JP2006282285A - ローラ式コンベアにおける塵埃処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ローラ式コンベアのローラと被搬送物の底面との接触部位の変動により発生する塵埃を、被搬送物の底面に備えた粘着部にて捕獲し、この捕獲した塵埃を連続的あるいは適宜の時間間隔にて除去する手段を備える。
【選択図】図1
Description
ところで、ローラ式コンベアで搬送されるカセットはその底部に接触し、転動するコンベア用ローラによって搬送される。この際、カセットの底面部と、これに接触するローラとの接触面は転動摩擦し、ひいては、塵埃の発生を避けることはできない。
この特許文献1に開示の技術は、同期速度で駆動される一連のローラを備えたローラ式コンベアであって、当該ローラ式コンベア上を移送される輸送コンテナ(図2の符合103を参照)の底面とこれに対向して接触するローラとの間の転動乃至滑り摩擦によって発生する異物(塵埃)を一連のアルミローラ3において適当間隔毎に配置したクリーニングローラ5を配置し、当該クリーニングローラ5にて前記異物を取り込む技術である。
一方、前記クリーニングローラに代えて、通常のローラの表面に微粘着性を持つ使い捨てタイプの粘着テープを、粘着面が外側になるように積層して巻回し、異物の付着に伴う汚れの程度が一定限度に達する適時に粘着テープの異物が付着した層(概ねローラの一周回層分相当長)を剥ぎ取り、クリーニングローラの被搬送物(輸送コンテナ、カセットほか)との接触面の表面に異物がない状態を得る手法も開示されている(明細書[0026]欄を参照)
しかしながら、被搬送物の搬送効率の向上における観点からローラコンベアの搬送速度には高速化が強いられ前記塵埃の発生は避けられない。
ローラ式コンベアの搬送に伴い不可避的に発生する塵埃は、とりわけ半導体製品製造課程で歩留まりを低下させる原因となるので周囲への塵埃の飛散を的確に防止する必要がある。
しかしながら、この先行技術は、ローラ式コンベアのローラと被搬送物との接触部位の変動に伴って発生する塵埃を、所定の適宜の間隔で配置したローラの表面が微粘着性を有する構成とした。そして、ローラ表面に付着した塵埃をブラシで掻きとり、あるいはローラ周囲に積層して巻回した粘着テープの塵埃が付着した層(概ね一周回層相当分)を塵埃の付着度に応じて剥ぎ取るようにしている。
また、適宜間隔のローラに粘着テープを巻回し、周囲の塵埃の付着に応じて表面の一回転層分相当の粘着テープを剥ぎ取る手段は、当該粘着テープの何度かの剥ぎ取りを重ねるにしたがい粘着テープを付与したローラの外径が除々に減少していく。
これに伴って、粘着テープを巻回したローラの外径は除々に縮径状態を呈し、ひいては隣接するローラの表面レベルと整合させるために、粘着テープを巻回したローラの支持軸の上下方向における調整機構が必要となるため構成の複雑化を来す傾向がある。
従って、各ローラの被搬送物に接触する部位において発生した塵埃は周囲に飛散することなく被搬送物側にて捕獲し、この捕獲された塵埃は連続的あるいは適宜の時間間隔にて的確に排除することができる。
この請求項2に係る発明によれば、引用先の請求項1に係る発明の効果は元より、とりわけクリーンな環境を維持する必要のある半導体製造装置における半導体基板収納用カセットの搬送過程で生じる塵埃の飛散を、構成の複雑化をもたらすことなく的確に防止することができる。
この請求項3に係る発明によれば、引用先の請求項1又は2に係る発明の効果は元より、塵埃除去用ブラシが、被搬送物のローラにおける対向接触面に付着している塵埃を排除し、この排除された塵埃は周囲への飛散を的確に防止できる。
この請求項4に係る発明によれば、引用先の請求項1又は2に係る発明の効果は元より、粘着材を有するテープの積層体の表面に露出した最外層に位置するテープに捕獲される塵埃の除去作業が、粘着材への塵埃の捕獲量に応じた適宜の間隔で積層体の最外層に位置するテープから1枚ずつ剥ぎ取るというごく簡単な操作にて行うことができる。
この請求項5に係る発明によれば、引用先の請求項4に係る発明の効果は元より、とりわけ市販の積層粘着テープのように粘度が高い場合において、被搬送体の走行時における必要動力の軽減を図ることができる。
先ず、図面の概要を述べると、図1は本願発明が適用されるローラ式コンベアと、これによって搬送される被搬送物との関係を示す正面図、図2はローラ式コンベアの駆動ローラ群の単位ブロックを示す構成図、図3は被搬送物の底面部における要部を誇張して示す斜視図である。
8は被搬送物で、最も好ましい適用例としては、クリーンルーム内にて移送され、順次各種処理(洗浄、CVD等の化学処理ほか)を施される半導体基板を収納したカセットがある。
なお、前記ローラ6、7は、一方(この例ではローラ6)のみに駆動手段を設け、他方(この例では、ローラ7)は支持軸5に回動自在に支持され、駆動手段を有しない従動ローラである。
先ず、図2において、ローラ式コンベア1のローラ支持部材2に対して敷設されている支持軸4に回動自在に支持されたローラ6における円筒状保持部6aの鍔部6bとは反対側に歯付プーリ6cが備えられる。9はモータで、その駆動軸9aには、歯付プーリ9bが固定され、当該歯付プーリ9bは、一連のローラ6に固定された歯付プーリ6cと同一垂直平面に配置されている。
なお、このテンションローラ11の支持軸11aは、タイミングベルト10に張力を与える方向に復帰力を有するよう移動できる周知の手段(図示せず)によって支持されている。
この際、粘着テープ積層体12、13は、厚さ0.07mm程度の粘着テープ(クリーンルーム入口において用いられる導電性粘着マットに類するもの)を多数枚数(例えば40枚)を積層し、前記ウレタンゴム被覆部6ax、7axに接する面に微粘着材が付与されている。
そして、この粘着テープ積層体12、13は、例えば図示しない両面粘着テープで被搬送物8の底面両側に接着固定される。
先ず、ローラ式コンベア1の複数ブロックにおける各モータ9を駆動すると、各ブロックの一つを示す図2において、歯付プーリ9bが回転し、これに伴い、当該歯付プーリ9bと噛合い、一つのループをなすタイミングベルト10が動力を受けて循環駆動をなす。
この際、タイミングベルト10の歯部10aと係合する歯付プーリ6cが回転する。これによって各ローラ6は同期回転する。
なお、タイミングベルト10はテンションローラ11により常時ほぼ一定レベルの張力が与えられ、前記ローラ6側の歯付プーリ6c及びモータ9側歯付プーリ9bと、テンションベルト10の歯部10aとの噛合いは適正に維持される。
先ず、被搬送物8の底面に接着されている粘着テープ積層体12、13の下面における粘着面には、夫々ローラ6、7の各円筒状保持部6a、7aの各周面に被覆されたウレタンゴム被覆部6ax、7axが接触し、ローラ6の駆動力により被搬送物8は移送される。
この被搬送物8をローラ式コンベア1上にて移送するに当り、駆動力はもっぱらローラ6より受け、ローラ7は従動するのみであり、被搬送物8の移送方向が不安定となる点については、ローラ6、7が有する鍔部6b、7bの被搬送物8の移送方向規制作用によって的確に補償される。
この塵埃は粘着テープの粘着面に付着し、クリーンルーム周囲への飛散はなく、クリーンルームの環境汚染を生じることはない。
従って、塵埃が前記粘着面に的確に捕獲できる限度を超える前に粘着テープ積層体12、13の最下層を剥ぎ取る。これによって、粘着テープ積層体12、13の最外層に露出する新たなテープの粘着面の粘着度は当初の状態に戻る。
なお、粘着テープ積層体12、13を構成する粘着テープの厚さは、ごく僅かにつき粘着テープ積層体12、13の最下層より順次1枚ずつ粘着テープを剥ぎ取ることによって、原理的には粘着テープ積層体12、13の厚さが順次減少することはあっても、実用上問題ない。
この際、ローラ6、が必要とする駆動力は、当該ローラ6、7とこれに接触する粘着テープ積層体12、13の粘着面の粘着度が大きいほど大きくなる。
一方、粘着テープ積層体12、13の粘着面が塵埃を捕獲して粘着面の粘着度が低下していくと、ローラ6、7側に付着した塵埃を的確に捕獲できず周囲に飛散し、クリーンな環境を維持できない。
しかし、粘着テープ積層体12、13は市販品を選定して使用する機会が多く、この様な場合、粘着面の粘着度の調整は困難で所望の粘着度を得にくい状況にある。
