗浄ベルト２０上に積載して供給するが、チップ
搬送無端ベルト１１の薄板１５の厚さＷ₂ は、板状チッ
プ１４の厚さＷ₁ より薄いので、板状チップ１４の上面
１４ａ及び下面１４ｂは、その全面がチップ搬送無端ベ
ルト１１から露出した状態となっている。

【００４８】図３及び図４において、チップ搬送無端ベ
ルト１１は第１洗浄ベルト２０及び第２洗浄ベルト２１
の略２倍の速度で走行しているので、相対的にはチップ
搬送無端ベルト１１が第１洗浄ベルト２０及び第２洗浄
ベルト２１に対してチップ搬送無端ベルト１１の走行速
度の１／２の速度で矢印Ｆ方向に走行していることにな
る。この結果、第１洗浄ベルト２０上に積載された板状
チップ１４は、後端面１４ｃが貫通穴１１ａの進行方向
後端面１１ｂに当接して押圧され、矢印Ｆ方向に搬送さ
れる。また、後端面１４ｃと貫通穴１１ａの進行方向後
端面１１ｂとは完全に密着した状態で搬送されるので、
板状チップ１４の向きが規制されて位置決めされた状態
で搬送される。

【００４９】また図４及び図５において、大きさの異な
る板状チップ１４が供給されても、チップ搬送無端ベル
ト１１の貫通穴１１ａの大きさは、搬送が想定される最
大の板状チップ１４の外形寸法より大きく設定されてい
るので、必ず貫通穴１１ａ内に収納することができ、ま
た上記したように、後端面１４ｃと貫通穴１１ａの進行
方向後端面１１ｂとが密着した状態で搬送されるので、
板状チップ１４の大きさが変更されても同一のチップ搬
送無端ベルト１１を使用して何ら問題なく、かつ確実に
板状チップ１４を位置決めしながら搬送することがで
き、従って搬出装置３０により板状チップ１４を吸着、
搬出する際に板状チップ１４の角度を補正することな
く、正規の状態で搬送することができる。

【００５０】板状チップ１４が第２洗浄ベルト２１の位
置まで搬送されると、上面１４ａ及び下面１４ｂの全面
がチップ搬送無端ベルト１１から露出した状態となって
いる板状チップ１４は、第１洗浄ベルト２０及び第２洗
浄ベルト２１に挟持された状態となり、上面１４ａは第
２洗浄ベルト２１の洗浄毛２１ａに、また下面１４ｂは
第１洗浄ベルト２０の洗浄毛２０ａに接触して擦られ、
板状チップ１４に付着している異物（図示せず）が除去
されて洗浄される。また第１洗浄ベルト２０及び第２洗
浄ベルト２１は、同一速度で同一方向に走行しているの
で、板状チップ１４には、上面１４ａ及び下面１４ｂと
も同一方向に同一大きさの力が作用し、貫通穴１１ａ内
で暴れることはなく、安定して搬送される。

【００５１】第１洗浄ベルト２０及び第２洗浄ベルト２
１による洗浄が終了すると、第１洗浄ベルト２０に積載
されチップ搬送無端ベルト１１により搬送されている板
状チップ１４の上面１４ａに向けてノズル１３から清浄
圧縮空気を勢いよく噴出して異物を除去すると共に乾燥
させる。次いで、搬出装置３０により板状チップ１４を
吸着して矢印Ｋ方向に持ち上げて矢印Ｌ方向に搬送しな
がら、下面１４ｂに向けてノズル１３から清浄圧縮空気
を勢いよく噴出して下面１４ｂを乾燥させた後、矢印Ｍ
方向に搬送して次工程に供給する。

