JP4319849B2

JP4319849B2 - 切断装置

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Publication number: JP4319849B2
Application number: JP2003061416A
Authority: JP
Inventors: 一馬関家
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2003-03-07
Filing date: 2003-03-07
Publication date: 2009-08-26
Anticipated expiration: 2023-03-07
Also published as: JP2004273696A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、切断装置、特にそれに限定されるものではないが、複数個の半導体チップをマトリックス状に配設したチップサイズパッケージ基板を、所定のストリートに沿って切断するのに適する切断装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列された多数の領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路を形成し、該回路が形成された各領域を所定のストリートといわれる切断ラインに沿ってダイシングすることにより個々の半導体チップを製造している。このようにして分割された半導体チップは、パッケージングされて携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用されている。
【０００３】
近年、携帯電話やパソコン等の電気機器はより軽量化、小型化が求められており、半導体チップのパッケージもチップサイズパッケージ（ＣＳＰ）と称する小型化できるパッケージ技術が開発されている。ＣＳＰ技術は、半導体チップの接続端子に対応した接続端子が複数形成されているとともに半導体チップ毎に区画するストリートが格子状に形成された配線基板に複数個の半導体チップをマトリックス状に配設し、半導体チップの裏面側から樹脂をモールディングした樹脂層によって配線基板と半導体チップを一体化することによりＣＳＰ基板を形成する。このＣＳＰ基板をストリートに沿って切断することにより、個々にパッケージされたチップサイズパッケージ（ＣＳＰ）に分割する。
【０００４】
上記ＣＳＰ基板の切断は、一般にダイシング装置とよばれる精密切断装置によって施される。この切断装置は、往復動せしめられるチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持された被加工物を切断するための切断手段とを具備している。切断手段はダイヤモンド粒子を含有した円板形状の回転ブレードから構成されている。また、切断手段には純水でよい加工水を供給するための加工水供給手段が付設されている。チャックテーブルが往動及び／又は復動する際に、チャックテーブル上のＣＳＰ基板に回転ブレードが作用せしめられ、ＣＳＰ基板の切断が遂行される。チャックテーブルを往復動せしめるための往復動機構は、往復動方向に延在する回転自在なねじ軸と、このねじ軸に螺合せしめられた雌ねじ部材とを含んでおり、チャックテーブルは雌ねじ部材に装着されている。ねじ軸及び雌ねじ部材は所謂精密機械要素であり、この機械要素に切断屑及び／又は加工水が付着することを防ぐ必要がある。回転ブレードの回転方向に起因して切断屑及び加工水は、主として、チャックテーブルの往復動方向に見て片側、例えばＣＳＰ基板に作用する部位がチャックテーブルの往動方向に移動する方向に回転ブレードが回転せしめられる場合にはチャックテーブルの往動方向に見て下流側、に飛散せしめられる。加工水の一部は霧となりチャックテーブルの往動方向に見て上流側にも飛散する。そこで、チャックテーブルの往復動方向に見て少なくとも片側、通常は両側、に蛇腹機構を配設してねじ軸等の精密機械要素を覆っている。チャックテーブルが往動又は復動する場合には、チャックテーブルの往動方向に見て下流側に配置された蛇腹機構は収縮され、上流側に配置された蛇腹機構は伸張される。チャックテーブルが復動する場合には、チャックテーブルの往動方向に見て上流側に配置された蛇腹機構は収縮され、下流側に配置された蛇腹機構は伸張される。
【０００５】
上述した切断装置によってＣＳＰ基板を切断する場合、ＣＳＰ基板の縁部にはＣＳＰが形成されていない所謂耳部が存在し、この耳部が比較的大きな切断屑として、チャックテーブルの往復動方向に見て片側、例えばＣＳＰ基板に作用する部位がチャックテーブルの往動方向に移動する方向に回転ブレードが回転せしめられる場合にはチャックテーブルの往動方向に見て下流側、に配置されている蛇腹機構上に飛散せしめられる。蛇腹機構上に飛散した比較的大きな切断屑は、蛇腹機構の円滑な収縮及び伸張を阻害する傾向がある。蛇腹機構は、円滑に収縮及び伸張せしめられることが必要である故に、通常、布或いはその類似シート材料で形成されている。従って、蛇腹機構上に飛散した比較的大きな切断屑によって、蛇腹手段に穴等の損傷が生成される虞も少なくない。
【０００６】
上記問題を解消するために、蛇腹機構の上面を覆う保護シートを配設し、この保護シートがチャックテーブルの往復動に付随して、従って蛇腹機構の収縮及び伸張に付随して適宜に巻き取り及び巻き出されるように構成した切断装置が提案されている。（例えば、特許文献１参照。）
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−２３９８８８号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
而して、上記公報に開示されたものは、蛇腹機構の上面を覆う保護シートに付着した切断屑を確実に取り除くことが困難である。
【０００９】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、蛇腹機構の上面を覆う保護シートに付着した切断屑を確実に取り除くことができる切断装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、往復動せしめられるチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持された被加工物を加工水を供給しつつ切断するための切断手段と、該チャックテーブルの移動方向に沿って配設された排水路を備えた排水手段と、片端が該チャックテーブルに取り付けられ他端が静止部材に取り付けられた蛇腹機構と、該蛇腹機構の上面を覆い片端が該チャックテーブルに取り付けられた保護シートと、該排水手段の前側に配設され該チャックテーブルの移動に伴って該保護シートを巻取り又は巻き出す巻取り手段と、該保護シートの上に落下し該保護シートによって搬送された切削屑を収集する切断屑収集手段と、を具備する切断装置において、
該切断屑収集手段は、加工水を収容する水槽を備えており、
該巻取り手段は、該保護シートの一部が該水槽内を通過するように構成されている、
ことを特徴とする切断装置が提供される。
【００１１】
上記排水手段は、上記保護シートに飛散した切削屑が上記排水路に落下するのを防止するための切削屑落下防止手段を備えていることが望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に従って構成された切断装置の好適実施形態を図示している添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１３】
図１は、本発明に従って構成された切断機の好適実施形態を図示している。全体を番号２で示す切断装置はハウジング４を具備しており、このハウジング４上には待機域６、チャッキング域８、アライメント域１０、切断域１２、洗浄及び乾燥域１４が規定されている。切断すべき被加工物は適宜の搬入手段（図示していない）によって待機域６上に搬入せしめられる。
【００１４】
