WO2012160853A1 - コンベア装置 - Google Patents

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WO2012160853A1
WO2012160853A1 PCT/JP2012/055467 JP2012055467W WO2012160853A1 WO 2012160853 A1 WO2012160853 A1 WO 2012160853A1 JP 2012055467 W JP2012055467 W JP 2012055467W WO 2012160853 A1 WO2012160853 A1 WO 2012160853A1
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dust
dust removing
conveyor
supported
cover body
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Inventor
村田　正直
快也 和田
Original Assignee
村田機械株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G45/00—Lubricating, cleaning, or clearing devices
    • B65G45/10—Cleaning devices
    • B65G45/18—Cleaning devices comprising brushes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/20—Cleaning of moving articles, e.g. of moving webs or of objects on a conveyor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
    • B08B15/04—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area from a small area, e.g. a tool
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • B08B5/023—Cleaning travelling work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/04—Cleaning by suction, with or without auxiliary action

Definitions

  • the present invention relates to a conveyor device for transporting an object to be transported such as a cassette containing a plurality of semiconductor wafers in a clean room, for example.
  • the conveyor device described in Patent Document 1 includes a plurality of transport rollers that transport a transported object having a bottom surface provided with a slightly adhesive material, a brush roller that scrapes dust trapped by the slightly adhesive material between the transport rollers, And a dust collecting air intake device that takes in the dust scraped off by the brush roller through an opening disposed below the brush roller.
  • an object of the present invention is to provide a conveyor device that can prevent dust from diffusing into the surrounding atmosphere when dust is removed from an object to be conveyed.
  • a conveyor device is a conveyor device including a conveyor unit that conveys an object to be conveyed along a conveyance path, and a cleaning unit that cleans a predetermined portion of the object to be conveyed on the conveyance path, the cleaning unit Is a cover body having an opening formed so as to face a predetermined portion through a predetermined gap, and dust that is attached to the cover body so as to contact the predetermined portion in the opening and removes dust from the predetermined portion It has a removal part, and the dust suction part which attracts
  • a dust removing unit that removes dust from a predetermined portion of the object to be transported is attached to the cover body, and abuts against the predetermined portion of the object to be transported at the opening of the cover body.
  • the dust removed by the dust removing unit is suppressed from diffusing outside the cover body, and is sucked by the dust suction unit communicating with the inside of the cover body. Therefore, according to this conveyor apparatus, when dust is removed from the conveyed object, it is possible to prevent the dust from diffusing into the surrounding atmosphere.
  • a conveyor part has a support part which contacts the 1st surface of a predetermined part, and supports a to-be-conveyed object, and a dust removal part is in the 1st surface in opening. You may have the 1st dust removal part which contact
  • the conveyor unit further includes a regulating unit that abuts against the second surface of the predetermined part and regulates the movement of the object to be conveyed in a direction substantially perpendicular to the conveyance direction
  • the dust removing unit may further include a second dust removing part that contacts the second surface in the opening.
  • the second dust removing portion may be supported by an elastic member arranged so as to face the second surface. According to this configuration, even if the transported object shakes or shakes in a direction substantially perpendicular to the transport direction, such movement of the transported object is absorbed by the elastic member. Dust can be more accurately removed from the second surface.
  • a to-be-conveyed object has a 3rd surface adjacent to a 2nd surface, and a dust removal part is the 3rd dust removal part which contact
  • a conveyor part does not contact directly, it can remove dust exactly from the 3rd surface of the to-be-conveyed object to which dust adheres easily due to adjoining with the 2nd surface.
  • a to-be-conveyed object has a accommodating part which accommodates articles
  • the surface may be a lower surface of the supported portion, the second surface may be a side surface of the supported portion, and the third surface may be an upper surface of the supported portion. According to this configuration, the dust can be collectively removed from the upper surface, the side surface, and the lower surface of the supported portion where the dust easily adheres to the conveyed object.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of a conveyor section taken along line III-III in FIG. 2.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the cleaning unit along line VV in FIG. 4.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of the cleaning unit along line VI-VI in FIG. 5.
  • It is sectional drawing of the conveyor part of the conveyor apparatus of other embodiment of this invention. It is sectional drawing of the cleaning part of the conveyor apparatus of FIG. It is a perspective view of the cleaning part of another conveyor apparatus.
  • the transport system 100 includes a conveyor device 1 that transports the transported object 10 along the transport path R, and a storage device (so-called stocker) 2 that stores the transported object 10. Yes.
  • the conveyor apparatus 1 is installed in a clean room for manufacturing semiconductor devices.
  • the transported object 10 is a cassette (so-called FOUP (Front Opening Unified Pod)) containing a plurality of semiconductor wafers.
  • a direction changing device 3 that changes the transport direction of the object to be transported 10 is installed. Further, at a predetermined position on the transport path R, the unloading port 4 for unloading the transported object 10 from the transport path R into the storage apparatus 2 and the transported object from the storage apparatus 2 onto the transport path R. A carry-in port 5 for carrying 10 is installed. Further, at a predetermined position on the transport path R, an unloading port 6 for unloading the transport object 10 from the transport path R to the outside of the transport system 100, and a transport object on the transport path R from the outside of the transport system 100. A carry-in port 7 for carrying 10 is installed. In addition, when the to-be-conveyed object 10 is conveyed between the conveyance system 100 and another conveyance system via the ports 6 and 7, an overhead traveling type automatic guided vehicle, an automatic guided vehicle, a tracked automatic guided vehicle Etc. are used.
