JP2007250871A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】搬送部からガラス基板が外れた場合においてもガラス基板の破損を防止可能な基板搬送装置を提供する。
【解決手段】矩形薄板状に形成されたガラス基板を浮上させつつ支持する搬送路2と、浮上したガラス基板1の搬送方向を基準とした左右側のうちどちらか一側1b又は両側1b、1cを保持して、搬送路2上を強制搬送可能とする搬送部3とを備える基板搬送装置Aにおいて、搬送路2には、強制搬送時のガラス基板1と非接触状態とされ、且つ強制搬送時の搬送部3からガラス基板1が外れた時にガラス基板1を搬送路2内に止める脱落防止手段4が、搬送方向に沿って設けられ、脱落防止手段4は、ガラス基板1の接触により搬送方向に向けて回転する回転機構5を備える。
【選択図】図2
【解決手段】矩形薄板状に形成されたガラス基板を浮上させつつ支持する搬送路2と、浮上したガラス基板1の搬送方向を基準とした左右側のうちどちらか一側1b又は両側1b、1cを保持して、搬送路2上を強制搬送可能とする搬送部3とを備える基板搬送装置Aにおいて、搬送路2には、強制搬送時のガラス基板1と非接触状態とされ、且つ強制搬送時の搬送部3からガラス基板1が外れた時にガラス基板1を搬送路2内に止める脱落防止手段4が、搬送方向に沿って設けられ、脱落防止手段4は、ガラス基板1の接触により搬送方向に向けて回転する回転機構5を備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、液晶ディスプレイ等に用いられるガラス基板の搬送装置に関する。
従来、液晶ディスプレイ等に用いられるガラス基板の製造ラインや、ガラス基板の検査を行う外観検査装置などにおいて、例えばガラス基板を支持する搬送路からガラス基板の下面に向けて圧力気体が吐出され、この圧力気体によりガラス基板を浮上させつつ支持する、いわゆる浮上搬送路、浮上ステージと称されるものが使用されている。この浮上搬送路や浮上ステージ(以下、搬送路という)を備える製造ラインや外観検査装置などでは、浮上されたガラス基板の端部側が、例えばガラス基板を把持する把持機構やガラス基板の下面を真空吸引により吸着保持する吸着機構などを有する搬送部に保持され、この搬送部が搬送路に沿って移動することで、ガラス基板を浮上させつつ強制的に搬送している(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
特開2002−181714号公報
特開2000−9661号公報
しかしながら、把持機構や吸着機構などを備える搬送部によりガラス基板を強制搬送する場合、例えば、吸着パッドのリークによる保持力不足や、予期せぬ停電などによる保持力消失、予期せぬ真空吸引設備の破損による保持力消失などによって、搬送中に、搬送部からガラス基板が外れることがある。このような場合には、浮上したガラス基板と搬送面との間の摩擦抵抗が非常に小さいため、保持を失ったガラス基板は慣性力により搬送路上を自由に移動して搬送路から脱落したり、搬送路から飛び出して破損してしまうという問題が生じる。
このような問題を解消するために、搬送路の側部に搬送方向に沿う壁を設け、搬送部からガラス基板が外れた際に搬送路外に脱落しない対策を講じることが考えられる。このような対策を施したとしても、液晶ディスプレイ等に用いられる矩形板状のガラス基板は、大型で重く、その厚さが0.7mm程度と非常に薄いものもあるため、ガラス基板が壁に衝突した際の衝撃力により破損されるという問題が生ずる。また、搬送部からガラス基板が外れる際に回転力が付与されると、ガラス基板が回転しながらガラス基板の角部が壁に衝突するため、ガラス基板の全重量が角部に集中して破損されやすくなる。
ガラス基板は、特にレジストの塗布やパターンの現像など製造工程が進むに従い破損による経済損失が大きくなり、また、特に搬送路で破損が生じた場合には、ガラス片を完全に取り除くための清掃が容易でないという問題があった。
本発明は、上記事情を鑑み、搬送部からガラス基板が外れた場合においてもガラス基板の破損を防止可能な基板搬送装置を提供することを目的とする。
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
本発明の基板搬送装置は、矩形薄板状に形成されたガラス基板を浮上させつつ支持する搬送路と、浮上した前記ガラス基板の搬送方向を基準とした左右側のうちどちらか一側又は両側を保持して、前記搬送路上を強制搬送可能とする搬送部とを備える基板搬送装置において、前記搬送路には、強制搬送時の前記ガラス基板と非接触状態とされ、且つ強制搬送時の前記搬送部から前記ガラス基板が外れた時に該ガラス基板を前記搬送路内に止める脱落防止手段が、搬送方向に沿って設けられ、該脱落防止手段は、前記基板の接触により搬送方向に向けて回転する回転機構を備えたことを特徴とする。
この発明に係る基板搬送装置においては、少なくともガラス基板の搬送部と対向する他側の外方に、搬送方向に沿って脱落防止手段が設けられていることにより、片軸状態で強制搬送する搬送部からガラス基板が外れた場合においても、ガラス基板を脱落防止手段で搬送路内に止めることができ、ガラス基板が搬送路外に脱落することを防止できる。また、脱落防止手段がガラス基板の接触により搬送方向に回転し、ガラス基板が脱落防止手段に接触した際の衝撃力を低減させることができる。
本発明の基板搬送装置によれば、脱落防止手段が設けられていることで、搬送部から外れたガラス基板が搬送路外に脱落することを防止でき、かつガラス基板が脱落防止手段に接触した際の衝撃力を低減させることができるため、ガラス基板の破損を防止することができる。
以下、図1から図4を参照し、本発明の第1実施形態に係る基板搬送装置について説明する。
本発明の第1実施形態は、図1に示すような、例えば液晶ディスプレイ等に使用されるガラス基板1(以下、基板という)の製造ライン内に設置される基板搬送装置Aに関するものである。この基板搬送装置Aは、搬送される基板1の下面1aと対向する上面2aが平坦面とされた搬送路2と、基板1の搬送方向Xに沿う右辺1b側を保持して、搬送路2上を片軸状態で強制搬送可能とする搬送部3と、基板1の右辺(一側)1b側及び対向する左辺(他側)1c側の搬送路2の両外方に配置された脱落防止手段4とから構成されている。
搬送路2は、図1に示すように、上面2aに気体を吐出する複数の孔2bが分散配置されており、搬送路2のエアタンクを介してコンプレッサーなどの圧力気体吐出手段と接続されている。これらの孔2bからは、搬送路2のエアタンクに溜まっているエアが一定圧力で吐出され、搬送路2と基板1との間にエア層が形成されることにより基板1が搬送路2上に浮上する。また、搬送路2の上面2aには、基板1の右辺1b側に位置する部分に、搬送方向Xに沿って延設された凹部2cが形成されている。
搬送部3は、図1から図2に示すように、搬送路2に形成された凹部2cに沿って移動可能に設置されている。この搬送部3は、凹部2cの底面2dに搬送方向Xに延設された図示せぬ軌道部と、この軌道部上を走行する細長い矩形状に形成された搬送駆動部3aとからなる。この搬送駆動部3aの上面には、基板1の下面1aを吸着保持する吸着パッド3bが長手方向に複数配列されている。この搬送部3としては、例えばリニアモータがあり、凹部2aに敷設されたリニアガイドの上をリニアモータが組み込まれた搬送駆動部3aが往復移動するようになっている。本実施の形態では、搬送部3を、搬送路2の片側に設け、基板1の右辺1bを保持して搬送する一軸片側搬送可能に構成した一例を示したが、搬送路2の両側にそれぞれ設け、基板1の両辺1b、1cを保持して搬送する二軸両側搬送可能に構成してもよく、更に搬送路2の両側に交互に設け、基板1の右辺1b側の搬送部3から左辺1c側の搬送部3に交互に受け渡して搬送する二軸片側搬送可能に構成してもよい。基板1を強制搬送するために搬送部3に固定させる手段としては、本実施の形態のような吸着パッド3bによる吸着手段以外に、基板1の周縁部をエア等の流体や電気的に制御可能なエアアクチュエータや電磁アクチュエータ等で挟み込むことができる把持手段であってもよい。
脱落防止手段4は、搬送路2の上面2aに垂直に突設された円柱棒状の回転軸5aと、回転軸5aに回転自在に環装されつつ支持された円筒状の円筒部材5bとを有しており、回転軸5aと円筒部材5bとを合わせて、ローラ(回転機構)5とされている。回転軸5aと円筒部材5bとをポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂やポリイミド樹脂などの弾性を有する樹脂で形成することにより、基板1の衝突による衝撃を吸収できるので好ましいが、回転軸5aを剛性の高い金属で形成することも可能である。円筒部材5bは、回転軸5aに対して回転しやすい4フッ化エチレンなどの低摩擦リングやベアリングで形成することができる。また、円筒部材5bの外周面5cは、基板1に対する衝撃を吸収するアクリル、シリコン、ニトロゴム等の衝撃吸収材料で被覆されている。