【００５２】第２実施例の板状チップの表面洗浄装置５
０は、図６において、板状チップ１４をチップ搬送無端
ベルト６１の貫通穴６１ａ内に搬送ユニット６２により
収納してチップ搬送無端ベルト６１に積載し、チップ搬
送無端ベルト６１を矢印Ｆ方向に水平面内で、回転、停
止を繰り返すピッチ送りにより回転走行させ、また一対
のカップブラシ５１，５２をチップ搬送無端ベルト６１
が停止した際に矢印Ｏ方向に夫々回転させる。なお実際
には、板状チップ１４は、下側のカップブラシ５２の洗
浄毛５６ａ上に載置される。そして、チップ搬送無端ベ
ルト６１を矢印Ｆ方向に水平面内で回転走行させて板状
チップ１４の上面１４ａ及び下面１４ｂの全体をチップ
搬送無端ベルト６１から露出させた状態で矢印Ｆ方向
に、走行、停止を交互に行うピッチ送りにより搬送す
る。

【００５３】板状チップ１４が一対のカップブラシ５
１，５２が対向する位置に達すると、チップ搬送無端ベ
ルト６１は、洗浄時間に対応した時間停止し、その停止
時間内において一対のカップブラシ５１，５２が常時回
転し、板状チップ１４の上面１４ａは洗浄毛５５ａに、
また下面１４ｂは洗浄毛５６ａに接触して擦られ、板状
チップ１４に付着していた異物が除去されて洗浄され
る。なおカップブラシ５１，５２の回転速度及び回転方
向を任意に設定又は変更することにより、各種の条件で
板状チップ１４を洗浄することができる。

【００５４】洗浄後の板状チップ１４は、更に搬送され
て表面１４ａに向けて乾燥ユニット６４から清浄圧縮空
気を勢いよく矢印Ｓの如く噴出して異物を除去すると共
に乾燥させる。次いで、搬送ユニット６３により板状チ
ップ１４を持ち上げて搬出し、裏面１４ｂに向けて清浄
圧縮空気を勢いよく矢印Ｔの如く噴出して裏面１４ｂを
乾燥させた後、次工程に供給される。

【００５５】なお、第１実施例においては、チップ搬送
無端ベルトの走行速度は、第１洗浄ベルト及び第２洗浄
ベルトの略２倍の速度で同一方向に走行しているものと
して説明したが、チップ搬送無端ベルト及び第１洗浄ベ
ルト、第２洗浄ベルトの走行速度はこれに限定されるも
のではなく、任意の速度とすることができ、またチップ
搬送無端ベルトと第１洗浄ベルト、第２洗浄ベルトの走
行方向が逆方向であってもよい。

【００５６】

【発明の効果】本発明は、上記のように回転する一対の
洗浄ブラシの洗浄面を互いに対向させて配置し、該洗浄
面の間を板状チップの表裏面の全体を露出させた状態で
搬送して洗浄毛を板状チップの表裏面の全体に接触さ
せ、付着した異物を除去するようにしたので、板状チッ
プの未洗浄箇所をなくして表面全体から異物を除去する
ことができるという効果がある。

【００５７】また上記洗浄に加えて、洗浄ブラシで洗浄
された後の板状チップの表裏面に清浄圧縮空気を吹き付
けて異物を除去すると共に乾燥させるようにしたので、
より確実に異物を除去して板状チップのクリーン度を向
上させ、また特別の乾燥工程を配設することなく、乾燥
処理された板状チップを次工程に供給することができる
という効果がある。

【００５８】更には、一対の無端洗浄ベルトを板状チッ
プの厚さと略同じ寸法だけ離間させて洗浄面同士の間に
隙間を持たせて配置し、該隙間に貫通穴が形成されチッ
プ搬送無端ベルトを無端洗浄ベルトと異なる速度で走行
させ、貫通穴内に表裏面の全体を露出させた状態で板状
チップを収納して搬送して無端洗浄ベルトの洗浄毛を表
裏面の全体に接触させて付着した異物を除去するように
したので、異物の付着状況に応じて無端洗浄ベルトとチ
ップ搬送無端ベルトの走行速度を変化させて異物除去に
必要な洗浄時間を変更し、容易に洗浄の必要時間を確保
することができる効果があり、またこの結果確実に異物
を除去することができるという効果が得られる。

【００５９】また一対のカップブラシの洗浄面を対向さ
せ、板状チップの厚さと略同じ寸法だけ離間させて配置
し、該洗浄面間に貫通穴内に板状チップが収納されたチ
ップ搬送無端ベルトを水平面内で回転走行させ、カップ
ブラシの洗浄毛を板状チップに接触させて異物を除去す
るようにしたので、板状チップを清浄にして異物による
後工程への影響を皆無とし、高性能の半導体素子を製作
することができるという効果がある。

【００６０】更には、上記洗浄に加え、板状チップの表
裏面に清浄圧縮空気を吹き付けて異物を除去すると共に
乾燥させるようにしたので、更にクリーン度を向上させ
て高性能の半導体素子を製作することができるという効
果がある。

【００６１】また板状チップの厚さと略同一の厚さの薄
板で製作されたチップ搬送無端ベルトに板状チップの外
形形状より大きな貫通穴を設け、該貫通穴内に板状チッ
プを収納して搬送するようにしたので、特別な板状チッ
プの保持機構を不要化して洗浄装置の構造を簡単にし
得、洗浄装置を極めて安価に製作することができ、かつ
板状チップに挟持力等の力を作用させることなく搬送す
ることができる効果があり、またこの結果板状チップに
微細な割れ（ピット）や部分的な割れ（チッピング）を
生じさせることなく搬送できるようになり、半導体素子
の性能を高性能に維持することができるという効果が得
られる。

【００６２】更には、上記構成により、板状チップの大
きさが変更されても、チップ搬送無端ベルト等を板状チ
ップの大きさに合わせて変更する必要をなくすことがで
き、単に板状チップを貫通穴内に収納するだけで該板状
チップを保持することができる効果があり、またこの結
果段取り替えに要する時間が不要となり、効率よく板状
チップを洗浄することができるという効果がある。

【００６３】またチップ搬送無端ベルトを板状チップの
厚さと略同一の厚さの薄板で製作し、該薄板にあけられ
た貫通穴内に板状チップを収納するようにしたので、板
状チップの表裏面の全体をチップ搬送無端ベルトから露
出させた状態で搬送することができるという効果があ
り、またこの結果チップ搬送無端ベルトを上下から挟み
込むように配設された一対の無端洗浄ベルトを板状チッ
プの表裏面の全体に接触させて付着した異物を完全に除
去することができるという効果がある。

【００６４】更には、チップ搬送無端ベルトを板状チッ
プの厚さと略同一の厚さの薄板で製作し、該薄板にあけ
られた貫通穴内に板状チップを収納して板状チップの表
裏面の全体をチップ搬送無端ベルトから露出させた状態
で搬送すると共に、チップ搬送無端ベルトを上下から挟
み込むように配設された一対の無端洗浄ベルト又は一対
のカップブラシを同一方向、かつチップ搬送無端ベルト
とは異なる走行速度で走行させるようにしたので、板状
チップを貫通穴の走行方向前方又は後方の端面に当接さ
せて（どちらの端面に当接するかは、チップ搬送無端ベ
ルトと無端洗浄ベルト又はカップブラシの相対走行速度
による）板状チップの向きも含めて位置決めすることが
できる効果があり、またこの結果洗浄後の板状チップを
次工程に搬送する際に、板状チップの向きを補正する必
要がなくなり、確実に板状チップの表面洗浄装置から取
り出して搬送して、次工程に供給することができるとい
う効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１から図５は本発明の第１実施例に係り、図
１は板状チップの表面洗浄装置の使用状態を示す斜視図
である。

