JP2002083854A

JP2002083854A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JP2002083854A
Application number: JP2000205330A
Authority: JP
Inventors: Kiyohisa Tateyama; 清久立山; Yoshiharu Ota; 義治太田; Shinichiro Araki; 真一郎荒木; Tatsuya Iwasaki; 達也岩崎; Noriyuki Anai; 徳行穴井; Haruo Iwazu; 春生岩津
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1999-07-09
Filing date: 2000-07-06
Publication date: 2002-03-22

Abstract

(57)【要約】【課題】クリーン化の必要のある空間をできるだけ小さ
くする。【解決手段】搬送方向移動体に対して水平回転可能な回
転軸４３に支持された収容ボックス５０内に基板受け渡
し部材６０を配設する。従って、ガラス基板Ｇが収容ボ
ックス５０外に浮遊するパーティクルと接触することが
ほとんどなく、基板の搬送エリアをクリーン環境にする
必要がなくなり、クリーン環境の形成コストを大幅に削
減できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶ディス
プレイ（Liquid Crystal Display：ＬＣＤ）に使われる
ガラス基板等の被処理基板上に塗布・現像処理を施す塗
布・現像装置等の処理装置に対して、被処理基板を搬入
出するために用いられる基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＣＤの製造工程においては、ＬＣＤ用
のガラス基板上にＩＴＯ（Indium TinOxide）の薄膜や
電極パターンを形成するために、半導体デバイスの製造
に用いられるものと同様のフォトリソグラフィ技術が利
用される。フォトリソグラフィ技術では、フォトレジス
トを洗浄した基板に塗布し、これを露光し、さらに現像
する。

【０００３】被処理基板であるガラス基板は、基板搬送
装置に保持されて搬送路上を移動し、種々の処理装置に
搬入され、各処理装置で処理された後搬出されて再び基
板搬送装置により次工程に搬送される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記したような製造工
程においては、基板に塵芥（パーティクル）が付着した
りしないような環境下で行う必要があり、通常は、上記
した各種の処理装置をクリーンルーム内に設置したり、
装置内外の基板搬送エリアにＨＥＰＡフィルタを設け、
低パーティクル環境を形成している。

【０００５】しかしながら、上記した手段では、クリー
ンルーム全体若しくは基板搬送エリア全体といった広範
囲をクリーン環境にする必要があるため、そのコストが
高くつくという問題があった。特に、生産効率を上げる
ため、塗布・現像装置だけでなく、他の処理装置、例え
ば、ＣＶＤ装置、エッチャー、アッシャー等も含めて１
ライン化するシステムが考えられているが、クリーン環
境を形成する範囲が更に広範囲となり、そのためのコス
トが更に高くなるおそれがある。

【０００６】本発明は上記した事情に鑑みなされたもの
であり、クリーン化の必要のある空間をできるだけ小さ
くすることができる基板搬送装置を提供することを課題
とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の本発明の基板搬送装置は、搬送路に
沿って移動可能な搬送方向移動体と、前記搬送方向移動
体に対して水平回転可能な回転軸を介して支持された収
容ボックスと、前記収容ボックス内に設けられると共
に、処理装置の搬入出口に対峙した姿勢において該搬入
出口に離接する方向に移動可能であり、該収容ボックス
に形成された開口部を通じて処理装置に対し、保持した
基板を受け渡すことが可能な基板受け渡し部材とを具備
することを特徴とする。

【０００８】請求項２記載の本発明の基板搬送装置は、
請求項１記載の基板搬送装置であって、前記収容ボック
ス内に、複数段の基板載置部を備えた基板受け渡し部材
が設けられていることを特徴とする。

【０００９】請求項３記載の本発明の基板搬送装置は、
請求項１又は２記載の基板搬送装置であって、前記収容
ボックスが複数段に積層されて設けられ、そのそれぞれ
に前記基板受け渡し部材が設けられていることを特徴と
する。

【００１０】請求項４記載の本発明の基板搬送装置は、
請求項１又は２記載の基板搬送装置であって、前記収容
ボックスが略水平に配置された仕切板を介して複数室に
区分され、前記基板受け渡し部材が、区分された各室ご
とに設けられていることを特徴とする。

【００１１】請求項５記載の本発明の基板搬送装置は、
請求項１〜４のいずれか１に記載の基板搬送装置であっ
て、前記収容ボックスに形成された開口部に開閉可能な
蓋部材が設けられていることを特徴とする。

【００１２】請求項６記載の本発明の基板搬送装置は、
請求項１〜４のいずれか１に記載の基板搬送装置であっ
て、前記収容ボックスに形成された開口部が常時開口し
ている構造であると共に、該収容ボックス内部を陽圧に
保つための圧力制御機構を備えていることを特徴とす
る。

【００１３】請求項７記載の本発明の基板搬送装置は、
請求項１〜４のいずれか１に記載の基板搬送装置であっ
て、前記収容ボックスに形成された開口部が常時開口し
ている構造であると共に、該収容ボックスの開口部に対
向する面側から該開口部を通じて外部に流れる気流を形
成する送風機構を備えていることを特徴とする。

【００１４】請求項８記載の本発明の基板搬送装置は、
請求項１〜７のいずれか１に記載の基板搬送装置であっ
て、前記収容ボックス内の状態を監視する監視装置が設
けられていることを特徴とする。

【００１５】請求項９記載の本発明の基板搬送装置は、
搬送路に沿って移動可能な搬送方向移動体と、前記搬送
方向移動体に対して水平回転可能な回転軸を介して支持
されていると共に、処理装置の搬入出口に対峙した姿勢
において該搬入出口に離接する方向に移動可能であり、
処理装置に対して、保持した基板を受け渡すことが可能
な基板受け渡し部材と、前記基板受け渡し部材の近傍に
配置される吸塵用のフィルタを備えたパーティクル除去
手段とを具備することを特徴とする。

【００１６】請求項１０記載の本発明の基板搬送装置
は、請求項９記載の基板搬送装置であって、前記パーテ
ィクル除去手段を構成するフィルタが、前記基板受け渡
し部材の上方に設けられていることを特徴とする。

【００１７】請求項１１記載の本発明の基板搬送装置
は、請求項９又は１０記載の基板搬送装置であって、前
記パーティクル除去手段が、前記基板受け渡し部材の周
囲を覆うことのできる壁部を有することを特徴とする。

【００１８】請求項１２記載の本発明の基板搬送装置
は、請求項９〜１１のいずれか１に記載の基板搬送装置
であって、前記基板受け渡し部材が、複数段の基板載置
部を備えていることを特徴とする。

【００１９】請求項１記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックス内に設けられると共に、処理装置の搬入出
口に対峙した姿勢において該搬入出口に離接する方向に
移動可能な基板受け渡し部材により基板を保持している
構成である。このため、基板の搬送エリアをクリーン環
境にする必要がなくなり、クリーン環境の形成コストを
大幅に削減できる。

【００２０】請求項２記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックス内に、複数段の基板載置部を備えた基板受
け渡し部材が設けられている。従って、複数の基板を同
時に搬送することができ、基板の連続処理に適する。

【００２１】請求項３記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックスが複数段に積層されて設けられ、そのそれ
ぞれに前記基板受け渡し部材が設けられている。従っ
て、複数の基板を同時に搬送することができ、基板の連
続処理に適する。

【００２２】請求項４記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックスが略水平に配置された仕切板を介して複数
室に区分され、前記基板受け渡し部材が、区分された各
室ごとに設けられている。従って、複数の基板を同時に
搬送することができ、基板の連続処理に適する。

【００２３】請求項５記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックスに形成された開口部に開閉可能な蓋部材が
設けられている。従って、処理装置との間で基板の受け
渡しを行うときだけこの蓋部材を開閉させるようにすれ
ば、移動中に外部パーティクルが収容ボックス内に侵入
することがない。

【００２４】請求項６記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックスに形成された開口部が常時開口している構
造である一方、該収容ボックス内部を陽圧に保つための
圧力制御機構を備えている。このため、基板の受け渡し
を行う開口部が常時開口していても、収容ボックス外に
浮遊するパーティクルが収容ボックス内に侵入すること
がない。また、基板の受け渡しを行う開口部が常時開口
していて、この開口部を開閉する開閉機構が設けられて
いないため、基板の受け渡しを迅速に行うことができ
る。

【００２５】請求項７記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックスに形成された開口部が常時開口している構
造である一方、該収容ボックスの開口部に対向する面側
から該開口部を通じて外部に流れる気流を形成する送風
機構を備えている。このため、基板の受け渡しを行う開
口部が常時開口していても、収容ボックス外に浮遊する
パーティクルが収容ボックス内に侵入することがない。
また、基板の受け渡しを行う開口部が常時開口してい
て、この開口部を開閉する開閉機構が設けられていない
ため、基板の受け渡しを迅速に行うことができる。

【００２６】請求項８記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックス内の状態を監視する監視装置が設けられて
いる。このため、収容ボックス内の状態を基板にとって
良好な環境に保つことが容易となる。特に、収容ボック
スによって基板が密閉的な空間に保持されているため、
良好な環境に制御するのが容易である。

【００２７】請求項９記載の本発明の基板搬送装置は、
基板受け渡し部材の近傍に配置される吸塵用のフィルタ
を備えたパーティクル除去手段を具備している。このた
め、基板受け渡し部材に保持された基板周囲の空気は、
このフィルタにより常に浄化されるため、基板周囲を常
に低パーティクル環境で維持できる。従って、基板の搬
送エリア全体をクリーン環境にする必要がなくなり、ク
リーン環境の形成コストを大幅に削減できる。

【００２８】請求項１０記載の本発明の基板搬送装置
は、前記パーティクル除去手段を構成するフィルタが、
前記基板受け渡し部材の上方に設けられているため、浮
遊するパーティクルを効果的に除去することができる。

【００２９】請求項１１記載の本発明の基板搬送装置
は、前記パーティクル除去手段が、前記基板受け渡し部
材の周囲を覆うことのできる壁部を有しているため、外
部から侵入するパーティクルが少なくなり、基板周囲に
より高いクリーン環境を形成することができる。

【００３０】請求項１２記載の本発明の基板搬送装置
は、複数段の基板載置部を備えた基板受け渡し部材が設
けられている。従って、複数の基板を同時に搬送するこ
とができ、基板の連続処理に適する。

【００３１】請求項１３記載の基板搬送装置は、収容ボ
ックスに設けた監視装置を、風速センサと、送風機構の
ファンを作動制御する送風制御部とで構成しているた
め、フィルタの目詰まりが進行して送風圧力が低下した
ことを風速センサが検知し、これに基づき送風制御部に
よってファンの回転を大きくなるように制御して、風量
を最適量になるように維持し、収容ボックス内には安定
した気流を基板受け渡し部材に送風する。

【００３２】請求項１４記載の基板搬送装置は、フィル
タが目詰まりを生じたときに、警報を発する警報手段を
送風制御部に設けたため、フィルタの目詰まりを感覚的
に知らせる。

【００３３】請求項１５記載の基板搬送装置は、収容ボ
ックスの開口部が前記処理装置の搬入出口に対峙した姿
勢にあるとき、送風制御部により送風機構のファンによ
る送風量を少なくする対面状態検知手段を設けたため、
収容ボックスから不用意に処理装置の搬入出口を通じて
余分なエアーが流入しない。

【００３４】請求項１６記載の基板搬送装置は、収容ボ
ックスの開口部周縁に、前記処理装置の搬入出口を覆う
伸縮部材を設けたので、ガラス基板が受け渡しされると
き、収容ボックスと処理装置との間にどのような間隙が
あっても、伸縮部材によってガラス基板が周囲から遮断
される。

【００３５】請求項１７記載の基板搬送装置は、収容ボ
ックスの天井に送風機構を設け、該天井から下方に向か
ってエアーを吹き出す構成としたことで、開口部に向か
ってエアーは流れない。このため、処理装置に対面した
場合でも、収容ボックスからエアーが処理装置内へ流入
する量を低減できる。

【００３６】請求項１８記載の基板搬送装置は、収容ボ
ックスが搬送路に沿って移動するとき、収容ボックスの
開口部と対向する面を移動する方向に向けて移動させる
構成としたので、収容ボックスの開口部を進行方向に向
けないで、対向する面、すなわち背面を移動する方向に
向けて移動する。

【００３７】請求項１９記載の基板搬送装置は、基板受
け渡し部材を水平多関節機構により移動できるように構
成したため、巻き掛け伝動機構や褶動機構等を使用する
のとは異なり、パーティクルの発生する機械的構成部位
が少なくなり、それだけ収容ボックス空間でのパーティ
クル発生を抑制できる。

【００３８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき説明する。まず、図１に基づき本発明の基板搬
送装置が用いられる処理システムである塗布・現像処理
システムの全体構造について説明する。

【００３９】図１に示すように、この塗布・現像処理シ
ステム１の前方には、処理対象であるガラス基板Ｇを塗
布・現像処理システム１に対して搬入出するローダ・ア
ンローダ部が設けられている。このローダ・アンローダ
部には、ガラス基板Ｇを複数収納したカセットＣを所定
位置に整列させて載置させるカセット載置台３と、各カ
セットＣから処理すべきガラス基板Ｇを取り出し、また
塗布・現像処理システム１において処理の終了したガラ
ス基板Ｇを各カセットＣへ戻すローダ・アンローダ４が
設けられている。ローダ・アンローダ４は、本体５の走
行によってカセットＣの配列方向に移動し、本体５に搭
載された板状体６上にガラス基板Ｇを載置して第１の搬
送装置２５に受け渡すものである。

【００４０】塗布・現像処理システム１の中央部には、
長手方向に配置された廊下状の搬送路１０，１１が受け
渡し部１２を介して一直線上に設けられており、この搬
送路１０，１１の両側には、ガラス基板Ｇに対して各処
理を行うための各種処理装置が配置されている。

【００４１】図示の塗布・現像処理システム１にあって
は、搬送路１０の一側方に、ガラス基板Ｇをブラシ洗浄
すると共に高圧ジェット水により洗浄を施すための洗浄
装置１６が例えば２台並設されている。また、搬送路１
０を挟んで反対側に、二基の現像装置１７が並設され、
その隣りに二基の加熱装置１８が積み重ねて設けられて
いる。

【００４２】また、搬送路１１の一側方に、ガラス基板
Ｇにレジスト液を塗布する前にガラス基板Ｇを疎水処理
するアドヒージョン装置２０が設けられ、このアドヒー
ジョン装置２０の下方には冷却用のクーリング装置２１
が配置されている。また、これらアドヒージョン装置２
０とクーリング装置２１の隣には加熱装置２２が二列に
二個ずつ積み重ねて配置されている。また、搬送路１１
を挟んで反対側に、ガラス基板Ｇの表面にレジスト液を
塗布することによってガラス基板Ｇの表面にレジスト膜
を形成するレジスト塗布装置２３が配置されている。図
示はしないが、これら塗布装置２３の側部には、ガラス
基板Ｇ上に形成されたレジスト膜に所定の微細パターン
を露光するための露光装置等が設けられる。

【００４３】以上の各処理装置１６〜１８および２０〜
２３は、何れも搬送路１０，１１の両側において、ガラ
ス基板Ｇの搬入出口を内側に向けて配設されている。第
１の搬送装置２５がローダ・アンローダ部、各処理装置
１６〜１８および受け渡し部１２との間でガラス基板Ｇ
を搬送するために搬送路１０上を移動し、第２の搬送装
置２６が受け渡し部１２および各処理装置２０〜２３と
の間でガラス基板Ｇを搬送するために搬送路１１上を移
動するようになっている。

【００４４】次に、上記した第１の搬送装置２５および
第２の搬送装置２６として採用される本発明の第１の形
態にかかる基板搬送装置４０の具体的な構造を説明す
る。図２はこの基板搬送装置４０の構成を示した斜視図
であり、図３は内部構造を示す平面図である。

【００４５】基板搬送装置４０は、搬送路１０，１１に
沿って設けられたレール３５上をＹ方向（搬送方向）に
沿って移動可能な搬送方向移動体４１を有している。こ
の搬送方向移動体４１は、本実施の形態ではレール３５
を跨ぐように設けられ、内部に配設された図示しない駆
動モータの駆動により移動する。この搬送方向移動体４
１の上部には、図示しないモータによりθ方向（水平方
向）に回転可能になっている回転軸４３が設けられてい
る。この回転軸４３は、さらに搬送方向移動体４１内に
配設された昇降部（図示せず）により上下方向（Ｚ方
向）に動作するよう設けられている。

【００４６】回転軸４３の上部には、略コ字型の支持部
材４４が、開放側を上方に向けて取り付けられており、
この支持部材４４の側板部４４ａ間にて収容ボックス５
０を保持している。具体的には、図３に示したように、
側板部４４ａに付設したモータ４４ｂの軸部材４４ｃに
収容ボックス５０を連結して支持している。このモータ
４４ｂの駆動により、該軸部材４４ｃを中心として収容
ボックス５０の前方部および後方部を上下にチルト調整
することができ、回転軸４３を水平方向に回転させた場
合の旋回に要するエリアを小さくすることができる。

【００４７】この収容ボックス５０の内部は、略水平に
配設された仕切板５１により上下２つの室５１ａ，５１
ｂに区分されている。また、各室５１ａ，５１ｂのぞれ
ぞれに基板受け渡し部材６０が設けられている。

【００４８】基板受け渡し部材６０は、Ｘ方向（図２に
示したように、処理装置に対峙した際に当該処理装置に
離接する方向）に移動可能であり、いずれも、図３の平
面図に示したように、基部６１に対して突出し、平面か
ら見て中央付近に所定間隔をおいて設けられる一対の長
片６２と、各長片６２に対してそれぞれ間隔をおいて両
端に設けられる短片６３を備えている。長辺６２および
短片６３の各先端部にはそれぞれアジャスタ用のピン部
材６２ａ，６３ａが設けられており、長辺６２のピン部
材６２ａによりガラス基板Ｇの前端縁が揃えられ、短辺
６３のピン部材６３ａによりガラス基板Ｇの各側端縁が
揃えられる。

【００４９】基板受け渡し部材６０をＸ方向に駆動させ
る手段は限定されるものではないが、本実施の形態で
は、図３および図４に示したように、収容ボックス５０
の各側壁５２に平行に、かつ該各側壁５２よりも内部に
設けた隔壁５３にスリット５３ａを形成し、このスリッ
ト５３ａに基板受け渡し部材６０の基部６１の各側端を
挿入して突出させ、この突出部をスリット５３ａに沿っ
て配置した該スリット５３ａからのパーティクルの侵入
を防ぐシールドバー６４に接続し、このシールドバー６
４をＸ方向に動作可能とすることで駆動させている。シ
ールドバー６４は、図４に示したように、隔壁５３の外
方において、該隔壁５３に沿って所定間隔をおいて配置
された２つのプーリ６５，６６に掛け渡される駆動ベル
ト６７に対し、連結部材６８を介して連結されており、
該駆動ベルト６７を２つのプーリ６５，６６間で回転駆
動させるモータ６９を動作させることで、Ｘ方向に動作
するように構成されている。なお、符号６７ａは、該駆
動ベルト６７の下方に配設された連結部材６８のガイド
レールである。また、図４に示した駆動機構は、図３に
示したように、収容ボックス５０の左右両方に設けられ
ており、そのうちの一方により上側の室５１ａに配設さ
れた基板受け渡し部材６０が駆動され、他方により下側
の室５１ｂに配設された基板受け渡し部材６０が駆動さ
れる。

【００５０】収容ボックス５０の後部には、ＨＥＰＡフ
ィルタ等のフィルタ部材７０とこのフィルタ部材７０の
さらに後部に取り付けられるファン７１とを備えた送風
機構７２が設けられている。この送風機構７２を駆動す
ることにより、収容ボックス５０の前面に形成された開
口部が常時開口している構造であっても、後方からこの
開口部に向けた気流が形成されることにより、該開口部
を通じて収容ボックス５０内に外部パーティクルが侵入
することを防ぐことができる。

【００５１】なお、本実施の形態のように、隔壁５３を
設けた場合には、例えば、隔壁５３の前方（開口部寄
り）の適宜位置に、気流を循環させる循環用の孔５３ｂ
を形成すると共に、各隔壁５３と側壁５２との間の後部
に吸引用のファン７３を設けることにより、該循環用の
孔５３ｂと、各隔壁５３と側壁５２との間隙５４を通じ
ても収容ボックス５０内部の空気を積極的に外部に排出
することができる。この場合、吸引用のファン７３を設
ければ好ましいことはもちろんであるが、このようなフ
ァン７３を設けずに、側壁５２等に排出口を設け、隔壁
５３の循環用の孔５３ｂを経由した気流を外部に排出す
る構成とすることもできる。

【００５２】また、収容ボックス５０には、その内部を
監視する監視装置を設けることが好ましい。例えば、図
３に示したように、該収容ボックス５０の内部に静電気
監視モニタ５５と静電気除去装置５６を配設すれば、静
電気監視モニタ５５によって静電気が生じていることを
確認したならば、直ちに静電気除去装置５６を動作させ
て静電気を除去することができ、このようにすること
で、収容ボックス５０内をガラス基板Ｇにとって良好な
状態を保つことができる。この際、本実施の形態におい
ては、ガラス基板Ｇが収容ボックス５０という密閉的な
空間で保持されているため、静電気除去等を効率的に行
うことができる。なお、監視装置としては、静電気監視
モニタのほか、パーティクル監視装置等を設けることも
できる。

【００５３】次に、本実施の形態にかかる基板搬送装置
４０の作用を説明する。まず、搬送方向移動体４１の駆
動により基板搬送装置４０が搬送路１０に沿って移動
し、ローダ・アンローダ４に接近し、基板受け渡し部材
６０を前進動作させて収容ボックス５０から突出させ、
該基板受け渡し部材６０の長片６２、短片６３上に、ロ
ーダ・アンローダ４に保持されているガラス基板Ｇを受
け取る。その後、基板受け渡し部材６０は後退動作して
収容ボックス５０内に収容される。なお、この際、上下
２つの基板受け渡し部材６０の両方にガラス基板Ｇを受
け取ることができる。

【００５４】この際、収容ボックス５０の後部に配置さ
れた送風機構７２のファン７１が駆動していることによ
り、収容ボックス５０内には、該収容ボックス５０の開
口部に対向する面側（後部）から該開口部を通じて外部
に流れる気流が形成される。このため、基板の受け渡し
を行う収容ボックス５０の開口部が常時開口していて
も、移動中に収容ボックス５０外に浮遊するパーティク
ルが収容ボックス５０内に侵入することがほとんどな
い。

【００５５】基板搬送装置４０は、ガラス基板Ｇを受け
取ったならば、目的とする処理装置の配置されている付
近まで搬送方向移動体４１の駆動によりＹ方向に移動す
る。次に、回転軸４３を所定角度θ方向に回転させ、収
容ボックス５０の開口部を当該処理装置と向き合わせ、
さらに、回転軸４３を上下方向（Ｚ方向）に動作させ、
該収容装置の搬入出口と対向させる。

【００５６】かかる状態で、該収容装置の搬入出口を開
閉するシャッタを開放動作させ、一方の、例えば、収容
ボックス５０の下側の室５１ｂに配置された基板受け渡
し部材６０のモータ６９を動作させて駆動ベルト６７を
駆動し、該基板受け渡し部材６０をＸ方向に前進動作さ
せる。そして、処理装置内の処理部、例えば、スピンチ
ャックや支持ピン上にガラス基板Ｇを受け渡す。

【００５７】処理部において所定の処理が終了したなら
ば、再び処理装置の搬入出口を開閉するシャッタを開放
動作させ、収容ボックス５０の下側の室５１ｂに配置さ
れた基板受け渡し部材６０を前進させて、処理部から該
基板受け渡し部材６０の長片６２および短片６３上にガ
ラス基板Ｇを受け取る。次に、この基板受け渡し部材６
０を後退させて収容ボックス５０の下側の室５１ｂ内に
収容する。続いて、収容ボックス５０の上側の室５１ａ
に配置された基板受け渡し部材６０を前進させて、該基
板受け渡し部材６０に載置されたガラス基板Ｇを上記と
同様に処理する。

【００５８】なお、上記の説明では、収容ボックス５０
内の２つの基板受け渡し部材６０にいずれも未処理のガ
ラス基板Ｇを保持させているが、下側の室５１ｂに配置
された基板受け渡し部材６０には未処理のガラス基板Ｇ
を保持し、上側の室５１ａに配置された基板受け渡し部
材６０には処理済みのガラス基板Ｇを保持するようにす
ることもできる。

【００５９】また、上記の構成では、フィルタ７０とフ
ァン７１とからなる送風機構７２により、常時開口して
いる収容ボックス５０の開口部からのパーティクルの侵
入を防ぐ構造であるが、この送風機構７２に代えて収容
ボックス５０の内部を常時陽圧にする圧力制御機構（図
示せず）を設け、これにより外部パーティクルの侵入を
防ぐ構造とすることもできる。なお、上記した送風機構
７２は、常時、収容ボックス５０内から外部に送風して
いる構成であるため、これによっても収容ボックス５０
内部は陽圧になっている。すなわち、この送風機構７２
も実質的に圧力制御機構として機能している。

【００６０】また、上記の説明では、収容ボックス５０
の前面に形成した開口部が常時開口している構成である
が、この開口部に開閉可能な蓋部材５８を設けるように
してもよい。蓋部材５８の構成は限定されるものではな
いが、例えば、図５に示したように、中央付近に形成し
た把手部５８ｃを有すると共に、この把手部５８ｃの周
面に押しボタン５８ｄを設け、さらに、この押しボタン
５８ｄの押圧操作に連動して側部から突出したり埋没し
たりして、収容ボックス５０の側壁５２に係合する係合
突起５８ａ，５８ｂを有するものを用いることができ
る。また、この場合、押しボタン５８ｄを押圧する手段
としては、例えば、処理装置の搬入出口に配設されるシ
ャッタに把手部５８ｃを収容し得る凹部と、この凹部内
に突設した突片とを設けておき、把手部５８ｃが該凹部
に嵌合すると、該突片によって押しボタン５８ｄが押圧
され、係合突起５８ａ，５８ｂの係合が解除される構成
を採用することができる。係合突起５８ａ，５８ｂの係
合が解除されたならば、シャッタと共に蓋部材５８を処
理装置の任意部位に収容し、ガラス基板Ｇの受け渡しを
行う。もちろん、この蓋部材５８を開閉する機構を収容
ボックス５０自体に設けることもできる。

【００６１】なお、蓋部材５８を設けた場合には、ガラ
ス基板Ｇの搬送中、開口部からのパーティクルの侵入が
なくなる。このため、上記した送風機構７２や圧力制御
機構を設けない構成とすることも可能であるが、この場
合でも、送風機構７２等を収容ボックス５０の後部に設
けるなどして、この蓋部材５８を開放して処理装置との
間でガラス基板Ｇの受け渡しを行っている際にパーティ
クルが侵入しないよう、ガラス基板Ｇの受け渡し時だ
け、送風等できる構成とすることが好ましい。

【００６２】また、上記した構成では収容ボックス５０
に仕切板５１を設けて複数の室５１ａ，５１ｂに仕切
り、そのそれぞれに基板受け渡し部材６０を設けている
構成であるが、仕切板５１を設けずに、基板受け渡し部
材６０を一つだけ配設する構成にできることももちろん
である。さらには、一つの基板受け渡し部材６０を配設
した収容ボックス５０を、複数段積層するようにするこ
ともできる。

【００６３】次に、図６および図７に基づき、本発明の
他の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る
基板搬送装置８０は、上記の実施の形態の基板搬送装置
４０と異なり、収容ボックス５０を有しておらず、搬送
方向移動体８１に対して水平回転可能な回転軸８２が直
接支持された基板受け渡し部材８３を有している。な
お、回転軸８２は上下動可能に設けられており、基板受
け渡し部材８３が処理装置の搬入出口に対して対峙可能
であることは上記の実施の形態と同様である。

【００６４】基板受け渡し部材８３は、基板載置部が一
つのタイプでもよいが、本実施の形態では基板載置部８
３ａが２段で設けられている。また、基板受け渡し部材
８３の形状は限定されるものではないが、例えば、上記
の実施の形態と同様に、平面から見て略中央付近に長片
を有し、両端付近に短片を備えたような形状を採用する
ことができる。

【００６５】本実施の形態では、図６および図７に示し
たように、回転軸８２に連結されたベース板８４ａと、
このベース板８４ａの四隅に立設された支柱部材８４ｂ
と、該支柱部材８４ｂの上部に支持されたＨＥＰＡフィ
ルタ等のフィルタ８４ｃと、このフィルタ８４ｃの上部
に配設されたファン８４ｄを備えたパーティクル除去手
段８４を有して構成されている。すなわち、ガラス基板
Ｇを保持している基板受け渡し部材８３の周囲環境のみ
をクリーン化しようとする構成である。

