JP4769601B2

JP4769601B2 - 研削装置

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Publication number: JP4769601B2
Application number: JP2006066141A
Authority: JP
Inventors: 欣浩楠
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2006-03-10
Filing date: 2006-03-10
Publication date: 2011-09-07
Anticipated expiration: 2026-03-10
Also published as: JP2007243046A

Description

本発明は、半導体チップをパッケージしたチップサイズパッケージ（ＣＳＰ）基板等の被加工物を切断する切断装置に関する。

半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列された多数の領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路を形成し、該回路が形成された各領域を所定のストリートといわれる切断ラインに沿ってダイシングすることにより個々の半導体チップを製造している。このようにして分割された半導体チップは、パッケージングされて携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用されている。
携帯電話やパソコン等の電気機器はより軽量化、小型化が求められており、半導体チップのパッケージもチップサイズパッケージ（ＣＳＰ）と称する小型化できるパッケージ技術が開発されている。ＣＳＰ技術の一つとして、ＱｕａｄＦｌａｔＮｏｎ−ｌｅａｄＰａｃｋａｇｅ（ＱＦＮ）と称するパッケージ技術が実用化されている。このＱＦＮと称するパッケージ技術は、半導体チップの接続端子に対応した接続端子が複数形成されているとともに半導体チップ毎に区画するストリートが格子状に形成された銅板等の金属板に複数個の半導体チップをマトリックス状に配設し、半導体チップの裏面側から樹脂をモールディングした樹脂部によって金属板と半導体チップを一体化することによりＣＳＰ基板を形成する。このＣＳＰ基板をストリートに沿って切断することにより、個々にパッケージされたチップサイズパッケージ（ＣＳＰ）に分割する。

上記ＣＳＰ基板の切断は、一般にダイシング装置とよばれる精密切削装置によって施される。この切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルを往復動せしめるための往復動機構と、チャックテーブル上に保持された被加工部を切断するための切削ブレードを備えた切削手段とを具備している。また、切削手段には純水でよい加工水を供給するための加工水供給手段が付設されている。チャックテーブルが往動及び／又は復動する際に、チャックテーブル上のＣＳＰ基板に切削ブレードが作用せしめられ、ＣＳＰ基板の切断が遂行される。チャックテーブルを往復動せしめるための往復動機構は、往復動方向に延在する回転自在なねじ軸と、このねじ軸に螺合せしめられた雌ねじ部材とを含んでおり、チャックテーブルは雌ねじ部材に装着されている。ねじ軸および雌ねじ部材は所謂精密機械要素であり、この機械要素に切断屑及び／又は加工水が付着することを防ぐ必要がある。切削ブレードの回転方向に起因して切断屑および加工水は、主として、チャックテーブルの往復動方向に見て片側、例えばＣＳＰ基板に作用する部位がチャックテーブルの往動方向に移動する方向に切削ブレードが回転せしめられる場合にはチャックテーブルの往動方向に見て下流側、に飛散せしめられる。加工水の一部は霧となりチャックテーブルの往動方向に見て上流側にも飛散する。そこで、チャックテーブルの往復動方向に見て少なくとも片側、通常は両側、に蛇腹部材を配設してねじ軸等の精密機械要素を覆っている。チャックテーブルが往動または復動する場合には、チャックテーブルの往動方向に見て下流側に配置された蛇腹部材は収縮され、上流側に配置された蛇腹部材は伸張される。チャックテーブルが復動する場合には、チャックテーブルの往動方向に見て上流側に配置された蛇腹部材は収縮され、下流側に配置された蛇腹部材は伸張される。