このローラ5は、基板1の右辺1b側及び対向する左辺1c側の搬送路2の両外方に位置する搬送路2の上面2aに搬送方向Xに沿って一定間隔で複数配されている。ここで、基板1の右辺1bの外方に設けられた脱落防止手段4の隣り合うローラ5の間隔L1に対して、左辺側1cの外方に設けられた脱落防止手段4の隣り合うローラ5の間隔L2が若干小とされている。ローラ5の間隔は、図3に示すように基板1が最大に回転した際に、基板1の先端の角部1eが図4に示すように搬送方向に平行な接線に垂直な回転中心を通る法線に対して矢印で示す45度の回転範囲内に入る間隔に設定されている。また、ローラ5の円筒部材5bの外周面と、基板1の右辺1bおよび左辺1cとの搬送方向Xに直交する離間距離L3は、基板1が搬送中に接触しない間隔として、例えば1cmから3cmとされている。
このローラ5は、基板1の右辺1b側及び対向する左辺1c側の搬送路2の両外方に位置する搬送路2の上面2aに搬送方向Xに沿って一定間隔で複数配されている。ここで、基板1の右辺1bの外方に設けられた脱落防止手段4の隣り合うローラ5の間隔L1に対して、左辺側1cの外方に設けられた脱落防止手段4の隣り合うローラ5の間隔L2が若干小とされている。ローラ5の間隔は、図3に示すように基板1が最大に回転した際に、基板1の先端の角部1eが図4に示すように搬送方向に平行な接線に垂直な回転中心を通る法線に対して矢印で示す45度の回転範囲内に入る間隔に設定されている。また、ローラ5の円筒部材5bの外周面と、基板1の右辺1bおよび左辺1cとの搬送方向Xに直交する離間距離L3は、基板1が搬送中に接触しない間隔として、例えば1cmから3cmとされている。
ついで、上記の構成からなる基板搬送装置Aにおいて基板1を搬送する方法について説明する。
はじめに、図1から図2に示すように、上流側の搬送路2から搬入された基板1は、基板1の右辺1b側の下面1aが搬送部3の吸着パッド3bの上方に位置するように搬送路2の上面2aに移送される。この基板1の下面1aが吸着パッド3bに当接すると吸引が開始されて、搬送部3に基板1が吸着保持される。このとき、基板1は搬送路2の吐出孔2bから吐出する気体により所定の高さに、例えば2mmの高さに浮上される。
ついで、搬送部3の駆動手段を駆動させ、軌道部上を所定の速度で移動させる。基板1は、吐出孔2bから吐出される気体により浮上した状態で基板1の右辺1bが吸着パッド3bによる吸着により搬送部3に保持され、搬送部3により片軸状態で強制搬送される。このとき、ローラ5の円筒部材5bの外周面5cと、基板1の右辺1bおよび左辺1cとの搬送方向Xに直交する離間距離L3が1cmから3cmとされているため、強制搬送時に基板1と脱落防止手段4とは非接触状態とされている。
ここで、図3に示すように、搬送部3により片軸状態で保持されつつ強制搬送される基板1が、搬送途中で吸着パッド3bから外れる場合がある。本実施形態の基板搬送装置Aでは、基板1が搬送部3により片軸状態で保持されているため、搬送部3から外れた基板1は、搬送方向Xを基準に基板1の上面1dからの平面視で反時計回り(矢印a方向)に傾斜される。このため、先に基板1の右辺1b側の搬送部3と対向する左辺1c側のローラ5に、搬送部3から外れた直後の大きい速度をもった基板1が接触される。
このとき、ローラ5の外周面5cは、樹脂系の緩衝材で形成されているため、基板1が接触される際の衝撃力を緩和可能とされている。また、図3から図4に示すように、隣り合うローラ5の間隔L1、L2は、基板1の角部1eがローラ5の回転軸線O1に直交し搬送方向Xに直交する中心線O2を基準として、搬送方向Xと反対側の上流側に向けた45°範囲に接触されるように調整されており、且つローラ5の円筒部材5bが回転自在とされているため、基板1の角部1eがローラ5に接触されると同時に、ローラ5は基板1を搬送方向Xの下流側へ導くように回転される。
