JPS61212375A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の利用分野〕 本発明は洗浄装置、例えば半導体部品等の表面に付着し
た有機物と無機物とが混在した塵埃を除去するのに好適
な洗浄装置に関する。

［発明の背景］ 従来の洗浄装置としては、持分５８−１５９３９号公報
に示されているように被洗浄物に付着したホトレジスタ
（塵埃）をオゾンにて除去する乾式洗浄装置が公知であ
る。

しかし、この洗浄装置は、塵埃が有機物と無機物とが混
在する場合には無機物を除去する効果がほとんどなく、
しかも無機物の背面に入り込んだ有機物の除去が十分に
行えないという欠点があった。さらに、被洗浄物の雰囲
気による再汚染、及び被洗浄物の搬入出の際のオゾン、
汚染空気の流出等に対する配慮がなされていなかった。

一方、洗浄槽内の水中に被洗浄物を浸し、この洗浄槽に
超音波振動子を取付け、この振動子を振動させることに
よって水を振動させ、これによって被洗浄物表面の塵埃
を遊離して除去する湿式超音波洗浄装置も公知である。

しかし、この湿式超音波洗浄装置では、被洗浄物表面の
大きな塵埃、主として無機物の塵埃しか除去できないも
のであった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、有機物と無機物とが混在する塵埃でも
十分に除去できる洗浄装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明は、主として無機物の塵埃を除去するための湿式
洗浄装置と、主として有機物の塵埃を除去する乾式洗浄
装置とを結合し、被洗浄物が両者洗浄装置とすると共に
、前記湿式洗浄装置でまず無機物の塵埃を除去した後に
前記乾式洗浄装置で有機物の塵埃を除去するように前記
搬送手段を構成したものである。

かかる本発明の洗浄装置によれば、湿式洗浄装置と乾式
洗浄装置とが結合され、且つ搬送手段が組込まれている
ので、単一洗浄装置として有機物および無機物の双方の
塵埃を除去することができ、夫々別個の装置を使用者が
組合わせて使用する面倒がない。その上、湿式洗浄装置
でまず無機物の塵埃を除去するので、無機物の背面にか
くれてぃた有機物の塵埃が露出することになり、乾式洗
浄装置における有機物の塵埃を十分にオゾン奪雰囲気に
包むことができると共に加熱することができ。

これによって有機物と無機物とが混在する塵埃の除去性
能が飛躍的に向上する。しかも、湿式洗浄装置にて被洗
浄物が濡れるので、その乾燥手段を必要とするが、乾式
洗浄装置の加熱手段にて一部或いは全部が兼用できる。

従って、洗浄装置の小形化或いは簡易化を図ることがで
きる。

さらに、乾式洗浄装置においては、清浄空気が層状に上
方から下方へ移行するため、被洗浄物の再汚染もなく、
清洗空気吐出流量をシャッタ開閉と合わせて制御するこ
とにより、装置外へのオゾン及び有機物分解ガス等流出
を防止できる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図〜第９図により説明す
る。この洗浄装置１は、第１図および第２図から明らか
なように、ローダ２．湿式洗浄装置３．乾式洗浄装置４
．検査装置５．アンローダ６を順に結合して１つの装置
としたものである。

被洗浄物９は第２図矢印の順に搬送手段にて移動する。

第２図のように清浄空気Ａは被洗浄物９の移動方向と逆
方向に流れるようになっている。清浄空気Ａは各装置６
，５，３，２にお′ける被洗浄物９の上方から下方へ順
次・分岐して各装［ｆ６゜５．３，２から発生する塵埃
が被洗浄物９に付着しないように配慮されている。又清
浄空気Ａは洗浄装置１内を送られる際に徐々に汚染され
るが被あり、順方向に流す場合に比較して被洗浄物９の
洗浄を大幅に良好にできる。この洗浄空気Ａは、乾式洗
浄装置４をバイパスするようになっている乾式洗浄装置
４には、別の清浄空気Ｂを送り込むようになっており、
被洗浄物９に付着した塵埃が分解除去され、炭酸ガスと
水蒸気に変化しそれを直ちに装置４外へ排出し、次工程
へ塵埃が送られないようになっている。清浄空気Ｂの代
りに酸素ガスを送り込んでも良く、酸素ガスを送り込め
ば装置４にてオゾンの発生を助ける作用をする。