  • the conveyor apparatus 1 includes a conveyor unit 20 that conveys the object to be conveyed 10 along the conveyance path R, and a cleaning unit 30 that cleans a predetermined portion of the object to be conveyed 10 on the conveyance path R.
  • the object to be conveyed 10 includes an accommodating part 11 that accommodates a plurality of semiconductor wafers (articles), and a direction (here, substantially perpendicular to the conveying direction A from the bottom of the accommodating part 11. And a pair of supported portions (predetermined portions) 12 projecting in the left and right sides with respect to the transport direction A.
  • the accommodating part 11 is formed in a substantially rectangular parallelepiped box shape.
  • a lid 13 for taking in and out the semiconductor wafer is detachably provided on the front surface of the accommodating portion 11.
  • the front end portion of the accommodating portion 11 provided with the lid 13 is widened in a direction substantially perpendicular to the transport direction A, and the bottom thereof is substantially the same width as the side surface 11a of the opposing accommodating portion 11 in the direction. It is narrowed down to.
  • a flange portion 14 that is chucked by the overhead traveling automatic guided vehicle is provided on the upper surface of the housing portion 11.
  • Each of the pair of supported portions 12 is formed in a substantially rectangular plate shape having the transport direction A as a longitudinal direction, and includes a lower surface (first surface) 12a, a side surface (second surface) 12b, and an upper surface (third). Surface) 12c.
  • the conveyor unit 20 includes a pair of conveyor units 21 arranged on one side and the other side (here, left and right sides) in the transport direction A in the transport path R. It is comprised by connecting along.
  • the pair of conveyor units 21 has a pair of support plates 22 erected substantially in parallel along the transport direction A. Inside each support plate 22, a drive pulley 23, a driven pulley 24 and a plurality of support rollers 25 are rotatably mounted.
  • An endless annular belt (support portion) 26 is attached to the pulleys 23, 24 and the rollers 25. It is hung.
  • a flange portion (regulating portion) 27 is integrally formed on the outer edge portion of the belt 26 so as to be erected with respect to the conveying surface 26 a of the belt 26.
  • the driving pulley 23 is driven, so that the driven pulley 24 and the plurality of support rollers 25 are driven and the belt 26 circulates.
  • the lower surface 12 a of one supported portion 12 of the object to be conveyed 10 is in contact with one belt 26, and the other supported of the object to be conveyed 10 is in contact with the other belt 26.
  • the lower surface 12a of the part 12 contacts.
  • the belt 26 contacts the lower surface 12a of the supported portion 12 and supports the conveyed object 10.
  • the flange portion 27 of one belt 26 is in contact with the side surface 12b of one supported portion 12 of the object to be conveyed 10
  • the flange portion 27 of the other belt 26 is in contact with the other object to be conveyed 10 of the other object.
  • the side surface 12b of the support part 12 contacts.
  • the flange portion 27 abuts on the side surface 12b of the supported portion 12 and restricts the movement of the conveyed object 10 in a direction substantially perpendicular to the conveying direction A.
  • the cleaning unit 30 includes a pair of cleaning units 31 arranged on one side and the other side (here, both left and right sides) with respect to the transport direction A. It is configured by being installed at a position. As shown in FIG. 1, the position where the cleaning unit 30 is installed is a position immediately before the carry-out ports 4 and 6. More specifically, as shown in FIG. 2, the cleaning unit 30 is disposed between the free rollers 29 and 29 of the length adjustment unit 28 installed immediately before the conveyor unit 21 serving as the unloading port 4 (or unloading port 6). The cleaning unit 31 is installed.
  • the length adjustment unit 28 is disposed between the pair of conveyor units 21 that serve as the carry-out ports 4 and the pair of conveyor units 21 that are adjacent to each other (that is, upstream in the transport direction A).
  • each cleaning unit 31 includes a cover body 32 that is formed so as to cover a part of the supported portion 12 of the conveyed object 10 from above, below, and from the side.
  • the cover body 32 is supported via an opening 33a formed so as to face the lower surface 12a of the supported portion 12 through a predetermined gap G1 (for example, 1 mm to 2 mm) and a predetermined gap G2 (for example, 4 mm to 8 mm).
  • An opening 33b formed so as to face the side surface 12b of the portion 12, and an opening 33c formed so as to face the upper surface 12c of the supported portion 12 via a predetermined gap G3 (for example, 1 mm to 2 mm).
  • the openings 33a, 33b, and 33c are formed continuously.
  • a dust removing member (first dust removing portion) 34a is attached to the cover body 32 so as to contact the lower surface 12a of the supported portion 12 at the opening 33a. Further, a dust removing member (second dust removing portion) 34b is attached to the cover body 32 so as to contact the side surface 12b of the supported portion 12 at the opening 33b. Furthermore, a dust removing member (third dust removing portion) 34c is attached to the cover body 32 so as to contact the upper surface 12c of the supported portion 12 at the opening 33c.
  • These dust removing members 34a, 34b, and 34c constitute a dust removing portion 34 that removes dust from the supported portion 12 of the conveyed object 10.
  • a continuous space S is formed so as to surround the upstream and downstream sides of the dust removing unit 34 in the transport direction A and the outside of the dust removing unit 34.
  • Each dust removing member 34a, 34b, 34c is made of a brush-like member (eg, pile, moquette, etc.) in which fine hairs are planted at a high density on a sheet so that fine dust can be swept away. Yes.
  • the hair of each dust removing member 34a, 34b, 34c is made of nylon, polyethylene, PET (polyethylene terephthalate), or the like.