【図２】板状チップの表面洗浄装置の使用状態を示す正
面図である。

【図３】チップ搬送無端ベルトの貫通穴に収納された板
状チップに無端洗浄ベルトの洗浄毛を接触させて洗浄す
る状態を示し、板状チップ１４の厚さＷ₁ とチップ搬送
無端ベルト１１の厚さＷ₂ との差を誇張して示す（実際
には略同一の厚さである。）要部拡大縦断面図である。

【図４】小型の板状チップがチップ搬送無端ベルトの貫
通穴に収納されて搬送される状態を示す部分斜視図であ
る。

【図５】大型の板状チップが図４に示すチップ搬送無端
ベルトと同一のチップ搬送無端ベルトの貫通穴に収納さ
れて搬送される状態を示す部分斜視図である。

【図６】本発明の第２実施例に係り、板状チップの表面
洗浄装置の使用状態を示す部分斜視図である。

【図７】図７から図９は従来例に係り、図７は板状チッ
プの下方角部が一対の保持プレートに保持され、洗浄ブ
ラシによって洗浄される状態を示す部分縦断面図であ
る。

【図８】板状チップの側面が一対の保持プレートにより
押圧されて保持される状態を示す部分縦断面図である。

【図９】板状チップが保持プレートの貫通穴内に収納さ
れ、下面を保持ピンで支えられて保持される状態を示す
部分縦断面図である。

【符号の説明】

１０板状チップの表面洗浄装置１１チップ搬送無端ベルト１１ａ貫通穴１２洗浄ブラシの一例たる無端洗浄ベルト１３ノズル１４板状チップ１４ａ板状チップの表面１４ｂ板状チップの裏面１５薄板２０ａ洗浄毛２１ａ洗浄毛５０板状チップの表面洗浄装置５１カップブラシ５２カップブラシ５３軸５４軸５５円板５５ａ洗浄毛５６円板５６ａ洗浄毛６４乾燥ユニットＷ₁ 板状チップの厚さＷ₂ チップ搬送無端ベルトの厚さ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面に無数の洗浄毛を有する一対の洗浄
ブラシの洗浄面を互いに対向させ板状チップの厚さと略
同じ寸法の隙間を持たせて配置し、回転中の一対の前記
洗浄ブラシの前記洗浄面の間に前記板状チップの表裏面
の全体を露出させた状態で前記洗浄面の走行速度と異な
る速度で前記板状チップを搬送し、前記洗浄ブラシの前
記洗浄毛を前記板状チップの前記表裏面の全体に接触さ
せて前記板状チップの前記表裏面に付着した異物を除去
することを特徴とする板状チップの表面洗浄方法。
【請求項２】表面に無数の洗浄毛を有する一対の洗浄
ブラシの洗浄面を互いに対向させ板状チップの厚さと略
同じ寸法の隙間を持たせて配置し、回転中の一対の前記
洗浄ブラシの前記洗浄面の間に前記板状チップの表裏面
の全体を露出させた状態で前記洗浄面の走行速度と異な
る速度で前記板状チップを搬送し、前記洗浄ブラシの前
記洗浄毛を前記板状チップの前記表裏面の全体に接触さ
せて前記板状チップの前記表裏面に付着した異物を除去
した後、前記板状チップの前記表裏面に清浄圧縮空気を
吹き付けて異物を除去すると共に乾燥させることを特徴
とする板状チップの表面洗浄方法。
【請求項３】表面に無数の洗浄毛を有する一対の無端
洗浄ベルトを前記表面間の距離が板状チップの厚さと略
同じ寸法の隙間となるように対向させて配置し、対向す
る前記表面である洗浄面同士が同一方向に移動するよう
に走行させると共に、前記板状チップの外形形状より大
きな貫通穴が形成され前記板状チップの厚さと略同一の
厚さを有する薄板がリング状に形成されたチップ搬送無
端ベルトの上下面を前記無端洗浄ベルトの対向する一対
の前記洗浄面で挟み込むように前記無端洗浄ベルトの前
記隙間の間に前記チップ搬送無端ベルトを配設し、前記
板状チップを前記貫通穴内に収納し、かつ前記チップ搬
送無端ベルトの下方に配設された前記無端洗浄ベルトの
前記洗浄面上に搭載して前記板状チップの表裏面の全体
を前記チップ搬送無端ベルトから露出させた状態で前記
チップ搬送無端ベルトを前記無端洗浄ベルトの走行速度
と異なる速度で走行させて前記板状チップを搬送し、前
記無端洗浄ベルトの前記洗浄毛を前記板状チップの前記
表裏面の全体に接触させて前記板状チップの前記表裏面
に付着した異物を除去することを特徴とする板状チップ
の表面洗浄方法。
【請求項４】対向して同一方向に走行する前記無端洗
浄ベルトの前記洗浄毛を前記表裏面の全体が前記チップ
搬送無端ベルトから露出した状態で搬送される前記板状
チップの前記表裏面の全体に接触させて前記板状チップ
の前記表裏面に付着した異物を除去した後、前記板状チ
ップの前記表裏面に清浄圧縮空気を吹き付けて異物を除
去すると共に乾燥させることを特徴とする請求項３に記
載の板状チップの表面洗浄方法。
【請求項５】軸の端部に固定された円板の前記軸と反
対側の表面に無数の洗浄毛を有する洗浄面が設けられた
一対のカップブラシを、前記洗浄面間の距離が板状チッ
プの厚さと略同じ寸法の隙間となるように対向させて配
置して前記軸を中心として回転させると共に、板状チッ
プの外形形状より大きな貫通穴が形成され前記板状チッ
プの厚さと略同一の厚さを有する薄板が円環状に形成さ
れ水平面内で回転走行するチップ搬送無端ベルトの上下
面を、前記カップブラシの対向する一対の前記洗浄面で
挟み込むように前記カップブラシの前記隙間の間に前記
チップ搬送無端ベルトを配設し、前記板状チップを前記
貫通穴内に収納し、かつ前記チップ搬送無端ベルトの下
方に配設された前記カップブラシの前記洗浄面上に搭載
して前記板状チップの表裏面の全体を前記チップ搬送無
端ベルトから露出させた状態で前記チップ搬送無端ベル
トを前記洗浄面の走行速度と異なる速度で走行させて前
記板状チップを搬送し、前記カップブラシの前記洗浄毛
を前記板状チップの前記表裏面の全体に接触させて前記
板状チップの前記表裏面に付着した異物を除去すること
を特徴とする板状チップの表面洗浄方法。
【請求項６】対向して回転する一対の前記カップブラ
シの前記洗浄毛を前記表裏面の全体が前記チップ搬送無
端ベルトから露出した状態で搬送される前記板状チップ
の前記表裏面の全体に接触させて前記板状チップの前記
表裏面に付着した異物を除去した後、前記板状チップの
前記表裏面に清浄圧縮空気を吹き付けて異物を除去する
と共に乾燥させることを特徴とする請求項５に記載の板
状チップの表面洗浄方法。
【請求項７】板状チップの外形形状より大きな貫通穴
が設けられ、かつ前記板状チップの厚さと略同一の厚さ
を有する薄板がリング状に形成され前記貫通穴内に前記
板状チップを収納して走行し該板状チップを搬送するチ
ップ搬送無端ベルトと、表面に無数の洗浄毛を有する洗
浄面で前記チップ搬送無端ベルトを上下から挟み込むと
共に前記洗浄面間の距離が前記板状チップの厚さと略同
じ寸法となるように対向させて前記チップ搬送無端ベル
トと平行に配置され対向する前記洗浄面同士が前記チッ
プ搬送無端ベルトとは異なる走行速度で同一方向に走行
する一対の無端洗浄ベルトとを備え、前記板状チップの
表裏面の全体を前記チップ搬送無端ベルトから露出させ
