JP3919464B2 - 搬送装置、洗浄装置及び現像装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶製造工程において液晶ディスプレイ(Liquid Crystal Display:LCD)等に使用されるガラス基板を搬送する搬送装置、基板の洗浄を行う洗浄装置及び現像処理を行う現像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
LCDの製造工程において、LCD用のガラス基板上にITO(Indium Tin Oxide)の薄膜や電極パターンを形成するために、半導体デバイスの製造に用いられるものと同様のフォトリソグラフィ技術が利用される。フォトリソグラフィ技術では、フォトレジストをガラス基板に塗布し、これを露光し、さらに現像する。
【0003】
これらレジスト塗布、露光及び現像の一連の処理は、従来から、塗布、現像あるいはベーキング等の各処理を行う塗布現像処理システムによって行われており、処理ユニットへガラス基板を搬送する手段として、例えばガラス基板を真空吸着により保持する搬送アームを使用したり、あるいは回転軸を有する複数の搬送ローラ上にガラス基板を載置させ、この搬送ローラの回転により基板を搬送するコロ搬送を使用したりしている。
【0004】
そこで、このようなコロ搬送装置として、例えば特開平11−208839号公報には、非接触状態に近接対向する永久磁石を介して駆動軸の回転を搬送ローラのローラ軸に伝えるようにし、これにより、従来のようなギヤ同士の噛合部分や、ベルトとプーリとの接触部分といった複雑な構成を単純化でき、発塵を防止できる搬送装置が開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記公報に開示された搬送装置では、搬送ローラ30両端のローラ軸31は支持枠材20に軸受21を介して挿通されているのみであり、例えば、搬送ローラ30を取り外すことができない構造となっているので、軸受21部分や搬送ローラ30、永久磁石33等のメンテナンス、あるいは搬送ローラ30より下方にある機械類のメンテナンスが困難である。
【0006】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、発塵を防止でき、メンテナンス等を容易に行うことができる搬送装置を提供することにあり、また、この搬送装置を用いた洗浄装置及び現像装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の第1の観点は、回転可能な軸部材に設けられ、基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも1対のローラと、上端に切り欠き部を有し、該切り欠き部で前記軸部材を着脱自在に軸支する保持部と、前記軸部材に接続され、表面に第1の磁石が配置された第1のギヤと、前記第1のギヤに対して隙間を空けて設けられ、前記第1のギヤの表面形状に対向して第2の磁石が配置された第2のギヤと、前記第2のギヤを回転駆動させる駆動部と、前記第1のギヤの近傍に配置され、該第1のギヤが所定の位置に配置されたことを検知する手段とを具備し、前記検知手段は前記第1の磁石による磁場を検出する磁気センサであることを特徴とする。
【0008】
このような構成によれば、第1のギヤと第2のギヤとが隙間を空けて配置され、それぞれの各ギヤに設けられた第1の磁石と第2の磁石の間の吸引力により駆動部の駆動力が1対のローラに伝達されるように構成されているので、ギヤ同士が接触することはなく発塵を防止することができる。
【0009】
また、切り欠き部で軸部材を着脱自在に軸支する構成としたので、メンテナンスの際に軸部材を容易に取り外しでき、メンテナンスを容易に行うことができる。
さらに、このような構成によれば、第1のギヤが正常位置に配置されたことを確認することができ、第1のギヤが所定の正常位置に配置されずにギヤ部が機能しないという事態を防止できる。
本発明の第2の観点は、回転可能な軸部材に設けられ、基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも1対のローラと、上端に切り欠き部を有し、該切り欠き部で前記軸部材を着脱自在に軸支する保持部と、前記軸部材に接続され、表面に第1の磁石が配置された第1のギヤと、前記第1のギヤに対して隙間を空けて設けられ、前記第1のギヤの表面形状に対向して第2の磁石が配置された第2のギヤと、前記第2のギヤを回転駆動させる駆動部と、前記第1のギヤの近傍に配置され、該第1のギヤが所定の位置に配置されたことを検知する手段とを具備し、前記検知手段は、前記第1のギヤが所定の位置に配置されたときに、前記第1の磁石の近傍位置に引きつけられる可動部を備え、前記可動部が前記第1の磁石の近傍位置に引きつけられることにより、前記第1のギヤが正常位置に配置されたことを確認するスイッチが接続されること特徴とする。
このような構成によれば、第1のギヤと第2のギヤとが隙間を空けて配置され、それぞれの各ギヤに設けられた第1の磁石と第2の磁石の間の吸引力により駆動部の駆動力が1対のローラに伝達されるように構成されているので、ギヤ同士が接触することはなく発塵を防止することができる。
また、切り欠き部で軸部材を着脱自在に軸支する構成としたので、メンテナンスの際に軸部材を容易に取り外しでき、メンテナンスを容易に行うことができる。
このような構成によれば、第1の磁石の磁力を利用した簡単な構成で、第1のギヤが正常位置に配置されたことを確認することができる。
【0019】
本発明の第3の観点は、回転可能な軸部材に設けられ、基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも1対のローラと、上端に切り欠き部を有し、該切り欠き部で前記軸部材を着脱自在に軸支する保持部と、前記軸部材に接続され、表面に第1の磁石が配置された第1のギヤと、前記第1のギヤに対して隙間を空けて設けられ、前記第1のギヤの表面形状に対向して第2の磁石が配置された第2のギヤと、前記第2のギヤを回転駆動させる駆動部と、前記第1のギヤの近傍に配置され、該第1のギヤが所定の位置に配置されたことを検知する手段とを備える搬送装置と、前記1対のローラにより搬送される基板の上部にそれぞれ配置され、基板に対して回転しながら基板を洗浄するブラシと、前記ブラシにより洗浄された基板上に洗浄液を供給する手段と、基板上にエアを吹きつけて乾燥させる手段とを具備し、前記検知手段は前記第1の磁石による磁場を検出する磁気センサであることを特徴とする。
本発明の第4の観点は、回転可能な軸部材に設けられ、基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも1対のローラと、上端に切り欠き部を有し、該切り欠き部で前記軸部材を着脱自在に軸支する保持部と、前記軸部材に接続され、表面に第1の磁石が配置された第1のギヤと、前記第1のギヤに対して隙間を空けて設けられ、前記第1のギヤの表面形状に対向して第2の磁石が配置された第2のギヤと、前記第2のギヤを回転駆動させる駆動部と、前記第1のギヤの近傍に配置され、該第1のギヤが所定の位置に配置されたことを検知する手段とを備える搬送装置と、前記1対のローラにより搬送される基板の上部にそれぞれ配置され、基板に対して回転しながら基板を洗浄するブラシと、前記ブラシにより洗浄された基板上に洗浄液を供給する手段と、基板上にエアを吹きつけて乾燥させる手段とを具備し、前記検知手段は、前記第1のギヤが所定の位置に配置されたときに、前記第1の磁石の近傍位置に引きつけられる可動部を備え、前記可動部が前記第1の磁石の近傍位置に引きつけられることにより、前記第1のギヤが正常位置に配置されたことを確認するスイッチが接続されること特徴とする。
【0020】
このような構成によれば、保持部材に切り欠き部を設けることにより軸部材を第1のギヤ、1対のローラ及とともに、着脱自在に容易に取り外せる構成としたので、例えば、軸部材の軸受け部分や第1のギヤ、あるいは装置下部の機械類のメンテナンスを容易に行うことができる。特に、本洗浄装置においては、洗浄処理に使用する洗浄液等が上記搬送装置に付着する場合があり定期的なメンテナンスが必要とされるのでより効果的である。
また、第1のギヤと第2のギヤとが隙間を空けて配置され、それぞれの各ギヤに設けられた第1の磁石と第2の磁石の間の吸引力により駆動部の駆動力が1対のローラに伝達されるように構成されているので、ギヤ同士が接触することはなく発塵を防止することができる。
さらに、切り欠き部で軸部材を着脱自在に軸支する構成としたので、メンテナンスの際に軸部材を容易に取り外しでき、メンテナンスを容易に行うことができる。
そして、第1の磁石の磁力を利用した簡単な構成で、第1のギヤが正常位置に配置されたことを確認することができる。
【0021】
本発明の一の形態によれば、前記ブラシ、前記洗浄液供給手段及び前記乾燥手段を基板の搬送方向に対して相対的に移動させる移動手段と、前記移動手段の移動速度を可変にする手段とを更に具備する。
【0022】
このような構成によれば、ブラシ、洗浄液供給手段及び前記乾燥手段の移動速度が可変とされているので、搬送装置による基板の搬送速度を一定の速度に定めた場合であっても、多種の基板の処理内容に応じて移動速度を定め洗浄処理を行うことができる。
【0023】
本発明の第5の観点は、回転可能な軸部材に設けられ、基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも1対のローラと、上端に切り欠き部を有し、該切り欠き部で前記軸部材を着脱自在に軸支する保持部と、前記軸部材に接続され、表面に第1の磁石が配置された第1のギヤと、前記第1のギヤに対して隙間を空けて設けられ、前記第1のギヤの表面形状に対向して第2の磁石が配置された第2のギヤと、前記第2のギヤを回転駆動させる駆動部と、前記第1のギヤの近傍に配置され、該第1のギヤが所定の位置に配置されたことを検知する手段とを備える搬送装置と、前記1対のローラにより搬送される基板の上部にそれぞれ配置され、基板上に現像液を供給する手段と、前記現像液が供給された基板上にリンス液を供給する手段と、基板上にエアを吹きつけて乾燥させる手段とを具備し、前記検知手段は前記第1の磁石による磁場を検出する磁気センサであることを特徴とする。
本発明の第6の観点は、回転可能な軸部材に設けられ、基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも1対のローラと、上端に切り欠き部を有し、該切り欠き部で前記軸部材を着脱自在に軸支する保持部と、前記軸部材に接続され、表面に第1の磁石が配置された第1のギヤと、前記第1のギヤに対して隙間を空けて設けられ、前記第1のギヤの表面形状に対向して第2の磁石が配置された第2のギヤと、前記第2のギヤを回転駆動させる駆動部と、前記第1のギヤの近傍に配置され、該第1のギヤが所定の位置に配置されたことを検知する手段とを備える搬送装置と、前記1対のローラにより搬送される基板の上部にそれぞれ配置され、基板上に現像液を供給する手段と、前記現像液が供給された基板上にリンス液を供給する手段と、基板上にエアを吹きつけて乾燥させる手段とを具備し、前記検知手段は、前記第1のギヤが所定の位置に配置されたときに、前記第1の磁石の近傍位置に引きつけられる可動部を備え、前記可動部が前記第1の磁石の近傍位置に引きつけられることにより、前記第1のギヤが正常位置に配置されたことを確認するスイッチが接続されること特徴とする。
