JP2002239888A

JP2002239888A - 切断機

Info

Publication number: JP2002239888A
Application number: JP2001035422A
Authority: JP
Inventors: Kazuma Sekiya; 一馬関家; Naoki Omiya; 直樹大宮
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2001-02-13
Filing date: 2001-02-13
Publication date: 2002-08-28
Anticipated expiration: 2021-02-13
Also published as: JP4408332B2

Abstract

(57)【要約】【課題】往復動せしめられチャックテーブル（３６）
の少なくも片側に蛇腹手段（６４）が配設されている形
態の切断機（２）において、飛散した切削屑（９０）に
よって蛇腹手段の円滑な収縮及び伸張が阻害され或いは
蛇腹手段が損傷されることを効果的に防止する。【解決手段】蛇腹手段の上面を覆う保護シート（９
２）が配設されている。保護シートの片端はチャックテ
ーブルの往復動に付随して往復動せしめられ、保護シー
トの他端は巻き取り手段（１００）に接続されており、
チャックテーブルが往動又は復動せしめられる際には保
護シートが巻き取り手段に漸次巻き取られ、チャックテ
ーブルが復動又は往動せしめられる際には保護シートが
該巻き取り手段から漸次巻き戻される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、切断機、殊に、そ
れに限定されるものではないが、格子状に配列された切
断ストリートによって区画された複数個の矩形領域の各
々にＣＳＰ（ＣｈｉｐＳｉｚｅＰａｋａｇｅｓ）が
形成されているＣＳＰ基板を、切断ストリートに沿って
切断するのに適する切断機に関する。

【０００２】

【従来の技術】特に、携帯電話及びノートブック型パー
ソナルコンピュータの如き小型電子装置に使用するのに
適した半導体デバイスとして、ＣＳＰが実用に供されて
いる。かかるＣＳＰは、通常、次のとおりにして製造さ
れる。合成樹脂基板の如き適宜の基板上に格子状に配列
された切断ストリートによって複数個の矩形領域を区画
し、かかる矩形領域の各々にＩＣ、ＬＳＩの如きチップ
を配設してＣＳＰを形成する。基板上に複数個のＣＳＰ
が形成されたものを一般にＣＳＰ基板と称している。し
かる後に、ＣＳＰ基板を切断ストリートに沿って切断
し、個々のＣＳＰに分離する。

【０００３】ＣＳＰ基板を切断ストリートに沿って切断
するための切断機としては、片端位置と他端位置との間
を往復動せしめられるチャックテーブルと、このチャッ
クテーブル上に保持された被加工物、即ちＣＳＰ基板を
切断するための切断手段とを含む切断機が使用されてい
る。切断手段はダイヤモンド粒子を含有した円板形状の
回転切断刃から構成されている。また、切断手段には純
水でよい冷却液を噴射するための冷却液噴射手段が付設
されている。チャックテーブルが往動及び／又は復動す
る際に、チャックテーブル上のＣＳＰ基板に回転切断刃
が作用せしめられ、ＣＳＰ基板の切断が遂行される。回
転切断刃は所定方向、例えばＳＰ基板に作用する部位が
チャックテーブルの往動方向に移動する方向、に回転せ
しめられる。チャックテーブルを所要とおりに往復動せ
しめるための往復動機構は、往復動方向に延在する回転
自在なねじ軸と、このねじ軸に螺合せしめられた雌ねじ
部材とを含んでおり、チャックテーブルは雌ねじ部材に
装着されている。ねじ軸及び雌ねじ部材は所謂精密機械
要素であり、かかる要素に切断屑及び／又は冷却液が付
着することは回避されるべきである。回転切断刃の回転
方向に起因して切断屑及び冷却液は、主として、チャッ
クテーブルの往復動方向に見て片側、例えばＳＰ基板に
作用する部位がチャックテーブルの往動方向に移動する
方向に回転切断刃が回転せしめられる場合にはチャック
テーブルの往動方向に見て下流側、に飛散せしめられ
る。冷却液の一部は霧となりチャックテーブルの往動方
向に見て上流側にも飛散する。そこで、チャックテーブ
ルの往復動方向に見て少なくとも片側、通常は両側、に
蛇腹手段を配設してねじ軸等の精密機械要素を覆ってい
る。チャックテーブルが往動又は復動する場合には、チ
ャックテーブルの往動方向に見て下流側に配置された蛇
腹手段は収縮され、上流側に配置された蛇腹手段は伸張
される。チャックテーブルが復動する場合には、チャッ
クテーブルの往動方向に見て上流側に配置された蛇腹手
段は収縮され、下流側に配置された蛇腹手段は伸張され
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】而して、上述したとお
りの従来の切断機には、次のとおりの解決すべき問題が
存在する。特にＣＳＰ基板を切断する場合、ＣＳＰ基板
の縁部にはＣＳＰが形成されていない所謂耳部が存在
し、かかる耳部が比較的大きな切断屑として、チャック
テーブルの往復動方向に見て片側、例えばＣＳＰ基板に
作用する部位がチャックテーブルの往動方向に移動する
方向に回転切断刃が回転せしめられる場合にはチャック
テーブルの往動方向に見て下流側、に配置されている蛇
腹手段上に飛散せしめられる。蛇腹手段上に飛散した比
較的大きな切断屑は、蛇腹手段の円滑な収縮及び伸張を
阻害する傾向がある。蛇腹手段は、円滑に収縮及び伸張
せしめられることが必要である故に、通常、布或いはそ
の類似材料で形成されている。従って、蛇腹手段上に飛
散した比較的大きな切断屑によって、蛇腹手段に穴等の
損傷が生成される虞も少なくない。

