TW201302580A - 輸送裝置 - Google Patents

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TW201302580A
TW201302580A TW101118010A TW101118010A TW201302580A TW 201302580 A TW201302580 A TW 201302580A TW 101118010 A TW101118010 A TW 101118010A TW 101118010 A TW101118010 A TW 101118010A TW 201302580 A TW201302580 A TW 201302580A
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Masanao Murata
Yoshiya Wada
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Muratec Automation Co Ltd
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    • B65G45/00—Lubricating, cleaning, or clearing devices
    • B65G45/10—Cleaning devices
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract

輸送裝置，具備：沿著搬運路徑搬運被搬運物(10)的輸送部，及在搬運路徑上清掃被搬運物(10)的被支撐部(12)的清掃部(30)。清掃部(30)具有蓋體(32)、塵埃除去部(34)及塵埃吸引部。蓋體(32)具有透過預定的間隙(G1、G2、G3)形成鄰接於被支撐部(12)的開口(33a、33b、33c)。塵埃除去部(34)在開口(33a、33b、33c)中被安裝在蓋體(32)以抵接於被支撐部(12)，從被支撐部(12)除去塵埃。塵埃吸引部是與蓋體(32)內連通，吸引藉塵埃除去部(34)所除去的塵埃。

Description

輸送裝置
本發明是有關例如在無塵室中，搬運收容著複數片半導體晶圓的晶圓匣等被搬運物用的輸送裝置。
作為以往的輸送裝置，有例如專利文獻1所記載的已為人知。專利文獻1記載的輸送裝置，具備：搬運底面設置有微黏著材的被搬運物的複數搬運輥；在搬運輥之間，刮落被微黏著材所捕獲的塵埃的輥筒刷；及透過配置在輥筒刷下方的開口，納入藉輥筒刷所刮落的塵埃的集塵用吸氣裝置。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
專利文獻1：日本特開2006-282285號公報
但是，例如在無塵室使用如上述輸送裝置的場合，不僅從收容著半導體晶圓的晶圓匣等的被搬運物除去塵埃等，防止所除去的塵埃擴散於周圍環境也極為重要。
因此，本發明是以在從被搬運物除去塵埃時，提供可防止塵埃擴散於周圍環境的輸送裝置為目的。
本發明的輸送裝置，具備：沿著搬運路徑搬運被搬運物的輸送部，及在搬運路徑上清掃被搬運物的預定部份的清掃部的輸送裝置，其特徵為：清掃部，具備：具有透過預定的間隙形成鄰接於預定部份的開口的蓋體；在開口中被安裝在蓋體以抵接於預定部份，從預定部份除去塵埃的塵埃除去部；及與蓋體內連通，吸引藉塵埃除去部所除去的塵埃的塵埃吸引部。
該輸送裝置中，從被搬運物的預定部份除去塵埃的塵埃除去部被安裝於蓋體，在蓋體的開口中抵接於被搬運物的預定部份。藉此，抑制藉塵埃除去部所除去的塵埃擴散到蓋體外，並藉著與蓋體內連通的塵埃吸引部所吸引。因此，根據此輸送裝置在從被搬運物除去塵埃時，可防止塵埃擴散於周圍環境。
又，本發明的輸送裝置中，輸送部也可具有抵接於預定部份的第1面而支撐著被搬運物的支撐部，塵埃除去部也可具有在開口中與第1面抵接的第1塵埃除去部份。根據此一構成，可確實地將塵埃從起因於輸送部的支撐部的抵接而容易附著塵埃的被搬運物的第1面除去。
又，本發明的輸送裝置中，也可進一步具有抵接於預定的部份的第2面限制被搬運物朝著與搬運方向大致呈垂直方向移動的限制部，塵埃除去部，在開口部中也可進一步具有和第2面抵接的第2塵埃除去部份。根據此一構成，可確實地將塵埃從起因於輸送部的限制部的抵接而容易 附著塵埃的被搬運物的第2面除去。
又，本發明的輸送裝置中，第2塵埃除去部份也可藉著與第2面相對配置的彈性構件所支撐。根據此一構成，即使被搬運物在與搬運方向大致呈垂直的方向擺動或振動，如上述之被搬運物的移動會被彈性構件所吸收，所以可確實地將塵埃從被搬運物的第2面除去。
又，本發明的輸送裝置中，被搬運物也可具有和第2面鄰接的第3面，塵埃除去部在開口中也可進一步具有和第3面抵接的第3塵埃除去部份。根據此一構成，可確實地將塵埃從起因於和輸送部不直接接觸的第2面鄰接而容易附著塵埃的被搬運物的第3面除去。
又，本發明的輸送裝置中，被搬運物，具有：收容物品的收容部，及從收容部朝著與搬運方向大致呈垂直的方向突出的一對被支撐部，第1面也可為被支撐部的下面，第2面也可為被支撐部的側面，第3面也可為被支撐部的上面。根據此一構成，可一次地將塵埃從被輸送物中容易附著塵埃的被支撐部的上面、側面及下面除去。
根據本發明，在從被搬運物除去塵埃時，可防止塵埃擴散於周圍環境。
以下，針對本發明的較佳實施形態，參閱圖示詳細說 明。再者，各圖中對相同或相當部份賦予相同符號，並省略重複說明。
如第1圖表示，搬運系統100，具有：沿著搬運路徑R搬運被搬運物10的輸送裝置1，及保管被搬運物10的保管裝置(即儲料機)2。輸送裝置1是設置在製造半導體裝置用的無塵室內。又，被搬運物10為收容複數片半導體晶圓的晶圓匣(即FOUP(Front Opening Unified Pod))。
在搬運路徑R分支的位置及合流的位置，及搬運路徑R的方向變化的位置，設置使被搬運物10的搬運方向轉換的方向轉換裝置3。並在搬運路徑R上的預定位置，設置從搬運路徑R上將被搬運物10搬出至保管裝置2內用的搬出埠4，及從保管裝置2內將被搬運物10搬入至搬運路徑R上用的搬入埠5。並且，在搬運路徑R上的預定位置，設置從搬運路徑R上將被搬運物10搬出至搬運系統100外用的搬出埠6，及從搬運系統100外將被搬運物10搬入至搬運路徑R上用的搬入埠7。再者，透過埠6、7在搬運系統100與其他搬運系統之間搬運被搬運物10的場合，使用高架行走式無人搬運車、無人搬運車、有軌式無人搬運車等。
輸送裝置1，具備：沿著搬運路徑R搬運被搬運物10的輸送部20，及在搬運路徑R中清掃被搬運物10的預定部份的清掃部30。被搬運物10是如第2圖及第3圖表示，具有：收容複數片半導體晶圓(物品)的收容部11，及 從收容部11的底部朝著與搬運方向A大致呈垂直的方向(在此是相對於搬運方向A的左右兩側)突出的一對被支撐部(預定部份)12。收容部11是形成大致長方體箱形。在收容部11的前面，設置半導體晶圓取出入用的可自由拆裝的蓋13。設有蓋13的收容部11的前端部是朝著與搬運方向A大致呈垂直的方向擴寬，其底部被縮徑成在該方向相對之收容部11的側面11a大致同寬。在收容部11的上面設有藉高架行走式無人搬運車所夾取的突緣部14。一對被支撐部12分別是形成以搬運方向A作為長方向的大致長方形板狀，具有下面(第1面)12a、側面(第2面)12b及上面(第3面)12c。
如第2圖及第3圖表示，輸送部20是以沿著搬運路徑R連結著配置在相對於搬運方向A的一方側及另一方側(在此為左右兩側)的一對輸送單元21所構成。一對輸送單元21具有沿著搬運方向A呈大致平行豎立設置的一對支撐板22。在各支撐板22的內側可自由旋轉地安裝有驅動滑輪23、從動滑輪24及複數的支撐輥25，在滑輪23、24及輥25掛設有無端環狀的皮帶(支撐部)26。皮帶26的外側緣部一體形成有相對於皮帶26的搬運面26a成豎立設置的突緣部(限制部)27。在各輸送單元21中，藉驅動滑輪23的驅動，使從動滑輪24及複數的支撐輥25從動並使得皮帶26循環。
一對輸送單元21中，在一方的皮帶26上使被搬運物10一方的被支撐部12的下面12a接觸，並在另一方的皮 帶26上使被搬運物10另一方的被支撐部12的下面12a接觸。如此，皮帶26抵接於被支撐部12的下面12a而支撐著被搬運物10。並在一方的皮帶26的突緣部27使被搬運物10一方的被支撐部12的側面12b接觸，並在另一方的皮帶26的突緣部27使被搬運物10另一方的被支撐部12的側面12b接觸。如此，突緣部27抵接於被支撐部12的側面12b來限制被搬運物10朝著與搬運方向A大致呈垂直方向的移動。
如第2圖表示，清掃部30是以將相對於搬運方向A的一方側及另一方側(在此為左右兩側)的一對清掃單元31設置在搬運路徑R上的預定位置所構成。設置有清掃部30的位置是如第1圖表示為各搬出埠4、6正前方的位置。更詳細而言，如第2圖表示，在設置於構成搬出埠4(或搬出埠6)之輸送單元21正前方的長度調整單元28的自由輥29、29間，設置清掃部30的清掃單元31。長度調整單元28是配置在構成搬出埠4的一對輸送單元21，及在其跟前(即，搬運方向A的上游側)鄰接的一對輸送單元21之間。
如第4圖、第5圖及第6圖表示，各清掃單元31具有從上方、下方及側方形成覆蓋被搬運物10的被支撐部12一部份的蓋體32。蓋體32，具有：透過預定間隙G1(例如1mm~2mm)形成鄰接被支撐部12的下面12a的開口33a；透過預定間隙G2(例如4mm~8mm)形成鄰接被支撐部12的側面12b的開口33b；及透過預定間隙G3(例 如1mm~2mm)形成鄰接被支撐部12的上面12c的開口33c。在此，開口33a、33b、33c是形成一連續的開口。
在蓋體32安裝有在開口33a抵接於被支撐部12的下面12a的塵埃除去構件(第1塵埃除去部份)34a。並在蓋體32安裝有在開口33b抵接於被支撐部12的側面12b的塵埃除去構件(第2塵埃除去部份)34b。另外，在蓋體32安裝有在開口33c抵接於被支撐部12的上面12c的塵埃除去構件(第3塵埃除去部份)34c。藉著該等的塵埃除去構件34a、34b、34c構成從被搬運物10的被支撐部12除去塵埃的塵埃除去部34。並在蓋體32內，形成有一連續的空間S圍繞著搬運方向A的塵埃除去部34的上游側及下游側，與塵埃除去部34的外側。
在塵埃除去構件34a、34b、34c使用可清掃微小塵埃的細毛且在薄片上以高密度植入的刷狀構件(例如，絨毛、絨頭織物等)。各塵埃除去構件34a、34b、34c的毛是由尼龍、聚乙烯、PET(聚對苯二甲酸乙二酯)等所構成。再者，由於被搬運物10的被支撐部12的材質與塵埃除去構件34a、34b、34c的毛的材質的相性，在靜電產生顯著的場合，也可對塵埃除去構件34a、34b、34c的毛的材料的尼龍、聚乙烯、PET等施以導電處理，或外加碳或不銹鋼。
塵埃除去構件34a是將其毛固定在下側保持構件35以和被支撐部12的下面12a接觸。又，塵埃除去構件34c是將其毛固定在上側保持構件36以和被支撐部12的上面 12c接觸。各保持構件35、36被配置在蓋體32內，固定於蓋體32的內面。此外，塵埃除去構件34b是將其毛固定在彈性構件37以和被支撐部12的側面12b接觸。彈性構件37是由海綿等的彈性體所成，以和被支撐部12的側面12b相對的狀態藉保持構件35、36夾持著。如此一來，塵埃除去構件34b是藉著配置成與被支撐部12的側面12b相對的彈性構件37所支撐。另外，在塵埃除去構件34b中，從上方顯示的場合至少將搬運方向A的上游側的端部(在此為搬運方向A的上游側的端部及下游側的端部)倒角成凸曲面形。
在蓋體32連接著管38的前端部38a，前端部38a是開口成蓋體32內的空間S。管38的基端部是如第2圖表示，連接於塵埃吸引部39。藉此，塵埃吸引部39是與蓋體32內連通。塵埃吸引部39形成預定的負壓，可與周圍環境一起吸引藉塵埃除去部34所除去的塵埃，並藉著設置在塵埃吸引部39內的濾器，回收吸引後的塵埃。
如第4圖表示，各清掃單元31中，在蓋體32的跟前(即，搬運方向A的上游側)設置輔助刷40以清掃收容部11的側面11a與被支撐部12的上面12c的角隅部(即，上面12c中塵埃除去構件34c不能到達的區域)。以輔助刷40所掃除之上面12c上的塵埃在清掃的隨後即被蓋體32所覆蓋，並藉著塵埃吸引部39所吸引。
以上所構成的輸送裝置1中，藉著輸送部20所搬運的被搬運物10通過清掃部30時，塵埃除去構件34a抵接 於被支撐部12的下面12a，塵埃除去構件34b抵接於被支撐部12的側面12b，塵埃除去構件34c則是抵接於被支撐部12的上面12c。藉此，將塵埃從被支撐部12的下面12a、側面12b及上面12c除去。此時，塵埃除去構件34a、34b、34c被安裝於蓋體32，在蓋體32的開口33a、33b、33c中抵接於被搬運物10的被支撐部12。藉此，藉塵埃除去構件34a、34b、34c所除去的塵埃可抑制擴散至蓋體32外，並透過蓋體32內的空間S為塵埃吸引部39所吸引。因此，根據輸送裝置1在將塵埃從被搬運物10除去時，可防止塵埃擴散於周圍環境。
在此，被支撐部12的下面12a，起因於輸送部20之皮帶26的抵接而容易附著塵埃，所以清掃部30具有塵埃除去構件34a在從被搬運物10確實除去塵埃上極為有效。並在被支撐部12的側面12b，起因於輸送部20之突緣部27的抵接而容易附著塵埃，所以清掃部30具有塵埃除去構件34b在從被搬運物10確實除去塵埃上也極有效。另外，輸送部20的構成構件不直接接觸之鄰接於被支撐部12的側面12b的被支撐部12的上面12c，隨著被搬運物10的搬運速度的高速化等而容易附著塵埃，所以清掃部30具有塵埃去除構件34c在從被搬運物10確實除去塵埃上也極有效。
如上述，清掃部30中，由於在1個蓋體32安裝有塵埃除去構件34a、34b、34c，所以可一邊獲得清掃部30的小型化，並可從被搬運物10中容易附著塵埃的被支撐部 12的下面12a、側面12b及上面12c一次地除去塵埃。
又，清掃部30在搬運系統100中，是設置在各搬運埠4、6正前方的位置。因此，可防止附著有塵埃的被搬運物10被從搬運路徑R上搬出到保管裝置2內，或從搬運路徑R上被搬出至搬運系統100外。亦即，可防止在輸送裝置1內附著於被搬運物10的塵埃，被帶入保管裝置2內或其他的搬運系統內。
又，塵埃除去構件34b是藉著與被支撐部12的側面12b相對設置的彈性構件37所支撐。因此，即使被搬運物10朝著與搬運方向A大致呈垂直方向擺動或振動時，上述被搬運物10的動作會被彈性構件37所吸收，確實地從被支撐部12的側面12b除去塵埃。另外，塵埃除去構件34b至少搬運方向A的上游側端部被倒角成凸曲面形。因此，即使被搬運物10朝著與搬運方向A大致成垂直方向擺動或振動時，可防止被搬運物10鉤掛於塵埃除去部34b。
此外，蓋體32的跟前設有輔助刷40。藉此，可清除被支撐部12的上面12c中塵埃除去構件34c不能到達區域的塵埃。並且，藉輔助刷40所清除的塵埃在清掃的隨後即被蓋體32所覆蓋，可一邊防止擴散於周圍環境，並透過蓋體32內的空間S被塵埃吸引部39所吸引。
以上，針對本發明之一實施形態已作說明，但是本發明不限於上述實施形態。例如，如第7圖表示，被搬運物10中，收容部11的側面11a也可形成大致平坦狀，使被 支撐部12的側面12b比收容部11的側面11a位在內側。此時，收容部11的下面(第3面)11c成鄰接於被支撐部12的側面12b，所以清掃搬單元31是如以下構成。亦即，如第8圖表示，在清掃單元31設置塵埃除去構件(第3塵埃除去構件)34d來取代塵埃除去構件34c。即在此藉塵埃除去構件34a、34b、34d構成塵埃除去部34。塵埃除去構件34d將其毛在蓋體32的開口中安裝於蓋體32以接觸收容部11的下面11c。藉此，可將塵埃從起因於和輸送部20的構成構件不直接接觸之被支撐部12的側面12b鄰接而容易附著塵埃的收容部11的下面11c確實地除去。
又，輸送部20不限於如上述的帶式輸送機，也可以輥式輸送機。另外，作為限制被搬運物10朝著與搬運方向A大致呈垂直方向移動的限制部，也可使用輥來取代一體形成於皮帶26的突緣部27。
又，藉塵埃除去構件34a、34b、34c所構成的塵埃除去部34中，塵埃除去構件34a、34b、34c也可將細毛以高密度植入薄片上的刷狀的構件(例如，絨毛、絨頭織物等)彎曲所構成等，形成為一體。又，塵埃除去構件34b的毛的長度也可以比塵埃除去構件34a、34c的毛的長度還長。即使被搬運物10朝著與搬運方向A大致呈垂直方向擺動或振動時，如此被搬運物10的動作會被塵埃除去構件34b的毛所吸收，而可將塵埃確實地從被支撐部12的側面12b除去。對此，藉塵埃除去構件34a、34b、34d所構成的塵埃除去部34也是相同。
另外，輸送裝置1不限於設置在製造半導體裝置用的無塵室內，被搬運物10不限於收容複數片半導體晶圓的晶圓匣。例如，也可運用於收容光罩(掩膜)或玻璃基板等的匣體。並且，輸送裝置1及被搬運物10的構成構件的材料及形狀不限於上述的材料及形狀，也可運用種種的材料及形狀。
最後，如第9圖表示，在上述清掃單元31或輔助刷40的取代上，或與清掃單元31一起設置噴霧嘴41及吸引噴嘴42。此時，噴霧嘴41及吸引噴嘴42是如以下所構成。即，噴霧嘴41是成斜向配置使噴射孔41a從搬運方向A的上游側且外側朝向被支撐部12的一部份。另一方面，吸引噴嘴42是成斜向配置使吸引口42a從搬運方向A的下游側且外側朝向被支撐部12的一部份。藉此，從噴霧嘴41的噴射孔41a所噴射的空氣等的氣體以和搬運方向A相對的狀態噴灑於被支撐部12。並且，可防止從被支撐部12所除去的塵埃被擴散於周圍環境，並和氣體一起被吸引噴嘴42的吸引口42a所吸引。
〔產業上的可利用性〕
根據本發明，在從被搬運物除去塵埃時，可防止塵埃朝著周圍環境的擴散。
1‧‧‧輸送裝置
10‧‧‧被搬運物
11‧‧‧收容部
11c‧‧‧下面(第3面)
12‧‧‧被支撐部(預定的部份)
12a‧‧‧下面(第1面)
12b‧‧‧側面(第2面)
12c‧‧‧上面(第3面)
20‧‧‧輸送部
26‧‧‧皮帶(支撐部)
27‧‧‧突緣部(限制部)
30‧‧‧清掃部
32‧‧‧蓋體
33a、33b、33c‧‧‧開口
34‧‧‧塵埃除去部
34a‧‧‧塵埃除去構件(第1塵埃除去部份)
34b‧‧‧塵埃除去構件(第2塵埃除去部份)
34c、34d‧‧‧塵埃除去構件(第3塵埃除去部份)
37‧‧‧彈性構件
38‧‧‧塵埃吸引部
A‧‧‧搬運方向
G1、G2、G3‧‧‧預定間隙
R‧‧‧搬運路徑
第1圖為運用本發明的一實施形態之輸送裝置的搬運 系統的上視圖。
第2圖為第1圖之輸送裝置的透視圖。
第3圖是沿著第2圖的Ⅲ-Ⅲ線之輸送部的剖視圖。
第4圖為第1圖的輸送裝置之清掃部的透視圖。
第5圖是沿著第4圖的V-V線之清掃部的剖視圖。
第6圖是沿著第5圖的Ⅵ-Ⅵ線之清掃部的剖視圖。
第7圖為本發明的其他實施形態之輸送裝置的輸送部的剖視圖。
第8圖為第7圖的輸送裝置之清掃部的剖視圖。
第9圖為其他輸送裝置之清掃部的透視圖。
10‧‧‧被搬運物
11‧‧‧收容部
11a‧‧‧側面
12‧‧‧被支撐部(預定的部份)
12a‧‧‧下面(第1面)
12b‧‧‧側面(第2面)
12c‧‧‧上面(第3面)
30、31‧‧‧清掃部
32‧‧‧蓋體
33a、33b、33c‧‧‧開口
34‧‧‧塵埃除去部
34a‧‧‧塵埃除去構件(第1塵埃除去部份)
34b‧‧‧塵埃除去構件(第2塵埃除去部份)
34c‧‧‧塵埃除去構件(第3塵埃除去部份)
35‧‧‧下側保持構件
36‧‧‧上側保持構件
37‧‧‧彈性構件
38‧‧‧塵埃吸引部
38a‧‧‧前端部
G1、G2、G3‧‧‧預定間隙
S‧‧‧空間

Claims (6)

  1. 一種輸送裝置，具備：沿著搬運路徑搬運被搬運物的輸送部，及在上述搬運路徑上清掃上述被搬運物的預定部份的清掃部，其特徵為：上述清掃部，具備：蓋體，具有以隔著預定的間隙形成鄰接於上述預定部份的開口；塵埃除去部，在上述開口中被安裝在上述蓋體以抵接於上述預定部份，從上述預定部份除去塵埃；及塵埃吸引部，與上述蓋體內連通，吸引藉上述塵埃除去部所除去的塵埃。
  2. 如申請專利範圍第1項記載的輸送裝置，其中，上述輸送部具有與上述預定部份的第1面抵接而支撐上述被搬運物的支撐部，上述塵埃除去部具有在上述開口中與上述第1面抵接的第1塵埃除去部份。
  3. 如申請專利範圍第2項記載的輸送裝置，其中，上述輸送部進一步具有抵接於上述預定部份的第2面並限制上述被搬運物朝著與搬運方向大致呈垂直方向移動的限制部，上述塵埃除去部，進一步具有在上述開口部中與上述第2面抵接的第2塵埃除去部份。
  4. 如申請專利範圍第3項記載的輸送裝置，其中，上述第2塵埃除去部份是藉著與上述第2面相對配置的彈 性構件所支撐。
  5. 如申請專利範圍第3項或第4項記載的輸送裝置，其中，上述被搬運物具有和上述第2面鄰接的第3面，上述塵埃除去部進一步具有在上述開口中與上述第3面抵接的第3塵埃除去部份。
  6. 如申請專利範圍第5項記載的輸送裝置，其中，上述被搬運物，具有：收容物品的收容部，及從上述收容部朝著與搬運方向大致呈垂直的方向突出的一對被支撐部，上述第1面為上述被支撐部的下面，上述第2面為上述被支撐部的側面，上述第3面為上述被支撐部的上面。
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