  • the dust removing members 34a, 34b, 34c Nylon, polyethylene, PET, or the like, which is a hair material, may be subjected to conductive treatment, or carbon or stainless steel may be added.
  • the dust removing member 34 a is fixed to the lower holding member 35 so that the hair contacts the lower surface 12 a of the supported portion 12. Further, the dust removing member 34 c is fixed to the upper holding member 36 so that the hair thereof contacts the upper surface 12 c of the supported portion 12.
  • Each holding member 35, 36 is disposed in the cover body 32 and is fixed to the inner surface of the cover body 32. Further, the dust removing member 34 b is fixed to the elastic member 37 so that the hair contacts the side surface 12 b of the supported portion 12.
  • the elastic member 37 is made of an elastic body such as sponge, and is held between the holding members 35 and 36 in a state of facing the side surface 12 b of the supported portion 12.
  • the dust removing member 34 b is supported by the elastic member 37 disposed so as to face the side surface 12 b of the supported portion 12.
  • at least an upstream end in the transport direction A (here, an upstream end and a downstream end in the transport direction A) has a convex curved shape when viewed from above. It is chamfered.
  • the front end portion 38 a of the duct 38 is connected to the cover body 32, and the front end portion 38 a is open to the space S in the cover body 32.
  • the base end portion of the duct 38 is connected to a dust suction portion 39 as shown in FIG. Thereby, the dust suction part 39 communicates with the inside of the cover body 32.
  • the dust suction unit 39 sucks the dust removed by the dust removal unit 34 together with the surrounding atmosphere by forming a predetermined negative pressure, and collects the sucked dust by a filter provided in the dust suction unit 39.
  • the auxiliary brush 40 is provided so as to sweep the area where the dust removing member 34c does not reach on the upper surface 12c.
  • the dust on the upper surface 12 c swept by the auxiliary brush 40 is covered by the cover body 32 immediately after being swept and sucked by the dust suction portion 39.
  • the dust removing member 34a comes into contact with the lower surface 12a of the supported portion 12 when the conveyed object 10 conveyed by the conveyor portion 20 passes through the cleaning portion 30.
  • the dust removing member 34 b comes into contact with the side surface 12 b of the supported portion 12, and the dust removing member 34 c comes into contact with the upper surface 12 c of the supported portion 12. Thereby, dust is removed from the lower surface 12a, the side surface 12b, and the upper surface 12c of the supported portion 12.
  • the dust removing members 34 a, 34 b and 34 c are attached to the cover body 32, and come into contact with the supported portion 12 of the conveyed object 10 at the openings 33 a, 33 b and 33 c of the cover body 32.
  • the dust removed by the dust removing members 34 a, 34 b, 34 c is suppressed from diffusing outside the cover body 32, and is sucked into the dust suction part 39 through the space S in the cover body 32. Therefore, according to the conveyor apparatus 1, when removing dust from the to-be-conveyed object 10, the spreading
  • the cleaning portion 30 having the dust removing member 34a indicates that the conveyed object 10 This is effective in accurately removing dust from the water.
  • the cleaning portion 30 may include the dust removing member 34b. This is effective in accurately removing dust from the water.
  • the components of the conveyor unit 20 are not in direct contact, dust adheres to the upper surface 12c of the supported portion 12 adjacent to the side surface 12b of the supported portion 12 due to an increase in the conveying speed of the object to be conveyed 10 or the like. Therefore, the cleaning unit 30 having the dust removing member 34c is also effective in accurately removing dust from the transported object 10.
  • the dust removing members 34 a, 34 b, 34 c are attached to one cover body 32, so that dust adheres to the transported object 10 while reducing the size of the cleaning unit 30. Dust can be removed from the lower surface 12a, the side surface 12b, and the upper surface 12c of the supported portion 12 easily.
  • the cleaning unit 30 is installed at a position immediately before the carry-out ports 4 and 6 in the transport system 100. Therefore, the object 10 to which the dust is attached is prevented from being carried out from the conveying path R into the storage device 2 and from the conveying path R to the outside of the conveying system 100. That is, it is possible to prevent dust adhering to the object to be transported 10 in the conveyor device 1 from being brought into the storage device 2 or another transport system.
  • the dust removing member 34b is supported by an elastic member 37 disposed so as to face the side surface 12b of the supported portion 12. As a result, even if the transported object 10 shakes or shakes in a direction substantially perpendicular to the transport direction A, such movement of the transported object 10 is absorbed by the elastic member 37 and the supported portion 12 Dust is accurately removed from the side surface 12b. Further, in the dust removing member 34b, at least the upstream end in the transport direction A is chamfered into a convex curved surface. Thereby, even if the conveyed object 10 shakes or shakes in a direction substantially perpendicular to the conveying direction A, the conveyed object 10 is prevented from being caught by the dust removing member 34b.
  • an auxiliary brush 40 is provided in front of the cover body 32.
  • region which the dust removal member 34c does not reach on the upper surface 12c of the supported part 12 is swept away.
  • the dust that has been swept by the auxiliary brush 40 is covered by the cover body 32 immediately after being swept away, and is prevented from diffusing into the surrounding atmosphere, and is transferred to the dust suction portion 39 via the space S in the cover body 32. Sucked.
  • the side surface 11 a of the accommodating portion 11 is formed in a substantially flat shape, and the side surface 12 b of the supported portion 12 is positioned inside the side surface 11 a of the accommodating portion 11. You may do it.