【０００５】本発明は上記事実に鑑みてなされたもので
あり、その主たる技術的課題は、飛散した切削屑によっ
て蛇腹手段の円滑な収縮及び伸張が阻害され或いは蛇腹
手段が損傷されることが効果的に防止される、新規且つ
改良された切断機を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、蛇腹手
段の上面を覆う保護シートを配設し、この保護シートが
チャックテーブルの往復動に付随して、従って蛇腹手段
の収縮及び伸張に付随して適宜に巻き取り及び巻き戻し
されるように構成することによって、上記主たる技術的
課題を達成することができることを見出した。

【０００７】即ち、本発明によれば、上記主たる技術的
課題を達成する切断機として、片端位置と他端位置との
間を往復動せしめられるチャックテーブルと、該チャッ
クテーブルの往復動方向に見て該チャックテーブルの少
なくとも片側に配置され、一端が該チャックテーブルに
固定され他端が静止部材に固定された蛇腹手段と、該チ
ャックテーブル上に保持された被加工部を切断するため
の切断手段とを含み、該チャックテーブルが往動及び／
又は復動せしめられる際に、該チャックテーブル上に保
持された被加工物に該切断手段が作用して該被加工物が
切断され、切断屑が少なくとも該チャックテーブルの往
復動方向に見て該片側に飛散され、該チャックテーブル
が往動又は復動せしめられる際には該蛇腹手段が収縮せ
しめられ、該チャックテーブルが復動又は往動せしめら
れる際には該蛇腹手段が伸張せしめられる、切断機にお
いて、該蛇腹手段の上面を覆う保護シートが配設されて
おり、該保護シートの片端は該チャックテーブルの往復
動に付随して往復動せしめられ、該保護シートの他端は
巻き取り手段に接続されており、該チャックテーブルが
往動又は復動せしめられる際には該チャックテーブルの
往動又は復動に応じて該保護シートが該巻き取り手段に
漸次巻き取られ、該チャックテーブルが復動又は往動せ
しめられる際には該チャックテーブルの復動又往動に応
じて該保護シートが該巻き取り手段から漸次巻き戻され
る、ことを特徴とする切断機が提供される。

【０００８】好ましくは、該巻き取り手段は回転自在に
装着された軸部材から構成されており、該保護シートは
該保護シートに力が加えられていない状態においては該
軸部材に巻き付けられた状態になる巻き癖を有し、該チ
ャックテーブルが往動又は復動する際には該保護シート
の該巻き癖に起因して該保護シートが該軸部材に漸次巻
き取られる。該巻き取り手段に巻き取られる該保護シー
トからその表面に付着している切断屑を離脱せしめるた
めの切断屑離脱手段を配設することができる。該切断屑
離脱手段は該巻き取り手段に隣接して配設された離脱プ
レートから構成され、該離脱プレートは該巻き取り手段
に巻き取られる直前位置にて該保護シートの表面に接触
乃至近接する先端縁を有するのが好適である。好適実施
形態においては、該チャックテーブルの往動又は復動方
向に見て該巻き取り手段の下流側には切断屑搬送手段が
配設されており、該切断屑離脱手段は該保護シートの表
面から離脱せしめた切断屑を該切断屑搬送手段上に導
く。該切断屑搬送手段は無端搬送ベルト機構から構成す
ることができる。該切断手段には冷却液噴射手段が付設
されており、該無端搬送ベルト機構は多数の排液孔が形
成されている無端ベルト、及び該無端ベルトの下方に配
置された排液手段を含み、該無端ベルト上に流入した冷
却液は該排液孔を通って該排液手段に流下せしめられる
のが好適である。切断屑収集容器、及び該無端搬送ベル
トによって搬送される切断屑を該無端ベルトから離脱せ
しめて該切断屑収集容器内に導く切断屑収集手段が配設
することができる。該切断屑収集手段は、該無端ベルト
の表面に作用するブラシ手段から構成することができ
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に従って構成された
切断機の好適実施形態を図示している添付図面を参照し
て、更に詳細に説明する。

【００１０】図１は、本発明に従って改良された切断機
の好適実施形態を図示している。全体を番号２で示す切
断機はハウジング４を具備しており、このハウジング４
上には待機域６、チャッキング域８、アライメント域１
０、切断域１２、洗浄及び乾燥域１４が規定されてい
る。切断すべき被加工物は適宜の搬入手段（図示してい
ない）によって待機域８上に搬入せしめられる。

【００１１】図２には待機域８に搬入せしめられる被加
工物の典型例を図示している。図示の被加工物はＣＳＰ
基板１６であり、このＣＳＰ基板１６は矩形板状である
合成樹脂製基板１８を有する。合成樹脂製基板１８上に
は切断ストリート２０が格子状に配列されており、かか
る切断ストリート２０によって複数個（図示の場合は３
２個）の矩形領域が区画されている。矩形領域の各々に
はＣＳＰ２２が配設されている。合成樹脂基板１８の４
周縁部にはＣＳＰが形成されていない所謂耳部２４が存
在する。図示の実施形態においては、ＣＳＰ基板１６が
それ単独で待機域６に搬入されるのではなく、ＣＳＰ基
板１６は装着治具２６上に載置されて待機域８に搬入さ
れる。適宜の金属板から形成することができる装着治具
２６はＣＳＰ基板１６よりも幾分大きい矩形板状であ
る。装着治具２６の上面中央部には溝２８が格子状に配
列されており、かかる溝２８によって複数個（図示の場
合は３２個）の矩形領域３０が区画されている。矩形領
域３０の各々はＣＳＰ基板１６におけるＣＳＰ２２の各
々に対応せしめられており、平面図における矩形領域３
０の寸法はＣＳＰ２２の寸法と実質上同一である。装着
治具２６の矩形領域３０の各々には厚さ方向に貫通せし
められている吸引孔３２が形成されている。装着治具２
６の裏面には全ての吸引孔３２を接続している吸引溝
（図示していない）が形成されている。ＣＳＰ基板１６
は複数個のＣＳＰ２２の各々を装着治具２６の矩形領域
３０の各々に整合せしめて装着治具２６上に載置され
る。そして、その上面にＣＳＰ基板１６が載置された装
着治具２６が切断機２の待機域８上に搬入される。

【００１２】再び図１を参照して説明を続けると、待機
域６、チャッキング域８並びに洗浄及び乾燥域１４に関
連せしめて、第一の搬送手段３４が配設されている。こ
の第一の搬送手段３４は、待機域６に搬入された装着治
具２６を吸引して、装着治具２６とその上面に載置され
ているＣＳＰ基板１６をチャッキング域８に搬送し、チ
ャッキング域８に位置せしめられているチャックテーブ
ル３６上に載置する。図示の実施形態におけるチャック
テーブル３６は、装着治具２６よりも幾分大きい矩形吸
引盤３８を有する。この吸引盤３８の中央部には矩形状
の吸引開口４０が形成されており、かかる吸引開口４０
には吸引管４２の先端が開口せしめられている。チャッ
クテーブル３６の吸引盤３８上に装着治具２６が搬入さ
れると、吸引管４２が真空源（図示していない）に連通
せしめられ、これによって吸引盤３８上に装着治具２６
が真空吸引され、そしてまた装着治具２６に形成されて
いる吸引孔３２の各々が真空源に連通せしめられる故
に、ＣＳＰ基板１６（更に詳しくはそのＣＳＰ２２の各
々）が装着治具２６に真空吸着される。

【００１３】チャックテーブル３６は図１に矢印４４及
び４６で示す方向に往復動自在に装着されており（チャ
ックテーブル３６の往復動については後に更に言及す
る）、そして更に実質上鉛直に延びる中心軸線を中心と
して回転自在に装着されている。チャッキング域８にお
いてチャックテーブル３６上に装着治具２６が載置され
真空吸着されると、チャックテーブル３６が矢印４４で
示す方向に往動せしめられ、装着治具２６上のＣＳＰ基
板１６がアライメント域１０に位置せしめられる。アラ
イメント域１０には顕微鏡を含有している撮像手段４８
が配設されており、ＣＳＰ基板１６の表面が撮像手段４
８によって撮像される。そして撮像された画像を解析す
ることによって、ＣＳＰ基板１６の配置状態、更に詳し
くはＣＳＰ基板１６上の切断ストリート２０の各々の位
置、即ちチャックテーブル３６の往復動方向４４及び４
６であるｘ方向及びこれに垂直なｙ方向の位置、が認識
されると共に、チャックテーブル３６の往復動方向４４
及び４６に対する切断ストリート２０の傾斜が認識され
る。撮像手段４８によって撮像される画像はハウジング
４上に配設されているモニター５０にも表示される。次
いで、チャックテーブル３６が切断域１２に移動せしめ
られ、ＣＳＰ基板１６の切断が遂行される。切断域１２
に関連せしめて切断手段５２が配設されている。図示の
実施形態における切断手段５２は、実質上水平に延びる
回転軸５４の先端部に固定された回転切断刃５６から構
成されている。回転切断刃５６はダイヤモンド粒子を含
有した薄肉円板形状の切断刃でよい。切断手段５２に
は、純水の如き冷却液を噴射するための冷却液噴射手段
５８も付設されている。ＣＳＰ基板１６の切断は、次の
とおりにして遂行されるのが好都合である。最初に、Ｃ
ＳＰ基板１６におけるｘ方向に延びる複数個の切断スト
リート２０の延在方向がチャックテーブル３６の往復動
方向４４及び４６に充分精密に平行に設定され、そして
複数本の切断ストリート２０の特定の１個のｙ方向位置
が回転切断刃５６のｙ方向位置に充分精密に整合せしめ
られる。かかる位置合わせの際には、撮像手段４８によ
って撮像されたＣＳＰ基板１６の表面の画像の解析結果
が利用される。しかる後に、所定高さに位置せしめられ
ている回転切断刃５６が矢印６０で示す方向（即ち、回
転切断刃５６のＣＳＰ基板１６に作用する下端部がチャ
ックテーブル３６の往動方向４４に移動する方向）に回
転せしめられると共に、チャックテーブ３６が矢印４４
で示す方向に往動せしめられ、回転切断刃５６の作用に
よってＣＳＰ基板１６が特定の切断ストリート２０に沿
って切断される（回転切断刃５６によるＣＳＰ基板１６
の切断については後に更に言及する）。ＣＳＰ基板１６
を切断する回転切断刃５６の、ＣＳＰ基板１６の下面を
越えて下方に突出する部分は、装着治具２６の上面に配
設されている溝２８内に位置せしめられる。回転切断刃
５６によってＣＳＰ基板１６が切断される際には、冷却
液噴射手段５８が冷却液を噴射する。１個の切断ストリ
ート２０に沿った切断が終了すると、回転切断刃５６が
固定されている回転軸５４が非作用位置まで上昇せしめ
られ、チャックテーブル３６が所要位置まで矢印４６で
示す方向に復動せしめられる。そして、チャックテーブ
ル３６がｙ方向にインデックス移動せしめられると共に
回転切断刃５６が固定されている回転軸５４が所定位置
まで下降せしめられる。しかる後に、チャックテーブル
３６が再び往動せしめられ、次の切断ストリート２０に
沿ってＣＳＰ基板１６が切断される。かようにしてｘ方
向に延びる複数個の切断ストリート２０に沿ってＣＳＰ
基板１６が切断せしめられると、チャックテーブル３６
が９０度の角度範囲に渡って回転せしめられ、それまで
ｙ方向に延在していた複数個の切断ストリート２０がｘ
方向に延在する状態にせしめられる。そして、ｘ方向に
延在する複数個の切断ストリート２０の各々に沿ったＣ
ＳＰ基板１６の切断が遂行される。

【００１４】切断域１２においてＣＳＰ基板１６が所要
とおりに切断された後には、チャックテーブル３６はチ
ャッキング域８に戻される。チャッキング域８並びに洗
浄及び乾燥域１４に関連せしめて第二の搬送手段６１が
配設されている。第二の搬送手段６１はチャックテーブ
ル３６上の装着治具２６を吸引保持して、装着治具２６
及びその上に載置されている既に切断ストリート２０に
沿って切断されたＣＳＰ基板１６を洗浄及び乾燥域１４
に搬送し、洗浄及び乾燥域１４に配置されているチャッ
ク手段（図示していない）上に載置する。そして、洗浄
及び乾燥域１４に配設されている洗浄及び乾燥手段（図
示していない）によって、装着治具２６及びその上に存
在する切断されたＣＳＰ基板１６が洗浄され乾燥され
る。しかる後に、上記第一の搬送手段３４によって装着
治具２６及びその上に存在する切断されたＣＳＰ基板１
６が待機域６に搬送される。そして、装着治具２６及び
その上の切断されたＣＳＰ基板１６は、適宜の搬出手段
（図示していない）によって、例えば個々に切断された
ＣＳＰ２２を装着治具２６上から収容ケースに移送する
ための移送装置（図示していない）に搬送される。

【００１５】図１を参照して説明を続けると、図示の実
施形態においては、チャックテーブル３６は図１に実線
で示す片端位置（チャックテーブル３６はアライメント
域１０の上流側に位置する）と図１に二点鎖線で示す他
端位置（チャックテーブル３６は切断手段５２の下流側
に位置する）との間を矢印４４及び４６で示す方向に往
復動自在に装着されている。そして、チャックテーブル
３６にはこれを往復動せしめるための往復動機構（図示
していない）が配設されている。それ自体は周知の形態
でよい往復動機構は、チャックテーブル３６の下方に回
転自在に装着されたねじ軸を含んでいる。このねじ軸は
チャックテーブル３６の往復動方向４４及び４６に延在
している。チャックテーブル３６には雌ねじ部材が固定
され、かかる雌めじ部材がねじ軸に螺合せしめられてい
る。従って、ねじ軸の正転に応じてチャックテーブル３
６がねじ軸に沿って矢印４４で示す方向に往動され、ね
じ軸の逆転に応じてチャックテーブル３６がねじ軸に沿
って矢印４６で示す方向に復動せしめられる。かような
往復動機構におけるねじ軸及び雌ねじ部材は精密機械要
素であり、切断域１２において生成される切断屑、切断
域１２において噴射される冷却液からから防護すること
が必要である。

【００１６】図１と共に図３を参照して説明すると、図
示の実施形態においては、チャックテーブル３６の往復
動方向に見てチャックテーブル３６の両側に蛇腹手段６
２及び６４が配設されており、往復動機構におけるねじ
軸及び雌ねじ部材の如き精密機械要素はチャクテーブル
３６自体と共にその両側に配設された蛇腹手段６２及び
６４によって覆われている。蛇腹手段６２はその両端に
連結部材６６及び６８を有し、連結部材６６はチャック
テーブル３６が上記片端位置に位置せしめられている時
にその上流側に位置する静止部材（図示していない）に
連結され、連結部材６８はチャックテーブル３６の上流
側面に連結されている。蛇腹手段６２自体は布の如き折
り畳み自在な適宜の材料から形成することができ、その
両端に配設される連結部材６６及び６８は金属板から形
成することができる。同様に、布の如き折り畳み自在な
適宜の材料から形成することができる蛇腹手段６４の両
端にも金属板から形成することができる連結部材７０及
び７２が接続されており、連結部材７０はチャックテー
ブル３６の下流側面に連結され、連結部材７２はチャッ
クテーブル３６が上記他端位置に位置せしめられている
時にその下流側に位置する静止ブラッケ部材７４に連結
されている（ブラケット部材７４については後に更に言
及する）。連結部材６６、６８、７０及び７２の所定部
位への連結は、止めねじの如き適宜の連結手段によって
遂行することができる。図３を参照することによって理
解される如く、蛇腹部材６２及び６４並びに連結部材６
６、６８、７０及び７２は逆チャッネル形状の横断面形
状を有する。ハウジング４内には仕切部材７６が固定さ
れている。この仕切部材７６は底壁７８とその両側縁か
ら上方に延びる両側壁８０及び８２を有する。底壁７８
の幅方向中央部には逆チャンネル形状に上方に隆起せし
められている隆起部８４が形成されており、かかる隆起
部８４の両側にはチャンネル形状部８６及び８８が形成
されている。後述するとおりチャンネル形状部８６及び
８８上には冷却液と共に切断屑が飛散するが、かかる冷
却液及び切断屑をチャックテーブル３６の往動方向に見
て下流側に流動せしめるために、チャンネル形状部８６
及び８８はチャックテーブル３６の往動方向４４に見て
下流に向かって若干下方に傾斜せしめられているのが好
都合である。加えて、チャックテーブル３６の往動方向
に見て下流側に指向された、水でよい液体流を生成せし
める液体噴射手段（図示していない）を配設することが
できる。蛇腹部材６２及び６４並びに連結部材６６、６
８、７０及び７２の両側垂下脚部は、隆起部８４に隣接
してその両側に位置し、蛇腹部材６２及び６４並びに連
結部材６６、６８、７０及び７２の主部は隆起部８４の
上方に位置せしめられている。上述した往復動機構にお
けるねじ軸は蛇腹部材６２及び６４並びに連結部材６
６、６８、７０及び７２の主部と仕切部材７６の隆起部
８４との間を延在せしめられている。チャックテーブル
３６が上記片端位置から上記他端位置に向けて矢印４４
で示す方向に往動せしめられる際には、チャックテーブ
ル３６の往動に応じて蛇腹手段６２は漸次伸張せしめら
れ蛇腹部材６４は漸次収縮せしめられる。逆に、チャッ
クテーブル３６が上記他端位置から上記片端位置に向け
て復動せしめられる際には、蛇腹手段６２は漸次収縮せ
しめられ蛇腹手段６４は漸次伸張せしめられる。

