CN108604545A - 输送装置和清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供输送装置和清洗装置,它们在倾斜地输送玻璃基板的同时对玻璃基板进行清洗,这种情况下,能够稳定地输送玻璃基板。本发明的输送装置具备第一边框、第二边框和若干个输送辊,第二边框设置在比第一边框高的位置并与第一边框大致平行,若干个输送辊可绕轴旋转地架设在第一边框和第二边框上,若干个输送辊的表面由弹性体形成,若干个输送辊中,在第一边框侧即一端侧具有扩径部,扩径部在朝向该一端的方向上直径逐渐增大。
Description
技术领域
本发明涉及输送装置和清洗装置,它们在倾斜地输送玻璃基板的同时对玻璃基板进行清洗,并能够防止玻璃基板的破裂。
背景技术
在液晶显示装置的制造工序中,液晶显示装置中使用的玻璃基板例如在成膜前通过清洗装置进行清洗处理,来清除表面的污垢。
例如有一种玻璃基板的清洗装置,在安装了输送滚轮的若干个输送辊对玻璃基板进行输送时,从上方喷射出清洗水对玻璃基板进行清洗。
还有一种玻璃基板的清洗装置,为了防止清洗水残留在玻璃基板上或者为了节约清洗水,使上述输送辊倾斜放置,也就是在倾斜地输送玻璃基板的同时对玻璃基板进行清洗(例如,参照专利文献)。专利文献1公开的清洗装置中,为了防止玻璃基板向下滑落,在输送辊的下端侧具备了直径大于其它部分的凸缘部。
〔专利文献〕
专利文献1:日本特开2004-95926号公报
发明内容
然而,在输送辊的下端侧设置了凸缘部后,玻璃基板的下端可能由于其与凸缘部的摩擦而损伤。还有,相邻输送辊之间的凸缘部产生了高度差后,玻璃基板的角部分有可能落到相邻输送辊的颚部之间被绞住,从而可能导致玻璃破裂。
本发明是鉴于上述问题而作出的,其目的在于提供输送装置和清洗装置,它们能够防止所输送的玻璃基板的破裂。
本发明的一实施方式所涉及的输送装置具备第一边框、第二边框和若干个输送辊,所述第二边框设置在比所述第一边框高的位置并与所述第一边框大致平行,所述若干个输送辊可绕轴旋转地架设在所述第一边框和所述第二边框上,所述若干个输送辊的表面由弹性体形成,所述若干个输送辊中,在所述第一边框侧即一端侧具有扩径部,所述扩径部在朝向所述一端的方向上直径逐渐增大。
本发明的一实施方式所涉及的清洗装置具备所述输送装置和喷射部,所述喷射部设置在所述输送装置的上方,并向下方喷射出清洗水。
〔发明效果〕
本发明的实施方式提供输送装置和清洗装置,它们在倾斜地输送玻璃基板的同时对玻璃基板进行清洗,这种情况下,能够稳定地输送玻璃基板,并能够防止玻璃基板的破裂。
附图说明
图1是实施方式一的清洗装置的示意性立体图。
图2是实施方式一的清洗装置的示意性纵截面图。
图3是实施方式二的清洗装置的示意性立体图。
图4是实施方式二的清洗装置的示意性纵截面图。
具体实施方式
以下,基于附图对本发明的实施方式进行具体说明。另外,以下的实施方式只是例示,本发明当然也就不限定于以下的结构。
(实施方式一)
图1是实施方式一的清洗装置100的示意性立体图,图2是清洗装置100的示意性纵截面图。清洗装置100具备输送装置5和喷射部4,输送装置5具备输送辊1、皮带轮12、2个边框20(第一边框20a和第二边框20b)和正时皮带3。输送装置5对工件W(例如玻璃基板)进行输送。清洗装置100中,将清洗水喷射到由输送装置5输送着的工件W上,对工件W进行清洗。
2个边框20设置成高度不同而大致平行。具体来说,第二边框20b设置在比第一边框20a高的位置并与第一边框2a大致平行。输送辊1可绕轴旋转地架设在第一边框20a和第二边框20b上。
辊轴11的两端通过在每一侧的边框20上形成的轴孔21,从边框20突出到外侧。在第二边框20b侧的突出端,安装了止动件13,止动件13限制轴向的移动。辊轴11上,在第一边框20a侧的突出端,安装了齿形传动皮带轮12。
输送辊1中,至少其表面(外周面)由弹性材料形成,例如由具有抓力的树脂等形成。本实施方式中,输送辊1具有旋转轴,即辊轴11,辊轴11以外的部分由硅橡胶等弹性材料形成。输送辊1上,在第一边框20a侧即一端侧(即下端侧)具有扩径部10a,扩径部10a在朝向该一端的方向上直径逐渐增大。扩径部10a的外周面例如是纵截面轮廓为曲线的曲面。
由此,如图2所示,输送辊1可绕轴旋转地架设成相对于水平面倾斜,且输送辊1的纵截面所含的曲线的一条切线与单点划线所示的水平面大致平行。也就是说,输送辊1相对于水平面的倾斜角度是输送辊1的扩径部10a上相对于轴向(单点划线)的最大倾斜角度θ以下。例如,输送辊1的扩径部10a上相对于轴向的最大倾斜角度是45°,输送辊1的倾斜角度是30°。
在第一边框20a与第二边框20b之间,若干个上述的输送辊1隔着规定间隔架设成可绕轴旋转。还有,在第一边框20a的外侧,正时皮带3套在沿第一边框20a的长度方向排列的皮带轮12上。正时皮带3由未图示的马达驱动,可沿规定方向旋转。通过马达驱动使正时皮带3旋转,各传动皮带轮12进行旋转,由此,若干个输送辊1同向同速度地旋转。
喷射部4设置在输送装置5的上方,向下方喷射清洗水(例如纯水),来对工件W进行清洗。喷射部4具有清洗水流通的管道以及与该管道连通的若干个喷射孔。喷射部4的管道例如与输送辊1长度大致相同,并配置成与辊轴11大致平行。喷射孔设置在管道底面的若干处,为淋浴头形状。未图示的水泵供给清洗水,喷射部4将清洗水向下喷射。
上述结构的清洗装置100中,由于输送辊1的旋转,送到输送辊1上的工件W(玻璃基板)在输送方向上进行输送,同时喷射部4喷射清洗水进行清洗。输送辊1各自的长度都比工件W在垂直于输送方向的方向上的长度还长,线状支承工件W。输送辊1的表面由弹性材料(本实施方式中是硅橡胶)形成,与由输送滚轮支承工件W的现有输送装置相比,增大了与工件W的接触面积,也提高了对工件W的抓力。还有,输送辊1的下端侧具有扩径部10a,而且输送辊1可绕轴旋转地架设成扩径部10a的外周面的一部分大致水平,因此,能够抑制工件W向下偏移,从而能够防止滑落。如此,实施方式一的清洗装置100的输送装置5能够稳定地输送工件W。还有,由于通过输送辊1的结构就足以能够稳定地输送工件W,因此不需要现有输送装置中使用的输送辊的下端侧所具备的颚部。所以,能够防止由于与顎部的摩擦而造成的工件W损伤以及顎部引起的玻璃破裂(例如,工件W落到相邻顎部之间引起的玻璃破裂)。
(实施方式二)
图3是实施方式二的清洗装置100b的示意性立体图,图4是清洗装置100b的示意性纵截面图。实施方式二的清洗装置100b的结构中,对于与实施方式一相同的结构附上相同的符号,省略其详细说明。
清洗装置100b具备输送辊1b、皮带轮12、2个边框20(第一边框20a和第二边框20b)、正时皮带3和喷射部4。
实施方式二中的输送辊1b与实施方式一中的输送辊1同样,具有旋转轴,即辊轴11,辊轴11以外的部分由硅橡胶等弹性材料形成。还有,输送辊1b上,除了扩径部10a,在第二边框20b侧即另一端侧(即上端侧)还具有扩径部10b,扩径部10b在朝向该另一端的方向上直径逐渐增大。例如,扩径部10b的最大直径是扩径部10a的最大直径以下。还有,与扩径部10a同样地,扩径部10b的外周面例如是纵截面轮廓为曲线的曲面。
与实施方式一同样地,实施方式二的清洗装置100b中,输送辊1b的表面由弹性材料形成,与现有使用输送滚轮的输送辊相比,输送辊1b与工件W的接触面积增大,因此对工件W的抓力也增加。而且,扩径部10a能够抑制工件W向输送辊1的下方偏移。还有,本实施方式中,输送辊1b在其两端具有扩径部10(扩径部10a和扩径部10b)。其中,两端的扩径部10与扩径部10以外的中央部在旋转量相同时的输送距离不同,扩径部10的输送距离较长。因此,扩径部10a起到将工件W向上推的作用,同时扩径部10b起到将推上来的工件W往下压的作用。由此,能够抑制工件W斜向前行,即使工件W倾斜也能够稳定地输送。
另外,在实施方式一和二中,工件W到达输送辊1、1b的扩径部10a的情况下,各输送辊1、1b以曲线支承工件W。因此,使扩径部10a和扩径部10b的外周面的曲率在工件W挠曲的容许范围内即可。由此,能够防止工件W的损伤。
公开的实施方式在所有方面都只是例示,应该认为其不是限制性的。本发明的范围不是上述的说明,而是由权利要求书来表示,并应理解为包括与专利权利要求均等的范围以及范围内的所有变更。
〔附图标记说明〕
W 工件(玻璃基板)
1、1b 输送辊
10a、10b 扩径部
20a、20b 边框
Claims (4)
1.一种输送装置,其特征在于具备:
第一边框;
第二边框,设置在比所述第一边框高的位置并与所述第一边框大致平行;以及
若干个输送辊,可绕轴旋转地架设在所述第一边框和所述第二边框上,所述若干个输送辊的表面由弹性体形成,所述若干个输送辊中,在所述第一边框侧即一端侧具有扩径部,所述扩径部在朝向所述一端的方向上直径逐渐增大。
2.根据权利要求1所述的输送装置,其特征在于,
所述输送辊相对于水平面的角度是所述扩径部相对于轴向的最大倾斜角度以下。
3.根据权利要求1或者2所述的输送装置,其特征在于,
所述输送辊中,在所述第二边框侧即另一端侧还具有另一端侧扩径部,所述另一端侧扩径部在朝向所述另一端的方向上直径逐渐增大。
4.一种清洗装置,其特征在于具备:
权利要求1至3中任一项所述的输送装置;和
喷射部,配置在所述输送装置的上方,向下喷射清洗水。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115445996A (zh) * | 2022-08-30 | 2022-12-09 | 天达科技股份有限公司 | 一种清洗装置 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR3049940B1 (fr) * | 2016-04-06 | 2018-04-13 | Saint- Gobain Glass France | Dispositif de support pour feuille de verre notamment dans une installation de lavage |
| CN107497758B (zh) * | 2017-09-11 | 2019-10-22 | 惠科股份有限公司 | 一种多尺寸玻璃基板清洗设备 |
| TWI716285B (zh) * | 2020-02-18 | 2021-01-11 | 韶陽科技股份有限公司 | 太陽能板回收設備及太陽能板的回收方法 |
| CN111463152B (zh) * | 2020-04-17 | 2023-03-14 | 重庆芯洁科技有限公司 | 半导体衬底的高压水洗设备及其使用方法 |
| CN112620281A (zh) * | 2020-12-10 | 2021-04-09 | 江苏欣鼎包装科技股份有限公司 | 一种功能型透明玻璃生产工艺及生产设备 |
| CN117983627A (zh) * | 2024-03-21 | 2024-05-07 | 浙江景昇薄膜科技有限公司 | 一种ito玻璃的清洗方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2925168A (en) * | 1954-11-08 | 1960-02-16 | United States Steel Corp | Apparatus for improving tracking of endless belts |
| CN1168819A (zh) * | 1996-06-10 | 1997-12-31 | 石井工业株式会社 | 物品分拣和输送装置 |
| JPH11186210A (ja) * | 1997-12-18 | 1999-07-09 | Sugai:Kk | 基板の乾燥方法および乾燥装置 |
| JP2005095788A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-14 | Seiko Epson Corp | 基板洗浄装置及び洗浄方法 |
| JP2005217020A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| JP2007250871A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Olympus Corp | 基板搬送装置 |
| WO2012073196A1 (de) * | 2010-12-01 | 2012-06-07 | Roth & Rau Ag | Transportrolle |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3175908B2 (ja) * | 1995-05-25 | 2001-06-11 | シャープ株式会社 | 液処理装置の基板搬送装置 |
| JP3957419B2 (ja) * | 1998-12-09 | 2007-08-15 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
-
2016
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- 2016-01-29 US US16/073,538 patent/US20190035661A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2925168A (en) * | 1954-11-08 | 1960-02-16 | United States Steel Corp | Apparatus for improving tracking of endless belts |
| CN1168819A (zh) * | 1996-06-10 | 1997-12-31 | 石井工业株式会社 | 物品分拣和输送装置 |
| JPH11186210A (ja) * | 1997-12-18 | 1999-07-09 | Sugai:Kk | 基板の乾燥方法および乾燥装置 |
| JP2005095788A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-04-14 | Seiko Epson Corp | 基板洗浄装置及び洗浄方法 |
| JP2005217020A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| JP2007250871A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Olympus Corp | 基板搬送装置 |
| WO2012073196A1 (de) * | 2010-12-01 | 2012-06-07 | Roth & Rau Ag | Transportrolle |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115445996A (zh) * | 2022-08-30 | 2022-12-09 | 天达科技股份有限公司 | 一种清洗装置 |
| CN115445996B (zh) * | 2022-08-30 | 2024-02-20 | 天达科技股份有限公司 | 一种清洗装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2017130396A1 (ja) | 2017-08-03 |
| JP6516882B2 (ja) | 2019-05-22 |
| US20190035661A1 (en) | 2019-01-31 |
| JPWO2017130396A1 (ja) | 2019-01-10 |
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