た状態で搬送しながら前記表裏面の全体に前記無端洗浄
ベルトの前記洗浄毛を接触させて前記板状チップの前記
表裏面に付着した異物を除去するように構成したことを
特徴とする板状チップの表面洗浄装置。
【請求項８】板状チップの外形形状より大きな貫通穴
が設けられ、かつ前記板状チップの厚さと略同一の厚さ
を有する薄板がリング状に形成され前記貫通穴内に前記
板状チップを収納して走行し該板状チップを搬送するチ
ップ搬送無端ベルトと、表面に無数の洗浄毛を有する洗
浄面で前記チップ搬送無端ベルトを上下から挟み込むと
共に前記洗浄面間の距離が前記板状チップの厚さと略同
じ寸法となるように対向させて前記チップ搬送無端ベル
トと平行に配置され対向する前記洗浄面同士が前記チッ
プ搬送無端ベルトとは異なる走行速度で同一方向に走行
する一対の無端洗浄ベルトと、前記板状チップの表裏面
に清浄圧縮空気を吹き付ける一対のノズルとを備え、前
記板状チップの表裏面の全体を前記チップ搬送無端ベル
トから露出させた状態で搬送しながら前記表裏面の全体
に前記無端洗浄ベルトの前記洗浄毛を接触させて前記板
状チップの前記表裏面に付着した異物を除去した後、該
表裏面に前記ノズルから前記清浄圧縮空気を吹き付けて
異物を除去すると共に乾燥させるように構成したことを
特徴とする板状チップの表面洗浄装置。
【請求項９】板状チップの外形形状より大きな貫通穴
が設けられ、かつ前記板状チップの厚さと略同一の厚さ
を有する薄板が円環状に形成され前記貫通穴内に前記板
状チップを収納して水平面内で回転走行し該板状チップ
を搬送するチップ搬送無端ベルトと、軸の端部に固定さ
れた円板の前記軸と反対側の表面に無数の洗浄毛を有す
る洗浄面が設けられた一対のカップブラシであって対向
する前記洗浄面間の距離が前記板状チップの厚さと略同
じ寸法となるように一対の前記洗浄面を対向させ、かつ
前記チップ搬送無端ベルトと平行に前記チップ搬送無端
ベルトを上下方向から挟み込んで配設された一対のカッ
プブラシとを備え、前記板状チップの表裏面の全体を前
記チップ搬送無端ベルトから露出させた状態で搬送しな
がら前記表裏面の全体に前記カップブラシの前記洗浄毛
を接触させて前記板状チップの前記表裏面に付着した異
物を除去するように構成したことを特徴とする板状チッ
プの表面洗浄装置。
【請求項１０】板状チップの外形形状より大きな貫通
穴が設けられ、かつ前記板状チップの厚さと略同一の厚
さを有する薄板が円環状に形成され前記貫通穴内に前記
板状チップを収納して水平面内で回転走行し該板状チッ
プを搬送するチップ搬送無端ベルトと、軸の端部に固定
された円板の前記軸と反対側の表面に無数の洗浄毛を有
する洗浄面が設けられた一対のカップブラシであって対
向する前記洗浄面間の距離が前記板状チップの厚さと略
同じ寸法となるように一対の前記洗浄面を対向させ、か
つ前記チップ搬送無端ベルトと平行に前記チップ搬送無
端ベルトを上下方向から挟み込んで配設された一対のカ
ップブラシと、前記板状チップの表裏面に清浄圧縮空気
を吹き付ける乾燥ユニットとを備え、前記板状チップの
表裏面の全体を前記チップ搬送無端ベルトから露出させ
た状態で搬送しながら前記表裏面の全体に前記カップブ
ラシの前記洗浄毛を接触させて前記板状チップの前記表
裏面に付着した異物を除去した後、該表裏面に前記ノズ
ルから前記清浄圧縮空気を吹き付けて異物を除去すると
共に乾燥させるように構成したことを特徴とする板状チ
ップの表面洗浄装置。