【００１７】而して、図示の切断機２における上述した
とおりの構成は、本発明に従って改良された新規特徴を
なすものではなく、それら自体は既に公知の形態でよ
く、それ故にそれらの詳細については本明細書において
は説明を省略する。

【００１８】図１及び図３を参照して説明を続けると、
図示の実施形態においては、上述したとおりＣＳＰ基板
１６の切断は、チャックテーブル３６が往動せしめられ
る間に矢印６０で示す方向に回転せしめられている回転
切断刃５６の作用によって遂行される。それ故に、切断
によって生成される切断屑は主としてチャックテーブル
３６の往動方向４４に見てチャックテーブル３６の下流
側に飛散する。切断の際には冷却液噴射手段５８から冷
却液が噴射され、従って冷却液も飛散する。冷却液はチ
ャックテーブル３６の下流側のみならず霧状になってチ
ャックテーブル３６の上流側にも飛散する。しかしなが
ら、チャックテーブル３６の往復動機構におけるねじ軸
及び雌ねじ部材（図示していない）等の精密機械要素は
蛇腹手段６２及び６４によって覆われている故に、飛散
する切断屑及び冷却液によって損傷せしめられることは
ない。しかしながら、特に切断すべき被加工物が図２に
図示する如きＣＳＰ基板１６である場合、格子状に配設
された切断ストリート２０に沿って切断を遂行すると、
ＣＳＰ基板１６の４周縁部に存在する耳部２４が比較的
大きな切断屑９０として、特にチャックテーブル３６の
往動方向４４に見てチャックテーブル３６の下流側に飛
散し、その一部は仕切部材７６によって規定されている
チャンネル形状部８６及び８８に収容されるが、その相
当部分は蛇腹手段６４上に飛散する。本発明者等の経験
によれば、蛇腹手段６４上に比較的大きい切断屑９０が
飛散すると、蛇腹手段６４が収縮及び伸張せしめられる
際に蛇腹手段６４が破損され、或いは蛇腹手段６４の円
滑な収縮及び伸張が毀損される傾向がある。

【００１９】図１と共に図３、図４及び図５を参照して
説明すると、本発明においては、蛇腹手段６４を比較的
大きな切断屑９０を含む切断屑から保護するために、蛇
腹手段６４を覆う保護シート９２が配設される。この保
護シート９２の片端には連結部材９４が固定されてお
り、かかる連結部材９４がチャックテーブル３６の上面
片縁部に止めねじの如き適宜の連結手段によって連結さ
れている。一方、図示の実施形態においては、上記静止
ブラケット部材７４は蛇腹手段６４の連結部材７２が連
結される主壁部９６に加えて、主壁部９６の両側から下
流側に突出する両側壁部９８を有し、この両側壁部９８
間には巻き取り手段を構成する軸部材１００が回転自在
に装着されている。蛇腹手段６４上を延在する保護シー
ト９２の他端部はかかる軸部材１００に固定されてい
る。保護シート９２はポリエステルシート或いはポリエ
チレンテレフタレートシートの如き適宜の合成樹脂シー
トから形成することができ、軸部材１００に巻き付けら
れた状態になる所謂巻き癖を有する。保護シート１００
にかかる巻き癖を施すには、例えば軸部材１００に保護
シート９２を巻き付けた状態で保護シート９２を適宜温
度に加熱すればよい。チャックテーブル３６が矢印４４
で示す方向に往動せしめられる際には、保護シート９２
の片端はチャックテーブル３６の往動に付随して矢印４
４で示す方向に移動せしめられ、かかる移動に応じて保
護シート９２が軸部材１００に漸次巻き取られる。チャ
ックテーブル３６が矢印４６で示す方向に復動せしめら
れる際には、保護シート９２の片端はチャックテーブル
３６の往動に付随して矢印４６で示す方向に移動せしめ
られ、かかる移動に応じて軸部材１００から保護シート
９２が漸次巻き出される。上記静止ブラケット部材７４
の主壁部９６には上方及び上流側に湾曲して延出せしめ
られている案内片１０２が一体に形成されており、かか
る案内片１０２は保護シート９２が軸部材１００に巻き
取られる際及び軸部材１００から巻き出される際に保護
シート９２を案内する。巻き癖を有する保護シート９２
を使用することに代えて、所望ならば軸部材１００を正
転及び逆転駆動せしめることによって保護シートを巻き
取り及び巻き出しすることもできる。

【００２０】図３乃至図５を参照して説明すると、上記
静止ブラケット部材７４の両側壁部９８間には、切断屑
離脱手段１０４も装着されている。この切断屑離脱手段
１０４は軸部材１００に巻き取られる直前位置において
保護シート９２の表面に接触乃至近接せしめられている
先端縁を有する離脱プレートを有する。切断屑離脱手段
１０４の下流側で且つ切断屑離脱手段１０４の下方に
は、切断屑搬送手段１０６が配設されている。図示の実
施形態における切断屑搬送手段１０６は、軸部材１００
の軸線方向に延在せしめられている無端搬送ベルト機構
から構成されており、被駆動ローラ１０８並びに従動ロ
ーラ１１０及び１１２と共にかかるローラ１０８、１１
０及び１１２に巻き掛けられた無端ベルト１１４を含ん
でいる。被駆動ローラ１０８は電動モータでよい回転駆
動源に接続されており、矢印１１６で示す方向に体験駆
動され、これによって無端ベルト１１４が矢印１１６で
示す方向に駆動せしめられる。合成ゴムの如き適宜の材
料から形成することができる無端ベルト１１４には、多
数の排液孔１１８が形成されているのが好適である。切
断屑搬送手段１０６には切断屑収集手段１２０及び切断
屑収集容器１２２が付設されている。図示の実施形態に
おける切断屑収集手段１２０は、無端ベルト１１４の下
方走行部の下端部において無端ベルト１１４の表面に接
触乃至近接するブラシ手段から構成されている。切断屑
収集容器１２２は切断屑収集手段１２０の下方に配置さ
れており、その上面は開放されている。

【００２１】図１と共に図３乃至図５を参照して説明を
続けると、切断域１２におけるＣＳＰ基板１６の切断に
起因して仕切部材７６によって規定されているチャンネ
ル形状部８６及び８８上に飛散した切断屑及び冷却液
は、チャックテーブル３６の往動方向４４にチャンネル
形状部８６及び８８を流下し、チャンネル形状部８６及
び８８の下流端から切断屑搬送手段１０６の無端ベルト
１１４上に落下せしめられる。チャックテーブル３６の
往動方向４４に見てチャックテーブル３６の下流側に飛
散した切断屑及び冷却液は、蛇腹手段６４を覆っている
保護シート９２上に落下する。蛇腹手段６４上に直接的
に切断屑、特に比較的大きい切断屑９０が落下せしめら
れることはない。チャックテーブル３６が往動方向４４
に往動せしめられ、これに応じて保護シート９２の片端
が往動方向４４に移動せしめられると、保護シート９２
上に飛散した切断屑及び冷却液も保護シート９２と共に
往動方向４４に移動せしめられる。そして、軸部材１０
０の近傍まで移動せしめられると、切断屑離脱手段１０
４の作用によって切断屑が保護シート９２から離脱せし
められ、切断屑離脱手段１０４を構成している離脱プレ
ートの表面に案内されて切断屑搬送手段１０６の無端ベ
ルト１１４上に導かれる。保護シート９２上の冷却液も
切断屑と共に無端ベルト１１４上に導かれる。無端ベル
ト１１４上に落下せしめられた切断屑は無端ベルト１１
４の移動に付随して矢印１１６で示す方向に搬送され、
無端ベルト１１４の方向変化部位において切断屑収集容
器１２２内に落下され、或いは切断屑収集手段１２０の
作用によって無端ベルト１１４から離脱せしめられて切
断屑収集容器１２２内に導かれる。一方、無端ベルト１
１４上の落下せしめられた冷却液は、無端ベルト１１４
に形成されている排液孔１１８を通って流下して、切断
屑搬送手段１０６の下方に配設されている排液ホース
（図示していない）に収集される。

【００２２】以上、本発明に従って改良された切断機の
好適実施形態について詳細に説明したが、本発明はかか
る実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を
逸脱することなく種々の変形乃至修正が可能であること
は多言を要しない。例えば、図示の実施形態において
は、チャックテーブルの両側に配設した蛇腹手段の一方
に関して保護シート及びその関連手段を配設している
が、切断屑が双方の蛇腹手段に飛散する虞がある場合等
においては、双方の蛇腹手段に関して保護シート及びそ
の関連手段を配設することもできる。また、図示の実施
形態においては、チャックテーブルの両側に蛇腹手段を
配設しているが、切断屑及び冷却液はチャックテーブル
の片側のみに飛散する場合には、他側の蛇腹手段を省略
することができる。

【００２３】

【発明の効果】本発明の切断機においては、飛散した切
削屑によって蛇腹手段の円滑な収縮及び伸張が阻害され
或いは蛇腹手段が損傷されることが効果的に防止され
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従って改良された切断機の全体を示す
斜面図。

【図２】図１の切断機によって切断されるＣＳＰ基板及
びこれをチャックテーブルに装着するために使用される
装着治具を示す分解斜面図。

【図３】図１の切断機における蛇腹手段、保護シート及
びこれらの関連手段を示す部分斜面図。

【図４】図１の切断機における蛇腹手段、保護シート及
びこれらの関連手段を示す分解斜面図。

【図５】図１の切断機における保護シート及び切断屑離
脱手段を示す部分断面図。

【符号の説明】

２：切断機４：ハウジング６：待機域８：チャッキング域１０：アライメント域１２：切断域１４：洗浄及び乾燥域１６：ＣＳＰ基板２０：切断ストリート２２：ＣＳＰ２４：耳部２６：装着治具３６：チャックテーブル５２：切断手段５６：回転切断刃５８：冷却液噴射手段６２：蛇腹手段６４：蛇腹手段９０：比較的大きな切断屑９２：保護シート１００：軸部材（巻き取り手段）１０４：切断屑離脱手段１０６：切断屑搬送手段１１４：無端ベルト１１８：排液孔１２０：切断屑収集手段１２２：切断屑収集容器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】片端位置と他端位置との間を往復動せし
められるチャックテーブルと、該チャックテーブルの往
復動方向に見て該チャックテーブルの少なくとも片側に
配置され、一端が該チャックテーブルに固定され他端が
静止部材に固定された蛇腹手段と、該チャックテーブル
上に保持された被加工部を切断するための切断手段とを
含み、該チャックテーブルが往動及び／又は復動せしめられる
際に、該チャックテーブル上に保持された被加工物に該
切断手段が作用して該被加工物が切断され、切断屑が少
なくとも該チャックテーブルの往復動方向に見て該片側
に飛散され、該チャックテーブルが往動又は復動せしめ
られる際には該蛇腹手段が収縮せしめられ、該チャック
テーブルが復動又は往動せしめられる際には該蛇腹手段
が伸張せしめられる、切断機において、該蛇腹手段の上面を覆う保護シートが配設されており、
該保護シートの片端は該チャックテーブルの往復動に付
随して往復動せしめられ、該保護シートの他端は巻き取
り手段に接続されており、該チャックテーブルが往動又
は復動せしめられる際には該チャックテーブルの往動又
は復動に応じて該保護シートが該巻き取り手段に漸次巻
き取られ、該チャックテーブルが復動又は往動せしめら
れる際には該チャックテーブルの復動又往動に応じて該
保護シートが該巻き取り手段から漸次巻き戻される、こ
とを特徴とする切断機。
【請求項２】該巻き取り手段は回転自在に装着された
軸部材から構成されており、該保護シートは該保護シー
トに力が加えられていない状態においては該軸部材に巻
き付けられた状態になる巻き癖を有し、該チャックテー
ブルが往動又は復動する際には該保護シートの該巻き癖
に起因して該保護シートが該軸部材に漸次巻き取られ
る、請求項１記載の切断機。
【請求項３】該巻き取り手段に巻き取られる該保護シ
ートからその表面に付着している切断屑を離脱せしめる
ための切断屑離脱手段が配設されている、請求項１又は
２記載の切断機。
【請求項４】該切断屑離脱手段は該巻き取り手段に隣
接して配設された離脱プレートから構成され、該離脱プ
レートは該巻き取り手段に巻き取られる直前位置にて該
保護シートの表面に接触乃至近接する先端縁を有する、
請求項３記載の切断機。
【請求項５】該チャックテーブルの往動又は復動方向
に見て該巻き取り手段の下流側には切断屑搬送手段が配
設されており、該切断屑離脱手段は該保護シートの表面
から離脱せしめた切断屑を該切断屑搬送手段上に導く、
請求項３又は４記載の切断機。
【請求項６】該切断屑搬送手段は無端搬送ベルト機構
から構成されている、請求項５記載の切断機。
【請求項７】該切断手段には冷却液噴射手段が付設さ
れており、該無端搬送ベルト機構は多数の排液孔が形成
されている無端ベルト、及び該無端ベルトの下方に配置
された排液手段を含み、該無端ベルト上に流入した冷却
液は該排液孔を通って該排液手段に流下せしめられる、
請求項６記載の切断機。
【請求項８】切断屑収集容器、及び該無端搬送ベルト
によって搬送される切断屑を該無端ベルトから離脱せし
めて該切断屑収集容器内に導く切断屑収集手段が配設さ
れている、請求項６又は７記載の切断機。
【請求項９】該切断屑収集手段は、該無端ベルトの表
面に作用するブラシ手段から構成されている、請求項８
記載の切断機。