図２には待機域６に搬入せしめられる被加工物の典型例を図示している。図示の被加工物はＣＳＰ基板１６であり、このＣＳＰ基板１６は矩形板状である合成樹脂製基板１８を有する。合成樹脂製基板１８上にはストリート２０が格子状に配列されており、このストリート２０によって複数個（図示の場合は３２個）の矩形領域が区画されている。矩形領域の各々にはＣＳＰ２２が配設されている。合成樹脂基板１８の４周縁部にはＣＳＰが形成されていない所謂耳部２４が存在する。図示の実施形態においては、ＣＳＰ基板１６がそれ単独で待機域６に搬入されるのではなく、ＣＳＰ基板１６は装着治具２６上に載置されて待機域６に搬入される。適宜の金属板から形成することができる装着治具２６はＣＳＰ基板１６よりも幾分大きい矩形板状である。装着治具２６の上面中央部には溝２８が格子状に配列されており、この溝２８によって複数個（図示の場合は３２個）の矩形領域３０が区画されている。矩形領域３０の各々はＣＳＰ基板１６におけるＣＳＰ２２の各々に対応せしめられており、平面図における矩形領域３０の寸法はＣＳＰ２２の寸法と実質上同一である。装着治具２６の矩形領域３０の各々には厚さ方向に貫通せしめられている吸引孔３２が形成されている。装着治具２６の裏面には全ての吸引孔３２を接続している吸引溝（図示していない）が形成されている。ＣＳＰ基板１６は複数個のＣＳＰ２２の各々を装着治具２６の矩形領域３０の各々に整合せしめて装着治具２６上に載置される。そして、その上面にＣＳＰ基板１６が載置された装着治具２６が切断装置２の待機域６上に搬入される。
【００１５】
再び図１を参照して説明を続けると、待機域６、チャッキング域８並びに洗浄及び乾燥域１４に関連せしめて、第一の搬送手段３４が配設されている。この第一の搬送手段３４は、待機域６に搬入された装着治具２６を吸引して、装着治具２６とその上面に載置されているＣＳＰ基板１６をチャッキング域８に搬送し、チャッキング域８に位置せしめられているチャックテーブル３６上に載置する。図示の実施形態におけるチャックテーブル３６は、装着治具２６よりも幾分大きい矩形状の吸引盤３８を有する。吸引盤３８の中央部には矩形状の吸引開口４０が形成されており、この吸引開口４０には吸引管４２の先端が開口せしめられている。チャックテーブル３６の吸引盤３８上に装着治具２６が搬入されると、吸引管４２が真空源（図示していない）に連通せしめられ、これによって吸引盤３８上に装着治具２６が真空吸引され、そしてまた装着治具２６に形成されている吸引孔３２の各々が真空源に連通せしめられる故に、ＣＳＰ基板１６（更に詳しくはそのＣＳＰ２２の各々）が装着治具２６に真空吸着される。
【００１６】
チャックテーブル３６は図１に矢印４４及び４６で示す方向に往復動自在に配設されており（チャックテーブル３６の往復動については後に更に言及する）、そして更に実質上鉛直に延びる中心軸線を中心として回転自在に配設されている。チャッキング域８においてチャックテーブル３６上に装着治具２６が載置され真空吸着されると、チャックテーブル３６が矢印４４で示す方向に往動せしめられ、装着治具２６上のＣＳＰ基板１６がアライメント域１０に位置付けられる。アライメント域１０には顕微鏡等を備えた撮像手段４８が配設されており、ＣＳＰ基板１６の表面が撮像手段４８によって撮像される。そして撮像された画像を解析することによって、ＣＳＰ基板１６の配置状態、更に詳しくはＣＳＰ基板１６上のストリート２０の各々の位置、即ちチャックテーブル３６の往復動方向４４及び４６であるＸ方向及びこれに垂直なＹ方向の位置、が認識されると共に、チャックテーブル３６の往復動方向４４及び４６に対するストリート２０の傾斜が認識される。撮像手段４８によって撮像される画像はハウジング４上に配設されているモニター５０にも表示される。
【００１７】
次いで、チャックテーブル３６が切断域１２に移動せしめられ、ＣＳＰ基板１６の切断が遂行される。切断域１２に関連せしめて切断手段５２が配設されている。図示の実施形態における切断手段５２は、実質上水平に延びる回転軸５４の先端部に固定された回転ブレード５６から構成されている。回転ブレード５６はダイヤモンド粒子を含有した薄肉円板形状の切断刃でよい。切断手段５２には、純水の如き加工水を供給するための加工水供給手段５８も付設されている。ＣＳＰ基板１６の切断は、次のとおりにして遂行される。最初に、ＣＳＰ基板１６における第１の方向に延びる複数個のストリート２０の延在方向がチャックテーブル３６の往復動方向４４（Ｘ方向）及び４６に精密に平行に設定され、そして複数本のストリート２０の特定の１個のＹ方向位置が回転切断刃５６のＹ方向位置に精密に整合せしめられる。この位置合わせの際には、撮像手段４８によって撮像されたＣＳＰ基板１６の表面の画像の解析結果が利用される。しかる後に、所定高さに位置せしめられている回転ブレード５６が矢印６０で示す方向（即ち、回転ブレード５６のＣＳＰ基板１６に作用する下端部がチャックテーブル３６の往動方向４４に移動する方向）に回転せしめられると共に、チャックテーブ３６が矢印４４で示す方向に往動せしめられ、回転ブレード５６の作用によってＣＳＰ基板１６が特定の切断ストリート２０に沿って切断される（回転ブレード５６によるＣＳＰ基板１６の切断については後に更に言及する）。ＣＳＰ基板１６を切断する回転ブレード５６の、ＣＳＰ基板１６の下面を越えて下方に突出する部分は、装着治具２６の上面に配設されている溝２８内に位置せしめられる。回転ブレード５６によってＣＳＰ基板１６が切断される際には、加工水供給手段５８が加工水を供給する。１個の切断ストリート２０に沿った切断が終了すると、回転ブレード５６が固定されている回転軸５４が非作用位置まで上昇せしめられ、チャックテーブル３６が所要位置まで矢印４６で示す方向に復動せしめられる。そして、回転ブレード５６及び回転軸５４が割り出し方向である矢印Ｙで示す方向に所定量割り出し送りされると共に回転ブレード５６及び回転軸５４が所定位置まで下降せしめられる。しかる後に、チャックテーブル３６が再び往動せしめられ、次のストリート２０に沿ってＣＳＰ基板１６が切断される。このようにして第１の方向に延びる複数個のストリート２０に沿ってＣＳＰ基板１６が切断せしめられると、チャックテーブル３６が９０度の角度範囲に渡って回転せしめられ、それまで第２の方向と直角な第２の方向に延在していた複数個のストリート２０がＸ方向に延在する状態に位置付けられる。そして、第２の方向に延在する複数個のストリート２０の各々に沿ったＣＳＰ基板１６の切断が遂行される。
【００１８】
切断域１２においてＣＳＰ基板１６が所要とおりに切断された後には、チャックテーブル３６はチャッキング域８に戻される。チャッキング域８並びに洗浄及び乾燥域１４に関連せしめて第二の搬送手段６１が配設されている。第二の搬送手段６１はチャックテーブル３６上の装着治具２６を吸引保持して、装着治具２６及びその上に載置されている既にストリート２０に沿って切断されたＣＳＰ基板１６を洗浄及び乾燥域１４に搬送し、洗浄及び乾燥域１４に配置されているチャック手段（図示していない）上に載置する。そして、洗浄及び乾燥域１４に配設されている洗浄及び乾燥手段（図示していない）によって、装着治具２６及びその上に存在する切断されたＣＳＰ基板１６が洗浄され乾燥される。しかる後に、上記第一の搬送手段３４によって装着治具２６及びその上に存在する切断されたＣＳＰ基板１６が待機域６に搬送される。そして、装着治具２６及びその上の切断されたＣＳＰ基板１６は、適宜の搬出手段（図示していない）によって、例えば個々に切断されたＣＳＰ２２を装着治具２６上から収容ケースに移送するための移送装置（図示していない）に搬送される。
【００１９】
図１を参照して説明を続けると、図示の実施形態においては、チャックテーブル３６は図１に示すアライメント域１０の上流側に位置する片端位置と切断域１２における切断手段５２の下流側に位置する他端位置との間を矢印４４及び４６で示す方向に往復動自在に配設されている。そして、チャックテーブル３６にはこれを往復動せしめるための往復動機構（図示していない）が配設されている。それ自体は周知の形態でよい往復動機構は、チャックテーブル３６の下方に回転自在に装着されたねじ軸を含んでいる。このねじ軸はチャックテーブル３６の往復動方向４４及び４６に延在している。チャックテーブル３６には雌ねじ部材が固定され、かかる雌めじ部材がねじ軸に螺合せしめられている。従って、ねじ軸の正転に応じてチャックテーブル３６がねじ軸に沿って矢印４４で示す方向に往動され、ねじ軸の逆転に応じてチャックテーブル３６がねじ軸に沿って矢印４６で示す方向に復動せしめられる。このような往復動機構におけるねじ軸及び雌ねじ部材は精密機械要素であり、切断域１２において生成される切断屑、切断域１２において供給される加工水からから防護することが必要である。