このための手段として、粘着テープ積層体12、13を夫々分割(具体的には被搬送方向に沿って2分割)し、図4に示すように被搬送物8の移送方向の前後に粘着テープ積層体12a、12b、13a、13bを粘着テープ積層体12、13に準じて接着する。
これによって、粘着テープ積層体とローラ6、7との接触抵抗を補償する駆動力(被搬送物8の搬送に寄与しない駆動力)を抑制することができる。
次いで、この当該微粘着材24に捕獲された塵埃は、被搬送物23がブラシローラ22上を移送される最中に、ブラシローラ22の回転周速度と被搬送物23の移送速度との差速度にてブラシローラ22は微粘着材24に捕獲された塵埃を掻き落とす。
このように、微粘着材24表面から掻き落とされた塵埃は集塵用吸気装置25によって捕獲される。
6、7・・・・ローラ
6c、9b・・歯付プーリ
8、23・・・被搬送物(半導体基板収納用カセット)
9・・・・・・モータ
10・・・・・タイミングベルト
12、13、12a、12b、13a、13b・・・・粘着テープ積層体
22・・・・・ブラシローラ
24・・・・・微粘着材
25・・・・・集塵用吸気装置
Claims (5)
- 被搬送物を、所定の経路に沿って連続的に配置され、所定速度で回転制御を受ける一連のローラ上において移送させるためのコンベア搬送システムにおいて、
前記被搬送物は、前記ローラに接触し、この接触部位が転動乃至摩擦によって変化することによって生じる塵埃を付着させる粘着性素材と、
前記粘着性素材に付着する塵埃を除去する手段と、
を有するローラ式コンベアにおける塵埃処理装置。 - 被搬送物はクリーンルーム内にて移送される半導体基板収納用カセットであることを特徴とする請求項1に記載のローラ式コンベアにおける塵埃処理装置。
- 粘着性素材に付着した塵埃を排除する手段が、前記所定の経路の適所に備えられる塵埃除去用ブラシと、除去された塵埃を吸引する機構と、から構成される請求項1又は2に記載のローラ式コンベアにおける塵埃処理装置。
- 粘着性素材に付着した塵埃を排除する手段が、被搬送物からみて外方に粘着材を有するテープの積層体であって、ローラに対向する面に沿って被搬送体に固定されることを特徴とする請求項1又は2に記載のローラ式コンベアにおける塵埃処理装置。
- テープの積層体が、被搬送物の移送方向において断続的に配列されることを特徴とする請求項4に記載のローラ式コンベアにおける塵埃処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005100347A JP4626885B2 (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | ローラ式コンベアにおける塵埃処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005100347A JP4626885B2 (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | ローラ式コンベアにおける塵埃処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006282285A true JP2006282285A (ja) | 2006-10-19 |
JP4626885B2 JP4626885B2 (ja) | 2011-02-09 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005100347A Expired - Fee Related JP4626885B2 (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | ローラ式コンベアにおける塵埃処理装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP4626885B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A521 | Written amendment |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |