JPS6146217A - 偏平な形状を有する物体の除塵方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本ＩａｇＡはたとえば工どり）ロニクスルミネツセンス
量光素子に含まれている電極などが形成され為基板など
をｌｌ造するとさ、表面に付着した塵埃などを除去する
除塵方法に関する。

貨量技術 第５図は、先行技術のいわゆる接触型除塵方法を説明す
る図である。第５図を参照して接触型除塵方法を説明す
る。

除塵、清浄化される板体１は、矢符Ａ方向に′・搬送さ
れる。この搬送方向に沿ってクリーニングヘッド２が設
けられる。クリーニングヘッド２の内部には、矢ｌｉＢ
方向に回転する回転ブラシ３が設けられ、後述するよう
に板体１から除去された塵埃を含むクリーニングヘッド
２内の空気が吸引、排出８粍る排気口４が設けられる。

クリーニングへツＦ２に近接して前記搬送方向上流側、
おより下ａＳに除電パー５．６が設けられる。また板体
１にＩＩＩして回転ブラシ３とは反対側にロー２７が設
けられる。

以上のようなｈ１虞を用いる接触型除塵方法は、以下の
ように行なわれる。矢符Ａ方向に搬送される板体１は、
除電バー３によって板体１に残留する静電気を除去され
、塵埃に作用しているｅ電気によろ板体１への吸着力を
除去される。Ｄ電気を除去された板体１は、クリーニン
グヘッド２内に移動し、矢ＲＢ方向に回転する回転ブラ
シ３によって板体１の表面に付着した塵埃が強制的に除
去される。このようにしで除去された塵埃は、排気口４
かもクリーニングへラド２外に排出される。

板体１は次に除電バー６によって回転ブラシ３との接触
によって発生した静電気を除去を入る。

以上のような接触型ａｍ方法では、板体１の表面に強く
付着した塵埃などを高い効率で除去することができる。

しかし板体１に回転ブラシ３が直接接触するので、板体
１の表面に傷がついたり、あるいは回転ブラシ３の繊維
などが板体１に付着したりしでしまうなどの問題点があ
った。

第６図は、他の先什技術のいわゆるエアーナイフ型！＆
塵方法を説明するための図である。第６図を参照してエ
アーナイフ型除塵方法を説明する。

°ＰｊＩ塵、清浄化される板体１０は、矢符Ｃ方向に搬
送される。この搬送方向に沿ってクリーニングへラド１
１が設（すられる、クリーニングヘッド１１は給気手段
１３を含み給気手段１３は、気体流を矢符り方向に噴出
する噴出口１２を有する。またクリーニングヘッド１１
には、後述するように板体１０から除去された塵埃を含
むクリーニングヘッド１１内の空気を吸引、排出する排
気口１４が設けられる。

以上のような構成を用いるエアーナイフ型除塵方法は以
下のように計なおれる。矢符Ｃ方向に搬送される板体１
が、クリーニングヘッド１１内に入ると、給気手段１３
から矢＄１−Ｄ方向に噴出される気体流が、板体１０上
の塵埃を除去する。除去された塵埃は、噴出された気体
流とともに排出口１４から強制的に排出される。上述の
ようなエアーナイフ型除塵方法では、前述の接触型除塵
方法で述べたような板体１０の表面への傷の形成、ある
いは回転ブラシ３の繊維の再付着などの間ＩＬＦ。

はない、しかし板体１０に強固に付着した塵埃を除去す
る力は、接触型除塵方法よりは弱く、また１６図の［１
ａ線で示される境界層のようないわゆるエアー膜１５が
板体１０の表面に形成されでしまう、ここでエアー［１
５とは、第６図の矢押り方向に噴出される空気が、板体
１０と接触するとき１、板体１０の表面に近付くほどそ
の場所での気体流の速度が遅くなっていることに赳因す
る気体流の停留部分であろ、したがって板体１０上の塵
埃のなかで、このエアー膜１５の厚みよりもその直径が
大きい塵埃は、矢符り方向の気体流によっ一゛　て除去
されるが、エアーｌ１１１５の厚みよりも小さい直径を
有する塵埃１よ、その除去がきわめて困難となっている
。

発明が解決しよ）とする問題点 本発明は、上述のｌＱＩ題点を解決しきわめて商い清浄
化能力を有する基板の除塵方法を提供することを目的と
する。

問題点を解決するための手段 本発明は、基板の搬送方向に沿って設けられたａ＝ｆａ
によつ・て基板に残留する静電スを除去し１前記、ｌｉ
ｔ電手段より搬送方向下ｍｓに設けられたｊＫ体流の噴
出手段から超音波で振動される気体流を、噴出して、塵
埃を基板表面から遊離し、前記噴出！Ｉ置よりは前記搬
送方向上ｔｉＬＩＩに近接して設けられる吸引手段によ
って、前述のように基板表面からＩＥＩＩＩした塵埃を
吸引するようにした第１図は、本発明の一実施例のａ塵
・清浄化されるべき基板の１ＩＩ１１方法を説明するた
めの図であろ０本実施例における基板２１のｌＩｋＭ方
法を実現するための構成を以下に説明する。収納手段２
０内にたとえばエレクトロニクスルミネッセンス（以下
ＥＬと略称する　）基＠２１が収納される。収納手段２
０には、複数の保持突起２２が設けられてお、す、ＥＬ
基板２１はこの保持突Ｉ＆２２によって収納手Ｂ２０内
で保持される。曳た＠、Ｗ１手段２０の下方端部には、
たとえば、ねヒを周設した回転輪２３が、回転自在に設
けられる。この回転輪２３は駆動手段２４によって回転
駆動される。したがって回転輪２３の駆動方向によって
収納手段２０は、第１図の上下方向に変位することがで
きる。

したがって収納手段２０内のＥＬ基板２１は、ベルトコ
ンベア２５付近の予め定められる位置に米たときに、た
とえばビス）ン２６とシリング２７とから成る抑圧手段
２８によって押圧さに、ベルト２９上に乗載される。第
１Ａ図を参照して、このベルトコンベア２５の搬送方向
両端部には、スプロケットホイール３０ｍ、３０ｂが設
けられ、たとえばスプロケットホイール３０ｍは、駆動
手段３１に上って回転駆動される。＊たベルトコンベア
２５は気密状態とされ、管路３２を介してベルトコンベ
ア２５内の空気が吸気手）１ｆｆｉ３３によって吸引さ
れ、ベルト２９に設けられた吸引孔３４を介してベルト
２９上に乗載されたＥＬ基板２１がベルト２９に吸引、
１１着されることになる。

矢符Ｅで示されるＥＬ基板２１の搬送方向にＥＬ基板２
１に残留する静電気を除去するための除電手Ｐｉ３５が
設けられる。除電手段３５よりは前記搬送方向下流側に
クリーニングへラド３６が設けられる。

第３図は、クリーニングヘッド３６の構成を説明するた
めの簡略化した断面図である。クリーニングヘッド３６
は、矢符Ｅで示されるＥＬ基板２１の搬送方向上流調に
設けられる吸引部３７と、吸引部３７よりは搬送方向下
流側に設けられる予め定められる周波数の超音波で振動
される気体流を噴出する噴出部３８とを含み、吸引１ｙ
ｌＳ３１と噴出部３８との間には仕切り４９ｍが設けら
れる。

吸引部３７の内部の空気は、管路３９を、介して７アン
３３によって吸引され、したがって吸引部３７と基板２
１との間の空気を吸引することができる。

再Ｖ第１図を参照して、前述の収納手段２０およりベル
トコンベア２５お上りクリーニングへッ２３６などは、
予め定められるレベルの清浄さを有する室内に配置され
るが、これにくわえてクリーニングヘッド３６のＥＬ基
板２１の前記搬送方向下ｔＩＬＩｌの一部分、およびス
プロケットホイール３０ｂ１および後述する収納手段４
１などは、さらに高度の清浄性を有するクリーンルーム
４２内に置かれることになる。したがってクリ−＝、ン
グ　　　　　１ヘッド３６部分を通過したＥＬ基板２１
は、クリーンルーム４２内に入り収納手段４１内に挿入
される。収納手段４１の構成は、前述した収納手段２０
の構成と基本的に同様であり、収納手段−４１の内部に
保持突起４３が設けられ、ベルトコンベア２５によって
搬送されてきたＥＬＮ板２１は二の保持突起４３によっ
て収納手Ｒ４１の内部で保持される。また収納手段４１
の下方部に、たとえばねじを刻設した回転輪４４が設け
られ二の凹転軸４４が駆動手段４５によって回転駆動さ
れることら同゛様である。クリーンルーム４２内には管
路４６を介して、送風手段４７から清浄な気体が送風さ
れ、クリーンルーム４２内の気圧は、クリーンルーム４
２をその中に含むクリーンルームの気圧よりも高（なろ
ように定められる。したがってたとえばクリーニングヘ
ツＦ４６付近のｍ埃がクリーンルーム４２内に入ること
を防ぐ二とができる。

上述のような構成を用いる基＠２１の１１１１！１方法
を以下に説明する。ｔＩ４ｉ図を参照して、収納手段２
０内から押圧手段２８によって押圧され、ベルトコンベ
ア２５のベルト２９上に末社され吸引孔３４介してベル
ト２９に吸引、固１ａされたＥＬ基板２１は矢１ｆ−Ｅ
方向に搬送され、除電手段３５によってＥＬ基板２１に
残留する静電気が除去される。したがって基板２１上の
塵埃に作用する静電気に起因する吸引力が除去され、Ｅ
Ｌ基板２１上の塵埃は遊離しやすくなっている。続いて
ＥＬ基板２１は、クリーニングヘッド３６の下部に搬送
される。

第２ｇは、クリーニングヘッド３６およｒｚツレに関連
するＭ４虞と、作動状態を説明するための系統□図であ
る。第２図および第３図を参照してクリーニングヘッド
３６の作動状態を説明する。クリ一二シグヘッド３６は
、基部４８と作用部４９とを含む０作用部４９は、第３
図に示されるような溝或を有し、送風／真空手段５ｏか
ら管路５１およりＷ路５３．５４を介して加圧した気体
流が送風される。

第３図を参照しで、噴出部３８に供給された加圧された
気体流は、還音波発生手Ｐｉ５５によって予め定められ
る周波数の超音波によって振動され、矢符Ｆのように第
３図の下方に噴出される。このとき気体流は、ＥＬ基板
２１表面の粒径の大きな塵埃を気体流の圧力によって除
去するとともに、超音波による振動によって微細な塵埃
に対しても、高速で振動させるなどしてＥＬ基ＪＩＬ２
１上から遊離状態とする。したがってこのように！ｌ−
された塵埃は、気体流によって基板２１表面から除去さ
れるとともに、吸引部３７の開口部５６から矢符Ｇ方向
に吸引され、基板２１表面から除去される。

再Ｖ第２図を参照して、前述のようにして基板２１の表
面から除去された塵埃を含む気体流は、管路５７，５８
．３９を介して送風／真空手段５０に循環させる。この
とき送風／真空手段５０Ｌｌｉフイルタ５９が設けられ
ており、管路３９を介して送風された塵埃などは、フィ
ルタ５９によって除去される。

再び第１図を参照して、クリーニングヘッド３６部分を
通過したＥＬ基板２１は、クリーンルー、　ム４２内に
置かれた収納子！４ｉ内に収納されることになる。

第４図は、上述のように除塵されたＥＬ基板２１を用い
て構成されたＥＬ発光素子６０の断面図である。透明ガ
ラスから虞るＥＬ基板２１の除塵された表面上に、透明
電極６１が蒸ｙｎ＠れる。透明電極６１の一部分を被覆
して第１絶縁膜６２が形成され、ｔｊ４１＃！Ｙ縁膜６
２の一部分を被覆して、蛍光体層６３が設けられる。こ
の蛍光体層６３を被覆してｔｊＳ２絶縁ＷＡ６４が形成
され、第２絶縁膜６４と第１絶縁ＷＡ６２とで蛍光体層
６３を外囲するようにされる。第２ｊａ緑膜６４の蛍光
体層６３とは反対側の表面に、選択的に透明電極６５が
蒸着される。これらの積層体をはさんでＥＬｉＬｉ板上
１向するガラス基板６６が設けられる。このような構成
を有するＥＬ発光素千６０は、電極６１ｔ　ｅｓｎｎに
電圧を印加することにより蛍光体層６３が発光し、＠望
する発光効果かえられる。このとさＥＬ基板２１上に塵
埃が付−着していると、前述した発光効果が低下するの
で、上述したような除塵を行なう、　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　；以上のようにして、ＥＬ基板２
１上に付着したさまざまな大きさの塵埃を除去すること
カイできた。

前述の実施例においては、塵埃を除去される対象はＥＬ
基板２１であったけれども、本発明はＥＬ基板２１に限
らず高度の除塵処理を必要とするような、広ａｌｌ！ｌ
の産業分野にお１１で実施されることができる。

効　　果 以上のようにして本発明にしたがえば、除塵されるべき
基板表面に付着した塵埃を予め除電手段によって静電気
を除去し、つぎに予め定められる周波数の超音波によっ
て振！ＩＩＪ　＠れる気体流を基板上に噴出することに
よって、基板上の塵埃を振動して基板上から１ｌｌｌＬ
、このような遊離状態の塵

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の除塵方法を説明するための
系統図、第１Ａ図は第１図のベルトコンベア２５の斜視
図、第２図はクリーニングヘッド３Ｇの作１ＩＩＩＩ状
態を説明するための系統図、ｆｊ４３図はクリーニング
ヘッド３６の構成を説明するための簡略化した断面図、
第４図はＥＬ発光累千６０の断面図、ｌｓ図は先行技術
の接触型除塵方法を説明するための図、第６図は他の先
行技術のエフーナイフ型ＦＪＩＩ！方法を説明するため
の図である。 ２１・−Ｅ　Ｌ　４ｓ板、３５・・・除電手段、３６・
・・クリーニングヘッド、３７・・・吸引部、３８・・
・噴出部、５５・・・超音波発生手段 代　理　人　　弁理士　西教圭一部 第５図 第６図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 除塵すべき表面が平坦な物体の搬送方向に沿って設けら
   れた除電手段によって前記表面に残留する静電気を除去
   し、 前記除電手段より搬送方向下流側に設けられた気体流の
   噴出手段から超音波で振動される気体流を噴出して、塵
   埃を基板表面から遊離し、前記噴出装置よりは前記搬送
   方向上流側に近接して設けられる吸引手段によって、基
   板表面から遊離した塵埃を吸引するようにしたことを特
   徴とする扁平な形状を有する物体の除塵方法。