【００２０】
図１と共に図３乃至図５を参照して説明すると、図示の実施形態においては、チャックテーブル３６の往復動方向に見てチャックテーブル３６の両側に蛇腹機構６２及び６４が配設されており、往復動機構におけるねじ軸及び雌ねじ部材の如き精密機械要素はチャクテーブル３６自体と共にその両側に配設された第１の蛇腹機構６２及び第２の蛇腹機構６４によって覆われている。第１の蛇腹機構６２は、布の如き折り畳み可能なシート部材によって複数の山部と谷部が交互に形成され伸縮自在に構成された蛇腹部材６２１と、該蛇腹部材６２１の両端にそれぞれ装着され金属板から形成することができる連結部材６２２、６２３とからなっている。このように構成された蛇腹部材６２１は、連結部材６２２がチャックテーブル３６が上記片端位置に位置付けられている時にその上流側に位置する静止部材（図示していない）に連結され、連結部材６２３がチャックテーブル３６の上流側面に連結されている。蛇腹部材６２１および連結部材６２２、６２３とによって構成された第１の蛇腹機構６２は、逆チャッネル形状の横断面形状を有する。このように構成された第１の蛇腹機構６２の蛇腹部材６２１は、チャックテーブル３６が上記片端位置から上記他端位置に向けて矢印４４で示す方向に往動せしめられる際には、チャックテーブル３６の往動に応じて漸次伸張せしめられ、チャックテーブル３６が上記他端位置から上記片端位置に向けて復動せしめられる際には漸次収縮せしめられる。
【００２１】
次に、第２の蛇腹機構６４について、図４を参照して説明する。
第２の蛇腹機構６４も上記第１の蛇腹機構６２と同様に、蛇腹部材６４１と、該蛇腹部材６４１の両端にそれぞれ装着され金属板から形成することができる連結部材６４２、６４３とからなっている。蛇腹部材６４１は、上記第１の蛇腹機構６２の蛇腹部材６２１と同様に布の如き折り畳み可能なシート部材によって複数の山部と谷部が交互に形成され伸縮自在に構成され、逆チャッネル形状の横断面形状を有している。このように構成された第２の蛇腹機構６４の蛇腹部材６４１の一端即ちチャックテーブル３６側の端部に装着された連結部材６４２は、チャックテーブル３６の下流側面に連結されている。また、蛇腹部材６４１の他端即ちチャックテーブル３６側と反対側の端部に装着された連結部材６４３は、後述する静止部材に取り付けられている。従って、第２の蛇腹機構６４を構成する蛇腹部材６４１は、チャックテーブル３６が上記片端位置から上記他端位置に向けて矢印４４で示す方向に往動せしめられる際にはチャックテーブル３６の往動に応じて漸次収縮せしめられ、チャックテーブル３６が上記他端位置から上記片端位置に向けて復動せしめられる際には漸次伸張せしめられる。
【００２２】
図３乃至図５を参照して説明を続けると、上記チャックテーブル３６及び第１の蛇腹機構６２、第２の蛇腹機構６４の両側方には、チャックテーブル３６の移動方向に沿って排水手段６６が配設されている。この排水手段６６は、仕切部材６７と仕切り板６８１、６８２とからなっている。仕切部材６７は、底壁６７１とその両側縁から上方に延びる両側壁６７２、６７３を有しており、底壁６７１にはチャックテーブル３６を往復動可能に支持する支持機構（図示していない）の移動を許容する切欠６７１ａが形成されている。仕切り板６８１、６８２は、仕切部材６７の底壁６７１の上面に図４に示されているように両側壁６７２、６７３とそれぞれ平行に装着されている。従って、仕切部材６７の底壁６７１上には、側壁６７２と仕切り板６８１によって形成される排水路６６１と、側壁６７３と仕切り板６８２によって形成される排水路６６２とが形成される。なお、上記仕切り板６８１と６８２との間隔は、上記蛇腹機構６４を構成する蛇腹部材６４１の幅寸法Ｌ１より小さい値に設定されている。