上述した切削装置によってＣＳＰ基板を切断する場合、ＣＳＰ基板の縁部にはＣＳＰが形成されていない所謂耳部が存在し、この耳部が比較的大きな切断屑として、チャックテーブルの往復動方向に見て片側、例えばＣＳＰ基板に作用する部位がチャックテーブルの往動方向に移動する方向に切削ブレードが回転せしめられる場合にはチャックテーブルの往動方向に見て下流側、に配置されている蛇腹部材上に飛散せしめられる。蛇腹部材上に飛散した比較的大きな切断屑は、蛇腹部材の円滑な収縮及び伸張を阻害する傾向がある。蛇腹部材は、円滑に収縮および伸張せしめられることが必要であるために、通常、布或いはその類似シート材料で形成されている。従って、蛇腹部材上に飛散した比較的大きな切断屑によって、蛇腹手段に穴等の損傷が生成される虞も少なくない。

上記問題を解消するために、蛇腹部材の上面を覆う保護部材を配設した蛇腹機構を備えた切削装置が提案されている。（例えば、特許文献１および特許文献２参照。）

特開２００２−２３９８８８号公報特開２００４−１８６３６１号公報

而して、上記公報に開示された蛇腹機構は、切削によって飛散された切断屑が保護部材上に落下するので蛇腹部材を保護することはできるが、保護部材上に落下した切削屑が保護部材の両端から蛇腹部材の両側に沿って形成されている排水路に落下する。このため、定期的に排水路に堆積した切削屑を洗浄しなければならず、生産性が悪いという問題がある。

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、蛇腹部材を確実に保護することができるとともに、蛇腹部材の両側に切削屑が落下することを防止できる蛇腹機構を備えた切削装置を提供することにある。

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、往復動せしめられるチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持された被加工物を切断するための切断手段と、一端が該チャックテーブルに取り付けられ他端が静止部材に取り付けられた蛇腹機構と、を具備する切断装置において、
該蛇腹機構は、シート部材によって複数の山部と谷部が交互に形成され伸縮自在に構成された蛇腹部材と、該蛇腹部材の複数の山部にそれぞれ装着され該蛇腹部材が伸長された状態において隣接する山部と山部との間隔より大きい幅を有する複数の保護部材とを具備し、
該複数の保護部材は、台形に形成された主保護部と、該主保護部の両脚辺から立設された補助保護部とからなり、該主保護部の下底辺部が該蛇腹部材の山部に装着され、該主保護部の上底辺部が隣接する該主保護部の上面に摺動可能に重合せしめられている、
ことを特徴とする切削装置が提供される。

本発明による研削装置においては、チャックテーブルに一端が取り付けられた蛇腹機構を構成する蛇腹部材の複数の山部にそれぞれ装着された複数の保護部材は、台形に形成された主保護部と、主保護部の両脚辺から立設された補助保護部とからなり、主保護部の下底辺部が蛇腹部材の山部に装着され、主保護部の上底辺部が隣接する主保護部の上面に摺動可能に重合せしめられているので、蛇腹部材の伸縮作用の妨げとはならない。従って、蛇腹部材の上側は常に複数の保護部材の主保護部に覆われているので、切断屑が蛇腹部材の谷部に侵入することがなく、切断屑による蛇腹部材の破損が防止される。また、主保護部の両脚辺にはそれぞれ補助保護部が立設されているので、主保護部に飛散された切断屑が主保護部の両端から蛇腹部材の両側に落下することはない。

以下、本発明に従って構成された切削装置の好適実施形態を図示している添付図面を参照して、更に詳細に説明する。

図１は、本発明に従って構成された切削装置の斜視図が示されている。全体を番号２で示す切削装置はハウジング４を具備しており、このハウジング４上には待機域６、チャッキング域８、アライメント域１０、切断域１２、洗浄・乾燥域１４が規定されている。切断すべき被加工物は適宜の搬入手段（図示していない）によって待機域６上に搬入せしめられる。