  • the cleaning unit 31 is configured as follows. That is, as shown in FIG. 8, the cleaning unit 31 is provided with a dust removing member (third dust removing portion) 34d instead of the dust removing member 34c.
  • the dust removing unit 34 is configured by the dust removing members 34a, 34b, and 34d.
  • the dust removing member 34d is attached to the cover body 32 such that the hair contacts the lower surface 11c of the accommodating portion 11 at the opening of the cover body 32.
  • the structural member of the conveyor part 20 does not contact directly, it can remove dust from the lower surface 11c of the accommodating part 11 to which dust adheres easily due to adjoining with the side surface 12b of the supported part 12.
  • the conveyor unit 20 is not limited to the belt type conveyor as described above, and may be a roller type conveyor. Further, a roller may be used in place of the flange portion 27 formed integrally with the belt 26 as a restricting portion that restricts the movement of the conveyed object 10 in a direction substantially perpendicular to the conveying direction A.
  • the dust removing members 34a, 34b, 34c are brush-like members (for example, piles) in which thin hairs are planted at high density on the sheet. , Moquette, etc.) may be formed integrally.
  • the length of the hair of the dust removing member 34b may be longer than the length of the hair of the dust removing members 34a and 34c.
  • the conveyor device 1 is not limited to a device installed in a clean room for manufacturing semiconductor devices, and the object to be transferred 10 is not limited to a cassette containing a plurality of semiconductor wafers.
  • the present invention can be applied to a cassette containing a photomask (reticle), a glass substrate, or the like. And not only the material and shape mentioned above but various materials and shapes can be applied to the material and shape of the component of the conveyor apparatus 1 and the to-be-conveyed object 10.
  • a spray nozzle 41 and a suction nozzle 42 may be provided instead of the cleaning unit 31 or the auxiliary brush 40 described above or together with the cleaning unit 31.
  • the spray nozzle 41 and the suction nozzle 42 are configured as follows. That is, the spray nozzle 41 is disposed obliquely so that the injection hole 41a faces the part of the supported portion 12 from the upstream side and the outside in the transport direction A.
  • the suction nozzle 42 is disposed obliquely so that the suction port 42a faces the part of the supported portion 12 from the downstream side and the outside in the transport direction A.
  • gas such as air injected from the injection hole 41a of the spray nozzle 41
  • gas is sprayed on the supported part 12 in a state facing the transport direction A.