【００６６】本実施の形態によれば、パーティクル除去
手段８４のファン８４ｄを駆動することにより、外部の
空気がフィルタ８４ｃを通過することでパーティクルが
吸塵され、クリーン化された後、基板受け渡し部材８３
に保持されたガラス基板Ｇに接触する。従って、基板搬
送エリア全体をクリーン化しなくても、ガラス基板Ｇへ
のパーティクルの付着を防ぐことができる。

【００６７】本実施の形態では、基板受け渡し部材８３
の上方にパーティクル除去手段８４が設けられ、該基板
受け渡し部材８３の周囲は開放された状態であるが、パ
ーティクル除去手段８４として、該基板受け渡し部材８
３の周囲を覆うことができる壁部を有する構造のものを
用いることもできる。但し、この場合には、該壁部また
は上記のベース板８４ａのいずれかに空気流の排出口を
設けておく。

【００６８】また、本実施の形態においても、上記実施
の形態のように、パーティクル除去手段８４の下部等
に、静電気監視モニタ等の監視装置や静電気除去装置等
を付設することも可能である。

【００６９】また、これに限らず、図８に示したよう
に、例えば、各処理装置Ａ〜Ｄの搬入出付近ａにガラス
基板Ｇの搬入出周期の監視モニタや静電気監視モニタを
設けると共に、搬送路１０，１１中の適宜箇所ｂにパー
ティクル監視モニタを設けることもできる。そして、各
処理装置Ａ〜Ｄの搬入出付近ａ、搬送路１０，１１中の
適宜箇所ｂ、および基板搬送装置４０，８０の適宜箇所
ｃに設けられる各監視装置をネットワークで結び、その
状態を常にコンピュータ９０によってモニタリングし、
必要に応じて各処理装置Ａ〜Ｄにフィードバックするこ
とにより、搬送ライン全体をガラス基板Ｇにとって適切
な環境で保つことができると共に、処理効率の向上にも
資する。

【００７０】次に図９に示す送風機構７２についての第
１変形例を説明する。図３の収容ボックス５０内に設け
た監視装置として静電気除去装置５６を設けて、送風機
構のファン７１から開口部へ向けて吹かれるエアーを除
電し、これによりガラス基板Ｇへのパーティクルの付着
を防止しているが、第１変形例のように収容ボックス５
０に送風制御部１００と風速センサ１０１とを設け、こ
れにより送風機構７２を制御するように構成することも
できる。すなわち、収容ボックス５０の天上面などの適
宜個所にファン７１から吹き込まれる気流の風速を検知
する風速センサ１０１を設ける。そして、風速センサ１
０１により検知した信号に基づく電圧値が、所要の閾値
よりも小さいかどうかが送風制御部１００で比較判断さ
れる。電圧値が閾値よりも小さいことを判断した場合に
は、フィルタ７０がパーティクルにより目詰まりを起こ
したと認識し、検知した電圧値に応じたファン７１の回
転数駆動信号が送風制御部１００から出力され、ファン
７１はその回転数が増大するように制御される。また、
この場合、ファン７１の回転数が増大するように制御が
行われるときには、ランプを点灯したり、音を発したり
するなど警報手段１０２を作動してフィルタ７０の交換
を作業者に知らせるように構成する。

【００７１】第１変形例はかかる構成にしたことより、
フィルタ７０が目詰まりを生じて送風量が低下しても、
送風制御部１００によってファン７１の回転数を自動的
に高められ、収容ボックス５０に吹き出される風量を常
時一定にし、かつ、均一な気流を流すように維持でき、
それだけパーティクルの付着防止に有利である。また、
警報手段１０２が作動するため、フィルタ７０の交換を
作業者に促せることができ便利である。

【００７２】次に、第２変形例は図９に示すように送風
制御部１００に対面状態検知手段１０３を接続した構成
のものである。この対面状態検知手段１０３は、収容ボ
ックス５０が処理装置との間でガラス基板Ｇを受け渡し
する状態になったときに、その状態を検知した信号が送
風制御部１００に入力される。これにより送風制御部１
００は、ファン７１の回転数を小さくなるように制御信
号を出力する。その一方で、吸引用ファン７３に対して
は、その回転数が大きくなるように制御信号が出力され
る。

【００７３】このため第２変形例によれば、対面状態検
知手段１０３により収容ボックス５０が処理装置と対面
してガラス基板Ｇの受け渡しが行われる状態を検知した
ときに、ファン７１の回転は弱められ、吸引用ファン７
３の回転は強くなるように制御される。このため、ガラ
ス基板Gの受渡し時、収容ボックス５０の開口部を通じ
て処理装置の搬入出口に流入するエアー量を少なくする
ことができ、パーティクルの付着低減に有利となる。

【００７４】次に、図１０に示す第３変形例は、収容ボ
ックス１１０の開口部１１１周縁に収縮自在に変形をす
る蛇腹１１２を設け、開口部１１１が処理装置１１３の
搬入出口１１４に対面してガラス基板Ｇを受渡しする状
態になったとき、蛇腹１１２が搬入出口１１１に密着す
る構成である。

【００７５】第３変形例によれば、収容ボックス１１０
と処理装置１１３との間にいろいろ異なる隙間があって
も、蛇腹１１２が搬入出口１１４に完全に密着するた
め、隙間からパーティクルが処理装置１１３に混入する
のを回避できる。なお、蛇腹１１２は、処理装置側に設
けられていても勿論構わない。

【００７６】次に、図１１に示す第４変形例を説明する
と、収容ボックス１２０の天井に吸入ファン１２１とフ
ィルタ部材１２２が設けられ、開口部反対側の背面に吸
引用ファン１２３を設けている。また、１２４は開口部
１２２に開閉自在に設けた蓋部材で、収容ボックス１２
０が移動する間は閉じ、処理装置に対面してガラス基板
Ｇの受け渡しを行う場合に開くように形成される。

【００７７】かかる構成の第４変形例によれば、ガラス
基板Ｇを搬送する時、蓋部材１２４は閉じられ、吸入フ
ァン１２１からエアーが下に吹き付けられる。エアー
は、収容ボックス１２０を矢印の方向に流れたあと,吸
引用ファン１２３を経て外部に排出される。このためパ
ーティクルの付着を回避した状態でガラス基板Ｇを搬送
することができる。なお、蓋部材１２４の変わりにエア
ーカーテン方式にしてパーティクルの浸入を防止しても
よい。

【００７８】また、第４変形例において収容ボックス１
２０の天井下面に除電手段であるイオナイザー１２５を
設置してもよい。これにより静電気を除去でき、収容ボ
ックス１２０内のガラス基板Ｇにとって処理のための良
好な密閉空間を確保できる。

【００７９】次に、図１２に示す第５変形例は、塗布の
処理搬送システムにおいて収容ボックス１３０がガラス
基板Ｇを搬送するとき、その背面を進行方向に向けて移
動するように構成したものである。例えば、洗浄装置１
６でガラス基板Ｇの受け渡しを終えた後,収容ボックス
１３０を点線の方向に経由して加熱装置１８に移動させ
るとき、収容ボックス１３０背面を進行方向に向けて移
動し、加熱装置１８の手前まで移動したとき収容ボック
ス１３０を所定の方向に転換して、収容ボックス１３０
の開口部を加熱装置１８の搬入出口に対面するように回
転させる構成としてもよい。

【００８０】かかる第５変形例によれば、収容ボックス
１３０の開口部を進行方向に向けないで背面を向けるよ
うにして回転移動させる構成により、パーティクルが収
容ボックス１３０内に入り込む余地を少なくできる点で
有利となる。

【００８１】次に、図１３に示す第６変形例を説明す
る。受け渡し部１２に設置された受け渡し搬送装置１
４０は搬送路１０を移動する第１の搬送装置２５と第２
の搬送装置２６との間でガラス基板Ｇを中継して相互に
受け渡しするための装置である。その両側には開口部１
４１、１４２が設けられていて、各搬送装置２５、２６
の基板受け渡し部材６０等（図４）が進退する。開口部
１４１，１４２の上方からはエアーが吹き降ろすように
エアーカーテン装置１４３，１４４が設置される。内部
には載置台１４５が設けられ、出没自在のピン１４５に
よりガラス基板Ｇを支持するように形成されている。受
け渡し搬送装置１４０の天井には、フィルタ部材１４７
および吸入ファン１４８よりなるファン送風機構が設け
られる。

【００８２】上記構成に係る第６変形例では、吸入ファ
ン１４８から受け渡し搬送装置１４０内に流入したエア
ーはガラス基板Ｇの周囲を矢印の方向に流れることとな
る。このため、受け渡し搬送装置１４０においても、外
部からパーティクルの浸入するのをエアカーテン装置１
４３，１４４で食い止め、かつガラス基板Ｇに吸入ファ
ン１４８からエアーが吹き付けられているため、パーテ
ィクルが付着することを抑制できる。

【００８３】次に、図１４に示す第７変形例について説
明する。上記の図３の実施の形態では収容ボックス５０
内を流れるエアーは間隙５４を通じて背面に設けた吸引
用ファン７３を経て外部へ排風する構成にしたが、この
例では、この代わりに図１４のように収容ボックス１５
０の背面近傍の天井に吸引ファン１５１を取り付けた構
成にしたものである。

【００８４】この第７変形例によれば、収容ボックス１
５０の側部に形成した間隙１５２を通ったエアーが、矢
印１５３のように天井から排出されるので、背部に存在
する処理装置にエアーが吹き付けられることを回避でき
る。なお、これとは反対に吸引ファン１５１を収容ボッ
クス１５０の下面に取り付け、エアーを下面から排出す
るようにしてもよい。さらに、図１５のように背面に設
けた図示しない吸引ファンに対向した位置に偏向板１５
５を設けた構成にしてもよい。これにより、エアーは偏
向板１５５で流れが偏向されるため、収容ボックス１５
０背後にある処理装置に直接、エアーが吹き付けられる
のを回避できる。

【００８５】次に、図１６に示す第８変形例を説明す
る。図４の実施の形態では基板受け渡し部材６０をガイ
ドレール６７ａに沿って褶動支持させ、駆動ベルト６７
とプーリー６５、６６からなる巻き掛け伝動機構を介し
てモータ６９の駆動力を基板受け渡し部材６０に伝達す
るようにした構成であるが、この例ではこの代わりに図
１６のように基板受け渡し部材１６０を直接に水平多関
節型機構１６１を用いて作動する構成としたものであ
る。水平多関節型機構１６１は例えば第１アーム１６２
と第２アーム１６３を有し、第１アーム１６２は第２ア
ーム１６３に第１軸１６４を介して軸支され、第２アー
ム１６３は第２軸１６５に軸支される。また第１アーム
１６２は基板受け渡し部材１６０を第３軸１６６により
回動自在に軸支される。各アーム１６２，１６３および
基板受け渡し部材１６０は第１、第２、第３の各軸１６
４，１６５、１６６に設けた図示しないモータで回動さ
れる。

【００８６】第８変形例によれば多関節型機構１６０を
使用することで、収容ボックスの空間で基板受け渡し部
材１６０を矢印１６７方向に移動させることができる。
このため、収容ボックス内にスライダ機構のような褶動
部を有するものと異なり、モータ周りをシールするだけ
で、パーティクルが収容ボックス内の空間に散逸するの
を簡単に阻止できる。したがって、本第８変形例はシー
ルを施す部位が少なくてすみ、パーティクルの発生を少
なくできる点で有利となる効果がある。

【００８７】図１７及び図１８に示す第９変形例を説明
する。図２に示した収容ボックス５０の開口部には、蓋
部材が設けられていない態様であったが、本第９変形例
は、図１７のように収容ボックス１７０開口部の中間高
さにピン１７１の周りに開閉する蓋部材１７２を設けた
ものである。このため、収容ボックス１７０にガラス基
板Ｇを格納して搬送する場合には、図１７のように蓋部
材１７３を閉じて搬送する。処理装置との間で受け渡し
を行う場合には、図１８のように蓋部材１７３を水平に
開いて上室または下室のいずれに対するガラス基板Ｇの
搬入出を何ら支障なく行うことができる。

【００８８】このため、第９変形例では、収容ボックス
１７０の移動時でも、蓋部材１７３により収容ボックス
１７０の開口部が閉じられているため、収容ボックス内
にパーティクルが浸入することを良好に阻止できる。

【００８９】なお、蓋部材１７３は図１９のようにピン
１７４の周りに蓋部材１７５を設けて開閉できる構成に
することもできる。

【００９０】さらに、上記実施の形態における洗浄装置
１６、現像装置１７、加熱装置１８，２２等の処理装置
には、何ら遮蔽部材を設けなかったが、図２０に示す第
１０変形例のように処理装置１８０の受け渡し口である
搬入出口にエアカーテン装置１８１を設けた構成にして
もよい。これにより、収容ボックス１８３が処理装置１
８０の搬入出口に対面した場合でも、エアカーテン装置
１８１で搬入出口が外部と遮蔽されているため、不用意
に収容ボックス１８３からエアーが浸入することを防ぐ
ことができる。また、図２１のようにエアカーテン装置
１８１を設ける代わりに上下方向に開閉可能なシャッタ
ー装置１８４を設けることもできる。

【００９１】また、上述した実施形態では、基板受け渡
し部材６０をＸ方向に駆動させる手段を図３に例示した
が、図２２に示すように変形することも可能である。す
なわち、隔壁５３に設けられたスリット５３ａを覆うよ
うに間隙５４内に無端のシールドベルト２２１を配置す
る。そして、このシールドベルト２２１の一方側は、連
結部材２２２を介して駆動ベルト６７に連結され、シー
ルドベルト２２１の他方側は、連結部材２２３を介して
基板受け渡し部材６０の基部６１に連結されている。従
って、駆動ベルト６７の駆動されると、シールドベルト
２２１を介して基板受け渡し部材６０がＸ方向に駆動さ
れるようになっている。本実施形態では、特にシールド
ベルト２２１がスリット５３ａを覆っているので、間隙
５４側から基板受け渡し部材６０側へパーティクルが流
出することが少なくなる。

【００９２】なお、本発明の基板搬送装置の搬送対象と
なる基板は、上記したＬＣＤ用のガラス基板Ｇだけでな
く、半導体ウェハ等の基板についても本発明を当然適用
できる。さらに、上記した塗布・現像処理システムの処
理装置の組み合わせはあくまで一例であり、ＣＶＤ、ア
ッシャー、エッチャーなどが配置されたラインにおいて
も本発明は当然有効である。

【００９３】

【発明の効果】請求項１記載の本発明の基板搬送装置
は、収容ボックス内に設けられると共に、処理装置の搬
入出口に対峙した姿勢において該搬入出口に離接する方
向に移動可能な基板受け渡し部材により基板を保持して
いる構成である。このため、基板の搬送エリアをクリー
ン環境にする必要がなくなり、クリーン環境の形成コス
トを大幅に削減できる。

