JPS6167921A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は洗浄装置、例えば半導体部品等の表面に付着し
た有機物と無機物とが混在した塵埃を除去するのに好適
な洗浄装置に関する。

〔発明の背景〕

従来の洗浄装置としては、持分５８−１５９３９号公報
に示されているように被洗浄物に付着したホトレジスト
（塵埃）をオゾンにて除去する乾式洗浄装置が公知であ
る。

しかし、この洗浄装置は、塵埃が有機物と無機物とが混
在する場合には無機物を除去する効果がほとんどなく、
シかも無機物の背面に入り込んだ有機物の除去が十分に
行えないという欠点があった。

一方、洗浄槽内の水中に被洗浄物を浸し、この洗浄槽に
超音波振動子を取付け、この振動子を振動させることに
よって水を振動させ、これによって被洗浄物表面の塵埃
を遊離して除去する湿式超音波洗浄装置も公知であるう
しかし、この湿式超音波洗浄装置では、被洗浄物表面の
大きな塵埃、主として有機物の塵埃しか除去できないも
のであった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、有機物と無機物とが混在する塵埃でも
十分に除去できる洗浄装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

、本発明は、主として有機物の塵埃を除去するための湿
式洗浄装置と、主として無機物の塵埃を除去する乾式洗
浄装置とを結合し、被洗浄物が両者間を搬送できるよう
に搬送手段を組込んで１つの洗浄装置とすると共に、前
記湿式洗浄装置でまず有機物の塵埃を除去した後に前記
乾式洗浄装置で無機物の塵埃を除去するように前記搬送
手段を構成したものである。

かかる本発明の洗浄装置によれば、湿式洗浄装置と乾式
洗浄装置とが結合され、且つ搬送手段が組込まれている
ので、単一洗浄装置として有機物および無機物のメガの
塵埃を除去することができ、夫々別個の装置を使用者が
組合わせて使用する面倒がない。その上、湿式洗浄装置
でまず有機物の塵埃を除去するので、有機物の背面にか
くれていた無機物の塵埃が露出することになり、乾式洗
浄装置における無機物の塵埃を十分にオゾン奪雰囲気に
包むことができると共に加熱することができ、これによ
って有機物と無機物とが混在する塵埃の要とするが、乾
式洗浄装置の加熱手段にて一部或いは全部が兼用できる
。従って、洗浄装置の小形化或いは簡易化を図ることが
できる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図〜第８図により説明す
る。この洗浄装置１は、第１図および第２図にて明らか
なように、ローダ２、湿式超音波洗浄装置３、シャワリ
ング装置４、スクラバ装置５、電磁波照射形洗浄装置６
、検査ユニット７、アンローダ８を順に結合して１つの
装置としたものである。被洗浄物９は第１図矢印の順に
搬送手段にて移動する。第１図において、清浄空気Ａは
被洗浄物９の移動方向と逆方向に流れるようになってい
る。清浄空気Ａは各装置８，７，５，４，３．２におけ
る被洗浄物９の上方から下方へ順次・分岐して各装置８
．７．５．４．３．２から発生する塵埃が被洗浄物９に
付着しないように配慮されている。又、清浄空気Ａは洗
浄装置１内を送られる際に除々に汚染されるが、被洗浄
物９の移動方向と逆方向に流れることにより、被洗浄物
９が取出される側がきれいな状態であり、順方向に流す
場合に比較して被洗浄物９の洗浄を大幅に良好にできる
。

この清浄空気Ａは電磁波照射形洗浄装置６をバイパスす
るようになっている。電磁波照射形洗浄装置６には別の
清浄空気Ｂを送込むようになっており、被洗浄物９に付
着した有機物の塵埃が分解除去され、その炭酸ガスと水
蒸気を直ちに装置６外に排出し、次の工程へ塵埃が送ら
れないようになっている。清浄空気Ｂの代りに酸素ガス
を送り込んでも良く、酸素ガスを送シ込めば装置６にて
オゾンの発生を助ける作用をする。

洗浄装置１内の各装置２〜８は第２図に示すようにＵ字
状に配置されているので、−直線状に配置したものと比
較して長手方向の寸法を半分に縮少することができる。

又、各装置２〜８の駆動部・配管部等をＵ字状に狭まれ
た部分に配置することにより、被洗浄物９が洗浄装置ｌ
の外側よシこれら駆動部・配管部等に邪魔されることな
く容易に確認したり、取出すことができると共に、回転
アーム１１の回転途中に予備室６ａ、５ｈのスペースを
十分に確保することができる。

被洗浄物９は、第３図に示すようにステンレス製の搬送
用トレイ１２上に配置された状態で洗浄装置１内に送シ
込まれる。搬送用トレイ１２は真空引穴１２ａと液抜穴
１２ｂと被洗浄物位置決め用ビン１２ｃを有している。

