JP2014141311A - コンベア装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 被搬送物から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができるコンベア装置を提供する。
【解決手段】 コンベア装置は、被搬送物１０を搬送経路に沿って搬送するコンベア部と、搬送経路上において被搬送物１０の被支持部１２を清掃する清掃部３０と、を備える。清掃部３０は、カバー体３２と、塵埃除去部３４と、塵埃吸引部と、を有する。カバー体３２は、所定の間隙Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３を介して被支持部１２に臨むように形成された開口３３ａ，３３ｂ，３３ｃを有する。塵埃除去部３４は、開口３３ａ，３３ｂ，３３ｃにおいて被支持部１２に当接するようにカバー体３２に取り付けられ、被支持部１２から塵埃を除去する。塵埃吸引部は、カバー体３２内に連通し、塵埃除去部３４によって除去された塵埃を吸引する。
【選択図】 図５

Description

本発明は、例えばクリーンルームにおいて、複数枚の半導体ウェハを収容したカセット等の被搬送物を搬送するためのコンベア装置に関する。

従来のコンベア装置として、例えば特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１記載のコンベア装置は、底面に微粘着材が設けられた被搬送物を搬送する複数の搬送ローラと、搬送ローラの間において、微粘着材に捕獲された塵埃を掻き落とすブラシローラと、ブラシローラの下方に配置された開口を介して、ブラシローラによって掻き落とされた塵埃を取り込む集塵用吸気装置と、を備えている。

特開２００６−２８２２８５号公報

ところで、上述したようなコンベア装置を例えばクリーンルームで使用する場合には、半導体ウェハを収容したカセット等の被搬送物から塵埃を除去するだけでなく、除去された塵埃が周囲雰囲気に拡散するのを防止することが極めて重要である。

そこで、本発明は、被搬送物から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができるコンベア装置を提供することを目的とする。

本発明のコンベア装置は、被搬送物を搬送経路に沿って搬送するコンベア部と、搬送経路上において被搬送物の所定の部分を清掃する清掃部と、を備えるコンベア装置であって、清掃部は、所定の間隙を介して所定の部分に臨むように形成された開口を有するカバー体と、開口において所定の部分に当接するようにカバー体に取り付けられ、所定の部分から塵埃を除去する塵埃除去部と、カバー体内に連通し、塵埃除去部によって除去された塵埃を吸引する塵埃吸引部と、を有することを特徴とする。

このコンベア装置では、被搬送物の所定の部分から塵埃を除去する塵埃除去部が、カバー体に取り付けられており、カバー体の開口において被搬送物の所定の部分に当接する。これにより、塵埃除去部によって除去された塵埃は、カバー体外に拡散することが抑制され、カバー体内に連通した塵埃吸引部によって吸引される。従って、このコンベア装置によれば、被搬送物から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができる。

また、本発明のコンベア装置においては、コンベア部は、所定の部分の第１の面に当接して被搬送物を支持する支持部を有し、塵埃除去部は、開口において第１の面に当接する第１の塵埃除去部分を有していてもよい。この構成によれば、コンベア部の支持部の当接に起因して塵埃が付着しやすい被搬送物の第１の面から塵埃を的確に除去することができる。

また、本発明のコンベア装置においては、コンベア部は、所定の部分の第２の面に当接して搬送方向に略垂直な方向への被搬送物の移動を規制する規制部を更に有し、塵埃除去部は、開口において第２の面に当接する第２の塵埃除去部分を更に有していてもよい。この構成によれば、コンベア部の規制部の当接に起因して塵埃が付着しやすい被搬送物の第２の面から塵埃を的確に除去することができる。

また、本発明のコンベア装置においては、第２の塵埃除去部分は、第２の面に対向するように配置された弾性部材によって支持されていてもよい。この構成によれば、搬送方向に略垂直な方向に被搬送物が揺れたりがたついたりしても、そのような被搬送物の動きが弾性部材に吸収されるので、被搬送物の第２の面から塵埃をより的確に除去することができる。

また、本発明のコンベア装置においては、被搬送物は、第２の面に隣接する第３の面を有し、塵埃除去部は、開口において第３の面に当接する第３の塵埃除去部分を更に有していてもよい。この構成によれば、コンベア部が直接接触しないものの第２の面との隣接に起因して塵埃が付着しやすい被搬送物の第３の面から塵埃を的確に除去することができる。

また、本発明のコンベア装置においては、被搬送物は、物品を収容する収容部と、収容部から搬送方向に略垂直な方向に突出する一対の被支持部と、を有し、第１の面は、被支持部の下面であり、第２の面は、被支持部の側面であり、第３の面は、被支持部の上面であってもよい。この構成によれば、被搬送物において塵埃が付着しやすい被支持部の上面、側面及び下面から一括で塵埃を除去することができる。

本発明によれば、被搬送物から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができる。

本発明の一実施形態のコンベア装置が適用された搬送システムの平面図である。 図１のコンベア装置の斜視図である。 図２のIII−III線に沿ってのコンベア部の断面図である。 図１のコンベア装置の清掃部の斜視図である。 図４のV−V線に沿っての清掃部の断面図である。 図５のVI−VI線に沿っての清掃部の断面図である。 本発明の他の実施形態のコンベア装置のコンベア部の断面図である。 図７のコンベア装置の清掃部の断面図である。 他のコンベア装置の清掃部の斜視図である。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

図１に示されるように、搬送システム１００は、被搬送物１０を搬送経路Ｒに沿って搬送するコンベア装置１と、被搬送物１０を保管する保管装置（いわゆるストッカ）２と、を備えている。コンベア装置１は、半導体デバイスを製造するためのクリーンルームに設置されたものである。また、被搬送物１０は、複数枚の半導体ウェハを収容したカセット（いわゆるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod））である。

搬送経路Ｒが分岐する位置及び合流する位置、並びに搬送経路Ｒの方向が変わる位置には、被搬送物１０の搬送方向を転換する方向転換装置３が設置されている。また、搬送経路Ｒ上の所定の位置には、搬送経路Ｒ上から保管装置２内に被搬送物１０を搬出するための搬出ポート４、及び保管装置２内から搬送経路Ｒ上に被搬送物１０を搬入するための搬入ポート５が設置されている。更に、搬送経路Ｒ上の所定の位置には、搬送経路Ｒ上から搬送システム１００外に被搬送物１０を搬出するための搬出ポート６、及び搬送システム１００外から搬送経路Ｒ上に被搬送物１０を搬入するための搬入ポート７が設置されている。なお、ポート６，７を介して搬送システム１００と他の搬送システムとの間で被搬送物１０が搬送される場合には、天井走行式無人搬送車、無人搬送車、有軌道式無人搬送車等が用いられる。

コンベア装置１は、被搬送物１０を搬送経路Ｒに沿って搬送するコンベア部２０と、搬送経路Ｒ上において被搬送物１０の所定の部分を清掃する清掃部３０と、を備えている。被搬送物１０は、図２及び図３に示されるように、複数枚の半導体ウェハ（物品）を収容する収容部１１と、収容部１１の底部から搬送方向Ａに略垂直な方向（ここでは、搬送方向Ａに対して左右両側）に突出する一対の被支持部（所定の部分）１２と、を有している。収容部１１は、略直方体箱状に形成されている。収容部１１の前面には、半導体ウェハを出し入れするための蓋１３が着脱自在に設けられている。蓋１３が設けられた収容部１１の前端部は、搬送方向Ａに略垂直な方向に拡幅されており、その底部は、当該方向において対向する収容部１１の側面１１ａと略同じ幅となるように絞られている。収容部１１の上面には、天井走行式無人搬送車によってチャックされるフランジ部１４が設けられている。一対の被支持部１２のそれぞれは、搬送方向Ａを長手方向とする略長方形板状に形成されており、下面（第１の面）１２ａ、側面（第２の面）１２ｂ及び上面（第３の面）１２ｃを有している。

図２及び図３に示されるように、コンベア部２０は、搬送方向Ａに対して一方の側及び他方の側（ここでは、左右両側）に配置された一対のコンベアユニット２１が搬送経路Ｒに沿って連結されることで構成されている。一対のコンベアユニット２１は、搬送方向Ａに沿って略平行に立設された一対の支持板２２を有している。各支持板２２の内側には、駆動プーリ２３、従動プーリ２４及び複数のサポートローラ２５が回転自在に取り付けられおり、プーリ２３，２４及びローラ２５には、無端環状のベルト（支持部）２６が掛けられている。ベルト２６の外側の縁部には、ベルト２６の搬送面２６ａに対して立設されるようにフランジ部（規制部）２７が一体的に形成されている。各コンベアユニット２１においては、駆動プーリ２３が駆動させられることで、従動プーリ２４及び複数のサポートローラ２５が従動すると共にベルト２６が循環する。

一対のコンベアユニット２１において、一方のベルト２６上には、被搬送物１０の一方の被支持部１２の下面１２ａが接触し、他方のベルト２６上には、被搬送物１０の他方の被支持部１２の下面１２ａが接触する。このように、ベルト２６は、被支持部１２の下面１２ａに当接して被搬送物１０を支持する。また、一方のベルト２６のフランジ部２７には、被搬送物１０の一方の被支持部１２の側面１２ｂが接触し、他方のベルト２６のフランジ部２７には、被搬送物１０の他方の被支持部１２の側面１２ｂが接触する。このように、フランジ部２７は、被支持部１２の側面１２ｂに当接して搬送方向Ａに略垂直な方向への被搬送物１０の移動を規制する。

図２に示されるように、清掃部３０は、搬送方向Ａに対して一方の側及び他方の側（ここでは、左右両側）に配置された一対の清掃ユニット３１が搬送経路Ｒ上の所定の位置に設置されることで構成されている。清掃部３０が設置される位置は、図１に示されるように、各搬出ポート４，６の直前の位置である。より詳細には、図２に示されるように、搬出ポート４（又は搬出ポート６）となるコンベアユニット２１の直前に設置された長さ調整ユニット２８のフリーローラ２９，２９間に、清掃部３０の清掃ユニット３１が設置されている。長さ調整ユニット２８は、搬出ポート４となる一対のコンベアユニット２１と、その手前（すなわち、搬送方向Ａにおける上流側）において隣接する一対のコンベアユニット２１との間に配置されている。

図４、図５及び図６に示されるように、各清掃ユニット３１は、上方、下方及び側方から被搬送物１０の被支持部１２の一部を覆うように形成されたカバー体３２を有している。カバー体３２は、所定の間隙Ｇ１（例えば１ｍｍ〜２ｍｍ）を介して被支持部１２の下面１２ａに臨むように形成された開口３３ａ、所定の間隙Ｇ２（例えば４ｍｍ〜８ｍｍ）を介して被支持部１２の側面１２ｂに臨むように形成された開口３３ｂ、及び所定の間隙Ｇ３（例えば１ｍｍ〜２ｍｍ）を介して被支持部１２の上面１２ｃに臨むように形成された開口３３ｃを有している。ここでは、開口３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、一続きに形成されている。

カバー体３２には、開口３３ａにおいて被支持部１２の下面１２ａに当接するように塵埃除去部材（第１の塵埃除去部分）３４ａが取り付けられている。また、カバー体３２には、開口３３ｂにおいて被支持部１２の側面１２ｂに当接するように塵埃除去部材（第２の塵埃除去部分）３４ｂが取り付けられている。更に、カバー体３２には、開口３３ｃにおいて被支持部１２の上面１２ｃに当接するように塵埃除去部材（第３の塵埃除去部分）３４ｃが取り付けられている。これらの塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃによって、被搬送物１０の被支持部１２から塵埃を除去する塵埃除去部３４が構成されている。なお、カバー体３２内には、搬送方向Ａにおける塵埃除去部３４の上流側及び下流側、並びに塵埃除去部３４の外側を囲むように一続きの空間Ｓが形成されている。

各塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃには、細かい塵埃を掃くことができるように、細い毛がシート上に高密度で植えられたブラシ状の部材（例えば、パイル、モケット等）が用いられている。各塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃの毛は、ナイロン、ポリエチレン、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）等からなる。なお、被搬送物１０の被支持部１２の材質と塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃの毛の材質との相性で、静電気の発生が著しくなる場合には、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃの毛の材料であるナイロン、ポリエチレン、ＰＥＴ等に導電性処理を施したり、カーボンやステンレス鋼を付加したりしてもよい。

塵埃除去部材３４ａは、その毛が被支持部１２の下面１２ａに接触するように下側保持部材３５に固定されている。また、塵埃除去部材３４ｃは、その毛が被支持部１２の上面１２ｃに接触するように上側保持部材３６に固定されている。各保持部材３５，３６は、カバー体３２内に配置されており、カバー体３２の内面に固定されている。更に、塵埃除去部材３４ｂは、その毛が被支持部１２の側面１２ｂに接触するように弾性部材３７に固定されている。弾性部材３７は、スポンジ等の弾性体からなり、被支持部１２の側面１２ｂに対向した状態で保持部材３５，３６によって挟持されている。このように、塵埃除去部材３４ｂは、被支持部１２の側面１２ｂに対向するように配置された弾性部材３７によって支持されている。なお、塵埃除去部材３４ｂにおいては、少なくとも搬送方向Ａにおける上流側の端部（ここでは、搬送方向Ａにおける上流側の端部及び下流側の端部）が上方から見た場合に凸曲面状に面取りされている。

カバー体３２には、ダクト３８の先端部３８ａが接続されており、先端部３８ａは、カバー体３２内の空間Ｓに開口している。ダクト３８の基端部は、図２に示されるように、塵埃吸引部３９に接続されている。これにより、塵埃吸引部３９は、カバー体３２内に連通している。塵埃吸引部３９は、所定の負圧を形成することで、塵埃除去部３４によって除去された塵埃を周囲雰囲気と共に吸引し、塵埃吸引部３９内に設けられたフィルタによって、吸引した塵埃を回収する。

図４に示されるように、各清掃ユニット３１において、カバー体３２の手前（すなわち、搬送方向Ａにおける上流側）には、収容部１１の側面１１ａと被支持部１２の上面１２ｃとの隅部（つまり、上面１２ｃにおいて塵埃除去部材３４ｃが届かない領域）を掃くように補助ブラシ４０が設けられている。補助ブラシ４０で掃かれた上面１２ｃ上の塵埃は、掃かれた直後にカバー体３２に覆われて、塵埃吸引部３９によって吸引される。

以上のように構成されたコンベア装置１においては、コンベア部２０によって搬送される被搬送物１０が清掃部３０を通過する際に、被支持部１２の下面１２ａに塵埃除去部材３４ａが当接し、被支持部１２の側面１２ｂに塵埃除去部材３４ｂが当接し、被支持部１２の上面１２ｃに塵埃除去部材３４ｃが当接する。これにより、被支持部１２の下面１２ａ、側面１２ｂ及び上面１２ｃから塵埃が除去される。このとき、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃは、カバー体３２に取り付けられており、カバー体３２の開口３３ａ，３３ｂ，３３ｃにおいて被搬送物１０の被支持部１２に当接する。これにより、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃによって除去された塵埃は、カバー体３２外に拡散することが抑制され、カバー体３２内の空間Ｓを介して塵埃吸引部３９に吸引される。従って、コンベア装置１によれば、被搬送物１０から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができる。

ここで、被支持部１２の下面１２ａには、コンベア部２０のベルト２６の当接に起因して塵埃が付着しやすいので、清掃部３０が塵埃除去部材３４ａを有することは、被搬送物１０から塵埃を的確に除去する上で有効である。また、被支持部１２の側面１２ｂには、コンベア部２０のフランジ部２７の当接に起因して塵埃が付着しやすいので、清掃部３０が塵埃除去部材３４ｂを有することも、被搬送物１０から塵埃を的確に除去する上で有効である。更に、コンベア部２０の構成部材が直接接触しないものの、被支持部１２の側面１２ｂに隣接する被支持部１２の上面１２ｃには、被搬送物１０の搬送速度の高速化等に伴い塵埃が付着しやすいので、清掃部３０が塵埃除去部材３４ｃを有することも、被搬送物１０から塵埃を的確に除去する上で有効である。