ここで、搬送部3から外れた基板1がローラ5の中心線O2から上流側に向けた45°範囲に接触されるためには、図3に示すように、搬送部3から外れた基板1が反時計方向に回転して最大に傾斜した場合を想定し、ローラ5の間隔L2を決める必要がある。本実施形態では、基板1の下流側の角部1eがローラ5に接触される際に、このローラ5の搬送方向X上流側に隣接するローラ5に基板1の左辺1cが接触されるように、両ローラ5の間隔L2を調整している。この間隔L2は、基板1が傾斜し角部1eがローラ5に接触されたとき、この角部1eの対称方向に位置する搬送方向X上流側の角部1e近傍の右辺1bが、基板1の右辺1b側の外方に設けられたローラ5に当接され、それ以上基板1が傾斜しないことに基づき決められる。よって、隣り合うローラ5の間隔L1、L2は、搬送される基板1の搬送方向Xの長さ寸法と、図2に示した基板1の右辺1b側と左辺1c側のローラ5の外周面との離間距離L3によって決められる。本実施形態では、この離間距離L3が1cmから3cmとされていることにより基板1の傾斜量を制御するとともに、ローラ5の上流側に隣接するローラ5に基板1の左辺1cが接触し、基板1の角部1eがローラ5の中心線O2から上流側に向けた45°範囲に接触されるようにローラ5の間隔L2が調整されている。また、基板1の右辺1b側に設けられたローラ5の間隔L1に対して、左辺1c側に設けられたローラ5の間隔L2を小さくすることで、搬送部3から外れた直後の移動速度が大きく、ローラ5に対する衝撃力が大きい基板1の角部1eは、ローラ5により浅い角度で接触されることとなる。つまり、左辺1c側の間隔L2が小さいことにより、基板1の角部1eが接触されるローラ5の上流側に位置するローラ5によって、この角部1eに近い位置の左辺1cが接触されるため、基板1の傾斜量の制御が可能となる。
したがって、上記の構成からなる基板搬送装置Aによれば、強制搬送時の搬送部3から基板1が外れた時に、ローラ5に接触されることにより搬送路2から基板1が脱落することを防止することができる。また、ローラ5の間隔L1、L2を調整することによって、基板1の角部1eをローラ5の中心線O2を基準として上流側の45°範囲の外周面5cに接触させることで、基板1を円滑に搬送方向Xの下流側へ導くことができるとともに、ローラ5に基板1が接触される際の衝撃力を小さくすることができ、基板1の破損を防止することができる。
また、上記の構成からなる基板搬送装置Aによれば、基板1の右辺1b側のローラ5の間隔L1に対して、左辺1c側のローラ5の間隔L2が小さいことにより、片軸状態で強制搬送する搬送部3から基板1が外れた際に、基板1の左辺1c側に傾斜して移動する基板1を先に左辺1c側のローラ5に接触させることができる。これにより、移動速度が大きい搬送部3から外れた直後の基板1を、ローラ5の搬送方向Xに直交する中心線O2を基準とした浅い角度で接触させることができるため、ローラ5に接触される際の基板1の衝撃力を小さくすることができ、基板1の破損を防止することができる。
さらに、上記の構成からなる基板搬送装置Aによれば、基板1の右辺1b側に設けられたローラ5と、強制搬送時の基板1の右辺1bとの離間距離L3、および基板1の左辺1c側に設けられたローラ5と、基板1の左辺1cとの離間距離L3を1cmから3cmにすることによって、強制搬送時には、ローラ5と基板1とを非接触状態することができる。また、搬送部3から基板1が外れ、移動速度が大きい状態で左辺1c側のローラ5に接触される基板1に対して、傾斜量の制御を行うことができるため、ローラ5への衝撃力を小さくすることができる。よって、基板1が破損することを防止することができる。
なお、本発明は上記の第1実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、ローラ5は、円柱棒状であるものとしたが、図5に示すように、逆テーパー形状のものや、逆テーパー形状の上部と円柱棒状の下部とを併せ持つものとされてもよく、この場合には、ローラ5に搬送部3から外れた基板1が接触される際に、基板1が上方へ飛び上がり、搬送路2から脱落することを防止することができる。また、ローラ5は、回転軸5aに円筒部材5bを回転自在に環装されるものとしたが、搬送部3から外れた基板1が接触したと同時に回転される構造であれば、その形状や構成が限定されるものではない。さらに、ローラ5は、外周面5cに形成された緩衝材も含め、樹脂により形成されるものとしたが、特に材質が限定されるものではなく、接触された基板1がその衝撃によって破損されなければ金属などで形成されてもよいものである。また、ローラ5は、搬送路2の上面2aに垂直に突設されるものとしたが、搬送路2の上面2aに対して軸線O1が交差されればよいものである。さらに、搬送部3から外れた基板1が接触されるとともに回転されるものとしたが、例えばモータなどの駆動手段と接続され、あらかじめ回転されていてもよいものである。この場合には、基板1が通過する少し前にローラ5が回転されるようにしてもよいものである。さらに、搬送部3から基板1が外れたことを感知する例えばセンサーによって、基板1が外れると同時に、回転駆動されてもよいものである。また、基板1の右辺1b側に配置されるローラ5の間隔L1に対して、左辺1c側に配置されるローラ5の間隔L2を小とする構成としたが、これに限定されるものではなく、全て等しい間隔で設置したり、右辺1b側にローラ5を設けない構成とされてもよいものである。
また、本発明の第1実施形態では、基板1を搬送する搬送部3が基板1の下面1aを吸着保持するものとされているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、例えば基板1を把持することにより保持する構成とされてもよく、本発明は、基板1を浮上することにより搬送させるものであれば、特に基板1の保持機構の構成が限定されるものではない。
さらに、搬送路2において、基板1を浮上させる手段として圧力気体を吐出孔から吐出させる構成を用いているが、これに限定されるものではなく、例えば超音波などを利用して基板1を浮上させる構成とされてもよく、特に基板1を浮上させる手段が限定されるものではない。
また、本発明の第1実施形態では、本発明の基板搬送装置Aが製造ライン内にて使用されるものとして説明したが、本発明は、例えば基板1の外観検査装置の浮上ステージに適用されてもよく、基板1を浮上させて搬送するものに適用されればよいものである。
ついで、図6を参照し、本発明の第2実施形態に係る基板搬送装置について説明する。
本発明の第2実施形態は、図1から図5に示した第1実施形態と同様、例えば液晶ディスプレイ等に用いられるガラス基板の搬送装置に関するものである。ここで、第1実施形態に係る基板搬送装置Aと同様の構成については、同一符号を付し詳細な説明を省略するものとする。
図6に示す基板検査装置Bは、第1実施形態と異なり、基板1の搬送方向Xに沿う基板1の右辺1b側の脱落防止手段4と、左辺1c側の脱落防止手段4とが、それぞれ複数、例えば5つのローラ5を内部6aに配して回転自在に支持された無端状のベルト6が巻き回されて構成されている。このベルト6は、例えば基板1の角部1eが接触した場合においても損傷を受けない金属製のベルトであるとともに、基板1が接触した際に衝撃を緩和する緩衝機能を与えるよう、多少の張力を持たせつつローラ5に巻き回されている。また、ローラ5の円筒部材5bの外周面5cは、ベルト6の内面6bに対して適度な相対摩擦係数を有するものとされ、ベルト6の変位量に相当した回転量で回転するものとされている。
ついで、上記の構成からなる基板搬送装置Bにより強制搬送される基板1が搬送部3から外れた際の基板1の脱落防止方法について説明する。
強制搬送時に搬送部3から外れた基板1は、第1実施形態で示した図3と同様に、はじめに反時計回りに傾斜され、基板1の左辺1c側の脱落防止手段4のベルト6に接触される。接触されたベルト6はローラ5の円筒部材5bの回転によって回転され、基板1を搬送方向Xの下流側へと導く。基板1は、基板1の右辺1b側および左辺1c側に設けられたそれぞれのベルト6に接触され、搬送方向Xの下流側へ常に導かれるとともに、次第にその移動速度が低下し搬送路2上に停止することとなる。
したがって、上記の構成からなる基板搬送装置Bにおいては、強制搬送時に搬送部3から外れた基板1が脱落防止手段4のローラ5に巻き回されたベルト6によって搬送方向Xの下流側に導かれるため、搬送路2から基板1が脱落することを防止することができる。また、ベルト6が巻き回されているローラ5が回転自在とされつつ、その外周面5cがベルト6の内面6aと適度な摩擦抵抗を有しているため、ベルト6に基板1が接触されると同時にベルト6を回転させることができる。これにより、ベルト6に接触された基板1の衝撃力を小さくすることができ、基板1の破損を防止することができる。
なお、本発明は上記の第2実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、ベルト6の内部6aにローラ5が5つ備えられて脱落防止手段4が構成されるものとしたが、必ずしもこれに限定されるものではなく、少なくとも2つのローラ5にベルト6が巻き回されて支持されればよい。また、ベルト6は、基板1の角部1eが接触した場合においても損傷を受けない金属製であるものとしたが、基板1によって損傷されず、且つ細かな塵埃などを発生させない材質であれば、例えば樹脂により形成されてもよく、特に材質が限定されるものではない。