JP2005305563A - 切削装置 - Google Patents
切削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005305563A JP2005305563A JP2004122040A JP2004122040A JP2005305563A JP 2005305563 A JP2005305563 A JP 2005305563A JP 2004122040 A JP2004122040 A JP 2004122040A JP 2004122040 A JP2004122040 A JP 2004122040A JP 2005305563 A JP2005305563 A JP 2005305563A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- receiving
- cutting waste
- coolant
- draining member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 228
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract description 46
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 128
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 claims description 15
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 10
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 9
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 abstract description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 42
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 4
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
Abstract
【解決手段】 切削装置の切削屑処理装置80は,チャックテーブル40に隣接して配置され,被加工物の切削によって飛散した切削屑及び冷却液を受け止めて端部に移動させる受止搬送部材68と,受止搬送部材68の端部から落下した切削屑を受け止め,冷却液を流下させる受止水切部材71と,受止水切部材71から流下した冷却液を回収する冷却液回収装置81と,受止水切部材71の一端部に設けられ,受止水切部材71上に残存する切削屑を,受止水切部材71の他端部に設けられた乾燥スペース73まで押し出す押出部材75と,乾燥スペース73から落下する切削屑を収容する切削屑収容器82と,を備えている。
【選択図】 図3
Description
68 受止搬送部材
71 受止水切部材
72 板状部材
73 乾燥スペース
75 押出部材
76 板状部材
77 シリンダ
80 切削屑処理装置
81 冷却液回収装置
82 切削屑収容器
P 切削屑
Claims (4)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと,切削ブレードによって前記被加工物を切削する切削手段と,切削屑処理装置とを備えた切削装置であって:
前記切削屑処理装置は,
前記チャックテーブルに隣接して配設され,前記被加工物の切削によって飛散した切削屑及び切削に用いられる冷却液を受け止め,前記切削屑及び前記冷却液を端部に移動させる受止搬送部材と;
前記受止搬送部材の前記端部から落下した前記切削屑を受け止め,前記冷却液を流下させる受止水切部材と;
前記受止水切部材から流下した前記冷却液を回収する冷却液回収装置と;
前記受止水切部材の一端部に設けられ,前記受止水切部材上に残存する前記切削屑を,前記受止水切部材の他端部に設けられた乾燥スペースまで押し出す押出部材と;
前記受止水切部材の前記乾燥スペースから落下する切削屑を収容する切削屑収容器と;
を備えることを特徴とする切削装置。 - 前記切削屑が前記受止水切部材の前記乾燥スペースに所定時間留まるように,前記押出部材による前記切削屑の押出動作が制御されることを特徴とする,請求項1に記載の切削装置。
- 前記受止水切部材の底部は,相互に間隔を空けて並設された複数の板状部材から構成されることを特徴とする,請求項1または2のいずれかに記載の切削装置。
- 前記押出部材は,前記受止水切部材の底部に対して,前記切削屑の押出方向にスライド自在に係合する形状を有することを特徴とする,請求項1,2または3のいずれかに記載の切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004122040A JP2005305563A (ja) | 2004-04-16 | 2004-04-16 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004122040A JP2005305563A (ja) | 2004-04-16 | 2004-04-16 | 切削装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005305563A true JP2005305563A (ja) | 2005-11-04 |
Family
ID=35434910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004122040A Pending JP2005305563A (ja) | 2004-04-16 | 2004-04-16 | 切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005305563A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009297851A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Towa Corp | 基板の切断方法及び装置 |
JP2015134403A (ja) * | 2014-01-16 | 2015-07-27 | 斗山重工業株式会社 | 管支持板加工用ドリル作業台およびこれを用いた管支持板の製造方法 |
JP2019192846A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN114273702A (zh) * | 2022-01-18 | 2022-04-05 | 冠捷电子科技(福建)有限公司 | 在线式铣刀分板装置 |
CN115052713A (zh) * | 2020-02-10 | 2022-09-13 | 东和株式会社 | 加工装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6291208A (ja) * | 1985-06-17 | 1987-04-25 | Nagaoka Kinmo Kk | 自動清掃式ろ過装置 |
JPH03217525A (ja) * | 1990-01-24 | 1991-09-25 | Tokihisa Masuo | 汚水混合物除去装置 |
JPH0580503U (ja) * | 1992-04-07 | 1993-11-02 | 株式会社ミクニ | 濾網上の切粉除去装置 |
JP2001170842A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-26 | Okuma Corp | 工作機械の切粉排出装置 |
JP2002239888A (ja) * | 2001-02-13 | 2002-08-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切断機 |
JP2004083211A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Kubota Corp | 搬送装置 |
-
2004
- 2004-04-16 JP JP2004122040A patent/JP2005305563A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6291208A (ja) * | 1985-06-17 | 1987-04-25 | Nagaoka Kinmo Kk | 自動清掃式ろ過装置 |
JPH03217525A (ja) * | 1990-01-24 | 1991-09-25 | Tokihisa Masuo | 汚水混合物除去装置 |
JPH0580503U (ja) * | 1992-04-07 | 1993-11-02 | 株式会社ミクニ | 濾網上の切粉除去装置 |
JP2001170842A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-26 | Okuma Corp | 工作機械の切粉排出装置 |
JP2002239888A (ja) * | 2001-02-13 | 2002-08-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切断機 |
JP2004083211A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Kubota Corp | 搬送装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009297851A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Towa Corp | 基板の切断方法及び装置 |
JP2015134403A (ja) * | 2014-01-16 | 2015-07-27 | 斗山重工業株式会社 | 管支持板加工用ドリル作業台およびこれを用いた管支持板の製造方法 |
JP2019192846A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP7030606B2 (ja) | 2018-04-27 | 2022-03-07 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN115052713A (zh) * | 2020-02-10 | 2022-09-13 | 东和株式会社 | 加工装置 |
CN114273702A (zh) * | 2022-01-18 | 2022-04-05 | 冠捷电子科技(福建)有限公司 | 在线式铣刀分板装置 |
CN114273702B (zh) * | 2022-01-18 | 2023-09-15 | 冠捷电子科技(福建)有限公司 | 在线式铣刀分板装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4754912B2 (ja) | 切削装置 | |
JP4657688B2 (ja) | 切削装置 | |
TWI811338B (zh) | 切割裝置 | |
JP7030606B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2006289504A (ja) | 半導体ウエーハの電極加工装置 | |
JP2005305563A (ja) | 切削装置 | |
JP4769601B2 (ja) | 研削装置 | |
JP4295496B2 (ja) | 蛇腹機構および蛇腹機構を備えた切断装置 | |
JP2003168659A (ja) | 高圧洗浄ノズルを有するシンギュレーション装置 | |
JP2017213628A (ja) | 切削装置 | |
JP6847525B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2014079860A (ja) | 加工装置 | |
JP4408332B2 (ja) | 切断機 | |
US7849847B2 (en) | Drainage apparatus for a singulation system | |
JP4319849B2 (ja) | 切断装置 | |
JP4625715B2 (ja) | 切削装置 | |
JP4656285B2 (ja) | 切削装置 | |
JP5539111B2 (ja) | 切削装置 | |
KR100709459B1 (ko) | 절단기 | |
TW201637804A (zh) | 切割裝置 | |
JP2020032477A (ja) | 処理装置 | |
JP2009297851A (ja) | 基板の切断方法及び装置 | |
JP6121265B2 (ja) | 洗浄装置および加工装置 | |
JP5090080B2 (ja) | 板状物の切削方法 | |
JP2006026838A (ja) | 切粉搬送コンベア装置の切粉排出機構 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070416 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100105 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100226 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20100831 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |