TWI467687B - Glass substrate transfer device - Google Patents

Description

玻璃基板移載裝置

    本發明有關太陽能製程設備，尤其關於置放玻璃基板的石英架的移載設備。

    太陽能發電為極具發展潛力的再生能源，可有效減少碳排放量，而逐漸受到了重視，然而受到了物理極限的侷限，太陽能發電的效率一直無法有效的提升，造成太陽能發電的成本一直居高不下，因此如何降低太陽能發電的成本，為目前太陽能發電發展的重點方向。

    請參閱「圖1」所示，為習知太陽能製程設備之一，其為一玻璃基板移載裝置1，主要是用於將乘載於石英架2上的玻璃基板(圖未示)送入一充滿高壓氟的反應爐3內，此習知的玻璃基板移載裝置1，供於複數反應爐3內，置入或取出一石英架2。

    該玻璃基板移載裝置1，其包含一電動升降台4與疊設於該電動升降台4上的一置放架5，其中該電動升降台4可滑動的乘載於一軌道6上，使用者可自由推移該電動升降台4於該軌道6上滑移，並調整升降該電動升降台4的高度，讓該置放架5對準該反應爐3，使該置放架5可伸入該反應爐3內，以置入或取出石英架2。

    此習知玻璃基板移載裝置1，其為以手動操作推移的方式於該軌道6上滑移，因此速度相當緩慢，且該反應爐3只能設置於該軌道6的同一側，因而單一個玻璃基板移載裝置1可以對應的反應爐3數量受到了限制，無法充分發揮該玻璃基板移載裝置1的利用效率，因而產能有限，無法滿足大量生產的需求。

    爰是，本發明的主要目的在於揭露一種可以增加對應的反應爐數量且走行速度較快的玻璃基板移載裝置，以充分發揮該玻璃基板移載裝置的效能，而增加產能，滿足大量生產的需求。

    基於上述目的，本發明為一種玻璃基板移載裝置，供於複數反應爐內，置入或取出一石英架，其包含一軌道、一台車、一旋轉元件與一伸縮取物架，其中該複數反應爐分設於該軌道的兩側，該台車設有四軌道輪，該四軌道輪設於該軌道上，且該台車設有複數馬達，該複數馬達同步驅動該四軌道輪，而該旋轉元件設置於該台車，該伸縮取物架設置於該旋轉元件上。

    本發明藉由該台車於該軌道上的走行與該旋轉元件的轉動而可改變該伸縮取物架的位置，亦即可讓該伸縮取物架依序對準該複數反應爐，因此該伸縮取物架即可伸入該反應爐內而置入或取出該石英架。

    據此，本發明的該複數反應爐可以分設於該軌道的兩側，而增加可對應使用的反應爐數量，可充分發揮該玻璃基板移載裝置的利用效率，且本發明讓台車於該軌道上藉由該複數馬達的同步驅動而可快速走行，故可增加產量，滿足使用上的需求。

    茲有關本發明的詳細內容及技術說明，現以實施例來作進一步說明，但應瞭解的是，該等實施例僅為例示說明之用，而不應被解釋為本發明實施之限制。

    請參閱「圖2」與「圖3」所示，本發明為一種玻璃基板移載裝置10，供於複數反應爐20內，置入或取出一石英架30(如「圖6A」所示)，其包含一軌道40、一台車50、一旋轉元件60以及一伸縮取物架70，其中該複數反應爐20分設於該軌道40的兩側，該複數反應爐20可各自容納一個石英架30進入。

    該台車50設有四軌道輪501，該四軌道輪501設於該軌道40上，且該台車50設有複數馬達502，該複數馬達502同步驅動該四軌道輪501，且該複數馬達502可以為四個，且分別一對一且同步驅動該四軌道輪501，因而該台車50可藉該四軌道輪501而於該軌道40上走行。

    該旋轉元件60設置於該台車50，該旋轉元件60上設置一旋轉馬達601與一旋轉齒輪箱602，該旋轉馬達601透過該旋轉齒輪箱602的變速傳動而讓該旋轉元件60旋轉以對應不同側的反應爐20，且該伸縮取物架70設置於該旋轉元件60上，其中該伸縮取物架70可以具有依序疊設的一固定座71、一滑移板72與一取物部73，該固定座71固定於該旋轉元件60上，該滑移板72滑設於該固定座71上，且該固定座71設置一滑移馬達711與一滑移齒輪箱712，該滑移馬達711透過該滑移齒輪箱712的變速傳動而讓該滑移板72相對該固定座71線性位移以伸出該固定座71之外。

    請一併參閱「圖4」與「圖5」所示，該取物部73滑設於該滑移板72上，該取物部73設置一取物馬達731與一齒輪箱732，並該取物馬達731傳動該齒輪箱732，該齒輪箱732具一齒輪733，該齒輪733咬合一齒條734而讓該取物部73相對該滑移板72線性位移而伸出該滑移板72之外。又該取物部73可以包含一立柱74、一載板75，該立柱74為供滑設於該滑移板72，該載板75為上下移動的滑設於該立柱74上，並該立柱74設置一立柱馬達741、一立柱齒輪箱742、一導螺桿743與一螺帽744，該立柱馬達741透過該立柱齒輪箱742驅動該導螺桿743，以讓該導螺桿743上的該螺帽744帶動該載板75上下位移。

    且當該取物部73乘載石英架30時，為避免石英架30過重，導致重心偏移過多而有翻倒的危險，該載板75沿滑移方向可具有不同的重量配置，且該載板75的重量配置，隨可伸出該滑移板72之外的程度而正相關減少，亦即越外側的部分越輕。而其重量配置的方式，可以讓該取物部73沿滑移方向具有不同的厚度而達成。

    又該台車50可以掛設一光通訊元件51，該光通訊元件51為供與中央控制系統(圖未示)通訊，其可以無線傳送/接收訊號，並該台車50於該四軌道輪501的外側可各設有一定位感應器52，用以定位該台車50的位置以對準該反應爐20，且該台車50的前後位移側邊可以設置一安全感應器53，該安全感應器53於察覺有障礙物(如人、物品)位於該台車50的移動路徑時，即停止該台車50的動作。且該台車50的可以設置一走行定位器54，該走行定位器54可以回饋該台車50的位置而增加走行定位精度

    請再參閱「圖6A」~「圖6D」所示，為本發明的使用示意圖，以取出置放有玻璃基板31的石英架30為例說明，首先為先讓玻璃基板移載裝置10沿軌道40走行至要作業的反應爐20前，且藉該台車50的旋轉元件60來調整角度而處於對準該反應爐20的狀態(如「圖6A」所示)，接著該伸縮取物架70伸長長度，亦即讓該滑移板72相對該固定座71位移而伸出該固定座71之外，該取物部73相對該滑移板72位移而伸出該滑移板72之外，以使該取物部73伸入該反應爐20內，並進入該石英架30的下方(如「圖6B」所示)。接著，該取物部73讓該載板75相對該立柱74上移，而讓該載板75乘載該石英架30 (如「圖6C」所示)。最後，該伸縮取物架70縮回，而將該石英架30取出該反應爐20(如「圖6D」所示)。

    如上所述，本發明讓該複數反應爐20分設於軌道40的兩側，故可增加對應反應爐20的數量，其可充分發揮玻璃基板移載裝置10的運載能力。又本發明讓台車50於該軌道40上藉由該複數馬達502的同步驅動而走行，故移動速度快，可縮短製程時間而滿足提升產量的需求。