さらに、ベルト6は基板1が接触されると同時に回転されるものとしたが、例えばベルト6の内部6aに配されたローラ5の少なくとも1つに回転駆動手段を接続し、この回転駆動手段の回転によってベルト6が回転されてもよいものである。このとき、ベルトは常に回転されていても、基板1が近傍に移動された段階で回転されてもよいものであり、搬送部3から基板1が外れたことを感知する例えばセンサーによって、駆動制御されてもよいものである。また、ローラ5の外周面5cは、ベルト6の内面6bに対して適度な相対摩擦係数を有し、この摩擦力によってベルト6と脱落防止手段4が回転するものとしたが、これに限定されるものではなく、例えば脱落防止手段4の外周面5cと、ベルト6の内面6bとに係合する凹凸部を形成しベルト6を回転させてもよいものである。
1 基板
1b 右辺
1c 左辺
1e 角部
2 搬送路
2a 上面
3 搬送部
4 脱落防止手段
5 ローラ(回転機構)
5c 外周面
6 ベルト
6a ベルトの内部
A 基板搬送装置
B 基板搬送装置
L1 脱落防止手段の間隔
L2 脱落防止手段の間隔
L3 離間距離
O1 軸線
O2 中心線
X 搬送方向
1b 右辺
1c 左辺
1e 角部
2 搬送路
2a 上面
3 搬送部
4 脱落防止手段
5 ローラ(回転機構)
5c 外周面
6 ベルト
6a ベルトの内部
A 基板搬送装置
B 基板搬送装置
L1 脱落防止手段の間隔
L2 脱落防止手段の間隔
L3 離間距離
O1 軸線
O2 中心線
X 搬送方向
Claims (7)
- 矩形薄板状に形成されたガラス基板を浮上させつつ支持する搬送路と、浮上した前記ガラス基板の搬送方向を基準とした左右側のうちどちらか一側又は両側を保持して、前記搬送路上を強制搬送可能とする搬送部とを備える基板搬送装置において、
前記搬送路には、強制搬送時の前記ガラス基板と非接触状態とされ、且つ強制搬送時の前記搬送部から前記ガラス基板が外れた時に該ガラス基板を前記搬送路内に止める脱落防止手段が、搬送方向に沿って設けられ、該脱落防止手段は、前記基板の接触により搬送方向に向けて回転する回転機構を備えたことを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項1記載の基板搬送装置において、
前記脱落防止手段は、少なくとも略円柱形状の回転自在な複数のローラを有するとともに、該ローラの軸線が前記搬送路の前記ガラス基板側の上面に交差するように設けられていることを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項2記載の基板搬送装置において、
前記ガラス基板の前記一側の外方に設けられた前記脱落防止手段の隣り合う前記ローラの間隔に対して、他側の外方に設けられた前記脱落防止手段の隣り合う前記ローラの間隔が小とされていることを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項2又は請求項3に記載の基板搬送装置において、
隣り合う前記ローラは、該ローラの軸線に直交し搬送方向に直交する中心線を基準として搬送方向上流側に向けた45°範囲の外周面に、強制搬送時に前記搬送部から外れた前記ガラス基板の搬送方向下流側の角部が接触される間隔で設置されていることを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項2記載の基板搬送装置において、
前記脱落防止手段は、前記ガラス基板の搬送方向に沿う少なくとも2つの前記ローラに巻き回され、該ローラによって回転自在に支持された無端状のベルトを備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項2乃至請求項4のいずれかに記載の基板搬送装置において、
前記ガラス基板の前記一側の外方に設けられた前記ローラの前記ガラス基板側の前記外周面と、強制搬送時の前記ガラス基板の前記一側との搬送方向に直交する離間距離、および他側の外方に設けられた前記ローラの前記ガラス基板側の前記外周面と、強制搬送時の前記ガラス基板の前記他側との搬送方向に直交する離間距離が、1cmから3cmとされていることを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項1乃至請求項5記載の基板搬送装置において、
前記脱落防止手段は、前記ガラス基板の前記一側と他側の両外方に設けられていることを特徴とする基板搬送装置。
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