被洗浄物９は例えば第３図に示すようにステンレス製の
搬送トレイ１２上に加工片９ａを載せた状態で洗浄装置
１内に送り込まれる。搬送トレイ１２は真空引穴１２ａ
と液抜穴１２ｂと被洗浄物位置決め用ビン１２ｃを有し
ている。被洗浄物９は内外周２列に等間隔で配置される
。第３図は加工片９６ａを２行分だけ取付けた状態を示
し、他は省略しであるが実際には全周にわたって取付け
である。加工片９ａを載置した搬送トレイ１２は。

第４図に示すようにラック１３に多段に積載されてロー
ダ２の昇降テーブル２ａを介して搬送コンベア２ｂに順
次載置され搬送コンベア２ｂで搬送回転テーブル７ａと
の受渡し位置へ移送される。

搬送回転テーブル７ａはトレイ１２を受は取り、回転モ
ータ８にて１８０°回転し湿式洗浄装置３へ送り込む、
この搬送回転テーブル７ａは回転モータ８の回転角度を
制御してやることにより３６０゜内のどの角度にでも設
定することができるため、搬送方向を自由に定めること
が可能である。したがって各装置２，３，４，５．６を
ユニット構造にしてやることで設置場所に応じた単一洗
浄装置を構成することが可能である。本実施例は一直線
状に構成された場合でありこの他、Ｕ字形、Ｌ字形など
自由なレイアウトが選べる。

第５図の湿式洗浄装置３は中央にテーブル５ａを有して
おり、そのテーブル５ａ上に載置された被洗浄物９は、
液体を使用し、ブラシスクラバ′　　− したのち、Ｎ２　ガスをブローノズル５ｄより被洗浄物
９に噴射することにより被洗浄物９を乾燥する。テーブ
ル５ａには搬送用トレイ１２の真空引穴１２ａに合致す
る真空引穴１２ａが設けられておりこの真空引穴１２ａ
を介して真空を引いて加工片９ａをトレイ１２ごとテー
ブル５ａに固定させている。

ここで、被洗浄物９が半導体ウェハのごとき場合は、テ
ーブル５ａ上に真空吸着すべき加工溝を別途施すことに
より本実施例の装置にて洗浄に供することができる。こ
の湿式洗浄装置３での洗浄が終了すると、真空引を止め
て被洗浄物９を次の搬送回転テーブル７ｂへ載置し、乾
式洗浄装置４へ移送する（搬送回転テーブル７ａ、７ｂ
ｙ　７ｃ。

７ｄは同一機構を有している）。搬送回転テーブル７ｂ
によって送られてきた被洗浄物９は、回転アーム１１の
先端に載置され１回転アーム１１が回転して被洗浄物９
はまず、前室６ａに送る。前室６ａの入口と出口にはシ
ャッタ６ｂ、６ｃが設けられており被洗浄物９が通過す
る時のみ開く。

この前室６ａは水室６ｄにて発生したオゾンおよび酸素
ラジカルが湿式洗浄装置３へ流出しないようにするため
である０回転アーム１１は、さらに回転し被洗浄物９を
水室６ｄ内へ送り込む、水室６ｄ内には紫外線ランプ６
ｅと赤外線ランプ６ｆがあり、各ランプ端子部やコネク
ター等の劣化を防止する意味で洗浄室から分離されたエ
リア２１ａ。

２１ｂが設けられている。赤外線ランプ６ｆで被洗浄物
９表面の有機物塵埃を加熱しながら紫外線ランプ６ｅの
照射する紫外線で発生するオゾンで有機物塵埃を化学的
に除去する。この時に無機物の塵埃は前工程で除去され
ているので有機物の塵埃を効率よく確実に除去すること
ができる。有機物の除去が完了すると、被洗浄物９は回
転アーム１８によってシャッタ６ｇを経て後室６１に移
送され、水室６ｄより後室６１に流れ出たオゾン。

酸素ラジカルを除去したのち、シャッタ６ｈを経て搬送
回転テーブル７ｃへ載置される。乾式洗浄装置４の構成
は第９図に示すが１本体は、前記し゛た−に前室６ａ、
木霊６ｄ、後室６ｈに分割されており、清浄空気Ｂが通
る流路、例えば水室６ｄでは流路２５．後室６ｈでは流
路２４が設けられている。

清浄空気Ｂは各流路を通り、吐出壁２２に開けられた小
孔２３から層状に流出し１例えばＣ，Ｄ。

Ｅ、Ｆのごとく被洗浄物９の表面を流れる様に流出しな
がら、各洗浄室底面に設けられた排気孔２６ａ、２６ｂ
、２６ｃがら、オゾンや有機物分解ガス、例えば炭酸ガ
ス、水蒸気等を伴なったガスＧＨＩとして排出される５ また、被洗浄物９が前室６ａに搬入する際、及び後室６
ｈから次の工程へ搬出される際、シャッター６ｂ、６ｈ
を開ける前に、清浄空気Ｂの前室６ａ、後室６１内での
吐出流量を適宜ある時間だけ、増やすことにより、乾式
洗浄装置４の外部にオゾンや汚染空気を流出させないこ
とが可能となる。被洗浄物９は、搬送回転テーブル７ｃ
により検査装置５へ載置される。検査装置５は、顕微鏡
５ａ、モニタカメラ５ｂ、モニタ５ｃなどから成ってお
り、検査結果をモニタ５ｃに表示する。検査終了後、搬
送回転テーブル７ｄで搬送コンベア６ａに載置しラック
１０内の順次積重ねる。

このように各装置をユニット化し搬送用回転テブル７ａ
、７ｂ、７ｃ、７ｄで結合することにより自由な構成で
なおかつ設置場所に応じたレイアウトが可能となる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、乾式洗浄において、清浄空気を層状に
被洗浄物表面を通過させることができるので、被洗浄物
の再汚染を防止でき、また時間的に清浄空気流出量を制
御するので１発生したオゾン及び有機物分解ガスを乾式
洗浄装置外部へ流出させ洗浄装置の置かれた雰囲気を汚
すことなく。

かつ流出オゾンによる機械９人体への影響がない等の効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明洗浄装置の全体概略構成図、第２図は同
洗浄装置の搬送図、第３図はトレイ斜視１・・・洗浄装
置、２・・・ローダ、３・・・湿式洗浄装置。 ４・・・乾式洗浄装置、５・・・検査装置、６・・・ア
ンローダ、９・・、被洗浄物、２２・・・吐出壁、２３
・・・吐出孔。 ２６　ａ　、　２６　ｂ　、　２６　ｃ　−排気孔。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被洗浄物に付着した塵埃を液体を介して除去する湿
   式洗浄装置と、被洗浄物に付着した塵埃を加熱およびオ
   ゾンにて除去する乾式洗浄装置とを結合し、前記湿式洗
   浄装置から前記乾式洗浄装置へ被洗浄物を搬送する搬送
   手段とを組込んでこれらを一つの装置に纒めてなる洗浄
   装置において、乾式洗浄装置内部に、清浄空気の吹出口
   及び排出口を設け、該装置内部を洗浄空気が層状に移動
   する様にしたことを特徴とする洗浄装置。 ２、該洗浄装置の内、乾式洗浄装置において吐出する清
   浄空気量に時間的な差を設けることを特徴とした特許請
   求の範囲第１項記載の洗浄装置。