従って、仕切り板６８１、６８２は、横断面形状が逆チャッネル形状の蛇腹部材６４１によって包囲される。後述するように排水路６６１、６６２には加工水が飛散するが、この加工水をチャックテーブル３６の往動方向４４に見て下流側に流動せしめるために、仕切部材６７はチャックテーブル３６の往動方向４４に見て下流に向かって若干下方に傾斜せしめられていることが望ましい。なお、底壁６７１の下流側端部には排水口６７１ｂ、６７１ｂが設けられている。図示の実施形態においては、上記仕切り板６８１、６８２の下流側端面には、両者間を連結する静止部材としての取付け板６８３が装着されている。この取付け板６８３に上記第２の蛇腹機構６４を構成する蛇腹部材６４１に装着された連結部材６４５が締結ボルト６９によって取り付けられる。
【００２３】
図示の実施形態にける排水手段６６は、後述する保護シートに飛散した切削屑が上記排水路６６１、６６２に落下するのを防止するための切削屑落下防止手段７０を備えている。この切削屑落下防止手段７０は、上記仕切部材６７の両側壁６７２、６７３にそれぞれ配設された遮蔽部材７１、７２とからなっている。遮蔽部材７１、７２は、それぞれ仕切部材６７の両側壁６７２、６７３の上端部に嵌合する嵌合溝７１１ａ、７２１ａを備えた装着部７１１、７２１と、該装着部７１１、７２１の上端から互いに内側に水平に延びるカバー部７１２、７２２と、該カバー部７１２、７２２の内縁から斜め下方に延びる切削屑規制部７１３、７２３とからなっており、それぞれ適宜の合成樹脂によって一体成形されている。このように形成された遮蔽部材７１、７２は、図３及び図５に示すように装着部７１１、７２１の嵌合溝７１１ａ、７２１ａを仕切部材６７の両側壁６７２、６７３の上端部に嵌合することによって仕切部材６７に装着される。
【００２４】
図３及び図６を参照して説明すると、図示の実施形態においては、第２の蛇腹機構６４の蛇腹部材６４１を比較的大きな切削屑を含む切削屑から保護するために、第２の蛇腹機構６４の上面を覆う保護シート７５が配設されている。保護シート７５の片端には連結部材７６が固定されており、この連結部材７６がチャックテーブル３６の上面片縁部に適宜の固着手段によって取り付けられている。なお、保護シート７５は、ポリエステルシート或いはポリエチレンテレフタレートシートの如き可撓性を有する適宜の合成樹脂シートから形成することができる。また、連結部材７６も可撓性を有する適宜の合成樹脂によって形成されている。なお、保護シート７５の幅寸法Ｌ２は、上記蛇腹機構６４を構成する蛇腹部材６４１の幅寸法Ｌ１より大きく形成されている。
【００２５】
上記のように構成された保護シート７５は、図３及び図６に示すようにその両側部が上記切削屑落下防止手段７０の遮蔽部材７１、７２を構成する切削屑規制部７１３、７２３の下側に沿って配設される。図示の実施形態における切断装置は、上記排水手段６６の前側に配設され該チャックテーブルの移動に伴って該保護シートを巻取り又は巻き出す巻取り手段８０を備えている。図示の実施形態における巻取り手段８０は、上記排水手段６６を構成する仕切部材６７の前端に装着される支持プレート８１を具備している、この支持プレート８１の前面には所定の間隔を置いて一対の支持ブラケット８２、８３が適宜の固着手段によって装着されている。一対の支持ブラケット８２、８３には、保護シート７５の他端部を取り付け該保護シート７５を巻取り及び巻き出すための巻取りロール８４が回転自在に支持されている。一対の支持ブラケット８２、８３の前上端部には、それぞれ内側に突出して支持ローラ８５、８６が装着されている。この支持ローラ８５、８６は、それぞれ内側にいくに従って下方に向けて傾斜して配設されている。また、一対の支持ブラケット８２、８３の前下端部には、案内ロール８７が回転自在に支持されている。
【００２６】
以上のように構成された巻取り手段８０の巻取りロール８４に上記保護シート７５の他端部が取り付けられる。即ち、保護シート７５は、支持ローラ８５、８６の上側を通して下方に下がり案内ロール８７を通して反転し、他端部が巻取りロール８４に取り付けられる。なお、巻取りロール８４は、保護シート７５を巻き取る方向に作用するコイルバネが内蔵されている。即ち、チャックテーブル３６が図３において矢印４４で示す方向に往動する際には、保護シート７５の片端はチャックテーブル３６の往動に付随して矢印４４で示す方向に移動せしめられ、かかる移動に応じて保護シート７５は巻取りロール８４に漸次巻き取られる。一方、チャックテーブル３６が図３において矢印４６で示す方向に往動する際には、保護シート７５の片端はチャックテーブル３６の往動に付随して矢印４６で示す方向に移動せしめられ、かかる移動に応じて保護シート７５は巻取りロール８４から漸次巻き出される。このように保護シート７５が巻き取り或いは巻き出される際に、上記支持ローラ８５、８６および案内ロール８７は保護シート７５の移動を案内する。なお、支持ローラ８５、８６がそれぞれ内側にいくに従って下方に向けて傾斜して配設されているのは、第２の蛇腹機構６４の上側に位置する保護シート７５が図５に示すように巻き癖と自重及び加工水の重量によって中央部が下方に湾曲するため、この形状を維持するためである。
【００２７】
図３を参照して説明を続けると、上記排水手段６６を構成する仕切部材６７の下流側端部の下方には、切断屑収集手段９０が配設されている。図示の実施形態における切断屑収集手段９０は、保護シート７５の一部が通過せしめられる水槽９１と、切断屑搬送手段９２と、切断屑収集容器９３とを含んでいる。水槽９１は上面が開放された箱状に形成されており、その前壁９１１の上部にはドレーンホース９１２が接続されている。このように構成され水槽９１は、排水手段６６を構成する仕切部材６７の下流側端部の下方に配置される。この水槽９１内には上記排水路６６１、６６２に設けられた排水口６７１ｂから排水された加工水が収容され、巻取り手段８０を構成する案内ロール８７および保護シート７５の一部が水没するようになっている。
【００２８】
上記切断屑搬送手段９２は、排水手段６６の幅方向に延在せしめられている無端搬送ベルト機構から構成されており、駆動ローラ９２１と従動ローラ９２２、と転動ローラ９２３、９２４及びこれらのローラに巻き掛けられた無端ベルト９２５を含んでいる。駆動ローラ９２１は電動モータ９２６の駆動軸に伝動連結されており、矢印９２７で示す方向に回転駆動され、これによって無端ベルト８２５が矢印９２７で示す方向に駆動せしめられる。合成ゴムの如き適宜の材料から形成することができる無端ベルト９２５には、多数の排水孔９２５ａが形成されていることが望ましい。このように構成された切断屑搬送手段９２は、従動ローラ９２２及び転動ローラ９２４側が水槽９１内において巻取り手段８０を構成する案内ロール８７の下側に配置され、駆動ローラ９２１側が水槽９１より上側において側方に突出して配置される。そして、この水槽９１より側方に突出して配置された切断屑搬送手段９２の下方に切断屑収集容器９３が配置される。
【００２９】
図１と共に主に図３を参照して説明を続けると、切断域１２におけるＣＳＰ基板１６の切断に起因してチャックテーブル３６の往動方向４４に見てチャックテーブル３６の下流側に飛散した切断屑９５及び加工水は、蛇腹機構６４の上方を覆う保護シート７５上に落下する。従って、蛇腹部材６４１上に直接的に切断屑９５が落下せしめられることはない。このため、切断屑９５による蛇腹部材６４１の破損が防止される。なお、保護シート７５上に落下した加工水は、その一部が保護シート７５と切削屑落下防止手段７０の遮蔽部材７１、７２を構成する遮蔽部７１３、７２３との隙間から排水路６６１、６６２に落下し、チャックテーブル３６の往動方向４４に見て下流に向かって流動する。そして、加工水は仕切部材６７を形成する底壁６７１の下流側端部に設けられた排水口６７１ｂ、６７１ｂから水槽９１内に流下する。一方、保護シート７５上に落下した切断屑９５は、切削屑落下防止手段７０の遮蔽部材７１、７２を構成する切削屑規制部７１３、７２３によって排水路６６１、６６２側への移動が規制される。従って、排水路６６１、６６２への切断屑９５の落下を防止することができる。
【００３０】