  • the dust removed from the supported portion 12 is sucked into the suction port 42a of the suction nozzle 42 together with the gas while preventing diffusion to the surrounding atmosphere.

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Abstract

　コンベア装置は、被搬送物（１０）を搬送経路に沿って搬送するコンベア部と、搬送経路上において被搬送物（１０）の被支持部（１２）を清掃する清掃部（３０）と、を備える。清掃部（３０）は、カバー体（３２）と、塵埃除去部（３４）と、塵埃吸引部と、を有する。カバー体（３２）は、所定の間隙（Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３）を介して被支持部（１２）に臨むように形成された開口（３３ａ，３３ｂ，３３ｃ）を有する。塵埃除去部（３４）は、開口（３３ａ，３３ｂ，３３ｃ）において被支持部（１２）に当接するようにカバー体（３２）に取り付けられ、被支持部（１２）から塵埃を除去する。塵埃吸引部は、カバー体（３２）内に連通し、塵埃除去部（３４）によって除去された塵埃を吸引する。

Description

コンベア装置
　本発明は、例えばクリーンルームにおいて、複数枚の半導体ウェハを収容したカセット等の被搬送物を搬送するためのコンベア装置に関する。
　従来のコンベア装置として、例えば特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１記載のコンベア装置は、底面に微粘着材が設けられた被搬送物を搬送する複数の搬送ローラと、搬送ローラの間において、微粘着材に捕獲された塵埃を掻き落とすブラシローラと、ブラシローラの下方に配置された開口を介して、ブラシローラによって掻き落とされた塵埃を取り込む集塵用吸気装置と、を備えている。
特開２００６－２８２２８５号公報
　ところで、上述したようなコンベア装置を例えばクリーンルームで使用する場合には、半導体ウェハを収容したカセット等の被搬送物から塵埃を除去するだけでなく、除去された塵埃が周囲雰囲気に拡散するのを防止することが極めて重要である。
　そこで、本発明は、被搬送物から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができるコンベア装置を提供することを目的とする。
　本発明のコンベア装置は、被搬送物を搬送経路に沿って搬送するコンベア部と、搬送経路上において被搬送物の所定の部分を清掃する清掃部と、を備えるコンベア装置であって、清掃部は、所定の間隙を介して所定の部分に臨むように形成された開口を有するカバー体と、開口において所定の部分に当接するようにカバー体に取り付けられ、所定の部分から塵埃を除去する塵埃除去部と、カバー体内に連通し、塵埃除去部によって除去された塵埃を吸引する塵埃吸引部と、を有することを特徴とする。
　このコンベア装置では、被搬送物の所定の部分から塵埃を除去する塵埃除去部が、カバー体に取り付けられており、カバー体の開口において被搬送物の所定の部分に当接する。これにより、塵埃除去部によって除去された塵埃は、カバー体外に拡散することが抑制され、カバー体内に連通した塵埃吸引部によって吸引される。従って、このコンベア装置によれば、被搬送物から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができる。
　また、本発明のコンベア装置においては、コンベア部は、所定の部分の第１の面に当接して被搬送物を支持する支持部を有し、塵埃除去部は、開口において第１の面に当接する第１の塵埃除去部分を有していてもよい。この構成によれば、コンベア部の支持部の当接に起因して塵埃が付着しやすい被搬送物の第１の面から塵埃を的確に除去することができる。
　また、本発明のコンベア装置においては、コンベア部は、所定の部分の第２の面に当接して搬送方向に略垂直な方向への被搬送物の移動を規制する規制部を更に有し、塵埃除去部は、開口において第２の面に当接する第２の塵埃除去部分を更に有していてもよい。この構成によれば、コンベア部の規制部の当接に起因して塵埃が付着しやすい被搬送物の第２の面から塵埃を的確に除去することができる。
　また、本発明のコンベア装置においては、第２の塵埃除去部分は、第２の面に対向するように配置された弾性部材によって支持されていてもよい。この構成によれば、搬送方向に略垂直な方向に被搬送物が揺れたりがたついたりしても、そのような被搬送物の動きが弾性部材に吸収されるので、被搬送物の第２の面から塵埃をより的確に除去することができる。
　また、本発明のコンベア装置においては、被搬送物は、第２の面に隣接する第３の面を有し、塵埃除去部は、開口において第３の面に当接する第３の塵埃除去部分を更に有していてもよい。この構成によれば、コンベア部が直接接触しないものの第２の面との隣接に起因して塵埃が付着しやすい被搬送物の第３の面から塵埃を的確に除去することができる。
　また、本発明のコンベア装置においては、被搬送物は、物品を収容する収容部と、収容部から搬送方向に略垂直な方向に突出する一対の被支持部と、を有し、第１の面は、被支持部の下面であり、第２の面は、被支持部の側面であり、第３の面は、被支持部の上面であってもよい。この構成によれば、被搬送物において塵埃が付着しやすい被支持部の上面、側面及び下面から一括で塵埃を除去することができる。
　本発明によれば、被搬送物から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができる。
本発明の一実施形態のコンベア装置が適用された搬送システムの平面図である。 図１のコンベア装置の斜視図である。 図２のIII－III線に沿ってのコンベア部の断面図である。 図１のコンベア装置の清掃部の斜視図である。 図４のV－V線に沿っての清掃部の断面図である。 図５のVI－VI線に沿っての清掃部の断面図である。 本発明の他の実施形態のコンベア装置のコンベア部の断面図である。 図７のコンベア装置の清掃部の断面図である。 他のコンベア装置の清掃部の斜視図である。
　以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
　図１に示されるように、搬送システム１００は、被搬送物１０を搬送経路Ｒに沿って搬送するコンベア装置１と、被搬送物１０を保管する保管装置（いわゆるストッカ）２と、を備えている。コンベア装置１は、半導体デバイスを製造するためのクリーンルームに設置されたものである。また、被搬送物１０は、複数枚の半導体ウェハを収容したカセット（いわゆるＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod））である。
　搬送経路Ｒが分岐する位置及び合流する位置、並びに搬送経路Ｒの方向が変わる位置には、被搬送物１０の搬送方向を転換する方向転換装置３が設置されている。また、搬送経路Ｒ上の所定の位置には、搬送経路Ｒ上から保管装置２内に被搬送物１０を搬出するための搬出ポート４、及び保管装置２内から搬送経路Ｒ上に被搬送物１０を搬入するための搬入ポート５が設置されている。更に、搬送経路Ｒ上の所定の位置には、搬送経路Ｒ上から搬送システム１００外に被搬送物１０を搬出するための搬出ポート６、及び搬送システム１００外から搬送経路Ｒ上に被搬送物１０を搬入するための搬入ポート７が設置されている。なお、ポート６，７を介して搬送システム１００と他の搬送システムとの間で被搬送物１０が搬送される場合には、天井走行式無人搬送車、無人搬送車、有軌道式無人搬送車等が用いられる。
　コンベア装置１は、被搬送物１０を搬送経路Ｒに沿って搬送するコンベア部２０と、搬送経路Ｒ上において被搬送物１０の所定の部分を清掃する清掃部３０と、を備えている。被搬送物１０は、図２及び図３に示されるように、複数枚の半導体ウェハ（物品）を収容する収容部１１と、収容部１１の底部から搬送方向Ａに略垂直な方向（ここでは、搬送方向Ａに対して左右両側）に突出する一対の被支持部（所定の部分）１２と、を有している。収容部１１は、略直方体箱状に形成されている。収容部１１の前面には、半導体ウェハを出し入れするための蓋１３が着脱自在に設けられている。蓋１３が設けられた収容部１１の前端部は、搬送方向Ａに略垂直な方向に拡幅されており、その底部は、当該方向において対向する収容部１１の側面１１ａと略同じ幅となるように絞られている。収容部１１の上面には、天井走行式無人搬送車によってチャックされるフランジ部１４が設けられている。一対の被支持部１２のそれぞれは、搬送方向Ａを長手方向とする略長方形板状に形成されており、下面（第１の面）１２ａ、側面（第２の面）１２ｂ及び上面（第３の面）１２ｃを有している。
　図２及び図３に示されるように、コンベア部２０は、搬送方向Ａに対して一方の側及び他方の側（ここでは、左右両側）に配置された一対のコンベアユニット２１が搬送経路Ｒに沿って連結されることで構成されている。一対のコンベアユニット２１は、搬送方向Ａに沿って略平行に立設された一対の支持板２２を有している。各支持板２２の内側には、駆動プーリ２３、従動プーリ２４及び複数のサポートローラ２５が回転自在に取り付けられおり、プーリ２３，２４及びローラ２５には、無端環状のベルト（支持部）２６が掛けられている。ベルト２６の外側の縁部には、ベルト２６の搬送面２６ａに対して立設されるようにフランジ部（規制部）２７が一体的に形成されている。各コンベアユニット２１においては、駆動プーリ２３が駆動させられることで、従動プーリ２４及び複数のサポートローラ２５が従動すると共にベルト２６が循環する。
　一対のコンベアユニット２１において、一方のベルト２６上には、被搬送物１０の一方の被支持部１２の下面１２ａが接触し、他方のベルト２６上には、被搬送物１０の他方の被支持部１２の下面１２ａが接触する。このように、ベルト２６は、被支持部１２の下面１２ａに当接して被搬送物１０を支持する。また、一方のベルト２６のフランジ部２７には、被搬送物１０の一方の被支持部１２の側面１２ｂが接触し、他方のベルト２６のフランジ部２７には、被搬送物１０の他方の被支持部１２の側面１２ｂが接触する。このように、フランジ部２７は、被支持部１２の側面１２ｂに当接して搬送方向Ａに略垂直な方向への被搬送物１０の移動を規制する。
　図２に示されるように、清掃部３０は、搬送方向Ａに対して一方の側及び他方の側（ここでは、左右両側）に配置された一対の清掃ユニット３１が搬送経路Ｒ上の所定の位置に設置されることで構成されている。清掃部３０が設置される位置は、図１に示されるように、各搬出ポート４，６の直前の位置である。より詳細には、図２に示されるように、搬出ポート４（又は搬出ポート６）となるコンベアユニット２１の直前に設置された長さ調整ユニット２８のフリーローラ２９，２９間に、清掃部３０の清掃ユニット３１が設置されている。長さ調整ユニット２８は、搬出ポート４となる一対のコンベアユニット２１と、その手前（すなわち、搬送方向Ａにおける上流側）において隣接する一対のコンベアユニット２１との間に配置されている。
　図４、図５及び図６に示されるように、各清掃ユニット３１は、上方、下方及び側方から被搬送物１０の被支持部１２の一部を覆うように形成されたカバー体３２を有している。カバー体３２は、所定の間隙Ｇ１（例えば１ｍｍ～２ｍｍ）を介して被支持部１２の下面１２ａに臨むように形成された開口３３ａ、所定の間隙Ｇ２（例えば４ｍｍ～８ｍｍ）を介して被支持部１２の側面１２ｂに臨むように形成された開口３３ｂ、及び所定の間隙Ｇ３（例えば１ｍｍ～２ｍｍ）を介して被支持部１２の上面１２ｃに臨むように形成された開口３３ｃを有している。ここでは、開口３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、一続きに形成されている。
　カバー体３２には、開口３３ａにおいて被支持部１２の下面１２ａに当接するように塵埃除去部材（第１の塵埃除去部分）３４ａが取り付けられている。また、カバー体３２には、開口３３ｂにおいて被支持部１２の側面１２ｂに当接するように塵埃除去部材（第２の塵埃除去部分）３４ｂが取り付けられている。更に、カバー体３２には、開口３３ｃにおいて被支持部１２の上面１２ｃに当接するように塵埃除去部材（第３の塵埃除去部分）３４ｃが取り付けられている。これらの塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃによって、被搬送物１０の被支持部１２から塵埃を除去する塵埃除去部３４が構成されている。なお、カバー体３２内には、搬送方向Ａにおける塵埃除去部３４の上流側及び下流側、並びに塵埃除去部３４の外側を囲むように一続きの空間Ｓが形成されている。