    惟上述僅為本發明之較佳實施例而已，並非用來限定本發明實施之範圍。即凡依本發明申請專利範圍所做的均等變化與修飾，皆為本發明專利範圍所涵蓋。

習知

1．．．玻璃基板移載裝置

2．．．石英架

3．．．反應爐

4．．．電動升降台

5．．．置放架

6．．．軌道

本發明

10．．．玻璃基板移載裝置

20．．．反應爐

30．．．石英架

31．．．玻璃基板

40．．．軌道

50．．．台車

51．．．光通訊元件

52．．．定位感應器

53．．．安全感應器

54．．．走行定位器

501．．．軌道輪

502．．．馬達

60．．．旋轉元件

601．．．旋轉馬達

602．．．旋轉齒輪箱

70．．．伸縮取物架

71．．．固定座

711．．．滑移馬達

712．．．滑移齒輪箱

72．．．滑移板

73．．．取物部

731．．．取物馬達

732．．．齒輪箱

733．．．齒輪

734．．．齒條

74．．．立柱

741．．．立柱馬達

742．．．立柱齒輪箱

743．．．導螺桿

744．．．螺帽

75．．．載板

圖1，為習知玻璃基板移載裝置結構圖。

圖2，為本發明玻璃基板移載裝置結構圖。

圖3，為本發明玻璃基板移載裝置配置位置圖。

圖4，為本發明取物部驅動結構圖。

圖5，為本發明載板驅動結構圖。

圖6A~圖6D，為本發明使用示意圖。

10．．．玻璃基板移載裝置

50．．．台車

51．．．光通訊元件

52．．．定位感應器

53．．．安全感應器

54．．．走行定位器

501．．．軌道輪

502．．．馬達

60．．．旋轉元件

601．．．旋轉馬達

602．．．旋轉齒輪箱

70．．．伸縮取物架

71．．．固定座

711．．．滑移馬達

712．．．滑移齒輪箱

72．．．滑移板

73．．．取物部

731．．．取物馬達

732．．．齒輪箱

74．．．立柱

741．．．立柱馬達

742．．．立柱齒輪箱

75．．．載板

Claims (10)

1. 一種玻璃基板移載裝置，供於複數反應爐內，置入或取出一石英架，其包含：
   一軌道，該複數反應爐分設於該軌道的兩側；
   一台車，該台車設有四軌道輪，該四軌道輪設於該軌道上，且該台車設有複數馬達，該複數馬達同步驅動該四軌道輪；
   一旋轉元件，該旋轉元件設置於該台車；以及
   一伸縮取物架，該伸縮取物架設置於該旋轉元件上。
2. 如申請專利範圍第1項所述的玻璃基板移載裝置，其中該旋轉元件上設置一旋轉馬達與一旋轉齒輪箱，該旋轉馬達透過該旋轉齒輪箱的變速傳動而讓該旋轉元件旋轉。
3. 如申請專利範圍第1項所述的玻璃基板移載裝置，其中該伸縮取物架具有依序疊設的一固定座、一滑移板與一取物部，該固定座固定於該旋轉元件上，該滑移板滑設於該固定座上，而相對線性位移而伸出該固定座之外，該取物部滑設於該滑移板上而相對線性位移而伸出該滑移板之外。
4. 如申請專利範圍第3項所述的玻璃基板移載裝置，其中該固定座設置一滑移馬達與一滑移齒輪箱，該滑移馬達透過該滑移齒輪箱的變速傳動而讓該滑移板相對該固定座線性位移。
5. 如申請專利範圍第3項所述的玻璃基板移載裝置，其中該取物部設置一取物馬達與一齒輪箱，並藉該取物馬達傳動該齒輪箱，該齒輪箱具一齒輪，並該齒輪咬合一齒條而讓該取物部相對該滑移板線性位移。
6. 如申請專利範圍第3項所述的玻璃基板移載裝置，其中該取物部包含一立柱與一載板，該載板上下移動的滑設於該立柱上，且該立柱滑設於該滑移板，而使該載板伸出該滑移板之外。
7. 如申請專利範圍第6項所述的玻璃基板移載裝置，其中該立柱設置一立柱馬達、一立柱齒輪箱、一導螺桿與一螺帽，該立柱馬達透過該立柱齒輪箱驅動該導螺桿，以讓該導螺桿上的該螺帽帶動該載板上下位移。
8. 如申請專利範圍第6項所述的玻璃基板移載裝置，其中該載板沿滑移方向具有不同的重量配置，且該載板的重量配置，隨可伸出該滑移板之外的程度而正相關減少。
9. 如申請專利範圍第8項所述的玻璃基板移載裝置，其中該載板沿滑移方向具有不同的厚度。
10. 如申請專利範圍第1項所述的玻璃基板移載裝置，其中該複數馬達為四個，且分別一對一且同步驅動該四軌道輪。