上述したように切断屑９５及び加工水を上面に保持した保護シート７５は、チャックテーブル３６が往動方向４４に往動せしめられると、これに応じて片端が往動方向４４に移動せしめられる。保護シート７５の片端が往動方向４４に移動すると、保護シート７５は巻取り手段８０の巻取りロール８４に巻き取られるため、保護シート７５上に保持された切断屑９５及び加工水は保護シート７５と共に往動方向４４に移動移動し、支持ローラ８５、８６を越えると水槽９１内に落下する。このとき、保護シート７５に付着して落下しない切断屑は、保護シート７５が更に巻取りロール８４に巻き取られることにより水槽９１内を通過し水没するため、確実に除去される。このようにして水槽９１内に落とされた切断屑９５は、切断屑搬送手段９２の無端ベルト９２５上に落下せしめられる。無端ベルト９２５上に落下せしめられた切断屑９５は無端ベルト９２５の移動に付随して矢印９２７で示す方向に搬送され、無端ベルト９２５の方向変化部位において切断屑収集容器９３内に落下される。
【００３１】
以上、本発明を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形乃至修正が可能であることは言うまでもない。例えば、図示の実施形態においては、チャックテーブルの両側に配設した蛇腹機構の一方に関して本発明を適用した例を示したが、切断屑が双方の蛇腹機構に飛散する虞がある場合等においては、双方の蛇腹機構に関して本発明を適用してもよい。
【００３２】
【発明の効果】
本発明による切断装置は以上のように構成されているので、蛇腹機構の上面を覆う保護シートに付着している切断屑は保護シートが巻取りロールに巻き取られることにより水槽内を通過し水没するするため、確実に除去される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従って構成された切断装置の全体を示す斜面図。
【図２】図１の切断装置によって切断されるＣＳＰ基板及びこれをチャックテーブルに装着するために使用される装着治具を示す分解斜面図。
【図３】図１の切断装置における蛇腹機構及びこれらの関連手段を示す部分斜面図。
【図４】図１の切断装置における蛇腹機構及びこれらの関連手段を示す分解斜面図。
【図５】図３におけるＡ−Ａ線断面図。
【図６】図１の切断装置における保護シートおよび巻取り手段を示す斜視図。
【符号の説明】
２：切断装置
４：ハウジング
６：待機域
８：チャッキング域
１０：アライメント域
１２：切断域
１４：洗浄及び乾燥域
１６：ＣＳＰ基板
２０：切断ストリート
２２：ＣＳＰ
２４：耳部
２６：装着治具
３６：チャックテーブル
５２：切断手段
５６：回転ブレード
５８：加工水供給手段
６２：第１の蛇腹機構
６２１：蛇腹部材
６２２、６２３：連結部材
６４：第２の蛇腹機構
６４１：蛇腹部材
６４４、６４５：連結部材
６６：排水手段
６６１、６６２：排水路
７０：切削屑落下防止手段
７１、７２：遮蔽部材
７５：保護シート
８０：巻取り手段
８１：支持プレート
８２、８３：支持ブラケット
８４：巻取りロール
８５、８６：支持ローラ
８７：案内ロール
９０：切断屑収集手段
９１：水槽
９２：切断屑搬送手段
９３：切断屑収集容器

Claims

往復動せしめられるチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持された被加工物を加工水を供給しつつ切断するための切断手段と、該チャックテーブルの移動方向に沿って配設された排水路を備えた排水手段と、片端が該チャックテーブルに取り付けられ他端が静止部材に取り付けられた蛇腹機構と、該蛇腹機構の上面を覆い片端が該チャックテーブルに取り付けられた保護シートと、該排水手段の前側に配設され該チャックテーブルの移動に伴って該保護シートを巻取り又は巻き出す巻取り手段と、該保護シートの上に落下し該保護シートによって搬送された切削屑を収集する切断屑収集手段と、を具備する切断装置において、
該切断屑収集手段は、加工水を収容する水槽を備えており、
該巻取り手段は、該保護シートの一部が該水槽内を通過するように構成されている、
ことを特徴とする切断装置。
該排水手段は、該保護シートに飛散した切削屑が該排水路に落下するのを防止するための切削屑落下防止手段を備えている、請求項１記載の切断装置。