　各塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃには、細かい塵埃を掃くことができるように、細い毛がシート上に高密度で植えられたブラシ状の部材（例えば、パイル、モケット等）が用いられている。各塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃの毛は、ナイロン、ポリエチレン、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）等からなる。なお、被搬送物１０の被支持部１２の材質と塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃの毛の材質との相性で、静電気の発生が著しくなる場合には、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃの毛の材料であるナイロン、ポリエチレン、ＰＥＴ等に導電性処理を施したり、カーボンやステンレス鋼を付加したりしてもよい。
　塵埃除去部材３４ａは、その毛が被支持部１２の下面１２ａに接触するように下側保持部材３５に固定されている。また、塵埃除去部材３４ｃは、その毛が被支持部１２の上面１２ｃに接触するように上側保持部材３６に固定されている。各保持部材３５，３６は、カバー体３２内に配置されており、カバー体３２の内面に固定されている。更に、塵埃除去部材３４ｂは、その毛が被支持部１２の側面１２ｂに接触するように弾性部材３７に固定されている。弾性部材３７は、スポンジ等の弾性体からなり、被支持部１２の側面１２ｂに対向した状態で保持部材３５，３６によって挟持されている。このように、塵埃除去部材３４ｂは、被支持部１２の側面１２ｂに対向するように配置された弾性部材３７によって支持されている。なお、塵埃除去部材３４ｂにおいては、少なくとも搬送方向Ａにおける上流側の端部（ここでは、搬送方向Ａにおける上流側の端部及び下流側の端部）が上方から見た場合に凸曲面状に面取りされている。
　カバー体３２には、ダクト３８の先端部３８ａが接続されており、先端部３８ａは、カバー体３２内の空間Ｓに開口している。ダクト３８の基端部は、図２に示されるように、塵埃吸引部３９に接続されている。これにより、塵埃吸引部３９は、カバー体３２内に連通している。塵埃吸引部３９は、所定の負圧を形成することで、塵埃除去部３４によって除去された塵埃を周囲雰囲気と共に吸引し、塵埃吸引部３９内に設けられたフィルタによって、吸引した塵埃を回収する。
　図４に示されるように、各清掃ユニット３１において、カバー体３２の手前（すなわち、搬送方向Ａにおける上流側）には、収容部１１の側面１１ａと被支持部１２の上面１２ｃとの隅部（つまり、上面１２ｃにおいて塵埃除去部材３４ｃが届かない領域）を掃くように補助ブラシ４０が設けられている。補助ブラシ４０で掃かれた上面１２ｃ上の塵埃は、掃かれた直後にカバー体３２に覆われて、塵埃吸引部３９によって吸引される。
　以上のように構成されたコンベア装置１においては、コンベア部２０によって搬送される被搬送物１０が清掃部３０を通過する際に、被支持部１２の下面１２ａに塵埃除去部材３４ａが当接し、被支持部１２の側面１２ｂに塵埃除去部材３４ｂが当接し、被支持部１２の上面１２ｃに塵埃除去部材３４ｃが当接する。これにより、被支持部１２の下面１２ａ、側面１２ｂ及び上面１２ｃから塵埃が除去される。このとき、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃは、カバー体３２に取り付けられており、カバー体３２の開口３３ａ，３３ｂ，３３ｃにおいて被搬送物１０の被支持部１２に当接する。これにより、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃによって除去された塵埃は、カバー体３２外に拡散することが抑制され、カバー体３２内の空間Ｓを介して塵埃吸引部３９に吸引される。従って、コンベア装置１によれば、被搬送物１０から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができる。
　ここで、被支持部１２の下面１２ａには、コンベア部２０のベルト２６の当接に起因して塵埃が付着しやすいので、清掃部３０が塵埃除去部材３４ａを有することは、被搬送物１０から塵埃を的確に除去する上で有効である。また、被支持部１２の側面１２ｂには、コンベア部２０のフランジ部２７の当接に起因して塵埃が付着しやすいので、清掃部３０が塵埃除去部材３４ｂを有することも、被搬送物１０から塵埃を的確に除去する上で有効である。更に、コンベア部２０の構成部材が直接接触しないものの、被支持部１２の側面１２ｂに隣接する被支持部１２の上面１２ｃには、被搬送物１０の搬送速度の高速化等に伴い塵埃が付着しやすいので、清掃部３０が塵埃除去部材３４ｃを有することも、被搬送物１０から塵埃を的確に除去する上で有効である。
　このように、清掃部３０においては、１つのカバー体３２に塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃが取り付けられているので、清掃部３０の小型化を図りつつ、被搬送物１０において塵埃が付着しやすい被支持部１２の下面１２ａ、側面１２ｂ及び上面１２ｃから一括で塵埃を除去することができる。
　また、清掃部３０は、搬送システム１００において、各搬出ポート４，６の直前の位置に設置されている。そのため、塵埃が付着した被搬送物１０が搬送経路Ｒ上から保管装置２内に搬出されたり、搬送経路Ｒ上から搬送システム１００外に搬出されたりすることが防止される。つまり、コンベア装置１内で被搬送物１０に付着した塵埃が、保管装置２内や他の搬送システム内に持ち込まれることが防止される。
　また、塵埃除去部材３４ｂは、被支持部１２の側面１２ｂに対向するように配置された弾性部材３７によって支持されている。これにより、搬送方向Ａに略垂直な方向に被搬送物１０が揺れたりがたついたりしても、そのような被搬送物１０の動きが弾性部材３７に吸収されて、被支持部１２の側面１２ｂから塵埃が的確に除去される。更に、塵埃除去部材３４ｂでは、少なくとも搬送方向Ａにおける上流側の端部が凸曲面状に面取りされている。これにより、搬送方向Ａに略垂直な方向に被搬送物１０が揺れたりがたついたりしても、被搬送物１０が塵埃除去部材３４ｂに引っ掛かるようなことが防止される。
　更に、カバー体３２の手前には、補助ブラシ４０が設けられている。これにより、被支持部１２の上面１２ｃにおいて塵埃除去部材３４ｃが届かない領域の塵埃が掃かれる。そして、補助ブラシ４０によって掃かれた塵埃は、掃かれた直後にカバー体３２に覆われて、周囲雰囲気への拡散が防止されつつ、カバー体３２内の空間Ｓを介して塵埃吸引部３９に吸引される。
