JP2011190032A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011190032A JP2011190032A JP2010057182A JP2010057182A JP2011190032A JP 2011190032 A JP2011190032 A JP 2011190032A JP 2010057182 A JP2010057182 A JP 2010057182A JP 2010057182 A JP2010057182 A JP 2010057182A JP 2011190032 A JP2011190032 A JP 2011190032A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- roller
- ring
- conveyance
- rollers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
【課題】ローラー搬送方式で基板をトレイ等に搭載することなく直接搬送させる場合、搬送用ローラーと基板の接触面積が大きく、搬送用ローラーの基板接触面への異物の付着を防ぐことは困難であるが、この付着した異物との接触による基板へのダメージを抑制することを可能にした基板搬送装置を提供するものである。
【解決手段】基板の搬送方向に配列し、駆動系と連結して複数のローラーシャフトを回転させて基板を搬送する基板搬送装置において、複数のローラーシャフトに、それぞれ幅の細い複数個の半径の異なるリングローラーを交互に連結させて一体のローラーを形成し、かつ、ローラーがローラーシャフトに複数個配置されていることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】基板の搬送方向に配列し、駆動系と連結して複数のローラーシャフトを回転させて基板を搬送する基板搬送装置において、複数のローラーシャフトに、それぞれ幅の細い複数個の半径の異なるリングローラーを交互に連結させて一体のローラーを形成し、かつ、ローラーがローラーシャフトに複数個配置されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、搬送対象の基板にスパッタリング法などで被膜を形成する成膜装置において、基板を水平に搬送する基板搬送装置に関する。
従来、図3に示す大型のガラス等の基板60を水平に搬送する、例えば、スパッタリング装置等を備えた排気可能な処理室2等から構成される基板搬送装置1の基板搬送方法として、ローラー搬送方式が知られている。
この搬送方式は、特許文献1の技術によれば、複数のドライブシャフトに複数の搬送用ローラーを固定し、ドライブシャフトを回転することで搬送用ローラーを回転させて、搬送用ローラーの上部に接触することで基板を搬送させるものである。
そして、基板の裏面に対する傷等のダメージを抑制するため、搬送用ローラーと搬送する基板の接触部には、樹脂部材等が用いられている。
そして、基板の裏面に対する傷等のダメージを抑制するため、搬送用ローラーと搬送する基板の接触部には、樹脂部材等が用いられている。
しかし、このようなローラー搬送方式の基板搬送装置においては、搬送する基板の裏面に傷がつかないようにするために搬送用ローラーと基板との接触部位に樹脂部材を使用しても、搬送用ローラーと基板の接触面積が大きく、ガラス等の異物の付着を防止することができず、付着した異物との接触によるさらなる基板裏面へのダメージを抑制することができなかった。
なお本発明に関連する従来技術として、さらに下記の特許文献2を挙げることができる。
なお本発明に関連する従来技術として、さらに下記の特許文献2を挙げることができる。
前述のローラー搬送方式において、基板をトレイ等に搭載することなく直接搬送させる場合、搬送用ローラーと基板の接触面積が大きく、搬送用ローラーの基板接触面への異物の付着を防ぐことは困難であり、この付着した異物との接触により基板へのダメージが懸念されている。
本発明は、上記のような問題に対して、基板に対するダメージを抑制するための基板搬送装置を提供するものである。
本発明は、上記のような問題に対して、基板に対するダメージを抑制するための基板搬送装置を提供するものである。
本発明は、基板の搬送方向に配列し、駆動系と連結して複数のローラーシャフトを回転させて基板を搬送する基板搬送装置において、複数のローラーシャフトに、それぞれ幅の細い複数個の半径の異なるリングローラーを交互に連結させて一体のローラーを形成し、かつ、ローラーがローラーシャフトに複数個配置されていることを特徴とするものである。
本発明は、上記のように、搬送対象の基板を水平に搬送する基板搬送装置において、搬送用ローラーへの異物の付着を低減し、搬送用ローラー表面に付着した異物と基板の接触による基板裏面へのダメージを抑制することができる。
以下に、本発明の好適な実施形態(実施例)を添付図面に基づいて説明する。
尚、図1においては、図3で説明した要素と実質的に同一の要素には同一の符号を付している。また、図3の基板搬送装置と同様、スパッタリング装置等を備えた排気可能な処理室等を有していてもかまわないが、スパッタリングを可能にする機構や排気系等の図示は省略している。
尚、図1においては、図3で説明した要素と実質的に同一の要素には同一の符号を付している。また、図3の基板搬送装置と同様、スパッタリング装置等を備えた排気可能な処理室等を有していてもかまわないが、スパッタリングを可能にする機構や排気系等の図示は省略している。
本発明の基板搬送装置1は、図1に示すように、搬送対象の基板60の下面を支持し、基板60を矢印10の方向に水平に搬送する基板搬送装置1で、複数のドライブシャフト20と、ドライブシャフト20に固定されてローラー30が回転することにより回転し、複数のローラー30上の基板60を搬送している。
図1に示す本発明に係るローラー30は、基板60との接触面積を小さくするため、複数枚の薄い第1のリングローラー31と、その第1のリングローラー31間に半径の小さい第2のリングローラー32を交互に挟み、これを一つのローラー30とすることを特徴とするものである。
ここで、第1のリングローラー31は、基板60との接触面積、及び、基板搬送に必要な摩擦力を考慮しているため、厚さは2〜10mmの範囲で、できれば4〜6mmの範囲が好ましい。
また、第1のリングローラー31は、ポリイミドなどの樹脂部材、あるいは、搬送対象の基板60より硬度の低い金属部材(例えば、アルミニウムなど)からなることが好ましい。
また、第1のリングローラー31と基板60との接触面にガラス等の異物が付着しても、接触面に留まらないように、第1のリングローラー31の形状がR形状であることが好ましい。
さらに、複数のドライブシャフト20は、外部に取り付けられた駆動部40と、一方の軸端をベルト、あるいは、ギア等のドライブシャフト連結部50により連結し、同期させて回転させることで、基板60と接触するローラー30を同じ速度で回転させることができ安定した基板搬送が可能となる。
また、搬送による基板60の蛇行を防止するためのガイドローラー35をガイドローラー保持部36に備えていてもよい。
また、搬送による基板60の蛇行を防止するためのガイドローラー35をガイドローラー保持部36に備えていてもよい。
図2に、本発明の一実施形態であるローラー30の拡大図を示す。
複数枚の薄い円板形状の第1のリングローラー31と、その第1のリングローラー31の間に挟まれ、第1のリングローラー31より半径の小さい第2のリングローラー32を互いに、例えば、ねじ33等で止めして一つのローラー30を構成し、第1のリングローラー31で基板60を支持し、その回転にて基板60を搬送するものである。
図2(a)に示すローラー30は、その両端が第1のリングローラー31で構成されているが、搬送中の基板60の形状に合わせて、ローラー30を構成する第1のリングローラー31をドライブシャフト20に対して最も外側に配置させて他のリングローラーを内側に任意に配置しても良い。
さらに、第1のリングローラー31は、その部材により基板60にダメージを与えないように樹脂部材、または、搬送対象の基板60より硬度の低いアルミニウムなどの金属部材を用いている。
また、ローラー30を構成する第1のリングローラー31について、その基板60との接触面の形状をR形状とすることで、第1のリングローラー31の基板60との接触面へ異物が付着しにくくしている。
また、ローラー30を構成する第1のリングローラー31について、その基板60との接触面の形状をR形状とすることで、第1のリングローラー31の基板60との接触面へ異物が付着しにくくしている。
このようにして、本発明の基板搬送装置1は、基板60を支持する第1のリングローラー31の基板60との接触面に異物が付着しにくく、これにより、基板60に対する傷等のダメージを抑制することができる。
以上の実施形態で説明された構成、形状、大きさおよび配置関係については本発明が理解・実施できる程度に概略的に示したものにすぎない。従って本発明は、説明された実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示される技術的思想の範囲を逸脱しない限り様々な形態に変更することができる。
1 基板搬送装置
2 処理室
10 基板の搬送方向
20 ドライブシャフト
21 ドライブシャフト保持部
30 ローラー
31 第1のリングローラー
32 第2のリングローラー
33 ねじ
34 ドライブシャフトへの固定用穴部
35 ガイドローラー
36 ガイドローラー保持部
40 駆動部
50 ドライブシャフト連結部
60 基板
2 処理室
10 基板の搬送方向
20 ドライブシャフト
21 ドライブシャフト保持部
30 ローラー
31 第1のリングローラー
32 第2のリングローラー
33 ねじ
34 ドライブシャフトへの固定用穴部
35 ガイドローラー
36 ガイドローラー保持部
40 駆動部
50 ドライブシャフト連結部
60 基板
Claims (5)
- 基板の搬送方向に配列し、駆動系と連結して複数のローラーシャフトを回転させて基板を搬送する基板搬送装置において、前記複数のローラーシャフトに、それぞれ幅の細い複数個の半径の異なるリングローラーを交互に連結させて一体のローラーを形成し、かつ、前記ローラーが前記ローラーシャフトに複数個配置されていることを特徴とする基板搬送装置。
- 前記リングローラーは、第1のリングローラーと、前記第1のリングローラーより半径の小さい第2のリングローラーとを有し、前記ローラーの両端を前記第1のリングローラーにして交互に連結されていることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記ローラーシャフトの両端に配置される二つのそれぞれの前記ローラーは、前記第1のリングローラーを外側にして連結されていることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記第1のリングローラーは、前記基板と接触する外周をR形状に加工されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかの一項に記載の基板搬送装置。
- 前記基板搬送装置は、排気可能な成膜処理室を有していることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れかの一項に記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010057182A JP2011190032A (ja) | 2010-03-15 | 2010-03-15 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010057182A JP2011190032A (ja) | 2010-03-15 | 2010-03-15 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011190032A true JP2011190032A (ja) | 2011-09-29 |
Family
ID=44795368
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010057182A Pending JP2011190032A (ja) | 2010-03-15 | 2010-03-15 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011190032A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112875297A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-06-01 | 深圳市华皓伟业光电有限公司 | 一种防止破损的无生物危害led生产装置 |
-
2010
- 2010-03-15 JP JP2010057182A patent/JP2011190032A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112875297A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-06-01 | 深圳市华皓伟业光电有限公司 | 一种防止破损的无生物危害led生产装置 |
CN112875297B (zh) * | 2020-12-24 | 2022-11-11 | 深圳市华皓伟业光电有限公司 | 一种防止破损的无生物危害led生产装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101098048B1 (ko) | 흡입 장치 및 적층 시트의 반송 방법 | |
TWI393205B (zh) | 基板搬送裝置及基板搬送方法 | |
JP2008273687A (ja) | 平板状基材の搬送装置 | |
TWI376344B (en) | Apparatus for carrying substrates | |
WO2011121685A1 (ja) | 平板搬送装置 | |
JP2013145767A (ja) | ガラス板搬送方法及びその装置 | |
JP5502443B2 (ja) | 基板の搬送装置 | |
JP2005154040A (ja) | 基板搬送装置 | |
KR100821964B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
JP2011190032A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP6319107B2 (ja) | ガラス基板搬送装置 | |
JP2012183455A (ja) | フィルムクリーニング装置及びフィルムクリーニング方法 | |
JP2017088356A (ja) | 基板の搬送方法および基板の搬送装置 | |
JP4724358B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2006193267A (ja) | 基板搬送方法および基板搬送装置 | |
WO2011125298A1 (ja) | 平板搬送装置及び平板の搬送方法 | |
KR101071268B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
JP2007250871A (ja) | 基板搬送装置 | |
EP1974934A3 (en) | Image recording apparatus | |
JP6320849B2 (ja) | 基板搬送装置および基板処理装置 | |
KR101040696B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
JP2007142304A (ja) | 板状体搬送装置 | |
KR101040695B1 (ko) | 기판 이송 장치 | |
JP6803654B2 (ja) | ガラス基板の検査装置 | |
JP2006298574A (ja) | 基板搬送装置のシャフト支持装置 |