このように、清掃部３０においては、１つのカバー体３２に塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃが取り付けられているので、清掃部３０の小型化を図りつつ、被搬送物１０において塵埃が付着しやすい被支持部１２の下面１２ａ、側面１２ｂ及び上面１２ｃから一括で塵埃を除去することができる。

また、清掃部３０は、搬送システム１００において、各搬出ポート４，６の直前の位置に設置されている。そのため、塵埃が付着した被搬送物１０が搬送経路Ｒ上から保管装置２内に搬出されたり、搬送経路Ｒ上から搬送システム１００外に搬出されたりすることが防止される。つまり、コンベア装置１内で被搬送物１０に付着した塵埃が、保管装置２内や他の搬送システム内に持ち込まれることが防止される。

また、塵埃除去部材３４ｂは、被支持部１２の側面１２ｂに対向するように配置された弾性部材３７によって支持されている。これにより、搬送方向Ａに略垂直な方向に被搬送物１０が揺れたりがたついたりしても、そのような被搬送物１０の動きが弾性部材３７に吸収されて、被支持部１２の側面１２ｂから塵埃が的確に除去される。更に、塵埃除去部材３４ｂでは、少なくとも搬送方向Ａにおける上流側の端部が凸曲面状に面取りされている。これにより、搬送方向Ａに略垂直な方向に被搬送物１０が揺れたりがたついたりしても、被搬送物１０が塵埃除去部材３４ｂに引っ掛かるようなことが防止される。

更に、カバー体３２の手前には、補助ブラシ４０が設けられている。これにより、被支持部１２の上面１２ｃにおいて塵埃除去部材３４ｃが届かない領域の塵埃が掃かれる。そして、補助ブラシ４０によって掃かれた塵埃は、掃かれた直後にカバー体３２に覆われて、周囲雰囲気への拡散が防止されつつ、カバー体３２内の空間Ｓを介して塵埃吸引部３９に吸引される。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、図７に示されるように、被搬送物１０においては、収容部１１の側面１１ａが略平坦状に形成され、被支持部１２の側面１２ｂが収容部１１の側面１１ａよりも内側に位置していてもよい。この場合、収容部１１の下面（第３の面）１１ｃが被支持部１２の側面１２ｂに隣接することになるので、清掃ユニット３１は、次のように構成される。すなわち、図８に示されるように、清掃ユニット３１には、塵埃除去部材３４ｃに代えて塵埃除去部材（第３の塵埃除去部分）３４ｄが設けられる。つまり、ここでは、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｄによって塵埃除去部３４が構成される。塵埃除去部材３４ｄは、その毛がカバー体３２の開口において収容部１１の下面１１ｃに接触するようにカバー体３２に取り付けられる。これにより、コンベア部２０の構成部材が直接接触しないものの被支持部１２の側面１２ｂとの隣接に起因して塵埃が付着しやすい収容部１１の下面１１ｃから塵埃を的確に除去することができる。

また、コンベア部２０は、上述したようなベルト式コンベアに限定されず、ローラ式コンベアであってもよい。更に、搬送方向Ａに略垂直な方向への被搬送物１０の移動を規制する規制部として、ベルト２６に一体的に形成されたフランジ部２７に代えて、ローラを用いてもよい。

また、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃによって構成される塵埃除去部３４において、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃは、細い毛がシート上に高密度で植えられたブラシ状の部材（例えば、パイル、モケット等）が折り曲げられて構成されるなど、一体的に形成されていてもよい。また、塵埃除去部材３４ｂの毛の長さは、塵埃除去部材３４ａ，３４ｃの毛の長さよりも長くなっていてもよい。搬送方向Ａに略垂直な方向に被搬送物１０が揺れたりがたついたりしても、そのような被搬送物１０の動きが塵埃除去部材３４ｂの毛に吸収されて、被支持部１２の側面１２ｂから塵埃が的確に除去されるからである。これらのことは、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｄによって構成される塵埃除去部３４においても同様である。

更に、コンベア装置１は、半導体デバイスを製造するためのクリーンルームに設置されたものに限定されず、被搬送物１０は、複数枚の半導体ウェハを収容したカセットに限定されない。例えば、フォトマスク（レチクル）やガラス基板等を収容したカセットにも、適用が可能である。そして、コンベア装置１及び被搬送物１０の構成部材の材料及び形状には、前述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を適用することができる。

最後に、図９に示されるように、上述した清掃ユニット３１若しくは補助ブラシ４０に代えて、又は清掃ユニット３１と共に、吹付けノズル４１及び吸引ノズル４２が設けられていてもよい。この場合、吹付けノズル４１及び吸引ノズル４２は、次のように構成される。すなわち、吹付けノズル４１は、噴射孔４１ａが搬送方向Ａにおける上流側かつ外側から被支持部１２の一部に向くように斜めに配置される。一方、吸引ノズル４２は、吸引口４２ａが搬送方向Ａにおける下流側かつ外側から被支持部１２の一部に向くように斜めに配置される。これにより、吹付けノズル４１の噴射孔４１ａから噴射された空気等の気体は、搬送方向Ａに対向した状態で被支持部１２に吹き付けられる。そして、被支持部１２から除去された塵埃は、周囲雰囲気への拡散が防止されつつ、気体と共に吸引ノズル４２の吸引口４２ａに吸引される。

１…コンベア装置、１０…被搬送物、１１…収容部、１１ｃ…下面（第３の面）、１２…被支持部（所定の部分）、１２ａ…下面（第１の面）、１２ｂ…側面（第２の面）、１２ｃ…上面（第３の面）、２０…コンベア部、２６…ベルト（支持部）、２７…フランジ部（規制部）、３０…清掃部、３２…カバー体、３３ａ，３３ｂ，３３ｃ…開口、３４…塵埃除去部、３４ａ…塵埃除去部材（第１の塵埃除去部分）、３４ｂ…塵埃除去部材（第２の塵埃除去部分）、３４ｃ，３４ｄ…塵埃除去部材（第３の塵埃除去部分）、３７…弾性部材、３８…塵埃吸引部、Ａ…搬送方向、Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３…所定の間隙、Ｒ…搬送経路。

Claims (6)

1. 被搬送物を搬送経路に沿って搬送するコンベア部と、前記搬送経路上において前記被搬送物の所定の部分を清掃する清掃部と、を備えるコンベア装置であって、
   前記清掃部は、
   所定の間隙を介して前記所定の部分に臨むように形成された開口を有するカバー体と、
   前記開口において前記所定の部分に当接するように前記カバー体に取り付けられ、前記所定の部分から塵埃を除去する塵埃除去部と、
   前記カバー体内に連通し、前記塵埃除去部によって除去された塵埃を吸引する塵埃吸引部と、を有することを特徴とするコンベア装置。
2. 前記コンベア部は、前記所定の部分の第１の面に当接して前記被搬送物を支持する支持部を有し、
   前記塵埃除去部は、前記開口において前記第１の面に当接する第１の塵埃除去部分を有することを特徴とする請求項１記載のコンベア装置。
3. 前記コンベア部は、前記所定の部分の第２の面に当接して搬送方向に略垂直な方向への前記被搬送物の移動を規制する規制部を更に有し、
   前記塵埃除去部は、前記開口において前記第２の面に当接する第２の塵埃除去部分を更に有することを特徴とする請求項２記載のコンベア装置。
4. 前記第２の塵埃除去部分は、前記第２の面に対向するように配置された弾性部材によって支持されていることを特徴とする請求項３記載のコンベア装置。
5. 前記被搬送物は、前記第２の面に隣接する第３の面を有し、
   前記塵埃除去部は、前記開口において前記第３の面に当接する第３の塵埃除去部分を更に有することを特徴とする請求項３又は４記載のコンベア装置。
6. 前記被搬送物は、物品を収容する収容部と、前記収容部から搬送方向に略垂直な方向に突出する一対の被支持部と、を有し、
   前記第１の面は、前記被支持部の下面であり、前記第２の面は、前記被支持部の側面であり、前記第３の面は、前記被支持部の上面であることを特徴とする請求項５記載のコンベア装置。

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