KR100741153B1

KR100741153B1 - 기판반송장치

Info

Publication number: KR100741153B1
Application number: KR1020000038987A
Authority: KR
Inventors: 타테야마키요히사; 오오타요시하루; 아라키시니치로; 이와사키타츠야; 아나이노리유키; 이와츠하루오
Original assignee: 동경 엘렉트론 주식회사
Priority date: 1999-07-09
Filing date: 2000-07-07
Publication date: 2007-07-20
Also published as: KR20010039709A; TW471008B

Abstract

본 발명은 기판반송장치에 관한 것으로서, 반송방향 이동체에 대하여 수평회전이 가능한 회전축에 지지되어진 수용박스 내에 기판 전달부재를 설치함으로써, 유리기판이 수용박스 바깥에 부유하는 파티클과 접속하는 일이 거의 없어, 기판의 반송영역을 클린환경으로 만들 필요가 없으므로, 클린환경을 형성하기 위한 비용을 대폭적으로 삭감시킬 수 있는 기술이 제시된다.

Description

기판반송장치{SUBSTRATE CONVEYING DEVICE}

도 1은 본 발명의 처리시스템의 실시예를 나타내는 사시도이다.

도 2는 본 발명의 기판반송장치의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.

도 3은 상기 실시예에 관련된 기판반송장치의 내부구조를 나타내는 평면도이다.

도 4는 상기 실시예에 관련된 기판반송장치의 구동수단을 설명하는 요부를 나타내는 도이다.

도 5는 수용박스에 설치되어지는 뚜껑부재의 구성을 나타내는 도이다.

도 6은 본 발명의 기판반송장치의 다른 실시예를 모식적으로 나타내는 측면도이다.

도 7은 상기 실시예에 관련된 기판반송장치를 모식적으로 나타내는 정면도이다.

도 8은 기판반송영역에 있어서의 각종 상태를 검지하는 모니터링 시스템을 설명하기 위한 모식도이다.

도 9는 상기 한 실시예에 관련된 제 1 변형예 및 제 2 변형예에 있어서의기판반송장치 내부구조를 나타내는 평면도이다.

도 10은 마찬가지로 제 3 변형예에 있어서의 수용박스를 측면에서 본 단면도 이다.

도 11은 제 4 변형예에 있어서의 수용박스의 측면도이다.

도 12는 제 5 변형예에 있어서의 수용박스의 이동을 나타내는 평면도이다.

도 13은 제 6 변형예에 있어서의 전달장치의 단면도이다.

도 14는 제 7 변형예에 있어서의 수용박스의 사시도이다.

도 15는 제 7 변형예의 또 다른 변형예에 있어서의 수용박스의 사시도이다.

도 16은 제 8 변형예에 있어서의 기판전달부재의 사시도이다.

도 17은 제 9 변형예에 있어서의 수용박스에 관련된 것으로, 뚜껑부재를 닫은 상태를 나타내는 사시도이다.

도 18은 제 9 변형예에 관련된 것으로, 뚜껑부재를 연 상태에 있어서의 사시도이다.

도 19는 제 9 변형예의 또 다른 변형예에 있어서의 수용박스의 사시도이다.

도 20은 제 10 변형예에 있어서의 처리장치의 단면도이다.

도 21은 제 10 변형예의 또 다른 처리장치의 단면도이다.

도 22는 수용박스의 또 다른 실시예를 나타내는 도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 도포·현상처리시스템 3 : 카세트 재치대

4 : 로더·언로더 5 : 본체

6 : 판상체 10, 11 : 반송로

12 : 전달부 16 : 세정장치

17 : 현상장치 18, 22 : 가열장치

20 : 어드히젼장치 21 : 쿨링장치

23 : 레지스트 도포장치 25 : 제 1 반송장치

26 : 제 2 반송장치 35 : 레일

40, 80 : 기판반송장치 41 : 반송방향 이동체

43, 82 : 회전축 44 : 지지부재

44a : 측판부 44b, 69 : 모터

44c : 축부재

50, 110, 120, 130, 150, 170, 183 : 수용박스

51 : 칸막이판 51a, 51b : 방

52 : 측벽 53 : 격벽

53a : 슬릿 53b : 순환용 구멍

55 : 정전기 감시모니터 56 : 정전기 제거장치

58, 124, 172, 173 : 뚜껑부재 58a, 58b : 결합돌기

58c : 손잡이부 58d : 누름버튼

60, 83, 160 : 기판전달부재 61 : 기부

62 : 장편(長片) 62a, 63a : 핀부재

63 : 단편(短片) 64 : 실드바(Shield bar)

65, 66 : 풀리 67 : 구동벨트

67a : 가이드레일 68 : 연결부재

70, 122, 147 : 필터부재 71 : 팬

72 : 송풍기구 73, 123 : 흡인용 팬

83a : 기판재치부 84 : 파티클 제거수단

84a : 베이스판 84b : 지주(支柱)부재

84c : 필터 84d : 팬

90 : 컴퓨터 100 : 송풍제어부

101 : 송풍센서 102 : 경보수단

103 : 대면상태 검지수단 111, 122, 141, 142 : 개구부

112 : 주름상자 113, 180 : 처리장치

114 : 반입반출구 121, 148, 151 : 흡입팬

125 : 이온화장치 142, 144 : 에어커텐

145 : 재치대 146, 171, 174 : 핀

152 : 간격 155 : 편향판

161 : 수평다관절형 기구 162 : 제 1 아암

163 : 제 2 아암 164 : 제 1 축

165 : 제 2 축 166 : 제 3 축

181 : 에어커텐장치 184 : 셔터장치

221 : 실드벨트 222, 223 : 연결부재

C : 카세트 G : 유리기판

본 발명은, 예를들어 액정표시(Liquid Crystal Display : LCD)에 사용되는 유리기판 등의 피처리기판 상에 도포·현상처리를 실시하는 도포·현상장치 등의 처리장치에 대하여, 피처리기판을 반입반출하기 위해 이용되는 기판반송장치에 관한 것이다.

LCD 제조공정에 있어서는, LCD용 유리기판 상에 ITO(Indium Tin Oxide)의 박막이나 전극 패턴을 형성하기 위하여, 반도체 디바이스의 제조에 이용되어지는 것과 같은 포토리소그래피 기술이 이용된다. 포토리소그래피 기술에서는, 포토레지스트를 세정한 기판에 도포하고, 이를 노광하여 현상한다.

피처리기판인 유리기판은, 기판반송장치에 보지되어 반송로 상을 이동하고, 각종 처리장치에 반입되어 각 처리장치에서 처리되어진 후 반출되어져 다시 기판반송장치에 의해 다음 공정으로 반송된다.

상기와 같은 제조공정에 있어서는, 기판에 먼지(파티클)가 부착하지 않는 환경하에서 실시할 필요가 있어, 통상적으로 상기한 각종의 처리장치를 클린룸 내에 설치하거나, 장치 내외의 기판반송영역에 HEPA필터를 설치하여 저(低) 파티클 환경을 형성하고 있다.

그렇지만, 상기한 수단에서는 클린룸 전체 혹은 기판반송영역 전체라는 넓은 범위를 클린환경으로 할 필요가 있기 때문에, 그 비용이 비싸다는 문제가 있었다. 특히, 생산효율을 높이기 위하여 도포·현상장치 뿐만이 아니라 다른 처리장치, 예를들어 CVD장치, 에쳐(Etcher), 애셔(Asher) 등도 포함하여 1라인화 하는 시스템을 생각할 수 있는데, 클린환경을 형성하는 범위가 더욱 광범위해져 그로 인한 비용이 더욱 높아질 우려가 있다.

본 발명은 상기한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 클린화할 필요가 있는 공간을 가능한 한 적게 할 수 있는 기판반송장치를 제공할 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위하여, 청구항 1에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 반송로를 따라 이동가능한 반송방향 이동체와, 상기 반송방향 이동체에 대하여 수평회전이 가능한 회전축을 매개로 하여 지지되어진 수용박스와, 상기 수용박스 내에 설치되어짐과 동시에, 처리장치의 반입반출구에 대치한 자세에 있어서 해당 반입반출구에 분리 및 접근하는 방향으로 이동가능하며, 상기 수용박스에 형성된 개구부를 통하여 처리장치에 대해서 보지한 기판을 전달할 수 있는 기판전달부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 청구항 1에 기재된 기판반송장치에 있어서, 상기 수용박스 내에 복수단의 기판재치부를 갖춘 기판전달부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 기판반송장치에 있어서, 상기 수용박스가 복수단으로 적층되어 설치되고, 그 각각에 상기 기판전달부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 청구항 1 또는 청구항 2에 기 재된 기판반송장치에 있어서, 상기 수용박스가 거의 수평으로 재치된 칸막이판을 사이에 두고 복수실로 구분되고, 상기 기판전달부재가 구분된 각 방마다에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 5에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 청구항 1∼4의 어느 한 항에 기재된 기판반송장치에 있어서, 상기 수용박스에 형성된 개구부에 개폐가능한 뚜껑부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 6에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 청구항 1∼4의 어느 한 항에 기재된 기판반송장치에 있어서, 상기 수용박스에 형성된 개구부가 상시 개구되어 있는 구조임과 동시에, 상기 수용박스 내부를 양압으로 유지하기 위한 압력제어기구를 갖추고 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 7에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 청구항 1∼4의 어느 한 항에 기재된 기판반송장치에 있어서, 상기 수용박스에 형성된 개구부가 상시 개구되어 있는 구조임과 동시에, 상기 수용박스의 개구부에 대향하는 면측으로부터 상기 개구부를 통하여 외부로 흐르는 기류를 형성하는 송풍기구를 갖추고 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 8에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 청구항 1∼7의 어느 한 항에 기재된 기판반송장치에 있어서, 상기 수용박스 내의 상태를 감시하는 감시장치가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 9에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 반송로를 따라 이동가능한 반송방향 이동체와, 상기 반송방향 이동체에 대하여 수평회전이 가능한 회전축을 사 이에 두고 지지되어 있음과 동시에, 처리장치의 반입반출구에 대치한 자세에 있어서 상기 반입반출구에 분리 및 접근하는 방향으로 이동이 가능하며, 처리장치에 대하여 보지한 기판을 전달할 수 있는 기판전달부재와, 상기 기판전달부재의 근방에 배치되는 흡진(吸塵)용 필터를 갖춘 파티클 제거수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

청구항 10에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 청구항 9에 기재된 기판반송장치에 있어서 상기 파티클 제거수단을 구성하는 필터가 상기 기판전달부재의 상방에 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 11에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 청구항 9 또는 청구항 10에 기재된 기판반송장치에 있어서, 상기 파티클 제거수단이 상기 기판전달부재의 주위를 덮을 수 있는 벽부를 가지는 것을 특징으로 한다.

청구항 12에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 청구항 9∼11의 어느 한 항에 기재된 기판반송장치에 있어서, 상기 기판전달부재가 복수단의 기판재치부를 갖추고 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 1에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스 내에 설치되어 있음과 동시에, 처리장치의 반입반출구에 대치한 자세에 있어서 상기 반입반출구에 분리 및 접근하는 방향으로 이동이 가능한 기판전달부재에 의하여 기판을 보지하고 있는 구성이다. 따라서, 기판의 반송영역을 클린환경으로 할 필요가 없어지고, 클린환경의 형성비용을 크게 삭감할 수 있다.

청구항 2에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스 내에 복수단의 기판 재치부를 갖춘 기판전달부재가 설치되어 있다. 따라서, 복수의 기판을 동시에 반송할 수 있어, 기판의 연속처리에 적합하다.

청구항 3에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스가 복수단으로 적층되어 설치되며, 그 각각에 상기 기판전달부재가 설치되어 있다. 따라서, 복수의 기판을 동시에 반송할 수 있어 기판의 연속처리에 적합하다.

청구항 4에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스가 거의 수평으로 배치된 칸막이판을 사이에 두고 복수실로 구분되고, 상기 기판전달부재가 구분된 각 방마다 설치되어 있다. 따라서, 복수의 기판을 동시에 반송할 수 있어 기판의 연속처리에 적합하다.

청구항 5에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스에 형성된 개구부에 개폐가능한 뚜껑부재가 설치되어 있다. 따라서, 처리장치와의 사이에서 기판의 주고받기를 수행할 때에만 이 뚜껑부재를 개폐시키도록 하면, 이동중에 외부의 파티클이수용박스 내에 침입하지 못하게 된다.

청구항 6에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스에 형성된 개구부가 상시 개구되어 있는 구조인 한편, 상기 수용박스 내부를 양압으로 유지하기 위한 압력제어기구를 갖추고 있다. 따라서, 기판의 전달을 수행하는 개구부가 상시 개구되어 있어도 수용박스 밖에서 부유하는 파티클이 수용박스 내로 침입하지 못하게 된다. 또한, 기판의 전달을 수행하는 개구부가 상시 개구되어 있어 상기 개구부를 개폐하는 개폐기구가 설치되어 있지 않기 때문에, 기판의 전달을 신속하게 수행할 수 있다.

청구항 7에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스에 형성된 개구부가 상시 개구되어 있는 구조인 한편, 상기 수용박스의 개구부에 대향하는 면측으로부터상기 개구부를 통해 외부로 흐르는 기류를 형성하는 송풍기구를 갖추고 있다. 따라서, 기판의 전달을 수행하는 개구부가 상시 개구되어 있어도, 수용박스 밖에서 부유하는 파티클이 수용박스 내로 침입하지 못한다. 또한, 기판의 전달을 수행하는 개구부가 상시 개구되어 있어 이 개구부를 개폐하는 개폐기구가 설치되어 있지 않기 때문에, 기판의 전달을 신속하게 수행할 수 있다.

청구항 8에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스 내의 상태를 감시하는 감시장치가 설치되어 있다. 따라서, 수용박스 내의 상태를 기판에 양호한 환경으로 유지하는 것이 용이해진다. 특히, 수용박스에 의하여 기판이 밀폐적 공간으로 보지되어 있기 때문에, 양호한 환경으로 제어하기가 용이하다.

청구항 9에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 기판전달부재의 근방에 배치되는 흡진용 필터를 갖춘 파티클 제거수단을 구비하고 있다. 따라서, 기판전달부재에 보지된 기판주위의 공기는, 상기 필터에 의하여 항상 정화되기 때문에, 기판주위를 항상 저 파티클환경으로 유지할수 있다. 따라서, 기판의 반송영역 전체를 클린환경으로 할 필요가 없어져 클린환경의 형성비용을 크게 삭감시킬 수 있다.

청구항 10에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 상기 파티클 제거수단을 구성하는 필터가 상기 기판전달부재의 상방에 설치되어 있기 때문에, 부유하는 파티클 을 효과적으로 제거할 수 있다.

청구항 11에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 상기 파티클 제거수단이 상 기 기판전달부재의 주위를 덮을 수 있는 벽부를 가지고 있기 때문에, 외부로부터 침입하는 파티클이 적어지게 되어 기판주위에 보다 높은 클린환경을 형성할 수 있다.

청구항 12에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 복수단의 기판재치부를 갖춘 기판전달부재가 설치되어 있다. 따라서, 복수의 기판을 동시에 반송할 수 있어 기판의 연속처리에 적합하다.

청구항 13에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스에 설치한 감시장치를 풍속센서와 송풍기구의 팬을 동작제어하는 송풍제어부로 구성하고 있기 때문에, 필터의 구멍들이 점점 막혀 송풍압력이 저하된 것을 송풍센서가 검지하여, 이를 바탕으로 송풍제어부에 의해 팬의 회전이 커지도록 제어하고, 풍량을 최적량이 되도록 유지하고, 수용박스 내에는 안정된 기류를 기판전달부재로 송풍한다.

청구항 14에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 필터의 구멍들이 막히게 되었을 때 경보를 울리는 경보수단을 송풍제어부에 설치하였기 때문에, 필터의 막힘을 감각적으로 알려준다.

청구항 15에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스의 개구부가 상기 처리장치의 반입반출구에 대치한 자세에 있을 때, 송풍제어부에 의하여 송풍기구의 팬에 의한 송풍량을 적게 하는 대면상태 검지수단을 설치하였기 때문에, 수용박스로부터 뜻하지 않게 처리장치의 반입반출구를 통해 여분의 에어가 유입되는 일이 없다.

청구항 16에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스의 개구부 둘레에 상기 처리장치의 반입반출구를 덮는 신축부재를 설치하였기 때문에, 유리기판이 전달될 때 수용박스와 처리장치와의 사이에 어떠한 간격이 있더라도 신축부재에 의하여 유리기판의 주위로부터 차단되어진다.

청구항 17에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스의 천정에 송풍기구를 설치하고, 상기 천정으로부터 하방을 향해 에어를 뿜어내는 구성으로 함으로써, 개구부를 향해 에어가 흐르지 않게 된다. 따라서, 처리장치에 대면한 경우라도 수용박스로부터 에어가 처리장치 내로 유입되는 양을 줄일 수 있다.

청구항 18에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스가 반송로를 따라 이동할 때, 수용박스의 개구부와 대향하는 면을 이동하는 방향으로 향하여 이동시키는 구성을 하였기 때문에, 수용박스의 개구부를 진행방향을 향하지 않고, 대향하는 면, 즉 배면을 이동하는 방향으로 향하여 이동한다.

청구항 19에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 기판전달부재를 수평다관절기구에 의해 이동할 수 있도록 구성하였기 때문에, 감기전동기구나 습동기구 등을 사용하는 것과는 달리, 파티클이 발생하는 기계적 구성부위가 적어져 그 만큼 수용박스공간에서의 파티클의 발생을 억제할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시예를 도면을 바탕으로 설명하기로 한다. 우선, 도 1을 바탕으로 본 발명의 기판반송장치가 이용되는 처리시스템인 도포·편상처리시스템의 전체구조에 대하여 설명하기로 한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 도포·현상처리시스템(1)의 전방에는, 처리 대상인 유리기판(G)을 도포·현상처리시스템(1)에 대하여 반입반출하는 로더·언로더부가 설치되어 있다. 상기 로더·언로더부에는, 유리기판(G)을 복수 수납한 카세트(C)를 소정위치로 정렬시켜 재치시키는 카세트 재치대(3)와, 각 카세트(C)로부터 처리할 유리기판(G)을 꺼내고, 또한 도포·현상처리시스템(1)에 있어서 처리가 종료된 유리기판(G)을 각 카세트(C)로 되돌리는 로더·언로더(4)가 설치되어 있다. 로더·언로더(4)는, 본체(5)의 주행에 의하여 카세트(C)의 배열방향으로 이동하고, 본체(5)에 탑재된 판상체(6) 상에 유리기판(G)을 재치하여 제 1 반송장치(25)에 전달하는 것이다.

도포·현상처리시스템(1)의 중앙부에는, 길이방향으로 배치된 복도모양의 반송로(10, 11)가 전달부(12)를 사이에 두고 일직선상으로 설치되어 있으며, 상기 반송로(10, 11)의 양측에는 유리기판(G)에 대하여 각 처리를 수행하기 위한 각종 처리장치가 배치되어 있다.

도시한 도포·현상처리시스템(1)에 있어서는, 반송로(10)의 일측방에 유리기판(G)을 브러시세정함과 동시에 고압제트수에 의하여 세정을 실시하기 위한 세정장치(16)가 예를들어 2대 나란히 설치되어 있다. 또한, 반송로(10)를 사이에 두고 반대측으로 2대의 현상장치(17)가 나란히 설치되고, 그 옆에 2대의 가열장치(18)가 적층되어 설치되어 있다.

또한, 반송로(11)의 일측방에 유리기판(G)에 레지스트액을 도포하기 전에 유리기판(G)을 소수처리하는 어드히젼장치(20)가 설치되고, 상기 어드히젼장치(20)의 하방에는 냉각용 쿨링장치(21)가 배치되어 있다. 또한, 이들 어드히젼장치(20)와 쿨링장치(21)의 옆에는 가열장치(22)가 2열로 2개씩 적층되어 배치되어 있다. 또한, 반송로(11)를 사이에 두고 반대측에 유리기판(G)의 표면에 레지스트액을 도포함으로써 유리기판(G)의 표면에 레지스트막을 형성하는 레지스트 도포장치(23)가 배치되어 있다. 도시는 생략하였지만, 이들 도포장치(23)의 측부에는 유리기판(G) 상에 형성된 레지스트막에 소정의 미세패턴을 노광하기 위한 노광장치 등이 설치된다.

이상의 각 처리장치(16∼18) 및 (20∼23)는, 모두 반송로(10, 11)의 양측에 있어서 유리기판(G)의 반입반출구가 내측을 향해 설치되어 있다. 제 1 반송장치(25)가 로더·언로더부, 각 처리장치(16∼18) 및 전달부(12)와의 사이에서 유리기판(G)을 반송하기 위하여 반송로(10) 상을 이동하고, 제 2 반송장치(26)가 전달부(12) 및 각 처리장치(20∼23)와의 사이에서 유리기판(G)을 반송하기 위하여 반송로(11) 상을 이동하도록 되어 있다

다음으로, 상기한 제 1 반송장치(25) 및 제 2 반송장치(26)로서 채용되는 본 발명의 제 1 형태에 관한 기판반송장치(40)의 구체적인 구조를 설명하기로 한다. 도 2는 상기 기판반송장치(40)의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 3은 내부구조를 나타낸 평면도이다.

기판반송장치(40)는 반송로(10, 11)를 따라 설치된 레일(35) 상을 Y방향(반송방향)을 따라 이동가능한 반송방향 이동체(41)를 가지고 있다. 상기 반송방향 이동체(41)는, 본 실시예에서는 레일(35)을 넘어 걸쳐지도록 설치되고, 내부에 설치된 도시를 생략한 구동모터의 구동에 의하여 이동한다. 상기 반송방향 이동체(41) 의 상부에는, 도시를 생략한 모터에 의하여 θ방향(수평방향)으로 회전가능하게 되어 있는 회전축(43)이 설치되어 있다. 상기 회전축(43)은 또한 반송방향 이동체(41) 내에 설치된 승강부(도시생략)에 의하여 상하방향(Z방향)으로 동작하도록 설치되어 있다.

회전축(43)의 상부에는, 거의 コ자형의 지지부재(44)가 개방측을 상방으로 향해 설치되어 있으며, 상기 지지부재(44)의 측판부(44a)간에서 수용박스(50)를 보지하고 있다. 구체적으로는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 측판부(44a)에 부설된 모터(44b)의 축부재(44c)에 수용박스(50)를 연결하여 지지하고 있다. 상기 모터(44b)의 구동에 의하여, 상기 축부재(44c)를 중심으로 수용박스(50)의 전방부 및 후방부를 상하로 틸트조정할 수 있으며, 회전축(43)을 수평방향으로 회전시킨 경우의 선회에 필요한 영역을 작게할 수 있다.

상기 수용박수(50)의 내부는 수평으로 설치된 칸막이판(51)에 의하여 상하 2개의 방(51a, 51b)으로 구분되어 있다. 또한, 각 방(51a, 51b)의 각각에 기판전달부재(60)가 설치되어 있다.

