KR20040060713A - 판 형상체의 반송 장치 - Google Patents

판 형상체의 반송 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20040060713A
KR20040060713A KR1020030063608A KR20030063608A KR20040060713A KR 20040060713 A KR20040060713 A KR 20040060713A KR 1020030063608 A KR1020030063608 A KR 1020030063608A KR 20030063608 A KR20030063608 A KR 20030063608A KR 20040060713 A KR20040060713 A KR 20040060713A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
shaped
conveying
plate
conveyance
strip
Prior art date
Application number
KR1020030063608A
Other languages
English (en)
Inventor
야스다도모히코
와다요시유키
오노도시타카
Original Assignee
이시가와지마 하리마 쥬우고오교 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2002380012A priority Critical patent/JP2004210440A/ja
Priority to JPJP-P-2002-00380012 priority
Application filed by 이시가와지마 하리마 쥬우고오교 가부시끼가이샤 filed Critical 이시가와지마 하리마 쥬우고오교 가부시끼가이샤
Publication of KR20040060713A publication Critical patent/KR20040060713A/ko

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G15/00Conveyors having endless load-conveying surfaces, i.e. belts and like continuous members, to which tractive effort is transmitted by means other than endless driving elements of similar configuration
    • B65G15/30Belts or like endless load-carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0214Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022Flat
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2812/00Indexing codes relating to the kind or type of conveyors
    • B65G2812/02Belt or chain conveyors
    • B65G2812/02128Belt conveyors
    • B65G2812/02138Common features for belt conveyors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating, or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating, or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating, or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Abstract

박판 형상체 반송 시의 진동을 경감함과 동시에 사행을 방지하고, 더구나, 박판 형상체에 티끌과 먼지가 부착할 우려가 없는 판 형상체의 반송 장치이다. 전후 부분에 설치한 풀리(3, 4)에 감겨 구동할 수 있도록 한 무단(endless) 형상의 벨트(5)를 평면에서 볼 때 박판 형상체 반송 방향(D)으로 복수 열로 배치함과 동시에 박판 형상체 반송 방향(D)으로 복수 세트(set) 배치하여, 각 벨트(5)에 박판 형상체(6)를 지지할 수 있도록 한 돌기 형상 지지체(7)를 긴 변 방향으로 소정의 간격으로 설치하고, 상기 돌기 형상 지지체(7)가 박판 형상체(6) 반송측에 있어서 약간 위쪽으로 돌출하도록 풀리(3, 4), 벨트(5), 돌기 형상 지지체(7)를 프레임체(2)에 수납하여 프레임체(2) 내를 배기하는 배기 수단(10)을 설치한다.

Description

판 형상체의 반송 장치{Conveyor system for sheet-like material}

본 발명은 판 형상체의 반송 장치에 관한 것이다.

유리 기판, 유리 기판을 사용한 액정 패널, 태양 전지 패널 등의 박판 형상체 반송에는 종래부터 벨트 컨베이어, 롤러 컨베이어, 휠 컨베이어 등의 반송 장치가 사용되고 있으며, 휠 컨베이어를 사용한 유리 기판 등의 박판 형상체의 반송 장치의 종래의 일례는 도 9 내지 도 13에 도시되어 있다. 그리고, 반송 장치는 도 12에 도시하는 바와 같이, 평면적으로 볼 때 박판 형상체 반송 방향(D)에 대하여 직교하는 방향으로 일정 간격으로 배치된 복수 열의 휠 컨베이어(a)를 박판 형상체반송 방향(D)에 대하여 평행한 방향으로 복수 세트 구비하고 있다.

각 휠 컨베이어(a)는 도 9 내지 도 11에 도시하는 바와 같이, 프레임체(b)와, 상기 프레임체(b)에 박판 형상체 반송 방향(D)과 평행한 방향으로 일정 간격으로 배치된 비교적 폭이 좁은 복수의 수평 배치된 휠(c)을 구비하고, 휠(c)은 도시하고 있지 않지만, 종래 주지의 구동 수단에 의해 동일 둘레 속도로 구동할 수 있도록 되어 있다.

그리고, 도 12에 도시하는 바와 같이, 박판 형상체 반송 방향(D)에 대하여 상류측에 있어서의 복수 열의 휠 컨베이어(a)의 박판 형상체 반송 방향(D) 하류단에 있어서의 휠(c)과, 박판 형상체 반송 방향(D)에 대하여 하류측 복수 열의 휠 컨베이어(a)의 박판 형상체 반송 방향(D) 상류단의 휠(c)은 서로 축선 방향으로 이웃하도록 동일 축선 상에 배치되어 있지만, 이것은 박판 형상체(e)가 반송 시에 상류측의 휠 컨베이어(a)에서 하류측의 휠 컨베이어(a)로 원활하게 옮겨질 수 있도록 하기 위함이다.

박판 형상체(e)를 반송하는 경우에는, 휠 컨베이어(a)의 휠(c)은 모두 구동되어 회전하고 있다. 이 때문에, 상류측의 휠 컨베이어(a)로 이송된 박판 형상체(e)는 상류측의 휠 컨베이어(a)가 반송되어 하류측의 휠 컨베이어(a)로 이송되며, 하류측의 휠 컨베이어(a)에 의해 더욱 반송된다.

박판 형상체를 반송하는 다른 반송 장치의 예로서는, 일본 특개평 9-278181호 공보에 도시하는 바와 같이 반송 장치가 있다. 상기 반송 장치에서는, 박판 형상체의 반송 방향을 따르는 양단 부근을 지지함과 동시에, 박판 형상체를 하류 방향으로 반송하는 수평 롤러를 구비하고 있다.

그렇지만, 도 9 내지 도 13에 도시하는 반송 장치의 경우, 박판 형상체(e)의 선단부는 박판 형상체 반송 방향(D)으로 이동하여 휠(c)에 지지되지 않은 한쪽 지지 상태가 되었을 때, 자체 무게에 의해 아래쪽으로 휘고, 이 때문에, 박판 형상체(e)의 선단은 박판 형상체 반송 방향(D) 하류측의 다음 휠(c)로 옮겨질 때, 휠(c)의 외주면에 접촉하여 진동하며, 그 결과, 박판 형상체(e)에 악영향을 줄 우려가 있다.

또한, 박판 형상체(e)의 선단이 하류측의 휠(c)로 옮겨질 때, 상기 휠(c)에 접촉하면, 박판 형상체(e)는 하류측의 휠(c)로부터 힘을 받아, 그 결과, 박판 형상체(e)는 위치가 어긋나 사행할 우려가 있으며, 따라서 종래의 반송 장치에서는 사행 방지를 위해 사이드 가이드가 필요해진다.

더욱이, 휠(c)의 외주면에 티끌과 먼지가 부착하면, 박판 형상체(e)에도 티끌과 먼지가 부착할 우려가 있다.

일본 특개평 9-278181호 공보에 도시하는 반송 장치의 경우에는, 좌우의 롤러간에 급기 플레이트 위쪽에 위치하도록 다공질 부재를 배치하고, 다공질 부재로부터 박판 형상체의 하면에 공기를 공급하여 박판 형상체의 하면에 티끌과 먼지가 부착하지 않도록 하고 있다. 그러나, 박판 형상체의 선단이 하류측의 롤러로 옮겨질 때는, 도 9 내지 도 13에 도시하는 반송 장치와 마찬가지로 롤러의 외주면에 접촉한다. 이 때문에, 박판 형상체가 진동에 의한 악영향을 받거나 사행할 우려가 있으나, 사행 방지에는 사이드 가이드가 필요해지는 것은 도 9 내지 도 13의 반송장치의 경우와 동일하다.

본 발명은 이러한 실정을 감안하여, 박판 형상체의 반송 시의 진동을 경감함과 동시에, 사행을 방지하고, 더구나, 박판 형상체에 티끌과 먼지가 부착할 우려가 없는 판 형상체의 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 구성한 것이다.

본 발명에 의한 판 형상체의 반송 장치는 판 형상체 반송 방향으로 간격을 두고 배치된 회전체에 구동 가능하게 걸린 무단 형상의 띠 형상체 또는 끈 형상체와, 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체의 판 형상체 반송 방향과 평행한 방향으로 간격을 두고 설치되고 또한 반송측에서 판 형상체를 지지할 수 있도록 한 지지체를 구비한 것이다.

본 발명에 의한 판 형상체의 반송 장치에서는, 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체를 평면에서 볼 때 판 형상체 반송 방향에 대하여 직교하는 방향으로 복수 열 배치할 수 있다.

본 발명에 의한 판 형상체의 반송 장치에서는, 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체를 평면에서 볼 때 판 형상체 반송 방향에 대하여 평행한 방향으로 복수 세트 배치할 수 있다.