被洗浄物９は内外周２列に等間隔に配置される。第３図
は被洗浄物９を２行分だけ取付けた状態を示し、他を省
略しであるが、実際には全周にわたって取付けである。

被洗浄物９を載置したトレイ１２は、第４図に示すよう
にラック１３に多段に積載されてローダ２に送シ込まれ
る。このトレイ１２はローダ２の昇降テーブル２ａを介
して搬送コンベア２ｂに順次載置され搬送コンベア２ｂ
にて湿式超音波洗浄装置３に至る。

トレイ１２は、この搬送コンベア２ｂからパレット３ａ
にて湿式超音波洗浄槽３ｂの水中に浸される（第４図の
パレット３ａの位置は、トレイ１２を水中に浸す前の状
態を示す）。洗浄槽３ｂの底面には振動子３Ｃが取付け
られており、この振動子３Ｃを振動させることにより洗
浄槽３ｂ内の水３ｄを振動させ、被洗浄物表面の塵埃に
振動力を加える。塵埃の大きなもの程、大きな振動力が
加わるので、大きな塵埃から順次被洗浄物表面から遊離
する。大きな塵埃は一般的には無機物が多ので、湿式超
音波洗浄装置３にて主に無機物の塵埃が除去できる。こ
のように無機物の塵埃を除去することにより、無機物の
背面にかくれていた有機物の塵埃を露出することができ
るう尚、洗浄槽３ｂ内の水３ｄはオーバーフローさせて
タンク１４へ導びかれ、タンク１４からポンプ１５にて
フィルタ１６を介して再供給されるよう罠なっておシ、
水中に遊離された塵埃がフィルタ１６に付着し取り除か
れる。

洗浄槽３ｂにて洗浄が終了すると、パレット３ａは引上
げられ、被洗浄物９を載置したトレイ１２はシャワリン
グ装置４に送られ、シャワリングコンベア４ａＫ載置さ
れる。被洗浄物９は、シャワリングコンベア４ａにて移
動される際に上方に配置された散水ノズル４ｂから散水
され、洗浄槽３ｂ内で再付着した塵埃が除去されるっシ
ャワリングコンベア４ａさらにスライダー４Ｃにて被洗
浄物９はスクラバ装置５に送られる。

スクラバ装置５は中央にテーブル５ａを有しており、そ
のテーブル５ａ上に載置された被洗浄物９の上面をリン
スノズル５ｄから純水を噴射しながらブラシスクラバ５
ｂが接触して、それにへば９ついた有機物および無機物
を剥離する。湿式超音波洗浄装置３にて被洗浄物９にへ
ばりついた無機物はある程度浮上った状態になっている
ので、このブラシスクラバ５ｂの効果が一層高いものと
なる。次いで、テーブル５ａの上方に配置されたジェッ
トスクラバ５Ｃより水を噴射して剥離した有機物および
無機物を被洗浄物９０表面より排除する。さらにリンス
ノズル５ｄにより純水噴射を行ない、テーブル５ａを高
速回転し、Ｎｓ　ガスをブローノズルより噴射すること
により被洗浄物９とトレイ１２を乾燥する。テーブル５
ａには搬送用トレイ１２の真空引穴１２ａに合致する真
空引穴１２ａが設けられており、この真空引穴１２ａを
介して真空を引いて被洗浄物９をテーブル５ａに固定さ
せている。この洗浄が終了すると、真空引を止めて被洗
浄物９を次の搬送コンベア１７にスライダー４Ｃにより
載置する。

搬送コンベア１７にて送られてきた被洗浄物９は回転ア
ーム１１の先端に載置され、回転アームｉｉが回転して
被洗浄物９をまず電磁波照射形洗浄装置６の前室６ａに
送る。前室６ａの入口と出口にはシャッタ６ｂ、６Ｃが
設けられており、被洗浄物９が通過するときのみ開く。

この前室６ａは本屋６ｄにて発生したオゾンおよび酸素
ラジカルがスクラバ装装置５内へ流出しないようにする
ために設けたものである。回転アーム１１は更に回転し
て被洗浄物９を本家６ｄ内のテーブル６ｅ上に載置する
。テーブル６ｅは上下動および回動自在となっている。

被洗浄物９の高さが異なる場合、テーブル６ｅを上下動
させて最適な位置を設定するうテーブル６ｅの上方には
２本の水銀ランプ６ｆと２本の赤外線ランプ６ｇが設け
られている。

水銀ランプ６ｆに通電すると、その紫外線の作用により
その周囲の空気がオゾンと酸素ラジカルに分解し、これ
らが被洗浄物９０表面に薄膜状に付着した有機物を攻撃
し、有機物を炭酸ガスと水蒸気に酸化分解する。この場
合、湿式洗浄装置にて無機物の塵埃が除去されてその背
面にかくれていた有機物の塵埃が露出しているので、こ
の酸化分解は効率よく確実に行うことができる。水銀ラ
ンプ６ｆから発生させる紫外線の波長は１８４．９ｎｍ
或いは２５３．７　ｎ　ｍ付近が効果的でちるっ水銀ラ
ンプ６ｆに通電すると共に、赤外線ランプ６ｇに通電す
ることにより被洗浄物９０表面の有機物の酸化分解を促
進することができる。赤外線ラング６ｇは有機物の分子
を励振すると共に、被洗浄物９の表面に残った水分を蒸
発する作用を持つので、乾燥機能を兼用できる。有機物
の除去が完了した後、回転アーム１８にて被洗浄物９は
本屋６ｄから後室６ｈに送られる。後室６ｈの入口と出
口にはシャッタｓｉ、ｅｊが設けられており、被洗浄物
９が通過するときのみ開く。この後室６ｈは本屋６ｄに
て発生したオゾンおよび酸素ラジカルが検査ユニット７
に流出しないように設けたものである。回転アーム１８
は更に回転して被洗浄物９を検査ユニット７内の搬送コ
ンベア７ａに載置するつこのコンベア７ａからテーブル
７ｂに送られる。このテーブル７ｂは上下動および回動
自在になっている。テーブル７ｂの上方には顕微鏡７ｃ
のカメラ７ｂが設けられている。テーブル７ｂに載置さ
れた被洗浄物９０表面をカメラ７ｄにて写し、その結果
をディスプレイ７ｅに表示すると共に、自動的に評価し
てその結果を前工程の装置２〜６にフィードバックさせ
て制御するようになっている。

検査ユニット７からは搬送コンベア７ｆにてアンローブ
８に被洗浄物９を送り出し、ラック９ａに順次積重ねる
。

清浄空気Ａは第４図〜第６図に示すように被洗浄物９の
上方から下方へ分流するようになっているので、各装置
から発生する塵埃が被洗浄物９を汚さないようになって
いると共に、洗浄装置１のほぼ全体を流れているので、
各々個別に流すものに比較して簡単な構成でよい。この
実施例では、洗浄装置１のアンローダ８側に送込み用の
７アン１９を設け、ローダ２側に排出用のファン２０を
設けている。

又、清浄空気Ｂを清浄空気Ａ上り独立させたことによシ
、オゾンおよび酸素ラジカルのみを確実に洗浄装置ｌ外
に排出することができる。

かかる洗浄装置によれば、湿式超音波洗浄装置３、シャ
ワリング装置４およびスクラバ装置５にて構成される湿
式洗浄装置にて、被洗浄物に付着した塵埃の中で主とし
て無機物を除去することができる。又、湿式洗浄装置に
て無機物の塵埃が除去されているので、電磁波照射形洗
浄装置６で構成される乾式洗浄装置にて残存する有機物
のみの塵埃を除去すればよく、十分な除去が可能である
。

仮に、乾式洗浄装置にて先に有機物の塵埃を除去しよう
とすれば、無機物の塵埃の背面にかくれた有機物の塵埃
をオゾンと酸素ラジカル等の奪囲気に接触させることが
できないために、この部分の有機物の塵埃を酸化分解さ
せて除去することが困難である。従って、この後に湿式
洗浄装置にて被洗浄物９の表面の塵埃を除去しようとし
ても、残存する有機物の塵埃の除去はほとんど不可能で
ある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、被洗浄物に付着した塵埃を液体を介し
て除去する湿式洗浄装置にて主として無機物の塵埃を除
去でき、露出した残存する有機物の塵埃を乾式洗浄装置
の加熱およびオゾンにて除去すればよいので、有機物と
無機物とが混在する塵埃でも十分に除去できると共に、
単一洗浄装置として使用者の取扱いが容易であり、更に
は乾式洗浄装置にて被洗浄物の乾燥を兼用でき、小形化
或いは簡易化された洗浄装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明洗浄装置の概略説明図、第２図は同洗浄
装置の平面図、第３図は同装置のトレイ斜視図、第４図
〜ｔＪＣ８図は同洗浄装置の各部断面図である。 ｌ・・・洗浄装置、２・・・ローダ、３・・・湿式超音
波洗浄装置、４・・・シャワリング装置、５・・・スク
ラバ装置、６・・・電磁波照射形洗浄装置、７・・・検
査ユニット、８・・・アンローブ、９・・・被洗浄物。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、被洗浄物に付着した塵埃を液体を介して除去する湿
   式洗浄装置と、被洗浄物に付着した塵埃を加熱およびオ
   ゾンにて除去する乾式洗浄装置とを結合し、前記湿式洗
   浄装置から前記乾式洗浄装置へ被洗浄物を搬送する搬送
   手段とを組込んでこれらを一つの装置に■めてなる洗浄
   装置。