기판전달부재(60)는, X방향(도 2에 나타낸 바와 같이, 처리장치에 대치하였을 때 당해 처리장치에 분리 및 접근하는 방향)으로 이동가능하고, 모두 도 3의 평면도에 나타낸 바와 같이, 기부(61)에 대하여 돌출되어 있으며, 평면에서 봐서 중앙부근에 소정간격을 두고 설치되는 한쌍의 장편(長片)(62)과, 각 장편(62)에 대하여 각각 간격을 두고 양 단에 설치되는 단편(63)을 갖추고 있다. 장편(62) 및 단편(63)의 각 선단부에는 각각 조정용 핀부재(62a, 63a)가 설치되어 있으며, 장편(62)의 핀부재(62a)에 의하여 유리기판(G)의 전단가장자리가 가지런해지고, 단편(63)의 핀부재(63a)에 의하여 유리기판(G)의 각 측단가장자리가 가지런해진다.

기판전달부재(60)를 X방향으로 구동시키는 수단은 한정되는 것이 아니지만, 본 실시예에서는, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이 수용박스(50)의 각 측벽(52)에 평행하면서 동시에 상기 각 측벽(52) 보다도 내부에 설치한 격벽(53)에 슬릿(53a)을 형성하고, 상기 슬릿(53a)에 기판전달부재(60)의 기부(61)의 각 측단을 삽입하여 돌출시키고, 상기 돌출부를 슬릿(53a)을 따라 배치한 상기 슬릿(53a)으로부터의 파티클의 침입을 방지하는 실드바(Shield Bar)(64)에 접속하고, 상기 실드바(64)를 X방향으로 동작 가능하게 함으로써 구동시키고 있다. 실드바(64)는 도 4에 나타낸 바와 같이 격벽(53)의 외측에 있어서 상기 격벽(53)을 따라 소정간격을 두고 배치된 2개의 풀리(65, 66)에 걸쳐지는 구동벨트(67)에 대하여, 연결부재(68)를 사이에 두고 연결되어 있으며, 상기 구동벨트(67)를 2개의 풀리(65, 66)간에서 회전구동시키는 모터(69)를 동작시킴으로써, X방향으로 동작하도록 구성되어 있다. 또한, 부호 67a는 상기 구동벨트(67)의 하방에 설치된 연결부재(68)의 가이드레일이다. 또한, 도 4에 나타낸 구동기구는 도 3에 나타낸 바와 같이 수용박스(50)의 좌우양방으로 설치되어 있으며, 그 중 한쪽에 의해 상측의 방(51a)에 설치된 기판전달부재(60)가 구동되고, 다른쪽에 의해 하측의 방(51b)에 설치된 기판전달부재(60)가 구동된다.

수용박스(50)의 후측부에는, HEPA필터 등의 필터부재(70)와 상기 필터부재(70)의 후측부에 설치되는 팬(71)을 갖춘 송풍기구(72)가 설치되어 있다. 상기 송풍기구(72)를 구동함으로써, 수용박스(50)의 전면에 형성된 개구부가 상시 개구되어 있는 구조라도, 후방으로부터 이 개구부를 향한 기류가 형성됨으로써 상기 개구부를 통해 수용박스(50) 내에 외부 파티클이 침입하는 것을 막을 수 있다.

또한, 본 실시예와 같이 격벽(53)을 설치한 경우에는, 예를들어 격벽(53)의 전방(개구부쪽)의 적절한 위치에 기류를 순환시키는 순환용 구멍(53b)을 형성함과 동시에, 각 격벽(53)과 측벽(52)과의 사이의 후측부에 흡인용 팬(73)을 설치함으로써, 상기 순환용 구멍(53b)과, 각 격벽(53)과 측벽(52)과의 간격(54)을 통하여도 수용박스(50) 내부의 공기를 적극적으로 외부로 배출할 수 있다. 이 경우, 흡인용 팬(73)을 설치하면 물론 바람직하지만, 이와 같은 팬(73)을 설치하지 않고 측벽(52) 등에 배출구를 설치하여 격벽(53)의 순환용 구멍(53b)을 경유한 기류를 외부로 배출하는 구성으로 할 수도 있다.

또한, 수용박스(50)에는, 그 내부를 감시하는 감시장치를 설치하는 것이 바람직하다. 예를들어, 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 수용박스(50)의 내부에 정전기 감시모니트(55)와 정전기 제거장치(56)를 설치하면, 정전기 감시모니트(55)에 의하여 정전기가 생긴 것을 확인하여, 곧바로 정전기 제거장치(56)를 동작시켜 정전기를 제거할 수 있으며, 이와 같이 함으로써, 수용박스(50) 내를 유리기판(G)에게 양호한 상태로 유지할 수 있다. 이 때, 본 실시예에 있어서는, 유리기판(G)이 수용박스(50)라는 밀폐적 공간에서 보지되어 있기 때문에, 정전기 제거 등을 효율적으로 수행할 수 있다. 또한, 감시장치로는, 정전기 감시모니터 외에 파티클 감시장치 등을 설치할 수도 있다.

다음으로, 본 실시예에 관한 기판반송장치(40)의 작용을 설명하기로 한다. 우선, 반송방향 이동체(41)의 구동에 의하여 기판반송장치(40)가 반송로(10)를 따라 이동하고, 로더·언로더(4)에 접근하여 기판전달부재(60)를 전진동작시켜 수용박스(50)로부터 돌출시켜, 상기 기판전달부재(60)의 장편(62), 단편(63) 상에 로더·언로더(4)에 보지되어 있는 유리기판(G)을 건네받는다. 그 후, 기판전달부재(60)는 후퇴동작하여 수용박스(50) 내에 수용된다. 또한, 이 때, 상하 2개의 기판전달부재(60)의 양방에 유리기판(G)을 건네받을 수 있다.

이 때, 수용박스(50)의 후측부에 배치된 송풍기구(72)의 팬(71)이 구동하고 있음으로써, 수용박스(50) 내에는 상기 수용박스(50)의 개구부에 대향하는 면측(후측부)으로부터 상기 개구부를 통하여 외부로 흐르는 기류가 형성된다. 따라서, 기판의 전달을 수행하는 수용박스(50)의 개구부가 상시 개구되어 있어도, 이동중에 수용박스(50) 밖에서 부유하는 파티클이 수용박스(50) 내로 침입하는 일은 거의 없다.

기판반송장치(40)는, 유리기판(G)을 건네받으면 목적하는 처리장치가 배치되어 있는 부근까지 반송방향 이동체(41)의 구동에 의해 Y방향으로 이동한다. 다음으로, 회전축(43)을 소정각도 θ방향으로 회전시켜 수용박스(50)의 개구부를 당해 처리장치와 마주보게 하고, 또한 회전축(43)을 상하방향(Z방향)으로 동작시켜 상기 수용처리장치의 반입반출구와 대향시킨다.

이와 같은 상태에서, 상기 수용장치의 반입반출구를 개폐하는 셔터를 개방동작시켜, 한쪽의 예를들어 수용박스(50)의 하측 방(51b)에 배치된 기판전달부재(60) 의 모터(69)를 동작시켜 구동벨트(67)를 구동하고, 상기 기판전달부재(60)를 X방향으로 전진동작시킨다. 그리고, 처리장치 내의 처리부, 예를들어 스핀척이나 지지핀 상에 유리기판(G)을 건네받는다.

처리부에 있어서 소정의 처리가 종료되면, 다시 처리장치의 반입반출구를 개폐하는 셔터를 개방동작시켜, 수용박스(50)의 하측 방(51b)에 배치된 기판전달부재(60)를 전진시키고, 처리부로부터 상기 기판전달부재(60)의 장편(62) 및 단편(63) 상에 유리기판(G)을 건네받는다. 다음으로, 상기 기판전달부재(60)를 후퇴시켜 수용박스(50)의 하측 방(51b) 내에 수용한다. 계속해서, 수용박스(50)의 상측 방(51a)에 배치된 기판전달부재(60)를 전진시켜, 상기 기판전달부재(60)에 재치된 유리기판(G)을 상기와 마찬가지로 처리한다.

또한, 상기의 설명에서는, 수용박스(50) 내의 2개의 기판전달부재(60)에 모두 미처리의 유리기판(G)을 보지시키고 있는데, 하측 방(51b)에 배치된 기판전달부재(60)에는 미처리의 유리기판(G)을 보지하고, 상측 방(51a)에 배치된 기판전달부재(60)에는 처리종료된 유리기판(G)을 보지하도록 할 수도 있다.

또한, 상기의 구성에서는, 필터(70)와 팬(71)으로 이루어지는 송풍기구(72)에 의하여, 상시 개구되어 있는 수용박스(50)의 개구부로부터의 파티클의 침입을 방지하는 구조이지만, 상기 송풍기구(72) 대신에 수용박스(50)의 내부를 상시 양압으로 하는 압력제어기구(도시생략)를 설치하고, 이로 인해 외부 파티클의 침입을 막는 구조로 할 수도 있다. 또한, 상기한 송풍기구(72)는 상시 수용박스(50) 내로부터 외부로 송풍하고 있는 구성이기 때문에, 이에 의해서도 수용박스(50)의 내부 는 양압으로 되어 있다. 즉, 상기 송풍기구(72)도 실질적으로 압력제어기구로서 기능하고 있다.

또한, 상기의 설명에서는, 수용박스(50)의 전면에 형성한 개구부가 상시 개구되어 있는 구성이지만, 상기 개구부에 개폐가능한 뚜껑부재(58)를 설치하도록 하여도 좋다. 뚜껑부재(58)의 구성은 한정되는 것은 아니지만, 예를들어 도 5에 나타낸 바와 같이, 중앙부근에 형성된 손잡이부(58c)를 가짐과 동시에, 상기 손잡이부(58c)의 둘레면에 누름버튼(58d)을 설치하고, 또한 상기 누름버튼(58d)의 누름조작에 연동하여 측부로부터 돌출되거나 매몰되어, 수용박스(50)의 측벽(52)에 결합되는 결합돌기(58a, 58b)를 가지는 것을 이용할 수 있다. 또한, 이 경우, 누름버튼(58d)을 누르는 수단으로는, 예를들어 처리장치의 반입반출구에 설치되는 셔터에 손잡이부(58c)를 수용할 수 있는 오목부와, 상기 오목부 내에 돌출되어 설치한 돌출편을 설치해 두고, 손잡이부(58c)가 상기 오목부에 끼워지면 상기 돌출편에 의하여 누름버튼(58d)이 눌려져 결합돌기(58a, 58b)의 결합이 해제되는 구성을 도입할 수 있다. 결합돌기(58a, 58b)의 결합이 해제되었으면, 셔터와 함께 뚜껑부재(58)를 처리장치의 임의부위에 수용하고, 유리기판(G)의 전달을 수행한다. 물론, 상기 뚜껑부재(58)를 개폐하는 기구를 수용박스(50) 자체에 설치할 수도 있다.

또한, 뚜껑부재(58)를 설치한 경우에는, 유리기판(G)의 반송중, 개구부로부터의 파티클의 침입이 없어진다. 따라서, 상기한 송풍기구(72)나 압력제어기구를 설치하지 않는 구성으로 할 수도 있는데, 이 경우에도 송풍기구(72) 등을 수용박스(50)의 후측부에 설치하는 식으로 하여, 상기 뚜껑부재(58)를 개방하여 처리장치와의 사이에서 유리기판(G)의 전달을 수행하고 있을 때 파티클이 침입하지 않도록 유리기판(G)의 전달시에만 송풍할 수 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다.

또한, 상기한 구성에서는 수용박스(50)에 칸막이판(51)을 설치하여 복수의 방(51a, 51b)으로 나누고, 그 각각에 기판전달부재(60)를 설치하고 있는 구성이지만, 칸막이판(51)을 설치하지 않고, 기판전달부재(60)를 하나만 설치하는 구성으로 도 물론 할 수 있다. 나아가, 하나의 기판전달부재(60)를 설치한 수용박스(50)를 복수단 적층하도록 할 수도 있다.

다음으로, 도 6 및 도 7을 바탕으로, 본 발명의 다른 실시예에 대하여 설명하기로 한다. 본 실시예에 관한 기판반송장치(80)는, 상기 실시예의 기판반송장치(40)와는 달리 수용박스(50)를 가지고 있지 않고, 반송방향 이동체(81)에 대하여 수평회전이 가능한 회전축(82)이 직접 지지된 기판전달부재(83)를 가지고 있다. 또한, 회전축(82)은 상하이동이 가능하게 설치되어 있으며, 기판전달부재(83)가 처리장치의 반입반출구에 대하여 대치가능한 것은 상기 실시예와 마찬가지이다.

기판전달부재(83)는 기판재치부가 하나의 타입이라도 좋지만, 본 실시예에서는 기판재치부(83a)가 2단으로 설치되어 있다. 또한, 기판전달부재(83)의 형상은 한정되는 것은 아니지만, 예를들어 상기 실시예와 마찬가지로 평면에서 봐서 거의 중앙부근에 장편을 가지고, 양단 부근에 단편을 갖추는 형상을 도입할 수 있다.

본 실시예에서는, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 회전축(82)에 연결된 베이스판(84a)과, 상기 베이스판(84a)의 네 귀퉁이에 설치된 지주(支柱)부재(84b)와, 상기 지주부재(84b)의 상부에 지지된 HEPA필터 등의 필터(84c)와, 상기 필터(84c)의 상부에 설치된 팬(84d)을 갖춘 파티클 제거수단(84)을 가지고 구성되어 있다. 즉, 유리기판(G)을 보지하고 있는 기판전달부재(83)의 주위환경 만을 클린화하고자 하는 구성이다.

본 실시예에 의하면, 파티클 제거수단(84)의 팬(84d)을 구동함으로써, 외부의 공기가 필터(84c)를 통과하여 파티클이 흡진되고 클린화된 후, 기판전달부재(83)에 보지된 유리기판(G)에 접촉한다. 따라서, 기판반송영역 전체를 클린화하지 않아도, 유리기판(G)에 대한 파티클의 부착을 막을 수 있다.

본 실시예에서는, 기판전달부재(83)의 상방에 파티클 제거수단(84)이 설치되고, 상기 기판전달부재(83)의 주위는 개방된 상태이지만, 파티클 제거수단(84)으로서 상기 기판전달부재(83)의 주위를 덮을 수 있는 벽부를 가지는 구조의 것을 이용할 수도 있다. 단, 이 경우에는, 상기 벽부 또는 상기 베이스판(84a)중 어느 하나에 공기류의 배출구를 설치해 둔다.

또한, 본 실시예에 있어서도, 상기 실시예와 같이 파티클 제거수단(84)의 하부 등에 정전기 감시모니터 등의 감시장치나 정전기 제거장치 등을 부설하는 것도 가능하다.

또한, 이에 한하지 않고, 도 8에 나타낸 바와 같이, 예를들어 각 처리장치 A∼D의 반입반출 부근 a에 유리기판(G)의 반입반출 주기의 감시모니터나 정전기 감시모니터를 설치함과 동시에, 반송로(10, 11) 중의 적절한 장소 b에 파티클 감시모 니터를 설치할 수도 있다. 그리고, 각 처리장치 A∼D의 반입반출 부근 a, 반송로(10, 11) 중의 적절한 장소 b, 및 기판반송장치(40, 80)의 적절한 장소 c에 설치되는 각 감시장치를 네트워크로 연결하고, 그 상태를 항상 컴퓨터(90)에 의하여 모니터링하며, 필요에 따라서 각 처리장치 A∼D에 피이트백함으로써, 반송라인 전체를 유리기판(G)에 적절한 환경으로 유지할 수 있음과 동시에, 처리효율의 향상에도 기여한다.

다음으로, 도 9에 나타낸 송풍기구(72)에 대한 제 1 변형예를 설명하기로 한다. 도 3의 수용박스(50) 내에 설치한 감시장치로서 정전기 제거장치(56)를 설치하여, 송풍기구의 팬(71)으로부터 개구부를 향하여 불어오는 에어를 제전시키고, 이에 의해 유리기판(G)에 대한 파티클의 부착을 방지하고 있는데, 제 1 변형예와 같이 수용박스(50)에 송풍제어부(100)와 풍속센서(101)를 설치하고, 이로 인해 송풍기구(72)를 제어하도록 구성할 수도 있다. 즉, 수용박스(50)의 천정측 상면 등의 적절한 장소에 팬(71)으로부터 불어오는 기류의 풍속을 검지하는 풍속센서(101)를 설치한다. 그리고, 풍속센서(101)에 의하여 검지한 신호를 바탕으로 한 전압값이, 필요한 임계값 보다도 작은지의 여부가 송풍제어부(100)에서 비교 판단되어진다. 전압값이 임계값 보다도 작다고 판단한 경우에는, 필터(70)가 파티클에 의해 막히게 된다는 것을 인식하고, 검지한 전압값에 따른 팬(71)의 회전수 구동신호가 송풍제어부(100)로부터 출력되어, 팬(71)은 그 회전수가 증대되도록 제어된다. 또한, 이 경우, 팬(71)의 회전수가 증대하도록 제어가 이루어질 때에는, 램프를 점등하거나, 소리를 내는 등의 경보수단(102)을 작동하여 필터(70)의 교환을 작업자에게 알 리도록 구성한다.

제 1 변형예는 이와 같은 구성으로 하였기 때문에, 필터(70)가 막히게 되어 송풍량이 저하되어도, 송풍제어부(100)에 의하여 팬(71)의 회전수가 자동적으로 높아지게 되고, 수용박스(50)에 뿜어내어지는 풍량을 상시 일정하게 함과 동시에 또한 균일한 기류를 흘려보내도록 유지할 수 있어, 그 만큼 파티클의 부착방지에 유리하다. 또한, 경보수단(102)이 작동하기 때문에, 필터(70)의 교환을 작업자에게 알릴 수 있어 편리하다.

다음으로, 제 2 변형예는 도 9에 나타낸 바와 같이 송풍제어부(100)에 대면상태 검지수단(103)을 접속시킨 구성의 것이다. 상기 대면상태 검지수단(103)은, 수용박스(50)가 처리장치와의 사이에서 유리기판(G)을 전달하는 상태가 되었을 때, 그 상태를 검지한 신호가 송풍제어부(100)에 입력된다. 이로 인해, 송풍제어부(100)는, 팬(71)의 회전수가 작아지도록 제어신호를 출력한다. 한편, 흡인용 팬(73)에 대해서는 그 회전수가 커지도록 제어신호가 출력된다.

따라서, 제 2 변형예에 의하면, 대면상태 검지수단(103)에 의하여 수용박스(50)가 처리장치와 대면하여 유리기판(G)의 전달이 이루어지는 상태를 검지하였을 때, 팬(71)의 회전은 약해지고 흡인용 팬(73)의 회전은 강해지도록 제어된다. 따라서, 유리기판(G)의 전달시, 수용박스(50)의 개구부를 통하여 처리장치의 반입반출구로 유입되는 에어량을 적게할 수 있으며, 파티클의 부착을 줄이는데 유리하게 된다.

다음으로, 도 10에 나타낸 제 3 변형예는, 수용박스(110)의 개구부(111) 둘 레에 자유롭게 수축하여 변형되는 주름상자(112)를 설치하고, 개구부(111)가 처리장치(113)의 반입반출구(114)에 대면하여 유리기판(G)을 전달하는 상태로 되었을 때, 주름상자(112)가 반입반출구(111)에 밀착하는 구성이다.

제 3 변형예에 의하면, 수용박스(110)와 처리장치(113)와의 사이에 여러가지 서로 다른 간격이 있어도, 주름상자(112)가 반입반출구(114)에 완전하게 밀착하기 때문에, 간격을 통해 파티클이 처리장치(113)에 혼입되는 것을 막을 수 있다. 또한, 주름상자(112)는 처리장치 측에 설치되어 있어도 물론 상관없다.

다음으로, 도 11에 나타낸 제 4 변형예를 설명하면, 수용박스(120)의 천정에 흡입팬(121)과 필터부재(122)가 설치되고, 개구부 반대측 배면에 흡인용 팬(123)을 설치하고 있다. 또한, 124는 개구부에 개폐가 자유롭도록 설치한 뚜껑부재로, 수용박스(120)가 이동하는 동안에는 닫히고, 처리장치에 대면하여 유리기판(G)의 전달을 수행하는 경우에는 열리도록 형성된다.

이와 같은 구성의 제 4 변형예에 의하면, 유리기판(G)을 반송할 때, 뚜껑부재(124)는 닫히고, 흡입팬(121)으로부터 에어가 아래로 뿜어내어진다. 에어는 수용박스(120)를 화살표 방향으로 흐른 뒤 흡인용 팬(123)을 거쳐 외부로 배출된다. 따라서, 파티클의 부착을 막은 상태에서 유리기판(G)을 반송할 수 있다. 또한, 뚜껑부재(124) 대신에 에어커텐 방식으로 하여 패티클의 침입을 막아도 좋다.

또한, 제 4 변형예에 있어서 수용박스(120)의 천정 하면에 제전수단인 이온화장치(125)를 설치하여도 좋다. 이에 의해 정전기를 제거할 수 있어 수용박스(120) 내의 유리기판(G)에 있어서 처리를 위한 양호한 밀폐공간을 확보할 수 있다.

다음으로, 도 12에 나타낸 제 5 변형예는, 도포처리반송시스템에 있어서 수용박스(130)가 유리기판(G)을 반송할 때, 그 배면을 진행방향으로 향하여 이동하도록 구성한 것이다. 예를들어, 세정장치(16)에서 유리기판(G)의 전달을 끝낸 후, 수용박스(130)를 점선의 방향으로 경유하여 가열장치(18)로 이동시킬 때, 수용박스(130) 배면을 진행방향을 향해 이동하여, 가열장치(18)의 바로 앞까지 이동하였을 때 수용박스(130)를 소정의 방향으로 전환하여 수용박스(130)의 개구부를 가열장치(18)의 반입반출구에 대면하도록 회전시키는 구성으로 하여도 좋다.

이와 같은 제 5 변형예에 의하면, 수용박스(130)의 개구부를 진행방향으로 향하지 않고 배면을 향하게 하도록 하여 회전이동시키는 구성에 의하여, 파티클이 수용박스(130) 내로 들어갈 여지를 적게 할 수 있다는 점에서 유리하다.

다음으로, 도 13에 나타낸 제 6 변형예를 설명하기로 한다. 전달부(12)에 설치된 전달반송장치(140)는 반송로(10)를 이동하는 제 1 반송장치(25)와 제 2 반송장치(26)와의 사이에서 유리기판(G)을 중계하여 상호 전달하기 위한 장치이다. 그 양측에는 개구부(141, 142)가 설치되어 있어, 각 반송장치(25, 26)의 기판전달부재(60) 등(도 4)이 진퇴한다. 개구부(141, 142)의 상방으로부터는 에어가 내려오도록 에어커텐장치(143, 144)가 설치된다. 내부에는 재치대(145)가 설치되고, 출몰이 자유로운 핀(146)에 의해 유리기판(G)을 지지하도록 형성되어 있다. 전달반송장치(140)의 천정에는, 필터부재(147) 및 흡입팬(148)으로 이루어지는 팬송풍기구가 설치된다.

상기 구성에 관한 제 6 변형예에서는, 흡입팬(148)으로부터 전달반송장치(140) 내로 유입된 에어는 유리기판(G)의 주위를 화살표 방향으로 흐르게 된다. 따라서, 전달반송장치(140)에 있어서도, 외부로부터 파티클이 침입하는 것을 에어커텐장치(143, 144)로 막고, 동시에 유리기판(G)에 흡입팬(148)으로부터 에어가 뿜어내어지기 때문에, 파티클이 부착하는 것을 억제할 수 있다.

다음으로, 도 14에 나타낸 제 7 변형예에 대하여 설명하기로 한다. 상기 도 3의 실시예에서는 수용박스(50) 내를 흐르는 에어는 간격(54)을 통해 배면에 설치한 흡인용 팬(73)을 거쳐 외부로 바람을 배출하는 구성으로 하였는데, 본 예에서는, 그 대신에 도 14와 같이 수용박스(150)의 배면근방의 천정에 흡인팬(151)을 부착한 구성으로 한 것이다.

상기 제 7 변형예에 의하면, 수용박스(150)의 측부에 형성한 간격(152)을 거친 에어가 화살표(153)와 같이 천정으로부터 배출되기 때문에, 배부에 존재하는 처리장치에 에어가 뿜어내어지는 것을 피할 수 있다. 또한, 이와는 반대로 흡인팬(151)을 수용박스(150)의 하면에 부착하고, 에어를 하면으로부터 배출하도록 하여도 좋다. 또한, 도 15와 같이 배면에 설치한 도시를 생략한 흡인팬에 대향한 위치에 편향판(155)을 설치한 구성으로 하여도 좋다. 이로 인해, 에어는 편향판(155)에서 흐름이 편향되기 때문에, 수용박스(150)의 배후에 있는 처리장치에 직접 에어가 뿜어내지는 것을 막을 수 있다.

다음으로, 도 16에 나타낸 제 8 변형예를 설명하기로 한다. 도 4의 실시예에서는 기판전달부재(60)를 가이드레일(67a)을 따라 습동지지시키고, 구동벨트(67)와 풀리(65, 66)로 이루어지는 감기전동기구를 사이에 두고 모터(69)의 구동력을 기판전달부재(60)에 전달하도록 한 구성이지만, 본 예에서는 그 대신에 도 16과 같이 기판전달부재(160)를 직접 수평다관절형 기구(161)를 이용하여 작동하는 구성으로 한 것이다. 수평다관절형 기구(161)는 예를들어 제 1 아암(162)과 제 2 아암(163)을 가지고, 제 1 아암(162)은 제 2 아암(163)에 제 1 축(164)을 사이에 두고 지지되며, 제 2 아암(163)은 제 2 축(165)에 지지된다. 또한, 제 1 아암(162)은 기판전달부재(160)를 제 3 축(166)에 의하여 회동이 자유롭도록 지지된다. 각 아암(162, 163) 및 기판전달부재(160)는 제 1, 제 2, 제 3 각 축(164, 165, 166)에 설치한 도시를 생략한 모터로 회동된다.

제 8 변형예에 의하면, 다관절형 기구(160)를 사용함으로써, 수용박스의 공간에서 기판전달부재(160)를 화살표(167) 방향으로 이동시킬 수 있다. 따라서, 수용박스 내에 슬라이더기구와 같은 습동부를 가지는 것과는 달리, 모터주변을 실드하는 것만으로 파티클이 수용박스 내의 공간으로 흩어지는 것을 간단하게 저지할 수 있다. 따라서, 본 제 8 변형예는 밀폐를 실시하는 부위가 적어도 되고, 파티클의 발생을 적게 할 수 있는 점에서 유리하다는 효과가 있다.

도 17 및 도 18에 나타낸 제 9 변형예를 설명하기로 한다. 도 2에 나타낸 수용박스(50)의 개구부에는 뚜껑부재가 설치되어 있지 않은 태양이었는데, 본 제 9변형예는 도 17과 같이 수용박스(170) 개구부의 중간높이에 핀(171)의 주위에 개폐하는 뚜껑부재(172)를 설치한 것이다. 따라서, 수용박스(170)에 유리기판(G)을 격납하여 반송하는 경우에는, 도 17과 같이 뚜껑부재(173)를 닫아 반송한다. 처리장치 와의 사이에서 전달을 수행하는 경우에는, 도 18과 같이 뚜껑부재(173)를 수평으로 열어 상측 방 또는 하측 방에 대한 유리기판(G)의 반입반출을 아무런 지장없이 수행할 수 있다.

따라서, 제 9 변형예에서는, 수용박스(170)의 이동시라도 뚜껑부재(173)에 의하여 수용박스(170)의 개구부가 닫혀져 있기 때문에, 수용박스 내에 파티클이 침입하는 것을 양호하게 저지할 수 있다.

또한, 뚜껑부재(173)는 도 19와 같이 핀(174)의 주위를 뚜껑부재(175)를 설치하여 개폐할 수 있는 구성으로 할 수도 있다.

또한, 상기 실시예에 있어서의 세정장치(16), 현상장치(17), 가열장치(18, 22) 등의 처리장치에는, 아무런 차폐부재도 설치하지 않았지만, 도 20에 나타낸 제 10 변형예와 같이 처리장치(180)의 전달구인 반입반출구에 에어커텐장치(181)를 설치한 구성으로 하여도 좋다. 이로 인해, 수용박스(183)가 처리장치(180)의 반입반출구에 대면한 경우라도, 에어커텐장치(181)에서 반입반출구가 외부와 차폐되어 있기 때문에, 뜻하지 않게 수용박스(183)로부터 에어가 침입하는 것을 막을 수 있다. 또한, 도 21과 같이 에어커텐장치(181)를 설치하는 대신에 상하방향으로 개폐가능한 셔터장치(184)를 설치할 수도 있다.

또한, 상술한 실시예에서는, 기판전달부재(60)를 X방향으로 구동시키는 수단을 도 3에 예시하였는데, 도 22에 나타낸 바와 같이 변형하는 것도 가능하다. 즉, 격벽(53)에 설치된 슬릿(53a)을 덮도록 간격(54) 내에 무단(無端)의 실드벨트(221)를 배치한다. 그리고, 상기 실드벨트(221)의 한쪽 측은 연결부재(222)를 사이에 두 고 구동벨트(67)에 연결되고, 실트벨트(221)의 다른쪽 측은 연결부재(223)를 사이에 두고 기판전달부재(60)의 기부(61)에 연결되어 있다. 따라서, 구동벨트(67)가 구동되면, 실트벨트(221)를 사이에 두고 기판전달부재(60)가 X방향으로 구동되도록 되어 있다. 본 실시예에서는, 특히 실드벨트(221)가 슬릿(53a)을 덮고 있기 때문에, 간격(54)측으로부터 기판전달부재(60) 측으로 파티클이 유출되는 일이 적어진다.

또한, 본 발명의 기판반송장치의 반송대상이 되는 기판은, 상기한 LCD용 유리기판(G) 뿐만 아니라, 반도체 웨이퍼 등의 기판에 대해서도 본 발명을 당연히 적용할 수 있다. 또한, 상기한 도포·현상처리시스템의 처리장치의 조합은 어디까지나 한 예일 뿐으로, CVD, 애셔, 에쳐 등이 배치된 라인에 있어서도 본 발명은 당연히 유효하다.

청구항 2에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스 내에 복수단의 기판재치부를 갖춘 기판전달부재가 설치되어 있다. 따라서, 복수의 기판을 동시에 반송할 수 있어, 기판의 연속처리에 적합하다.

청구항 7에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스에 형성된 개구부가 상시 개구되어 있는 구조인 한편, 상기 수용박스의 개구부에 대향하는 면측으로부 터상기 개구부를 통해 외부로 흐르는 기류를 형성하는 송풍기구를 갖추고 있다. 따라서, 기판의 전달을 수행하는 개구부가 상시 개구되어 있어도, 수용박스 밖에서 부유하는 파티클이 수용박스 내로 침입하지 못한다. 또한, 기판의 전달을 수행하는 개구부가 상시 개구되어 있어 이 개구부를 개폐하는 개폐기구가 설치되어 있지 않기 때문에, 기판의 전달을 신속하게 수행할 수 있다.

청구항 9에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 기판전달부재의 근방에 배치되는 흡진용 필터를 갖춘 파티클 제거수단을 구비하고 있다. 따라서, 기판전달부재에 보지된 기판주위의 공기는, 상기 필터에 의하여 항상 정화되기 때문에, 기판주위를 항상 저 파티클환경으로 유지할 수 있다. 따라서, 기판의 반송영역 전체를 클린환경으로 할 필요가 없어져 클린환경의 형성비용을 크게 삭감시킬 수 있다.

청구항 11에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 상기 파티클 제거수단이 상기 기판전달부재의 주위를 덮을 수 있는 벽부를 가지고 있기 때문에, 외부로부터 침입하는 파티클이 적어지게 되어 기판주위에 보다 높은 클린환경을 형성할 수 있 다.

청구항 13에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스에 설치한 감시장치를 풍속센서와 송풍기구의 팬을 동작제어하는 송풍제어부로 구성하고 있기 때문에, 필터의 구멍들이 점점 막혀 송풍압력이 저하된 것을 송풍센서가 검지하여, 이를 바탕으로 송풍제어부에 의해 팬의 회전이 커지도록 제어하고, 풍량을 최적량이 되도록 유지한다. 따라서, 수용박스 내에는 안정된 기류를 기판전달부재로 송풍할 수 있기 때문에, 유리기판에 대한 파티클의 부착을 막기에 최적의 작업환경을 얻을 수 있는 효과를 볼 수 있다.

청구항 14에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 필터의 구멍들이 막히게 되었을 때 경보를 울리는 경보수단을 송풍제어부에 설치하였기 때문에, 필터의 막힘을 감각적으로 알려줄 수 있어, 필터교환 내지는 청소를 정확한 시기에 수행할 수 있어 편리한 효과를 볼 수 있다.

청구항 15에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스의 개구부가 상기 처리장치의 반입반출구에 대치한 자세에 있을 때, 송풍제어부에 의하여 송풍기구의 팬에 의한 송풍량을 적게 하는 대면상태 검지수단을 설치하였기 때문에, 수용박스로부터 뜻하지 않게 처리장치의 반입반출구를 통해 여분의 에어가 유입되는 일이 없기 때문에, 그 만큼 유리기판에 대한 파티클의 부착을 방지하기에 유리한 효과를 볼 수 있다.

청구항 16에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스의 개구부 둘레에 상기 처리장치의 반입반출구를 덮는 신축부재를 설치하였기 때문에, 유리기판이 전달될 때 수용박스와 처리장치와의 사이에 어떠한 간격이 있더라도 신축부재에 의하여 유리기판의 주위로부터 차단되어지기 때문에, 파티클의 부착방지에 유리하다는 효과를 볼 수 있다.

청구항 17에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스의 천정에 송풍기구를 설치하고, 상기 천정으로부터 하방을 향해 에어를 뿜어내는 구성으로 함으로써, 개구부를 향해 에어가 흐르지 않게 된다. 따라서, 처리장치에 대면한 경우라도 수용박스로부터 에어가 처리장치 내로 유입되는 양을 줄일 수 있어, 파티클 부착방지에 유리한 효과를 볼 수 있다.

청구항 18에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 수용박스가 반송로를 따라 이동할 때, 수용박스의 개구부와 대향하는 면을 이동하는 방향으로 향하여 이동시키는 구성을 하였기 때문에, 수용박스의 개구부를 진행방향을 향하지 않고, 대향하는 면, 즉 배면을 이동하는 방향으로 향하여 이동한다. 따라서, 파티클이 수용박스로 들어가는 것을 억제할 수 있는 효과를 볼 수 있다.

청구항 19에 기재된 본 발명의 기판반송장치는, 기판전달부재를 수평다관절기구에 의해 이동할 수 있도록 구성하였기 때문에, 감기전동기구나 습동기구 등을 사용하는 것과는 달리, 파티클이 발생하는 기계적 구성부위가 적어져 수용박스공간에서의 파티클의 발생을 억제할 수 있는 효과를 볼 수 있다.

Claims

반송로를 따라 이동가능한 반송방향 이동체와,

상기 반송방향 이동체에 대하여 수평회전이 가능한 회전축을 매개로 하여 지지되어진 수용박스와,

상기 수용박스 내에 설치되어짐과 동시에, 처리장치의 반입반출구에 대치한 자세에 있어서 해당 반입반출구에 분리 및 접근하는 방향으로 이동가능하며, 상기 수용박스에 형성된 개구부를 통하여 처리장치에 대해서 보지한 기판을 전달할 수 있는 기판전달부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 1에 있어서,

상기 수용박스 내에 복수단의 기판재치부를 갖춘 기판전달부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 수용박스가 복수단으로 적층되어 설치되고, 그 각각에 상기 기판전달부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 수용박스가 거의 수평으로 재치된 칸막이판을 사이에 두고 복수실로 구 분되고, 상기 기판전달부재가 구분된 각 방마다에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 수용박스에 형성된 개구부에 개폐가능한 뚜껑부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 수용박스에 형성된 개구부가 상시 개구되어 있는 구조임과 동시에, 상기 수용박스 내부를 양압으로 유지하기 위한 압력제어기구를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 수용박스에 형성된 개구부가 상시 개구되어 있는 구조임과 동시에, 상기 수용박스의 개구부에 대향하는 면측으로부터 상기 개구부를 통하여 외부로 흐르는 기류를 형성하는 송풍기구를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 수용박스 내의 상태를 감시하는 감시장치가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
반송로를 따라 이동가능한 반송방향 이동체와,

상기 반송방향 이동체에 대하여 수평회전이 가능한 회전축을 사이에 두고 지지되어 있음과 동시에, 처리장치의 반입반출구에 대치한 자세에 있어서 상기 반입반출구에 분리 및 접근하는 방향으로 이동이 가능하며, 처리장치에 대하여 보지한 기판을 전달할 수 있는 기판전달부재와,

상기 기판전달부재의 근방에 배치되는 흡진(吸塵)용 필터를 갖춘 파티클 제거수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 9에 있어서,

상기 파티클 제거수단을 구성하는 필터가 상기 기판전달부재의 상방에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,

상기 파티클 제거수단이 상기 기판전달부재의 주위를 덮을 수 있는 벽부를 가지는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,

상기 기판전달부재가 복수단의 기판재치부를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 8에 있어서,

상기 감지장치가 상기 수용박스에 설치한 풍속센서와, 상기 풍속센서로 검지한 신호에 의하여 상기 송풍기구를 형성하는 팬을 동작제어하는 송풍제어부로 구성된 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 13에 있어서,

상기 송풍센서로 검지한 신호를 바탕으로 상기 송풍제어부에 의해 상기 팬이 그 동작을 증강하도록 지시하였을 때, 상기 송풍기구를 형성하는 필터가 막힌 상태에 있는 것을 알려주는 경보수단을 상기 송풍제어부에 설치한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 13에 있어서,

상기 수용박스의 개구부가 상기 처리장치의 반입반출구에 대치한 자세에 있을 때, 상기 송풍제어부에 의하여 상기 송풍기구의 팬에 의한 송풍량을 적게 하는 대면상태 검지수단을 설치한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 7에 있어서,

상기 수용박스의 개구부가 상기 처리장치의 반입반출구와 마주보았을 때, 수용박스와 처리장치와의 공간을 외부로부터 차단하는 신축부재를 상기 처리장치의 개구부 둘레에 설치한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 수용박스의 천정에 설치되어, 상기 천정으로부터 하방을 향해 에어를 뿜어내는 송풍기구를 갖춘 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 수용박스가 상기 반송로를 따라 이동할 때, 상기 수용박스의 상기 개구부와 대향하는 면을 이동하는 방향으로 향하여 이동시키는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
청구항 1 또는 청구항 9에 있어서,

상기 기판전달부재를 수평다관절기구에 의해 이동할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 기판반송장치.