図２には待機域６に搬入せしめられる被加工物の典型例を図示している。図示の被加工物はＣＳＰ基板１６であり、このＣＳＰ基板１６は矩形板状である合成樹脂製基板１８を有する。合成樹脂製基板１８上には複数のストリート２０が格子状に配列されており、このストリート２０によって複数（図示の場合は３２個）の矩形領域が区画されている。矩形領域の各々にはＣＳＰ２２が配設されている。合成樹脂基板１８の４周縁部にはＣＳＰが形成されていない所謂耳部２４が存在する。図示の実施形態においては、ＣＳＰ基板１６がそれ単独で待機域６に搬入されるのではなく、ＣＳＰ基板１６は装着治具２６上に載置されて待機域６に搬入される。適宜の金属板から形成することができる装着治具２６はＣＳＰ基板１６よりも幾分大きい矩形板状である。装着治具２６の上面中央部には溝２８が格子状に配列されており、この溝２８によって複数個（図示の場合は３２個）の矩形領域３０が区画されている。矩形領域３０の各々はＣＳＰ基板１６におけるＣＳＰ２２の各々に対応せしめられており、平面図における矩形領域３０の寸法はＣＳＰ２２の寸法と実質上同一である。装着治具２６の矩形領域３０の各々には厚さ方向に貫通せしめられている吸引孔３２が形成されている。装着治具２６の裏面には全ての吸引孔３２を接続している吸引溝（図示していない）が形成されている。ＣＳＰ基板１６は複数個のＣＳＰ２２の各々を装着治具２６の矩形領域３０の各々に整合せしめて装着治具２６上に載置される。そして、その上面にＣＳＰ基板１６が載置された装着治具２６が切削装置２の待機域６上に搬入される。

再び図１を参照して説明を続けると、待機域６、チャッキング域８および洗浄・乾燥域１４に関連せしめて、第１の搬送手段３４が配設されている。この第１の搬送手段３４は、待機域６に搬入された装着治具２６を吸引して、装着治具２６とその上面に載置されているＣＳＰ基板１６をチャッキング域８に搬送し、チャッキング域８に位置せしめられているチャックテーブル３６上に載置する。図示の実施形態におけるチャックテーブル３６は、装着治具２６よりも幾分大きい矩形状の吸引盤３８を有する。吸引盤３８の中央部には矩形状の吸引開口４０が形成されており、この吸引開口４０には吸引管４２の先端が開口せしめられている。チャックテーブル３６の吸引盤３８上に装着治具２６が搬入されると、吸引管４２が図示しない吸引手段に連通せしめられ、これによって吸引盤３８上に装着治具２６が吸引保持され、そしてまた装着治具２６に形成されている吸引孔３２の各々が吸引手段に連通せしめられるので、ＣＳＰ基板１６（更に詳しくはそのＣＳＰ２２の各々）が装着治具２６に吸引保持される。

チャックテーブル３６は図１に矢印X1（往動方向）およびX2（復動方向）で示す加工送り方向Xに往復動自在に装着されており（チャックテーブル３６の往復動については後に更に言及する）、そして更に実質上鉛直に延びる中心軸線を中心として回転自在に装着されている。チャッキング域８においてチャックテーブル３６上に装着治具２６が載置され吸引保持されると、チャックテーブル３６が矢印X1で示す方向に往動せしめられ、装着治具２６上のＣＳＰ基板１６がアライメント域１０に位置付けられる。アライメント域１０には顕微鏡を含む撮像手段４８が配設されており、ＣＳＰ基板１６の表面が撮像手段４８によって撮像される。そして撮像された画像を解析することによって、ＣＳＰ基板１６の配置状態、更に詳しくはＣＳＰ基板１６上のストリート２０の各々の位置、即ちチャックテーブル３６の加工送り方向Xおよびこれに垂直な割り出し送り方向Yの位置、が認識されると共に、チャックテーブル３６の加工送り方向Xに対するストリート２０の傾斜が認識される。撮像手段４８によって撮像される画像はハウジング４上に配設されているモニター５０にも表示される。

次いで、チャックテーブル３６が切断域１２に移動せしめられ、ＣＳＰ基板１６の切断が遂行される。切断域１２に関連せしめて切削手段５２が配設されている。図示の実施形態における切削手段５２は、実質上水平に延びる回転軸５４の先端部に固定された切削ブレード５６から構成されている。切削ブレード５６はダイヤモンド粒子を含有した薄肉円板形状の切断刃でよい。切削手段５２には、純水の如き加工水を供給するための加工水供給手段５８も付設されている。ＣＳＰ基板１６の切断は、次のとおりにして遂行される。最初に、ＣＳＰ基板１６における所定方向に延びる複数のストリート２０が加工送り方向Xに精密に平行に設定され、そして複数のストリート２０の特定の１個の割り出し方向Yが切削ブレード５６に精密に整合せしめられる。この位置合わせの際には、撮像手段４８によって撮像されたＣＳＰ基板１６の表面の画像の解析結果が利用される。しかる後に、所定高さに位置せしめられている切削ブレード５６が矢印６０で示す方向（即ち、切削ブレード５６のＣＳＰ基板１６に作用する下端部がチャックテーブル３６の往動方向X1に移動する方向）に回転せしめられると共に、チャックテーブ３６が矢印X1で示す方向に往動せしめられ、切削ブレード５６の作用によってＣＳＰ基板１６が特定の切断ストリート２０に沿って切断される（切削ブレード５６によるＣＳＰ基板１６の切断については後に更に言及する）。ＣＳＰ基板１６を切断する切削ブレード５６の、ＣＳＰ基板１６の下面を越えて下方に突出する部分は、装着治具２６の上面に配設されている溝２８内に位置せしめられる。切削ブレード５６によってＣＳＰ基板１６が切断される際には、加工水供給手段５８が加工水を供給する。１個の切断ストリート２０に沿った切断が終了すると、切削ブレード５６が固定されている回転軸５４が非作用位置まで上昇せしめられ、チャックテーブル３６が所要位置まで矢印X2で示す方向に復動せしめられる。そして、チャックテーブル３６が割り出し送り方向Yにインデックス移動せしめられるとともに切削ブレード５６が固定されている回転軸５４が所定位置まで下降せしめられる。しかる後に、チャックテーブル３６が再び往動せしめられ、次のストリート２０に沿ってＣＳＰ基板１６が切断される。このようにして所定方向に延びる複数のストリート２０に沿ってＣＳＰ基板１６が切断せしめられると、チャックテーブル３６が９０度回転せしめられる。この結果、所定方向と直交する方向に延在する複数個のストリート２０が加工送り方向Xと平行に位置付けられる。そして、所定方向と直交する方向に延在する複数のストリート２０の各々に沿ったＣＳＰ基板１６の切断が遂行される。

切断域１２においてＣＳＰ基板１６が所要のとおりに切断された後には、チャックテーブル３６はチャッキング域８に戻される。チャッキング域８および洗浄・乾燥域１４に関連せしめて第２の搬送手段６１が配設されている。第２の搬送手段６１はチャックテーブル３６上の装着治具２６を吸引保持して、装着治具２６およびその上に載置されている既にストリート２０に沿って切断されたＣＳＰ基板１６を洗浄・乾燥域１４に搬送し、洗浄・乾燥域１４に配置されているチャック手段（図示していない）上に載置する。そして、洗浄・乾燥域１４に配設されている洗浄・乾燥手段（図示していない）によって、装着治具２６およびその上に存在する切断されたＣＳＰ基板１６が洗浄され乾燥される。しかる後に、上記第１の搬送手段３４によって装着治具２６およびその上に存在する切断されたＣＳＰ基板１６が待機域６に搬送される。そして、装着治具２６及びその上の切断されたＣＳＰ基板１６は、適宜の搬出手段（図示していない）によって、例えば個々に切断されたＣＳＰ２２を装着治具２６上から収容ケースに移送するための移送装置（図示していない）に搬送される。

図１を参照して説明を続けると、図示の実施形態においては、チャックテーブル３６は図１に示すアライメント域１０の上流側に位置する片端位置と切断域１２における切断手段５２の下流側に位置する他端位置との間を矢印X1およびX2で示す方向に往復動自在に装着されている。そして、チャックテーブル３６にはこれを往復動せしめるための往復動機構（図示していない）が配設されている。それ自体は周知の形態でよい往復動機構は、チャックテーブル３６の下方に回転自在に装着されたねじ軸を含んでいる。このねじ軸はチャックテーブル３６の往復動方向X1およびX2に延在している。チャックテーブル３６には雌ねじ部材が固定され、かかる雌めじ部材がねじ軸に螺合せしめられている。従って、ねじ軸の正転に応じてチャックテーブル３６がねじ軸に沿ってX1で示す方向に往動され、ねじ軸の逆転に応じてチャックテーブル３６がねじ軸に沿って矢印X2で示す方向に復動せしめられる。このような往復動機構におけるねじ軸及び雌ねじ部材は精密機械要素であり、切断域１２において生成される切断屑、切断域１２において供給される加工水からから防護することが必要である。

図１とともに図３および図４を参照して説明すると、図示の実施形態においては、チャックテーブル３６の往復動方向に見てチャックテーブル３６の両側に蛇腹機構６２および６４が配設されており、往復動機構におけるねじ軸および雌ねじ部材の如き精密機械要素はチャクテーブル３６自体とともにその両側に配設された第１の蛇腹機構６２および第２の蛇腹機構６４によって覆われている。第１の蛇腹機構６２は、布の如き折り畳み可能なシート部材によって複数の山部６２１ａと谷部６２１ｂが交互に形成され伸縮自在に構成された蛇腹部材６２１と、該蛇腹部材６２１の両端にそれぞれ装着され金属板から形成することができる連結部材６２２a、６２２bとからなっている。このように構成された蛇腹部材６２１は、連結部材６２２aがチャックテーブル３６が上記片端位置に位置付けられている時にその上流側に位置する静止部材（図示していない）に連結され、連結部材６２２bがチャックテーブル３６の上流側面に連結されている。蛇腹部材６２１および連結部材６２２a、６２２bによって構成された第１の蛇腹機構６２は、逆チャッネル形状の横断面形状を有する。このように構成された第１の蛇腹機構６２の蛇腹部材６２１は、チャックテーブル３６が上記片端位置から上記他端位置に向けて矢印X1で示す方向に往動せしめられる際には、チャックテーブル３６の往動に応じて漸次伸張せしめられ、チャックテーブル３６が上記他端位置から上記片端位置に向けて復動せしめられる際には漸次収縮せしめられる。

次に、第２の蛇腹機構６４について、図３乃至図７を参照して説明する。
図示の実施形態における第２の蛇腹機構６４は、蛇腹部材６４１と、該蛇腹部材６４１の上面を覆う複数の保護部材６４２と、蛇腹部材６４１の両端にそれぞれ装着され金属板から形成することができる連結部材６４５a、６４５bとからなっている。蛇腹部材６４１は、上記第１の蛇腹機構６２の蛇腹部材６２１と同様に布の如き折り畳み可能なシート部材によって複数の山部６４１ａと谷部６４１ｂが交互に形成され伸縮自在に構成され、逆チャッネル形状の横断面形状を有している。このように構成された第２の蛇腹機構６４の蛇腹部材６４１の一端即ちチャックテーブル３６側の端部に装着された連結部材６４５aは、チャックテーブル３６の下流側面に連結されている。また、蛇腹部材６４１の他端即ちチャックテーブル３６側と反対側の端部に装着された連結部材６４５bは、後述する静止部材に取り付けられている。従って、第２の蛇腹機構６４を構成する蛇腹部材６４１は、チャックテーブル３６が上記片端位置から上記他端位置に向けて矢印X1で示す方向に往動せしめられる際にはチャックテーブル３６の往動に応じて漸次収縮せしめられ、チャックテーブル３６が上記他端位置から上記片端位置に向けて復動せしめられる際には漸次伸張せしめられる。

上記複数の保護部材６４２は、図５に示すように主保護部６４３と該主保護部６４３の両端縁辺からそれぞれ立設された補助保護部６４４a、６４４bとからなっており、ポリエステル等の合成樹脂やアルミ合金等の金属材によって形成することができる。主保護部６４３は、図示の実施形態においては等脚台形に形成されており、その幅Ｌaが蛇腹部材６４１が最も伸長した状態において隣接する山部６４１ａと山部６４１ａとの間隔Ｌ１(図６参照)より大きい寸法を有している。また、台形をなす主保護部６４３は、下底辺６４３a（チャックテーブル３６側の縁辺）の長さＬb1および上底辺６４３b（チャックテーブル３６と反対側の縁辺）の長さＬb2が蛇腹部材６４１の伸縮方向に直交する方向の幅寸法Ｌ２（図４参照）より大きい寸法に設定されている。このように形成された主保護部６４２aの両脚辺６４３c、６４３d（両端縁辺）からそれぞれ補助保護部６４４a、６４４bが立設されている。

上述したように形成された複数の保護部材６４２は、主保護部６４3の下底辺６４３a部（チャックテーブル３６側の縁辺部）が蛇腹部材６４１の山部６４１ａにそれぞれ接着剤によって装着され、上底辺６４３b部（チャックテーブル３６と反対側の縁辺部）がそれぞれ隣接する保護部材６４２の主保護部６４３の上面に摺動可能に重合せしめられる。このようにして、蛇腹部材６４１の上側に配設された複数の保護部材６４２は、図６に示す蛇腹部材６４１が最も伸長した状態と図７に示す収縮した状態との間を伸縮するに伴って、主保護部６４３の上底辺６４３b部が隣接する主保護部６４３の上面上を摺動する。このとき、主保護部６４３の両端縁辺から立設された補助保護部６４４a、６４４bは、台形に形成された主保護部６４３の両脚辺６４３c、６４３dから立設されているので、隣接する主保護部６４３の両脚辺６４３c、６４３dから立設されている補助保護部６４４a、６４４bと重合するように移動するため、蛇腹部材６４１の伸縮作用の妨げとはならない。従って、蛇腹部材６４１の上側は常に複数の保護部材６４２の主保護部６４３に覆われているので、切断屑が蛇腹部材６４１の谷部に侵入することがなく、切断屑による蛇腹部材６４１の破損が防止される。また、主保護部６４３の両脚辺６４３c、６４３d（両端縁辺）にはそれぞれ補助保護部６４４a、６４４bが立設されているので、主保護部６４３に飛散された切断屑が主保護部６４３の両端から蛇腹部材６４１の両側に落下することはない。従って、蛇腹部材６４１の両側に形成される後述する排水路に切断屑が堆積することはない。

図３および図４を参照して説明を続けると、図示の実施形態における切削装置は上記チャックテーブル３６および第１の蛇腹機構６２、第２の蛇腹機構６４の下側および両側方を覆う仕切部材６６が配設されている。この仕切部材６６は底壁６６１とその両側縁から上方に延びる両側壁６６２、６６３を有する。底壁６６１の上面には図４に示されているように上記両側壁６６２、６６３とそれぞれ平行に仕切り板６８、７０が取り付けられている。従って、仕切部材６６の底壁６６１上には、側壁６６２と仕切り板６８によって形成される排水路７２と、側壁６６３と仕切り板７０によって形成される排水路７４とが設けられる。なお、上記仕切り板６８と７０との間隔は、上記蛇腹機構６４を構成する蛇腹部材６４１の幅寸法Ｌ２より小さい値に設定されている。従って、仕切り板６８、７０は、横断面形状が逆チャッネル形状の蛇腹部材６４１によって包囲される。後述するように排水路７２、７４には加工水とともに切断屑が飛散するが、この加工水および切断屑をチャックテーブル３６の往動方向に見て下流側に流動せしめるために、仕切り板６８はチャックテーブル３６の往動方向４４に見て下流に向かって僅かに下方に傾斜せしめられていることが望ましい。加えて、チャックテーブル３６の往動方向に見て下流側に指向された、水でよい液体流を生成せしめる液体噴射手段（図示していない）を配設することができる。図示の実施形態においては、上記仕切り板６８、７０の下流側端面には、両者間を連結する静止部材としての取付け板７６が装着されている。この取付け板７６に上記第２の蛇腹機構６４を構成する蛇腹部材６４１に装着された連結部材６４５が締結ボルト７８によって取り付けられる。

図３を参照して説明を続けると、上記仕切部材６６の下流側端部、即ち第２の蛇腹機構６４を構成する蛇腹部材６４１に装着された連結部材６４５bが取り付けられた静止部材としての取付け板７６の下方には、切断屑収集手段８０が配設されている。図示の実施形態における切断屑収集手段８０は、切断屑搬送手段８２と切断屑収集容器８４とを含んでいる。切断屑搬送手段８２は、仕切部材６６の幅方向に延在せしめられている無端搬送ベルト機構から構成されており、駆動ローラ８２１と従動ローラ８２２、８２３およびこれらのローラに巻き掛けられた無端ベルト８２４を含んでいる。駆動ローラ８２１は電動モータ８２５の駆動軸に伝動連結されており、矢印８２６で示す方向に回転駆動され、これによって無端ベルト８２４が矢印８２７で示す方向に駆動せしめられる。合成ゴムの如き適宜の材料から形成することができる無端ベルト８２４には、多数の排水孔８２８が形成されていることが望ましい。切断屑収集容器８４は、切断屑搬送手段８２の下側に配設され、上面が開放された箱状に形成されている。この切断屑収集容器８４の内部は、仕切り板８４１によって切断屑収容部８４２と排水収容部８４３に区画されている。切断屑収容部８４２を形成する底壁には排出開口８４２ａが形成されており、この排出開口８４２ａの直下にはゴミ箱８７が配設される。排水収容部８４３を形成する底壁には排水口８４４が設けられており、この排水口８４４は図示しない排水ダクトに接続されている。図示の実施形態における切断屑収集手段８０は、切断屑収集容器８４の切断屑収容部８４２に配設され、上記無端ベルト８２４の下方走行部の下端部において無端ベルト８０４の表面に接触乃至近接するブラシ手段８６を備えている。このブラシ手段８６は、無端ベルト８０４によって搬送される切断屑を剥離する。

図１と共に図３乃至図７を参照して説明を続けると、切断域１２におけるＣＳＰ基板１６の切断に起因してチャックテーブル３６の往動方向４４に見てチャックテーブル３６の下流側に飛散した切断屑および加工水は、第２の蛇腹機構６４を構成する蛇腹部材６４１の上側を覆う複数の保護部材６４２の主保護部６４３上に落下する。従って、蛇腹部材６４１上に直接的に切断屑、特に比較的大きい切断屑９０が落下せしめられることはない。また、主保護部６４３上に落下した切断屑９０は、主保護部６４３の両脚辺６４３c、６４３d（両端縁辺）に補助保護部６４４a、６４４bが立設されているので、主保護部６４３の両端から蛇腹部材６４１の両側に落下することはない。チャックテーブル３６が往動方向４４に往動せしめられ、これに応じて複数の保護部材６４２が往動方向４４に移動せしめられると、複数のプレート部材６４２の主保護部６４３上に飛散した切断屑９０および加工水も複数の保護部材６４２とともに往動方向４４に移動せしめられる。このとき、複数の保護部材６４２は移動部材であるチャックテーブル３６側の縁辺部が蛇腹部材６４１の山部６４１ａにそれぞれ接着剤によって装着されているので、保護部材６４２上に飛散した切断屑９０は順次往動方向４４に送り出す作用があり、切断屑９０の移動が円滑に行われる。そして、切断屑９０が最下流の保護部材６４２に達すると、加工水とともに切断屑搬送手段８２の無端ベルト８２４上に落下せしめられる。無端ベルト８２４上に落下せしめられた切断屑は無端ベルト８２４の移動に付随して矢印８２７で示す方向に搬送され、無端ベルト８２４の方向変化部位において切断屑収集容器８４の切断屑収容部８４２内に落下され、或いはブラシ手段８６の作用によって無端ベルト８２４から離脱せしめられて切断屑収集容器８４の切断屑収容部８４２内に導かれる。そして、切断屑収容部８４２内に導かれた切断屑は、排出開口８４２ａを通してゴミ箱８７に排出される。一方、無端ベルト８２４上の落下せしめられた加工水は、無端ベルト８２４に形成されている排水孔８２８を通って流下して、切断屑収集容器８４の排水収容部８４３内に落下する。