　以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、図７に示されるように、被搬送物１０においては、収容部１１の側面１１ａが略平坦状に形成され、被支持部１２の側面１２ｂが収容部１１の側面１１ａよりも内側に位置していてもよい。この場合、収容部１１の下面（第３の面）１１ｃが被支持部１２の側面１２ｂに隣接することになるので、清掃ユニット３１は、次のように構成される。すなわち、図８に示されるように、清掃ユニット３１には、塵埃除去部材３４ｃに代えて塵埃除去部材（第３の塵埃除去部分）３４ｄが設けられる。つまり、ここでは、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｄによって塵埃除去部３４が構成される。塵埃除去部材３４ｄは、その毛がカバー体３２の開口において収容部１１の下面１１ｃに接触するようにカバー体３２に取り付けられる。これにより、コンベア部２０の構成部材が直接接触しないものの被支持部１２の側面１２ｂとの隣接に起因して塵埃が付着しやすい収容部１１の下面１１ｃから塵埃を的確に除去することができる。
　また、コンベア部２０は、上述したようなベルト式コンベアに限定されず、ローラ式コンベアであってもよい。更に、搬送方向Ａに略垂直な方向への被搬送物１０の移動を規制する規制部として、ベルト２６に一体的に形成されたフランジ部２７に代えて、ローラを用いてもよい。
　また、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃによって構成される塵埃除去部３４において、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃは、細い毛がシート上に高密度で植えられたブラシ状の部材（例えば、パイル、モケット等）が折り曲げられて構成されるなど、一体的に形成されていてもよい。また、塵埃除去部材３４ｂの毛の長さは、塵埃除去部材３４ａ，３４ｃの毛の長さよりも長くなっていてもよい。搬送方向Ａに略垂直な方向に被搬送物１０が揺れたりがたついたりしても、そのような被搬送物１０の動きが塵埃除去部材３４ｂの毛に吸収されて、被支持部１２の側面１２ｂから塵埃が的確に除去されるからである。これらのことは、塵埃除去部材３４ａ，３４ｂ，３４ｄによって構成される塵埃除去部３４においても同様である。
　更に、コンベア装置１は、半導体デバイスを製造するためのクリーンルームに設置されたものに限定されず、被搬送物１０は、複数枚の半導体ウェハを収容したカセットに限定されない。例えば、フォトマスク（レチクル）やガラス基板等を収容したカセットにも、適用が可能である。そして、コンベア装置１及び被搬送物１０の構成部材の材料及び形状には、前述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を適用することができる。
　最後に、図９に示されるように、上述した清掃ユニット３１若しくは補助ブラシ４０に代えて、又は清掃ユニット３１と共に、吹付けノズル４１及び吸引ノズル４２が設けられていてもよい。この場合、吹付けノズル４１及び吸引ノズル４２は、次のように構成される。すなわち、吹付けノズル４１は、噴射孔４１ａが搬送方向Ａにおける上流側かつ外側から被支持部１２の一部に向くように斜めに配置される。一方、吸引ノズル４２は、吸引口４２ａが搬送方向Ａにおける下流側かつ外側から被支持部１２の一部に向くように斜めに配置される。これにより、吹付けノズル４１の噴射孔４１ａから噴射された空気等の気体は、搬送方向Ａに対向した状態で被支持部１２に吹き付けられる。そして、被支持部１２から除去された塵埃は、周囲雰囲気への拡散が防止されつつ、気体と共に吸引ノズル４２の吸引口４２ａに吸引される。
　本発明によれば、被搬送物から塵埃を除去するに際し、周囲雰囲気への塵埃の拡散を防止することができる。
　１…コンベア装置、１０…被搬送物、１１…収容部、１１ｃ…下面（第３の面）、１２…被支持部（所定の部分）、１２ａ…下面（第１の面）、１２ｂ…側面（第２の面）、１２ｃ…上面（第３の面）、２０…コンベア部、２６…ベルト（支持部）、２７…フランジ部（規制部）、３０…清掃部、３２…カバー体、３３ａ，３３ｂ，３３ｃ…開口、３４…塵埃除去部、３４ａ…塵埃除去部材（第１の塵埃除去部分）、３４ｂ…塵埃除去部材（第２の塵埃除去部分）、３４ｃ，３４ｄ…塵埃除去部材（第３の塵埃除去部分）、３７…弾性部材、３８…塵埃吸引部、Ａ…搬送方向、Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３…所定の間隙、Ｒ…搬送経路。

Claims (6)

  1. 　被搬送物を搬送経路に沿って搬送するコンベア部と、前記搬送経路上において前記被搬送物の所定の部分を清掃する清掃部と、を備えるコンベア装置であって、
    　前記清掃部は、
    　所定の間隙を介して前記所定の部分に臨むように形成された開口を有するカバー体と、
    　前記開口において前記所定の部分に当接するように前記カバー体に取り付けられ、前記所定の部分から塵埃を除去する塵埃除去部と、
    　前記カバー体内に連通し、前記塵埃除去部によって除去された塵埃を吸引する塵埃吸引部と、を有することを特徴とするコンベア装置。
  2. 　前記コンベア部は、前記所定の部分の第１の面に当接して前記被搬送物を支持する支持部を有し、
    　前記塵埃除去部は、前記開口において前記第１の面に当接する第１の塵埃除去部分を有することを特徴とする請求項１記載のコンベア装置。
  3. 　前記コンベア部は、前記所定の部分の第２の面に当接して搬送方向に略垂直な方向への前記被搬送物の移動を規制する規制部を更に有し、
    　前記塵埃除去部は、前記開口において前記第２の面に当接する第２の塵埃除去部分を更に有することを特徴とする請求項２記載のコンベア装置。
  4. 　前記第２の塵埃除去部分は、前記第２の面に対向するように配置された弾性部材によって支持されていることを特徴とする請求項３記載のコンベア装置。
  5. 　前記被搬送物は、前記第２の面に隣接する第３の面を有し、
    　前記塵埃除去部は、前記開口において前記第３の面に当接する第３の塵埃除去部分を更に有することを特徴とする請求項３又は４記載のコンベア装置。
  6. 　前記被搬送物は、物品を収容する収容部と、前記収容部から搬送方向に略垂直な方向に突出する一対の被支持部と、を有し、
    　前記第１の面は、前記被支持部の下面であり、前記第２の面は、前記被支持部の側面であり、前記第３の面は、前記被支持部の上面であることを特徴とする請求項５記載のコンベア装置。
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