본 발명에 의한 판 형상체의 반송 장치에서는, 상류측의 띠 형상체 또는 끈 형상체의 판 형상체 반송 방향 하류측 부분과, 하류측의 띠 형상체 또는 끈 형상체의 판 형상체 반송 방향 상류측 부분은 측면에서 볼 때 겹치도록 배치할 수 있다.

본 발명에 의한 판 형상체의 반송 장치에서는, 상기 회전체 및 띠 형상체 또는 끈 형상체를 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체에 설치한 지지체의 반송측에 있어서의 정수리 부분이 위쪽으로 돌출하도록 피복체로 덮을 수 있다.

본 발명에 의한 판 형상체의 반송 장치에서는, 상기 피복체 내의 배기를 행하는 배기 수단을 설치할 수 있다.

본 발명의 판 형상체의 반송 장치에 의하면, 반송 시에 있어서의 판 형상체의 진동을 경감할 수 있음과 동시에, 사행을 방지할 수 있기 때문에, 반송에 의해 판 형상체에 악영향이 미치는 일이 없으며, 또한 품질을 양호하게 유지할 수 있고, 더구나 사이드 가이드가 불필요하기 때문에, 설비비를 저감할 수 있고, 또한, 배기 수단에 의해 프레임체 내를 배기하도록 하고 있기 때문에, 띠 형상체나 끈 형상체에 설치한 판 형상체의 지지체에 티끌과 먼지가 부착하는 것을 저감할 수 있으며, 그 결과, 판 형상체에 티끌과 먼지가 부착할 우려가 저감하여 그 품질 손상의 우려가 경감된다.

도 1은 본 발명의 판 형상체의 반송 장치에 적용하는 반송 장치 본체의 측단면도.

도 2는 도 1의 II-II 방향 화살표를 따라 본 도면.

도 3은 도 2의 III-III 방향 화살표를 따라 본 도면.

도 4는 도 3의 IV-IV 방향 화살표를 따라 본 도면.

도 5는 도 1의 V부 확대도.

도 6은 본 발명의 한 실시예로, 반송 장치 본체를 평면에서 볼 때 박판 형상체 반송 방향에 대하여 복수 열 배치함과 동시에, 박판 형상체 반송 방향으로 복수 세트 배치한 상태를 도시하는 평면도.

도 7은 도 6의 VII-VII 방향 화살표를 따라 본 도면.

도 8은 도 7의 VIII-VIII 방향 화살표를 따라 본 도면.

도 9는 종래의 판 형상체의 반송 장치에 적용하는 휠 컨베이어의 측면도.

도 10은 도 9의 X-X 방향 화살표를 따라 본 도면.

도 11은 도 9의 XI-XI 방향 화살표를 따라 본 도면.

도 12는 종래의 판 형상체의 반송 장치의 예로, 휠 컨베이어를 평면에서 볼때 박판 형상체 반송 방향에 대하여 복수 열 배치함과 동시에, 박판 형상체 반송 방향으로 복수 세트 배치한 상태를 도시하는 평면도.

도 13은 도 12의 XIII-XIII 방향 화살표를 따라 본 도면.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

1: 반송 장치 본체 2: 프레임체

3, 4: 풀리 5: 벨트

6: 박판 형상체 7: 돌기 형상 지지체

10: 배기 수단

(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)

이하, 본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참조하여 설명한다.

도 1 내지 도 8은 본 발명의 한 실시예를 도시한다.

도 1 내지 도 4에 있어서, 도면부호 1은 반송 장치 본체이며, 상기 반송 장치 본체(1)는 박판 형상체 반송 방향(D)과 평행한 방향으로 연속 위치하는 프레임체(2)를 구비하고 있다. 프레임체(2)는 바닥면 및 양 측면 및 전후면을 판 형상의 피복체로 덮인 직방체형으로 형성되어, 상면에는 긴 변 방향에 대하여 대략 전체 길이에 걸쳐 개구(2a)가 형성되어 있다.

프레임체(2) 내의 박판 형상체 반송 방향(D) 상류단 및 하류단 근방에는 풀리(3, 4)가 수평 설치되어 있으며, 풀리(3, 4)에는 무단 형상으로 또한 폭이 좁은 벨트(5)가 가로질러져 있다. 벨트(5) 표면에는 반송측에 있어서 정수리 부분측이 개구(2a)로부터 위쪽으로 약간 돌출하여 반송되는 박판 형상체(6)의 하면을 지지할 수 있도록 한 돌기형 지지체(7)가 설치되어 있다. 돌기형 지지체(7)는 예를 들면 수지제로, 그 정수리 부분은 도 5에 도시하는 바와 같이 반원형으로 형성되어 있다. 이렇게 하는 것은 박판 형상체(6)의 피지지 부분에 상흔이 생기거나 티끌과 먼지가 부착하는 것을 방지하기 위함이다.

풀리(3, 4)가 외부 끼워맞춰진, 고정된 축(8, 9)은 예를 들면, 프레임체(2)의 바깥측 부분에 설치한 베어링에 회전 가능하게 지지되고, 축(8 또는 9)은 종래 주지한 구동 장치에 의해 회전 구동되도록 되어 있다. 그리고, 축(8 또는 9)을 구동함으로써, 풀리(3, 4)를 개재시켜 벨트(5)가 회동하여, 벨트(5) 회동에 의해 돌기 형상 지지체(7)가 이동할 수 있도록 되어 있다. 도 1 중, 도면부호 10은 프레임체(2) 내의 공기를 배기하기 위한 배풍기 등의 배기 수단이다.

상기 반송 장치 본체(1)는 도 6에 도시하는 바와 같이, 평면에서 볼 때, 박판 형상체 반송 방향(D)에 대하여 직교하는 방향으로 소정의 간격으로 복수 열 배치되고, 복수 열의 반송 장치 본체(1)는 박판 형상체 반송 방향(D)에 대하여 복수세트 배치되어 있으며, 모든 반송 장치 본체(1)의 돌기 형상 지지체(7) 상단은 동일 평면 상에 위치하고 있다.

그리고, 박판 형상체 반송 방향(D)에 대하여 상류측 반송 장치 본체(1)의 하류측 끝 부분과 하류측 반송 장치 본체(1)의 상류측 끝 부분은 도 6에 도시하는 바와 같이, 서로 폭 방향으로 이웃하여 상자 형상으로 배치되어, 상류측 반송 장치 본체(1)에 있어서의 선단의 풀리(3)와 하류측 반송 장치 본체(1)에 있어서의 후단의 풀리(4)의 축선은 동일선 상에 위치하도록 되어 있다. 그리고, 측면에서 볼 때, 상류측 반송 장치 본체(1)에 있어서의 선단 풀리(3)와 하류측 반송 장치 본체(1)에 있어서의 후단의 풀리(4), 벨트(5)의 일부는 겹치도록 되어 있다.

그와 같이 하는 것은 상류측 선단부의 돌기 형상 지지체(7)와 하류측의 후단부의 돌기 형상 지지체(7) 사이의 박판 형상체 반송 방향(D)의 간격이 커지지 않도록 하여, 박판 형상체(6)가 상류측 반송 장치 본체(1)에서 하류측 반송 장치 본체(1)로 옮겨질 때, 벨트(5)의 회동에 의해 하강하는 상류측 선단의 돌기 형상 지지체(7)가 박판 형상체(6)의 선단부 하면에서 벗어나도 박판 형상체(6) 선단부의 자체 무게에 의한 휨이 커지지 않도록 하여, 하류측 후단부의 벨트(5)의 회동에 의해 상승하여 오는 돌기 형상 지지체(7)에 원활하게 지지되도록 하기 위함이다.

다음으로, 상기한 실시예의 작동을 설명한다.

박판 형상체(6)를 반송할 때는, 모든 반송 장치 본체(1)가 구동되며, 따라서, 반송측에 있어서, 돌기 형상 지지체(7)는 벨트(5)와 함께 박판 형상체 반송 방향(D)으로 이동하고, 또한, 모든 프레임체(2) 안은 배기 수단(10)에 의해 배기된다.

상류측 복수 열의 반송 장치 본체(1)로 이송된 박판 형상체(6)는 상류측 반송 장치 본체(1)의 돌기 형상 지지체(7)에 지지되어 돌기 형상 지지체(7)와 함께 박판 형상체 반송 방향(D) 하류측으로 반송되어, 상류측 복수 열의 반송 장치 본체(1)에서 하류측 복수 열의 반송 장치 본체(1)로 옮겨지고, 하류측 복수 열의 반송 장치 본체(1)의 돌기 형상 지지체(7)에 지지되어 돌기 형상 지지체(7)와 함께 박판 형상체 반송 방향(D) 하류측으로 반송된다.

또한, 상류측 복수 열의 반송 장치 본체(1)에 의해 반송된 박판 형상체(6)가 하류측 복수 열의 반송 장치 본체(1)로 옮겨질 때는, 상류측 반송 장치 본체(1)에 있어서의 돌기 형상 지지체(7)는 선단부에 있어서의 풀리(3) 회전에 따르는 벨트(5) 아래쪽으로의 회동에 의해 하강하여 박판 형상체(6)의 하면으로부터 이반하지만, 대략 동시에 하류측 반송 장치 본체(1)에 있어서의 돌기 형상 지지체(7)가 후단부에 있어서의 풀리(4) 회전에 따르는 벨트(5) 위쪽으로의 회동에 의해 상승하여 박판 형상체(6)의 하면을 지지한다.

따라서, 반송 시, 박판 형상체(6)는 돌기 형상 지지체(7)에 지지되어 돌기 형상 지지체(7)와 함께 박판 형상체 반송 방향(D)으로 이동하여, 박판 형상체(6)는 돌기 형상 지지체(7)에 대하여 위치가 어긋나는 일이 없다. 그 결과, 박판 형상체(6) 반송 시의 진동이 경감됨과 동시에, 박판 형상체(6)에는 사행이 발생하지 않는다. 그 때문에, 반송에 의해 박판 형상체(6)가 악영향을 받는 일이 없어, 품질을 양호하게 유지할 수 있음과 동시에, 사이드 가이드가 불필요하기 때문에,설비비를 저감할 수 있다.

또한, 배기 수단(10)에 의한 프레임체(2) 내의 배기에 의해, 벨트(5)나 돌기 형상 지지체(7)에 티끌과 먼지가 부착할 우려가 저감되기 때문에, 박판 형상체(6)에 티끌과 먼지가 부착하여 품질을 손상할 우려가 경감된다.

또한, 본 발명의 판 형상체의 반송 장치에 있어서는, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에 있어서 각종 변경을 가할 수 있다. 즉, 평면에서 볼 때 박판 형상체 반송 방향에 대하여 직교하는 방향으로 복수 열로 배치한 반송 장치 본체를 박판 형상체 반송 방향으로 복수 세트 배치하는 경우에 대해서 설명하였지만, 복수의 돌기 형상 지지체가 설치된 벨트를 평면에서 볼 때 박판 형상체 반송 방향에 대하여 직교하는 방향으로 복수 열 배치하면, 상기 벨트를 박판 형상체 반송 방향에 대하여 복수 세트 배치하지 않아도 실시 가능하다.

또한, 띠 형상체인 벨트에 돌기형 지지체를 설치하는 경우에 대해서 설명하였지만, 돌기 형상 지지체를 체인, 로프 등의 끈 형상체에 설치하도록 하여도 실시할 수 있으며, 반송되는 판 형상체는 박판에 한하지 않고 각종 두께의 것에 적용할 수 있고, 배기 수단은 각 반송 장치 본체의 프레임체에 각각 설치하거나 혹은 배기 수단은 1기로 하여, 상기 배기 수단을 덕트에 의해 각 프레임체와 접속하도록 하여도 실시할 수 있다.

더욱이, 풀리와 벨트 및 돌기 형상 지지체의 박판 형상체 반송측에 있어서의 정수리 부분 근방 이외의 부분을 덮는 피복체는 개개의 반송 장치 본체마다 설치하는 경우에 대해서 설명하였지만, 전체를 1세트의 피복체로 덮도록 하여도 실시할수 있다.

이상, 설명한 바와 같이 본 발명의 판 형상체의 반송 장치에 의하면, 반송 시에 있어서의 판 형상체의 진동을 경감할 수 있음과 동시에, 사행을 방지할 수 있기 때문에, 반송에 의해 판 형상체에 악영향을 미치는 일이 없고, 또한 품질을 양호하게 유지할 수 있으며, 더구나 사이드 가이드가 불필요하기 때문에, 설비비를 저감할 수 있고, 또한, 배기 수단에 의해 프레임체 안을 배기하도록 하고 있기 때문에, 띠 형상체나 끈 형상체에 설치한 판 형상체의 지지체에 티끌과 먼지가 부착하는 것을 저감할 수 있으며, 그 결과, 판 형상체에 티끌과 먼지가 부착할 우려가 저감하여 그 품질을 손상할 우려가 경감되는 등 각종 뛰어난 효과를 낼 수 있다.