以上、本発明に従って構成された蛇腹機構および蛇腹機構を装備した切断装置の好適実施形態について詳細に説明したが、本発明は実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形乃至修正が可能であることは言うまでもない。例えば、図示の実施形態においては、チャックテーブルの両側に配設した蛇腹機構の一方に関して本発明に従って構成された蛇腹機構を適用した例を示したが、切断屑が双方の蛇腹機構に飛散する虞がある場合等においては、双方の蛇腹機構に関して本発明に従って構成された蛇腹機構を適用することもできる。また、本発明に従って構成された蛇腹機構は、切断装置に限らず他の加工装置に広く適用することが可能である。

本発明に従って構成された切削装置の全体を示す斜面図。図１の切削装置によって切断されるＣＳＰ基板及びこれをチャックテーブルに装着するために使用される装着治具を示す分解斜面図。図１の切削装置における蛇腹機構及びこれらの関連手段を示す部分斜面図。図１の切削装置における蛇腹機構及びこれらの関連手段を示す分解斜面図。図２および図３に示す蛇腹機構を構成する保護部材を拡大して示す斜視図。図２および図３に示す蛇腹機構を構成する蛇腹部材が伸長した状態を示す要部拡大断面図。図２および図３に示す蛇腹機構を構成する蛇腹部材が収縮した状態を示す要部拡大断面図。

符号の説明

２：切断装置
４：ハウジング
６：待機域
８：チャッキング域
１０：アライメント域
１２：切断域
１４：洗浄・乾燥域
１６：ＣＳＰ基板
２０：切断ストリート
２２：ＣＳＰ
２４：耳部
２６：装着治具
３６：チャックテーブル
５２：切断手段
５６：回転切断刃
５８：加工水供給手段
６２：第１の蛇腹機構
６２１：蛇腹部材
６２１ａ：蛇腹部材の山部
６２１ｂ：蛇腹部材の谷部
６２２a、６２２b：連結部材
６４：第２の蛇腹機構
６４１：蛇腹部材
６４１ａ：蛇腹部材の山部
６４１ｂ：蛇腹部材の谷部
６４２：保護部材
６４３：保護部材の主保護部
６４４a、６４４b：保護部材の補助保護部
６４５a、６４５b：連結部材
６６：仕切部材
６８、７０：仕切り板
７２、７４：排水路
７６：取付け板
８０：切断屑収集手段
８２：切断屑搬送手段
８４：切断屑収集容器
９０：比較的大きな切断屑

Claims

往復動せしめられるチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持された被加工物を切断するための切断手段と、一端が該チャックテーブルに取り付けられ他端が静止部材に取り付けられた蛇腹機構と、を具備する切断装置において、
該蛇腹機構は、シート部材によって複数の山部と谷部が交互に形成され伸縮自在に構成された蛇腹部材と、該蛇腹部材の複数の山部にそれぞれ装着され該蛇腹部材が伸長された状態において隣接する山部と山部との間隔より大きい幅を有する複数の保護部材とを具備し、
該複数の保護部材は、台形に形成された主保護部と、該主保護部の両脚辺から立設された補助保護部とからなり、該主保護部の下底辺部が該蛇腹部材の山部に装着され、該主保護部の上底辺部が隣接する該主保護部の上面に摺動可能に重合せしめられている、
ことを特徴とする切削装置。