【0024】
このような構成によれば、保持部材に切り欠き部を設けることにより軸部材を第1のギヤ、1対のローラ及とともに容易に取り外せる構成としたので、例えば、軸部材の軸受け部分や第1のギヤのメンテナンスを容易に行うことができる。特に、本現像装置においては、現像処理に使用する現像液等が上記搬送装置に付着する場合があり定期的なメンテナンスが必要とされるのでより効果的である。
また、第1のギヤと第2のギヤとが隙間を空けて配置され、それぞれの各ギヤに設けられた第1の磁石と第2の磁石の間の吸引力により駆動部の駆動力が1対のローラに伝達されるように構成されているので、ギヤ同士が接触することはなく発塵を防止することができる。
さらに、切り欠き部で軸部材を着脱自在に軸支する構成としたので、メンテナンスの際に軸部材を容易に取り外しでき、メンテナンスを容易に行うことができる。
そして、第1の磁石の磁力を利用した簡単な構成で、第1のギヤが正常位置に配置されたことを確認することができる。
【0025】
本発明の一の形態によれば、前記現像液供給手段、前記リンス液供給手段及び前記乾燥手段を基板の搬送方向に対して相対的に移動させる移動手段と、前記移動手段の移動速度を可変にする手段とを更に具備する。
【0026】
このような構成によれば、現像液供給手段、前記リンス液供給手段及び前記乾燥手段の移動速度が可変とされているので、搬送装置による基板の搬送速度を一定の速度に定めた場合であっても、多種の基板の処理内容に応じて移動速度を定め現像処理を行うことができる。
本発明の一の形態によれば、前記第1のギヤ又は第2のギヤのうち少なくとも一方は、前記磁石が螺旋状に配置されていることを特徴とする。
このような構成によれば、例えば上記公報に記載の搬送装置では、永久磁石を回転方向に並設しただけの構成であるので、回転中に永久磁石の吸引力に大小の「波」が生じることにより搬送ローラの回転動作の滑らかさが得られず、基板の搬送に悪影響を与えるおそれがあったが、本実施形態では、第1のギヤにおける第1の磁石及び第2のギヤにおける第2の磁石を螺旋状に配置する構成としたことにより、ギヤ同士の回転動作を滑らかにすることができる。従って基板に悪影響を与えることなく搬送できる。
本発明の一の形態によれば、前記ローラ、前記保持部、前記第1のギヤ、前記第2のギヤ及び前記検知手段を覆うカバー部材を更に具備することを特徴とする。
なお、前記第1のギヤの表面は略鞍型形状であり、前記第2のギヤの表面は、前記第1のギヤの略鞍型形状に対応した曲面であるようにしてもよい。
このような構成によれば、第1のギヤの表面と第2のギヤの表面との対向面積を大きくすることができ、確実に駆動部の動力を伝達することができる。
【0027】
本発明の更なる特徴と利点は、添付した図面及び発明の実施の形態の説明を参酌することによりより一層明らかになる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
【0029】
図1は本発明の搬送装置が適用されるLCD基板の塗布現像処理システムを示す平面図であり、図2はその正面図、また図3はその背面図である。
【0030】
この塗布現像処理システム1は、複数のガラス基板Gを収容するカセットCを載置するカセットステーション2と、基板Gにレジスト塗布および現像を含む一連の処理を施すための複数の処理ユニットを備えた処理部3と、露光装置32との間で基板Gの受け渡しを行うためのインターフェース部4とを備えており、処理部3の両端にそれぞれカセットステーション2及びインターフェース部4が配置されている。
【0031】
カセットステーション2は、カセットCと処理部3との間でLCD基板の搬送を行うための搬送機構10を備えている。そして、カセットステーション2においてカセットCの搬入出が行われる。また、搬送機構10はカセットの配列方向に沿って設けられた搬送路12上を移動可能な搬送アーム11を備え、この搬送アーム11によりカセットCと処理部3との間で基板Gの搬送が行われる。
【0032】
処理部3には、カセットステーション2におけるカセットCの配列方向(Y方向)に垂直方向(X方向)に延設された主搬送部3aと、この主搬送部3aに沿って、レジスト塗布処理ユニット(CT)を含む各処理ユニットが並設された上流部3b及び現像処理ユニット(DEV)18を含む各処理ユニットが並設された下流部3cとが設けられている。
【0033】
主搬送部3aには、X方向に延設された搬送路31と、この搬送路31に沿って移動可能に構成されガラス基板GをX方向に搬送する搬送シャトル23とが設けられている。この搬送シャトル23は、例えば支持ピンにより基板Gを保持して搬送するようになっている。また、主搬送部3aのインターフェース部4側端部には、処理部3とインターフェース部4との間で基板Gの受け渡しを行う垂直搬送ユニット7が設けられている。
【0034】
上流部3bにおいて、カセットステーション2側端部には、基板Gに洗浄処理を施すスクラバ洗浄処理ユニット(SCR)20が設けられ、このスクラバ洗浄処理ユニット(SCR)20の上段に基板G上の有機物を除去するためのエキシマUV処理ユニット(e−UV)19が配設されている。スクラバ洗浄処理ユニット(SCR)20には、本発明に係るコロ搬送型の搬送装置50が設けられており、これについては後述する。
【0035】
スクラバ洗浄処理ユニット(SCR)20の隣には、ガラス基板Gに対して熱的処理を行うユニットが多段に積み上げられた熱処理系ブロック24及び25が配置されている。これら熱処理系ブロック24と25との間には、垂直搬送ユニット5が配置され、搬送アーム5aがZ方向及び水平方向に移動可能とされ、かつθ方向に回動可能とされているので、両ブロック24及び25における各熱処理系ユニットにアクセスして基板Gの搬送が行われるようになっている。なお、上記処理部3における垂直搬送ユニット7についてもこの垂直搬送ユニット5と同一の構成を有している。
【0036】
図2に示すように、熱処理系ブロック24には、基板Gにレジスト塗布前の加熱処理を施すベーキングユニット(BEKE)が2段、HMDSガスにより疎水化処理を施すアドヒージョンユニット(AD)が下から順に積層されている。一方、熱処理系ブロック25には、基板Gに冷却処理を施すクーリングユニット(COL)が2段、アドヒージョンユニット(AD)が下から順に積層されている。
【0037】
熱処理系ブロック25に隣接してレジスト処理ブロック15がX方向に延設されている。このレジスト処理ブロック15は、基板Gにレジストを塗布するレジスト塗布処理ユニット(CT)と、減圧により前記塗布されたレジストを乾燥させる減圧乾燥ユニット(VD)と、基板Gの周縁部のレジストを除去するエッジリムーバ(ER)とが一体的に設けられて構成されている。このレジスト処理ブロック15には、レジスト塗布処理ユニット(CT)からエッジリムーバ(ER)にかけて移動する図示しないサブアームが設けられており、このサブアームによりレジスト処理ブロック15内で基板Gが搬送されるようになっている。
【0038】
レジスト処理ブロック15に隣接して多段構成の熱処理系ブロック26が配設されており、この熱処理系ブロック26には、基板Gにレジスト塗布後の加熱処理を行うプリベーキングユニット(PREBAKE)が3段積層されている。
【0039】
下流部3cにおいては、図3に示すように、インターフェース部4側端部に熱処理系ブロック29が設けられており、これには、クーリングユニット(COL)、露光後現像処理前の加熱処理を行うポストエクスポージャーベーキングユニット(PEBAKE)が2段、下から順に積層されている。。
【0040】
熱処理系ブロック29に隣接して現像処理を行う現像処理ユニット(DEV)18がX方向に延設されている。この現像処理ユニット(DEV)18の隣には熱処理系ブロック28及び27が配置され、これら熱処理系ブロック28と27との間には、上記垂直搬送ユニット5と同一の構成を有し、両ブロック28及び27における各熱処理系ユニットにアクセス可能な垂直搬送ユニット6が設けられている。また、現像処理ユニット(DEV)18端部の上には、i線処理ユニット(i―UV)33が設けられている。現像処理ユニット(DEV)18には、上記コロ搬送型の搬送装置50と同一の構成を有する搬送装置51が設けられている。
【0041】
熱処理系ブロック28には、クーリングユニット(COL)、基板Gに現像後の加熱処理を行うポストベーキングユニット(POBAKE)が2段、下から順に積層されている。一方、熱処理系ブロック27も同様に、クーリングユニット(COL)、ポストベーキングユニット(POBAKE)が2段、下から順に積層されている。
【0042】
インターフェース部4には、正面側にタイトラー及び周辺露光ユニット(Titler/EE)22が設けられ、垂直搬送ユニット7に隣接してエクステンションクーリングユニット(EXTCOL)35が、また背面側にはバッファカセット34が配置されており、これらタイトラー及び周辺露光ユニット(Titler/EE)22とエクステンションクーリングユニット(EXTCOL)35とバッファカセット34と隣接した露光装置32との間で基板Gの受け渡しを行う垂直搬送ユニット8が配置されている。この垂直搬送ユニット8も上記垂直搬送ユニット5と同一の構成を有している。
【0043】
図4及び図5は第1の実施形態に係る搬送装置50、51のそれぞれ平面図及び側面図を示す。なお、このスクラバ洗浄処理ユニット(SCR)20における搬送装置50と現像処理ユニット(DEV)における搬送装置51とは、その長手方向の長さが異なる他、その構成は同一である。
【0044】
この搬送装置50、51の架台60の側部にはモータ44が取り付けられ、このモータ44によりシャフト54が回転可能にガラス基板Gの搬送方向(X方向)に沿って軸架されている。架台60の上部左右には、保持部材41が搬送方向に延設されており、これら保持部材41間には、上端に形成された切り欠き部41aで1対のベアリング45により軸支された複数の軸部材53が掛け渡され、これら軸部材53にはガラス基板Gの両端を支持するとともに回転により搬送する1対の搬送ローラ43が取り付けられている。
【0045】
1対の搬送ローラ43にはそれぞれ凸部43aが設けられており、この凸部43a上にガラス基板Gが載置されるようになっている。また、凸部43aにはその基板Gの載置面に沿って図示しないOリングが装着され基板Gの搬送時における衝撃が吸収されるようになっている。
【0046】
また、ガラス基板Gの搬送の際に基板Gの撓みを防止するために、軸部材53には1対の搬送ローラ43の間に基板Gの裏面側を支持する支持ローラ64が設けられている。
【0047】
図5を参照して、この搬送装置50、51の両端部には、上述したように外部との間で基板Gの受け渡しを行うための複数の受け渡しピン46が配置され、図6に示すように、これら複数の受け渡しピン46は駆動部58の昇降駆動により連結部材47を介して一体的に、基板Gの裏面側から昇降駆動されるようになっている。
【0048】
図6に示すように、上記ベアリング45は切り欠き部41aにおける溝部41bに軸部材53とともに着脱自在に嵌合している。軸部材53の一端には、略鞍型形状の第1のギヤ52が設けられており、図7に示すように、この第1のギヤ52の略鞍型形状部分の表面には、複数の永久磁石48が軸部材53の軸方向(Y方向)に螺旋状に配置されている。そしてこの第1のギヤ52との間に隙間を設けて、略鞍型形状に対応して断面が円形状の上記シャフト54が設けられている。図8に示すように、このシャフト54の表面部分には、第2のギア55として複数の永久磁石49が第1のギヤ52における複数の永久磁石48に対応する位置及び大きさで螺旋状に配置されている。このような構成によってモータ44の駆動により第2のギヤ55が回転し、磁石48と磁石49とが引きつけられて第1のギヤ52が回転することで基板Gが搬送されるようになっている。
【0049】
以上のように、第1のギヤ52と第2のギヤ55とが隙間を空けて配置され、それぞれのギヤ52及び55に設けられた永久磁石48と49との吸引力によりモータ44の駆動力が搬送ローラ43に伝達されるように構成されているので、ギヤ同士が接触することはなく発塵を防止することができる。
【0050】
また、本実施形態の第1のギヤ52の表面形状を略鞍型形状とすることにより、第2のギヤ55の表面形状と第1のギヤ52の表面形状との対向面積を大きくすることができ、確実にモータ44の動力を伝達することができる。
【0051】
また、上記公報に記載の搬送装置では、永久磁石を回転方向に並設しただけの構成であるので、回転中に永久磁石の吸引力に大小の「波」が生じることにより搬送ローラの回転動作の滑らかさが得られず、基板の搬送に悪影響を与えるおそれがあったが、本実施形態では、第1のギヤにおける永久磁石48及び第2のギヤ55における永久磁石49を螺旋状に配置する構成としたことにより、ギヤ同士の回転動作を滑らかにすることができる。
【0052】
また、本実施形態では、保持部材41に切り欠き部41aを設けることにより軸部材53をベアリング45、第1のギヤ52、搬送ローラ43及び支持ローラ64とともに容易に取り外せる構成としたので、例えば、ベアリング45や第1のギヤ52、あるいは上記受け渡しピン46を備える受け渡し装置等のメンテナンスを容易に行うことができる。特に、搬送装置50、51をスクラバ洗浄処理ユニット(SCR)20及び現像処理ユニット(DEV)18に適用する場合には、洗浄処理に使用する洗浄液、あるいは現像処理に使用する現像液等が付着する場合があり定期的なメンテナンスが必要とされるのでより効果的である。
【0053】
図9及び図10は、第1のギヤ及び第2のギヤの他の実施形態を示す正面図である。この第1のギヤ91は、図9に示すように磁石93をそのN極とS極を交互に隙間なく配置させて構成されている。また、図10に示すように、第2のギヤ92は、軸部材54に磁石94を螺旋状に隙間なく配置させている。このような構成によってもギヤ同士の回転動作を滑らかにすることができる。
【0054】
次に、以上説明した搬送装置50、51を使用したスクラバ洗浄処理ユニット(SCR)20及び現像処理ユニット(DEV)18の構成について説明する。
【0055】
図11は上記スクラバ洗浄処理ユニット(SCR)20の側面図であり、図12、図13及び図14はそれぞれ図11におけるA−A線、B−B線及びC−C線方向の断面図である。搬送装置50の上部には外カバー71が設けられ、この外カバー71には、ガラス基板Gが搬送されてくる上流側から順にロールブラシ72、高圧リンスノズル74及びエアナイフ75がそれぞれ取付部材77を介して取り付けられている。これらロールブラシ72、高圧リンスノズル74及びエアナイフ75を含む処理空間は内カバー76で覆われている。
【0056】
ロールブラシ72は、例えば基板Gに洗浄液を供給しながら基板Gに回転接触して比較的大きなゴミ等や汚れが除去されるように構成されている。高圧リンスノズル74は、例えばノズルに設けられた図示しない微小孔から高圧洗浄液が噴出されることにより、基板Gの微小なゴミ等が除去されるように構成されている。エアナイフ75は、基板Gに対して高圧のエアを吹き付けることにより基板Gを即座に乾燥させるように構成されている。
【0057】
なお、本実施形態において、高圧リンスノズル74に代えて超音波振動を与えた洗浄液により洗浄処理を行うようにすることも可能である。
【0058】
図12〜図14に示すように、外カバー71は基板Gの方向に延設されたレール82に沿ってローラ81により移動可能に構成されている。この移動機構としては、例えば図示しないが、モータによるベルト駆動を使用するようにしてもよいし、あるいはボイスコイルモータ(VCM)等のリニアモータ式の移動機構を使用するようにしてもよい。このモータの回転数、あるいはリニアモータのコイルの周波数は可変に制御されるようになっており、基板Gの搬送方向に対して相対的に速度を可変として移動するように構成されている。
【0059】
図15は上記現像処理ユニット(DEV)18の側面図であり、図16、図17及び図18はそれぞれ図15におけるA−A線、B−B線及びC−C線方向の断面図である。なお、図15〜18において、図11〜図14における構成要素と同一のものについては同一の符号を付すものとする。
【0060】
この現像処理ユニット(DEV)18の外カバー71には、ガラス基板Gが搬送されてくる上流側から順に現像液ノズル83、リンスノズル84及びエアナイフ75がそれぞれ取付部材77を介して取り付けられている。これら現像液ノズル83、リンスノズル84及びエアナイフ75を含む処理空間は内カバー76で覆われている。
【0061】
現像液ノズル83は、基板G表面に現像液を供給し現像処理を行うためのノズルである。リンスノズル84は、リンス液を基板Gに供給し基板G上の現像液を洗い流すためのノズルである。また、エアナイフ75は、上記スクラバ洗浄処理ユニット(SCR)20におけるエアナイフ75と同一のものである。
【0062】
図16〜図18に示すように、スクラバ洗浄処理ユニット(SCR)20と同様に外カバー71は基板Gの方向に延設されたレール82に沿ってローラ81により移動可能に構成されており、この移動機構としては、例えば図示しないが、モータによるベルト駆動を使用するようにしてもよいし、あるいはボイスコイルモータ(VCM)等のリニアモータ式の移動機構を使用するようにしてもよい。このモータの回転数、あるいはリニアモータのコイルの周波数は可変に制御されるようになっており、基板Gの搬送方向に対して相対的に速度を可変として移動するように構成されている。
【0063】
以上のように構成された塗布現像処理システム1の処理工程については、先ずカセットC内の基板Gが処理部3部における上流部3bに搬送される。上流部3bでは、エキシマUV処理ユニット(e−UV)19において表面改質・有機物除去処理が行われる。
【0064】
次にスクラバ洗浄処理ユニット(SCR)20において、搬送装置50により基板Gが略水平に搬送されながら、先ずロールブラシ72による洗浄処理が行われ、続いて高圧リンス74による高圧洗浄が行われ、最後にエアナイフ75による乾燥処理が行われる。ここで、外カバー71が基板Gの搬送方向に対して相対的に移動可能とされ、この移動速度が可変とされているので、搬送装置50による基板Gの搬送速度を一定の速度に定めた場合であっても、多種の基板Gの処理内容に応じて移動速度を定め処理を行うことができる。
【0065】
続いて熱処理系ブロック24の最下段部で垂直搬送ユニットにおける搬送アーム5aにより基板Gが取り出され、同熱処理系ブロック24のベーキングユニット(BEKE)にて加熱処理、アドヒージョンユニット(AD)にて疎水化処理が行われ、熱処理系ブロック25のクーリングユニット(COL)による冷却処理が行われる。
【0066】
次に、基板Gは搬送アーム5aから搬送シャトル23に受け渡される。そしてレジスト塗布処理ユニット(CT)に搬送され、レジストの塗布処理が行われた後、減圧乾燥処理ユニット(VD)にて減圧乾燥処理、エッジリムーバ(ER)にて基板周縁のレジスト除去処理が順次行われる。
【0067】
次に、基板Gは搬送シャトル23から垂直搬送ユニット7の搬送アームに受け渡され、熱処理系ブロック26におけるプリベーキングユニット(PREBAKE)にて加熱処理が行われた後、熱処理系ブロック29におけるクーリングユニット(COL)にて冷却処理が行われる。続いて基板Gはエクステンションクーリングユニット(EXTCOL)35にて冷却処理されるとともに露光装置にて露光処理される。
【0068】
次に、基板Gは垂直搬送ユニット8及び7の搬送アームを介して熱処理系ブロック29のポストエクスポージャーベーキングユニット(PEBAKE)に搬送され、ここで加熱処理が行われた後、クーリングユニット(COL)にて冷却処理が行われる。そして基板Gは垂直搬送ユニット7の搬送アームを介して熱処理系ブロック29の最下段において搬送装置51の受け渡しピン46に受け渡される。
【0069】
そして基板Gは現像処理ユニット(DEV)において、搬送装置51により基板Gが略水平に搬送されながら、先ず基板Gに現像液ノズル83による現像液供給が行われ、続いてリンスノズル84によるリンス処理が行われ、最後にエアナイフ75による乾燥処理が行われる。ここでも外カバー71が基板Gの搬送方向に対して相対的に移動可能とされ、この移動速度が可変とされているので、搬送装置51による基板Gの搬送速度を一定の速度に定めた場合であっても、多種の基板Gの処理内容に応じて移動速度を定め処理を行うことができる。
【0070】
次に、基板Gは熱処理系ブロック28における最下段から垂直搬送ユニット6の搬送アーム6aにより受け渡され、熱処理系ブロック28又は27におけるポストベーキングユニット(POBAKE)にて加熱処理が行われ、クーリングユニット(COL)にて冷却処理が行われる。そして基板Gは搬送機構10に受け渡されカセットCに収容される。
【0071】
次に、図19及び図20を参照して搬送装置50、51の他の実施形態について説明する。なお、図19及び図20において、上記実施形態における搬送装置50、51の構成要素と同一のものについては同一の符号を付すものとする。
【0072】
図19は、第1のギヤ52近傍の平面図であり、図20はその断面図である。本実施形態では、保持部材41の側面に固定された支持体69には可動部67が軸68を中心として回動可能に設けられており、可動部67の一端には例えば磁性体として鉄でなる部材65が固定されている。
【0073】
今、例えばメンテナンスのために軸部材53が保持部材41に装着されていない状態では、図示しないバネ等の弾性体により図19の破線で示す位置に付勢されて配置されるが、図示するように軸部材53が保持部材41に装着されると第1のギヤ52の永久磁石48の吸引力により鉄部材65が引きつけられて所定の第1のギヤ52に接しない位置に配置される。これにより可動部67が回動して、例えば、軸部材53が保持部材41に装着されて第1のギヤ52が所定の位置に配置されていることをオペレーティング用のディスプレイ等に表示させるためのスイッチSに、可動部の67の他端67aが当接してスイッチが入るような構成になっている。
【0074】
このような構成により、例えば、メンテナンスが終了し軸部材53を保持部材41に装着したときに第1のギヤ52が所定の位置に配置されていればスイッチSが接続され、第1のギヤ52が所定の位置に配置されていなければ、スイッチSが接続されず警告を発するようにすることができる。従って、第1のギヤが所定の正常位置に配置されずにギヤ部が機能していないという事態を防止できる。
【0075】
図21は、上記スイッチSに代えて、例えばフォトダイオード等の発光部及び受光部を有する光センサRを設けられている。そして受光部による所定の受光量が得られれば、第1のギヤ52が所定の位置に配置されたものとし、所定の受光量が得られなければ、第1のギヤ52が所定の位置に配置されていないものと判断し警告を発するようにすることができる。
【0076】
また、この光センサRに代えて、第1のギヤ52が所定の位置に配置されたときに、永久磁石48による磁場を検出する磁気センサを設ける構成とし第1のギヤ52が所定の位置に配置されているかどうかの判断を行うようにすることも可能である。
【0077】
本発明は以上説明した実施形態には限定されるものではなく、種々の変形が可能であり、例えば、上記実施形態では第1のギヤを52を略鞍型形状としたが、この第1のギヤを第2のギヤと同様に円筒状とし簡単な構成でギヤを構成するようにしてもよい。
【0078】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、着脱可能な軸部材に、永久磁石の吸引力により伝達されるギヤを設けたことにより、発塵を防止でき、メンテナンス等を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が適用される塗布現像処理システムの全体構成を示す平面図である。
【図2】図1に示す塗布現像処理システムの正面図である。
【図3】図1に示す塗布現像処理システムの背面図である。
【図4】本発明の第1の実施形態に係る搬送装置の平面図である。
【図5】図4に示す搬送装置の側面図である。
【図6】同搬送装置の保持部材及びギヤ部を示す拡大斜視図である。
【図7】同搬送装置の第1のギヤ部を示す模式図である。
【図8】同搬送装置の第2のギヤ部を示す模式図である。
【図9】第1のギヤの他の実施形態を示す模式図である。
【図10】第2のギヤの他の実施形態を示す模式図である。
【図11】一実施形態に係る洗浄処理ユニットの側面図である。
【図12】図11におけるA−A線方向の断面図である。
【図13】図11におけるB−B線方向の断面図である。
【図14】図11におけるC−C線方向の断面図である。
【図15】一実施形態に係る現像処理ユニットの側面図である。
【図16】図15におけるA−A線方向の断面図である。
【図17】図15におけるB−B線方向の断面図である。
【図18】図15におけるC−C線方向の断面図である。
【図19】他の実施形態に係る搬送装置における検知手段を示す平面図である。
【図20】図19に示す検知手段の側面図である。
【図21】上記検知手段として光センサを使用した場合を示す平面図である。
【符号の説明】
G…ガラス基板
S…スイッチ
R…光センサ
18…現像処理ユニット
20…スクラバ洗浄処理ユニット
41…保持部材
41a…切り欠き部
43…搬送ローラ
44…モータ
48、49…永久磁石
50.51…搬送装置
52…第1のギヤ
53…軸部材
55…第2のギア
67…可動部
71…外カバー
72…ロールブラシ
74…高圧リンスノズル
75…エアナイフ
81…ローラ
82…レール
83…現像液ノズル
84…リンスノズル
Claims (13)
- 回転可能な軸部材に設けられ、基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも1対のローラと、
上端に切り欠き部を有し、該切り欠き部で前記軸部材を着脱自在に軸支する保持部と、
前記軸部材に接続され、表面に第1の磁石が配置された第1のギヤと、
前記第1のギヤに対して隙間を空けて設けられ、前記第1のギヤの表面形状に対向して第2の磁石が配置された第2のギヤと、
前記第2のギヤを回転駆動させる駆動部と、
前記第1のギヤの近傍に配置され、該第1のギヤが所定の位置に配置されたことを検知する手段とを具備し、
前記検知手段は前記第1の磁石による磁場を検出する磁気センサであることを特徴とする搬送装置。 - 回転可能な軸部材に設けられ、基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも1対のローラと、
上端に切り欠き部を有し、該切り欠き部で前記軸部材を着脱自在に軸支する保持部と、
前記軸部材に接続され、表面に第1の磁石が配置された第1のギヤと、
前記第1のギヤに対して隙間を空けて設けられ、前記第1のギヤの表面形状に対向して第2の磁石が配置された第2のギヤと、
前記第2のギヤを回転駆動させる駆動部と、
前記第1のギヤの近傍に配置され、該第1のギヤが所定の位置に配置されたことを検知する手段とを具備し、
前記検知手段は、前記第1のギヤが所定の位置に配置されたときに、前記第1の磁石の近傍位置に引きつけられる可動部を備え、
前記可動部が前記第1の磁石の近傍位置に引きつけられることにより、前記第1のギヤが正常位置に配置されたことを確認するスイッチが接続されること特徴とする搬送装置。 - 回転可能な軸部材に設けられ、基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも1対のローラと、上端に切り欠き部を有し、該切り欠き部で前記軸部材を着脱自在に軸支する保持部と、前記軸部材に接続され、表面に第1の磁石が配置された第1のギヤと、前記第1のギヤに対して隙間を空けて設けられ、前記第1のギヤの表面形状に対向して第2の磁石が配置された第2のギヤと、前記第2のギヤを回転駆動させる駆動部と、前記第1のギヤの近傍に配置され、該第1のギヤが所定の位置に配置されたことを検知する手段とを備える搬送装置と、
前記1対のローラにより搬送される基板の上部にそれぞれ配置され、
基板に対して回転しながら基板を洗浄するブラシと、
前記ブラシにより洗浄された基板上に洗浄液を供給する手段と、
基板上にエアを吹きつけて乾燥させる手段と
を具備し、
前記検知手段は前記第1の磁石による磁場を検出する磁気センサであることを特徴とする洗浄装置。 - 回転可能な軸部材に設けられ、基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも1対のローラと、上端に切り欠き部を有し、該切り欠き部で前記軸部材を着脱自在に軸支する保持部と、前記軸部材に接続され、表面に第1の磁石が配置された第1のギヤと、前記第1のギヤに対して隙間を空けて設けられ、前記第1のギヤの表面形状に対向して第2の磁石が配置された第2のギヤと、前記第2のギヤを回転駆動させる駆動部と、前記第1のギヤの近傍に配置され、該第1のギヤが所定の位置に配置されたことを検知する手段とを備える搬送装置と、
前記1対のローラにより搬送される基板の上部にそれぞれ配置され、
基板に対して回転しながら基板を洗浄するブラシと、
前記ブラシにより洗浄された基板上に洗浄液を供給する手段と、
基板上にエアを吹きつけて乾燥させる手段と
を具備し、
前記検知手段は、前記第1のギヤが所定の位置に配置されたときに、前記第1の磁石の近傍位置に引きつけられる可動部を備え、
前記可動部が前記第1の磁石の近傍位置に引きつけられることにより、前記第1のギヤが正常位置に配置されたことを確認するスイッチが接続されること特徴とする洗浄装置。 - 請求項3または請求項4に記載の洗浄装置において、
前記ブラシ、前記洗浄液供給手段及び前記乾燥手段を基板の搬送方向に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記移動手段の移動速度を可変にする手段と
を更に具備することを特徴とする洗浄装置。 - 回転可能な軸部材に設けられ、基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも1対のローラと、上端に切り欠き部を有し、該切り欠き部で前記軸部材を着脱自在に軸支する保持部と、前記軸部材に接続され、表面に第1の磁石が配置された第1のギヤと、前記第1のギヤに対して隙間を空けて設けられ、前記第1のギヤの表面形状に対向して第2の磁石が配置された第2のギヤと、前記第2のギヤを回転駆動させる駆動部と、前記第1のギヤの近傍に配置され、該第1のギヤが所定の位置に配置されたことを検知する手段とを備える搬送装置と、
前記1対のローラにより搬送される基板の上部にそれぞれ配置され、
基板上に現像液を供給する手段と、
前記現像液が供給された基板上にリンス液を供給する手段と、
基板上にエアを吹きつけて乾燥させる手段と
を具備し、
前記検知手段は前記第1の磁石による磁場を検出する磁気センサであることを特徴とする現像装置。 - 回転可能な軸部材に設けられ、基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも1対のローラと、上端に切り欠き部を有し、該切り欠き部で前記軸部材を着脱自在に軸支する保持部と、前記軸部材に接続され、表面に第1の磁石が配置された第1のギヤと、前記第1のギヤに対して隙間を空けて設けられ、前記第1のギヤの表面形状に対向して第2の磁石が配置された第2のギヤと、前記第2のギヤを回転駆動させる駆動部と、前記第1のギヤの近傍に配置され、該第1のギヤが所定の位置に配置されたことを検知する手段とを備える搬送装置と、
前記1対のローラにより搬送される基板の上部にそれぞれ配置され、
基板上に現像液を供給する手段と、
前記現像液が供給された基板上にリンス液を供給する手段と、
基板上にエアを吹きつけて乾燥させる手段と
を具備し、
前記検知手段は、前記第1のギヤが所定の位置に配置されたときに、前記第1の磁石の近傍位置に引きつけられる可動部を備え、
前記可動部が前記第1の磁石の近傍位置に引きつけられることにより、前記第1のギヤが正常位置に配置されたことを確認するスイッチが接続されること特徴とする現像装置。 - 請求項6または請求項7に記載の現像装置において、
前記現像液供給手段、前記リンス液供給手段及び前記乾燥手段を基板の搬送方向に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記移動手段の移動速度を可変にする手段と
を更に具備することを特徴とする現像装置。 - 請求項1または請求項2に記載の搬送装置において、
前記第1のギヤ又は第2のギヤのうち少なくとも一方は、前記磁石が螺旋状に配置されていることを特徴とする搬送装置。 - 請求項3から請求項5のうちのいずれか一項に記載の洗浄装置において、
前記第1のギヤ又は第2のギヤのうち少なくとも一方は、前記磁石が螺旋状に配置されていることを特徴とする洗浄装置。 - 請求項6から請求項8のうちのいずれか一項に記載の現像装置において、
前記第1のギヤ又は第2のギヤのうち少なくとも一方は、前記磁石が螺旋状に配置されていることを特徴とする現像装置。 - 請求項3から請求項5のうちのいずれか一項に記載の洗浄装置において、
前記ローラ、前記保持部、前記第1のギヤ、前記第2のギヤ及び前記検知手段を覆うカバー部材を更に具備することを特徴とする洗浄装置。 - 請求項6から請求項8のうちのいずれか一項に記載の現像装置において、
前記ローラ、前記保持部、前記第1のギヤ、前記第2のギヤ及び前記検知手段を覆うカバー部材を更に具備することを特徴とする現像装置。
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