Claims (13)

  1. 판 형상체 반송 방향으로 간격을 두고 배치된 회전체에 구동 가능하게 감긴 무단 형상의 띠 형상체 또는 끈 형상체와, 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체의 판 형상체 반송 방향과 평행한 방향으로 간격을 두고 설치되고 또한 반송측에서 판 형상체를 지지할 수 있도록 한 지지체를 구비한 것을 특징으로 하는 판 형상체의 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체를 평면에서 볼 때 판 형상체 반송 방향에 대하여 직교하는 방향으로 복수 열 배치한 판 형상체의 반송 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체를 평면에서 볼 때 판 형상체 반송 방향에 대하여 평행한 방향으로 복수 세트 배치한 판 형상체의 반송 장치.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체를 평면에서 볼 때 판 형상체 반송 방향에 대하여 평행한 방향으로 복수 세트 배치한 판 형상체의 반송 장치.
  5. 제 3 항에 있어서, 상류측의 띠 형상체 또는 끈 형상체의 판 형상체 반송 방향 하류측 부분과, 하류측의 띠 형상체 또는 끈 형상체의 판 형상체 반송 방향 상류측 부분을 측면에서 볼 때 겹치도록 배치한 판 형상체의 반송 장치.
  6. 제 4 항에 있어서, 상류측의 띠 형상체 또는 끈 형상체의 판 형상체 반송 방향 하류측 부분과, 하류측의 띠 형상체 또는 끈 형상체의 판 형상체 반송 방향 상류측 부분을 측면에서 볼 때 겹치도록 배치한 판 형상체의 반송 장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 회전체 및 띠 형상체 또는 끈 형상체를 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체에 설치한 지지체의 반송측에 있어서의 정수리 부분이 위쪽으로 돌출하도록 피복체로 덮은 판 형상체의 반송 장치.
  8. 제 2 항에 있어서, 상기 회전체 및 띠 형상체 또는 끈 형상체를 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체에 설치한 지지체의 반송측에 있어서의 정수리 부분이 위쪽으로 돌출하도록 피복체로 덮은 판 형상체의 반송 장치.
  9. 제 3 항에 있어서, 상기 회전체 및 띠 형상체 또는 끈 형상체를 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체에 설치한 지지체의 반송측에 있어서의 정수리 부분이 위쪽으로 돌출하도록 피복체로 덮은 판 형상체의 반송 장치.
  10. 제 4 항에 있어서, 상기 회전체 및 띠 형상체 또는 끈 형상체를 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체에 설치한 지지체의 반송측에 있어서의 정수리 부분이 위쪽으로 돌출하도록 피복체로 덮은 판 형상체의 반송 장치.
  11. 제 5 항에 있어서, 상기 회전체 및 띠 형상체 또는 끈 형상체를 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체에 설치한 지지체의 반송측에 있어서의 정수리 부분이 위쪽으로 돌출하도록 피복체로 덮은 판 형상체의 반송 장치.
  12. 제 6 항에 있어서, 상기 회전체 및 띠 형상체 또는 끈 형상체를 상기 띠 형상체 또는 끈 형상체에 설치한 지지체의 반송측에 있어서의 정수리 부분이 위쪽으로 돌출하도록 피복체로 덮은 판 형상체의 반송 장치.
  13. 제 7 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 피복체 내의 배기를 행하는 배기 수단을 설치한 판 형상체의 반송 장치.
KR1020030063608A 2002-12-27 2003-09-15 판 형상체의 반송 장치 KR20040060713A (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002380012A JP2004210440A (ja) 2002-12-27 2002-12-27 板状体の搬送装置
JPJP-P-2002-00380012 2002-12-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20040060713A true KR20040060713A (ko) 2004-07-06

Family

ID=32816347

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030063608A KR20040060713A (ko) 2002-12-27 2003-09-15 판 형상체의 반송 장치

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2004210440A (ko)
KR (1) KR20040060713A (ko)
CN (1) CN100436291C (ko)
TW (1) TWI272236B (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100873448B1 (ko) * 2007-01-25 2008-12-11 유병석 인쇄회로기판의 이송장치
KR20100097037A (ko) * 2009-02-24 2010-09-02 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 처리 시스템
KR200470381Y1 (ko) * 2010-08-19 2013-12-11 주식회사 동일테크 평판 패널용 유리 운반용 타이밍 벨트

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100924153B1 (ko) * 2005-06-22 2009-10-28 히라따기꼬오 가부시키가이샤 가공대상물 반송 시스템
KR100721550B1 (ko) * 2006-01-19 2007-05-23 주식회사 태성기연 판유리 이송장치
KR20080018465A (ko) * 2006-08-24 2008-02-28 주식회사 탑 엔지니어링 취성 재료 기판의 반송 장치
GB2449309A (en) * 2007-05-18 2008-11-19 Renewable Energy Corp Asa A method for exposing a solar cell wafer to a liquid
CN102030190B (zh) * 2010-11-09 2013-02-20 华映视讯(吴江)有限公司 玻璃基板传输装置
JP5915358B2 (ja) * 2012-04-26 2016-05-11 株式会社Ihi 搬送装置
CN104245547B (zh) * 2012-04-26 2016-07-27 株式会社Ihi 输送装置
CN104822613A (zh) * 2013-02-26 2015-08-05 株式会社Ihi 搬运装置
TWI497239B (zh) * 2013-05-30 2015-08-21 Mirle Automation Corp 同步控制系統及同步控制方法
CN104150181B (zh) * 2014-07-24 2017-02-15 昆山龙腾光电有限公司 一种支撑座及支撑装置
CN107600965A (zh) * 2017-08-18 2018-01-19 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种基板传送设备
CN109665322A (zh) * 2019-01-22 2019-04-23 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 传片装置及传片方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6194913A (en) * 1984-10-13 1986-05-13 Nippon Sheet Glass Co Ltd Conveyer
CN87208521U (zh) * 1987-05-30 1987-12-31 秦皇岛市海港耀华玻璃机械厂 玻璃分片输送器
JP3389336B2 (ja) * 1994-07-01 2003-03-24 株式会社不二精機製造所 シート状加工物搬送装置
JP2001341827A (ja) * 2000-05-31 2001-12-11 Canon Inc 枚葉式洗浄機および枚葉式洗浄機に用いられるローラーコンベア用の中間軸受け
JP2002026490A (ja) * 2000-07-06 2002-01-25 Shiizu:Kk 基板処理装置と該装置で得られた処理基板

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100873448B1 (ko) * 2007-01-25 2008-12-11 유병석 인쇄회로기판의 이송장치
KR20100097037A (ko) * 2009-02-24 2010-09-02 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 처리 시스템
KR200470381Y1 (ko) * 2010-08-19 2013-12-11 주식회사 동일테크 평판 패널용 유리 운반용 타이밍 벨트

Also Published As

Publication number Publication date
CN1511773A (zh) 2004-07-14
CN100436291C (zh) 2008-11-26
TW200410888A (en) 2004-07-01
JP2004210440A (ja) 2004-07-29
TWI272236B (en) 2007-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0312643B1 (en) Conveyors
TWI383937B (zh) Sheet material handling device
KR101112508B1 (ko) 판형체 반송 장치
US4480742A (en) Method and apparatus for conveying and spreading material
KR101067709B1 (ko) 자기부상방식 판유리 이송장치
KR20040054533A (ko) 롤러 컨베이어
CN101829660B (zh) 基板输送装置
EP2241523B1 (en) Conveying body and conveying device
US20050129469A1 (en) Transporting apparatus
JP5912642B2 (ja) ガラス板の搬送装置及びその搬送方法
JP2008166359A (ja) 基板処理装置
US8388246B2 (en) Web driven vacuum transport
JP2004345744A (ja) 空気浮上装置および空気浮上式搬送装置
JP5218228B2 (ja) 搬送装置及びブラスト加工装置
JP2005218923A (ja) 基板塵埃除去装置
EP0376932A3 (en) Improved sheet handling machine
JP2004149320A (ja) ガラス基板の移送システム
WO2002096782A3 (en) Scraping and cleaning device for conveyor belts
TWI590369B (zh) A transfer device, an electronic device forming method, and an element forming device
US4406359A (en) Method and apparatus for mass transit of cylindrical articles between differing elevations
JP4349101B2 (ja) 基板搬送装置
US6516939B1 (en) Device for transporting bottles
JP2005081297A (ja) 基板表面清掃装置
US3939514A (en) Apparatus for cleaning thin, fragile wafers of a material
KR100484061B1 (ko) 기판처리장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application