【００９４】請求項２記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックス内に、複数段の基板載置部を備えた基板受
け渡し部材が設けられている。従って、複数の基板を同
時に搬送することができ、基板の連続処理に適する。

【００９５】請求項３記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックスが複数段に積層されて設けられ、そのそれ
ぞれに前記基板受け渡し部材が設けられている。従っ
て、複数の基板を同時に搬送することができ、基板の連
続処理に適する。

【００９６】請求項４記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックスが略水平に配置された仕切板を介して複数
室に区分され、前記基板受け渡し部材が、区分された各
室ごとに設けられている。従って、複数の基板を同時に
搬送することができ、基板の連続処理に適する。

【００９７】請求項５記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックスに形成された開口部に開閉可能な蓋部材が
設けられている。従って、処理装置との間で基板の受け
渡しを行うときだけこの蓋部材を開閉させるようにすれ
ば、移動中に外部パーティクルが収容ボックス内に侵入
することがない。

【００９８】請求項６記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックスに形成された開口部が常時開口している構
造である一方、該収容ボックス内部を陽圧に保つための
圧力制御機構を備えている。このため、基板の受け渡し
を行う開口部が常時開口していても、収容ボックス外に
浮遊するパーティクルが収容ボックス内に侵入すること
がない。また、基板の受け渡しを行う開口部が常時開口
していて、この開口部を開閉する開閉機構が設けられて
いないため、基板の受け渡しを迅速に行うことができ
る。

【００９９】請求項７記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックスに形成された開口部が常時開口している構
造である一方、該収容ボックスの開口部に対向する面側
から該開口部を通じて外部に流れる気流を形成する送風
機構を備えている。このため、基板の受け渡しを行う開
口部が常時開口していても、収容ボックス外に浮遊する
パーティクルが収容ボックス内に侵入することがない。
また、基板の受け渡しを行う開口部が常時開口してい
て、この開口部を開閉する開閉機構が設けられていない
ため、基板の受け渡しを迅速に行うことができる。

【０１００】請求項８記載の本発明の基板搬送装置は、
収容ボックス内の状態を監視する監視装置が設けられて
いる。このため、収容ボックス内の状態を基板にとって
良好な環境に保つことが容易となる。特に、収容ボック
スによって基板が密閉的な空間に保持されているため、
良好な環境に制御するのが容易である。

【０１０１】請求項９記載の本発明の基板搬送装置は、
基板受け渡し部材の近傍に配置される吸塵用のフィルタ
を備えたパーティクル除去手段を具備している。このた
め、基板受け渡し部材に保持された基板周囲の空気は、
このフィルタにより常に浄化されるため、基板周囲を常
に低パーティクル環境で維持できる。従って、基板の搬
送エリア全体をクリーン環境にする必要がなくなり、ク
リーン環境の形成コストを大幅に削減できる。

【０１０２】請求項１０記載の本発明の基板搬送装置
は、前記パーティクル除去手段を構成するフィルタが、
前記基板受け渡し部材の上方に設けられているため、浮
遊するパーティクルを効果的に除去することができる。

【０１０３】請求項１１記載の本発明の基板搬送装置
は、前記パーティクル除去手段が、前記基板受け渡し部
材の周囲を覆うことのできる壁部を有しているため、外
部から侵入するパーティクルが少なくなり、基板周囲に
より高いクリーン環境を形成することができる。

【０１０４】請求項１２記載の本発明の基板搬送装置
は、複数段の基板載置部を備えた基板受け渡し部材が設
けられている。従って、複数の基板を同時に搬送するこ
とができ、基板の連続処理に適する。

【０１０５】請求項１３記載の基板搬送装置は、収容ボ
ックスに設けた監視装置を、風速センサと、送風機構の
ファンを作動制御する送風制御部とで構成しているた
め、フィルタの目詰まりが進行して送風圧力が低下した
ことを風速センサが検知し、これに基づき送風制御部に
よってファンの回転を大きくなるように制御して、風量
を最適量になるように維持する。このため収容ボックス
内には安定した気流を基板受け渡し部材に送風できるの
で、ガラス基板へのパーティクルの付着を回避するに最
適な作業環境を得ることができる効果を奏する。

【０１０６】請求項１４記載の基板搬送装置は、フィル
タが目詰まりを生じたときに、警報を発する警報手段を
送風制御部に設けたため、フィルタの目詰まりを感覚的
に知らせることができ、フィルタ交換ないしは掃除を的
確に行うことができ便利となる効果を奏する。

【０１０７】請求項１５記載の基板搬送装置は、収容ボ
ックスの開口部が前記処理装置の搬入出口に対峙した姿
勢にあるとき、送風制御部により送風機構のファンによ
る送風量を少なくする対面状態検知手段を設けたため、
収容ボックスから不用意に処理装置の搬入出口を通じて
余分なエアーが流入しないため、それだけガラス基板へ
のパーティクル付着防止に有利となる効果を奏する。

【０１０８】請求項１６記載の基板搬送装置では、収容
ボックスの開口部周縁に、前記処理装置の搬入出口を覆
う伸縮部材を設けたので、ガラス基板が受け渡しされる
とき、収容ボックスと処理装置との間にどのような間隙
があっても、伸縮部材によってガラス基板が周囲から遮
断されるため、パーティクル付着防止に有利となる効果
を奏する。

【０１０９】請求項１７記載の基板搬送装置は、収容ボ
ックスの天井に送風機構を設け、該天井から下方に向か
ってエアーを吹き出す構成としたことで、開口部に向か
ってエアーは流れない。このため、処理装置に対面した
場合でも、収容ボックスからエアーが処理装置内へ流入
する量を低減でき、パーティクル付着に有利となる効果
を奏する。

【０１１０】請求項１８記載の基板搬送装置によれば、
収容ボックスが搬送路に沿って移動するとき、収容ボッ
クスの開口部と対向する面を移動する方向に向けて移動
させる構成としたので、収容ボックスの開口部を進行方
向に向けないで、対向する面、すなわち背面を移動する
方向に向けて移動する。このため、パーティクルが収容
ボックスに入り込むのを抑制できる効果を奏する。

【０１１１】請求項１９記載の基板搬送装置は、基板受
け渡し部材を水平多関節機構により移動できるように構
成したため、巻き掛け伝動機構や褶動機構等を使用する
のとは異なり、パーティクルを発生する機械的構成部位
が少なく、収容ボックス空間でのパーティクル発生を抑
制できる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の処理システムの実施の形態を示す斜
視図である。

【図２】本発明の基板搬送装置の一の実施の形態を示
す斜視図である。

【図３】上記実施の形態にかかる基板搬送装置の内部
構造を示す平面図である。

【図４】上記実施の形態にかかる基板搬送装置の駆動
手段を説明する要部を示す図である。

【図５】収容ボックスに設けられる蓋部材の構成を示
す図である。

【図６】本発明の基板搬送装置の他の実施の形態を模
式的に示す側面図である。

【図７】上記実施の形態にかかる基板搬送装置を模式
的に示す正面図である。

【図８】基板搬送エリアにおける各種状態を検知する
モニタリングシステムを説明するための模式図である。

【図９】上記一の実施の形態にかかる第１変形例およ
び第２変形例における基板搬送装置の内部構造を示す平
面図である。

【図１０】同じく第３変形例における収容ボックスを
側面から見た断面図である。

【図１１】第４変形例における収容ボックスの側面図
である。

【図１２】第５変形例における収容ボックスの移動を
示す平面図である。

【図１３】第６変形例における受け渡し装置の断面図
である。

【図１４】第７変形例における収容ボックスの斜視図
である。

【図１５】第７変形例のさらに別の変形例における収
容ボックスの斜視図である。

【図１６】第８変形例における基板受け渡し部材の斜
視図である。

【図１７】第９変形例における収容ボックスに係り、
蓋部材を閉じた状態を示す斜視図である。

【図１８】第９変形例に係り、蓋部材を開いた状態に
おける斜視図である。

【図１９】第９変形例のさらに別の変形例における収
容ボックスの斜視図である。

【図２０】第１０変形例における処理装置の断面図で
ある。

【図２１】第１０変形例のさらに別の処理装置の断面
図である。

【図２２】さらに別の変形例における収容ボックスを
示す平面図である。

【符号の説明】

４０基板搬送装置４３回転軸５０収容ボックス５１仕切板５１ａ室５１ｂ室５８蓋部材６０基板受け渡し部材７２送風機構８０基板搬送装置８２回転軸８３基板受け渡し部材８３ａ基板載置部８４パーティクル除去手段Ｇガラス基板Ｇ

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０３Ｆ 7/30 ５０１Ｇ０３Ｆ 7/30 ５０１５Ｆ０４６Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２Ｊ (72)発明者荒木真一郎熊本県菊池郡大津町大字高尾野字平成272 番地の４東京エレクトロン九州株式会社大津事業所内 (72)発明者岩崎達也熊本県菊池郡大津町大字高尾野字平成272 番地の４東京エレクトロン九州株式会社大津事業所内 (72)発明者穴井徳行熊本県菊池郡大津町大字高尾野字平成272 番地の４東京エレクトロン九州株式会社大津事業所内 (72)発明者岩津春生熊本県菊池郡大津町大字高尾野字平成272 番地の４東京エレクトロン九州株式会社大津事業所内Ｆターム(参考） 2H025 AB13 AB16 AB17 EA04 2H088 FA17 FA21 FA30 HA01 2H090 JC19 2H096 CA12 GA24 5F031 CA05 DA01 DA17 FA02 GA02 GA06 GA43 GA47 GA48 GA49 GA50 NA03 NA08 PA26 5F046 AA17 AA22 CD01 CD05 CD08 DA27

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送路に沿って移動可能な搬送方向移動
体と、前記搬送方向移動体に対して水平回転可能な回転軸を介
して支持された収容ボックスと、前記収容ボックス内に設けられると共に、処理装置の搬
入出口に対峙した姿勢において該搬入出口に離接する方
向に移動可能であり、該収容ボックスに形成された開口
部を通じて処理装置に対し、保持した基板を受け渡すこ
とが可能な基板受け渡し部材とを具備することを特徴と
する基板搬送装置。
【請求項２】請求項１記載の基板搬送装置であって、
前記収容ボックス内に、複数段の基板載置部を備えた基
板受け渡し部材が設けられていることを特徴とする基板
搬送装置。
【請求項３】請求項１又は２記載の基板搬送装置であ
って、前記収容ボックスが複数段に積層されて設けら
れ、そのそれぞれに前記基板受け渡し部材が設けられて
いることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】請求項１又は２記載の基板搬送装置であ
って、前記収容ボックスが略水平に配置された仕切板を
介して複数室に区分され、前記基板受け渡し部材が、区
分された各室ごとに設けられていることを特徴とする基
板搬送装置。
【請求項５】請求項１〜４のいずれか１に記載の基板
搬送装置であって、前記収容ボックスに形成された開口
部に開閉可能な蓋部材が設けられていることを特徴とす
る基板搬送装置。
【請求項６】請求項１〜４のいずれか１に記載の基板
搬送装置であって、前記収容ボックスに形成された開口
部が常時開口している構造であると共に、該収容ボック
ス内部を陽圧に保つための圧力制御機構を備えているこ
とを特徴とする基板搬送装置。
【請求項７】請求項１〜４のいずれか１に記載の基板
搬送装置であって、前記収容ボックスに形成された開口
部が常時開口している構造であると共に、該収容ボック
スの開口部に対向する面側から該開口部を通じて外部に
流れる気流を形成する送風機構を備えていることを特徴
とする基板搬送装置。
【請求項８】請求項１〜７のいずれか１に記載の基板
搬送装置であって、前記収容ボックス内の状態を監視す
る監視装置が設けられていることを特徴とする基板搬送
装置。
【請求項９】搬送路に沿って移動可能な搬送方向移動
体と、前記搬送方向移動体に対して水平回転可能な回転軸を介
して支持されていると共に、処理装置の搬入出口に対峙
した姿勢において該搬入出口に離接する方向に移動可能
であり、処理装置に対して、保持した基板を受け渡すこ
とが可能な基板受け渡し部材と、前記基板受け渡し部材の近傍に配置される吸塵用のフィ
ルタを備えたパーティクル除去手段とを具備することを
特徴とする基板搬送装置。
【請求項１０】請求項９記載の基板搬送装置であっ
て、前記パーティクル除去手段を構成するフィルタが、
前記基板受け渡し部材の上方に設けられていることを特
徴とする基板搬送装置。
【請求項１１】請求項９又は１０記載の基板搬送装置
であって、前記パーティクル除去手段が、前記基板受け
渡し部材の周囲を覆うことのできる壁部を有することを
特徴とする基板搬送装置。
【請求項１２】請求項９〜１１のいずれか１に記載の
基板搬送装置であって、前記基板受け渡し部材が、複数
段の基板載置部を備えていることを特徴とする基板搬送
装置。
【請求項１３】請求項８記載の基板搬送装置であっ
て、前記監視装置が前記収容ボックスに設けた風速セン
サと、この風速センサで検知した信号により前記送風機
構を形成するファンを作動制御する送風制御部とで構成
されたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項１４】請求項１３記載の基板搬送装置であっ
て、前記風速センサで検知した信号に基づき前記送風制
御部によって前記ファンがその作動を増強するように指
示されたとき、前記送風機構を形成するフィルタが目詰
まり状態にあることを知らせる警報手段を前記送風制御
部に設けたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項１５】請求項１３記載の基板搬送装置であっ
て、前記収容ボックスの開口部が前記処理装置の搬入出
口に対峙した姿勢にあるとき、前記送風制御部により前
記送風機構のファンによる送風量を少なくする対面状態
検知手段を設けたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項１６】請求項７記載の基板搬送装置であっ
て、前記収容ボックスの開口部が前記処理装置の搬入出
口と向き合ったとき、収容ボックスと処理装置との空間
を外部から遮断する伸縮部材を、前記処理装置の開口部
周縁に設けたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項１７】請求項１〜４のいずれか１に記載の基
板搬送装置であって、前記収容ボックスの天井に設けら
れ、該天井から下方に向かってエアーを吹き出す送風機
構を備えていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項１８】請求項１〜４のいずれか１に記載の基
板搬送装置であって、前記収容ボックスが前記搬送路に
沿って移動するとき、前記収容ボックスの前記開口部と
対向する面を移動する方向に向けて移動させるように構
成したことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項１９】請求項１または９記載の基板搬送装置
であって、前記基板受け渡し部材を水平多関節機構によ
り移動できるように構成したことを特徴とする基板搬送
装置。